DE3233356C2 - Druckmeßfühler - Google Patents
DruckmeßfühlerInfo
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- G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
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Abstract
Es wird ein Druckfühler angegeben, bei dem ein Fluiddruck mittels der Verformung einer Membran in ein elektrisches Signal umgesetzt wird. Der Druckfühler hat eine Anordnung von Widerstandskörpern aus einem amorphen Metallmaterial, das als ein Material für einen Dehnungsmeßstreifen verwendet wird. Die Widerstandskörper-Elemente der Widerstandskörper-Anordnung bilden jeweils einen Zweig einer Brückenschaltung, deren Ausgangssignal ein dem Druck entsprechendes Signal darstellt.
Description
35
Die Erfindung betrifft einen Druckmeßfühler gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus der US-PS 35 20191 ist ein derartiger Druckmeßfühler
bekannt, der mit vier herkömmlichen Dehnungsmeßstreifen arbeitet, die auf einer integral ausgebildeten,
sich entsprechend dem jeweiligen Druck deformierenden Membran angebracht sind. Solche Druckmeßfühler
ermöglichen zwar eine verhältnismäßig gute Druckmessung, unterliegen jedoch Beschränkungen
hinsichtlich der Meßlinearität und der maximalen Einsetztemperatur. Zur Verbesserung des Meßverhaltens
ist bei dem aus der US-PS 35 20 191 bekannten Druckmeßfühler daher ein Aufbau vorgeschlagen, bei dem an
der Membranrückseite ein langgestreckter Stahlstreifen angeordnet ist, der im Bereich der Dehnungsmeßstreifen
jeweils verhältnismäßig tiefe Rillen besitzt. Diese Ausgestaltung erfordert allerdings relativ großen konstruktiven
Aufwand.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Druckmeßfühler gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs
1 zu schaffen, der sich bei großem Einsatzbereich durch einfachen und zuverlässigen Aufbau auszeichnet.
Diese Aufgabe wird mit dem in kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 genannten Merkmal gelöst.
Der erfindungsgemäße Druckmeßfühler ermöglicht eine nahezu hysteresefreie und lineare Druckmessung,
da sich der elektrische Widerstand des amorphen Metallmaterials linear mit dem Druck unter lediglich sehr
geringer Hysterese ändert. Hierbei ist der Sättigungswert des Änderungsverhältnisses des elektrischen Widerstands
sehr hoch und liegt beispielsweise bei 5 bis 6%. Dabei zeigt die auf der Dehnung beruhende Widerstandsänderung
einen sehr einfach und zuverlässig auswertbaren sehr hohen Absolutwert, da der spezifische
Widerstand des amorphen Metailmaterials um ein Vielfaches
höher ist, als derjenige eines kristallinen Materials und beispielsweise 160 bis 190 μΩ χ cm beträgt.
Demgegenüber lassen sich beispielsweise m:t Dehnungsmeßstreifen mit einem Widerstandsdraht aus kristallinem
Metall wie beispielsweise einer Nickel-Kupfer-Legierung nur relativ geringe Ausgangsspannungen
erzielen. Darüberhinaus zeichnet sich der erfindungsgemäße Druckmeßfühler im Gegensatz zu herkömmlichen,
mit Nickel-Kupfer- oder Halbleitermaterial-Widerstandsdrähten arbeitenden Druckmeßfühlern durch
sehr hohe mechanische Belastungsfähigkeit aus, da die maximale Belastungsfähigkeit des amorphen Metallmaterials
äußerst hoch ist und beispielsweise 200 bis 400 kg/mm2 beträgt Die hohe Elastizität des Materials
erteilt dem erfindungsgemäßen Druckmeßfühler damit eine sehr hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber übermäßiger
Belastung wie etwa einer Schockbeanspruchung. Ferner hält der erfindungsgemäße Druckmcßfühler
auch sehr hohen Betriebstemperaturen von beispielsweise
2000C stand, während die maximale Betriebstemperatur bei herkömmlichen Dehnungsmeßstreifen
zwischen 8O0C und 1000C beträgt. Schließlich
zeichnet sich der erfindungsgemäße Druckmeßfühler durch sehr einfache Herstellbarkeit aus, da das amorphe
Metalimaterial als dünnes plattenförmiges Band herstellbar ist, das beispielsweise 20 μηι breit 30 μιη dick ist.
Insbesondere der Zusatz von geringen Mengen von Chrom verbessert darüberhinaus noch weiter die elastische
Verformbarkeit und stellt sehr hohe Korrosionsbeständigkeit sicher.
Vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausfuhrungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. la eine Vertikalschnittansicht eines ersten Ausführungsbeispiels
des Druckmeßfühlers,
F i g. Ib eine vergrößerte Ansicht eines Schnitts längs
einer Linie IB-IBin Fig. la,
F i g. 2 ein Schaltbild, das einen Aufbau zum Messen der elektrischen Eigenschaften eines Bands aus amorphem
Metall zeigt,
Fig.3 eine Kennlinie für den Zusammenhang zwischen
einer mechanischen Belastung und einem Widerstandsänderungsverhältnis,
Fig.4 eine Kennlinie für den Zusammenhang zwischen
der Anzahl von Belastungen und einer Klemmenspannung,
Fig.5 eine Kennlinie für den Zusammenhang zwischen
der Temperatur und der relativen Widerstandsänderung,
Fig.6 eine vergrößerte Teildraufsicht auf einen Widerstandskörper,
Fig.7 ein Schaltbild einer Äquivalenzschaltung für das Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 und
Fig.8 eine Draufsicht auf eine Membran und eine
Widerstandskörper-Anordnung bei einem zweiten Ausführungsbeispiel des Druckfühlers.
Gemäß den Fig. la und Ib ist eine elektrisch isolierende
Membran 1 zwischen einem Hauptteil 2;i und einem Deckelteil 2b eines Gehäuses 2 festgelegt. Auf die
(in Fig. la unten liegende) Rückseite der Membran wurde zuerst eine Platte 3 aus amorphem Metalliruitcrial
mit der Zusammensetzung FezeCrj (Si-B)m aufge-
bracht, aus der dann durch Ätzen vier Widerstandskörper
3a, 36,3c; 3d in Rechteck- bzw. Mäanderform gebildet
wurden. Die Widerstandskörper 3a, 3b, 3c und 3d sind alle in der gleichen, durch den Doppelpfeil A gezeigten
Richtung ausgerichtet, wobei die Mitte der Membran 1 von den Widerstandskörpern 3a, 3b, 3c und
3d umgeben ist. Die Widerstandskörper 3ß, 36 sowie die
Widerstandskörper 3c und 3d sind jeweils symmetrisch zueinander angeordnet In der gezeigten Ausführungsform der jeweiligen Widerstandskörper 3a, 3b, 3c und 3 d
hat die in de; durch den Doppelpfeil B dargestellten Richtung verlaufende Längenkomponente den größten
Anteil an der Gesamtlänge. Die Widerstandskörper sind so ausgebildet, daß sie ohne eine Druckbelastung des
Fühlers im wesentlichen gleiche elektrische Eigenschaften haben. An Anschlüsse zwischen den Widerstandskörpern
3a und 3c, zwischen den Widerstandskörpern 3c und 3b und zwischen den Widerstandskörpern 3b und
3d sind jeweils Zuleitungsdrähte 4a, 4b bzw. 4c angeschlossen.
Die Widerstandskörper 3a und 3d sind mit einem Restteil der Platte 3 aus amorphem Material verbunden,
der sich zwischen der Membran 1 und dem Hauptteil 2a des Gehäuses 2 befindet und mit letztem
verbunden ist In eine in der Innenfläche des Deckelteils 2b ausgebildete Ringnut ist ein O-Ring 5 eingesetzt,
durch den ein Zwischenraum 6 zwischen dem Deckelteil 2b und der Membran 1 luftdicht abgeschlossen wird.
Der Deckelteil 2b hat einen mit dem Zwischenraum 6 in Verbindung stehenden FIuiddruck-Einiaß 7. Die Zuleitungsdrähte
4a, 4b und 4c sind weich, so daß sie die Verformung der Membran 1 nicht behindern.
Wenn R der Widerstandswert eines Bands aus dem amorphen Meiallmaterial mit der Länge /ist, hängt die
durch eine Dehnung verursachte Widerstandswert-Änderung A R nahezu ausschließlich von einer Verlangerung
Δ /des Band ab. Da unabhängig von der Verlängerung ΔI der spezifische Widerstand und das Volumen
konstant sind, kann die folgende Gleichung aufgestellt werden:
40
AR.
R
R
= 2
ΔΙ
0)
Das amorphe Metallmaterial ermöglicht eine maximale relative Dehnung Δ ///in der Größenordnung von
3%, so daß folgich das maximale Widerstandsänderungsverhältnis bzw. die maximale relative Widerstandsänderung
Δ RIR in der größenordnung von 6% liegt. Dieser Wert von 6% ist größer ais derjenige bei
einem Widerstandsdraht aus einem Metall mit kristallincr Struktur. Weiterhin ist der absolute Wert der Widerstandsänderung
der Probe proportional zu dem spezifischen Widerstand. Daher ist der Absolutwert bei
dem amorphen Material um das Merfache höher als derjenige bei dem Widerstandsdraht aus dem Metall mit
der kristallinen Struktur. Ferner hat das amorphe Metallmaterial einen Elastizitätsmodul, der in der Größenordnung
von 104 kg/mm2 liegt und damit um 20 bis 30%
kleiner als derjenige des Materials mit kristalliner Struktur ist; infolgedessen hat das amorphe Metallmaterial
einen höheren Streckungs-Wirkungsgrad bei einer Zugbelastung als kristallines Material.
Fig.3 zeigt die Kennlinie für die Abhängigkeit der
relativen Widerstandsänderung Δ RIR von der Zugbelastung
Q als Ergebnis der Messung von Spannungen zwisehen Messing-Klemmen, zwischen denen ein Band mit
einer Breite von 1 mm, einer Dicke von 35 μΐη und einer
Länue von 100 mm aus amorphem Material mit der Zusammensetzung
Fe7eCr3 (Si-B)i9 angebracht ist über
das ein konstanter Gleichstrom von 10 mA fließt und das mit der Belastung Q gedehnt wird. Bei dieser Messung
wurde die Belastung nach einer Steigerung von 0 bis 7 kg wieder allmählich auf 0 kg verringert Die relative
Widerstandsänderung ARIR hatte eine maximale Hystere von 0,67% des Meßbereich-Endwerts. Bei einer
Belastung von bis zu 4,5 kg (für eine relative Widerstandsänderung A RIR von ungefähr 3%) !ag die Linearitätsabweichung
unter 0,6% des Meßbereich-Endwerts und zwar damit zufriedenstellend. Bei dieser Messung
wurde das Band zuvor 400 mal mit 4 kg belastet um dadurch die Zugspannungs-Verteilung in einem Dauerzustand
zu bringen.
F i g. 4 zeigt als Kennlinie die Änderungen der Klemmenspannung in Abhängigkeit von der Anzahl von Belastungen
mit 4 kg. Wenn bei dieser Messung die Anzahl der Belastungen 100 überschritten hat ergab sich keine
Änderung der Klemmenspannung mehr, so daß ein Dauerzustand erreicht ist
Fi g. 5 zeigt die Ergebnisse der Messungen der relativen
Widerstandsänderung Δ RIR bei veränderter Umgebungstemperastur T. Zur Messung wurde das vorstehend
beschriebene Band aus amorphem Metallmaterial für 2 min auf eine Temperatur von 3500C erwärmt und
dann plötzlich abgekühlt wurde, wonach nach einer 400-maligen Belastung mit 4 kg die Belastung Q von
4 kg an dem Band aufgebracht wurde. Gemäß diesen Messungen ist bei einer Umgebungstemperatur T unterhalb
von 1950C das Widerstandsänderungsverhältnis
bzw. die relative Widerstandsänderung A RIR mit Toleranzen unter 0,5% des Meßbereich-Endwerts nahezu
konstant. Bei einer Temperatur Tuber 2000C besteht
die Tendenz zu einem Anstieg der relativen Widerstandsänderung Δ RIR.
F i g. 6 zeigt eine vergrößerte Teildraufsicht auf den Widerstandskörper 3a oder 3c. Wenn der in F i g. 1 a
gezeigte Fluiddruck-Einlaß 7 mit Druck beaufschlagt wird, steigt der Druck in dem Zwischenraum 6 an, so
daß sich die Membran 1 verformt. Dabei entsteht eine Zugspannung bzw. Dehnung in radialer Richtung. Diese
Zugspannung bzw. Dehnung wird auf die Widerstandskörper 3a, 3b, 3c und 3d übertragen. Die Zugspannung
im Widerstandskörper 3a wirkt in der in F i g. 6 durch den Pfeil B dargestellten Richtung, wobei sich die Länge
L\ in Richtung des Pfeils B zu einer Länge L1' vergrößert.
Da andererseits die Zugspannungsrichtung an dem Widerstandskörper 3c die durch den Pfeil A gezeigte
Richtung ist, wird die Länge L2 in der Richtung des
Pfeils A zu einer Länge L2 vergrößert Bei diesem Gestaltungsmuster
des Widerstandskörpers ist jedoch die Länge L\ weitaus größer als die Länge L2. Daher kann
AL2 = L2'—L2 gegenüber
AL^ = L1' -L1
AL^ = L1' -L1
vernachlässigt werden. Der Widerstandskörper 3b wird wie der Widerstandskörper 3a stark gestreckt, während
der Widerstandskörper 3d wie der Widerstandskörper 3c nur wenig gestreckt wird.
Da sich dabei gemäß den vorangehenden Ausführungen der Widerstandswert des Widerstandskörpers aus
dem amorphem Metallmaterial entsprechend der Länge, närMich der Dehnung bzw. Streckung verändert, ändern
sich die Widerstandswerte der Widerstandskörper 3a und 3b entsprechend der ausgeübten Zugbelastung.
Fig. 7 ist ein Schaltbild einer Äquivalenzschaltung
des Druckmeßfühlers gemäß Fig. la. Die Widerstands-
körper 3a, 36, 3c und 3d sind miteinander zu einer Brükkenschaltung
verbunden. Wenn der Einlaß 7 nicht mit Druck beaufschlagt wird, ist die Brückenschaltung im
Gleichgewicht, so daß daher beim Anlegen einer Gleich- oder Wechselspannung zwischen den Zuleitungsdraht
4b und das Gehäuse 2 keine Spannung am Ausgang zwischen den Zuleitungsdrähten 4a und 4cauftritt
wenn
Ra2 Rb = Rc\ Rd ι ο
gilt, wobei Ra1 Rb, Rc und ßc/ jeweils die Widerstandswerte
der Widerstandskörper 3a, 36,3c bzw. 3d bezeichnen.
Wird der Einlaß 7 mit Druck beaufschlagt, ändern sich die Widerstandswerte der Widerstandskörper Ra
und Rb auf R'a bzw. R'b, wobei R'a größer als Ra und
R'b größer als Rb ist. Dementsprechend wird das Gleichgewicht der Brückenschaltung gestört und dadurch
eine dem anliegenden Druck entsprechende Spannung am Ausgang erzielt Wenn sich die Umgebungstemperatur
ändert, erfahren alle Widerstandskörper 3a, 3b, 3c und 3d die gleiche relative Änderung des
Widerstandswerts. Daher werden die Eigenschaften der Brückenschaltung durch die Temperatur nicht beeinflußt.
F i g. 8 zeigt eine Draufsicht auf die Membran t bei einem zweiten Ausführungsbeispiel des Druckmeßfühlers.
Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Hauptteile der Widerstandskörper 3a, 3b, 3c und 3d in der im wesentlichen
gleichen, durch den Pfeil B gezeigten Riehtung ausgerichtet. Im gleichen Sinne sind die Widerstandskörper
3a und 3b in der Radialrichtung der Membran 1 ausgerichtet, während die Widerstandskörper 3c
und 3d in der zu dieser Radialrichtung senkrecht stehenden Umfangsrichtung ausgerichtet sind.
Somit wird bei dem Druckmeßfühler zum Umsetzen der Verformung der Membran in ein elektrisches Signal
amorphes Metallmaterial verwendet, so daß der Druckmeßfühler in einem beträchtlichen weiten Anwendungsbereich
eingesetzt werden kann.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Druckmeßfühler zum Umsetzen eines Fluiddruckes in ein entsprechendes elektrisches Signal,
mit einer in einem Gehäuse gelagertem Membran, deren radiale Dehnung dem jeweiligen Druck entspricht
und an der mehrere Widerstandselemente angebracht sind, die in zwei Widerstandselemente-Gruppen
zusammengefaßt sind, die ihrerseits in einander unter rechtem Winkel schneidenden radialen
Richtungen der Membran angeordnet sind, wobei mindestens zwei Widerstandselemente jeweils einer
Gruppe in der gleichen Ausrichtung angeordnet und die Widerstandselemente in Form einer Brücken- is
Schaltung verbunden sind, in deren jeweils benachbarte
Zweige Widerstandselemente für einander unter rechtem Winkel schneidende Richtungen geschaltet
sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandselemente (3a bis 3d) aus amorphem
Metallmaterial bestehen.
2. Druckmeßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das amorphem Metallmaterial aus
Fe7SCr3 (Si-BJi9 besteht.
3. Druckmeßfühler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsbahnen
der beiden Widerstände einer der beiden Gruppen im wesentlichen konzentrisch zum Mittelpunkt der
kreisförmigen Membran (1) verlaufen, während die Widerstandsbahnen der beiden Widerstandselement
der anderen Gruppe im wesentlichen radial zum Membranmittelpunkt orientiert sind.
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Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DE3532333A1 (de) * | 1985-09-11 | 1987-03-19 | Degussa | Elektrischer fuehler fuer druck- und kraftmessungen |
US4974596A (en) * | 1987-12-14 | 1990-12-04 | Medex, Inc. | Transducer with conductive polymer bridge |
US4852581A (en) * | 1987-12-14 | 1989-08-01 | Medex, Inc. | Pressure transducer with conductive polymer bridge |
US4888992A (en) * | 1988-04-15 | 1989-12-26 | Honeywell Inc. | Absolute pressure transducer and method for making same |
US5481920A (en) * | 1992-11-17 | 1996-01-09 | Agency Of Industrial Science & Technology | Fluid pressure measuring sensor using strain gauges |
WO2002008711A1 (de) * | 2000-07-26 | 2002-01-31 | Robert Bosch Gmbh | Herstellungsverfahren für ein dünnschicht-bauelement, insbesondere einen dünnschicht-hochdrucksensor, und dünnschichtbauelement |
JP3462494B2 (ja) * | 2001-02-16 | 2003-11-05 | ケイテックデバイシーズ株式会社 | 応力センサ |
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US4321832A (en) * | 1980-03-07 | 1982-03-30 | Rockwell International Corporation | High accuracy measuring apparatus |
CH656227A5 (de) * | 1982-03-25 | 1986-06-13 | Mettler Instrumente Ag | Messwandler fuer einen kraftmesser. |
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