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Optischer Phasendiskriminator Die Erfindung bezieht sich auf eine
Vorrichtung zum interferometrischen Messen der Dicke eines Filmes, eines aufgedampften
Filmes oder eines Glas-zu-Glas-Intervalles und generell der optischen Phase einschließlich
Dicke oder Brechungsindex einer Schicht aus optisch transparentem Material.
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In der US-PS 2 518 647 ist eine Apparatur zur interferometrischen
Messung der optischen Phase beschrieben. Hiernach werden die Wellenfronten, die
von beiden Seiten einer von einer weißen Lichtquelle beleuchteten Schicht herrühren,
je auf ein Interferometer gerichtet, das eine geneigte durchscheinende Oberfläche
und eine ungeneigte reflektierende Oberfläche aufweist, so daß jede der beiden von
der Schicht herrührenden Wellenfronten in der Amplitude durch die geneigte durchscheinende
Oberfläche aufgeteilt werden, wobei
die zwei durch Reflexion aufgeteilten
Wellenfronten geneigt und auf eine Interferenzoberfläche gerichtet werden, während
die beiden durch Durchlaß geteilten Wellenfronten an der ungeneigten reflektierenden
Oberfläche reflektiert und auf die Interferenzoberfläche gerichtet werden, so daß
weiße Interferenzmuster auf der Interferenzoberfläche gebildet werden.
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Sodann wird die Filmdicke an Hand des Längenunterschiedes des optischen
Weges zwischen den Positionen gemessen, wo die gegenseitig einander verstärkenden
Interferenzmuster gebildet sind. Ähnliche Meßmethoden sind aus den US-PSen 2 578
859 und 2 655 073 bekannt. Jedoch sind all diese Vorrichtungen.
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von derjenigen Bauart, bei der die Messung der Schichtdicke an Hand
eines Längenunterschiedes des optischen Weges zwischen Positionen bewirkt wird,
wo die sich gegenseitig verstärkenden Interferenzmuster gebildet werden. Dieses
ist jedoch für eine Automatisierung der Messung unzweckmäßig. Eine Vorrichtung,
die hier Abhilfe schafft, ist in der US-PS 3 319 515 (= DT-PS 1 447 253) beschrieben.
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Bei dieser Apparatur werden die Lichtstrahlen, die von einer ersten
und zweiten Oberfläche einer von einer breitbandigen Lichtquelle beleuchteten Probe
herrühren, auf ein Interferrometer, beispielsweise ein Michelson-Interfer ometer
oder dergleichen, gerichtet und einer der beiden Teilstrahlengänge des Interferometers
wird innerhalb einer gewissen Spanne in Vibrationen versetzt. Hierzu wird einer
der beiden
Spiegel, auf die die beiden vom Strahlteiler des Michelson-Interferometers
aufgeteilten Wellenfronten je gerichtet werden, innerhalb einer gewissen Spanne
in Vibrationen versetzt, um eine optische Weglängendifferenz gegenUber dem anderen
Spiegel zu erzeugen. Der während einer solchen Vibration erzeugte Verschiebungsbetrag
wird durch die Zeitachse dargestellt und die verstrichene Zeit zwischen dem Zeitpunkt,
zu dem die von der Vibration herrührende Interferenzspitze auftritt und dem Zeitpunkt.in
der Spanne, der der Position entspricht, wo der vibrierende Spiegel liegt, wird
gemessen, ebenso die optische Phase als Funktion der gemessenen verstrichenen Zeit.
Diese Apparatur zeichnet sich dahingehend aus, daß dort Zeitspannen gemessen werden
und deshalb der vibrierende Spiegel sich zeitlich linear bewegen muß. Ein Spiegel
aber, der zeitlich linear vibrieren soll, ist jedoch extrem schwierig zu realisieren.
Dieses ergibt sich schon aus dem Umstand, daß bei dieser bekannten Anordnung die
Anzahl Impulse gemessen werden, die dem Verschiebungsbetrag des vibrierenden Spiegels
entsprechend, und nicht die verstreichende Zeit gemessen wird.
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Aufgabe der Erfindung ist es deshalb in erster Linie,ein Meßverfahren
bereitzustellen, bei dem kein schwingender Spiegel verwendet, sondern eine optische
Weglängendifferenz erzeugt wird.
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Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist in den Ansprüchen gekennzeichnet.
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Gemäß der Erfindung wird dieses also im wesentlichen erreicht durch
Amplitudenteilung zweier Wellenfronten, die von beiden Seiten einer Schichtprobe
herrühren, mit Hilfe eines Strahlteilers in einem Interferometer , durch Neigen
von zwei der aufgeteilten Wellenfronten gegenüber den beiden anderen Wellenfronten
und gegenseitiges Uberlagern derselben und durch Messen des Abstandsintervalles
zwischen den Spitzen eines von der Überlagerung herrührenden weißen Interferenzmusters
mit Hilfe eines Abtasters Nachstehend ist die Erfindung an Hand in der Zeichnung
dargestellter Ausführungsformen im einzelnen beschrieben; es zeigen: Fig. 1 und
2 in schematischer Darstellung des der Erfindung zu Grunde liegenden Prinzipes,
Fig. 3 und 4 ein weißes Interferenzmuster bzw. dessen Wellenform, Fig. 5 und 6 in
schematischer Darstellung eine erste bzw. zweite Ausführungsform der Erfindung,
Fig.
7 und 8 in schematischer Darstellung eine dritte bzw. vierte Ausführungsform der
Erfindung und Fig. 9 und 10 in schematischer Darstellung eine fünfte Ausführungsform
der Erfindung.
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Entsprechend Fig. 1 beleuchtet das von einer Quelle 1 für breitbandiges
weißes Licht herrührende Lichtstrahlenbündel 2 eine Probe 3. Das Lichtstrahlenbündel
2 erzeugt ein an der ersten reflektierenden Oberfläche der Probe 3 reflektiertes
Lichtstrahlenbündel 5 und ein unter entsprechender Brechung in die Probe eintretendes
und dort an der zweiten reflektierenden Probenoberfläche reflektiertes Lichtstrahlenbündel
4.
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Das Strahlenbündel 4 tritt aus der Probe erneut unter entsprechender
Brechung aus, um ein parallel zum reflektierten Licht strahlenbündel 5 verlaufendes
Lichtstrahlenbündel 6 zu erzeugen. Die Probe habe die Dicke d, einen Brechungsindex
n, und der Einällswinkel des Lichtstrahlenbündels an der zweiten reflektierenden
Oberfläche sei . Dann wird ein Abstand von 2nd cos zwischen den Lichtstrahlenbündeln
5 und 6 erzeugt. Diese beiden Strahlen treten in ein sog. Michelson-Interferometer
ein, das aus einem Strahlteiler 7, Spiegeln 9 und 11 und einer Linse 12 aufgebaut
ist, wo die Strahlenbündel am Strahleiler 7 in der Amplitude aufgeteilt werden,
um zu Strahlenbündeln 8 bzw. 10 zu führen. Das Strahlenbündel 8 wird am Spiegel
9 reflektiert und geht erneut durch den Strahlteiler 7 und weiter durch die Linse
6 zu einem Schirm
13. Das andere Lichtstrahlenbündel 10 wird am
Spiegel 11 reflektiert und am Strahlteiler 7 erneut reflektiert, um über die Linse
12 auf den Schirm 13 zu gelangen. Es sei angenommen, daß der Spiegel 11 gegenüber
dem Spiegel 9 geneigt ist. Fig. 2 zeigt ein virtuelles Bild 11' des Spiegels 11
gegenüber dem Strahlteiler und dem Spiegel 9', der der Spiegel 9 selber ist. In
dieser Fig. sind die beiden Spiegel gleichfalls gegeneinander geneigt. Es sei angenommen,
daß zwei Lichtstrahlenbündel 5' und 6', die gegenseitig außer Phase sind, in dieses
Spiegelsystem eintreten; dann werden die zur Interferenz beitragenden Komponenten
die Reflexion des Lichtstrahlenbündels 6' am Spiegel 11' und die Reflexion des Lichtstrahlenbündels
5' am Spiegel 9' sein, und das weiße Interferenzmuster entsteht am Schnittpunkt
14 zwischen den beiden Reflexionen.
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Mit parallel zum Spiegel 9' angeordneter x-Achse ist die Position,
wo das weiße Interferenzmuster lokalisiert ist, an einer Stelle gelegen, die etwa
um nd cos /tan @ g vom vom Schnittpunkt 15 zwischen den Spiegeln 9' und 11'
entfernt gelegen ist. Diese Stelle ist daher dargestellt durch x=nd cos 0/tan 0.
Zusätzlich zu dlesem weiße: Interfer muster wird ein von den Lichtstrahlen 5' und
6' selber herrührendes weißes Interferenzmuster in der Nachbarschaft des Schnittpunktes
15 erzeugt, es wird also ein weißes Interferenzmuster von diesen Strahlen 5' und
6' auch an der Stelle x=-nd cos 0/tan 8 erzeugt, die richtungsmäßig gegenüber dem
Schnittp'iulkt 5 entgegengesetzt ist. (Siehe Fig.
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3.) Sonach fokussiert die in Fig. 1 dargestellte Linse 12 diese lokalisierten
weißen Interferenzmuster auf den Schirm 13. Hat die Linse 12 die Vergrößerung Ix,
dann können die auf den Schirm 13 projizierten Interferenzmuster in der in Fig.
3 dargestellten Weise beobachtet werden. Die Lichtintensitätsverteilung in Richtung
der x-Achse kann in einem solchen Fall wiedergegeben werden mit I(x)=ji(k) cos2(knd
cos ) cos2(kx tan @) dk, wobei i(k) erhältlich ist durch Multiplikation der
spektralen Verteilung der Lichtquelle mit der spektralen Empfindlichkeit des Beobachtungssystems
und der spektralen Durchlässigkeit des optischen Systems, und wobei k die Anzahl
der Wellen ist. Eine typische Form einer solchen Lichtintensitätsverteilung ist
in Fig. 4 dargestellt. Es sei angenommen, daß die bei x=O erzeugte weiße Interferenzspitze
als die mittlere Spitze, die bei x=nd cos / tan g erzeugte weiße Interferenzspitze
als eine erste Seitenspitze und die bei x=-nd cos /tan zu erzeugte weiße Interferenzspitze
als eine zwete Seitenspitze definiert sind.
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Dann kann die Größe nd cos /tan 8 erhalten werden durch Bestimmen
des Abstandes von dem Punkt, an dem die mittlere Spitze erzeugt wird, bis zu dem
Punkt, an dem die erste oder zweite seitliche Spitze erzeugt wird, oder durch Bestimmen
des Abstandes von dem Punkt, an dem die erste seitliche Spitze erzeugt wird, bis
zu dem Punkt, an dem die zweite seitliche Spitze erzeugt wird, oder durch Bestimmen
des
Abstandes von einem Bezugspunkt auf der vorbestimmten x-Achse
bis zu dem Punkt, wo die erste oder die zweite Seitenspitze erzeugt wird. Sonach
kann durch Einsetzen des Wertes des Brechungsindexes n der Probe in nd cos /tan
4 die Dicke d der Probe gemessen werden.
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Sollte der Brechungsindex n der Probe gleichfalls unbekannt sein,
so ist es möglich, den Brechungsindex n und die Dicke d der Probe durch individuelles
zweimaliges Messen unter einem Projektionswinkel auf die Probe, beispielsweise für
=0° und =450,zu bestimmen. In Fig. 1 ist die zu messende Probe als zwei reflektierende
Oberflächen aufweisend beschrieben worden, hat jedoch eine Probe mehr als zwei reflektierende
Oberflächen, d. h. umfaßt sie mehrere Schichten, dann wird, wenn genügend Licht
an jeder der reflektierenden Oberflächen reflektiert wird, ein weißes Interferenzmuster
an einer Stelle erzeugt werden, die der Dicke einer jeden Schicht entspricht. Hierdurch
ist es möglich, die Dicke einer jeden Schicht zu messen.
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Auch bei einer doppel brechenden Substanz kann die zwischen den die
Substanz durchlaufenden P-polarisierten und S-polarisein Lichtstrahlenbündeln erzeugte
Verzögerung in der beschriebenen Weise gemessen werden.
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Das vorliegende Verfahren ist sehr vorteilhaft dahingehend, daß die
Spiegel des Interferometers in etwas geneigter Position zueinander fixiert werden
können und daß keine bewegten Teile wie die Schwingspiegel des Interferometers nach
der US-PS 3 319 515 (= DT-PS 1 447 253) vorhanden six4 die eine sehr sorgfältige
Einstellung benötigen. Ein weiterer Vorteil ergibt sich aus der nachstehenden Beschreibung
einer Methode zum Feststellen eines räumlich erzeugten weißen Interferenzmuster
. Eine Methode zum Feststellen eines weißen Interferenzmusters ist eine eindimensionale
Fotodiodenanordnung an der Position des Schirms in Fig. 3 parallel zur x-Achse anzuordnen.
Wenn dann die Fotodiodenanordnung aufeinanderfolgend abgetastet wird, wird ein weißes
Interferenzmuster , das in der Zeitachse auseinandergezogen ist, erzeugt, um so
die Dicke der Probe aus dem Zeitintervall erhalten zu können, indem die Interferenzßpitzen
erzeugt werden. Die Verwendung einer solchen Fotodiodenanordnung ist dahingehend
vorteilhaft, daß sie hinsichtlich der Linearität viel besser ist als die mit dem
Verfahren nach der US-PS 3 319 515 (= DT-PS 1 447 253) erhältliche Linearität, da
es dort sehr schwierig ist, bewegliche Spiegel guter Linearität und guten Impulses
zu erhalten, die jeden der Teilstrahlengänge des Interferometers ändern. Tatsächlich
können Bauelemente mit je einer großen Anzahl (mehrer hundert bis zweitausen) eindimensional
angeordneter Fotodioden im Handel beispielsweise von der Reticon Company Incorporated,
USA, bezogen.
und ohne weiteres für die vorliegenden Zwecke verwendet
werden. Die Feststellung des weiße Interferenzmusters kann auch unter Verwendung
von ITV bewerkstelligt werden, das dieselbe Funktion wie die Fotodiodenanordnung
hat. Alternativ kann das weiße Interferenzmuster durch Drehung oder Schwenkung eines
drehbaren Spiegels 16 um eine Achse 17 festgestellt werden, wie dieses bei 18 in
Fig. 5 angedeutet ist, und mit Hilfe einer Nadellochblende 19 und eines Fotodetektors
20. In diesem Fall kann eine größere Lichtmenge erhalten werden, wenn für die Sdellochblende
19 ein Spalt benutzt wird eingedenk des Umstandes, daß das Nadelloch eindimensional
(Fig. 3) ausgeführt ist.
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Weiterhin kann wie in Fig. 6 ein Nadelloch oder ein Spalt 21 in Richtung
des Doppelpfeils 23 bewegt werden und kann die Verteilung des weißen Interferenzmusters
am Fotodetektor 22 festgestellt werden.
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Bei jeder der vorstehend beschriebenen Feststellmethoden für das weiße
Interferenzmuster , wird dieses eindimensional erzeugt, und im Hinblick hierauf
kann eine zylindrische Linse mit der Linse 12 kombiniert werden, um eine größere
Lichtmenge zu erhalten. Ein optisches System, bei dem eine solche zylindrische Linse
benutzt ist, ist in Fig. 7 dargestellt.
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Ein optisches System, bei dem eine solche zylindrische Linse benutzt
ist, ist in Fig. 7 dargestellt. Das von einer Lichtquelle 101 ausgehende Lichtstrahlenbündel
wird auf eine Probe über eine bilderzeugende Linse 102 konzentriert und das an der
Probe reflektierte Lichtstrahlenbündel wird durch eine Linse 104 im wesentlichen
kollimiert und auf ein Interferometer 105 des Neigungstyps gerichtet.
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Das in der Nachbarschaft des geneigten Spiegels des Interferometers
erzeugte weiße Interferenzmuster wird auf eine eindimensionale Fotodiodenanordnung
durch ein anamorphotisches System 106, 107 abgebildet. In diesem Fall wird durch
Kürzermachen der Brennweite der Zylinderlinse 107, die in der zur Richtung der Diodenanordnung
senkrechten Richtung Abbildungsfunktion hat, als die Brennweite der Zylinderlinse
106, die ihre Abbildungsfunktion in Richtung der Diodenanordnung hat, die Längsvergrößerung
des weißen Interferenzmusters nach Fig. 3 im Vergleich zur seitlichen Vergrößerung
reduziert, um dadurch das Licht des weißen Interferenzmusters auf die Oberfläche
der eindimensionalen Fotodiodenanordnung wirksam richten zu können.
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Das Interferometer ist zwar als Michelson-Interferometer beschrieben
worden, es kann aber auch ein Mach-Zehnder-Interferometer oder dergleichen ebenfalls
verwendet werden.
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Analog zu diesen Interferometern kann auch ein optisches
System
mit einem Wollaston-, Rochon- oder Senarmont-Prisma verwendet werden. Fig. 8 zeigt
eine Ausführungsform mit einem Wollaston-Prisma. LetztEres kann hergestellt werden
durch Schneiden eines doppelbrechenden Materials, z. B.
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eines geeigneten Kristalles , in ein Stück 54, dessen optische Achse
in der angegebenen Weise senkrecht zur Papierebene orientiert ist, und in ein Stück
55, dessen optische Achse entsprechend dem dargestellten Doppelpfeil parallel zur
Papierebene verläuft, wonach dann diese beiden Stücke zusammengeklebt werden. Vor
dem Wollaston-Prisma befindet sich ein Polarisator 53, dessen Polarisatiònsrichtung
einen Winkel von 450 mit den optischen Achsen der Kirstalle 54 und 55 bildet. Ein
nachgeschalteter Anaylsator 56 ist so angeordnet, um eine parallele oder gekreuzte
Nicol-Anordnung mit dem Polarisator zu bilden. Wenn die Wellenfront 51 des an der
Oberfläche der Probe 3 reflektierten Lichtstrahlenbündel 5 und die Wellenfront 52
des an der Rückseite der Probe reflektierten und im optischen Weg um 2nd cos verzögerten
Lichtstrahlenbündels 6 auf dieses System einfallen, werden die Well3nfronten 51
und 52 durch das Wollaston-Prisma je in zwei Wellenfronten aufgespalten, während
gleichzeitig die Wellenfronten geneigt werden, um dadurch Wellenfronten 51t, 52'
und 51U, 52" zu erzeugen.
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Es sei angenommenS daß die Achse, wic in Fig. 8 bei 62 dargestellt,
ihren Ursprung auf einer Ebene habe, wo die Dicken der Prismen 54 und 55 gleich
sid0 Die optische Weglängendifferenz,
die zwischen den Wellenfronten
51' und 52' erzeugt wird, ist gegeben durch 2(ne-no)y tan Q, wobei nO und ne die
Brechungsindizes der doppelbrechenden Substanz für den ordentlichen bzw. außerordentlichen
Strahl bedeuten.
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Die Wellenfronten 51' und 51" sowie die Wellenfronten 52' und 52"
interferrieren gegenseitig sn der Nachbarschaft des Punktes 58 oder y=O, und liefern
die mittlere Spitze.
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Die Wellenfronten 51' und 52n interferieren gegenseitig in der Nähe
des Punktes 57, und die Wellenfronten 52' und 51" interferieren gegenseitig in der
Nähe des Punktes 59.
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Diese Interferenzen erzeugen je Seitenspitzen. Diese finden an einer
Stelle statt, wo 2nd cos 0 ungefähr gleich 2(ne - nO)y tan 8 ist, d. h. in der Nachbarschaft
von y=nd cos /(ne - nO) tan Q. Diese weißen Interferenzmuster sind in der Nahe des
Wollaston-Prismas vorhanden, daher fokussiert die Linse 60 diese Muster auf einen
Fotodetektor 61, beispielsweise eine Fotodiodenanordnung. Die Verwendung eines Wollaston-Prismas
erlaubt auch die Messung von Dicke und Brechungsindex der Probe wie dieses bei Verwendung
eines Michelson-Interferometers der Fall ist. Beträgt bestenfalls die Dicke der
Probe einige zehn -tIikrometer, dann können die Neigungen der Wellenfronten einige
Winkelminuten sein.
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Wenn das Wollaston-Prisma aus Kristallen aufgebaut wird, dann kann
die Dicke in der Größenordnung von 2 mm liegen, um einen solchen Neigungsgrad für
die Wellenfronten zu erzeugen,
was ersichtlich zu einem sehr kompakten
Aufbau des Interferometers führt. Sonach hat ein mit einem Wollaston-Prisma arbeitendes
Interferometer zahlreiche Vorteile über das Michelson-Interferometer: Die Neigungen
der Wellenfronten können während der Herstellung des Prismas bestimmt werden, so
daß die Notwendigkeit der Einstellung der Spiegelneigung während des Aufbaues eines
Michelson-Interferometers entfällt; außerdem treten keine Veränderungen mit der
Zeit auf, und der Ausbau ist äußerst kompakt.
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Bei der Ausführungsform nach Fig. 7, bei der eine eindimensionale
Fotodiodenanordnung verwendet ist, ist ein optisches System zur Reduzierung des
weißen Interferenzmusters in der zur Richtung der Diodenanordnung senkrechten Richtung
benutzt worden, um die Lichtmengen wirksam auszunutzen, aber ein hierzu zu verwendendes
anamorphotisches System ist üblicherweise mit größeren Linsenfehlern behaftet.
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Fig. 9, 1Oa und lOb zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel des optischen
Systems, mit dem die Lichtmenge des Interferenzmusters wirksam auf die eindimensionale
Fotodiodenanordnung gerichtet werden kann. Fig. 10a ist eine linearisierte Schnittansicht
des Systemstrahlenganges und Fig. 1Ob eine linearisierte Draufsicht hierauf. Das
von einer Quelle 110 für weißes Licht herrührende Lichtstrahlenbündel wird von einer
Linse 111 im wesentlichen kollimiert und sodann im BUndeldurchmesser
durch
ein afokales Zylinderlinsensystem 112, 113 vertikal komprimiert, um eine Spaltöffnung
114auszuleuchten. Das die Spaltöffnung 114 passierende parallele Lichtstrahlenbündel
wird durch eine Polarisatorplatte 115 geschickt und durch eine Linse 116 auf die
Probenoberfläche 117 konzentriert.
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Bei der vorliegenden Erfindung braucht das Licht nicht immer auf die
Probenoberfläche konzentriert zu werden, jedoch ist eine solche Lichtkonzentration
von Vorteil, wenn die Oberflächenbeschaffenheit der Probe ungünstig ist, da hierdurch
der Einfluß der Probenoberflächenbeschaffenheit verringert und das Nutz/Störsignal-Verhältnis
im Ausgangssignal der Diodenanrdnung verbessert wird.
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Das an der Probe 117 reflektierte Lichtstrahlenbündel wird über eine
Linse 118 auf ein Neigungstyp-Interferometer 119 gerichtet. Bei dieser Ausführungsform
ist das Interferometer ein Wollaston-Prismeninterferrometer.
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Die Umgebung des Zentrums des Wollaston-Prismas und der Spaltöffnung
114 sind zueinander konjugiert derart, daß das Bild der Spaltöffnung in der Nähe
des Zentrums des Wollaston-Prismas erzeugt wird. Da ein weißes Interferenzmuster
im Licht strahlenbündel des Bildes der
Spaltöffnung in der Nähe
des Zentrums des Wollaston-Prismas erzeugt wird, wird dieses Interferenzmuster über
eine polarisierende Platte 120 auf die eindimensionale Fotodiodenanordnung 122 mit
Hilfe einer bilderzeugenden Linse 121 projiziert. Da das Bild der Spaltöffnung 114
gleichfalls auf der Fotodiodenanordnung 122 erzeugt wird, kann die Lichtmenge des
weißen Interferenzmusters auf die Fotodiodenanordnung ohne Verlust gerichtet werden,
wenn die Größe des Spaltöffnungsbildes kleiner als die Größe der Lichtempfangsfläche
der Fotodiodenanordnung 122 gemacht wird.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform, bei der das weiße Interferenzmuster
auf die Fotodiodenanordnung 122 mit Hilfe eines üblichen bilderzeugenden Linsensystems
121 gerichtet wird, ist der Einfluß von Verzeichnungen und ähnlichen Linsenfehlern
kleiner als bei der vorigen Ausführungsform, bei der ein anamorphotisches Linsensystem
benutzt wird.
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Die Richtung der Ablenkung der polarisierenden Platte bildet bei der
vorstehenden Ausführungsform einen Winkel von 4 zur optischen Achse des Wollaston-Prismas,
wie dies auch bei der vorliegenden AuSuhrungsform der Fall war.
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Zwar ist bei allen Ausführungsbeispielen der Erfindung für die Lichtquelle
eine Quelle weißen Lichtes benutzt worden, aber auch Jede andere Quelle für sichtbares
oder unsichtbares Licht ist in gleicher weise brauehWar9 sofern sie ausreichend
breitbandig
ist.
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Mit der vorliegenden Erfindung werden daher im Vergleich zu der üblichen
Dicken-Meßmethode Vorteile u. a. dahingehend erreicht, daß die Dicke und der Brechungsindex
einer Probe zerstörungsfrei und berührungsfrei gemessen werden können, die. Messung
selber nur sehr kurze Zeit benötigt und die Apparatur ohne jeden beweglichen Teil
aufgebaut, also in Kompaktbauweise realisiert werden kann.