DE4225211A1 - Fluidventil - Google Patents
FluidventilInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
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Description
Die Erfindung betrifft ein Fluidventil mit einer einen
Ventilsitz aufweisenden Ventilöffnung, einem beweglichen
Ventilverschluß und einer Ventilverschluß-Betätigungs
einrichtung.
Bei herkömmlichen Fluidventilen ist der Ventilverschluß,
beispielsweise der Ventilkegel, in Lagern oder Buchsen
geführt, und in diesen Lagern oder Buchsen zur Öffnung
und Schließung des Ventils beweglich. Dadurch treten zwi
schen dem Ventilverschluß oder seiner mechanischen Ver
bindung mit der Verschluß-Betätigungseinrichtung Reibun
gen auf, die bewirken, daß beim Betätigen des Ventilver
schlusses Partikel in das Fluid gelangen, die von dem La
ger oder Buchsenmaterial, den beweglichen Teilen der Ven
tilbetätigungseinrichtung abgerieben werden, oder von
Verunreinigungen stammen, die sich in den Buchsen oder
auf den Verschluß-Betätigungseinrichtungen befinden. Die
herkömmlichen Fluidventile stellen daher Verkeimungs
und/oder Partikelquellen dar, die das Fluidventil verun
reinigen, was für zahlreiche Anwendungsbereiche, wie in
der Medizin, Technik oder in der Hochtechnologie, bei
spielsweise für die Fertigung von Halbleiterchips nicht
hingenommen werden kann.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein
Fluidventil zu schaffen, bei dem im Fluidbereich im we
sentlichen keine Reibungen oder mechanischen Bewegungen
auftreten, so daß das Fluid nicht verunreinigt wird.
Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge
löst, daß eine Fluidkammer wenigstens einen elastischen
Randbereich aufweist, der mit dem Ventilverschluß verbun
den ist. Durch diese erfindungsgemäßen Merkmale ist die
Fluidkammer des Fluidventils nach außen hermetisch abge
schlossen und es treten keine mechanischen Bewegungen
oder Reibungen im Fluidbereich auf, so daß auch keine
Partikel oder ionische Verunreinigungen ins Fluid gelan
gen können. Das erfindungsgemäße Fluidventil ist daher
für die Anwendung beispielsweise im medizinischen oder
hochtechnologischen Bereich bei der Herstellung von Halb
leiterchips unter hochreinen Bedingungen gut geeignet.
Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der
Erfindung ist der Ventilverschluß durch den auf den ela
stischen Wandbereich ausgeübten Fluiddruck in der Fluid
kammer am Ventilsitz der Ventilöffnung anlegbar. Dadurch
ergibt sich ein selbstdichtendes Fluidventil mit hermeti
schem Abschluß nach außen und ohne die Notwendigkeit ei
ner mechanischen Bewegung und damit von partikelerzeu
genden Reibungskräften innerhalb des Fluidraumes.
Im Falle, daß der Fluiddruck in der Fluidkammer auf einen
Wert absinkt, der zum Anlegen des Ventilverschlusses an
den Ventilsitz nicht mehr ausreicht, ist gemäß einer wei
teren Ausführungsform ein elastisches Element vor
zugsweise außerhalb der Fluidkammer vorgesehen, das den
elastischen Wandbereich mit einer Federkraft beauf
schlagt, die bewirkt, daß der Ventilverschluß am Ventil
sitz angedrückt wird.
Besonders vorteilhaft ist jedoch eine Ausführungsform,
bei der der elastische Wandbereich der Fluidkammer selbst
das elastische Element ist. Das heißt, die Federwirkung
des elastischen Wandbereichs der Fluidkammer ist auch bei
geringem oder gar keinem Fluiddruck in der Fluidkammer
groß genug, den Ventilverschluß an den Ventilsitz der
Ventilöffnung dichtend anzulegen. Das Ventil wird also
gemäß dieser Ausführungsform im niederen Fluid-Druckbe
reich durch die Spannung des elastischen Wandbereichs der
Fluidkammer und im höheren Druckbereich durch den Anstau
druck des Fluids in der Fluidkammer über den elastischen
Wandbereich geschlossen, der den Ventilverschluß an den
Ventilsitz der Ventilöffnung zieht.
Vorzugsweise ist der elastische Wandbereich der Fluidkam
mer eine Membran.
Die Fluidkammer weist vorzugsweise einen im wesentlichen
unelastischen, dem elastischen Wandbereich gegenüberlie
genden Wandbereich mit der Ventilöffnung und dem Ventil
sitz auf. Das erfindungsgemäße Fluidventil ist dabei vor
zugsweise so ausgebildet, daß der Ventilverschluß durch
den auf den elastischen Wandbereich wirkenden Fluiddruck
in der Fluidkammer in diese und auf den Ventilsitz gezo
gen wird. Dadurch ergibt sich ein zuverlässiger Andruck
des Ventilverschlusses an den Ventilsitz mit selbst
dichtender Wirkung.
Die Ventilöffnung ist vorzugsweise kreisförmig und der
Ventilverschluß ist konusförmig, wobei der kleinere
Durchmesser des konusförmigen Ventilverschlusses kleiner
und der größere Durchmesser des konusförmigen Ventilver
schlusses größer als der Durchmesser der kreisförmigen
Ventilöffnung ist.
Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der
Erfindung ist außerhalb der Fluidkammer ein Ventilver
schluß-Betätigungselement vorgesehen, mit dem auf den
elastischen Fluidkammer-Wandbereich zur Öffnung des
Fluidventils ein Druck ausgeübt wird, der dem in der
Fluidkammer herrschenden Druck entgegengesetzt ist. Das
Öffnen und Regulieren des Fluidventils erfolgt also ohne
Eingriff in den Fluidbereich und ohne die Bewegung von
Teilen innerhalb des Fluidbereichs nur von außen durch
Bewegung des elastischen Wandbereichs bzw. der Membran
der Fluidkammer. Ein Kontaminieren des hochreinen Fluids,
beispielsweise von deionisiertem Wasser oder anderen
Fluids, wird daher sicher vermieden.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsge
mäßen Fluidventils besteht darin, daß die Fluidkammer
eine Zylinderform mit einem elastischen Wandbereich als
einer Zylinderabschlußwand und einem im wesentlichen un
elastischen, die Ventilöffnung aufweisenden Wandbereich
als andere Zylinderabschlußwand aufweist. Diese Form der
Fluidkammer ist besonders einfach zu fertigen, insbeson
dere bei einer Ausführungsform, bei der die Zylinderkam
mer, die Ventilöffnung und der Ventilverschluß achssymme
trisch ausgebildet sind.
Die Fluidkammerwände, etwa der elastische Wandbereich,
der Zylinderwandbereich und/oder der im wesentlichen
nicht elastische Wandbereich mit der Ventilöffnung können
aus unterschiedlichen Materialien bestehen und entspre
chend zusammengesetzt werden. Gemäß einer weiteren vor
teilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Fluidkam
mer jedoch einstückig ausgebildet. Der elastische Wandbe
reich weist dabei zur Herbeiführung der Elastizität eine
kleinere Wanddicke und/oder eine andere Wandform, bei
spielsweise eine gewellte Wandform, auf, während der im
wesentlichen nicht elastische Wandbereich zur Herbeifüh
rung der erforderlichen Steifigkeit beispielsweise dicker
ausgeführt ist.
Das Material für die Fluidkammer wird entsprechend den
mechanischen Erfordernissen, d. h. den elastischen
Erfordernissen des elastischen Wandbereichs, aber auch
entsprechend den Fluids gewählt, für die das Fluidventil
vorgesehen ist. Vorzugsweise wird als Material Edelstahl
verwendet, es ist jedoch auch möglich, Gummimaterialien
usw. einzusetzen. Wird das erfindungsgemäße Fluidventil
für deionisiertes Wasser verwendet, so wird ein hochrei
nes Material für die Fluidkammer verwendet, so daß auch
eine ionische Verunreinigung des Fluids ausgeschlossen
ist.
Vorzugsweise weist die Fluidkammer neben der erforderli
chen Fluid-Zuflußöffnung, die vorzugsweise im Zylinder
wandbereich der Fluidkammer vorgesehen ist, eine Fluid-
Rückflußöffnung auf, die ebenfalls vorzugsweise im Zylin
derwandbereich der Fluidkammer vorgesehen ist. Die Fluid-
Rückflußöffnung besitzt als mögliche Ausführungsform eine
den Durchmesser der Fluid-Rückflußöffnung verändernde
Drossel- oder Regulierungseinrichtung etwa in Form einer
Schraube, um das durch die Fluid-Rückflußöffnung strö
mende Fluid je nach den Druck- und Rückflußvolumenver
hältnissen regulieren zu können.
Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform
ist das erfindungsgemäße Fluidventil bei einer Spritz-
oder Sprühpistole, die einen Handhebel zur Betätigung des
Ventilverschluß-Betätigungselements aufweist, anwendbar.
Vorzugsweise sind die Fluid-Zuflußleitung und/oder die
Fluid-Rückflußleitung im Handgriff der Spritz- oder
Sprühpistole integriert. Die Spritz- oder Sprühpistole
weist gemäß einer weiteren Ausführungsform verschiedene
Aufsätze zum Spritzen oder Sprühen des Fluids auf.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand eines Ausführungs
beispiels unter Bezugnahme auf die Figuren erläutert. Es
zeigt
Fig. 1 eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Fluid
ventils als Spritzpistole in einer schematischen
Querschnittsdarstellung, und
Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte Spritzpistole in einem
Querschnitt entlang der in Fig. 1 eingezeichneten
Schnittlinie I-I.
Bei dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten Fluidventil 1
weist eine zylindrisches Fluidkammer 2 eine Zylinderwand
3, einen-elastischen Wandbereich 4 als eine Zylinderab
schlußwand der zylindrischen Fluidkammer 2 und einen im
wesentlichen unelastischen Wandbereich 5 als andere Zy
linderabschlußwand der zylindrischen Fluidkammer 2 auf.
Der im wesentlichen nicht elastische Wandbereich 5 be
sitzt eine Ventilöffnung 6, in der sich ein Ventilver
schluß 7 in den durch einen Doppelpfeil angedeuteten
Richtungen bewegen kann. In Fig. 1 ist der Ventil
verschluß 7 mit ausgezogener Linie in dichtender Anlage
am Ventilsitz 8 der Ventilöffnung 6, und gestrichelt in
einer Stellung dargestellt, in der das Fluidventil geöff
net ist. Durch entsprechende Pfeile ist der Austritt des
Fluids durch die Ventilöffnung 6 aus der Fluidkammer 2
angedeutet.
Der Ventilverschluß 7 ist über eine Verbindung 10 am ela
stischen Wandbereich 4 befestigt. Der Ventilverschluß 7
und/oder die Verbindung 10 können mit dem elastischen
Wandbereich 4 vorzugsweise einstückig ausgebildet sein
und bestehen, wie die Fluidkammerwände auch, aus einem
Material, welches entsprechend dem Fluid, für das das
Fluidventil vorgesehen ist, hinsichtlich der Reinhaltung
des Fluids besonders geeignet ist.
Über eine Fluidzuführöffnung 11 strömt das Fluid in die
Fluidkammer 2 ein. Am Außenumfang der Zylinderwand 3 ist
eine Fluid-Zufuhrleitung 12 mit einer in die Zylinderwand
3 einschraubbaren Buchse befestigt.
Außerhalb der Zylinderwand 3 befindet sich symmetrisch zu
einer Zylinderachse 14 ein Ventilverschluß-Betätigungs
element 15 in Form eines Druckstiftes, der an einer
Druckstange 16 befestigt ist und bei Druckausübung auf
die Druckstange 16 von außen auf den elastischen Wandbe
reich 4 drückt. Da dieser Wandbereich 4 elastisch und
über die Verbindung 10 mit dem Ventilverschluß 7 verbun
den ist, wird auch auf den Ventilverschluß 7 ein Druck
ausgeübt,- so daß er vom Ventilsitz 8 der Ventilöffnung 6
des nicht elastischen Wandbereichs 5 freikommt, und das
in der Fluidkammer 2 befindliche Fluid ausströmen kann.
Wird dagegen auf die Druckstange 16 und damit auf das Be
tätigungselement 15 kein Druck ausgeübt, bewirkt der in
der Fluidkammer 2 herrschende Fluiddruck, daß der elasti
sche Wandbereich 4 nach außen gedrückt und damit der Ven
tilverschluß 7 in die Fluidkammer 2 gezogen wird. Dadurch
legt sich der Ventilverschluß 7, der bei der vorliegenden
Ausführungsform ein Ventilkegel ist, mit seinem Außenum
fang an den Ventilsitz 8 der Ventilöffnung 6 des im we
sentlichen nicht elastischen Wandbereichs 5 an und ver
schließt die Ventilöffnung 6. Die erfindungsgemäße Aus
führungsform eines Fluidventils ist daher selbstdichtend.
Der elastische Wandbereich 4 ist vorzugsweise hinsicht
lich der Materialwahl oder der Formung so ausgeführt, daß
er auch dann einen in die Fluidkammer 2 gerichtenden Zug
auf den Ventilverschluß 7 ausübt und damit ein Schließen
des Ventils bewirkt, wenn der Fluiddruck in der Fluidkam
mer 2 klein oder nicht vorhanden ist. Der elastische
Wandbereich 4 weist für diesen Fall also eine Vorspannung
auf, durch die auch ohne Fluiddruck in der Fluidkammer 2
das Schließen des Ventils sichergestellt ist.
Es ist jedoch auch möglich, außerhalb der Fluidkammer 2
ein (nicht dargestelltes) elastisches Element, beispiels
weise eine Feder, vorzusehen, die von außen am elasti
schen Wandbereich 4 angreift und ihn dann nach außen
zieht, wenn der Fluiddruck in der Fluidkammer 2 zum
Schließen des Ventils nicht ausreichen sollte.
Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, weist die Fluidkammer 2
eine Fluid-Rückflußöffnung 17 auf, durch die das Fluid
aus der Fluidkammer strömen kann. Eine solche Fluid-Rück
flußöffnung 17 ist dann vorteilhaft, wenn das Fluid kon
tinuierlich und ununterbrochen umgewälzt werden soll, um
beispielsweise bei der Verwendung im medizinischen Be
reich oder bei der Herstellung von Produkten unter hoch
reinen Bedingungen Bakterienbildung zu vermeiden. Zur Re
gulierung des Rückflußvolumens ist eine Regulier- oder
Drosseleinrichtung 18 vorgesehen, die bei der dargestell
ten Ausführungsform in einer Schraube besteht, die in den
Rückflußkanal ein- oder ausschraubbar ist.
An der Fluid-Rückflußöffnung 17 der Fluidkammer 2 ist
eine Fluid-Rückflußleitung 19 mit einer weiteren in den
Außenbereich der Fluidkammer 2 einschraubbaren Buchse 20
befestigt.
Bei der dargestellten Ausführungsform ist das erfindungs
gemäße Fluidventil Teil einer Spritz- oder Sprühpistole,
bei der das Fluidventil an einem Handgriff 21 vorgesehen
ist, in dem die Druckstange 16 für die Betätigung des
Betätigungselements 15 sowie die Fluid-Zuführleitung 12
und die Fluid-Rückführleitung 19 angeordnet sind.
Außerhalb der Fluidkammer 2 im Bereich der Fluidöffnung 6
ist bei der dargestellten Ausführungsform ein Verteiler
22 vorgesehen, der auswechselbar ist und je nach den ge
gebenen Anwendungsfällen zum Sprühen oder Spritzen unter
schiedliche Öffnungen aufweist und unterschiedlich ausge
bildet ist.
Claims (15)
1. Fluidventil (1) mit einer einen Ventilsitz (8) auf
weisenden Ventilöffnung (8), einem beweglichen Ven
tilverschluß (7) und einer Ventilverschluß-Betäti
gungseinrichtung (15, 16) ,
dadurch gekennzeichnet, daß eine
Fluidkammer (2) wenigstens einen elastischen Wandbe
reich (4) aufweist, der mit dem Ventilverschluß (7)
verbunden ist.
2. Fluidventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Ventilverschluß (7) durch den auf den elasti
schen Wandbereich (4) ausgeübten Fluiddruck in der
Fluidkammer (2) am Ventilsitz (8) der Ventilöffnung
(6) anlegbar ist.
3. Fluidventil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß ein elastisches Element den Ventilver
schluß (7) an den Ventilsitz (8) der Ventilöffnung
(6) andrückt.
4. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Element
der elastische Wandbereich (4) der Fluidkammer (2)
ist.
5. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der elastische Wandbe
reich (4) eine Membran ist.
6. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fluidkammer (2) einen
im wesentlichen unelastischen, dem elastischen Wand
bereich (4) gegenüberliegenden Wandbereich (5) mit
der Ventilöffnung (6) und dem Ventilsitz (8) auf
weist.
7. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilverschluß (7)
durch den auf den elastischen Wandbereich (4) wirken
den Fluiddruck in der Fluidkammer (2) in diese und
gegen den Ventilsitz (8) der Ventilöffnung (6) gezo
gen wird.
8. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Ventilöffnung (6)
kreisförmig und der Ventilverschluß (7) konusförmig
ist, wobei der kleinere Durchmesser des konusförmigen
Ventilverschlusses (7) kleiner und der größere Durch
messer des Ventilverschlusses (7) größer als der
Durchmesser der kreisförmigen Ventilöffnung (6) ist.
9. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß außerhalb der Fluidkammer
(2) ein Ventilverschluß-Betätigungselement (15) vor
gesehen ist, mit dem auf den elastischen Wandbereich
(4) der Fluidkammer (2) zur Öffnung des Ventilver
schlusses (7) ein Druck ausübbar ist, der dem in der
Fluidkammer (2) herrschenden Druck entgegengesetzt
ist.
10. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fluidkammer (2) eine
Zylinderform mit einem elastischen Wandbereich (4)
als einer Zylinderabschlußwand und einem im wesentli
chen nicht elastischen, die Ventilöffnung (6) aufwei
senden Wandbereich (5) als anderer Zylinderabschluß
wand aufweist.
11. Fluidventil nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die zylindrische Fluidkammer (2), die Ventilöff
nung (6) und der Ventilverschluß (7) achssymmetrisch
ausgebildet sind.
12. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fluidkammer (2) ein
stückig ausgebildet ist.
13. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fluidkammer (2) eine
Fluid-Rückflußöffnung (17) aufweist.
14. Fluidventil nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß die Fluid-Rückflußöffnung (17) eine Rückfluß-
Regulierungseinrichtrung (18) aufweist.
15. Fluidventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
daß das Fluidventil (1) Teil einer Spritzpistole ist,
die einen Handhebel (16) zur Betätigung des Ventil
verschluß-Betätigungselements (15) aufweist.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19924225211 DE4225211A1 (de) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Fluidventil |
AU43249/93A AU4324993A (en) | 1992-07-30 | 1993-06-11 | Valve |
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JP6504919A JPH07502588A (ja) | 1992-07-30 | 1993-06-11 | 流体弁 |
Applications Claiming Priority (1)
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ID=6464473
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JP (1) | JPH07502588A (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
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Owner name: STEAG MICROTECH GMBH DONAUESCHINGEN, 78166 DONAUES |
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8130 | Withdrawal |