DE4136002A1 - Moire- konturenabbildungsvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Moire-Konturenabbildungsvor­ richtung zum Auswerten der Konturen eines Werkstücks, die nach dem Moire-Verfahren arbeitet und eine Phasenverschie­ bungs- bzw. Feldverschiebungsanalyse erlaubt.

Optische Konturenabbildungssysteme, die nach dem Moire- Verfahren arbeiten, sind seit einiger Zeit in Benutzung. Bei einer vorbekannten Vorrichtung dieser Art wird ein bekanntes periodisches Muster wie ein Gitter auf die auswertende Ober­ fläche projeziert und das Bild des Gitters, wie es aus einer bezüglich der Beleuchtungsrichtung schrägen Richtung erscheint und wie es von der Oberfläche verformt wird, wird zur Bestimmung des Profils analysiert. Das verformte Gitter­ bild wird häufig einem Bezugsgitter überlagert, was die Gitterverformung verstärkt und die bekannten Moire-Streifen­ muster zur Folge hat. Diese Streifenmuster lassen sich durch einen Betrachter oder durch eine automatisierte Einrichtung in einfacher Weise als Oberflächenkonturen deuten. Die resultierenden Streifenmuster sind Linien gleicher Tiefen­ änderung, die unabhängig von der Objektausrichtung, Körper­ verschiebung, Farbe oder Markierung des Objektes sind. Die typische Methode, das Moirè-Streifenmuster zu erzeugen, besteht darin, getrennte Projektions- und Bezugsgitter zu verwenden, die auf den optischen Wegen der Beleuchtungs- und Betrachtungssysteme angeordnet sind. In der gleichen Weise werden getrennte primäre Linsen dazu verwendet, das fokus­ sierte Bild des Gitters auf das Objekt zu projezieren und dieses Bild auf einen Bilddetektor oder ein Okular zu fokussieren.

Wenngleich die gegenwärtigen Moire-Konturenabbildungsvor­ richtungen zufriedenstellend arbeiten, hat die Verwendung getrennter Gitter und primärer Linsen eine Reihe von Nach­ teilen. Beispielsweise erzeugen geringfügige Unterschiede in der Vergrößerung zweier Gitter auf dem Objekt und Detektor Änderungen in dem Moirè-Interferenzmuster, die von der Werk­ stückkontur unabhängig sind. Wenn solche Vergrößerungsfehler auftreten, erzeugen die Unterschiede aufgrund einer Ver­ schiebung von Teilen des projezierten Gitters und des Bezugsgitters ein Streifenmuster, selbst wenn das Werkstück tatsächlich eben ist. Ähnlich erzeugen kleine Unterschiede in der Fokussierung und/oder in der Ausrichtung zweier primärer Linsen eine Verformung des Bildes. Die Verwendung getrennter primärer Linsen und Bilder führt ferner zu einem Stabilitätsproblem, da selbst kleinste relative Bewegungen zwischen diesen Elementen eine Bildverformung verursachen können. Selbst wenn man eine teure Optik kauft, ist es schwierig, zwei Linsen zu erhalten, die hinsichtlich ihrer Vergrößerung und Brennweite genau aufeinander abgestimmt sind. Zusätzlich zu den oben erwähnten Nachteilen verteuert das Erfordernis getrennter Linsen und Gitter die Herstel­ lungskosten der Abbildungsvorrichtung, da diese Elemente getrennt gekauft, montiert und justiert werden müssen.

Durch die vorliegende Erfindung sollen diese Nachteile ver­ mieden werden. Die Erfindung sowie vorteilhafte Ausgestal­ tungen der Erfindung sind in den Patentansprüchen gekenn­ zeichnet.

Die Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich in erster Linie dadurch, daß nur ein einziges optisches Gitter und nur eine einzige primäre Linse sowohl für den Beleuch­ tungs- wie auch Betrachtungsstrahlenweg verwendet werden, was die Stabilität und das optische Verhalten verbessert. Bei der erfindungsgemäß ausgebildeten Abbildungsvorrichtung ist der Beleuchtungsstrahlenweg bezüglich des Betrachtungs­ strahlenweges geneigt, wobei beide durch ein gemeinsames Gitter und eine gemeinsame primäre Linse verlaufen. Auf­ grund der Neigung der beiden Strahlen muß einer der Strahlen so abgelenkt werden, daß beide Strahlen wieder in einer Fokussierebene, in der sich das auszuwertende Objekt befin­ det, konvergieren. Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung wird der Beleuchtungsstrahlenweg durch einen Spiegel reflektiert, so daß er mit dem Betrachtungsstrahlen­ weg auf dem auszuwertenden Objekt konvergiert. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind Mittel vorgesehen, die die Einfachheit, Lebensdauer und Auflösung der erzeugten Bilder dadurch verbessern, daß sie das in der Vorrichtung auftre­ tende Streulicht reduzieren.

Die erfindungsgemäß ausgebildete Abbildungsvorrichtung läßt sich ferner in der Weise ausgestalten, daß sie eine Moirè- Analyse mittels Phasenverschiebung oder Feldverschiebung erlaubt. Wenn das Gitter für den Beleuchtungs- oder Betrach­ tungsstrahlenweg der Abbildungsvorrichtung verschoben wird, wird eine Phasenverschiebung erzeugt, bei der das Moirè-Bild in mehreren Positionsphasen über dem Betrachtungsfeld er­ scheint. Hierdurch wird das Moirè-Interferenzmuster veran­ laßt, das Betrachtungsfeld abzutasten. Eine Feldverschie­ bungsanalyse wird durch eine Translationseinrichtung ermög­ licht, die das Gitter physisch bewegt.

Die erfindungsgemäß ausgebildete Abbildungsvorrichtung läßt sich ferner so ausgestalten, daß sie eine Moire-Analyse mit Feldverschiebung erlaubt. Dies wird dadurch erreicht, daß der Spiegel senkrecht zur Spiegelfläche mittels einer linearen Translationseinrichtung translationsförmig verscho­ ben wird. Bei einer Feldverschiebung scheinen sowohl die Linse als auch das Gitter gemeinsam bewegt zu werden und somit ändert sich der Projektionspunkt entweder des Beleuch­ tungsstrahlenweges oder des Betrachtungsstrahlenweges. Wie beim Phasenverschieben erlaubt eine Feldverschiebung eine Absolutmessung der Oberflächenkontur. In einer US-Patent­ anmeldung 5 64 104 vom 8. August 1990 des gleichen Anmelders, auf die hiermit ausdrücklich Bezug genommen wird, wird ein Verfahren zur Moirè-Auswertung mittels Feldverschiebung beschrieben.

Anhand der Zeichnungen werden Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Moire- Konturenabbildungsvorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel;

Fig. 2 einen Längsschnitt der Abbildungsvorrichtung in Fig. 1;

Fig. 3 einen Längsschnitt durch ein zweites Ausführungs­ beispiel der Abbildungsvorrichtung, bei dem eine Einrichtung zum Verschieben des Spiegels bzw. des Gitters vorgesehen ist;

Fig. 4 eine vergrößerte perspektivische Ansicht eines Details der Einrichtung zum Verschieben des Gitters in Fig. 3.

Fig. 1 zeigt in perspektivischer Ansicht eine Moire-Abbil­ dungsvorrichtung in Form einer Kamera 10, die dazu verwendet wird, die Oberflächenkonfiguration eines beliebigen Werk­ stückes 12 zu charakterisieren. Wie gezeigt, besitzt die Abbildungsvorrichtung 10 ein längliches Gehäuse 14 mit einem Betrachtungsende 16, während am entgegengesetzten Ende eine Videokamera 18 angebracht ist. Die Lichtquelle für die Ab­ bildungsvorrichtung 10 ist in einem getrennten Gehäuse 20 mit einem Ein-Aus-Schalter 22 und einer Lichtstärkeregelung 24 untergebracht. Die Verwendung einer entfernten Licht­ quelle erlaubt eine kürzere Bauweise des optischen Systems hinsichtlich seiner Gesamtlänge. Eine interne Lichtquelle innerhalb des Gehäuses 20 ist mit einem Faseroptikkabel 26 gekoppelt, das eine Beleuchtung des Werkstücks 12 erlaubt, wie weiter unten noch genauer beschrieben wird. Es sei darauf hingewiesen, daß auch eine Lichtquelle innerhalb des Gehäuses 14 verwendet werden könnte, beispielsweise in Form eines LED hoher Lichtstärke. Signale, die mit dem zu erfas­ senden Bild in Beziehung stehen, werden über ein Kabel 28 in einen entsprechenden Video-Monitor oder eine andere bildver­ arbeitende Einrichtung (nicht gezeigt) eingekoppelt. Ferner kann ein Rahmen 30 vorgesehen werden, um die Abbildungsvor­ richtung im Betrieb zu stabilisieren.

Anhand der Fig. 2 werden nun die inneren Elemente der Abbil­ dungsvorrichtung 10 näher beschrieben. Das Gehäuse 14 ist als länglicher Tubus ausgebildet, der am Betrachtungsende 16 offen ist. Durch einen Halter 36 ist das Kabel 26 an der Seite des Gehäuses 14 befestigt, um Licht in die Abbildungs­ vorrichtung zu werfen. Eine Plattform 38 zur Befestigung verschiedener optischer Elemente ist innerhalb des Gehäuses 14 starr angebracht. Ein rechtwinkliges Prisma 40 ist auf einer Lichtabschirmung 42 befestigt, die ihrerseits an der Plattform 38 fest angebracht ist. Außerdem sind zwei Linsen, und zwar eine Kollimatorlinse 44 und eine Sammellinse 46 in dem Beleuchtungslichtweg so angeordnet, daß, wenn Licht in das Gehäuse 34 geworfen und von dem Prisma 40 reflektiert wird, der Strahl durch die Kollimatorlinse 44 und die Sammellinse 46 verläuft. Die Kollimatorlinse 44 dient dazu, die Übertragung des Lichts in die Abbildungsvorrichtung zu unterstützen, und die Sammellinse 46 erzeugt ein Bild der Lichtquelle an der wirksamen Öffnung der primären Linse 52. Wie aus Fig. 2 hervorgeht, ist der Beleuchtungsstrahlenweg 48 bezüglich der optischen Achse des Systems geneigt. Ferner ist ein optisches Gitter 50 an der Plattform 38 an einer solchen Stelle angebracht, daß der Beleuchtungsstrahlenweg 48 durch das Gitter 50 verläuft. Während der Strahl des Be­ leuchtungslichtes weiterläuft, gelangt er durch die primäre Linse 52, und er trifft dann auf den Spiegel 54 auf und wird in die optische Achse 49 zurückreflektiert. Die optischen Elemente in dem Beleuchtungsstrahlenweg 48 erzeugen ein Bild des Gitters 50, das in einer Bildebene 56 zu fokussieren ist, in der sich da auszuwertende Werkstück 12 befindet.

Der von einem Werkstück 12 in der Bildebene 56 reflektierte Lichtstrahl wandert entlang des Betrachtungsstrahlenweges 58, der mit der optischen Achse 49 des Systems zusammenfällt bzw. nahezu zusammenfällt. Dieser Strahlenweg verläuft wiederum durch die primäre Linse 52 und anschließend durch das Gitter 50 sowie eine Feldlinse 60, die die Öffnung der primären Linse auf eine Linse 62 der Vidokamera abbildet. Ein Extensionsring 68 dient zur Halterung der Videokamera- Linse 62. Schließlich verläuft der Betrachtungsstrahlenweg 58 durch die sekundäre Linse 62 und wird in der Bildebene der Videokamera 18 fokussiert. Wie in der Zeichnung dar­ gestellt, ist die primäre Linse 52 zweckmäßigerweise an einer Linsenhalterung 64 angebracht, die bezüglich der Plattform 38 mittels Stiften 66 abgestützt wird.

Bei der der Moire-Auswertung ist die Empfindlichkeit des Moirè-Streifenmusters eine Funktion mehrerer Faktoren ein­ schließlich des Neigungswinkels zwischen dem Beleuchtungs­ strahlenweg 48 und dem Betrachtungsstrahlenweg 58; dieser als Okklusionswinkel bezeichnete Winkel ist in Fig. 2 durch α gekennzeichnet. Außerdem ist die Empfindlichkeit eine Funktion der Gitterabstände am Werkstück. Entsprechend der Moirè-Methode besteht eine Möglichkeit zur Verringerung der Moirè-Streifenabstände und somit der Konturenempfindlichkeit darin, den Okklusionswinkel zu vergrößern. Bei dem darge­ stellten Ausführungsbeispiel der Abbildung 10 wird ein Okklusionswinkel von ungefähr 20° als ausreichend groß er­ achtet wird, um einen gewünschten Wert der Streifenabstände zu erzeugen, was die Möglichkeit bietet, eine marktübliche Linse als primäre Linse 52 mit einem Feldwinkel von ungefähr 60° zu verwenden. Zur Erzielung größerer Okklusionswinkel müßte wohl eine speziell angefertigte Linse mit extremen Weitwinkeleigenschaften als primäre Linse 52 eingesetzt werden.

Es sei nochmals darauf hingewiesen, daß die optischen Achsen sowohl des Beleuchtungsstrahlenweges wie auch des Betrach­ tungsstrahlenweges vollständig oder nahezu vollständig in der Achse 49 zusammenfallen; aus diesem Grund läßt sich eine präzise Fokussierung bei Verwendung einer gewöhnlichen primären Linse 52 erzielen. Um Bildrandverzerrungen zu ver­ meiden, wurde vom Erfinder festgestellt, daß der Betrieb der Abbildungsvorrichtung hochempfindlich auf die Ausrichtung der Ebene des Spiegels 54 reagiert, der so eingestellt werden muß, daß er möglichst parallel zu den optischen Achsen des Systems liegt.

Die in den Figuren dargestellte Abbildungsvorrichtung 10 ist so ausgebildet, daß sie eine Beeinträchtigung der Qualität des von der Videokamera 18 erfaßten Bildes aufgrund uner­ wünschten reflektierten Streulichtes innerhalb des Gehäuses 14 reduziert. Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, kann in dem Beleuchtungsstrahlenweg 48 verlaufendes Licht beim Auftref­ fen auf die primäre Linse 52 erste Oberflächenreflexionen der Lichtquelle zurück auf die Feldlinse 60 und danach auf die Videokamera 18 hervorrufen. Wenn auch derzeit erhält­ liche Anti-Reflexionsbeschichtungen für Linsen sehr effektiv sind, lassen sie dennoch einen Reflexionswert in der Größen­ ordnung von einem halben bis einem Prozent des einfallenden Lichtes zu. Wenn auch dieser Betrag als sehr gering und ver­ nachlässigbar beim Betrieb der Abbildungsvorrichtung 10 er­ scheinen mag, wird ein sehr viel kleinerer Prozentsatz des auf das Werkstück 12 geworfenen Beleuchtungslichtes tatsäch­ lich durch das System zurückreflektiert, und daher kann dieser Betrag unerwünschter Reflexion von der Rückseite der primären Linse 52 einen großen Verlust an Auflösung und Kontrast darstellen. Als ein Mittel zum Verringern der Aus­ wirkungen dieses unerwünschten reflektierten Streulichtes sind die Sammellinse 46 und der Beleuchtungsstrahlenweg 48 bezüglich der in der Zeichenebene der Fig. 2 liegenden Ebene unter einem Winkel angeordnet, derart, daß der Beleuchtungs­ strahlenweg 48 und der Betrachtungsstrahlenweg 58 nicht in einer gemeinsamen Ebene liegen. Aufgrund dieses geringfügi­ gen Achsenversatzes wird das von der Rückseite der primären Linse 52 reflektierte Bild der Lichtquelle auf die Feldlinse 60 an bestimmten Stelle außerhalb deren zentraler Achse geworfen. Das Bildfeld der Feldlinse 60 befindet sich inner­ halb des kreisförmigen Bereiches der Lichtquellenreflexion durch dir primäre Linse 52 und daher wird das reflektierte Licht nicht in der Videokamera 18 gesehen.

Zur weiteren Veranschaulichung werden in der nun folgenden Tabelle weitere Spezifizierungen für die wichtigsten Bestandteile des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Er­ findung gegeben:

Als weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung kann die Videokamera 18 durch ein Okular ersetzt werden, was eine Beobachtung durch eine Bedienungsperson erlaubt.

Die Fig. 3 und 4 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Abbildungsvorrichtung 80. Mehrere Bauteile der Abbil­ dungsvorrichtung 80 sind identisch mit denen des vorherge­ henden Ausführungsbeispiels und wurden daher mit den glei­ chen Bezugszeichen versehen. Die Abbildungsvorrichtung 80 unterscheidet sich von dem vorhergehenden Ausführungsbei­ spiel insofern, als sie eine Auswertung mittels Feldver­ schiebung oder Phasenverschiebung erlaubt.

Wenn in einem typischen Moirè-System das Projektionsgitter bzw. die Projektionslinse sich bezüglich der Betrachtungs­ linse bzw. des sekundären Gitters bewegt, können Fehler auftreten, die ihrer Natur nach zufällig sein können. Da jedoch bei der erfindungsgemäß ausgebildeten Abbildungs­ vorrichtung nur ein optisches Gitter 50 verwendet wird, ist eine Relativbewegung zwischen zwei Gittern nicht möglich; sie können sich jedoch zusammen bewegen. In einigen Fällen ist es erwünscht, das Gitter 50 der Abbildungsvorrichtung 80 zu bewegen, um eine Phasenverschiebungsanalyse durchzu­ führen. Die Phasenverschiebungsanalyse erfordert die Dar­ stellung des Moire-Bildes in mehreren Positionsphasen über dem Betrachtungsfeld. Der Effekt ist, das Moirè-Muster zu veranlassen, das Betrachtungsfeld zu scannen. Eine Phasen­ verschiebungsanalyse ist besonders geeignet für eine auto­ matische Analyse des entstehenden Moirè-Musters. Die Fig. 3 und 4 zeigen den Mechanismus, der dazu dient, das Gitter 50 für eine Phasenverschiebung zu verschieben. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist eine abgewandelte Plattform 82 vor­ gesehen, die eine Translationsbewegung des Gitters 50 zu­ läßt. Eine Translationseinrichtung in Form einer Stellvor­ richtung 84, die als piezoelektrisches Element, Elektro­ magnet oder anderes präzisionsgesteuertes Translations­ element ausgebildet sein kann, ist mit dem Gitter 50 durch eine Steuerstange 86 verbunden. Ein Regler 88 ist in sche­ matischer Weise in Fig. 4 dargestellt. Die Richtung der Tranlsationsbewegung des Gitters 50 ist senkrecht zu den von dem Gitter gebildeten Streifenlinien oder zumindest unter einem Winkel n bezüglich der Streifenlinien. Zur Erzielung einer Phasenverschiebung ist bei der erfindungsgemäß ausge­ bildeten Abbildungvorrichtung eine kleinere Bewegung des Gitters 50 als im Stand der Technik möglich, um eine vorge­ gebene Phasenverschiebung des Moirè-Musters zu erzeugen. Bei der Abbildungsvorrichtung 80 wird das Gitter 50 um die Hälfte der gewünschten Positionsänderung der Gitterphase verschoben, die ein Bruchteil der Gitterperiode ist, Die Translationsbewegung des Gitters 50 durch die Stellvorrich­ tung 34 kann diskontinuierlich in dem Sinne erfolgen, daß das Gitter an mehreren diskreten Stellen angehalten wird oder sie kann kontinuierlich für eine visuelle oder auto­ matisierte Analyse des sich bewegenden Streifenmusters erfolgen.

Die Abbildungsvorrichtung 80 enthält ferner einen Abbildungsmechanismus zum Bewegen des Spiegels 54 zum Erzeugen einer Moirè-Feldverschiebung. Wenn auch die Möglichkeiten zum Verschieben des Spiegels 54 und des Gitters 50 in einer einzigen Abbildungsvorrichtung 80 veranschaulicht sind, können sie jedoch - und vorzugsweise werden sie es auch - in getrennten Vorrichtungen verwirk­ licht werden. Zu Veranschaulichungszwecken sind diese Möglichkeiten jedoch in der Abbildungsvorrichtung 80 vereinigt.

Bei einer Feldverschiebung wird die Perspektive des Betrach­ tungsstrahlenganges oder des Beleuchtungsstrahlenganges be­ wegt, was eine Änderung des Okklusionswinkels zur Folge hat. Bei der Abbildungsvorrichtung 80 erfolgt dies in der Weise, daß der Spiegel 54 in einer Richtung senkrecht zur Ebene der reflektierenden Spiegelfläche bewegt wird. Diese Transla­ tionsbewegung erfolgt durch eine Translationseinrichtung in Form einer Stellvorrichtung 92, die aus einem piezoelektri­ schen Kristall oder einer anderen präzisionsgesteuerten linearen Translationseinrichtung besteht. Eine Feldverschie­ bung ermöglicht eine Analyse mittels der üblichen Werkzeuge und bietet die Möglichkeit, Absolutmessungen der Oberflä­ chenkontur durchzuführen. Die tatsächliche Feldverschiebung der Abbildungsvorrichtung 80 ist zweimal so groß wie die Bewegung des Spiegels 54. Wenn das projezierte Gitterbild bezüglich des Gitters 50 vergrößert ist, ist die Bewegung des Spiegels 54 um den Vergrößerungsfaktor des Systems größer als die Bewegung des Gitters, die für die gleiche Phasenverschiebung erforderlich ist. Aufgrund der größeren Bewegung des Spiegels 54 wird die Positionsgenauigkeit der Phasenverschiebung durch kleinere Fehler der Spiegelbewe­ gung weniger beeinträchtigt. Ein Regler 94 für die Trans­ lationsbewegung des Spiegels 54 ist in schematischer Weise angedeutet. Wie im Fall der Translationsbewegung des Gitters 50 kann die Bewegung des Spiegels 54 diskontinuierlich oder kontinuierlich erfolgen.

Claims (16)

1. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung, gekennzeichnet durch ein optisches Gitter (50), eine primäre Linse (52), eine Lichtquelle (20), die einen Lichtstrahl auf einem Beleuchtungsstrahlenweg durch das Gitter (50) und die primäre Linse (52) so schickt, daß ein Bild des Gitters (50) auf eine Object-Fokussierebene (56) projiziert wird, und eine Betrachtungsoptik (14), die einen Betrachtungsstrahlen­ weg (58) definiert, auf dem von der Objekt-Fokussierebene reflektiertes Licht durch das Gitter (50) und die primäre Linse (52) wandert, wobei der Beleuchtungsstrahlenweg und der Betrachtungsstrahlenweg relativ zueinander an der Objekt-Fokussierebene (56) unter einem Okklusionswinkel (α) so geneigt sind, daß die Konturen eines Objektes in der Objekt-Fokussierebene Moirè-Streifenmuster erzeugen.

2. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Spiegel (54), der Strahlen längs eines der Strahlenwege reflektiert, mit der Folge, daß der Beleuchtungsstrahlenweg und der Betrachtungs­ strahlenweg in der Objekt-Fokussierebene (56) konvergieren.

3. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine Spiegel-Translations­ einrichtung (92) , die den Spiegel (54) zum Andern des Okklusionswinkels (α) verschiebt.

4. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel-Trans­ lationseinrichtung (92) so ausgebildet ist, daß sie den Spiegel (54) in einer Richtung senkrecht zu der vom Spiegel (54) definierten Reflektionsebene verschiebt.

5. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel- Translationseinrichtung (92) so ausgebildet ist, daß sie den Spiegel an zwei oder mehr diskreten vorgegebenen Positionen verschiebt.

6. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel- Translationseinrichtung (92) den Spiegel in einer kontinu­ ierlichen Bewegung entlang eines Verschiebungsbereiches ver­ schiebt.

7. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (54) den von der Lichtquelle (20) kommenden Beleuchtungs­ strahl so reflektiert, daß er mit dem Betrachtungsstrahl in der Objekt-Fokussierebene (56) konvergiert.

8. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Beleuchtungsstrahlenweg eine Kollimatorlinse (44) und eine Sammellinse (46) angeordnet sind, wobei die Kollimatorlinse (44) das von der Lichtquelle (20) abgegebene Licht sammelt und Licht an die Sammellinse (46) überträgt, welche ein Bild der Lichtquelle an der Öffnung der primären Linse (52) wiedererzeugt.

9. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Betrach­ tungsstrahlenweg eine Feldlinse (60) zum Abbilden der Öff­ nung der primären Linse (52) angeordnet ist.

10. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Beleuchtungsstrahlenweg (48) und der Betrachtungs­ strahlenweg (58) geneigt sind, um einen Winkel zu definie­ ren, wenn die Strahlenwege durch die primäre Linse (52) verlaufen.

11. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Beleuchtungsstrahlenweg (48) und der Betrachtungsstrahlenweg (58) nicht in einer gemeinsamen Ebene liegen, so daß das von der ersten Fläche der primären Linse (52) wegreflektierte, auf dem Beleuchtungsstrahlenweg verlaufende Licht nicht in eine Richtung reflektiert wird, die mit dem Betrachtungs­ strahlenweg zusammenfällt.

12. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Video­ kamera (18) zum Abbilden des Objektes, die auf dem Betrach­ tungsstrahlenweg jenseits des Gitters (50) und der primären Linse (52) angeordnet ist.

13. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Gitter- Translationseinrichtung (84), die das Gitter (50) ver­ schiebt, um eine Darstellung eines Moirè-Bildes in mehreren Positionsphasen über einem Betrachtungsfeld der Abbildungs­ vorrichtung zu ermöglichen.

14. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitter-Trans­ lationseinrichtung (84) so ausgebildet ist, daß sie das Gitter (50) linear in einer Richtung senkrecht zu das Gitter bildenden linearen optischen Elementen verschiebt.

15. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitter- Translationseinrichtung (84) so ausgebildet ist, daß sie das Gitter (50) an zwei oder mehr diskreten vorgegebenen Positionen verschiebt.

16. Moirè-Konturenabbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitter- Translationseinrichtung (84) so ausgebildet ist, daß sie das Gitter (50) in einer kontinuierlichen Bewegung entlang eines Verschiebungsbereiches verschiebt.