DE4132114A1 - Messaufnehmer fuer laengen- oder abstandsaenderungen - Google Patents
Messaufnehmer fuer laengen- oder abstandsaenderungenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Meßaufnehmer für Längen- oder
Abstandsänderungen und seine Verwendung in einem Kraftsensor.
Bei Kraftsensoren muß die von einer zu messenden Kraft ver
ursachte elastische Verformung eines Meßkörpers mit hoher
Genauigkeit von einem Meßaufnehmer in ein elektrisches Signal
umgewandelt werden. Parasitäre Einflüsse, wie z. B. Seiten
kräfte, überlagerte Momente oder Temperatureffekte, sollen
den Meßwert dabei möglichst wenig beeinflussen.
Aus der DE-PS 37 36 154 ist eine Wägezelle bekannt, bei der
zwischen einem zylindrischen Krafteinleitungsteil und einem
hohlzylindrischen Trageteil zwei als Verformungsringe aus
gebildete Membranen koaxial hintereinander angeordnet sind.
Sie umschließen einen Ringhohlraum, in dem auf den Ober
flächen der Verformungsringe zur Messung tangentialer Deh
nungen Dehnungsmeßelemente angebracht sind. Dabei werden
üblicherweise resistive Dehnungsmeßstreifen verwendet, deren
elektrischer Widerstand sich in Abhängigkeit der Dehnungen
ändert. Diese Dehnungsmeßstreifen haben den Nachteil, daß
ihre relative Widerstandsänderung nur etwa das Doppelte der
Dehnung beträgt. Da die Dehnung aber aus Gründen der Werk
stoffbelastung nicht wesentlich über 1% gesteigert werden
kann, variiert das auszuwertende elektrische Signal über den
Meßbereich lediglich um 2%. Zudem ist die Applikation der
Dehnungsmeßstreifen aufwendig. Im Heißklebeverfahren wird
zunächst der Kleber aufgetragen, dann die Dehnungsmeßstreifen
auf das Verformungsteil aufgebracht und schließlich die ganze
Wägezelle unter Druck mehrere Stunden im Ofen aufbewahrt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Meßaufnehmer,
insbesondere für einen Kraftsensor, zu schaffen, der eine hohe
Empfindlichkeit aufweist und einfach applizierbar ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe weist der neue Meßaufnehmer die im
Anspruch 1 genannten Merkmale auf. In den Ansprüchen 2 bis 8
werden besonders vorteilhafte Ausführungsarten des erfindungs
gemäßen Meßaufnehmers angegeben, die in großer Stückzahl in
einem automatisierten Fertigungsprozeß herstellbar sind. Zur
Verwendung des Meßaufnehmers in einem Kraftsensor ist gemäß
Anspruch 9 vorgesehen, den Meßaufnehmer an zwei Punkten zu
befestigen, die ihre relative Lage zueinander in Abhängigkeit
von der zu messenden Kraft verändern, so daß die erfaßte Ab
stands- oder Längenänderung der zu messenden Kraft entspricht.
Nach den Ansprüchen 10 und 11 können die durch Temperatur
schwankungen verursachten Abstandsänderungen ausgefiltert
werden. Die Verwendung eines Meßaufnehmers in Kraftsensoren
gemäß den Ansprüchen 12 bis 16 zeichnet sich zusätzlich durch
eine gute Unempfindlichkeit gegenüber Querkräften und Momenten
aus.
Die Erfindung hat den Vorteil, daß miniaturisierte Meßumformer
wesentlich weniger Hilfsenergie benötigen als konventionelle
Dehnungsmeßstreifen. Die erfindungsgemäßen Meßaufnehmer sind
daher ohne weiteres auch in explosionsgefährdeten Bereichen
einsetzbar, da ihr Speisestrom unterhalb der in diesen Be
reichen zulässigen Grenzwerte liegen kann. Weiterhin ist auf
grund der besonderen Eigenschaften der Halbleitermaterialien
eine größere relative Widerstandsänderung über den Meßbereich
möglich. Das bedeutet, daß zur Auswertung ein hohes elektri
sches Signal zur Verfügung steht und eine größere Empfind
lichkeit erreicht wird. Die Eigensteifigkeit des Meßaufnehmers
wird bestimmt durch den Meßbereich des miniaturisierten Meß
umformers. Da dieser in der Größenordnung von 1 N liegt, sind
die Rückwirkungen des Meßaufnehmers auf einen Kraftsensor mit
einem erfindungsgemäßen Meßaufnehmer gering und in der Praxis
vernachlässigbar. Über die Dimensionierung der Feder kann der
Meßaufnehmer leicht an unterschiedliche Meßwege angepaßt
werden. Die Fertigung der Kraftsensoren ist weitgehend auto
matisierbar, da die Meßaufnehmer mit einem einfachen Auflöt
vorgang appliziert werden können. Durch die gezielte Auslegung
der Feder ist es möglich, den Temperaturgang des Elastizitäts
moduls sowie Relaxationserscheinungen des Verformungsteils im
Kraftsensor zu kompensieren. Durch die Verwendung des Halb
leiters Silizium als Basismaterial für den miniaturisierten
Meßumformer wird die Massenherstellung in einem bekannten
Prozeß ermöglicht. Damit ist eine hohe Fertigungsgenauigkeit
bei niedrigen Herstellungskosten erreichbar.
Anhand der Zeichnungen, in denen Ausführungsbeispiele der Er
findung dargestellt sind, werden im folgenden die Erfindung
sowie Ausgestaltungen und Vorteile näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Meßaufnehmer mit Parallelogrammfeder,
Fig. 2 eine Draufsicht auf den Meßaufnehmer nach Fig. 1
ohne Schutzgehäuse,
Fig. 3 einen miniaturisierten Meßumformer als Membrane,
Fig. 4 einen Kraftsensor und
Fig. 5 ein Schnittbild des Kraftsensors nach Fig. 4.
Der Meßaufnehmer in Fig. 1, zu dem in Fig. 2 eine Drauf
sicht dargestellt ist, besteht aus einer Parallelogrammfeder
mit den Federelementen 1 und 2 sowie einer Feder 3. Er ist
umgeben von einem Schutzgehäuse 4, das mit Aussparungen 5, 6
und 7 versehen ist, welche die Auslenkungen der Feder 3 be
grenzen und zur Überlastsicherung der Parallelogrammfeder
dienen. Zur Messung einer Abstands- oder Längenänderung wird
der Sensor an zwei Punkten 8 und 9 befestigt. Über die Form
der Feder 3 und der Oberlastsicherung 4 ist der Meßaufnehmer
an verschiedene Meßwege anpaßbar und kann für bestimmte Meß
richtungen optimiert werden. Die Feder 3 ist an der Stelle 10
mit dem Meßumformer verbunden. In den Federelementen 1 und 2
der Parallelogrammfeder sind jeweils dehnungsempfindliche
Bereiche angebracht, die in Abhängigkeit von der Abstands-
oder Längenänderung ihren elektrischen Widerstand verändern.
Wird z. B. die Feder 3 an dem Anlenkpunkt 8 in Richtung x
ausgelenkt, so führt dies zu einer Dehnung der Bereiche 11 und
12 sowie zu einer Stauchung der Bereiche 13 und 14, die sich
auf der Oberfläche des Federelements 1 befinden. Da sich je
nach Richtung der Auslenkung an der Befestigungsstelle 8 die
Auslenkungen unterschiedlich auf die dehnungsempfindlichen
Bereiche auswirken, können mit dem erfindungsgemäßen Meß
aufnehmer bei geeigneter Verschaltung der dehnungsempfind
lichen Brücke, z. B. in einer Brückenschaltung, auch Ver
schiebungen der relativen Lage zweier Körper zueinander
gemessen werden.
Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung,
bei dem der miniaturisierte mechanisch/elektrische Meßumformer
als scheibenförmige Silizium-Mebrane 15 ausgebildet ist. In
die Oberseite der Membrane 15 sind dehnungsempfindliche Be
reiche 16 und 17 integriert. Durch den örtlich begrenzten
Einbau von Störstellen-Atomen werden Widerstandsfäden erzeugt,
die ähnlich den konventionellen Dehnungsmeßstreifen als Meß
widerstände dienen. In diesen dehnungsempfindlichen Bereichen
16 und 17 wird die Biegespannung infolge der Membrandehnung
unter dem Einfluß einer von außen wirkenden Kraft in ein
relativ hohes elektrisches Ausgangssignal umgeformt. Von der
Unterseite her wird die Membrane durch Ätzprozesse geschaffen.
Das in der Umgebung der Membrane verbleibende Silizium bildet
seitliche Abstützungen 18 der Membrane. Die dehnungsempfind
lichen Bereiche 16 und 17 sind mit Metallschichten 19 und 20
verbunden, an denen jeweils Drähte 21 und 22 angebondet sind,
welche die elektrischen Signale zu einer nicht dargestellten
Auswerteeinrichtung weiterleiten. Derartige Meßumformer sind
als Drucksensoren z. B. aus dem Handbuch für Ingenieure:
"Sensoren, Meßaufnehmer", 2. Ausgabe, erschienen 1988 im
Expert-Verlag, bereits bekannt. An der Oberseite der Silizium-
Membrane 15 ist über eine Metallschicht 23 mittig eine Feder
24 angebondet. Abhängig von ihren Abstands- oder Längenände
rungen übt diese Feder 24 eine Kraft auf die Membrane 15 aus,
die eine entsprechende Änderung des elektrischen Signals in
den Drähten 21 und 22 bewirkt. Weiterhin ist auf der Unter
seite der Membrane 16 über eine Metallschicht 25 eine zweite
Feder 26 befestigt. Längen- oder Abstandsänderungen dieser
Feder 26 wirken in die entgegengesetzte Richtung, so daß das
abgegriffene elektrische Signal bei dieser Ankopplungsart der
Differenz der mit den beiden Federn 24 und 26 eingekoppelten
Längen- oder Abstandsänderungen entspricht. Wird ein handels
üblicher Drucksensor entsprechend dem erfindungsgemäßen Meß
umformer abgewandelt, so hängt die Dimensionierung der Federn
24 und 26 vom Nenndruckbereich des verwendeten Drucksensors
ab. Geht man von einem Druckbereich von 10 bar und einer
Silizium-Membranfläche von 1 mm2 aus, so darf die auf die
Silizium-Membrane 15 einwirkende Nennkraft ca. 1 N betragen.
Erlaubt man Verformungswege der Meßfeder von 0,5 bis 1 mm,
dann errechnet sich die erforderliche Federkonstante bei
Verwendung einer einzelnen Feder zu cf = 0,5 bis 1 N/mm.
Aufgrund der begrenzten Haftung von Bondungen sollten die
Federn 24 und 26 die Silizium-Membrane 15 vorzugsweise nur auf
Druck belasten.
Fig. 4 zeigt einen Kraftsensor, zu dem in Fig. 5 ein hori
zontales Schnittbild dargestellt ist. Er enthält ein hohl
zylindrisches Trageteil 27, mit dem er auf einem Gegenlager
28 gehalten wird. Koaxial zum Trageteil 27 ist ein im wesent
lichen zylindrisches Krafteinleitungsteil angeordnet. Es be
steht in diesem Ausführungsbeispiel aus zwei Scheiben 29 und
30, die über vier Bolzen 31, 32, 33 und 34 miteinander fest
verbunden sind. Durch zwei koaxial hintereinander angeordnete
Membranfedern 35 und 36 wird das Krafteinleitungsteil koaxial
zum Trageteil 27 geführt. In den Zwischenraum zwischen den
beiden Scheiben 29 und 30 ragt mittig eine Platte 37, die zur
Befestigung eines Meßaufnehmers dient. Dargestellt sind das
Gehäuse 38 des miniaturisierten Meßumformers sowie eine Feder
24, die an der oberen Scheibe 29 befestigt ist, und eine mit
der unteren Scheibe 30 verbundene Feder 26. Die Bolzen 31, 32,
33 und 34 durchstoßen die Platte 37, ohne sie zu berühren, so
daß das Krafteinleitungsteil gegenüber dieser Platte bei Kraft
einwirkung beweglich ist. Diese Anordnung des Krafteinlei
tungsteils, der Membranen 35 und 36 als Verformungsteil sowie
des Trageteils zeichnet sich durch gute Unempfindlichkeit
gegenüber Querkräften und Momenten aus. Diese Unempfindlich
keit wird dadurch noch weiter gesteigert, daß der miniaturi
sierte Meßumformer im Zentrum des Kraftsensors plaziert ist.
Zudem bleiben Temperaturschwankungen ohne Einfluß auf das
Meßergebnis, wenn sich der Meßumformer exakt im Symmetriepunkt
des Kraftsensors befindet, da sie eine gleichsinnige Abstands
änderung an den Federn 24 und 26 verursachen, im Meßumformer
jedoch aufgrund der Differenzbildung nur gegensinnig das
abgegebene elektrische Signal verändern. Durch die Federn 24
und 26 ist eine Kompensation von Relaxationserscheinungen des
Verformungsteils möglich. Dazu müssen die Federn 24 und 26 so
ausgewählt werden, daß sie nach Betrag und Zeitkonstante die
gleiche Relaxation wie das Verformungsteil aufweisen. Auch der
Temperaturgang des Elastizitätsmoduls kann durch die Federn 24
und 26 auf diese Weise ausgeglichen werden. Dieser Effekt ist
unabhängig vom Verhältnis der Federkonstanten von Verformungs
teil und Federn.
Claims (16)
1. Meßaufnehmer für Längen- oder Abstandsänderungen, insbe
sondere in einem Kraftsensor,
- - mit einem miniaturisierten mechanisch/elektrischen Meß umformer und
- - mit einer Feder (3), die mit dem miniaturisierten mecha nisch/elektrischen Meßumformer verbunden ist und in Ab hängigkeit von der Längen- oder Abstandsänderung eine auf den mechanisch/elektrischen Meßumformer wirkende mechanische Größe verändert, so daß der mechanisch/elektrische Meß umformer ein elektrisches Signal abgibt, das der zu messen den Längen- oder Abstandsänderung entspricht.
2. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet,
- - daß die mechanische Größe eine Kraft ist.
3. Meßaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet,
- - daß die Feder (3) mit einer Überlastsicherung (4) versehen ist, die verhindert, daß die mechanische Größe einen zu lässigen Grenzwert überschreitet.
4. Meßaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß der miniaturisierte mechanisch/elektrische Meßumformer eine aus Halbleitermaterial gefertigte Parallelogrammfeder (1, 2) ist, in deren Verformungszonen sich Bereiche (11, 12, 13, 14) befinden, die in Abhängigkeit von der Dehnung ihre elektrische Eigenschaft verändern.
5. Meßaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet,
- - daß der miniaturisierte mechanisch/elektrische Meßaufnehmer eine aus Halbleitermaterial gefertigte Membrane (15) ist, in deren Verformungszonen sich Bereiche (16, 17) befinden, die in Abhängigkeit von der Dehnung ihre elektrische Eigen schaft verändern.
6. Meßaufnehmer nach Anspruch 4 oder 5, dadurch
gekennzeichnet,
- - daß das Halbleitermaterial Silizium ist.
7. Meßaufnehmer nach einem der Ansprüche 4 bis 6, da
durch gekennzeichnet,
- - daß die Bereiche mit Fremdatomen dotiert sind und die elektrische Eigenschaft ihr Widerstand ist.
8. Meßaufnehmer nach einem der Ansprüche 4 bis 7, da
durch gekennzeichnet,
- - daß die Feder zur Krafteinleitung an dem Halbleitermaterial angebondet ist.
9. Verwendung eines Meßaufnehmers nach einem der
vorhergehenden
Ansprüche in einem Kraftsensor,
- - mit einem Krafteinleitungsteil zur Einleitung der zu mes senden Kraft (F),
- - mit einem Trageteil (27), mit dem der Kraftsensor auf einem Gegenlager (28) gehalten wird, und
- - mit mindestens einem elastischen Verformungsteil (35, 36), welches das Krafteinleitungsteil mit dem Trageteil (27) verbindet, so daß sich in Abhängigkeit von der zu messenden Kraft (F) die relative Lage des Kraftein leitungsteils zum Trageteil (27) und die Form des Ver formungsteils (35, 36) verändern,
- - wobei mindestens ein Meßaufnehmer an jeweils zwei Punkten befestigt ist, die ihre relative Lage zueinander in Ab hängigkeit von der zu messenden Kraft (F) verändern, so daß das abgegebene elektrische Signal der zu messenden Kraft (F) entspricht.
10. Verwendung eines Meßaufnehmers nach Anspruch 9, da
durch gekennzeichnet,
- - daß zwei Meßaufnehmer vorhanden sind, deren Befestigungs punkte derart gewählt sind, daß sie im unbelasteten Zustand jeweils in gleichem Abstand liegen und bei Belastung sich die Abstände in entgegengesetzter Richtung verändern, so daß die Differenz der von beiden Meßaufnehmern abgegebenen elektrischen Signale der zu messenden Kraft (F) entspricht.
11. Verwendung eines Meßaufnehmers nach Anspruch 9, da
durch gekennzeichnet,
- - daß ein Meßaufnehmer vorhanden ist mit einer zweiten Feder, die mit dem miniaturisierten mechanisch/elektrischen Meß umformer verbunden ist und in Abhängigkeit von einer zweiten Längen- oder Abstandsänderung eine zweite auf den mecha nisch/elektrischen Meßumformer wirkende mechanische Größe verändert, wobei der zweite Befestigungspunkt der zweiten Feder so gewählt ist, daß die beiden Abstände im unbelaste ten Zustand gleich sind und bei Belastung sich in entgegen gesetzter Richtung verändert und der miniaturisierte mecha nisch/elektrische Meßumformer ein elektrisches Signal ab gibt, das der zu messenden Kraft (F) entspricht.
12. Verwendung eines Meßaufnehmers nach Anspruch 11, da
durch gekennzeichnet,
- - daß der Kraftsensor symmetrisch ist und
- - daß der miniaturisierte mechanisch/elektrische Meßumformer sich auf der Symmetrieachse befindet.
13. Verwendung eines Meßaufnehmers nach einem der Ansprüche 9
bis 12, dadurch gekennzeichnet,
- - daß das Trageteil (27) ein Hohlzylinder ist und
- - daß das Krafteinleitungsteil ein Zylinder ist, der durch das Verformungsteil (35, 36) koaxial im Innern des Trage teils (27) gehalten wird und bei Einwirkung einer zu mes senden Kraft (F) in axialer Richtung ausgelenkt wird.
14. Verwendung eines Meßaufnehmers nach Anspruch 13, da
durch gekennzeichnet,
- - daß das Verformungsteil aus zwei Membranen (35, 36) gebildet ist, die koaxial zum Trageteil (27) hintereinander angeord net sind.
15. Verwendung eines Meßaufnehmers nach Anspruch 14, da
durch gekennzeichnet,
- - daß mindestens eine Membrane eine koaxiale, ringförmige Erhebung aufweist, die in den Raum zwischen den beiden Membranen hineinragt, und
- - daß der mindestens eine Meßaufnehmer auf einer Erhebung der Membranen und dem Krafteinleitungsteil oder dem Trage teil derart befestigt ist, daß er die radiale Abstands änderung aufgrund der Kippbewegung der Erhebung bei Be lastung erfaßt.
16. Verwendung eines Meßaufnehmers nach Anspruch 14, da
durch gekennzeichnet,
- - daß das Krafteinleitungsteil eine Ausnehmung aufweist, in die ein mit dem Trageteil (27) verbundenes Befestigungs element (37) hineinragt, und
- - daß der mindestens eine Meßaufnehmer derart am Befestigungs element (37) und am Krafteinleitungsteil befestigt ist, daß er die Abstandsänderung in axialer Richtung erfaßt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914132114 DE4132114A1 (de) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | Messaufnehmer fuer laengen- oder abstandsaenderungen |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4132114A1 true DE4132114A1 (de) | 1993-04-01 |
Family
ID=6441587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19914132114 Withdrawn DE4132114A1 (de) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | Messaufnehmer fuer laengen- oder abstandsaenderungen |
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