DE4021581A1 - Verfahren zur bewegung eines bohrungen aufweisenden gutes bei dessen nasschemischer behandlung, z.b. galvanisierung, sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft zunächst ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff das Anspruches 1. Bisher ist man so vorgegangen, daß während des Aufenthaltes des zu behandelnden Gutes in der Behandlungsstation (Bad) durch am Badbehälter geführte Stangen über die Warenträger das Gut senkrecht zur Gutebene mit einer Hublänge von 2×10 bis 2×40 mm und einer Frequenz von etwa 20 Doppelhüben/min. hin- und herbewegt wurde. Mit dieser "Warenbewegung" sollten die Bohrungen des Gutes, insbesondere plattenförmigen Gutes wie Leiterplatten, von Rückständen gereinigt und insbesondere von darin sich auf­ grund der chemischen Behandlung gebildeten Gasbläschen befreit werden.

Es hat sich gezeigt, daß die vorgenannte Verfahrensmaßnahme vielfach und insbesondere dann nicht mehr ausreicht, wenn das Verhältnis der Plattendicke (insbesondere der Dicke von Leiterplatten) zum Durchmesser der Bohrung den Wert von 8 : 1 übersteigt (sogenannter Aspect ratio größer als 8 : 1).

Die Aufgabe bzw. Problemstellung der Erfindung besteht zunächst darin, Verfahrensmaßnahmen gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 dahingehend zu verbessern, daß, insbesonde­ re bei einem für das Entfernen von Rückständen und Gasbläs­ chen aus den Bohrungen ungünstigem Verhältnis der Plattendi­ cke zum Bohrungsdurchmesser (z. B. bei einem Aspect ratio < 8 : 1), mit Sicherheit noch vorhandene Rückstände und/oder Gasbläschen entfernt werden. Dabei ist insbesondere an die Behandlung von mit Bohrungen versehene Leiterplatten ge­ dacht, die unter der Abkürzung HARB (High Aspect Ratio Boards) bekannt sind. Außerdem soll der Austausch der Be­ handlungsflüssigkeit innerhalb der Bohrungen verbessert werden.

Die Lösung dieser Aufgabe wird, ausgehend vom Oberbegriff des Anspruches 1, zunächst in den Merkmalen des Kennzeichens des Anspruches 1 gesehen. Es hat sich gezeigt, daß mit dieser Rüttelbewegung des Gutes die vorgenannte Aufgabe gelöst wird, und zwar auch bei einem Aspect ratio < 8 : 1. Die Frequenz sollte zumindest den angegebenen Wert haben. Sie kann demgegenüber aber auch wesentlich höher sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführung der Erfindung beträgt sie 50 Hz. Diese Schwingungen haben eine relativ kleine Amplitude. Die Größe der Amplitude beträgt in der Regel bis zu 2 mm. Sie könnte gegebenenfalls aber auch noch größer sein, d. h. bis etwa 3 mm. Es erfolgt in den Bohrungen des Gutes ein intensiver Austausch der Behandlungsflüssigkeit. Aus elek­ tro-chemischen Vorgängen entstandene Gasbläschen werden aus den Bohrungskanälen entfernt. Vorteilhaft wirken die Rüttel­ schwingungen nur auf das Gut und die sie tragenden Teile, nicht aber auf die stationären Bauteile der Anlage.

Zur Unterstützung der erfindungsgemäßen Wirkung können eine oder mehrere der Verfahrensmaßnahmen gemäß den Ansprüchen 2 bis 9 vorgesehen sein.

Durch das Drehen oder Schwenken gemäß Anspruch 2 wird stän­ dig der Winkel zwischen der Längsachse der Bohrungen des Gutes und der Rüttelrichtung geändert. Dies fördert die Entfernung von Gasbläschen aus den Bohrungen. Außerdem wird dadurch der Austausch an Behandlungsflüssigkeit zwischen im Abstand voneinander angeordneten, zu behandelnden platten­ förmigen Gutteilen gefördert, was wiederum eine weitere Förderung des Austausches an Behandlungsflüssigkeit in den Bohrungen zur Folge hat. Die vorgenannten Vorteile bzw. Effekte sind auch durch eine Verfahrensmaßnahme gemäß An­ spruch 3 erreichbar. Dabei kann die Schräglage je nach dem angestrebten Resultat verschieden gewählt werden. Zum Bei­ spiel kann man bei einem etwa senkrechten Verlauf der Längs­ achsen der Bohrungen und ferner der Erzeugung von Rüttel­ schwingungen etwa in Richtung dieser Längsachse den Auftrieb der Gasbläschen innerhalb der Flüssigkeit maximal ausnützen und dadurch eine besonders leichte Trennung der Gasbläschen von den Wandungen der Bohrungen erreichen.

Die Maßnahme gemäß Anspruch 4 erleichtert ebenfalls ein Ablösen der Gasbläschen von den betreffenden Oberflächen oder Wandungen des Gutes. Das gleiche gilt für die Verfah­ rensmaßnahmen der Ansprüche 5 und 6. Das Durchlaufen ver­ schiedener Frequenzbereiche hat sich für die Ablösung der Gasbläschen als besonders vorteilhaft erwiesen.

Die Merkmale der Ansprüche 8 und 9 beinhalten die Kombina­ tion der Rüttelschwingungen nach der Erfindung mit der eingangs erläuterten langsamen Hin- und Herbewegung ("Waren­ bewegung") von z. B. 20 Doppelhüben/min. und einer entspre­ chend großen Amplitude von z. B. 2×10-2×40 mm, die für sich aus dem Stand der Technik bekannt ist.

Die Erfindung will ferner die Aufgabe bzw. Problemstellung der Schaffung einer Anordnung zur Durchführung des Verfah­ rens nach einem oder mehreren der zuvor bereits erläuterten Ansprüche 1 bis 9 lösen, wobei, unter Vermeidung der Nach­ teile des erläuterten Standes der Technik, eine Übertragung derartiger Rüttelschwingungen auf den stationären Teil einer solchen Anlage, insbesondere den Badbehälter, weitgehend vermieden werden soll.

Die Lösung dieser Aufgabe wird, ausgehend von den Merkmalen des Oberbegriffes des Anspruches 10, zunächst in den kenn­ zeichnenden Merkmalen des Anspruches 10 gesehen. Die vorge­ sehene Positionierung der Schwingungserzeuger hat entspre­ chend dem eingangs erläuterten Verfahren zur Folge, daß deren Schwingungen fast ausschließlich an das zu behandelnde Gut gelangen, jedoch nicht oder nur geringfügig an den stationären Teil der Anlage, insbesondere den Behälter, weitergegeben werden. Entsprechend der Lehre des Anspruches 1 verläuft die hauptsächliche Richtung der vom Schwingungs­ erzeuger hervorgebrachten Schwingungen in Richtung der Bohrungen des zu behandelnden Gutes, d. h. der Schwingungser­ zeuger wird im Hinblick auf die Aufnahme- oder Tragmittel des Gutes so positioniert, daß er in der Richtung der Längs­ achsenbohrungen des Gutes schwingt. Dabei ist aber auch eine Schwingungsrichtung möglich, die mit der Längsachse der Bohrungen einen gewissen Winkel einnimmt, z. B. bei Anwendung der entsprechenden Verfahrensmaßnahmen, die vorstehend bereits erörtert wurden, einschließlich einer ständigen Änderung der Lage der Bohrungen durch Drehen des Gutes mit Hilfe eines Korbes oder dergleichen. Wie aus den nachfolgen­ den Ausführungen noch näher hervorgeht, können die Schwin­ gungserzeuger an verschiedenen Stellen zwischen Warenträger und Gut vorgesehen sein, z. B. auch am Tragstab eines die Gutteile aufnehmenden Korbes, an Traggestellen, an der Warenträgerschiene und anderen Halt- oder Tragmitteln des Gutes. Bei all den vorgenannten Anbringungsmöglichkeiten des Schwingungserzeugers befindet er sich an einem Bauteil, an dem sich auch das zu behandelnde Gut befindet, so daß ein unmittelbarer, die Schwingungen übertragender mechanischer Kontakt zum Gut vorhanden ist.

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung sind den weite­ ren Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschreibung und der zugehörigen Zeichnung von erfindungsgemäßen Ausführungs­ beispielen zu entnehmen. In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel in der Seitenansicht, z. T. geschnitten,

Fig. 2 eine Teildarstellung in einer Ansicht gemäß dem Pfeil II in Fig. 1,

Fig. 3 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles in Fig. 2,

Fig. 4 eine Draufsicht in Richtung des Pfeiles IV in Fig. 2,

Fig. 5 eine Darstellung etwa gemäß Fig. 2 mit zusätzlichen Kontaktmitteln vor dem Absenken des Warenträgers,

Fig. 6 eine Ansicht gemäß Fig. 5 nach erfolgtem Absenken des Warenträgers,

Fig. 7 eine weitere Ausführungsform der Erfin­ dung in der Seitenansicht,

Fig. 8 eine weitere Ausführungsform der Erfin­ dung in Form eines Tragstabes oder eines Traggestellstabes mit Mitteln zur Anbrin­ gung von Platten in einer Schräglage,

Fig. 9 ein Detail von Fig. 6 in perspektivischer Ansicht und unter Weglassung der Leiter­ platten,

Fig. 10 eine weitere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung schematisch und in der Drauf­ sicht,

Fig. 11 eine weitere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung schematisch und in der Frontan­ sicht.

In den im wesentlichen schematischen Zeichnungen sind nur die für die Erläuterung der vorliegenden Erfindung notwendi­ gen Bauteile dargestellt; nicht aber die übrigen bekannten Bauteile und Vorrichtungen, die für den Betrieb einer naß­ chemischen Behandlungsanlage dieser Art notwendig sind.

Fig. 1 zeigt den Behälter 1 einer Behandlungsstation 2, durch den das zu behandelnde Gut 3, hier mit Bohrungen versehene Leiterplatten, in der Transportrichtung 4 hin­ durchgeführt wird. Die vorgenannten Bohrungen sind aus zeichnerischen Gründen nicht dargestellt. Ihre Längsachsen verlaufen gemäß Ziffer 5. Das Verhältnis Dicke der Platten 3 zum Bohrungsdurchmesser ist bevorzugt größer als 8 : 1. In Transport- und Bearbeitungsrichtung 4 sind in der Regel mehrere Behandlungsstationen 2 hintereinander angeordnet. Die Behandlungsflüssigkeit (dies kann auch eine Spülflüssig­ keit sein) ist mit Ziffer 6 angedeutet.

Es sind Warenträger 7 vorgesehen, die (siehe auch die Fig. 2 bis 4) aus einer Warenträgerschiene 8 und diese hal­ tenden Tragarmen 9 bestehen. An den oberen Abwinklungen 9′ der Tragarme 9 greift eine Hubeinrichtung 10 an (hier nur strichpunktiert angedeutet), welche die Tragarme 9 mit ihren gabelförmigen Enden 9′′ von einer sogenannten Einweisung 11 des Behälters abhebt und ferner das zu behandelnde Gut aus dem Bad herauszieht, zur nächsten Station weitertranspor­ tiert, dort absenkt und so fort. Während sich das zu behan­ delnde Gut im Bad befindet (siehe Fig. 1 bis 5 und 8, 9), werden Schwingungserzeuger wirksam, die durchweg mit 12 beziffert sind.

Im Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 4 erzeugen die Schwingungserzeuger 12 Rüttelschwingungen in Richtung des Doppelpfeiles 13. Diese Rüttelrichtung verläuft im wesentli­ chen horizontal. Die Schwingungserzeuger 12 sind in diesem Beispiel an den Warenträgerschienen 8 angebracht. Dieses Ausführungsbeispiel zeigt außerdem (siehe Fig. 2 und 4), daß mehrere Schwingungserzeuger, hier zwei Schwingungserzeu­ ger 12, im Abstand voneinander an jeder Warenträgerschiene 8 vorgesehen sind. Damit kann eine gleichmäßige Rüttelwirkung über die gesamte Länge der jeweiligen Warenträgerschiene 8 erreicht werden. Wenn nötig, können auch mehr als zwei Schwingungserzeuger an der Warenträgerschiene, ggfls. in unterschiedlichen Abständen voneinander, sowie in entspre­ chend gewählten Abständen zu den Enden der Schienen 8 so angeordnet werden, daß an der die Schwingung mitmachenden Warenträgerschiene sogenannte "Schwingungsbäuche" und "Schwingungsknoten" vermieden werden. Die Rüttelschwingungen werden von der jeweiligen Warenträgerschiene 8 auf das jeweilige Traggestell 14 übertragen, an dem, wie angedeutet, die zu behandelnden Leiterplatten oder dergleichen 3 mit Hilfe von Klammern oder dergleichen 15 angebracht sind. Je nach Art des Schwingungserzeugers 12 können im übrigen auch Schwingungen erzeugt werden, die nicht nur parallel zur Richtung des Doppelpfeiles 13 verlaufen und sich ebenfalls auf das zu behandelnde Gut übertragen.

Um die mit der Erfindung erzeugten Rüttelschwingungen völlig oder zumindest weitgehend vom stationären Teil der Anlage fernzuhalten, sind entsprechende Mittel vorgesehen. Dies kann z. B. in der Weise erreicht werden, daß die Warenträger­ schiene 8 in der Rüttelrichtung 13 sehr elastisch ist, z. B. den insbesondere Fig. 1 zu entnehmenden dünnen Querschnitt aufweist. Dieser dünne, mit seiner langen Seite senkrecht zur Rüttelrichtung 13 verlaufende Querschnitt kann somit in der Rüttelrichtung leicht elastisch-federnd nachgeben. Hieraus ergibt sich in Verbindung mit der Elastizität des verwendeten Materiales der Warenträgerschiene eine Übertra­ gung der Schwingungen des Schwingungserzeugers 12 aus­ schließlich, oder nahezu ausschließlich, auf die Warenträ­ gerschiene, und von dieser auf das hiervon gehaltene Gut. Eine weitere Ausführungsmöglichkeit für das vorerwähnte Fernhalten der Schwingungen vom stationären Teil der Anlage wären z. B. elastische Lagerungen 27 der Einweisungen 11 auf den nachstehend näher erläuterten Stangen 17.

Bevorzugt sind die Schwingungserzeuger mit Hilfe eines angedeuteten Elektromotors 16 angetrieben. Die Stromübertra­ gung erfolgt mit Hilfe von Kontakten, die näher in Fig. 5 und 6 dargestellt sind und beim Übergreifen der gabelartigen Enden 8′ über die jeweilige Einweisung 11 geschlossen wer­ den. Hierzu zeigt Fig. 5 den Warenträger 7, der gemäß den Pfeilen 27 in die Behandlungsstation 2 abgesenkt wird. Am Tragarm 9 des Warenträgers ist ein Kontaktoberteil 28 und an der Behandlungsstation 2 ein zugehöriges Kontaktunterteil 29 vorgesehen. Sobald der vorgenannte Absenkvorgang beendet ist, d. h. die abgesenkte Endlage gemäß Fig. 6 erreicht wurde in der sich das zu behandelnde Gut im Bad 3 befindet, liegen die Kontakte 28, 29 aneinander an. Wie strichpunktiert mit Ziffer 30 angedeutet, ist dann die Stromzufuhr zu den elek­ trischen Antrieben 16 der Schwingungserzeuger gegeben. Diese Schließung der Kontakte und damit das Inbetriebsetzen der Schwingungserzeuger 12 erfolgt somit also selbsttätig nach dem erfolgten Einbringen des Gutes in das Bad 6. Mit dem Herausnehmen des Gutes aus dem Bad werden die vorgenannten Kontakte dann ebenso selbsttätig wieder geöffnet. Die glei­ che Kontaktanordnung kann vorgesehen sein, wenn statt eines Elektromotors ein elektromagnetischer Schwingungserzeuger vorgesehen wird. Die Schwingungserzeugung wäre jedoch auch auf nicht elektrischem Wege, z. B. mittels Druckluft, mög­ lich.

Es ist ferner möglich, Schwingungserzeuger vorzusehen, die jeweils verschieden starke Beschleunigungswerte erzielen und alternierend in unterschiedlichen Richtungen wirken (in der Zeichnung nicht dargestellt). So kann z. B. in der einen Richtung ein Magnet die Warenträgerschiene 8 oder dgl. anziehen, während nach Abschaltung des Magneten durch eine Feder die Warenträgerschiene wieder zurückbewegt werden kann, worauf anschließend wieder der Magnet tätig wird, u. s. w. Bei entsprechender Abstimmung beider Schwingungser­ zeuger kann in den Bohrungen des Gutes eine Pumpwirkung erzeugt werden, wo die Gasbläschen gewissermaßen aus der Bohrung herausgeschoben werden.

Die Größe der Unwucht eines Schwingungserzeugers und dessen Frequenz sind an die jeweiligen Verhältnisse bzw. Anforde­ rungen anpaßbar. Wie bereits erwähnt, sind auch kontinuier­ liche oder diskontinuierliche Veränderungen der Schwingungs­ frequenz, letztere auch durch wiederholtes Ein- und Aus­ schalten des Schwingungserzeugers, möglich.

Falls die Rüttelschwingungen nach der Erfindung in Zusammen­ wirken mit einem langsamen Hin- und Herbewegen des Gutes mit einer sehr geringen Frequenz von etwa 20 Doppelhüben/min. erfolgen sollen (siehe Erläuterung dieser Hin- und Herbewe­ gung zu Beginn der Beschreibung), sind hierzu Verstellstan­ gen 17 vorgesehen, die durch eine nicht dargestellte Vor­ richtung im vorgenannten Sinne in Richtung der Doppelpfeile 13 in ihrer Längsrichtung hin- und herbewegt werden, und zwar relativ zu dem Behälter 1. Mit den Stangen 17 sind die Einweisungen 11 fest verbunden und übertragen daher deren Bewegung auf das Gut 3.

Das Ausführungsbeispiel der Fig. 7 zeigt eine Warenträger­ schiene 8 mit Tragarmen 9 und einen Tragstab 18, der an der Warenträgerschiene 8 hängt und über einen Träger 19 einen Korb 20 hält, der zur Aufnahme eines Stapels von zu behan­ delndem plattenförmigen Gut 3 dient. Die Platten, bevorzugt ebenfalls die o. g. Leiterplatten, haben voneinander einen gewissen Abstand, damit die Behandlungsflüssigkeit zwischen den Platten hindurchfließen kann. Der Schwingungserzeuger 12 mit Antrieb 16 ist am Tragstab 18 angebracht. Im übrigen können sinngemäß die Ausgestaltungen und Möglichkeiten auch hier verwendet werden, die an Hand der Fig. 1 bis 4 beschrieben wurden. Grundsätzlich gilt also, daß bei einem der Ausführungsbeispiele erläuterte Kontruktionen, Anwendun­ gen und Verfahrensmaßnahmen bei einem der anderen Ausfüh­ rungsbeispiele ebenfalls vorgesehen sein können.

Bei der erläuterten Kombination einer höherfrequenten Rütte­ lung nach der Erfindung mit einer demgegenüber niederfre­ quenten Hin- und Herbewegung mit Hilfe der Stange 17 können sich durch die Überlagerungen beider Schwingungen entspre­ chende Effekte (Oberwellen) ergeben.

Der Korb 20 kann um eine Drehachse, hier eine horizontal verlaufende Drehachse 21, in Richtung eines oder beider Pfeile 22, 23 gedreht oder auch hin- und hergeschwenkt werden. Die hiermit erzielte Bewegung der Platten 3 überla­ gert sich der Rüttelung durch den Schwingungserzeuger 12, die auch hier hauptsächlich in Richtung des Doppelpfeiles 13 geschieht. Dies hat einen intensiveren Austausch der Behand­ lungsflüssigkeit in den Zwischenräumen zwischen den einzel­ nen Platten und ferner auch eine intensivere Durchspülung der Bohrungen der Platten und Abtrennen oder Loslösen der Gasbläschen zur Folge. Dies wird insbesondere dadurch er­ reicht, daß mit dem vorgenannten Drehen oder Schwenken die Bohrungen der Platten nicht stets waagerecht verlaufen, sondern periodisch auch schräg oder senkrecht zur Waagerech­ ten.

Fig. 8 zeigt eine mögliche Schräglage des Gutes (hier eben­ falls Platten 3), die von entsprechend schräg zur Senkrech­ ten verlaufenden Schlitzen 24 von Halterungen 25 des Tragge­ stelles 14 gehalten werden. Hierzu werden die Platten mit ihren seitlichen Kanten in die Schlitze 24 eingesteckt; gegebenenfalls auch durch Klemmschrauben oder dgl. gesi­ chert. Fig. 8, insbesondere auch Fig. 9 zeigen, daß in diesem Ausführungsbeispiel drei übereinander liegende Halte­ rungen 25 mit Schlitzen 24, 24′ und 24′′ vorgesehen sind, deren Richtung schräg zur Längsachse des Traggestelles 14 verläuft und die so versetzt an den Halterungen 25 vorgese­ hen sind, daß diese Schlitze miteinander fluchten und den Rand einer Platte 3 aufnehmen können. In diesem Beispiel ist die Anordnung der Platten so, daß sie zwar schräg zur Senk­ rechten verlaufen und damit auch der Längsachse der zu reinigenden Bohrungen eine entsprechende Schräglage zur Horizontalen geben, wobei die Platten 3 senkrecht zur Rüt­ telrichtung 13 angeordnet sind.

Fig. 10 zeigt im Prinzip eine demgegenüber andere Variante, bei welcher die Platten 3 eine Schräglage haben, die einen spitzen Winkel mit der Rüttelrichtung 13 bildet. Dies erleichtert ein Hindurchfließen und damit Austauschen der Behandlungsflüssigkeit in den Räumen 26 zwischen den Plat­ ten. Die Schräglagen gemäß Fig. 8, 9 einerseits und Fig. 10 andererseits können auch kombiniert vorgesehen werden.

Fig. 11 zeigt eine weitere Variante der Anbringung eines Schwingungserzeugers 12, und zwar zwischen zwei Traggestel­ len 14, die an der Warenträgerschiene 8 hängen. Der Schwin­ gungserzeuger 12 ist so ausgelegt, daß seine hauptsächliche Schwingung senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 11 verläuft. Mit 3 sind wieder zu behandelnde Platten beziffert.

Alle dargestellten und beschriebenen Merkmale sind erfin­ dungswesentlich, soweit sie nicht ausdrücklich als bekannt bezeichnet wurden.

Claims (30)

1. Verfahren zur Hin- und Herbewegung eines Bohrungen aufweisenden Gutes, insbesondere von Leiterplatten mit einem Verhältnis von Leiterplattendicke zum Bohrungs­ durchmesser < 8 : 1, bei dessen naßchemischer Behandlung, z. B. Galvanisieren, während des Aufenthaltes des Gutes in der jeweiligen Behandlungsstation, wobei im übrigen das ausgehobene Gut entlang der Behandlungsstationen transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Gut (3) mit Schwingungen einer Frequenz von zumindest 4-5 Hz gerüttelt wird, daß die Schwingungsrichtung zumindest teilweise und/oder zeitweise in Richtung der Längsachse (5) der Bohrungen verläuft, und daß die Rüttelschwingun­ gen nur oder zumindest überwiegend auf den Tragteil des Gutes ausgeübt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gut (3) während der Rüttelung im Bad (1) gedreht oder geschwenkt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß das Gut (3) während der Rüttelung eine Schräg­ lage derart erhält, daß die Längsachse (5) der Bohrungen im Winkel zur Rüttelrichtung (13) verläuft.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf das Gut (3) während der Rütte­ lung Schläge bzw. schlagartige Stöße ausgeübt werden.

5. Verfahren nach einem der Anspüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der Rüttelschwingungen während einer Behandlung entweder kontinuierlich oder diskontinuierlich verändert wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß während einer Behandlung die Rüttelschwingung mehrmals abgeschaltet und wieder zugeschaltet wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Rüttelfrequenz gleich der Netz­ frequenz (50 Hz) ist.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich zu der Rüttelschwingung auf das Gut ferner eine an sich bekannte, gegenüber der Rüttelfrequenz wesentlich niederfrequentere Hin- und Herbewegung des Gutes mit einer Frequenz von z. B. 20 Doppelhüben/min. ausgeübt wird, wobei die niederfrequen­ te Bewegung in der gleichen Richtung verläuft wie die Rüttelschwingung.

9. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Amplitude der höherfrequenten Rüttelung im Bereich von etwa 0,5 bis 3 mm und eine Amplitude der niederfrequen­ teren Hin- und Herbewegung von 2×10 bis 2×40 mm.

10. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei mehrere Behälter bzw. Behand­ lungsstationen zur Aufnahme der jeweiligen Behandlungs­ flüssigkeit (auch von einer Spülflüssigkeit) in der Behandlungstransportrichtung (4) hintereinander vorgese­ hen sind, und wobei das Gut (3) mittels Warenträger (7, 8) in den jeweiligen Badbehälter eingebracht und nach der Behandlung wieder daraus herausgehoben und weiter­ transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß zumin­ dest ein Schwingungserzeuger (12), der Rüttelschwingun­ gen einer Frequenz von zumindest 4-5 Hz erzeugt, an einem Transport- und/oder Tragteil angebracht ist, mittels dessen das Gut bei seinem Transport, während des Einbringens in das Bad und während seines Verweilens in dem Bad gehalten ist, und daß zwischen Schwingungserzeu­ ger und stationären Anlageteilen die Schwingungsübertra­ gung sperrende, zumindest weitgehend dämpfende Mittel vorgesehen sind.

11. Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Schwingungserzeuger am Warenträger, insbe­ sondere der Warenträgerschiene (8), angebracht ist.

12. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine im Querschnitt relativ dünne Warenträgerschiene mit einem geringen Widerstandsmoment in Schwingungsrichtung (13) vorgesehen ist.

13. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den oder die Schwingungser­ zeuger tragendenden Tragteil und stationären Teilen elastische Schwingungsdämpfer (27) vorgesehen sind.

14. Anordnung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest zwei Schwingungserzeuger (12) im Abstand voneinander an einer Warenträgerschiene (8) angebracht sind.

15. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Schwingungserzeuger an Tragteilen angebracht sind, die einerseits von der Warenträgerschiene (8) gehalten sind und andererseits das Gut (3) tragen.

16. Anordnung nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch die Anbringung eines oder mehrerer Schwingungserzeuger (12) an einem Tragstab bzw. an Tragstäben (18).

17. Anordnung nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch eine oder mehrere Schwingungserzeuger (12) an einem Tragge­ stell (14).

18. Anordnung nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch die Anbringung eines oder mehrerer Schwingungserzeuger an Klammern, die einerseits an der Warenträgerschiene (8) und andererseits am zu behandelnden Gut (3) angreifen.

19. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, gekenn­ zeichnet durch Bauart und Anordnung des jeweiligen Schwingungserzeugers (12) derart, daß die Amplitude seiner Rüttelschwingung hauptsächlich in einer Rüttel­ richtung (13) verläuft.

20. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, gekenn­ zeichnet durch einen Schwingungserzeuger einer Bauart und Anordnung derart, daß seine Rüttelfrequenz Amplitu­ den in allen Richtungen aufweist.

21. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 20, gekenn­ zeichnet durch eine Anordnung mehrerer Schwingungserzeu­ ger an einer Warenträgerschiene oder dgl. derart, daß die Amplitude der Rüttelschwingung über die gesamte Länge der Warenträgerschiene (12) etwa gleich ist, so daß "Schwingungsbäuche" und "Schwingungsknoten" der Rüttelamplitude an der Schiene im wesentlichen vermieden sind.

22. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 11, gekenn­ zeichnet durch einen elektrischen Antrieb der Schwin­ gungserzeuger (12).

23. Anordnung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß zur Stromübertragung auf den elektrischen Antrieb des oder der Schwingungserzeuger (12) an oder nahe von stationären Einweisungen (11) für die Warenträgerarme (9, 9′′) und an den Warenträgerarmen (9, 9′′) Kontakte (28, 29) zugehöriger elektrischer Leitungen vorgesehen sind, derart, daß beim Aufsitzen der Warenträgerarme (9, 9′′) auf den Einweisungen die Kontakte geschlossen und der Strom zu dem elektrischen Antrieb (16) der Schwingungserzeuger (12) geleitet (30) ist.

24. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 23, gekenn­ zeichnet durch Frequenzumrichter zur Veränderung der Rüttelfrequenz des oder der Schwingungserzeuger (12).

25. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 24, gekenn­ zeichnet durch Mittel, die dem zu behandelnden Gut (3) während der Behandlung eine Schräglage derart geben, daß die Längsachse (5) der Bohrungen im spitzen Winkel zur Rüttelrichtung (13) verläuft.

26. Anordnung nach Anspruch 25, gekennzeichnet durch Halte­ rungen (25) mit schräg und versetzt zueinander angeord­ neten Schlitzen (24, 24′, 24′′) zur Aufnahme und Halt der Seitenkanten vom zu behandelnden plattenförmigen Gut (3).

27. Anordnung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß das Gut (3) sich in einem Behandlungskorb (20) befindet, der über Tragmittel (18, 19) an der Warenträgerschiene (7) hängt.

28. Anordnung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß der Behandlungskorb (20) um eine Achse, bevorzugt eine horizontale Achse (21), zu seinem Tragmittel (19) dreh­ bar oder schwenkbar ist, daß Mittel zur Erzeugung dieser Drehung oder Schwenkung des Korbes (20) vorgesehen sind, und daß das Gut im Korb gegen Herausfallen gesichert ist.

29. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 28, gekenn­ zeichnet durch Schläge oder Stöße auf das Gut (3) oder dessen Haltemittel erzeugende Vorrichtungen, z. B. einen luftdruckbetätigten Stößel oder Hammer.

30. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß Schwingungserzeuger unterschiedlich starker Beschleunigungswerte vorgesehen und so in Bezug auf das zu behandelnde Gut angeordnet sind, daß Schwin­ gungserzeuger eines Beschleunigungswertes in einer Richtung und Schwingungserzeuger eines anderen Beschleu­ nigungswertes in der entgegengesetzten Richtung wirkend vorgesehen sind.