DE4031453C2 - Triangulation measuring method and device for carrying it out - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Triangulationsmeßverfahren zur Positionsbestimmung eines Meßobjekts und ein Gerät zur Durchführung des Verfahrens, gemäß den Ansprüchen 1, 2 und 4.The invention relates to a triangulation measurement method for Position determination of a measurement object and a device for Implementation of the method according to claims 1, 2 and 4th

Triangulationsmeßverfahren werden zur Positionsbestimmung eines Meßobjekts angewandt. Bei diesem Verfahren ist in der Regel eine Strahlungsquelle zur Beleuchtung des Meßobjekts vorgesehen. Die Strahlung wird vom Meßobjekt auf einen posi­ tions-sensitiven Sensor, der zumindest zwei strahlungsabhän­ gige Ausgangssignale aufweist, aus denen die Position des Meßobjekts bestimmt werden kann, in Abhängigkeit von der Position und der Oberflächenbeschaffenheit des Meßobjekts reflektiert.Triangulation measurement methods are used to determine the position of a measurement object. With this procedure is in the Usually a radiation source for illuminating the test object intended. The radiation is from the test object to a posi tion-sensitive sensor, the at least two radiation-dependent gige output signals from which the position of the DUT can be determined depending on the Position and surface quality of the measurement object reflected.

Die Anforderungen an ein System zur Durchführung eines der­ artigen Verfahrens bestehen in einer hohen Genauigkeit, einem geringen Rauschen, einer hohen Ortsauflösung und einer hohen Anstiegsgeschwindigkeit für die Ausgangssignale, die auch die Messung sich schnell bewegender Objekte erlauben soll.The requirements for a system to implement one of the like procedure consist in a high accuracy, low noise, high spatial resolution and one high slew rate for the output signals that also allow the measurement of fast moving objects should.

Ein großes Problem bei der Anwendung von Triangulationsmeß­ verfahren besteht darin, daß die Strahlung durch die Meßob­ jekte unterschiedlich stark reflektiert wird. Das Triangu­ lationsmeßsystem muß daher über einen hohen Dynamikbereich verfügen, um einerseits sehr schwach reflektierte Signale und auf der anderen Seite sehr stark reflektierte Signale messen zu können. Bei sehr schwach reflektierten Signalen besteht darüber hinaus das Problem, daß der Abstand zum Rauschen, das durch die Sensoren und die Eingangsverstärker für die Ausgangssignale hervorgerufen wird, zu gering ist, um eine einwandfreie Messung zu garantieren.A big problem when using triangulation measurement procedure consists in that the radiation by the measuring ob objects are reflected to different degrees. The triangu The measurement system must therefore have a high dynamic range  have, on the one hand, very weakly reflected signals and on the other hand very strongly reflected signals to be able to measure. With very weakly reflected signals there is also the problem that the distance to the Noise from the sensors and the input amplifiers for which the output signals are caused is too low, to guarantee a perfect measurement.

Bei einem bekannten Triangulationsmeßverfahren bzw. einem Gerät zur Durchführung des Verfahrens (US-PS 4 673 274) zur Entfernungseinstellung und zum automatischen Fokussieren von Linsen in einer Kamera wird als Strahlungsquelle eine Infra­ rot-Strahlungsquelle verwendet. Einer Veränderung der auf die strahlungsempfindlichen Flächen einfallenden Strahlungs­ menge wird dadurch Rechnung getragen, daß die Amplitude des Lichts und der Verstärkungsfaktor von Regelverstärkern der­ art geregelt werden, daß eine definierte Taktzeit eingehal­ ten wird. Sobald der Integrationswert des Summensignals einen Sollwert VP erreicht hat, wird das entsprechende Dif­ ferenzsignal zur Einstellung des Linsensystems der Kamera verwendet.In a known triangulation measurement method or Apparatus for performing the method (US Pat. No. 4,673,274) Distance setting and for automatic focusing of Lenses in a camera become an infra as a radiation source red radiation source used. A change in the the radiation sensitive areas of incident radiation quantity is taken into account in that the amplitude of the Light and the gain factor of control amplifiers be regulated in such a way that a defined cycle time is adhered to will. As soon as the integration value of the sum signal has reached a setpoint VP, the corresponding dif Reference signal for setting the lens system of the camera used.

Während sich dieses Meßverfahren für Kameras als vorteilhaft erwiesen hat, ist eine Übertragung dieses Systems auf Ent­ fernungsmeßsysteme mit Schwierigkeiten verbunden. Für diese wird zum einen eine sehr hohe Genauigkeit der Positionsbe­ stimmung des Meßobjekts gefordert und zum anderen ist es für die Entfernungsmessung oder eventuelle Schwingungsmessung sich bewegender Objekte notwendig, mit höheren Meßfrequenzen zu arbeiten.While this measurement method is beneficial for cameras has shown is a transfer of this system to Ent distance measuring systems associated with difficulties. For this is a very high accuracy of the position the measurement object is required and on the other hand it is for the distance measurement or possible vibration measurement moving objects necessary, with higher measuring frequencies to work.

Aus der US-PS 4 705 395 ist ein Triangulationsmeßverfahren bzw. ein Gerät zur Durchführung des Verfahrens bekannt, das auf der Grundlage einer Laserstrahlungsquelle und eines po­ sitions-sensitiven Detektors arbeitet, der als Dioden-Array ausgelegt ist, wobei keine Integration der Detektorausgangs­ signale vorgesehen ist. Das bekannte Verfahren verwendet einen Referenzdetektor, um die Laser-Anschaltzeit festzule­ gen, um sicherzustellen, daß der Positionsdetektor ausrei­ chend belichtet wird. Das heißt, der Referenzdetektor dient zur Ermittlung eines Lichtmengenwerts, der bei Erreichen eines Sollwerts die Laserstrahlungsquelle abschaltet. Hierzu sind eine aufwendige Auswertelektronik sowie ein Strahltei­ ler erforderlich. Der mit diesem Verfahren beschrittene Weg erfordert in nachteiliger Weise eine relativ große Anzahl von Bauteilen und zusätzliche Justierarbeiten, um den Refe­ renzdetektor und den Positionsdetektor in bezug auf die Lichtempfindlichkeit und den optischen Strahlengang zu justieren.A triangulation measurement method is known from US Pat. No. 4,705,395 or a device for performing the method known based on a laser radiation source and a po sition-sensitive detector works as a diode array  is designed, with no integration of the detector output signals is provided. The known method used a reference detector to determine the laser switch-on time to ensure that the position detector is sufficient is exposed accordingly. That is, the reference detector serves to determine a light quantity value that is reached when a setpoint switches off the laser radiation source. For this are complex evaluation electronics and a blasting unit ler required. The path followed with this procedure disadvantageously requires a relatively large number of components and additional adjustment work to the Refe reference detector and the position detector with respect to the Light sensitivity and the optical beam path too adjust.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Tri­ angulationsmeßverfahren und ein Gerät zur Durchführung des Verfahrens zu schaffen, die eine schnelle Bestimmung der Position eines Meßobjekts bei hoher Lichtdynamik, hoher Auf­ lösung, hoher Genauigkeit und hohem Rauschabstand erlauben, wobei das Meßgerät einen einfachen Aufbau haben soll.It is therefore an object of the present invention, a tri angulationsmeßverfahren and a device for performing the To create procedures that allow a quick determination of the Position of a measurement object with high light dynamics, high exposure solution, high accuracy and high signal-to-noise ratio, the measuring device should have a simple structure.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Triangulations­ meßverfahren gemäß den Ansprüchen 1 und 2 bzw. mit einem Triangulationsmeßgerät gemäß dem Anspruch 4 gelöst.According to the invention, this object is achieved by triangulations measuring method according to claims 1 and 2 or with a Triangulation measuring device according to claim 4 solved.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteran­ sprüche.Advantageous further developments are the subject of the Unteran claims.

Die Idee der Erfindung besteht darin, daß die Einschaltzeit der Laserstrahlungsquelle durch den positions-sensitiven Detektor selbst sowie durch die diesem nachgeschaltete Aus­ wertelektronik bestimmt wird, der lediglich ein Komparator und eine Referenzspannungsquelle hinzugefügt werden müssen, um zu der erwünschten Steuerung der Einschaltzeit der Laser­ strahlungsquelle zu gelangen. Die Ausgangssignale des posi­ tions-sensitiven Detektors werden solange integriert, bis die auf dem positions-sensitiven Detektor eingestrahlte Lichtmenge einen vorgegebenen Sollwert erreicht hat. Erst dann erfolgt die Auslesung und Auswertung der aufintegrier­ ten Ausgangssignale zur Positionsberechnung des Meßobjekts.The idea of the invention is that the on time the laser radiation source by the position sensitive Detector itself as well as by the off connected downstream value electronics is determined, which is only a comparator and a reference voltage source must be added  to achieve the desired control of the laser on time radiation source to arrive. The output signals of the posi tion-sensitive detectors are integrated until the one irradiated on the position-sensitive detector Light quantity has reached a predetermined setpoint. First then the read-in and evaluation of the integrations takes place th output signals for position calculation of the measurement object.

Bei dem Triangulationsmeßgerät werden nach dem Einschalten der Strahlungsquelle zu Beginn des Meßzyklus die Ausgangs­ signale des positions-sensitiven Sensors aufintegriert und in Differenz- und Summensignale umgewandelt. Wahlweise können auch die zuerst in Differenz- und Summensignale umge­ wandelten Ausgangssignale aufintegriert werden. Erreicht der Wert der Integralsumme bzw. des Summenintegrals einen vor­ gebbaren Sollwert, so werden die auf integrierten und umge­ wandelten Sensorausgangssignale zur weiteren Signalverarbei­ tung ausgelesen. Nach Erreichen des Sollwerts wird die Stromzufuhr zur Laserstrahlungsquelle abgeschaltet.With the triangulation measuring device after switching on the output of the radiation source at the beginning of the measuring cycle signals of the position-sensitive sensor integrated and converted into difference and sum signals. Optional can also convert the first into difference and sum signals converted output signals can be integrated. Reaches the Value of the integral sum or the integral integral one in front specifiable setpoint, so the integrated and vice versa converted sensor output signals for further signal processing read out. After reaching the setpoint, the Power supply to the laser radiation source switched off.

Die Ausgangssignale der Integratoren können unmittelbar einem Analog/Digital-Wandler zugeführt werden, wo sie in einen digitalen Meßwert umgesetzt werden können. Anschlie­ ßend werden die Integratoren für den nächsten Meßzyklus zu­ rückgesetzt, wobei das Rücksetzen durch die Rücksetzeinrich­ tung zeitgesteuert erfolgen kann.The output signals of the integrators can be immediately an analog / digital converter, where they are fed in a digital measured value can be implemented. Then The integrators for the next measurement cycle become too reset, whereby the reset by the reset device tion can be timed.

Ein erfindungsgemäßes Triangulationsmeßgerät läßt sich mit sehr geringem Schaltungsaufwand und minimaler Baugröße her­ stellen. Es lassen sich zur Herstellung der Schaltung auf dem Markt befindliche Standard-Bauelemente verwenden, die in der Schaltung einfach zu dimensionieren sind. Aufgrund des Verfahrens ist kein Schaltungsabgleich erforderlich. Es sind Meßraten von mehr als 1000 Hertz möglich.A triangulation measuring device according to the invention can also be used very little circuitry and minimal size put. It can be used to manufacture the circuit use standard components on the market that are easy to dimension in the circuit. Because of  No circuit adjustment is required in the process. It measuring rates of more than 1000 Hertz are possible.

Das erfindungsgemäße Triangulationsmeßgerät hat eine sehr hohe Lichtdynamik von mehr als 100, wobei eine Vervielfa­ chung durch Modifikation möglich ist. Das Rauschen wird aufgrund der wenigen im Signalweg befindlichen Rauschquel­ len minimal gehalten. Eine Änderung der Reflexionsbedingun­ gen an dem Meßobjekt während der Meßzeit bleibt ohne Einfluß auf die gemessenen Werte.The triangulation measuring device according to the invention has a very high light dynamics of more than 100, with a multiplication modification is possible. The noise will due to the few noise sources in the signal path len kept to a minimum. A change in the reflection condition conditions on the measuring object during the measuring time remains without influence to the measured values.

Als Strahlungsquelle wird eine Laserlichtquelle verwendet, deren Strahlungsparameter durch eine konstante Pulsleistung sehr konstant gehalten werden kann.A laser light source is used as the radiation source, their radiation parameters through a constant pulse power can be kept very constant.

Als Integratoren können Kondensatoren verwendet werden.Capacitors can be used as integrators.

Die Positionsbestimmung des Meßobjekts erfolgt bei dem er­ findungsgemäßen Triangulationsmeßgerät durch die Division des Differenzwertes durch den Summenwert. In einer vorteil­ haften Weiterbildung der Erfindung ist hierbei als Auswer­ teschaltung ein Analog/Digital-Wandler in dem Triangula­ tionsmeßgerät vorgesehen, der selbst als Dividierer arbei­ tet. Der ausgegebene Digitalwert entspricht dann dem Ver­ hältnis der zu wandelnden Spannung zur angelegten Referenz­ spannung. Der Ausgang des Integrators des Summensignals wird hierbei am Referenzspannungseingang und das Ausgangs­ signal des Integrators des Differenzsignals am Wandlerein­ gang angelegt. Eine konstante maximale Auflösung wird so­ mit bei minimaler Wandlerdatenrate und geringem Hardware- und Software-Aufwand realisiert.The position of the measurement object is done with the triangulation measuring device according to the invention by the division the difference value by the total value. In an advantage liable further development of the invention is here as Auswer teschaltung an analog / digital converter in the triangula tion measuring device provided, which itself works as a divider tet. The output digital value then corresponds to Ver ratio of the voltage to be converted to the applied reference tension. The output of the integrator of the sum signal is at the reference voltage input and the output signal of the integrator of the differential signal at the converter gear created. A constant maximum resolution becomes like this  with minimal converter data rate and low hardware and Software effort realized.

Die Erfindung wird nachfolgend beispielsweise anhand der schematischen Zeichnung beschrieben. Diese zeigt ein Funk­ tionsschaltbild eines Triangulationsmeß­ geräts mit Lichtmengenregelung.The invention is described below, for example, with reference to schematic drawing described. This shows a radio tion circuit diagram of a triangulation measurement devices with light quantity control.

Das Triangulationsmeßgerät 10 hat eine Laserstrahlungsquel­ le 12, von der aus Strahlung auf ein Meßobjekt abgestrahlt wird, dessen Position bestimmt werden soll. Die vom Meßob­ jekt reflektierte Strahlung trifft auf einen positionssen­ sitiven Detektor 14 auf.The triangulation measuring device 10 has a laser radiation source 12 , from which radiation is emitted onto a measurement object whose position is to be determined. The radiation reflected by the measuring object strikes a position-sensitive detector 14 .

Die Ausgänge des Sensors 14 sind mit den Eingängen zweier Operationsverstärker 20, 22 verbunden. Die Ausgänge beider Operationsverstärker 20, 22 sind auf einen ersten Integrator 24 geführt, der zur Integration der Summe der aufbereiteten Ausgangssignale des Sensors 14 dient. Die Integration er­ folgt in dem Integrator 24 durch einen Kondensator 26. Das Ausgangssignal des zweiten Operationsverstärkers 22 ist auf einen zweiten Integrator 28 geführt, der ebenfalls einen Kondensator 30 zur Integration des Ausgangssignals auf­ weist. Der Ausgang des ersten Integrators 24 ist mit dem Referenzeingang 32 eines A/D-Wandlers 34 verbunden. Der Ausgang des zweiten Integrierers 28 ist mit dem Wandlerein­ gang 36 des Analog/Digital-Wandlers 34 verbunden. Durch diese Schaltung wird vorteilhafterweise der Rauschanteil durch Analogaufbereitung der Ausgangssignale des positions­ sensitiven Detektors so gering wie möglich gehalten, wo­ durch die Dynamik des Triangulationsgeräts abermals verbes­ sert wird. Der Analog/Digitalwandler arbeitet als Dividie­ rer, der das Integrationssignal des einen Sensorausgangssi­ gnals durch das Integrationssignal der Summe beider Sensor­ ausgangssignale teilt und daraus die Position eines Meß­ objektes bestimmt. Durch das Fehlen analoger Bauteile bei der Auswertung der Integratorsignale wird eine hohe Linea­ rität erreicht. Das Auslesen der Integratoren 24, 28 durch den Analog/Digital-Wandler 34 wird dadurch verursacht, daß das integrierte Summensignal am Ausgang des ersten Integra­ tors 24 auf den ersten Eingang eines Komparators 38 gelegt ist, der dieses integrierte Summensignal mit der Referenz­ spannung einer Referenzspannungsquelle 40 vergleicht, die vorzugsweise einstellbar ist. Wenn der aufintegrierte Sum­ menwert am Ausgang des ersten Integrators 24 die Referenz­ spannung der Referenzspannungsquelle 40 übersteigt, wird der Analog/Digital-Wandler 34 durch das Ausgangssignal des Kornparators 38 um Auslesen der Ausgangssignale der beiden Integratoren 24 und 28 angestoßen. Gleichzeitig wird wäh­ rend dieses Vorgangs die Stromzufuhr 42 zur Laserstrah­ lungsquelle 12 unterbrochen. Die durch den Analog/Digital- Wandler 34 ausgelesenen Werte können durch eine Schnitt­ stelle 44 an ein Bussystem zur weiteren Verwertung ausgege­ ben werden. Nach dem Auslesevorgang werden die Integratoren 24, 28 durch eine zeitgesteuerte Rücksetzeinrichtung 46 wie­ der zurückgesetzt. Die Rücksetzung erfolgt durch Kurz­ schließen der Kondensatoren 26, 30 in den Integratoren 24, 28 und wird von der Rücksetzeinrichtung 46 gesteuert. Die Rücksetzeinrichtung steuert auch eine Einrichtung zur Fremdlichtkompensation, die durch die Operationsverstärker 20, 22 und die Kompensationsglieder 48, 50 gebildet wird. Die Länge einer Meßzeit hängt von der auf den positionssensi­ tiven Detektor eingestrahlten Lichtmenge ab und wird so eingeregelt, daß die eingestrahlte Lichtmenge im wesentli­ chen konstant ist.The outputs of the sensor 14 are connected to the inputs of two operational amplifiers 20 , 22 . The outputs of both operational amplifiers 20 , 22 are routed to a first integrator 24 , which is used to integrate the sum of the processed output signals from sensor 14 . The integration takes place in the integrator 24 through a capacitor 26 . The output signal of the second operational amplifier 22 is fed to a second integrator 28 , which also has a capacitor 30 for integrating the output signal. The output of the first integrator 24 is connected to the reference input 32 of an A / D converter 34 . The output of the second integrator 28 is connected to the converter input 36 of the analog / digital converter 34 . This circuit advantageously keeps the noise component as low as possible by analog processing of the output signals of the position-sensitive detector, where the dynamics of the triangulation device improve again. The analog / digital converter works as a divider, which divides the integration signal of one sensor output signal by the integration signal of the sum of the two sensor output signals and determines the position of a measurement object therefrom. Due to the lack of analog components when evaluating the integrator signals, a high degree of linearity is achieved. The reading of the integrators 24, 28 by the analog / digital converter 34 is caused by the fact that the integrated sum signal at the output of the first integrator 24 is connected to the first input of a comparator 38 , which this integrated sum signal with the reference voltage of a reference voltage source 40 compares, which is preferably adjustable. If the integrated sum value at the output of the first integrator 24 exceeds the reference voltage of the reference voltage source 40 , the analog / digital converter 34 is triggered by the output signal of the comparator 38 to read the output signals of the two integrators 24 and 28 . At the same time, the power supply 42 to the laser beam source 12 is interrupted during this process. The values read out by the analog / digital converter 34 can be output by an interface 44 to a bus system for further use. After the readout process, the integrators 24 , 28 are reset by a time-controlled reset device 46 . The reset is carried out by short-circuiting the capacitors 26 , 30 in the integrators 24, 28 and is controlled by the reset device 46 . The reset device also controls a device for extraneous light compensation, which is formed by the operational amplifiers 20 , 22 and the compensation elements 48 , 50 . The length of a measuring time depends on the amount of light irradiated onto the position-sensitive detector and is adjusted so that the amount of light irradiated is essentially constant.

Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel er­ folgt die Summation der aufbereiteten Sensorsignale in dem ersten Integrator 24. Diese Anordnung ist bezüglich der Mi­ nimierung von Störquellen und Hardware-Aufwand vorteil­ haft. Selbstverständlich ist es dem Fachmann auch überlas­ sen, die Integration vor oder nach der Summation durchzu­ führen.In the exemplary embodiment described above, the processed sensor signals are summed in the first integrator 24 . This arrangement is advantageous with regard to minimizing interference sources and hardware outlay. Of course, it is also left to the person skilled in the art to carry out the integration before or after the summation.

Der wesentliche Kern der Erfindung liegt in der Anwendung einer Lichtmengenregelung, mit der sich eine sehr hohe Lichtdynamik bei sehr guter Genauigkeit der Ortsbestimmung und hoher Meßrate erzielen läßt. Bei jedem einzelnen Meß­ zyklus paßt sich die Meßvorrichtung den Reflexionseigen­ schaften der Meßgutoberfläche ohne Zeitverzögerung neu an. Dadurch wird eine verzögerungsfreie Vermessung von bewegten Meßgütern mit sehr stark unterschiedlichem Reflexionsver­ halten ermöglicht. Ein auf diesem Prinzip basierendes Tri­ angulationsmeßgerät ist zudem in hohem Maß störungsunemp­ findlich und läßt sich schaltungs- und fertigungstechnisch mit geringem Aufwand realisieren.The essential essence of the invention lies in the application a light quantity control with which a very high Light dynamics with very good accuracy of location and high measuring rate can be achieved. With every single measurement cycle, the measuring device adapts to the reflection properties create new surface without delay. This enables a delay-free measurement of moving Measured goods with very different reflectivity hold. A tri based on this principle Angulation measuring device is also highly immune to interference sensitive and can be circuit and manufacturing technology realize with little effort.

Claims (11)

1. Triangulationsmeßverfahren zur Positionsbestimmung eines Meßobjekts unter Verwendung einer Laserstrahlungs­ quelle, deren Einschaltzeit in Abhängigkeit von den Re­ flexionseigenschaften des Meßobjekts geregelt wird, und eines positions-sensitiven Detektors mit mindestens zwei strahlungssensitiven Sensorflächen, die nach dem Einschalten der Laserstrahlungsquelle jeweils ein Ausgangssignal lie­ fern, wobei die Ausgangssignale des positions-sensitiven Detektors so lange aufintegriert werden, bis ein an einem Komparator anliegendes, auf integriertes Summensignal der Ausgangssignale einen durch eine ebenfalls am Komparator anliegende Referenzspannung festgelegten Sollwert der auf die Sensorflächen auftreffenden Lichtmenge erreicht hat, wodurch die Stromzufuhr zur Laserstrahlungsquelle abgeschal­ tet wird und die aufintegrierten Signale zur Positionsbe­ stimmung ausgewertet und anschließend für einen neuen Meß­ zyklus rückgesetzt werden.1. Triangulation measurement method for position determination of a measurement object using laser radiation source, the switch-on time depending on the Re flexion properties of the measurement object is regulated, and a position-sensitive detector with at least two radiation-sensitive sensor surfaces after switching on the laser radiation source each have an output signal far, the output signals of the position sensitive Detector be integrated until one at one Comparator applied to the integrated sum signal of the Output signals one by one also on the comparator applied reference voltage setpoint the on has reached the amount of light striking the sensor surfaces, whereby the power supply to the laser radiation source is shut off tet and the integrated signals to the position mood evaluated and then for a new measurement cycle can be reset. 2. Triangulationsmeßverfahren zur Positionsbestimmung eines Meßobjekts unter Verwendung einer Laserstrahlungsquel­ le, deren Einschaltzeit in Abhängigkeit von den Reflexions­ eigenschaften des Meßobjekts geregelt wird, und eines posi­ tions-sensitiven Detektors mit mindestens zwei strahlungs­ sensitiven Sensorflächen, die nach dem Einschalten der Laserstrahlungsquelle jeweils ein Ausgangssignal liefern, wobei die Ausgangssignale des positions-sensitiven Detektors so lange aufsummiert werden, bis ein an einem Komparator an­ liegendes, aufsummiertes Integrationssignal der Ausgangssig­ nale einen durch eine ebenfalls am Komparator anliegende Referenzspannung festgelegten Sollwert der auf die Sensor­ flächen auftreffenden Lichtmenge erreicht hat, wodurch die Stromzufuhr zur Laserstrahlungsquelle abgeschaltet wird und das Integrationssignal zur Positionsbestimmung ausgewertet und anschließend für einen neuen Meßzyklus rückgesetzt wird.2. Triangulation measurement method for position determination of a measurement object using a laser radiation source le, their on-time depending on the reflections properties of the test object is regulated, and a posi tion-sensitive detector with at least two radiation sensitive sensor areas, which after switching on the Laser radiation source each deliver an output signal, the output signals of the position-sensitive detector be added up until one is connected to a comparator horizontal, summed integration signal of the output signal nale one by a also at the comparator  Reference voltage setpoint set on the sensor has reached the amount of incident light, which means that the Power supply to the laser radiation source is switched off and the integration signal for position determination is evaluated and then reset for a new measuring cycle. 3. Triangulationsmeßverfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Sollwert eingestellt werden kann.3. triangulation measurement method according to claim 1 or 2, characterized, that the setpoint can be set. 4. Triangulationsmeßgerät, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, mit einer Laserstrahlungsquelle (12), deren Einschaltzeit in Abhängig­ keit von den Reflexionseigenschaften des Meßobjekts geregelt wird, einem positions-sensitiven Detektor (14) mit minde­ stens zwei strahlungssensitiven Sensorflächen, die nach dem Einschalten der Laserstrahlungsquelle (12) jeweils ein Aus­ gangssignal liefern, Integratoren (24, 28) zum Bilden eines auf integrierten Summensignals oder eines aufsummierten Integrationssignals der Ausgangssignale, einem Komparator (38) zum Vergleich des auf integrierten Summensignals oder des aufsummierten Integrationssignals mit einem durch eine ebenfalls am Komparator (38) anliegende Referenzspannung festgelegten Sollwert der auf die Sensorflächen auftreffen­ den Lichtmenge, zum Abschalten der Stromzufuhr (42) zur Laserstrahlungsquelle (12), wenn das Summensignal oder das Integrationssignal den Sollwert erreicht hat, und zur Steue­ rung einer Auswerteschaltung (34) für die Positionsbestim­ mung des Meßobjekts, und mit einer Rücksetzeinrichtung (46) zum Rücksetzen der Integrations- oder Summenwerte der Aus­ gangssignale. 4. Triangulation measuring device, in particular for carrying out the method according to one of claims 1 to 3, with a laser radiation source ( 12 ), the turn-on time is regulated depending on the speed of the reflection properties of the measurement object, a position-sensitive detector ( 14 ) with at least two radiation-sensitive Sensor surfaces, each supply an output signal after switching on the laser radiation source ( 12 ), integrators ( 24 , 28 ) for forming an integrated sum signal or a summed integration signal of the output signals, a comparator ( 38 ) for comparing the integrated sum signal or the summed up Integration signal with a setpoint value, which is also determined by a reference voltage applied to the comparator ( 38 ) and which impinges on the sensor surfaces, to switch off the power supply ( 42 ) to the laser radiation source ( 12 ) when the sum signal or the integration signal reaches the setpoint value t has, and for the control of an evaluation circuit ( 34 ) for the position determination of the measurement object, and with a reset device ( 46 ) for resetting the integration or sum values of the output signals. 5. Triangulationsmeßgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (34) einen Analog/Digital-Wandler enthält, dessen Eingänge (32, 36) mit den Ausgängen der Integratoren (24, 28) ver­ bunden sind.5. Triangulation measuring device according to claim 4, characterized in that the evaluation device ( 34 ) contains an analog / digital converter, the inputs ( 32 , 36 ) with the outputs of the integrators ( 24 , 28 ) are connected ver. 6. Triangulationsmeßgerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang des Integrators (24) für das Summensignal mit dem Referenzeingang (32) und der Ausgang des Integrators (28) für eines der Ausgangssig­ nale mit dem Wandlereingang (36) des Analog/Digital-Wandlers (34) verbunden sind, und daß der Analog/Digital-Wandler (34) als Dividierer ausgebildet ist.6. Triangulation measuring device according to claim 5, characterized in that the output of the integrator ( 24 ) for the sum signal with the reference input ( 32 ) and the output of the integrator ( 28 ) for one of the output signals with the converter input ( 36 ) of the analog / digital -Converters ( 34 ) are connected, and that the analog / digital converter ( 34 ) is designed as a divider. 7. Triangulationsmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Integrato­ ren (24, 28) Kondensatoren (26, 30) enthalten.7. triangulation measuring device according to one of claims 4 to 6, characterized in that the integrators ( 24 , 28 ) contain capacitors ( 26 , 30 ). 8. Triangulationsmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Rücksetz­ einrichtung (46) eine Zeitsteuerung enthält.8. triangulation measuring device according to one of claims 4 to 7, characterized in that the reset device ( 46 ) contains a time control. 9. Triangulationsmeßgerät nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Analog/Di­ gital-Wandler (34) über eine Schnittstelle (44) zum Anschluß an ein Bussystem verfügt.9. Triangulation measuring device according to one of claims 5 to 8, characterized in that the analog / digital converter ( 34 ) has an interface ( 44 ) for connection to a bus system. 10. Triangulationsmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Sollwert über eine Referenzspannungsquelle (40) einstellbar ist.10. Triangulation measuring device according to one of claims 4 to 9, characterized in that the setpoint is adjustable via a reference voltage source ( 40 ). 11. Triangulationsmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorflä­ chen auf einer länglichen Sensorbahn angeordnet sind.11. Triangulation measuring device according to one of claims 4 to 10, characterized in that the sensor surface Chen are arranged on an elongated sensor track.