DE4114786A1 - Interferometer zum bestimmen des betrags und der richtung einer messgutbewegung - Google Patents
Interferometer zum bestimmen des betrags und der richtung einer messgutbewegungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Interferometer der im Oberbe
griff des Anspruchs 1 angegebenen Art.
Interferometrische Meßanordnungen dienen in erster Linie
zur Erkennung der Bewegung eines Meßguts. Es sind die un
terschiedlichsten Interferometer-Typen bekannt. Beispiels
weise ist es bekannt, das eingangs genannte Interferometer
als sogenanntes Michelson-Interferometer auszubilden. Das
Funktionsprinzip eines Interferometer-Aufbaus nach Michel
son ist hinlänglich bekannt. Wegen seiner Bedeutung mit Be
zug auf das erfindungsgemäße Inferferometer soll das Prin
zip des Michelson-Interferometers nachfolgend kurz darge
stellt werden.
Beim Michelson-Interferometer wird ein Laserstrahl von ei
nem Strahlteiler in zwei Teilstrahlen zerlegt, wobei einer
der beiden Teilstrahlen mit einer Optik auf das Meßgut fo
kussiert wird. Dieser Teilstrahl, der Meßstrahl, wird vom
Meßgut reflektiert und mit dem anderen Teilstrahl dem Re
ferenzstrahl, zur Überlagerung gebracht. Die Überlagerung
oder Interferenz findet im selben Strahlteiler statt, der
auch zur Erzeugung der beiden Teilstrahlen dient. Je nach
Unterschied in den optischen Bewegungslängen und damit in
der Phasendifferenz schwächen sich die Teilstrahlen auf
grund der Interferenz gegenseitig ab oder verstärken einan
der. Die überlagerten Teilstrahlen weisen deshalb eine
meßortabhängige Intensitätsmodulation auf. Der Abstand der
Maxima und Minima im Überlagerungssignal entspricht einer
Verschiebung des Meßorts um die halbe Wellenlänge der
verwendeten Laserstrahlung.
Nachteilig am Interferometeraufbau nach Michelson ist es,
daß eine Bestimmung der Phasendifferenz und damit der Weg
differenz aus der Intensität der überlagerten Teilstrahlen
nur in einem Intervall möglich ist, in welchem die Inten
sität eine monoton steigende oder monoton fallende Funktion
des Ortes ist. Mit anderen Worten ist eine Messung bei die
sem Interferometer nur in einem Intervall von einer Viertel
Wellenlänge eindeutig. Nur in diesem Wellenlängenintervall
ist also beim Michelson-Interferometer eine Bestimmung des
Betrags der Meßgutbewegung möglich. Aufgrund der Symmetrie
des der Auswertung zugrundeliegenden Intensitätssignals ist
jedoch die Richtung der Meßgutbewegung parallel zur z-Achse
(Ausbreitungsrichtung des Meßlichtstrahls) unbestimmt. Das
Michelson-Interferometer eignet sich also ausschließlich
zur Bestimmung des Betrags der Meßgutbewegung.
Es sind jedoch auch Interferometer-Anordnungen bekanntge
worden, die sich neben der Bestimmung des Betrags der
Meßgutbewegung auch zur Bestimmung der Meßgutbewegung eig
nen. Ein gängiges Verfahren zur Richtungserkennung der
Meßgutbewegung ist das sogenannte Heterodyn-Verfahren.
Beim Heterodyn-Verfahren oder -Meßaufbau enthält der ver
wendete Laserstrahl zwei senkrecht zueinander polarisierte
Komponenten, deren Frequenzen sich typischerweise um einige
zehn MHz unterscheiden. In einem nicht polarisierenden
Strahlteiler wird dieser Laserstrahl in zwei Teilstrahlen
aufgespalten. Der eine Teilstrahl wird durch ein auf 45
Grad eingestelltes Polarisationsfilter geleitet, wodurch
die beiden Polarisationskomponenten des Laserstrahl mitein
ander interferieren. Die resultierende Strahlung ist zeit
lich mit einer Schwebungsfrequenz moduliert, die der Diffe
renz der Frequenzen der beiden senkrecht zueinander polari
sierten Laserstrahlkomponenten entspricht.
Der andere Teilstrahl wird in einem polarisierenden Strahl
teiler in seine beiden Polarisationskomponenten aufgespal
tet. Die eine dieser Komponenten wird als Meßstrahl, die
andere als Referenzstrahl verwendet, und die beiden reflek
tierten Komponenten werden mittels der Strahlteiler wieder
vereinigt und mittels eines weiteren Polarisationsfilters
zur Interferenz gebracht. Die resultierende Strahlung ist
mit derselben Schwebungsfrequenz moduliert, wie die mit dem
zuerst genannten Polarisationsfilter erzeugte Strahlung.
Weglängenänderungen zwischen Referenzstrahl und Meßstrahl
verursachen Phasenänderungen in der Schwebungsfrequenz. Die
Phasendifferenz zwischen der Schwebung des ersten Teil
strahls und der Schwebung des zweiten Teilstrahls ist eine
monoton wachsende Funktion der Verschiebung des Meßguts mit
einer Periodizität der halben Wellenlänge (lambda/2). Auf
diese Weise ist die Richtung der Meßgutverschiebung in je
dem beliebigen Bereich von lambda/2 eindeutig bestimmt und
durch das Mitzählen der vollständigen Phasenumläufe von
2*Pi sind auch größere Wellenlängenänderungen als lambda/2
(siehe Michelson-Interferometer) meßbar.
Der Nachteil des Heterodyn-Meßaufbaus liegt in dem
beträchtlich hohen Aufwand, der getrieben werden muß, um
zwei Polarisationsrichtungen mit definiert unterschiedli
cher Frequenz zu erzeugen. Zu diesem Zweck werden in der
Regel entweder Gaslaser mit Zeemann-Effekt oder akustoop
tische Modulatoren verwendet. Außerdem vergrößern die bei
den Polarisatoren die Anzahl der notwendigen optischen Kom
ponenten.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht
darin, einen Interferometer-Aufbau anzugeben, der ausgehend
von dem eingangs genannten Interferometer bei einfachem
Aufbau, einfacher Justage und geringem Aufwand an optischen
Bauteilen eine Betrags- und Richtungserkennung der Meßgut
bewegung erlaubt.
Gelöst wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkma
le des Anspruchs 1. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfin
dung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Der erfindungsgemäße Interferometer-Aufbau basiert also auf
einem kohärenten Lichtstrahl mit zwei senkrecht zueinander
polarisierten, frequenz- und phasengleichen Komponenten,
wobei der von diesem Lichtstrahl abgezweigte Referenzlicht
strahl vor einer Überlagerung mit dem Meßlichtstrahl einer
90-Grad-Phasenverschiebung unterworfen wird, welche die Ab
leitung zweier Ausgangssignale aus den Mischkomponenten des
Referenzlichtstrahls und des Meßlichtstrahls derart erlaubt,
daß die Richtung der Phasenverschiebung der beiden Aus
gangssignale eine eindeutige Aussage mit Bezug auf die
Meßgut-Bewegungsrichtung erlaubt. Je nach Bewegungsrichtung
der Meßgutoberfläche eilt also entweder das eine oder das
andere Ausgangssignal dem jeweils anderen Ausgangssignal um
90 Grad voraus.
Vorteilhafterweise erfolgt demnach die Richtungserkennung
mittels des erfindungsgemäßen Meßaufbaus durch eine Detek
tion der führenden Flanken der beiden Ausgangssignale oder
alternativ hierzu durch eine Detektion der Nulldurchgänge
der AC-gefilterten Ausgangssignale. Darüber hinaus erlaubt
der erfindungsgemäße Meßaufbau eine einfache und präzise
Bestimmung auch größerer Weglängenänderungen als lambda/4,
nämlich entweder durch ein vorzeichenrichtiges Mitzählen
der führenden Ausgangssignalflanken oder durch ein Zählen
der jeweiligen Nulldurchgänge.
Der erfindungsgemäße Meßaufbau ist also durch einen einfa
chen Aufbau gekennzeichnet, der ausgehend vom herkömmlichen
Michelson-Meßaufbau lediglich zusätzlich eine Verzögerungs
einrichtung, vorteilhafterweise eine lambda/8-Verzögerungs
platte und einen polarisierenden Strahlteiler umfaßt. Diese
zusätzlichen Komponenten sind verschleißfrei. Außerdem ar
beitet der erfindungsgemäße Meßaufbau ohne teure aktive op
tische Bauelemente, wie beispielsweise Zeemann-Laser oder
akustooptische Modulatoren, wie sie beim Heterodyn-Meßaufbau
oder beim Meßaufbau unter Verwendung einer Bragg-Zelle un
erläßlich sind. Außerdem ist der erfindungsgemäße Meßaufbau
äußerst kompakt und erfordert keinen größeren Justageauf
wand. Da schließlich die beiden Ausgangssignale exakt um 90
Grad phasenverschoben sind, kann die Geschwindigkeit der
Meßgutbewegung mittels eines Algorithmus in einfacher Weise
direkt abgeleitet werden. Ein weiterer Vorteil besteht in
der vollständigen Eliminierung von Oberflächeneffekten
durch Verwendung eines Polarisationsfilters im Strahlengang
des Meßstrahls, da nur der Referenzstrahl polarisationsop
tisch codiert ist.
Die erfindungsgemäß an die kohärente Lichtquelle gestellte
Anforderung (zwei senkrecht zueinander polarisierte fre
quenz- und phasengleiche polarisierte Komponenten) wird von
herkömmlichen, einfach aufgebauten Lasern erfüllt, nämlich
von jedem Laser, der in der Lage ist, einen linear polari
sierten Laserstrahl zu erzeugen. Solche Laser stehen kosten
günstig zur Verfügung.
Nachfolgend soll die Erfindung anhand der Zeichnung näher
erläutert werden; in dieser zeigt
Fig. 1 eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Inter
ferometer-Aufbaus ausgehend von einem herkömmlichen
Michelson-Interferometer und
Fig. 2 den Intensitätsverlauf der beiden Ausgangssignalen
des Interferometers von Fig. 1 in Abhängigkeit der
z-Koordinate der Meßgutoberflächen-Bewegung.
Interferometrische Messungen von Bewegungen einer Meßgut
oberfläche erfolgen jeweils in einer festgelegten Richtung,
die im allgemeinen z-Achse genannt wird. Diese z-Achse
verläuft parallel zur Verbindungslinie zwischen dem
Meßgerät und der Meßgutoberfläche, also parallel zur Aus
breitungsrichtung des Meßlichtstrahls zwischen dem Meßgerät
und dem Meßgut.
Der in Fig. 1 schematisch dargestellte Meßaufbau dient der
Richtungs- und Betragserkennung einer Meßgutbewegung in
Richtung der z-Achse. Insbesondere handelt es sich bei dem
in Fig. 1 gezeigten Meßaufbau um ein modifiziertes Michel
son-Interferometer, dessen Funktionsweise bereits eingangs
näher beschrieben worden ist.
Die kohärente Lichtquelle 1 bei dem in Fig. 1 gezeigten
Meßaufbau ist ein Laser, der einen Laserstrahl mit zwei
senkrecht zueinander polarisierten Komponenten identischer
Frequenz und identischer Phase emittiert. Diese Bedingung
wird von jedem linear polarisierten Lichtstrahl erfüllt, da
Licht Vektoreigenschaften besitzt. Die senkrecht polari
sierten Strahlungskomponenten sind in der Fig. 1 durchge
hend mit einem doppelseitigen Pfeil symbolisiert, während
die gleichzeitig von dem Laser 1 erzeugte horizontal pola
risierte Strahlungskomponente durch einen ausgefüllten
Kreis symbolisiert ist.
Der Laserstrahl wird in einem nicht polarisierten Strahl
teiler 2 an sich bekannten Aufbaus in zwei Teilstrahlen
aufgespaltet. Der eine Teilstrahl dient als Meßstrahl und
wird mittels einer Optik 3 auf eine Meßgutoberfläche 4 fo
kussiert. Das von der Meßgutoberfläche 4 reflektierte Licht
wird mittels derselben Optik 3 in den Strahlteiler 2
zurückprojiziert.
Der andere Teilstrahl, der als Referenzstrahl dient, wird
durch eine Verzögerungsplatte 5 hindurch auf einen Reflek
tor 6 projiziert. Der dargestellte Meßaufbau erlaubt in
vorteilhafter Weise die Auslegung des Reflektors 6 als ein
fachen Spiegel. Der vom Reflektor 6 reflektierte Licht
strahl durchquert erneut die Verzögerungsplatte 5, bevor er
im nicht polarisierenden Strahlteiler 2 mit dem reflektier
ten Meßstrahl überlagert wird.
Die Verzögerungsplatte 5 zeichnet sich dadurch aus, daß sie
bei Licht gleicher Frequenz unterschiedliche Brechzahlen
für unterschiedliche Polarisationsrichtungen besitzt. Da
durch erfahren die beiden senkrecht zueinander polarisier
ten Komponenten des Referenzstrahls eine Phasenverschie
bung. Die in der dargestellten Meßanordnung verwendete
lambda/8-Verzögerungsplatte erzeugt bei einmaligem Durch
gang eine Phasenverschiebung von 45 Grad. Durch den zweima
ligen Durchgang werden die beiden senkrecht zueinander po
larisierten Komponenten des Referenzstrahls um 90 Grad pha
senverschoben.
Die im nicht polarisierten Strahlteiler 2 überlagerten oder
zur Interferenz gebrachten Teilstrahlen treffen auf einen
nachgeschalteten polarisierenden Strahlteiler 7. Dieser
trennt die beiden phasenverschobenen senkrecht zueinander
polarisierten Komponenten des Referenzstrahls und der
Meßstrahl wird in zwei senkrecht zueinander polarisierte
phasengleiche Komponenten zerlegt. Sowohl die Interferenz
der horizontal polarisierten Komponenten von Meßstrahl und
Referenzstrahl wie auch die Interferenz der vertikal pola
risierten Komponenten ergeben je ein intensitätsmoduliertes
Ausgangssignal A1 bzw. A2. Die beiden Ausgangssignale A1,
A2 sind zueinander um 90 Grad phasenverschoben (Fig. 2).
Je nach Bewegungsrichtung der Meßgutoberfläche eilt entwe
der das eine oder das andere Ausgangssignal A1 bzw. A2 dem
jeweils anderen Ausgangssignal um 90 Grad voraus und er
laubt daher in einfacher Weise eine Richtungserkennung. Die
Richtungserkennung erfolgt beispielsweise durch eine Detek
tion der führenden Flanken der Ausgangssignale, oder alter
nativ hierzu durch eine Detektion der Nulldurchgänge der
AC-gefilterten Ausgangssignale A1, A2.
Darüber hinaus erlaubt der in Fig. 1 dargestellte Meßaufbau
auch die Ermittlung einer größeren Weglängenänderung als
lambda/4 (s. Michelson-Inferferometer der herkömmlichen
Art). Hierzu ist es lediglich notwendig, die führenden
Flanken vorzeichenrichtig oder die Nulldurchgänge zu
zählen.
Bei Versuchen mit dem vorstehend näher beschriebenen
Meßaufbau wurde festgestellt, daß Messungen der z-Koordina
te der Meßgutoberflächenbewegung innerhalb eines Meßbe
reichs größer als 1 mm mit einer Auflösung kleiner als 0,2 mm
möglich sind.
Claims (9)
1. Interferometer mit einer kohärenten Lichtquelle, mit
einem nicht polarisierenden Strahlteiler zur Erzeugung
eines Referenzlichtstrahls und eines auf ein Meßgut fo
kussierbaren Meßlichtstrahls aus dem Lichtstrahl der
Lichtquelle, wobei der vom Meßgut reflektierte
Meßlichtstrahl mit dem Referenzlichtstrahl zur Überla
gerung gebracht wird, und mit einer Auswerteeinrichtung
zum Bestimmen der Meßgutbewegung parallel zur Ausbrei
tungsrichtung des Meßlichtstrahls zwischen Strahlteiler
und Meßgut (z-Achse) aus dem Intensitätsverlauf des
durch Überlagerung gewonnenen Lichtstrahls,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Lichtstrahl der kohärenten Lichtquelle (1) zwei senkrecht zueinander polarisierte Komponenten gleicher Frequenz und gleicher Phase enthält,
daß eine Laufzeitverzögerungseinrichtung (5) vorgesehen ist, die von dem Referenzlichtstrahl durchsetzt ist, bevor dieser zur Überlagerung mit dem Meßlichtstrahl gelangt, und die eine 90-Grad-Phasenverschiebung der beiden senkrecht zueinander polarisierten Komponenten des Referenzlichtstrahls erzeugt,
daß ein polarisierender Strahlteiler (7) vorgesehen ist, der von dem mit dem Referenzlichtstrahl überlager ten Meßlichtstrahl durchsetzt und so ausgelegt ist, daß die beiden phasenverschobenen Referenz Strahlkomponenten und die beiden senkrecht zueinander polarisierten, pha sengleichen Meßstrahlkomponenten jeweils voneinander getrennt, miteinander zur Interferenz gebracht werden und ein Ausgangssignal (A1) bilden, das mit Bezug auf ein weiteres, durch Interferenz horizontal polarisier ter Referenz- und Meßlichtstrahlkomponenten gebildetes Ausgangssignal (A2) in Abhängigkeit der Meßgut-Bewe gungsrichtung um entweder + 90 oder -90 Grad phasen verschoben ist.
daß der Lichtstrahl der kohärenten Lichtquelle (1) zwei senkrecht zueinander polarisierte Komponenten gleicher Frequenz und gleicher Phase enthält,
daß eine Laufzeitverzögerungseinrichtung (5) vorgesehen ist, die von dem Referenzlichtstrahl durchsetzt ist, bevor dieser zur Überlagerung mit dem Meßlichtstrahl gelangt, und die eine 90-Grad-Phasenverschiebung der beiden senkrecht zueinander polarisierten Komponenten des Referenzlichtstrahls erzeugt,
daß ein polarisierender Strahlteiler (7) vorgesehen ist, der von dem mit dem Referenzlichtstrahl überlager ten Meßlichtstrahl durchsetzt und so ausgelegt ist, daß die beiden phasenverschobenen Referenz Strahlkomponenten und die beiden senkrecht zueinander polarisierten, pha sengleichen Meßstrahlkomponenten jeweils voneinander getrennt, miteinander zur Interferenz gebracht werden und ein Ausgangssignal (A1) bilden, das mit Bezug auf ein weiteres, durch Interferenz horizontal polarisier ter Referenz- und Meßlichtstrahlkomponenten gebildetes Ausgangssignal (A2) in Abhängigkeit der Meßgut-Bewe gungsrichtung um entweder + 90 oder -90 Grad phasen verschoben ist.
2. Interferometer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Auswerteeinrichtung die Meßgut-Bewegungsein
richtung anhand der führenden Flanken der beiden Aus
gangssignale (A1, A2) bestimmt.
3. Interferometer nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Auswerte-Einrichtung Weglängenänderungen des
bewegten Meßguts durch ein vorzeichenrichtiges
Mitzählen der führenden Ausgangssignalflanken bestimmt.
4. Interferometer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Auswerte-Einrichtung die Meßgut-Bewegungsrich
tung anhand der Nulldurchgänge der beiden AC-gefilter
ten Ausgangssignale (A1, A2) bestimmt.
5. Interferometer nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Auswerte-Einrichtung Weglängenänderungen des
bewegten Meßguts durch ein Mitzählen der Nulldurchgänge
der AC-gefilterten Ausgangssignale (A1, A2) bestimmt.
6. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß die kohärente Lichtquelle (1) ein Laser ist.
7. Interferometer nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Laser (1) einen linear polarisierten Lichtstrahl
erzeugt.
8. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis
7,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Laufzeitverzögerungseinrichtung (5) eine
lambda/8-Verzögerungsplatte und einen Reflektor (6) um
faßt, der so angeordnet ist, daß der Referenzlicht
strahl die lambda/8-Verzögerungsplatte (5) zweimal
durchsetzt.
9. Interferometer nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Reflektor (6) ein Spiegel ist.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
DE19914114786 DE4114786A1 (de) | 1991-05-06 | 1991-05-06 | Interferometer zum bestimmen des betrags und der richtung einer messgutbewegung |
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Publications (1)
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DE4114786A1 true DE4114786A1 (de) | 1992-11-12 |
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ID=6431098
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DE19914114786 Withdrawn DE4114786A1 (de) | 1991-05-06 | 1991-05-06 | Interferometer zum bestimmen des betrags und der richtung einer messgutbewegung |
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DE (1) | DE4114786A1 (de) |
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- 1991-05-06 DE DE19914114786 patent/DE4114786A1/de not_active Withdrawn
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