DE4112150A1

DE4112150A1 - Lochkoerper und ventil mit lochkoerper

Info

Publication number: DE4112150A1
Application number: DE4112150A
Authority: DE
Inventors: Martin Dipl Ing Dr Maier; Hans-Peter Trah; Juergen Dipl Ing Buchholz; Udo Dipl Ing Jauernig
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1990-09-21
Filing date: 1991-04-13
Publication date: 1992-03-26
Anticipated expiration: 2011-04-14
Also published as: DE4112150C2; EP0476298B1; JPH04272475A; US5402937A; ES2064831T3; KR920006635A; EP0476298A1; KR100190478B1; DE59103408D1

Description

Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einem Lochkörper bzw. einem Ventil mit einem Lochkörper nach Anspruch 1 bzw. 15. Aus der DE 32 40 554 A1 ist bereits ein Einspritzventil zur Einspritzung eines Brenn stoff-Gas-Gemisches bekannt, das an seinem stromabwärtigen Ende eine Gasführungshülse aus einem Blech aufweist. Die Abspritzöffnung des Einspritzventils ist von einem mit einem Gasringkanal in Verbindung stehenden Gasringspalt an der Gasführungshülse in unmittelbarer Nähe umgeben. Zur Anpassung des die Gasmenge zumessenden Gasringspaltes an die Bedürfnisse der Brennkraftmaschine ist es aufgrund der Fer tigungstoleranzen des Gasringspaltes erforderlich, die Gasmenge an jedem einzelnen Einspritzventil zu messen und dann die Gasführungs hülse entsprechend zu verbiegen oder zu verschieben, d. h. einzu stellen. Dieser Einstellvorgang und damit die Optimierung des Gas ringspaltes erfordert einen hohen Aufwand, so daß die Herstellung des bekannten Einspritzventils in der Großserienfertigung hohe Kosten verursacht.

Bekannt ist des weiteren aus der EP 03 54 659 A2 ein Einspritzven til, bei dem ein aus zwei Siliziumplättchen bestehender Lochkörper verwendet ist. Die Abspritzöffnungen des oberen Plättchens und die Durchlaßöffnung des unteren Plättchens sind dabei versetzt zueinan der angeordnet. Die Plättchen dienen jedoch nur zur Brennstoffauf bereitung bzw. -zumessung, aber nicht zur Dosierung eines den Brenn stoff umfassenden Gases.

Vorteile der Erfindung

Die erfindungsgemäße Lochscheibe mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 hat demgegenüber den Vorteil, auf einfache Art und Weise eine besonders exakte Ausbildung der der Zufuhr eines ersten Mediums dienenden Abspritzöffnungen und der der Zufuhr eines zweiten Mediums dienenden Kanäle und damit eine exakte Zumessung der beiden Medien zu gewährleisten, ohne daß eine Einstellung erforderlich ist. So lassen sich auf engstem Raum eine exakte und homogene Mischung der beiden Medien bzw. kleinste Flüssigkeitströpfchen erzielen.

Das erfindungsgemäße Ventil mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 15 hat den Vorteil, die Zumessung des Brennstoffs und die Zumessung des den Brennstoff aufbereitenden und umfassenden Gases durch die exakte Ausbildung der Kanäle auf engstem Raum zu ermög lichen, ohne daß eine Einstellung der zugemessenen Gasmenge an dem fertig montierten Einspritzventil erforderlich ist. Durch diese Kom bination von Brennstoff- und Gaszumessung auf engstem Raum wird eine sehr gute Brennstoffaufbereitung erreicht. Eine entsprechende Lage der Kanäle in dem Lochkörper erlaubt es, das Gas gezielt auf den Brennstoffstrahl oder die Brennstoffstrahlen zu richten.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 an gegebenen Lochkörpers und des im Anspruch 15 angegebenen Ventils möglich.

Für eine besonders genaue Zumessung des Brennstoffs und des auf den Brennstoff gerichteten Gases ist es vorteilhaft, wenn das obere Plättchen und das untere Plättchen aus monokristallinem Silizium ausgebildet und Öffnungen, Nuten und Ausnehmungen des oberen Plätt chens und des unteren Plättchens durch anisotropes Ätzen ausgeformt sind. Die Plättchen sind so nicht nur auf einfache Art und Weise herstellbar, sie weisen zudem eine außergewöhnlich hohe Fertigungs genauigkeit auf.

Es ist von Vorteil, wenn das obere Plättchen und das untere Plätt chen durch Bonden miteinander verbunden sind und so eine zuverläs sige Verbindung zwischen beiden geschaffen ist.

Für eine einfache und kostengünstige Ausbildung des wenigstens einen Kanals ist es vorteilhaft, wenn in einer dem oberen Plättchen zuge wandten oberen Stirnseite des unteren Plättchens wenigstens eine un tere Durchlaßnut ausgeformt ist, die zusammen mit einer gegenüber liegenden, dem unteren Plättchen zugewandten unteren Stirnseite des oberen Plättchens den wenigstens einen Kanal bildet.

Aus dem gleichen Grund ist es ebenfalls vorteilhaft, wenn in der dem unteren Plättchen zugewandten unteren Stirnseite des oberen Plätt chens wenigstens eine obere Durchlaßnut ausgeformt ist, die zusammen mit der gegenüberliegenden, dem oberen Plättchen zugewandten Stirn seite des unteren Plättchens den wenigstens einen Kanal bildet.

Für die Zufuhr des Gases zu den Kanälen ist es besonders vorteil haft, wenn von Seitenflächen des oberen Plättchens und/oder des unteren Plättchens Ausnehmungen ausgehen, die sich in Richtung der wenigstens einen Abspritzöffnung bzw. der Durchlaßöffnung erstrecken und die eine Verbindung zwischen dem Umfang des Plättchens und den Kanälen des Lochkörpers herstellen.

Ist jedoch die Zufuhr einer besonders großen Gasmenge und damit eine große Querschnittsfläche des wenigstens einen Kanals erforderlich, so ist es vorteilhaft, wenn die dem unteren Plättchen zugewandte untere Stirnseite des oberen Plättchens wenigsten eine obere Durch laßnut sowie die dem oberen Plättchen zugewandte obere Stirnseite des unteren Plättchens wenigstens eine untere Durchlaßnut aufweisen, so daß der wenigstens eine Kanal durch die wenigstens eine obere Durchlaßnut und die wenigstens eine untere Durchlaßnut gebildet ist.

Für eine gute Zerstäubung des Brennstoffs ist es vorteilhaft, wenn die Mittellinie des Kanals in einer Ebene mit der Mittellinie der wenigstens einen Abspritzföffnung liegt.

Um ein Einströmen des Brennstoffs in die Kanäle zu verhindern ist es von Vorteil, wenn in dem oberen Plättchen die wenigstens eine obere Durchlaßnut so ausgestaltet ist, daß sie nicht bis zu einer Ab spritzöffnung reicht und daß der Kanal in die Durchlaßöffnung zur Ventillangsachse geneigt mundet.

Für die Zufuhr des Gases zu dem Lochkörper ist es vorteilhaft, wenn das Abspritzende des Ventils den Lochkörper aufnimmt und von einer Zufuhrbuchse umgeben ist, an deren Umfang zumindest eine der Gas zufuhr dienende Queröffnung ausgebildet ist.

Zeichnung

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung vereinfacht dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines teilweise darge stellten, erfindungsgemäß ausgebildeten Einspritzventils,

Fig. 2 eine Ansicht eines Lochkörpers gemäß des ersten Ausführungs beispiels,

Fig. 3 eine Draufsicht auf ein unteres Plättchen entsprechend einem Schnitt entlang der Linie III-III in Fig. 2,

Fig. 4 eine Ansicht des Lochkörpers gemäß des ersten Ausführungs beispiels in Richtung des Pfeiles X in Fig. 2,

Fig. 5 eine Draufsicht auf ein zweites Ausführungsbeispiel eines unteren Plättchens gemäß einem der Fig. 3 entsprechenden Schnitt eines Lochkörpers,

Fig. 6 eine Ansicht eines Lochkörpers gemäß eines dritten Ausfüh rungsbeispiels,

Fig. 7 eine Ansicht auf ein oberes Plättchen entsprechend einem Schnitt entlang der Linie VII-VII in Fig. 6,

Fig. 8 eine Ansicht eines Lochkörpers gemäß eines vierten Ausfüh rungsbeispiels,

Fig. 9 eine Ansicht eines Lochkörpers gemäß eines fünften Ausfüh rungsbeispiels,

Fig. 10 eine Ansicht eines Lochkörpers gemäß eines sechsten Aus führungsbeispiels,

Fig. 11 eine Draufsicht auf ein unteres Plättchen entsprechend einem Schnitt entlang der Linie XI-XI in Fig. 10,

Fig. 12 einen Schnitt eines Lochkörpers gemäß eines siebten Ausfüh rungsbeispiels entlang der Linie XII-XII in Fig. 14,

Fig. 13 einen Schnitt entlang der Linie XIII-XIII in Fig. 12 und

Fig. 14 eine Ansicht auf ein oberes Plättchen entsprechend einem Schnitt entlang der Linie XIV-XIV in Fig. 13.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

Die Fig. 1 zeigt ein teilweise dargestelltes, beispielsweise für Einspritzanlagen von gemischverdichtenden fremdgezündeten Brenn kraftmaschinen verwendbares Brennstoffeinspritzventil gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels. Konzentrisch zu einer Ventillängsachse 1 weist ein z. B. aus einem ferromagnetischen Material ausgebildeter Düsenkörper 2 des Ventils einen abgestuften Strömungskanal 5 auf. In dem Strömungskanal 5 ist eine Ventilnadel 8 angeordnet. Mit ihrem stromabwärtigen Ende, das z. B. als stromabwärts sich konisch ver jüngendes Ventilschließteil 9 ausgebildet ist, wirkt die Ventilnadel 8 mit einer sich beispielsweise in Strömungsrichtung konisch ver jüngenden Ventilsitzfläche 10 des abgestuften Strömungskanals 5 zusammen. Ein stromaufwärts der Ventilsitzfläche 10 ausgebildeter Führungsabschnitt 11 des Strömungskanals 5 dient zur Führung der Ventilnadel 8 bei ihrer Axialbewegung, wobei die Ventilnadel 8 mit ihrem einen oberen Führungsbund 13 und mit ihrem einen unteren Füh rungsbund 14 den Führungsabschnitt 11 des Strömungskanals 5 mit geringem radialen Abstand durchragt.

Die Axialbewegung der Ventilnadel 8 und damit das Öffnen und Schlie ßen des Ventils erfolgt beispielsweise in bekannter Weise elektro magnetisch. Wie in der Fig. 1 angedeutet, ist die Ventilnadel 8 an ihrem der Ventilsitzfläche 10 abgewandten Ende mit einem Anker 17 verbunden, der mit einer Magnetspule 18 und einem Innenpol 16 des Brennstoffeinspritzventils zusammenwirkt.

Der Strömungskanal 5 setzt sich beispielsweise in der Magnetspule 18 abgewandter Richtung anschließend an die konische Ventilsitzfläche 10 in einem zylindrischen Durchflußabschnitt 19 fort und endet in einer Strömungsöffnung 20 des Düsenkörpers 2. In stromabwärtiger Richtung sich unmittelbar an die Strömungsöffnung 20 anschließend ist ein Lochkörper 22 angeordnet, der aus einem der Ventilsitzfläche 10 zugewandten, z. B. quadratischen oberen Plättchen 24 und einem quadratischen unteren Plättchen 25 besteht. Das obere Plättchen 24 liegt mit seiner einen, der Strömungsöffnung 20 abgewandten unteren Stirnseite 26 an einer dem oberen Plättchen 24 zugewandten oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 an und ist mit diesem ver bunden. Sowohl das obere Plättchen 24 als auch das untere Plättchen 25 sind beispielsweise aus monokristallinem Silizium ausgebildet, es ist aber auch die Wahl eines anderen geeigneten Werkstoffes, z. B. eines anderen monokristallinen Halbleiters wie Germanium oder eines Verbundhalbleiters wie Galliumarsenid möglich. Die axiale Dicke des oberen Plättchens 24 und des unteren Plättchens 25 beträgt jeweils etwa 0,2 bis 0,5 mm, vorzugsweise etwa 0,3 mm.

Zwischen dem oberen Plättchen 24 und dem unteren Plättchen 25 ist wenigstens ein Kanal 28 ausgebildet, über den ein der Bildung eines Brennstoff-Gas-Gemisches dienendes Gas radial vom Umfang der Plätt chen 24, 25 hergeleitet zum Brennstoff hin strömen kann.

Um eine gleichbleibende Position des Lochkörpers 22 zu der Strö mungsöffnung 20 des abgestuften Strömungskanals 5 zu gewährleisten und ein horizontales Verschieben des Lochkörpers 22 gegenüber der Strömungsöffnung 20 zu verhindern, ist in einer Stirnfläche 34 eines stromabwärtigen Abspritzendes 29 des Düsenkörpers 2 eine Ausnehmung 30 in der Form ausgebildet, daß die Ausnehmung 30 den Lochkörper 22 umfaßt und die Strömungsöffnung 20 an dem Boden 21 der Ausnehmung 30 an dem der Lochkörper 22 mit dem oberen Plättchen 24 anliegt, mün det. Damit das Gas zu dem wenigstens einen Kanal 28 des Lochkörpers 22 gelangen kann, ist beispielsweise in radialer Richtung zwischen dem Umfang des Abspritzendes 29 des Düsenkörpers 2 und der Ausneh mung 30 zumindest eine Zufuhrnut 33 ausgebildet, die sich z. B. in axialer Richtung ausgehend von der Stirnfläche 34 des Abspritzendes 29 der Ventilsitzfläche 10 zugewandt zumindest bis zu dem wenigstens einen Kanal 28 erstreckt.

Es ist aber auch möglich, daß zu dem gleichen Zweck in dem Abspritz ende 29 des Düsenkörpers 2 zumindest eine Zufuhrbohrung oder zwi schen dem äußeren Rand des Lochkörpers 22 und der Wandung der Aus nehmung 30 zumindest ein Zufuhrkanal ausgebildet ist.

Der Düsenkörper 2 ist an seinem der Stirnfläche 34 zugewandten Ende beispielsweise von einer Zufuhrbuchse 36 sowohl in radialer als auch in axialer Richtung umgeben. In axialer Richtung im Bereich des Ab spritzendes 29 weist die Zufuhrbuchse 36 beispielsweise vier Quer öffnungen 37 auf, die sich in radialer Richtung von dem Umfang der Zufuhrbuchse 36 nach innen zu einem ringförmigen Zufuhrraum 38 er strecken, der zwischen dem Umfang des Abspritzendes 29 und einer abgestuften Längsöffnung 39 der Zufuhrbuchse 36 gebildet ist.

Ein dem Abspritzende 29 des Düsenkörpers 2 zugewandter Boden 40 der Zufuhrbuchse 36 hat in radialer Richtung der Ventillängsachse 1 zu gewandt einen Anlageabsatz 42. Der Anlageabsatz 42 ragt mit einer ebenen, senkrecht zu der Ventillängsachse 1 verlaufenden Anlage fläche 43 in axialer Richtung dem Abspritzende 29 zugewandt über den Boden 40 hinaus. Die Zufuhrbuchse 36 liegt mit ihrer ebenen Anlage fläche 43 dicht an dem Lochkörper 22 an, fixiert so zuverlässig die axiale Position des Lochkörpers 22 in der Ausnehmung 30 des Düsen korpers 2 und sorgt dafür, daß das Gas ausschließlich über den we nigstens einen Kanal 28 zu dem abgespritzten Brennstoff hin strömt. Unmittelbar in Strömungsrichtung an den Lochkörper 22 anschließend geht von dem Boden 40 der Zufuhrbuchse 36 eine beispielsweise zylin drische, konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 verlaufende Misch öffnung 44 aus, an die sich in stromabwärtiger Richtung eine sich trichterförmig erweiternde Gemischabspritzöffnung 45 anschließt.

In der Längsöffnung 39 der Zufuhrbuchse 36 ist an ihrem der Gemisch abspritzöffnung 45 abgewandten Ende oberhalb der beispielsweise vier Queröffnungen 37 eine erste Ringnut 47 ausgebildet, die einen Dicht ring 48 aufnimmt. Der Dichtring 48 bildet eine Abdichtung zwischen dem Umfang des Düsenkörpers 2 und der Längsöffnung 39 der Zufuhr buchse 36.

Wird das Ventil mit seiner Zufuhrbuchse 36 in eine Ventilaufnahme beispielsweise einer Ansaugleitung der Brennkraftmaschine montiert, so ist es notwendig, die Zufuhrbuchse 36 oberhalb und unterhalb ihrer Queröffnungen 37 gegenüber der Wandung der Ventilaufnahme ab zudichten. Zu diesem Zweck sind am Umfang der Zufuhrbuchse 36 ober halb der Queröffnungen 37 der Magnetspule 18 zugewandt eine zweite Ringnut 50 und unterhalb der Queröffnungen 37 eine dritte Ringnut 51 ausgeformt, in denen jeweils ein Dichtring angeordnet werden kann.

Die Fig. 2 zeigt den Lochkörper 22 gemäß des ersten, in der Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiels. In der Fig. 3 ist eine Drauf sicht auf das untere Plättchen 25 entsprechend einem Schnitt entlang der Linie III-III in Fig. 2 und in der Fig. 4 eine Ansicht des Lochkörpers 22 in Richtung des Pfeiles X in Fig. 2 dargestellt.

Wie aus den Figuren ersichtlich, hat das z. B. quadratische obere Plättchen 24 symmetrisch zu der Ventillängsachse 1 beispielsweise vier pyramidenstumpfförmige Abspritzöffnungen 60, die sich in Rich tung zur unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 erweitern und an der unteren Stirnseite 26 unmittelbar aneinandergrenzen. Die Strömungsöffnung 20 des Strömungskanals 5 hat einen alle Abspritz öffnungen 60 überdeckenden Querschnitt und steht mit den Abspritz öffnungen 60 in stromabwärtiger Richtung in Verbindung. Die Kanten länge der Abspritzöffnungen 60 beträgt an ihrer engsten Stelle etwa 0,1 bis 0,25 mm.

Das z. B. ebenfalls quadratische untere Plättchen 25 hat vier äußere Seitenflächen 61, die das untere Plättchen 25 in vertikaler, paral lel zu der Ventillängsachse 1 verlaufender Richtung nach außen hin begrenzen und die an ihren Enden senkrecht zueinander stehen. Für die Montage des aus dem oberen Plättchen 24 und dem unteren Plätt chen 25 bestehenden Lochkörpers 22 ist es, wie auch in den Figuren gemäß der Ausführungsbeispiele dargestellt, besonders zweckmäßig, daß das obere Plättchen 24 und das untere Plättchen 25 bezüglich der Umfangsform identische Abmessungen aufweisen. Der Lochkörper 22 hat eine erste Symmetrieachse 62 und eine zweite Symmetrieachse 63, die die äußeren Seitenflächen 61 halbieren. Jeweils ausgehend von einer äußeren Seitenfläche 61 und schmaler als diese ist mittensymmetrisch zu der Symmetrieachse 62 bzw. 63 in der oberen Stirnseite 27 des un- teren Plättchens 25 je eine Ausnehmung 64 mit einem rechteckförmigen Boden 67 ausgeformt. Die Ausnehmungen 64 erweitern sich in Richtung vom Boden 67 zur oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 trapezförmig und bilden zusammen mit der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 je einen Zuströmraum 65. Konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 hat das untere Plättchen 25 eine beispielsweise quadratische Durchlaßöffnung 66, die sich in Strömungsrichtung pyra midenstumpfförmig erweitert. Die Ausnehmungen 64 bzw. die Zuström räume 65 erstrecken sich nach innen in Richtung der Durchlaßöffnung 66, ohne jedoch unmittelbar mit der Durchlaßöffnung 66 in Verbindung zu stehen.

In Richtung der jeweiligen Symmetrieachse 62 bzw. 63 sind zwischen jeder Ausnehmung 64 und der Durchlaßöffnung 66 in der oberen Stirn seite 27 des unteren Plättchens 25 wenigstens je eine, in dem erstem Ausführungsbeispiel beispielsweise zwei nach innen führende untere Durchlaßnuten 69 ausgeformt, die zusammen mit der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 je einen Kanal 28 bilden. Die Kanäle 28 stellen eine Verbindung zwischen den zum Umfang der Plättchen 24, 25 hin offenen Zuströmräumen 65 und der Durchlaßöffnung 66 des Loch körpers 22 her und verlaufen parallel zu den jeweiligen Symmetrie achsen 62 bzw. 63. Die zwei von einem gemeinsamen Zuströmraum 65 ausgehenden, nebeneinanderliegenden Kanäle 28 weisen den gleichen Abstand zu der jeweiligen Symmetrieachse 62 bzw. 63 auf, so daß sich eine achsen- und punktsymmetrische Ausbildung des Lochkörpers 22 er gibt. Die unteren Durchlaßnuten 69 haben einen rechteckförmigen Boden 73 und erweitern sich bis zur oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 trapezförmig. Die axiale Erstreckung der unteren Durchlaßnuten 69 in Richtung der Symmetrieachsen 62, 63 beträgt etwa 0,1 bis 0,25 mm. Die Kanäle 28 sind vorzugsweise so ausgerichtet, daß das austretende Gas jeweils auf den aus einer der Abspritzöff nungen 60 austretenden Brennstoff trifft. Die Mittellinien der Kanäle 28 liegen vorzugsweise in einer Ebene, die durch wenigstens eine der Mittellinien der Abspritzöffnungen 60 verläuft. Die Kanäle 28 sind quer zu ihren Mittellinien immer so schmal, daß sie sich nur über Teilbereiche des Umfangs der Durchlaßöffnung 66 bzw. einer der Abspritzöffnungen 60 erstrecken.

Die Ausbildung der Abspritzöffnungen 60, der Ausnehmungen 64, der Durchlaßöffnung 66 und der unteren Durchlaßnuten 69 in den aus mono kristallinem Silizium bestehenden oberen Plättchen 24 und unteren Plättchen 25 erfolgt in bekannter Weise beispielsweise durch aniso tropes Ätzen. Zunächst werden die Ebenen eines dünnen Silizium plättchens poliert, mit einer dünnen Oxydschicht überzogen und auf die Ebenen wird eine Fotoschicht aufgebracht. Eine Fotomaske wird auf die Fotoschicht gelegt und anschließend belichtet. Durch Verwen dung einer Entwicklerflüssigkeit entsteht auf dem Plättchen ein Muster aus mit der Fotoschicht bedeckten Stellen und blankem Oxyd. In einem Bad mit Flußsäure werden die freiliegenden Oxydstellen weg geätzt, anschließend wird Fotoschicht entfernt. So erhält man ein Oxydmuster auf dem Plättchen, das als Maske für das nachfolgende Ätzen dient. Laugen oder Säuren greifen das freiliegende Silizium an und lassen in dem monokristallinen Plättchen Vertiefungen entstehen. Bei Verwendung anisotroper Ätzmittel wachsen die Vertiefungen aus schließlich in die Tiefe, ohne sich zu verbreitern. Die Seitenwände der Vertiefungen werden dabei durch die Kristallebenen des Silizium plättchens gebildet, so daß sich ein trapezförmiger Querschnitt der Vertiefungen ergibt. Der Ätzvorgang kommt zum Stillstand, sobald in Ätzrichtung eine beispielsweise mit Bor dotierte Schicht erreicht wird.

Neben den in dem ersten Ausführungsbeispiel dargestellten, mittels anisotropen Ätzen ausgeformten trapezförmigen bzw. pyramidenstumpf förmigen Querschnitten der Abspritzöffnungen 60, der Ausnehmungen 64, der Durchlaßöffnungen 66 und der unteren Durchlaßnuten 69 sind aber auch andere, beispielsweise rechteckförmige Querschnitte mög lich.

Die untere Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 und die obere Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 sind durch Bonden mitein ander verbunden. Zu diesem Zweck werden zunächst die untere Stirn seite 26 des oberen Plättchens 24 und die obere Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 poliert und die Oberflächen chemisch behan delt.

Anschließend werden die präparierten Oberflächen des miteinander zu verbindenden oberen Plättchens 24 und des unteren Plättchens 25 bei Raumtemperatur zusammengebracht. Der Bondprozeß wird beispielsweise durch eine Temperaturbehandlung des oberen Plättchens 24 und des un teren Plättchens 25 in einer Stickstoffatmosphäre beendet.

Das der Bildung des Brennstoff-Gas-Gemisches dienende Gas gelangt durch die Queröffnungen 37 in den Zufuhrraum 38, der zwischen dem Umfang des Düsenkörpers 2 und der Längsöffnung 39 der Zufuhrbuchse 36 gebildet ist. Von dort strömt das Gas durch die beispielsweise vier Zuströmräume 65 und die mit diesen in Verbindung stehenden je zwei Kanäle 28 zur konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 verlau fenden Durchlaßöffnung 66 des Lochkörpers 22, in die auch der Brenn stoff durch die Abspritzöffnungen 60 abgegeben wird.

Die Kanäle 28 weisen einen engen Querschnitt auf, der eine Drosse lung des strömenden Gases bewirkt und damit der Zumessung des Gases dient. Zudem führt der enge Querschnitt zu einer Beschleunigung des Gases, so daß das Gas auf den abgespritzten Brennstoff mit hoher Ge schwindigkeit trifft und diesen umfaßt. Dadurch wird die Bildung eines weitestgehend homogenen Brennstoff-Gas-Gemisches erzielt. Das Brennstoff-Gas-Gemisch wird durch die Gemischabspritzöffnung 45 z. B. in die Ansaugleitung der Brennkraftmaschine abgegeben.

Bei dem Gas handelt es sich beispielsweise um durch einen Bypass vor einer Drosselklappe in dem Saugrohr der Brennkraftmaschine abge zweigte Luft. Es ist aber auch die Verwendung rückgeführten Abgases der Brennkraftmaschine zur Reduzierung der Schadstoffabgabe oder eines durch ein Zusatzgebläse geförderten Gases (Luft, Abgas) mög lich.

Ein unteres Plättchen 25 eines Lochkörpers 22 gemäß eines zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels ist in der Fig. 5 darge stellt. Gleiche und gleichwirkende Teile sind mit den gleichen Be zugszeichen gekennzeichnet wie in den Fig. 1 bis 4.

Das zweite Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel lediglich durch die Anzahl der Kanäle 28 bzw. durch die Anzahl der in der oberen Stirnseite 27 des unteren Plätt chens 25 ausgeformten unteren Durchlaßnuten 69. Von den vier Ausneh mungen 64 der oberen Stirnseite 27 ausgehend, ist jeweils eine nach innen führende untere Durchlaßnut 69 ausgebildet, die z. B. parallel zu der jeweiligen Symmetrieachse 62 bzw. 63 des unteren Plättchens 25 verläuft und in die Durchlaßöffnung 66 mündet. In Strömungsrich tung von dem jeweiligen Zuströmraum 65 ausgehend zu der Durchgangs öffnung 66 des unteren Plättchens 25, sind die unteren Durchlaßnuten 69 beispielsweise alle auf der rechten Seite der jeweiligen Symme trieachse 62 bzw. 63 ausgebildet. Dies führt dazu, daß die Zufuhr des Gases in die Durchlaßöffnung 66 drallbehaftet erfolgt. Hierdurch ergibt sich eine verbesserte Gemischbildung von Brennstoff und Gas.

In der Fig. 6 und der Fig. 7, die eine Ansicht auf das obere Plättchen 24 entsprechend einem Schnitt entlang der Linie VII-VII in Fig. 6 zeigt, ist ein Lochkörper 22 gemäß eines dritten erfindungs gemäßen Ausführungsbeispiels dargestellt, wobei gleiche und gleich wirkende Teile mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind wie in den Fig. 1 bis 5. Wie schon bei den ersten beiden Ausfüh rungsbeispielen sind auch bei dem dritten Ausführungsbeispiel das obere quadratische Plättchen 24 und das untere quadratische Plätt chen 25 aus monokristallinem Silizium ausgebildet und durch Bonden miteinander verbunden. Abspritzöffnungen 60, Ausnehmungen 84, Durch laßöffnung 66 und obere Durchlaßnuten 82 sind beispielsweise durch anisotropes Ätzen ausgeformt.

Konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 ist in dem unteren Plättchen 25 die sich von der oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 ausgehend in Strömungsrichtung pyramidenstumpfförmig erweiternde, quadratische Durchlaßöffnung 66 ausgebildet. Mit der Durchlaßöffnung 66 stehen z. B. vier quadratische Abspritzöffnungen 60, die in dem oberen Plättchen 24 symmetrisch zu der Ventillängsachse 1 ausgeformt sind, in Verbindung. Die Abspritzöffnungen 60 erweitern sich aus gehend von einer oberen Stirnseite 80 des oberen Plättchens 24 in Richtung seiner unteren Stirnseite 26 pyramidenstumpfförmig und grenzen an der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 unmit telbar aneinander.

Das obere Plättchen 24 wird nach außen durch vier Seitenflächen 81 begrenzt, die an ihren Enden rechtwinklig zueinander stehen. Aus gehend von jeder der Seitenflächen 81 ist je eine, einen rechtecki gen Boden 73 aufweisende, sich nach innen in Richtung der Abspritz öffnungen 60 erstreckende Ausnehmung 84 in der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 ausgeformt, wobei die Ausnehmungen 64 sym metrisch zu den Symmetrieachsen 62 bzw. 63 liegen und durch eine von diesen in zwei gleich große Teile geteilt werden. Die Ausnehmungen 84 verjüngen sich in Richtung der oberen Stirnseite 80 des oberen Plättchens 24 trapezförmig. Zusammen mit der oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 bilden die Ausnehmungen 84 jeweils einen Zuströmraum 65 aus. Jeder Zuströmraum 65 ist beispielsweise durch jeweils zwei Kanäle 28 mit den stromabwärtigen Enden der Abspritz öffnungen 60 verbunden. Die Kanäle 28 sind durch obere, in der un teren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 verlaufende und der oberen Stirnseite 80 zugewandt einen rechteckigen Boden 85 auf weisende obere Durchlaßnuten 82 und die obere Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 gebildet und sind quer zu ihren Mittellinien immer so schmal, daß sie sich nur über Teilbereiche des Umfanges der Durchlaßöffnung 66 bzw. einer der Abspritzöffnungen 60 erstrecken. Die oberen Durchlaßnuten 82 weisen einen trapezförmigen Querschnitt auf und verjüngen sich in Richtung der oberen Stirnseite 80 des oberen Plättchens 24. Die axiale Erstreckung der oberen Durchlaß nuten 82 beträgt etwa 0,1 bis 0,25 mm.

Um ein besonders homogenes Brennstoff-Gas-Gemisch zu erzielen, ver laufen je zwei Kanäle 28 ausgehend von je einem Zuströmraum 65 sym metrisch mit gleichem Abstand und parallel zu den jeweiligen Symme trieachsen 62 bzw. 63. Jeder Kanal 28 mündet unmittelbar in eine Ab spritzöffnung 60, und das zugeführte Gas trifft dort auf den zentral abgegebenen Brennstoff.

Ein Lochkörper 22 gemäß eines vierten erfindungsgemäßen Ausführungs beispiels ist in der Fig. 8 gezeigt. Gleiche und gleichwirkende Teile sind mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet wie in den Fig. 1 bis 7. Im Unterschied zu dem dritten Ausführungsbeispiel münden die im oberen Plättchen 24 verlaufenden Kanäle 28 nicht un mittelbar in die Abspritzöffnungen 60 des oberen Plättchens 24, son dern schräg nach unten zur Ventillängsachse 1 geneigt in die Durch laßöffnung 66 des unteren Plättchens 25, so daß das Gas durch die Zuströmräume 65 und die Kanäle 28 direkt in die Durchlaßöffnung 66 gelangt und im Gegenatz zu den ersten drei Ausführungsbeispielen nicht senkrecht, sondern in Brennstoffströmungsrichtung schräg auf den abgegebenen Brennstoff trifft. Zudem wird ein Einströmen des Brennstoffes in die Kanäle 28 verhindert. Im übrigen entspricht das vierte Ausführungsbeispiel im wesentlichen dem dritten Ausführungs beispiel.

Ein Lochkörper 22 gemäß eines weiteren, fünften erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels ist in der Fig. 9 dargestellt. Gleiche und gleichwirkende Teile sind mit den gleichen Bezugszeichen gekenn zeichnet wie in den Fig. 1 bis 8.

In dem oberen Plättchen 24 sind z. B. vier quadratische Abspritzöff nungen 60 symmetrisch zu der Ventillängsachse 1 ausgeformt. Die qua dratischen Abspritzöffnungen 60 erweitern sich ausgehend von der oberen Stirnseite 80 in Richtung der unteren Stirnseite 26 des obe ren Plättchens 24 pyramidenstumpfförmig und grenzen an der unteren Stirnseite 26 unmittelbar aneinander. Das untere Plättchen 25 hat konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 die sich in Strömungsrichtung pyramidenstumpfförmig erweiternde, einen quadratischen Querschnitt aufweisende Durchlaßöffnung 66.

Ausgehend von jeder der vier Seitenflächen 61 des unteren Plättchens 25 sind in der oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 je eine, einen rechteckförmigen Boden 67 aufweisende Ausnehmung 64 aus gebildet, die sich in Richtung der Durchlaßöffnung 66 des unteren Plättchens 25 erstreckt. Die Ausnehmungen 64 liegen, wie zu dem er sten Ausführungsbeispiel dargestellt, symmetrisch zu den Symmetrie achsen 62 bzw. 63, wobei die Symmetrieachsen 62 bzw. 63 die Mittel linien der Ausnehmungen 64 darstellen. Die Ausnehmungen 64 verjüngen sich in dem oberen Plättchen 24 abgewandter Richtung trapezförmig.

Ausgehend von jeder der vier Ausnehmungen 64 sind in der oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 beispielsweise jeweils zwei untere Durchlaßnuten 69 ausgeformt, die sich bis zu der Durchlaß öffnung 66 hin erstrecken und in die Durchlaßöffnung 66 münden. Ihre Ausbildung entspricht beispielsweise der Ausbildung der unteren Durchlaßnuten 69 in dem ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel.

In der gegenüberliegenden unteren Stirnseite 26 des oberen Plätt chens 24 sind ausgehend von jeder der vier Seitenflächen 81 des oberen Plättchens 24 je eine, einen rechteckigen Boden 73 aufwei sende Ausnehmungen 84 ausgeformt. Die Ausnehmungen 84 erstrecken sich nach innen in Richtung der Abspritzöffnungen 60, enden vor diesen und liegen, wie beispielsweise in dem dritten Ausführungsbei spiel dargestellt, symmetrisch zu den Symmetrieachsen 62 bzw. 63, wobei die Symmetrieachsen 62 bzw. 63 die Mittelachsen der Ausneh mungen 64 darstellen. Die trapezförmigen Ausnehmungen 84 verjüngen sich in Richtung der oberen Stirnseite 80 des oberen Plättchens 24.

Die Ausnehmungen 64 und die Ausnehmungen 84, die sich an der oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 bzw. an der unteren Stirn seite 26 des oberen Plättchens 24 überdecken und zusammen die jewei ligen Zuströmräume 65 bilden, weisen beispielsweise zumindest im Bereich ihrer Überdeckung identische geometrische Abmessungen und eine identische Lage bezüglich der Symmetrieachsen 62 bzw. 63 auf.

Von jeder der vier in der unteren Stirnseite 26 des oberen Plätt chens 24 ausgeformten Ausnehmungen 84 gehen jeweils zwei obere Durchlaßnuten 82 aus, die sich nach innen in Richtung der Abspritz öffnungen 60 erstrecken. Die oberen Durchlaßnuten 82 verlaufen pa rallel zu der jeweiligen Symmetrieachse 62 bzw. 63 und weisen der oberen Stirnseite 80 zugewandt einen sich trapezförmig verjüngenden Querschnitt und einen rechteckigen Boden 85 auf. Die einzelnen obe ren Durchlaßnuten 82 und die unteren Durchlaßnuten 69 überdecken sich an der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 bzw. an der oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 so, daß je eine obere Durchlaßnut 82 und eine untere Durchlaßnut 69 zusammen jeweils einen Kanal 28 bilden, der nicht bis zu einer Abspritzöffnung 60 reicht, sondern zur Ventillängsachse 1 nach unten geneigt in die Durchlaßöffnung 66 des unteren Plättchens 25 mündet und auf einen der aus den Abspritzöffnungen 60 austretenden Brennstoffstrahlen gerichtet ist. Zumindest im Bereich ihrer Überdeckung weisen die jeweiligen oberen Durchlaßnuten 82 und die unteren Durchlaßnuten 69 identische geometrische Abmessungen und eine identische Lage bezüg lich der Symmetrieachse 62 bzw. 63 auf.

Die Fig. 10 und 11 zeigen einen Lochkörper 22 gemäß eines sech sten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels, wobei die Fig. 11 eine Draufsicht in Richtung auf das untere Plättchen 25 entsprechend einem Schnitt entlang der Linie XI-XI in Fig. 10 darstellt. Gleiche und gleichwirkende Teile sind mit den gleichen Bezugszeichen gekenn zeichnet wie in den Fig. 1 bis 9. Der Lochkörper 22 besteht aus dem oberen quadratischen Plättchen 24 und dem unteren quadratischen Plättchen 25, die beide aus monokristallinem Silizium ausgebildet und durch Bonden miteinander verbunden sind. Das obere quadratische Plättchen 24 und das untere quadratische Plättchen 25 weisen iden tische äußere Abmessungen auf. In dem oberen Plättchen 24 sind, wie in der Fig. 10 gestrichelt angedeutet, beispielsweise vier quadra tische Abspritzöffnungen 60 ausgeformt, die symmetrisch zu der Ven tillängsachse 1 verlaufen sowie sich ausgehend von der oberen Stirn seite 80 und zu der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 pyramidenstumpfförmig erweitern und an der unteren Stirnseite 26 un mittelbar aneinandergrenzen. Das untere Plättchen 25 weist eine kon zentrisch zu der Ventillängsachse 1 verlaufende Durchlaßöffnung 66 auf, die einen beispielsweise quadratischen Querschnitt hat und sich in von dem oberen Plättchen 24 abgewandter Richtung trapezförmig er weitert.

Neben den parallel zu den Seitenflächen 61 verlaufenden Symmetrie achsen 62 bzw. 63 sind mit 88 eine erste und mit 89 eine zweite Diagonale des unteren Plättchens 25 bezeichnet. Ausgehend von jeder äußeren Seitenfläche 61 des unteren Plättchens 25 sind parallel zu den beiden Symmetrieachsen 62 und 63 untere Durchlaßnuten 69 und symmetrisch zu den beiden Diagonalen 88 und 89 ausgehend von den Ecken 91 jeweils zwei einander gegenüberligende untere Durchlaß nuten 69′ in der oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 aus geformt, die sich nach innen bis zu der Durchlaßöffnung 66 er strecken. Dabei bilden die Symmetrieachsen 62 und 63 und die Diago nalen 88 und 89 die Mittelachsen der unteren Durchlaßnuten 69 und 69′. Während die parallel zu den Symmetrieachsen 62 bzw. 63 ver laufenden unteren Durchlaßnuten 69 einen rechteckförmigen Boden 90 aufweisen, haben die symmetrisch zu den Diagonalen 88 bzw. 89 ver laufenden unteren Durchlaßuten 69′ einen sich in Richtung der Durchlaßöffnung 66 verjüngenden Boden 90′. In der der oberen Stirn seite 27 abgewandten Richtung verjüngen sich die unteren Durchlaß nuten 69 bzw. 69′ trapezförmig. Zusammen mit der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 bilden die unteren Durchlaßnuten 69 bzw. 69′ die in die Durchlaßöffnung 66 mündenden Kanäle 28.

Dieses Ausführungsbeispiel ermöglicht eine besonders gleichmäßige Umfassung und Aufbereitung des aus den Abspritzöffnungen 60 abgege benen Brennstoffs mittels des durch die Kanäle 28 zugeführten Gases.

In den Fig. 12 bis 14 ist ein Lochkörper 22 gemäß eines siebten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels dargestellt, wobei gleiche und gleichwirkende Teile mit den gleichen Bezugszeichen gekennn zeichnet sind wie in den Fig. 1 bis 11. Die Fig. 13 zeigt einen Schnitt entlang der Linie XIII-XIII in Fig. 12 und Fig. 14 eine Ansicht des oberen Plättchens 24 entsprechend einem Schnitt ent lang der Linie XIV-XIV in Fig. 13. Das obere quadratische Plättchen 24 und das untere quadratische Plättchen 25 sind aus monokristalli nem Silizium ausgebildet und z. B. durch Bonden miteinander verbun den. Abspritzöffnungen 60, Ausnehmungen 84, Durchlaßöffnung 66 und die oberen Durchlaßnuten 82, 82′ sind beispielsweise durch anisotro pes Ätzen ausgeformt.

Konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 ist in dem unteren Plättchen 25 die sich in Strömungsrichtung ausgehend von einer oberen Stirn seite 27 des unteren Plättchens 25 pyramidenstumpfförmig erweiternde rechteckförmige Durchgangsöffnung 66 ausgebildet. Mit der Durchlaß öffnung 66 stehen z. B. vier quadratische Abspritzöffnungen 60, die in dem oberen Plättchen 24 symmetrisch zu der Ventillängsachse 1 ausgeformt sind, in Verbindung. Die Abspritzöffnungen 60 erweitern sich ausgehend von einer oberen Stirnseite 80 des oberen Plättchens 24 in Richtung seiner unteren Stirnseite 26 pyramidenstumpfförmig und grenzen beispielsweise an der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 unmittelbar aneinander.

Ausgehend von jeder der vier rechtwinklig zueinander stehenden Sei tenflächen 81 des oberen Plättchens 24 ist je eine, einen z. B. rechteckigen Boden 73 aufweisende, sich nach innen in Richtung der Abspritzöffnungen 60 erstreckende Ausnehmung 84, 84′ in der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 ausgeformt. Die Ausnehmungen 84 liegen z. B. symmetrisch zu der Symmetrieachse 63 und die Ausneh mungen 84′ z. B. symmetrisch zu der Symmetrieachse 62, werden durch ihre Symmetrieachse 63 bzw. 62 in zwei gleich große Teile geteilt und verjüngen sich in Richtung der oberen Stirnseite 80 des oberen Plättchens 24. Zusammen mit der oberen Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 bilden die Ausnehmungen 84 bzw. 84′ jeweils einen Zu strömraum 65 bzw. 65′ aus.

Zwei einander gegenüberliegende Zuströmräume 65, die z. B. durch die Symmetrieachse 63 in zwei gleich große Teile geteilt werden, sind jeweils durch zwei Kanäle 28 mit den stromabwärtigen Enden der Ab spritzöffnungen 60 verbunden. Die Kanäle 28 sind durch obere, in der unteren Stirnseite 26 des oberen Plättchens 24 verlaufende obere Durchlaßnuten 82 und die obere Stirnseite 27 des unteren Plättchens 25 gebildet und sind z. B. quer zu ihren Mittellinien so schmal, daß sie sich nur über Teilbereiche der Abspritzöffnungen 60 erstrecken. Die oberen Durchlaßnuten 82 verjüngen sich in Richtung der oberen Stirnseite 80 des oberen Plättchens 24.

Die unter einem Winkel dazu angeordneten beiden anderen, einander gegenüberliegenden Zuströmräume 65′, die z. B. durch die Symmetrie achse 62 in zwei gleich große Teile geteilt sind, sind durch jeweils zwei nicht bis zu einer Abspritzöffnung 60 reichende, sondern schräg nach unten zur Ventillängsachse 1 geneigte Kanäle 28′ mit der Durchlaßöffnung 66 des unteren Plättchens 25 verbunden. Die Kanäle 28′ sind durch in dem oberen Plättchen 24 verlaufende obere Durch laßnuten 82′ ausgebildet. Das Gas gelangt so durch die Zuströmräume 65′ und die Kanäle 28′ direkt in die Durchlaßöffnung 66 und trifft in Brennstoffströmungsrichtung schräg auf den abgegebenen Brennstoff.

Auf diese Art und Weise läßt sich ein besonders homogenes Brenn stoff-Gas-Gemisch erzielen, in dem zunächst ein Teil des Gases un mittelbar auf den durch die Abspritzöffnung 60 strömenden Brennstoff trifft und der andere Teil des Gases im Bereich der Durchlaßöffnung 66 schräg geneigt dem Brennstoff-Gas-Gemischstrom zugeführt wird.

Die erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiele ermöglichen die Zumessung des Gases auf engstem Raum, ohne daß die Kanäle 28, 28′, die quer zu ihren Mittellinien immer so schmal sind, daß sie sich nur über Teil bereiche des Umfanges der Durchlaßöffnung 66 bzw. einer der Ab spritzöffnungen 60 erstrecken, an dem fertigmontierten Ventil zur Erzielung der gewünschten zugemessenen Gasmenge eingestellt werden müssen. Deshalb ist eine sehr genaue Fertigung des oberen Plättchens 24 und des unteren Plättchens 25 erforderlich. Zu diesem Zweck ist es besonders vorteilhaft, das obere Plättchen 24 und das untere Plättchen 25 aus monokristallinem Silizium auszubilden und die Ab spritzöffnung 60, die Ausnehmungen 64 und 84, 84′ die Durchlaßöff nung 66, die unteren Durchlaßnuten 69, 69′ und die oberen Durchlaß nuten 82, 82′ beispielsweise durch anisotropes Ätzen auszuformen.

Der Lochkörper 22 kann nicht nur bei Brennstoffeinspritzventilen für Brennstoffeinspritzanlagen Anwendung finden sondern auch zur Zer stäubung anderer Medien dienen, nämlich immer dann, wenn feinste Flüssigkeitströpfchen gefordert werden, beispielsweise zum gleich mäßigen Versprühen von Farben und Lacken und in Fertigungsprozessen o. ä.

Claims

1. Lochkörper mit einem wenigstens eine Abspritzöffnung aufweisenden oberen Plättchen und einem eine Durchlaßöffnung aufweisenden unteren Plättchen, zwischen dessen oberem Plättchen und dessen unterem Plättchen wenigstens ein Kanal gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß sich die wenigstens eine Abspritzöffnung (60) des oberen Plätt chens (24) und die Durchlaßöffnung (66) des unteren Plättchens (25) überdecken und der wenigstens eine Kanal (28, 28′) eine Verbindung mit dem Umfang der Plättchen (24, 25) und der Durchlaßöffnung (66) hat.

2. Lochkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Plättchen (24) und das untere Plättchen (25) aus monokristallinem Silizium ausgebildet sind.

3. Lochkörper nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ab spritzöffnungen (60), Durchlaßöffnung (66), Durchlaßnuten (69, 69′, 82, 82′) und Ausnehmungen (64, 84, 84′) des oberen Plättchens (24) und des unteren Plättchens (25) durch anisotropes Ätzen ausgeformt sind.

4. Lochkörper nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Plättchen (24) und das untere Plättchen (25) durch Bonden miteinander verbunden sind.

5. Lochkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich net, daß in einer dem oberen Plättchen (24) zugewandten oberen Stirnseite (27) des unteren Plättchens (25) wenigstens eine untere Durchlaßnut (69, 69′) ausgeformt ist, die zusammen mit einer gegen überliegenden, dem unteren Plättchen (25) zugewandten unteren Stirn seite (26) des oberen Plättchens (24) den wenigstens einen Kanal (28) bildet.

6. Lochkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich net, daß in der dem unteren Plättchen (25) zugewandten unteren Stirnseite (26) des oberen Plättchens (24) wenigstens eine obere Durchlaßnut (82, 82′) ausgeformt ist, die zusammen mit der gegen überliegenden, dem oberen Plättchen (24) zugewandten Stirnseite (27) des unteren Plättchens (25) den wenigstens einen Kanal (28, 28′) bildet.

7. Lochkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich net, daß die untere Stirnseite (26) des oberen Plättchens (24) we nigstens eine obere Durchlaßnut (82, 82′) sowie die obere Stirnseite (27) des unteren Plättchens (25) wenigstens eine untere Durchlaßnut (69, 69′) aufweisen, so daß der wenigstens eine Kanal (28, 28′) durch die Überdeckung der oberen Durchlaßnut (82, 82′) und der unte ren Durchlaßnut (69, 69′) gebildet ist.

8. Lochkörper nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge kennzeichnet, daß von den Seitenflächen (61, 81) des unteren Plätt chens (25) bzw. des oberen Plättchens (24) Ausnehmungen (64, 84, 84′) ausgehen, die eine Verbindung zwischen dem Umfang des Plätt chens (24, 25) und den Kanälen (28, 28′) herstellen.

9. Lochkörper nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge kennzeichnet, daß die Mittellinie des Kanals (28, 28′) in einer Ebene mit der Mittellinie der wenigstens einen Abspritzöffnung (60) liegt.

10. Lochkörper nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwei senkrecht zueinander verlaufende Kanäle (28) auf eine Spritzöffnung (60) gerichtet sind.

11. Lochkörper nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß in dem oberen Plättchen (24) vier aneinandergrenzende Abspritzöffnungen (60) symmetrisch zur Ventillängsachse (1) ausgebildet sind und auf jede Abspritzöffnung (60) ein Kanal (28) gerichtet ist.

12. Lochkörper nach einem der Ansprüche 3 oder 6 bis 11, dadurch ge kennzeichnet, daß in dem oberen Plättchen (24) die wenigstens eine obere Durchlaßnut (82, 82′) so ausgestaltet ist, daß sie nicht bis zu einer Abspritzöffnung (60) reicht und daß der Kanal (28, 28′) in die Durchlaßöffnung (66) zur Ventillängsachse (1) geneigt mündet.

13. Lochkörper nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß einander gegenüberliegende obere Durchlaßnuten (82) des oberen Plättchens (24) so ausgestaltet sind, daß sie je einen auf je eine Abspritzöff nung (60) des oberen Plättchens (24) gerichteten Kanal (28) bilden und daß unter einem Winkel dazu weitere einander gegenüberliegende obere Durchlaßnuten (82′) des oberen Plättchens (24) so ausgestaltet sind, daß sie nicht bis zu einer Abspritzöffnung (60) reichen und je einen in die Durchlaßöffnung (66) zur Ventillängsachse (1) geneigt mündenden Kanal (28′) bilden.

14. Lochkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 5 oder 7 bis 12, da durch gekennzeichnet, daß das untere Plättchen (25) quadratisch aus gebildet ist und von jeder Seitenfläche (61) und von jeder Ecke (91) jeweils ein Kanal (28, 28′) zu der Durchlaßöffnung (66) führt.

15. Ventil, insbesondere Brennstoffeinspritzventil zur Versorgung einer Brennkraftmaschine mit einem Brennstoff-Gas-Gemisch, mit einem Ventilschließteil, das mit einer Ventilsitzfläche zusammenwirkt, und einem stromabwärts der Ventilsitzfläche angeordneten Lochkörper, da durch gekennzeichnet, daß der Lochkörper (22) aus einem der Ventil sitzfläche (10) zugewandten und wenigstens eine Abspritzöffnung (60) aufweisenden oberen Plättchen (24) und einem an dem oberen Plättchen (24) anliegenden, eine Durchlaßöffnung (66) aufweisenden unteren Plättchen (25) besteht und daß das obere Plättchen (24) und das un tere Plättchen (25) wenigstens einen Kanal (28, 28′) begrenzen, über den das Gas zugeführt und auf den durch die wenigstens eine Ab spritzöffnung (60) abgegebenen Brennstoff gerichtet ist.

16. Ventil nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Plättchen (24) und das untere Plättchen (25) aus monokristallinem Silizium ausgebildet sind.

17. Ventil nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Ab spritzöffnungen (60), Durchlaßöffnung (66), Durchlaßnuten (69, 69′, 82, 82′) und Ausnehmungen (64, 84, 84′) des oberen Plättchens (24) und des unteren Plättchens (25) durch anisotropes Ätzen ausgeformt sind.

18. Ventil nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Plättchen (24) und das untere Plättchen (25) durch Bonden mit einander verbunden sind.

19. Ventil nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeich net, daß in einer dem oberen Plättchen (24) zugewandten oberen Stirnseite (27) des unteren Plättchens (25) wenigstens eine untere Durchlaßnut (69, 69′) ausgeformt ist, die zusammen mit einer gegen überliegenden, dem unteren Plättchen (25) zugewandten unteren Stirn seite (26) des oberen Plättchens (24) den wenigstens einen Kanal (28) bildet.

20. Ventil nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeich net, daß in der dem unteren Plättchen (25) zugewandten unteren Stirnseite (26) des oberen Plättchens (24) wenigstens eine obere Durchlaßnut (82, 82′) ausgeformt ist, die zusammen mit der gegen überliegenden, dem oberen Plättchen (24) zugewandten Stirnseite (27) des unteren Plättchens (25) den wenigstens einen Kanal (28, 28′) bildet.

21. Ventil nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeich net, daß die untere Stirnseite (26) des oberen Plättchens (24) we nigstens eine obere Durchlaßnut (82, 82′) sowie die obere Stirnseite (27) des unteren Plättchens (25) wenigstens eine untere Durchlaßnut (69) aufweisen, so daß der wenigstens eine Kanal (28, 28′) durch die Überdeckung der oberen Durchlaßnut (82, 82′) und der unteren Durch laßnut (69) gebildet ist.

22. Ventil nach einem der Ansprüche 15 bis 21, dadurch gekennzeich net, daß von den Seitenflächen (61, 81) des unteren Plättchens (25) bzw. des oberen Plättchens (24) Ausnehmungen (64, 84, 84′) ausgehen, die eine Verbindung zwischen dem Umfang des Plättchens (24, 25) und den Kanälen (28, 28′) herstellen.

23. Ventil nach einem der Ansprüche 15 bis 22, dadurch gekennzeich net, daß die wenigstens eine Abspritzöffnung (60) in dem oberen Plättchen (24) und die Durchlaßöffnung (66) in dem unteren Plättchen (25) einander überdecken.

24. Ventil nach einem der Ansprüche 15 bis 23, dadurch gekennzeich net, daß die Mittelinie des Kanals (28, 28′) in einer Ebene mit der Mittellinie der wenigstens einen Abspritzöffnung (60) liegt.

25. Ventil nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß zwei senk recht zueinander verlaufende Kanäle (28) auf eine Abspritzöffnung (60) gerichtet sind.

26. Ventil nach Anspruch 24, dadurch gekenzeichnet, daß in dem obe ren Plättchen (24) vier aneinandergrenzende Abspritzöffnungen (60) symmetrisch zur Ventillängsachse (1) ausgebildet sind und auf jede Abspritzöffnung (60) ein Kanal (28) gerichtet ist.

27. Ventil nach einem der Ansprüche 17 oder 18 bis 26, dadurch ge kennzeichnet, daß in dem oberen Plättchen (24) die wenigstens eine obere Durchlaßnut (82, 82′) so ausgestaltet ist, daß sie nicht bis zu einer Abspritzöffnung (60) reicht und daß der Kanal (28, 28′) in die Durchlaßöffnung (66) zur Ventillängsachse (1) geneigt mündet.

28. Ventil nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß einander gegenüberliegende obere Durchlaßnuten (82) des oberen Plättchens (24) so ausgestaltet sind, daß sie je einen auf je eine Abspritzöff nung (60) des oberen Plättchens (24) gerichteten Kanal (28) bilden und daß unter einem Winkel dazu weitere einander gegenüberliegende obere Durchlaßnuten (82′) des oberen Plättchens (24) so ausgestaltet sind, daß sie nicht bis zu einer Abspritzöffnung (60) reichen und daß je einen in die Durchlaßöffnung (66) zur Ventillängsachse (1) geneigt mündenden Kanal (28′) bilden.

29. Ventil nach einem der Ansprüche 15 bis 19 oder 21 bis 28, da durch gekennzeichnet, daß das untere Plättchen (25) quadratisch aus gebildet ist und von jeder Seitenfläche (61) und von jeder Ecke (91) jeweils ein Kanal (28, 28′) zu der Durchlaßöffnung (66) führt.

30. Ventil mit einem Abspritzende nach einem der Ansprüche 15 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß das Abspritzende (29) des Ventils den Lochkörper (22) aufnimmt und von einer Zufuhrbuchse (36) umgeben ist, an deren Umfang zumindest eine der Gaszufuhr dienende Queröff nung (37) ausgebildet ist.