DE4133426C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung geht aus von einer Schaltungsanordnung zur Auswertung
und zum Test eines kapazitiven Sensors nach der Gattung des Hauptan
spruchs. Es sind bereits Kapazitätsmeßbrücken zur Auswertung von
kapazitiven Beschleunigungssensoren bekannt (Leuthold H., Rudolf F.,
An ASIC for High-Resolution Capacitive Microaccelerometers, Zeit
schrift: Sensors and Actuators, 1990, Seite 278-281), bei der ein
Beschleunigungssensor bestehend aus einer beweglichen Mittelelektro
de und zwei ortsfesten Meßelektroden zwei Kapazitäten bildet, deren
relative Kapazität zueinander ein Maß für die Beschleunigung ist. Im
Meßbetrieb wird das Potential der Meßelektroden gegenüber der
Mittelelektrode periodisch mit einer bestimmten Schaltsequenz ver
ändert, die dabei auf der Mittelelektrode zu- oder abfließenden
Ladungen werden integriert und in ein Spannungssignal umgesetzt. Mit
einer anderen Schaltsequenz soll es möglich sein, im zeitlichen
Mittel eine elektrostatische Kraft auf die Mittelelektrode auszuüben
und so den Sensor auf seine Funktion zu überprüfen.
Aus der DE 39 42 159 A1 ist bereits eine Anordnung zur Verarbeitung
von Sensorsignalen eines kapazitiven Sensors mit einem Meß- und
einem Referenzkondensator bekannt. Der Referenzkondensator dient
dazu, die Meßbarkeit des Meßkondensators zu verbessern.
Die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung mit den kennzeichnenden
Merkmalen des Hauptanspruches hat den Vorteil, daß ein Selbsttest
der Sensoren ohne Veränderung der Schaltsequenz möglich ist. Die
erfindungsgemäße Schaltungsanordnung erlaubt daher einen Test der
Sensoren während des normalen Betriebs der Meßbrücke und ist beson
ders einfach zu realisieren.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor
teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Hauptanspruch
angegebenen Schaltungsanordnung möglich. Wenn der Wert der Referenz
kapazität dem Wert der Meßkapazität in der Ruhelage der Mittelelek
trode entspricht, so wird sichergestellt, daß die Schaltung immer in
einem stabilen Arbeitsbereich betrieben wird. Besonders einfach wird
das Umschalten zwischen dem Test- und dem Meßmodus durch Schalter
vorgenommen, die zwischen einer der zwei Meßkapazitäten und der
Referenzkapazität umschalten und eine Testspannung an die ersetzte
Meßkapazität anlegen. Wenn die Sensoren ständig getestet werden
sollen, um beispielsweise besonderen Sicherheitsanforderungen zu
genügen, so kann die Schaltungsanordnung so ausgelegt werden, daß
der Sensor ständig im Testmodus betrieben wird.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen darge
stellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es
zeigen
Fig. 1 die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung für einen
wahlweisen Test- und Meßmodus und
Fig. 2 die erfindungsgemäße
Schaltungsanordnung für einen ständigen Testmodus.
In Fig. 1 ist mit 1 eine Mittelelektrode und mit 2 sind zwei Meß
elektroden bezeichnet. Die Mittelelektrode 1 bildet mit jeweils
einer der Meßelektroden 2 einen Plattenkondensator, die Meßkapazi
täten 3. Die Mittelelektrode 1 ist gegenüber den Meßelektroden 2
beweglich. Dabei wird beispielsweise an einen Beschleunigungssensor
gedacht, bei dem die Mittelelektrode aus einer seismischen Masse
besteht, die an Federn elastisch aufgehängt ist, und so durch die
Kraftwirkung einer Beschleunigung aus seiner Ruhelage ausgelenkt
wird. Da die Kapazität in einem Plattenkondensator vom Abstand der
Kondensatorplatten abhängt, kann durch Messung der beiden Meßkapa
zitäten 3 die relative Lage der Mittelelektrode 1 relativ zu den
Meßelektroden 2 ermittelt und so auf die anliegende Beschleunigung
geschlossen werden. Die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung ist
jedoch nicht auf die Anwendung bei Beschleunigungssensoren be
schränkt, sondern kann in äquvalenter Weise bei allen kapazitiven
Sensoren mit mindestens zwei Kapazitäten verwendet werden.
Die Fig. 1 weist noch zwei Schalter 6, einen Schalter 7, eine
Referenzkapazität 4, eine Kapazitätsmeßbrücke 5 und eine Spannungs
versorgung 8 auf. Einer der beiden äußeren Eingänge 22 der Kapazi
tätsmeßbrücke 5 ist mit dem Schalter 7 verbunden. Wenn sich der
Schalter 7 in der Position 1 befindet, so sind die beiden äußeren
Anschlüsse 22 der Kapazitätsmeßbrücke 5 mit den Meßelektroden und
der mittlere Anschluß 21 mit der Mittelelektrode 1 verbunden. Wenn
sich der Schalter 7 in der Position 2 befindet so liegt zwischen dem
mittleren Anschluß 21 und einem der äußeren Anschlüsse 22 die
Referenzkapazität 4 und zwischen dem mittleren Anschluß 21 und dem
anderen äußeren Anschluß 22 eine Meßkapazität 3. Die Spannungsver
sorgung 8 ist bei geschlossenen Schaltern 6 mit der Mittelelektrode
1 und der Meßelektrode 2, die durch Schalter 7 von der Kapazitäts
meßbrücke 5 getrennt werden kann, verbunden.
Je nach Stellung der Schalter 6, 7 befindet sich die Schaltungsanordnung
nach Fig. 1 im Meßmodus oder im Testmodus. Wenn die
Schalter 6 geöffnet sind und der Schalter 7 in die Position 1 ge
schaltet ist, befindet sich die Schaltungsanordnung im Meßmodus. Im
Meßmodus sind die beiden Meßkapazitäten 3 mit der Kapazitätsmeß
brücke 5 verbunden. Durch die Position der Mittelelektrode 1 relativ
zu den Meßelektroden 2 ergibt sich der jeweilige Wert der Meßkapa
zitäten 3. Bei Beschleunigungssensoren besteht die Mittelelektrode
aus einem Feder-Masse-System, daß durch die Kraftwirkung einer Be
schleunigung aus der Ruhelage ausgelenkt wird. Die Kapazitätsmeß
brücke 5 kann beispielsweise so ausgelegt sein, daß sie durch einen
Vergleich der beiden Meßkapazitäten 1 ein Spannungssignal, welches
proportional zur Auslenkung der Mittelelektrode 1 ist, erzeugt. Eine
Kapazitätsmeßbrücke, die dies leistet, wird beispielsweise von der
in der Einleitung genannten Literaturstelle beschrieben.
Wenn die Schalter 6 geschlossen sind und Schalter 7 in die Position
2 geschaltet ist, so befindet sich die Schaltungsanordnung im Test
modus. In diesem Fall ist die Kapazitätsmeßbrücke 5 mit der
Referenzkapazität 4 und nur mit der einen Meßkapazität 3 ver
bunden. An die Gegenelektrode der nicht mit der Kapazitätsmeßbrücke
5 verbundenen, nunmehr durch die Referenzkapazität 4 ersetzten,
Meßkapazität 3 liegt durch die Spannungsversorgung 8 ein definiertes
Potential gegenüber der Mittelelektrode 1 an. Durch dieses Potential
wird eine elektrostatische Kraftwirkung auf die Mittelelektrode 1
ausgeübt. Da die Mittelelektrode 1 beweglich ist, wird so eine Be
wegung der Mittelelektrode 1 verursacht. Diese Bewegung verursacht
eine Veränderung des Wertes der mit der Kapazitätsmeßbrücke 5 ver
bundenen Meßkapazität 3 und wird durch die Kapazitätsmeßbrücke 5
nachgewiesen.
In Fig. 2 werden durch die bewegliche Mittelelektrode 1 und die
beiden ortsfesten Elektroden 20 zwei Plattenkondensatoren, die Meß
kapazität 10 und die Testkapazität 11, gebildet. Als Anwendung
dieser Struktur ist wieder ein kapazitiver Beschleunigungssensor
denkbar. Dieser Sensor ist mit einer Kapazitätsmeßbrücke 5, einer
Referenzkapazität 4 und einer Spannungsversorgung 8 so verbunden,
daß die Ausführung nach Fig. 2 der Schaltung in Fig. 1 im Test
modus entspricht. Die Kapazitätsmeßbrücke erfüllt die gleiche
Funktion wie in Fig. 1. Mittelelektrode 1 und Elektrode 20 der
Testkapazität 11 sind mit der Spannungsversorgung verbunden, so daß
ein Potential anlegbar ist. Der mittlere Anschluß 21 der Kapazitäts
meßbrücke ist mit der Referenzkapazität 4 und der Mittelelektrode 1
verbunden. Einer der äußeren Anschlüsse 22 der Kapazitätsmeßbrücke 5
ist mit der Referenzkapazität 4, der andere Anschluß 22 ist mit der
nicht an der Spannungsversorgung 8 anliegenden Elektrode 20 ver
bunden.
Durch die mit der Kapazitätsmeßbrücke 5 verbundene Meßkapazität 10
wird die Bewegung der Mittelelektrode 1 nachgewiesen.
Die Testkapazität 11 wird für die elektrostatische Bewegung der
Mittelelektrode 1 verwendet. An die Testkapazität 11 kann durch eine
Spannungsversorgung 8 eine Potentialdifferenz zwischen der Mittel
elektrode 1 und der ortsfesten Elektrode 20 angelegt werden. Die
dadurch resultierende Kraftwirkung bzw. Bewegung der Mittelelektrode 1
wird durch die Messung der Differenz der Meßkapazität 10 und der
Referenzkapazität 4 nachgewiesen.
Die in Fig. 2 gezeigte Schaltungsanordnung wird für einen ständigen
Testmodus des Sensors verwendet. Dies ist besonders vorteilhaft,
wenn der Sensor wegen besonderer Sicherheitsanforderungen ständig
auf seine Funktion überprüft werden muß. In so einem Fall ist die
ständige Funktionsüberwachung des Sensors wichtiger als die meß
technischen Vorteile, die sich aus der Verwendung beider Meßkapazi
täten für die Signalauswertung ergeben. Solche Sensoren sind bei
spielsweise für Sicherheitssysteme in Kraftfahrzeugen vorstellbar.
Die Spannungsquelle 8 würde in so einem Fall die Mittelelektrode 1
mit einer Wechselspannung niedriger Frequenz anregen. Die Existenz
eines entsprechenden Signals am Ausgang der Kapazitätsmeßbrücke 5
wäre dann ein Zeichen dafür, daß der Sensor funktionstüchtig ist.
Claims (4)
1. Schaltungsanordnung zur Auswertung und zum Test eines kapazitiven
Sensors, mit einen Meßmodus und eiinen Testmodus, wobei der Sensor
insbesondere zur Messung einer Beschleunigung verwendet wird und
eine auslenkbare Mittelelektrode (1) zwischen ortsfesten
Meßelektroden (2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß im Meßmodus
die Differenz von mit der Kapazitätsmeßbrücke (5) verbundenen
Meßkapazitäten (3), die von der Mittelelektrode (1) und jeweils
einer der Meßelektroden (2) gebildet sind, ein Signal für die
Auslenkung der Mittelelektrode (1) bildet, und daß im Testmodus eine
mit der Kapazitätsmeßbrücke (5) verbundene Referenzkapazität (4)
eine der Meßkapazitäten (3) ersetzt und eine Potentialdifferenz
zwischen Mittelelektrode (1) und Meßelektrode (2) der ersetzten
Meßkapazität (3) anlegbar, sowie die dadurch verursachte Auslenkung
der Mittelelektrode (1) aufgrund der Kapazitätsänderung der anderen
Meßkapazität (3) mit der Kapazitätsmeßbrücke (5) meßbar ist.
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Wert der Referenzkapazität (4) in etwa dem Wert einer der Meß
kapazitäten (2) in der Ruhelage der Mittelelektrode (1) entspricht.
3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß zum Umschalten zwischen Test- und Meßmodus Schalter
(6, 7) vorgesehen sind, und daß im Testmodus der Schalter (7) die
Kapazitätsmeßbrücke (5) zwischen einer der Meßkapazitäten (3) und
der Referenzkapazität (4) umschaltet und die Schalter (6) eine Test
spannung an die ersetzte Meßkapazität (3) anlegen.
4. Schaltungsanordnung zur Auswertung und zum Test eines kapazitiven
Sensors, wobei der Sensor insbesondere zur Messung einer
Beschleunigung verwendet wird und eine auslenkbare Mittelelektrode
(1) zwischen ortsfesten Elektroden (20) aufweist, dadurch
gekennzeichnet, daß von der Mittelelektrode (1) und mindestens einer
der Elektroden (20) eine Meßkapazität (10) gebildet ist, daß von der
Mittelelektrode (1) und von mindestens einer weiteren Elektrode (20)
eine Testkapazität (11) gebildet ist, daß an der Testkapazität (11)
eine Potentialdifferenz zur Mittelelektrode (1) anlegbar ist, und
daß durch die Änderung der Meßkapazität (10) die Auslenkung der
Mittelelektrode (1) mit der Kapazitätsmeßbrücke (5) meßbar ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4133426A DE4133426A1 (de) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | Schaltungsanordnung zur auswertung und zum test eines kapazitiven sensors |
CH2910/92A CH684366A5 (de) | 1991-10-09 | 1992-09-16 | Schaltungsanordnung zur Auswertung und zum Test eines kapazitiven Sensors. |
JP26704192A JP3272412B2 (ja) | 1991-10-09 | 1992-10-06 | 容量型センサを評価しかつテストするための回路装置 |
US07/958,032 US5351519A (en) | 1991-10-09 | 1992-10-07 | Circuit arrangement for evaluating and testing a capacitive sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4133426A DE4133426A1 (de) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | Schaltungsanordnung zur auswertung und zum test eines kapazitiven sensors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4133426A1 DE4133426A1 (de) | 1993-04-15 |
DE4133426C2 true DE4133426C2 (de) | 1993-08-05 |
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ID=6442339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4133426A Granted DE4133426A1 (de) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | Schaltungsanordnung zur auswertung und zum test eines kapazitiven sensors |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5351519A (de) |
JP (1) | JP3272412B2 (de) |
CH (1) | CH684366A5 (de) |
DE (1) | DE4133426A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4432837B4 (de) * | 1994-09-15 | 2004-05-13 | Robert Bosch Gmbh | Beschleunigungssensor und Meßverfahren |
CN105911502A (zh) * | 2016-06-12 | 2016-08-31 | 江西飞尚科技有限公司 | 一种磁通量采集仪中的积分电容不一致的改善方法 |
DE102015119701A1 (de) * | 2015-11-15 | 2017-05-18 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft, Bamberg | Verfahren für den Betrieb einer kapazitiven Sensoranordnung eines Kraftfahrzeugs |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5587518A (en) * | 1994-12-23 | 1996-12-24 | Ford Motor Company | Accelerometer with a combined self-test and ground electrode |
JP3972064B2 (ja) * | 1999-04-02 | 2007-09-05 | 独立行政法人労働安全衛生総合研究所 | センサ装置及び安全装置 |
AU1313901A (en) * | 1999-11-03 | 2001-05-14 | Med-Dev Limited | Method and apparatus for testing a capacitive sensor |
FR2844349B1 (fr) * | 2002-09-06 | 2005-06-24 | Nanotec Solution | Detecteur de proximite par capteur capacitif |
DE102004026971B4 (de) * | 2004-06-02 | 2014-08-21 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Sensor mit Fehlererkennung |
US7472028B2 (en) * | 2004-06-25 | 2008-12-30 | Kele Inc. | Sensor or capacitance measuring with a microprocessor |
FR2872900B1 (fr) * | 2004-07-09 | 2006-09-22 | Commissariat Energie Atomique | Procede de test d'un systeme de mesure a capacite variable |
EP1691203B1 (de) * | 2005-02-15 | 2012-07-25 | EM Microelectronic-Marin SA | Elektronische Schaltung mit rauscharmem Messkondensator sowie mit einer solchen Schaltung ausgerüsteter Beschleunigungsaufnehmer |
DE102005032131A1 (de) | 2005-07-07 | 2007-01-18 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung zur kapazitiven Bestimmung und/oder Überwachung des Füllstandes |
DE102006055520A1 (de) * | 2006-11-24 | 2008-05-29 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung der Funktionsfähigkeit bzw. zur Plausibilisierung eines auf einem interdigitalen Elektrodensystem basierenden Sensors sowie ein Sensor zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom und dessen Verwendung |
EP1962063B1 (de) * | 2007-02-21 | 2010-11-17 | EM Microelectronic-Marin SA | Automatischer Test einer elektronischen Schaltungsanordnung eines kapazitiven Sensors, und elektronische Schaltungsanordnung zur Ausführung des Testes |
FR2912814A1 (fr) * | 2007-07-06 | 2008-08-22 | Siemens Vdo Automotive Sas | Procede et dispositif de detection de defaillance de capteur capacitif passif |
US9367179B2 (en) * | 2008-05-27 | 2016-06-14 | Microchip Technology Incorporated | Capacitive voltage divider touch sensor |
US8215151B2 (en) * | 2008-06-26 | 2012-07-10 | Analog Devices, Inc. | MEMS stiction testing apparatus and method |
IT1397594B1 (it) * | 2009-12-21 | 2013-01-16 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico con funzione di auto-test continua e metodo di controllo di un giroscopio microelettromeccanico. |
DE102011121775B3 (de) | 2011-12-21 | 2013-01-31 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kg, Hallstadt | Steuersystem |
GB201410038D0 (en) * | 2014-06-06 | 2014-07-16 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometers |
DE102017209096A1 (de) * | 2017-05-31 | 2018-12-06 | Robert Bosch Gmbh | Auswerteschaltung für einen kapazitive Beschleunigungssensor und Vorrichtung zur Detektion einer Beschleunigung |
US11175138B2 (en) | 2019-06-26 | 2021-11-16 | Stmicroelectronics, Inc. | MEMS gyroscope control circuit |
US11162790B2 (en) * | 2019-06-26 | 2021-11-02 | Stmicroelectronics, Inc. | MEMS gyroscope start-up process and circuit |
US11255670B2 (en) | 2019-06-26 | 2022-02-22 | Stmicroelectronics, Inc. | MEMS gyroscope self-test using a technique for deflection of the sensing mobile mass |
US11320452B2 (en) | 2019-06-26 | 2022-05-03 | Stmicroelectronics, Inc. | MEMS accelerometer self-test using an active mobile mass deflection technique |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5163325A (en) * | 1988-09-23 | 1992-11-17 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Self-compensating accelerometer |
US5253510A (en) * | 1989-06-22 | 1993-10-19 | I C Sensors | Self-testable micro-accelerometer |
DE3942159A1 (de) * | 1989-12-20 | 1991-06-27 | Endress Hauser Gmbh Co | Anordnung zur verarbeitung von sensorsignalen |
DE4016471A1 (de) * | 1990-05-22 | 1991-11-28 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer neigungssensor |
DE4021056A1 (de) * | 1990-06-29 | 1992-01-02 | Bosch Gmbh Robert | Neigungsschalter |
-
1991
- 1991-10-09 DE DE4133426A patent/DE4133426A1/de active Granted
-
1992
- 1992-09-16 CH CH2910/92A patent/CH684366A5/de not_active IP Right Cessation
- 1992-10-06 JP JP26704192A patent/JP3272412B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1992-10-07 US US07/958,032 patent/US5351519A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4432837B4 (de) * | 1994-09-15 | 2004-05-13 | Robert Bosch Gmbh | Beschleunigungssensor und Meßverfahren |
DE102015119701A1 (de) * | 2015-11-15 | 2017-05-18 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft, Bamberg | Verfahren für den Betrieb einer kapazitiven Sensoranordnung eines Kraftfahrzeugs |
CN105911502A (zh) * | 2016-06-12 | 2016-08-31 | 江西飞尚科技有限公司 | 一种磁通量采集仪中的积分电容不一致的改善方法 |
CN105911502B (zh) * | 2016-06-12 | 2019-02-22 | 江西飞尚科技有限公司 | 一种磁通量采集仪中的积分电容不一致的改善方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH684366A5 (de) | 1994-08-31 |
JP3272412B2 (ja) | 2002-04-08 |
US5351519A (en) | 1994-10-04 |
JPH05273324A (ja) | 1993-10-22 |
DE4133426A1 (de) | 1993-04-15 |
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---|---|---|
DE4133426C2 (de) | ||
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