DE4115534A1 - Optoelektronische einrichtung zur vermessung von strukturkanten - Google Patents
Optoelektronische einrichtung zur vermessung von strukturkantenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Vermessung einer optischen
Strukturkante mit einer lichtempfindlichen Empfängerfläche, deren Elektroden
zumindest angenähert eine Kreis-Kreisring-Struktur haben. Solche
Einrichtungen können beispielsweise in Meßgeräten zur Bildauswertung, im
Maschinenbau zur Lagefeststellung und in der optischen Interferenzmeßtechnik
zur Ausmessung von Interferenzlinien eingesetzt werden.
Einrichtungen dieser Art und die ihnen zu Grunde liegenden Meßverfahren
sind u. a. ausführlich in dem Deutschen Wirtschaftspatent 1 56 290 (Az.
WP G 012 D/22 68 614) beschrieben. Dort ist auch gezeigt, daß mittels
ringförmiger Kreis-Kreisring-Strukturen eine richtungsunabhängige Vermessung
von Strukturkanten erreicht werden kann; eine sonst nur schwer verwirklichbare
Forderung der Praxis. Die praktische Ausführung stößt aber
auf eine Reihe von Schwierigkeiten. So ist der Meßbereich bei der Realisierung
mit Halbleiterfotodioden, beispielsweise vom Typ SP 123 oder SP
124 der Firma "Werk für Fernsehelektronik Berlin" durch die Diffusionslänge
physikalisch nicht klein genug machbar, wenn der Sperrstrom gering
und damit die Güte der Fotodiode hoch gemacht werden soll. Es ist dies in
dem Problem des Übersprechens begründet. Weiterhin ist die Differenzbildung
mittels mikroelektronischer Wandler und Operationsverstärker nur mit
einem unververhältnismäßig hohen Aufwand zu erreichen. Sind die bei der
Differenzbildung verwendeten beiden Signale groß und in gleicher Größenordnung,
so ist die Differenzbildung mit einem großen Fehler behaftet. Bei
verrauschten Kanten und Kanten mit geringem Kontrast werden die Signale so
gering und außerdem statistisch verteilt, daß das Meßverfahren nicht mehr
einsetzbar ist.
Mit der Erfindung wird ein Weg gewiesen, wie die Abmaße zwischen dem Kreis
und Kreisring für eine hohe Auflösung gering gehalten - bei Halbleiterdioden
hat dies eine Verschlechterung ihrer Eigenschaften zur Folge - und verrauschte
und kontrastlose Kantenübergänge trotz Versagens der Differenzmethode
erfaßt werden können. Vorzugsweise wird angestrebt, Strukturkanten
mit Auflösungen bis in den Nanometerbereich optoelektronisch zu vermessen.
Gemäß der Erfindung wird dies, ausgehend von einer Einrichtung der einleitend
geschilderten Art dadurch erreicht, daß die optoelektronische Empfängerfläche
mit ihren zumindest angenähert als Kreis-Kreisring-Struktur ausgebildeten
Elektroden unter Bildung von Kondensatoren als Halbleiter-Fotokapazität
ausgebildet ist, und daß diese Kondensatoren als getaktete Eingangs-
und getaktete Referenzkapazität (Ce bzw. Cref) an die Eingänge eines
Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandlers angeschaltet sind, der aus ihren
beleuchtungsabhängigen Ladungen das Meßergebnis ableitet.
Spannungs-Frequenz-Wandler nach dem Ladungsbalanceprinzip sind vorbekannt,
u. a. durch das Buch "Mikroelektronische Sensoren" von Ahlers-Waldmann, erschienen
1989 im VEB Verlag Technik, Berlin. Die Fig. 1 zeigt als Beispiel
und zum besseren Verständnis des Begriffs eine solche Wandlerschaltung,
die im erwähnten Buch auf Seite 208 zu finden ist. In dem Buch ist
auf Seite 212 auch die Verwendung einer MOS-Fotokapazität als Sensor angegeben.
Für die Erfindung ist demgegenüber wesentlich, daß sowohl die Eingangs-
als auch die Referenzkapazität als getaktete Fotokapazitäten ausge
bildet sind und zumindest angenähert Kreis-Kreisring-Struktur aufweisen.
In Weiterbildung der Erfindung können der Kreis der Struktur an einen er
sten Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandler und der Kreisring der Struk
tur an einen zweiten Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandler jeweils als
getaktete Eingangskapazität (Ce) angeschaltet und beide Wandler nachein
ander abgefragt werden. Die Differenzbildung der Signale erfolgt dann mit
tels Vorwärts- und Rückwärtszählen in einem Zähler. Dabei wird zweckmäßig
vor dem Zähler ein D/A-Wandler vorgesehen, der mittels einer Hilfsspannung
und einer Referenzspannung eine Kennlinienkalibrierung vornimmt oder es
wird eine entsprechende Kalibrierung beziehungsweise Korrektur mittels
eines dem Zähler nachgeschalteten Rechners vor der Auswertung durchgeführt.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die kapazitative Kreis-Kreisring-Struktur
mit semitransparenten Elektroden versehen ist und unter den Elektroden
Fotowiderstände oder Fotodioden angeordnet sind, die bei Beleuchtung durch
die semitransparenten Elektroden hindurch ihren Widerstand ändern, vor
zugsweise verringern. Eine an einem so angeordneten Fotowiderstand oder
einer so angeordneten Fotodiode abgeleitete, bei Beleuchtung sich verän
dernde, insbesondere sich verringernde Spannung kann als Referenzspannung
an den oder die Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandler angeschaltet
werden und ermöglicht bei einer geometrischen Anordnung zumindest in der
unmittelbaren Nähe der Mitte der erwähnten Struktur eine überproportionale
Erhöhung der Frequenz des Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandlers. Das
beruht auf der Verringerung der im Nenner der Wandlungsfunktion stehenden
Referenzspannung. Diese vorteilhafte Lösung bildet die Empfindlichkeits
funktion rezeptiver Felder neuronaler Schichten nach und bedeutet informa
tionstheoretisch gesehen einen Ortswellenhochpaß. Es wird hierdurch mög
lich, Kantenübergänge besonders gut festzustellen und sogar aus dem Rau
schen herauszuheben. In dem Deutschen Wirtschaftspatent mit dem Az.
WP G 01 N/33 85 868 wird zwar zur Merkmalsgewinnung auch an Strukturkanten an
gegeben, die laterale Inhibition neuronaler Netze zum Aufbau von Foto
empfindlichen Arrays einzusetzen. Die Reduzierung auf die Messung eines ein
zelnen Kantenübergangs ist mit diesem Vorschlag jedoch nicht gelöst.
Erfolgt die Anordnung von zumindest einem Fotowiderstand oder einer Foto
diode nicht zumindest nahezu in der Mitte der erwähnten Struktur, so lassen
sich unterschiedliche Empfindlichkeitsfunktionen und damit unterschiedliche
Ortswellenfilterungen vornehmen.
Die Form der erwähnten Struktur muß nicht exakt mathematisch einem Kreis
entsprechen. Es sind auch kreisähnliche Strukturen anwendbar, wodurch die
Empfindlichkeitsfunktionen weiter ausgestaltet werden können. Ferner kann von
linearen Kennlinien auch dadurch abgewichen werden, daß die Anschaltung der
Eingangs- und der Referenzkapazität gleichzeitig erfolgt. Dann ist die Aus
gangsfrequenz fa des Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandlers mit getak
teten Kapazitäten als Funktion des Ortes
fa = f(x)
vorzuschreiben und die Flächenform aus den Integralen
zu bestimmen.
Wird die Taktfrequenz Ft als ein von einem Sensor abgeleitetes Signal er
zeugt, so kann eine multiplikative Verknüpfung der Detektionslinie
dieses Sensors mit der Detektionskennlinie des Ladungsbalance-Spannungs-
Frequenz-Wandlers vorgenommen werden. Dies kann beispielsweise dadurch re
alisiert werden, daß einer der beiden vorerwähnten Ladungsbalance-Spannungs-
Frequenz-Wandler als Taktgenerator ein Signal mit entsprechend ab
gewandelter Frequenz liefert.
Nachstehend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher
erläutert.
In der Fig. 2 sind zwei Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandler (1) und
(2) gezeigt, deren Ausgangssignale nacheinander mittels eines Multiplexers
(3) abgetastet werden. In einem Vor-/Rückwärtszähler (4) wird die Diffe
renz der Impulse von (1) und (2) gebildet. Die getakteten Eingangskapazi
täten (Ce bzw. Cref) sind, wie in den Fig. 3 und 4 angedeutet, als inein
ander verschachtelter Kreis (5) und Kreisring (6) ausgebildet und als Foto
kapazität aufgebaut. Dazu liegt eine leitende Elektrode, wie Polysili
zium der Dicke 1 Millimeter über Siliziumdioxid der Dicke 100 Nanometer
und einer p-Wanne, an die eine konstante Eingangsspannung gelegt ist. Die
Flächen von (5) und (6) sind gleich groß und betragen je 100 Quadrat
mikrometer. Der Abstand zwischen (5) und (6) ist 3 Mikrometer. Der Kreis
durchmesser ist dann 11,3 Mikrometer. Dies entspricht etwa der Größe des
geometrischen Meßbereichs, der sich als Differenz der Frequenz von (1) und
(2) durch Vor- und Rückwärtszählung in dem Zähler (4) elektronisch ergibt.
Bei einer digitalen Auflösung von 10 Bit ist mit diesen Werten die geo
metrische Auflösung etwa 11 Nanometer. Das ist eine Verbesserung gegenüber
einer Fotodiodenanordnung (z. B. SP 123) von mehr als einer Größenordnung.
Unterhalb der Kreisfläche (5) ist, da Polysilizium semitransparent ist,
ein Fotowiderstand (7) angeordnet, der mit einer Hilfsspannungsquelle so
beschaltet ist, daß bei Beleuchtung eine Spannungserniedrigung erfolgt.
Wird diese an Stelle (8) anstelle der festen Referenzspannung angeschal
tet, so wird bei Beleuchtung der Stelle (7) die Ausgangsfrequenz von (8)
stark erhöht. Da der Quotient aus "Fotokapazität (5) durch Referenzspan
nung an (8)" die Höhe der Frequenz von (1) bestimmt, ist dies ein vorteil
hafter Weg, um einen Kantenübergang stark aus der Umgebung, z. B. aus dem
Rauschen, hervorzuheben. Die Referenzspannungserniedrigung kann im Bereich
von 20 . . . 30 Millivolt auf 1 . . . 5 Millivolt liegen. Andere Werte sind möglich
und auch vom eingesetzten Typ des Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandlers
abhängig.
Die in Fig. 3 gezeigte Detektionslinie (9) ergibt sich durch Diffe
renzbildung der Frequenzen von (1) und (2). Die in Fig. 3 gezeigte Detek
tionskennlinie (10) wird dann erhalten, wenn mit dem Signal von (1) zu
rückgezählt und dem von (2) vorwärtsgezählt wird, sowie (7) an (8) ange
schaltet ist. Dabei darf nur jeder zweite Impuls von (1) gezählt oder die
Fläche von (6) halb so groß wie die von (5) gemacht werden. Diese Werte
sind Richtwerte.
In Fig. 4 ist in einer schematischen Darstellung gezeigt, wie ein Schnitt
durch die Halbleiter-Vorrichtung aussieht. (5) und (6) sind die Elektroden
für die Kondensatoren Ce und Cref, deren Gegenelektrode durch den Sili
zium-Grundkörper gebildet wird. (7) und (7′) sind die Anschlüsse des vor
stehend bereits erwähnten Fotowiderstandes, der weitgehend zentrisch, be
zogen auf die in Fig. 3 strichpunktiert eingezeichnete Achse liegt. Mit p
ist die erwähnte p-Wanne angedeutet.
Eine Kennlinienformung kann durch die Höhe der Referenzspannungen (8) oder
(11) und/oder durch eine Umrechnungsschaltung in einem der Baugruppe (4)
nachgeschalteten Rechner vorgenommen werden.
Claims (7)
1. Einrichtung zur Vermessung von optischen Strukturkanten mittels opto
elektronischer Empfängerflächen mit zumindest angenäherter Kreis-
Kreisring-Struktur, dadurch gekennzeichnet, daß die optoelektronische
Empfängerfläche mit ihren zumindest angenähert als Kreis-Kreisring-
Struktur ausgebildeten Elektroden unter Bildung von Kondensatoren als
Halbleiter-Fotokapazität ausgebildet ist, und daß diese Kondensatoren
als getaktete Eingangs- und getaktete Referenzkapazität (Ce bzw. Cref)
an die Eingänge eines Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandlers ange
schaltet sind, der aus ihren beleuchtungsabhängigen Ladungen das Meß
ergebnis ableitet.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung
des Meßergebnisses der Wandler zugleich als Quotientenbildungsschaltung
ausgebildet ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kreisflä
che der Struktur an einen ersten Wandler und der Kreisring der Struktur
an einen zweiten Wandler, jeweils als Eingangskapazität oder als Refe
renzkapazität angeschaltet sind, und daß die Ausgänge beider Wandler
über einen Multiplexer an eine vorzugsweise als Vorwärts-Rückwärts
zähler ausgebildete Auswerteschaltung zur Ermittlung des Differenz
ergebnisses angeschaltet sind.
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Kennlinienkalibrierung und Kennlinienformung mittels Hilfs
spannung und Referenzspannung vorgesehen ist.
5. Optoelektronische Empfängerfläche mit zumindest angenäherter Kreis-
Kreisring-Struktur, insbesondere für eine Einrichtung nach einem der
vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die kapazitiven
Elektroden der Struktur semistransparent ausgebildet sind, und daß unter
den Elektroden, vorzugsweise zentrisch, zumindest ein Fotowiderstand
oder eine Fotodichte so angeordnet sind, daß die durch die semitranspa
renten Elektroden hindurchwirkende Beleuchtung der Struktur ihren Foto
widerstand verändert.
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 und Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß eine an dem Fotowiderstand oder der Fotodiode abge
leitete, bei einer Beleuchtung sich verändernde Spannung als Referenz
spannung dem oder den Ladungsbalance-Spannungs-Frequenz-Wandlern zur
Anhebung des Nutzsignals zugeführt wird.
7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn
zeichnet, daß als Taktfrequenz-Signal ein Signal vorgesehen ist, dessen
Frequenz von einem Sensor, wie einer der Fotokapazitäten eines Ladungs
balance-Spannungs-Frequenz-Wandlers abgeleitet ist.
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Publications (2)
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ID=6431538
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- 1991-05-13 DE DE19914115534 patent/DE4115534A1/de active Granted
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