DE4039743A1 - Verfahren zur erfassung von korrekturwerten fuer die korrektur optischer abbildungsfehler in durchmessermessgeraeten auf der basis von ccd-zeilen - Google Patents

Verfahren zur erfassung von korrekturwerten fuer die korrektur optischer abbildungsfehler in durchmessermessgeraeten auf der basis von ccd-zeilen

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Hans Hocke
Gerhard Freist
Bettina Lehnert
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Schwermaschinenbau Kombinat Ernst Thalmann VEB
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Schwermaschinenbau Kombinat Ernst Thalmann VEB
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Description

Die Erfindung findet im Zusammenhang mit optischen Durchmessermeßgeräten, die beispielsweise in der kabel- und walzgutherstellenden Industrie eingesetzt werden, Anwendung.
Es ist ein Verfahren zur Korrektur der optischen Abbildungsfehler des "Research Institute of Electrical Engineering" in Prag bekannt, bei dem anstelle des Meßgutes eine festgelegte Anzahl Prüfnormale in das Meßfeld eingebracht werden. Ausgehend davon, daß im Bereich der optischen Achse keine Abbildungsfehler auftreten, und unter der Bedingung, daß die Mitte der Prüfnormale exakt durch die optische Achse verläuft, können so eine angemessene Anzahl Korrekturwerte ermittelt werden. Dabei kann aber davon ausgegangen werden, daß das Wechseln der Prüfnormale recht aufwendig ist, da die mechanische Befestigung sehr exakt ausfallen muß. Außerdem wird bei einer größeren Anzahl von Prüfnormalen der Abgleichaufwand entsprechend hoch.
Eine weitere Möglichkeit, die Korrekturwerte zu ermitteln, basiert auf dem Gedanken, eine Objektkante um definierte Wegstrecken parallel durch das Meßfeld zu verschieben. Dazu ist aber eine inkrementelle Längenmeßeinrichtung notwendig, um die Verschiebewege exakt zu ermitteln. Der meßtechnische Aufwand steigt erheblich.
Die DE-OS 33 05 129 beschreibt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Kalibrierung einer zum Messen einer Dimension eines Körpers dienenden Meßvorrichtung. Dabei unterscheiden sich die Abbildungsverfahren derart, daß im beschriebenen Verfahren eine Meßskala als Hintergrund im eigentlichen Meßfeld dient, wobei diese abwechselnd von zwei Lampen beleuchtet wird, die entsprechend vom Mikrorechner gesteuert zu- bzw. abgeschaltet werden müssen. Dieses Verfahren ist für den vorliegenden Sachverhalt nicht anwendbar, da bei dem vorliegenden Abbildungssystem nach DD-WP 1 52 988 das Meßgut von hinten beleuchtet wird und somit der Hintergrund nicht für die Aufnahme einer Meßskala - wie in obengenannter Patentschrift beschrieben - dienen kann.
Das von uns beschriebene Verfahren erfaßt die Korrekturwerte in der Meßebene des Systems einmalig.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, ein Verfahren zu schaffen, das es ermöglicht, die Korrekturwerte für die Korrektur optischer Abbildungsfehler in Durchmessermeßgeräten auf der Basis von CCD-Zeilen in einem Arbeitsgang zu ermitteln.
Erfindungsgemäß wird das Problem so gelöst, daß auf dem als Normal eingesetzten Strichraster mit definierten Abständen y₁ . . . yn der Striche die Abstände xi der Striche gemessen und die Korrekturwerte ki durch Subtraktion von den realen Abständen y ermittelt werden.
Die weitere Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, zwischen den ermittelten Korrekturwerten ki eine Interpolation durchzuführen.
Die Anwendung der Erfindung führt zu einer Minimierung des Aufwandes zur Ermittlung der Korrekturwerte.
Anhand eines Beispieles soll das erfindungsgemäße Verfahren näher erläutert werden.
Bei Durchmessermeßgeräten mit CCD-Zeile wird anstelle des Meßgutes ein Strichraster 2 mit definierten Abständen y₁ . . . yn der Striche eingebracht. Das Strichraster 2 wird derart angeordnet, daß die Striche mit Hilfe der Strahlungsquelle 1 und der Optik 4 auf der CCD-Zeile 3 abgebildet werden und so der Abstand x₁ . . . xn der Striche gemessen werden kann.
Die Korrekturwerte k₁ . . . kn werden dann durch Subtraktion der bekannten Abstände y₁ . . . yn und der gemessenen Abstände x₁ . . . xn ermittelt. Die ermittelten Korrekturwerte werden in einem Festwertspeicher abgespeichert und durch das Meßgerät bei der Ermittlung der Meßwerte während des Betriebes mit ausgewertet.

Claims (2)

1. Verfahren zur Erfassung von Korrekturwerten zur Korrektur optischer Abbildungsfehler in Durchmessermeßgeräten auf der Basis von CCD-Zeilen, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem als Normal eingesetzten Strichraster (3) mit definierten Abständen y₁ . . . yn der Striche die Abstände xi der Striche gemessen und die Korrekturwerte ki durch Subtraktion von den realen Abständen yi ermittelt werden.
2. Verfahren zur Erfassung von Korrekturwerten nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den ermittelten Korrekturwerten ki eine Interpolation durchgeführt wird.
DE19904039743 1990-12-08 1990-12-08 Verfahren zur erfassung von korrekturwerten fuer die korrektur optischer abbildungsfehler in durchmessermessgeraeten auf der basis von ccd-zeilen Ceased DE4039743A1 (de)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1219922A2 (de) * 2000-12-28 2002-07-03 INB Vision AG Verfahren zur Verbesserung der Genauigkeit von optischen 3D-Messverfahren
DE10065120A1 (de) * 2000-12-28 2002-07-11 Inb Vision Ag Verfahren zur Bestimmung der Abweichung des Pixelortes der Pixel mindestens einer Bildaufnahmematrix von der Sollposition
CN104949620A (zh) * 2014-03-28 2015-09-30 株式会社三丰 用于光学测量装置的校正设备及校正方法
US11257205B2 (en) * 2015-12-21 2022-02-22 Mitutoyo Corporation Image measuring method and apparatus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4129384A (en) * 1977-06-08 1978-12-12 Batelle Memorial Institute Optical extensometer
DE3305129A1 (de) * 1982-02-16 1983-09-01 Osakeyhtiö Decon AB, 02201 Espoo Verfahren und vorrichtung zum kalibrieren einer zum messen einer dimension eines koerpers dienenden messvorrichtung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4129384A (en) * 1977-06-08 1978-12-12 Batelle Memorial Institute Optical extensometer
DE3305129A1 (de) * 1982-02-16 1983-09-01 Osakeyhtiö Decon AB, 02201 Espoo Verfahren und vorrichtung zum kalibrieren einer zum messen einer dimension eines koerpers dienenden messvorrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Buch: Internationales Wörterbuch der Metrologie, 1. Aufl., Benth Verlag, Berlin, Köln, 1984, Stichpunkte 3.10 u. 3.14 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1219922A2 (de) * 2000-12-28 2002-07-03 INB Vision AG Verfahren zur Verbesserung der Genauigkeit von optischen 3D-Messverfahren
DE10065120A1 (de) * 2000-12-28 2002-07-11 Inb Vision Ag Verfahren zur Bestimmung der Abweichung des Pixelortes der Pixel mindestens einer Bildaufnahmematrix von der Sollposition
DE10065120C2 (de) * 2000-12-28 2003-03-20 Inb Vision Ag Verfahren zur Bestimmung der Abweichung des Pixelortes der Pixel mindestens einer Bildaufnahmematrix von der Sollposition
EP1219922A3 (de) * 2000-12-28 2004-01-21 INB Vision AG Verfahren zur Verbesserung der Genauigkeit von optischen 3D-Messverfahren
CN104949620A (zh) * 2014-03-28 2015-09-30 株式会社三丰 用于光学测量装置的校正设备及校正方法
CN104949620B (zh) * 2014-03-28 2019-07-23 株式会社三丰 用于光学测量装置的校正设备及校正方法
US11257205B2 (en) * 2015-12-21 2022-02-22 Mitutoyo Corporation Image measuring method and apparatus

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