DE4009833A1

DE4009833A1 - Luftmesseinrichtung fuer ansaugluft

Info

Publication number: DE4009833A1
Application number: DE4009833A
Authority: DE
Inventors: Yasunori Sakaue; Shinichi Sakakibara; Mamoru Matsubara
Original assignee: Aisan Industry Co Ltd
Current assignee: Aisan Industry Co Ltd
Priority date: 1989-03-31
Filing date: 1990-03-27
Publication date: 1990-10-04
Anticipated expiration: 2010-03-28
Also published as: US5140854A; DE4009833C2; US5105660A; US5060511A

Description

Die Erfindung betrifft eine Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaugluft, insbesondere eine Einrichtung zur Mengenmessung betreffend die über einen Ansaugstutzen in einen Verbren nungsmotor mit innerer Verbrennung strömende Ansaugluft.

Zur Luftmengenmessung für die einem Verbrennungsmotor mit innerer Verbrennung zugeführte Ansaugluft ist der Einsatz verschiedener Luftmengenmeßeinrichtungen bekannt. Bei der artigen Einrichtungen sind ein Temperaturmeßfühler für die Ansaugluft und ein Strömungsgeschwindigkeitssensor in einem Ansaugstutzen so angeordnet, daß die Ebenen der Sensoren parallel zur Strömung der Ansaugluft gerichtet sind. Eine derartige Einrichtung ist beispielsweise in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 60-2 30 019 offenbart. Beide Sensoren weisen wärmeempfindliche Widerstände auf, die mit Festwiderständen eine Brückenschaltung bilden. Parallel zu dem Strömungsgeschwindigkeitssensor ist ein Heizwiderstand vorgesehen, über den der Temperaturmeßwiderstand des Strö mungsgeschwindigkeitssensors auf eine, um eine vorbestimmte Temperaturdifferenz über der Temperatur des Ansaugluftwär mefühlers liegende, höhere Temperatur erwärmt wird. Der zum Erwärmen des Heizwiderstandes zugeführte Strom wird abhän gig von der Temperatur des Temperaturmeßwiderstandes des Strömungsgeschwindigkeitssensors eingestellt, die sich auf grund der auf die Ansaugluft übertragenen Wärmemenge verän dert, so daß eine vorgegebene Temperaturdifferenz erhalten bleibt. Dies führt dazu, daß die Strömungsgeschwindigkeit der Ansaugluft über den zum Erwärmen erforderlichen Strom gemessen wird; die Ansaugluftmenge wird über die Strömungs geschwindigkeit ermittelt.

Die zuvor beschriebene Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaug luft ist vom sogenannten indirekten Heiztyp. Durch die ja panische Gebrauchsmuster-Offenlegungsschrift Nr. 60-1 83 825 ist weiter eine Einrichtung mit einem Sensor bzw. Element bekannt, in dem die Widerstände, einschließlich des Heizwi derstandes, durch einen Dünnfilmwiderstand ausgebildet sind. Es ist weiterhin eine Einrichtung des sogenannten selbstheizenden Typs bekannt, beispielsweise durch die ja panische Patent-Offenlegungsschrift Nr. 57-2 01 858, bei der der Strömungsgeschwindigkeitssensor eine einseitig einge spannte Grundplatte mit einem darauf angeordneten Dünnfilm widerstand aufweist. Eine weitere selbstheizende Luftmen genmeßeinrichtung ist durch die japanische Patent-Offenle gungsschrift Nr. 60-2 36 029 bekannt; es ist dabei eine den Filmwiderstand tragende Grundplatte vorgesehen, deren beide Enden mit dem Ansaugstutzen verbunden sind. In dieser Druckschrift wird vorgeschlagen, daß der Widerstandswert des Filmwiderstandes stromaufwärts innerhalb des Ansaug luftstutzens größer ist als derjenige eines stromabwärts angeordneten Widerstandes, so daß die stromaufwärts erzeug te Wärmemenge größer ist als die Wärmemenge stromabwärts, wobei die Temperaturverteilung des Filmwiderstandes gleich förmig gemacht wird.

Die Temperatur des Geschwindigkeitssensors innerhalb der Luftmengenmeßeinrichtung muß sich abhängig von der Strö mungsgeschwindigkeit der Ansaugluft verändern. Eine genaue Messung der Ansaugluftmenge ist somit schwierig, wenn die oben genannte Temperaturänderung durch den Geschwindig keitssensor selbst oder durch mit diesem in Beziehung ste hende Faktoren beeinflußt wird. Es wird deshalb jede der Grundplatten von Strömungsgeschwindigkeitssensoren gemäß den oben genannten Veröffentlichungen als dünne flache Platte ausgebildet, die parallel zur Luftströmung der An saugluft angeordnet ist.

Bei einer Luftmengenmeßeinrichtung der genannten Art wird die, über den Strömungsgeschwindigkeitssensor erzeugte Wär memenge auf die ihn umgebende Luft oder auf einen Bereich des Ansaugluftstutzens übertragen, mit dem die Grundplatte verbunden ist. Für den Fall, daß die Strömungsgeschwindig keit der Ansaugluft hoch ist, wird nahezu die gesamte Wär memenge auf die Umgebungsluft übertragen. Im Gegensatz da zu wird dann, wenn die Strömungsgeschwindigkeit der Ansaug luft gering ist, die auf die Umgebungsluft übertragene Wär memenge reduziert; dabei vergrößert sich die Wärmemenge entsprechend, die auf den Abschnitt des Ansaugluftstutzens, an dem die Grundplatte befestigt ist, übertragen wird. Da die auf den Abschnitt, der Grundplatte, der an dem Ansaug luftstutzen befestigt ist, übertragene Wärmemenge abhängig von der Temperatur der Ansaugluft oder derjenigen des An saugluftstutzens verändert wird, ergibt sich eine Verände rung betreffend den dem oben genannten Brückenschaltkreis zugeführten Strom. Damit nimmt die Genauigkeit ab, mit der die Strömungsgeschwindigkeit der Ansaugluft erfaßt wird. In der japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 59-1 51 020 ist ein Leitelement vorgeschlagen worden, das mit einem Temperaturmeßwiderstand verbunden ist mit einer Länge, die mit einem Durchmesser des Leitelementes derart in einem Verhältnis steht, daß dieses größer ist als ein vorbestimm tes Verhältnis. In der japanischen Patent-Offenlegungs schrift Nr. 57-2 01 858 wird vorgeschlagen, daß die Grund platte dünn ausgebildet ist und aus einem Material geringer Wärmeleitfähigkeit besteht, so daß die Wärmeübertragung von einem Abschnitt der Grundplatte, auf dem ein Filmwiderstand angeordnet ist zu einem Abschnitt, über den die Grundplatte befestigt ist, blockiert ist.

Wie aus den oben genannten Druckschriften ersichtlich ist, sind verschiedene Gegenmaßnahmen getroffen worden hinsicht lich der Struktur oder der Anordnung der Bauteile der Ge schwindigkeitssensoren einschließlich der Widerstände, in Hinblick auf die Temperaturverteilung des Dünnfilmwider standes in Richtung der Ansaugluft oder betreffend dessen Temperaturverteilung aufgrund der Wärmeübertragung von den Meßwiderständen zu der Grundplatte, den Leitelementen und dergleichen. In den Fig. 14 bis 16 ist ein Sensor 100 dar gestellt, der in der Luftmengenmeßeinrichtung nach der un veröffentlichten japanischen Patentanmeldung Nr. 63-2 269 00 eingesetzt ist, die auf einen der Anmelder der vorliegenden Anmeldung zurückgeht. Der Sensor 100 hat eine Grundplatte 110 mit einem Schlitz 110 a, an dessen Seiten jeweils ein die Temperatur der Ansaugluft erfassender Widerstand 120, ein die Strömungsgeschwindigkeit erfassender Widerstand 130 und ein Paar von Leitelementen 140, 150 angeordnet sind, die sich von den Widerständen 120, 130, wie in Fig. 14 dar gestellt, zu dem Basisende der Grundplatte 110 erstrecken. Die Strömungsrichtung der zu messenden Ansaugluft ist durch einen Pfeil dargestellt. Bei dem Sensor 100 ist, da der die Strömungsgeschwindigkeit erfassende Widerstand 130 U-förmig ausgebildet ist, die Größe des die Strömungsgeschwindigkeit erfassenden Widerstandes 130 oder dessen Breite im Ver gleich zu bekannten, S-förmig ausgebildeten Widerstände re duziert. Es ergibt sich somit eine bessere Temperaturver teilung für den die Strömungsgeschwindigkeit erfassenden Widerstand 130.

Bei dem Sensor 100 ergibt sich jedoch eine Temperaturver teilung auf der Grundplatte 110, wie in den Fig. 14 und 15 dargestellt. Die strichpunktierten Linien beziehen sich da bei auf die Temperatur der Ansaugluft, wobei die linke Sei te in Fig. 14 und die obere Seite in Fig. 15 Bereiche mit höherer Temperatur darstellen. Die durchgehenden Linien be treffen die Temperatur eines Abschnittes der Grundplatte 110 auf dem der die Strömung erfassende Widerstand 130 an geordnet ist. Die letztgenannte Temperatur wird allmählich an den Endabschnitten der Grundplatte 110, sowohl in der Quer- als auch in deren Längsrichtung, reduziert. Es ist deshalb erforderlich, Mittel vorzusehen, um die der Tempe raturreduktion an den Endabschnitten zu kompensieren. Wenn insbesondere, wie auf der rechten Seite von Fig. 16 darge stellt, die Strömungsgeschwindigkeit der Ansaugluft hoch ist und die angesaugte Luftmenge groß ist, ist der Wärme übertragungskoeffizient zu der Ansaugluft groß, so daß sich eine Temperaturverteilung des die Strömungsgeschwindigkeit erfassenden Widerstandes 130 ergibt, wie dies durch die Kurve "Ho" in Fig. 16 dargestellt ist. Wie aus Fig. 16 er sichtlich, nimmt die Temperatur des Widerstandes 130 zu seinem in stromabwärtiger Richtung gelegenen Ende schnell ab, während die Temperatur zu dem gegenüberliegenden Ende hin allmählich abnimmt. Wenn demgegenüber die Strömungsge schwindigkeit der Ansaugluft gering ist und die Absaug luftmenge klein ist, dann ergibt sich eine Temperaturver teilung wie durch die strichlierte Linie "Lo" in Fig. 16 dargestellt. Die vertikal verlaufende strichpunktierte Li nie bezieht sich auf die Temperatur der Ansaugluft, wobei in Fig. 16 die linke Seite diejenige mit der höheren Tempe ratur darstellt. Da die Gesamtwärmemenge, die von dem die Strömungsgeschwindigkeit erfassenden Widerstand 130 über tragen wird, durch dessen Temperaturverteilung bestimmt wird, führt eine Veränderung der Temperaturverteilung zu einem Fehler hinsichtlich der erfaßten Ansaugluftmenge. Ob wohl dieser Fehler im Vergleich zu den vorher bekannten Einrichtungen gering ist, ist es erstrebenswert, daß dieser Fehler weiter verringert wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Luftmengen meßeinrichtung für Ansaugluft zu schaffen, mit einem Wider stand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit mit dem, unabhängig von der Geschwindigkeit oder der Menge der An saugluft, eine geeignete Temperaturverteilung erreicht wird und mit dem ein die Luftmenge der angesaugten Luft darstel lendes Signal erzeugt werden kann.

In vorteilhafter Weise ist es dabei möglich, daß über einen Widerstand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit zumin dest in einer Richtung senkrecht zur Strömungsrichtung der angesaugten Luft eine gleichmäßige Temperaturverteilung er reicht wird.

In vorteilhafter Weise kann weiterhin ein Widerstand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit eingesetzt werden, dessen Endabschnitte mit Leitelementen verbunden sind, wo bei eine gleichmäßige, durch diese Endabschnitte nicht be einflußte, Temperaturverteilung erreicht wird.

Diese Aufgabe wird, wobei sich weitere Vorteile ergeben, erfindungsgemäß bei einer Luftmengenmeßeinrichtung für An saugluft mit einer flachen Grundplatte, die in einem An saugluftstutzen so angeordnet ist, daß die flache Oberflä che der Grundplatte parallel zur Strömungsrichtung der An saugluft durch den Ansaugstutzen verläuft, gelöst durch einen Widerstand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit, der in Form eines langgestreckten Films auf der Grundplatte angeordnet ist, und sich von einem freien Ende der Grund platte zu deren einspannseitigen Ende erstreckt und ein Paar von Leitelementen, die auf der Grundplatte angeordnet sind. Ein Erstes dieser Leitelemente erstreckt sich vom einspannseitigen Ende der Grundplatte zu deren freiem Ende und es ist mit einem in Längsrichtung vorderen Ende des Wi derstands zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit verbun den. Ein zweites Leitelement erstreckt sich von dem ein spannseitigen Ende der Grundplatte parallel im Abstand zu dem ersten Leitelement zu einem Längsende des Widerstands zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit und es ist mit diesem elektrisch verbunden. Der Widerstand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit hat einen Ohmschen Wider standswert, der sich aufgrund einer Veränderung der Tempe ratur des Widerstandes, abhängig von der Strömungsgeschwin digkeit der Ansaugluft, verändert.

Die Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaugluft kann so ange ordnet sein, daß sie eine erste Grundplatte aufweist, die in einem Ansaugluftstutzen so angeordnet ist, daß die fla che Oberfläche der Grundplatte parallel zur Strömungsrich tung, von durch den Ansaugluftstutzen strömender Ansaug luft, verläuft. Ein Widerstand zum Erfassen der Strömungs geschwindigkeit, der auf der Grundplatte angeordnet ist, wird durch einen Film gebildet mit einer Querschnittsfläche die zumindest in einem Endbereich, am freien Ende des Films in einer Richtung parallel zur Luftströmung der angesaugten Luft, kleiner ist als die Querschnittsfläche in einem mit tigen Abschnitt des Films. Ein Paar von Leitelementen ist auf der Grundplatte angeordnet und mit dem Widerstand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit elektrisch verbunden.

Weiter kann in vorteilhafter Weise die Luftmengenmeßein richtung für Ansaugluft so aufgebaut sein, daß sie eine er ste Grundplatte aufweist, die in einem Ansaugluftstutzen so angeordnet ist, daß deren flache Oberfläche parallel zur Strömungsrichtung der Ansaugluft durch den Ansaugluft stutzen verläuft. Ein auf der Grundplatte angeordnete Wi derstand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit ist als Film ausgebildet. Ein Paar von Leitelementen ist auf der Grundplatte angeordnet und elektrisch mit dem Widerstand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit verbunden. Eine wärmeleitende Schicht bzw. eine Wärmeleitschicht ist so auf dem Widerstand zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit angeordnet, daß sie zumindest einen Teil des Widerstands überdeckt.

Sechs Ausführungsbeispiele für eine erfindungsgemäße Luft mengenmeßeinrichtung für Ansaugluft sind anhand der Zeich nung erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine Vorderansicht eines ersten Ausführungsbei spiels für ein Sensorelement, das in einer erfin dungsgemäßen Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaug luft eingesetzt ist,

Fig. 2 eine Seitenansicht des Sensorelementes nach Fig. 1,

Fig. 3 eine Draufsicht eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Luftmengenmeßeinrichtung, die mit einem Ansaugstutzen verbunden ist,

Fig. 4 eine geschnittene Vorderansicht der Luftmengenmeß einrichtung nach Fig. 3,

Fig. 5 eine Vorderansicht eines Sensorelementes gemäß ei nem zweiten Ausführungsbeispiel,

Fig. 6 eine Seitenansicht eines Sensorelementes gemäß ei nem dritten Ausführungsbeispiel,

Fig. 7 eine Vorderansicht des Sensorelementes nach Fig. 6,

Fig. 8 eine Vorderansicht eines Sensorelementes gemäß ei nem vierten Ausführungsbeispiel,

Fig. 9 eine Seitenansicht des Sensorelementes nach Fig. 8,

Fig. 10 eine Vorderansicht eines Sensorelementes gemäß ei nem fünften Ausführungsbeispiel,

Fig. 11 eine Seitenansicht des Sensorelementes nach Fig. 10,

Fig. 12 eine Vorderansicht eines Sensorelementes gemäß ei nem sechsten Ausführungsbeispiel,

Fig. 13 eine Seitenansicht des Sensorelementes nach Fig. 12,

Fig. 14 eine Vorderansicht eines Sensorelementes gemäß der unveröffentlichten japanischen Patentanmeldung Nr. 63-2 26 900,

Fig. 15 eine Seitenansicht des Sensorelementes nach Fig. 14 und

Fig. 16 eine Vorderansicht des Sensorelementes nach Fig. 14 mit einer Temperaturverteilung in einer Querrich tung einer Grundplatte für den Fall, daß sich die Strömungsgeschwindigkeit von Ansaugluft verändert.

In den Fig. 1 und 2 ist ein Meßfühler bzw. ein Sensorele ment 10 gemäß einem ersten erfindungsgemäßen Ausführungs beispiel dargestellt. Durch einen Pfeil ist in Fig. 1 die Richtung einer Ansaugluftströmung dargestellt. Das Sensore lement 10 weist einen die Temperatur erfassenden bzw. einen Temperaturmeßwiderstand 12 für die Ansaugluft auf, der im folgenden als Temperaturmeßwiderstand 12 bezeichnet wird, und einen Widerstand 13 zum Erfassen der Strömungsgeschwin digkeit (im folgenden als Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit bezeichnet). Beide sind als aus einem dün nen Film bestehende wärmeempfindliche Widerstände ausgebil det, die auf der flachen Oberfläche einer rechteckförmigen flachen Grundplatte 11 befestigt sind. Die Grundplatte 11 ist eine aus Zirkonium bestehende flache Platte mit einem in Längsrichtung ausgebildeten Schlitz 11 a auf ihrer fla chen Oberfläche. Die Grundplatte 11 wird durch den Schlitz 11 a in zwei Abschnitte unterteilt, von denen einer breiter ist als der andere. Ein Dünnfilmwiderstand aus Nickel, Pla tin oder dergleichen ist auf der flachen Oberfläche des breiteren Abschnittes durch Aufdampfen, Aufbrennen oder dergleichen aufgebracht worden, um den Temperaturmeßwider stand 12 zu bilden.

Der Temperaturmeßwiderstand 12 wird durch eine Reihe von miteinander verbundenen S-förmigen Abschnitten gebildet. Einer der Endabschnitte ist umgebogen, so daß die beiden Endabschnitte parallel im Abstand voneinander verlaufen. Ein Paar von Leitelementen 14 a, 14 b ist angeordnet und elektrisch mit jeweils einem der Endabschnitte des Tempera turmeßwiderstandes 12 verbunden. Sie erstrecken sich in Längsrichtung bis zu einer Einspannstelle der Grundplatte 11. Die Leitelemente 14 a, 14 b sind beispielsweise aus Gold hergestellt und werden auf der Grundplatte 11 durch Auf dampfen, Aufbrennen oder dergleichen aufgebracht.

Auf der flachen Oberfläche des anderen Abschnitts der Grundplatte 11 ist ein Paar von Leitelementen 15 a, 15 b vor gesehen, die sich in Längsrichtung parallel zueinander er strecken. Die Leitelemente 15 a, 15 b bestehen aus einem Paar schmaler Leiter, wie beispielsweise Golddrähten. Das Leit element 15 a ist auf der Oberfläche der Grundplatte 11 von dem einspannseitigen Ende bis zu dem freien Ende verlaufend angeordnet und es kann durch Aufdampfen, Aufbrennen, Ein brennen oder dergleichen aufgebracht werden. Auf dem Leit element 15 a ist ein Isolierglied 16, beispielsweise aus Si liziumdioxid angeordnet, auf dem der Widerstand 13 zum Er fassen der Geschwindigkeit angeordnet ist. Dieser Wider stand ist ein bandförmiger durch einen dünnen Film gebilde ter Widerstand aus Platin oder dergleichen. Das Leitelement 15 a ist an seinem vorderen Ende mit einem, in Längsrichtung gelegenen, Ende des Widerstands 13 zum Erfassen der Ge schwindigkeit elektrisch leitend verbunden. Das Leitelement 15 b verläuft im Abstand parallel zu dem Leitelement 15 a und es ist auf der Grundplatte 11, von deren einspannseitigem Ende zu dem anderen in Längsrichtung gelegenen Ende des Wi derstands 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit verlaufend, angeordnet. Dieses Ende ist mit dem Leitelement 15 b elek trisch leitend verbunden. Das Leitelement 15 a entspricht somit dem ersten und das Leitelement 15 b entspricht dem zweiten erfindungsgemäßen Leitelement. Auf der Oberfläche des Temperaturmeßwiderstands 12 und derjenigen des Wider stands 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit ist, in nicht dargestellter Weise, ein Schutzfilm aus Glas vorgesehen.

Jeder der Sensor- bzw. Meßwiderstände 12, 13 weist einen großen Temperaturkoeffizienten mit linearer Charakteristik bzw. Kennlinie auf und der Ohmsche Widerstandswert wird so festgelegt, daß Rs « Rt ist. Dabei stellt Rs den Ohmschen Widerstandswert des Widerstands 13 zum Erfassen der Ge schwindigkeit und Rt denjenigen des Temperaturmeßwiderstan des 12 dar. Der Schlitz 11 a ist so ausgebildet, daß er sich von dem freien Ende der Grundplatte 11 zu dem Bereich er streckt, in dem die Temperatur der durch den Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit erwärmten Grundplatte 11, mit der Temperatur der, die Grundplatte 11 umgebenden, An saugluft übereinstimmt. Anstelle des Schlitzes 11 a kann in der Grundplatte 11 auch eine Vielzahl von Öffnungen oder eine Nut vorgesehen sein. Durch den Schlitz 11 a, durch Öff nungen oder eine Nut, wird eine Wärmeübertragung zwischen dem Temperaturmeßwiderstand 12 und dem Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit blockiert bzw. gehemmt.

Wie in den Fig. 3 und 4 dargestellt, ist das Sensorelement 10 des beschriebenen Aufbaus an einem Sensorhalter 1 befes tigt, der mit einem Ansaugluftstutzen 2 eines, nicht darge stellten, Verbrennungsmotors mit innerer Verbrennung ver bunden ist. Die flache Oberfläche des Sensorelementes 10 ist dabei so angeordnet, daß sie parallel zur Strömungs richtung von durch den Ansaugstutzen 2 strömender Ansaug luft verläuft. Somit sind der Temperaturmeßwiderstand 12 und der Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit in einer, zu der Luftströmung parallelen Ebene angeordnet. Das Sensorelement 10 ist mit einer in einem Gehäuse 19 angeord neten Meßeinheit über eine Vielzahl, nicht dargestellter Leiter verbunden, die mit den Leitelementen 14 a, 14 b und 15 a, 15 b nach Fig. 1 verbunden sind. Die Meßeinheit ist mit einem Brückenschaltkreis versehen, der den Temperaturmeßwi derstand 12 und den Widerstand 13 zum Erfassen der Ge schwindigkeit enthält. Der Brückenschaltkreis entspricht derjenigen, nach der japanischen Gebrauchsmusteroffenle gungsschrift Nr. 63-1 95 229, so daß eine Beschreibung des Schaltkreises nicht wiederholt wird.

Im folgenden wird die Wirkungsweise gemäß dem ersten Aus führungsbeispiel beschrieben. Wenn keine Ansaugluft durch den in Fig. 3 und 4 dargestellten Ansaugluftstutzen 2 ge führt wird, dann ist der Brückenschaltkreis im Gleichge wichtszustand, falls die Temperatur des Widerstandes 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit um eine vorgegebene Tempera turdifferenz AT höher ist, als die über den Temperaturmeß widerstand 12 erfaßte Temperatur.

Wenn über den Ansaugluftstutzen 2 Ansaugluft zuge führt wird, dann kann über den Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit die Temperaturdifferenz AT, aufgrund einer Wärmeübertragung von diesem Widerstand 13 zu der An saugluft, nicht aufrechterhalten werden. Um die Temperatur differenz AT aufrechtzuerhalten ist es somit erforderlich, daß dem Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit, ab hängig von der Geschwindigkeit der Ansaugluft, Strom zuge führt wird. Je höher die Geschwindigkeit der Ansaugluft ist, desto mehr Strom ist dabei zuzuführen. Mit anderen Worten ist dann, wenn der dem Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit zugeführte Strom zum Aufrechterhalten der Temperaturdifferenz AT erhöht wird, die Geschwindigkeit der Ansaugluft hoch und demzufolge die Luftmenge groß. Dem zufolge spricht der Ausgang des Brückenschaltkreises auf die Geschwindigkeit der Ansaugluft an und er entspricht so mit der Menge der Ansaugluft.

Obwohl die Temperatur des Widerstandes 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit auf einen, um die vorbestimmte Temperatur differenz AT, höheren Wert gehalten wird, als diejenige der Ansaugluft, ist der Wärmetransport von dem Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit zu dem Temperaturmeßwider stand 12 und dem benachbarten Bereich der Grundplatte 11 sehr gering aufgrund des zwischen den Meßwiderständen 12 und 13 angeordneten Schlitzes 11 a. Der Temperaturmeßwider stand 12 spricht somit genau auf die tatsächliche Tempera tur der Ansaugluft an. Da weiterhin die Temperatur des Wi derstandes 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit konstant auf einen, um die Temperaturdifferenz AT, höheren Temperatur wert als denjenigen der Ansaugluft gehalten wird, spricht die Wärmeübertragung von dem Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit zu der Ansaugluft, ohne eine zeitliche Ver zögerung, auf einen Unterschied betreffend die Strömungsge schwindigkeit der Ansaugluft an. Dies gilt auch dann, wenn sich die Strömungsgeschwindigkeit der Ansaugluft ändert. Wie auf der rechten Seite von Fig. 1 dargestellt, wird die Temperaturverteilung des Widerstandes 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit auf der Grundplatte 11 in ihrer Querrich tung nicht sehr geändert, wenn sich die Strömungsgeschwin digkeit der Ansaugluft ändert. Eine Verzögerung hinsicht lich des Erfassens der Strömungsgeschwindigkeit der Ansaug luft ist damit vermieden. Die in Fig. 1 vertikal verlaufen de, strichpunktierte Linie bezieht sich auf die Temperatur der Ansaugluft und eine ausgezogene Linie "H" bezieht sich auf die Temperaturverteilung des Widerstandes 13 zum Erfas sen der Geschwindigkeit in Querrichtung, wenn die Strö mungsgeschwindigkeit der Ansaugluft hoch ist; die strich lierte Linie "L" bezieht sich auf die gleiche Temperatur verteilung für den Fall, daß die Strömungsgeschwindigkeit niedrig ist.

In Fig. 5 ist ein zweites Ausführungsbeispiel eines Sensor elementes dargestellt, bei dem der Widerstand 23 zum Erfas sen der Geschwindigkeit und die Leitelemente 25 a, 25 b des Sensorelementes 20 sich in ihrem Aufbau von dem Widerstand 13 zum Erfassen der Geschwindigkeit bzw. den Leitelementen 15 a, 15 b des in Fig. 1 dargestellten ersten Ausführungsbei spiels unterscheiden. Weiterhin unterscheidet sich die Grundplatte 21 in ihrer Größe von der Grundplatte 11 gemäß Fig. 1. Der Temperaturmeßwiderstand 22 und die Leitelemente 24 a, 24 b stimmen im wesentlichen mit dem Temperaturmeß widerstand 12 bzw. den Leitelementen 14 a, 14 b gemäß dem er sten Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 überein. In der fol genden Beschreibung werden strukturelle bzw. konstruktive Elemente, die mit denjenigen des ersten Ausführungsbei spiels übereinstimmen, mit Bezugszeichen versehen, die den jenigen des ersten Ausführungsbeispiels entsprechen, wobei sie sich davon durch unterschiedliche Zehnereinheiten un terscheiden.

Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Widerstand 23 zum Erfassen der Geschwindigkeit ein Dünnfilmwiderstand aus Platin oder dergleichen, der U-förmig ausgebildet ist, mit einem Paar geradlinig verlaufender Abschnitte gleicher Breite, die im Abstand parallel zueinander verlaufen. Der Widerstand 23 zum Erfassen der Geschwindigkeit ist an jedem seiner Eckbereiche 23 a, 23 b und an jedem seiner offenen Endabschnitte 23 c, 23 d getrimmt bzw. angeschnitten. Aus diesem Grund ist eine Querschnittsfläche betreffend einen Schnitt in einer Richtung parallel zur Ansaugluftströmung, d.h. ein Schnitt durch die Grundplatte 21 in ihrer Quer richtung, im Bereich der Kantenabschnitte 23 a, 23 b am freien Ende der Grundplatte 21 kleiner als es für die ent sprechende Querschnittsfläche in einem mittleren Abschnitt 23 m der geradlinig verlaufenden Abschnitte des Widerstandes 23 der Fall ist. Die Querschnittsfläche im Bereich der am offenen Ende der U-Form liegenden Endabschnitte 23 c, 23 d ist ferner ebenfalls kleiner als diejenige im mittleren Ab schnitt 23 m. Demzufolge ist der Ohmsche Widerstandswert an jedem der Eckbereiche 23 a, 23 b und den Endabschnitten 23 c, 23 d am offenen Ende größer als derjenige im mittleren Ab schnitt 23 m des Widerstandes 23 zum Erfassen der Geschwin digkeit. Leitelemente 25 a, 25 b sind jeweils elektrisch mit einem der Endabschnitte 23 c, 23 d des Widerstandes 23 ver bunden und sie erstrecken sich in Längsrichtung bis zum einspannseitigen Ende der Grundplatte 23. Die Leitelemente 25 a, 25 b bestehen aus Gold oder dergleichen und werden auf der Grundplatte 21 durch Aufdampfen bzw. Aufbrennen oder dergleichen aufgebracht. Die Wirkungsweise des Sensorele mentes 20 stimmt im wesentlichen mit derjenigen des Sensor elementes 10 nach Fig. 1 überein. In dem vorliegenden Aus führungsbeispiel wird die Temperaturverteilung des Wider standes 23 zum Erfassen der Geschwindigkeit auf der Grund platte 21 in deren Längsrichtung um eine Temperaturdiffe renz AT höher gehalten als die Temperatur der Ansaugluft, und zwar gleichförmig von dem mittleren Abschnitt 23 m der Grundplatte 21 zu den Eckbereichen 23 a, 23 b und den Endab schnitten 23 c, 23 d des offenen Endes. Demzufolge spricht die Wärmeübertragung, von dem Widerstand 23 zum Erfassen der Geschwindigkeit zu der Ansaugluft, auf eine Änderung betreffend die Strömungsgeschwindigkeit der Ansaugluft an; somit wird ein gutes Ansprechverhalten erreicht.

In den Fig. 6 und 7 ist ein drittes Ausführungsbeispiel für ein erfindungsgemäßes Sensorelement dargestellt, bei dem sich der Widerstand 33 zum Erfassen der Geschwindigkeit hinsichtlich seines Aufbaus von dem Widerstand 23 nach Fig. 5 unterscheidet. Der übrige Aufbau entspricht im wesentli chen demjenigen des Sensorelementes 23 nach Fig. 5. In ei nem Sensorelement 30 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbei spiel ist der Widerstand 30 zum Erfassen der Geschwindig keit als Dünnfilmwiderstand U-förmig ausgebildet. Die Dicke eines Eckbereiches 33 a und von Endabschnitten 33 b, 33 c, am offenen Ende der U-Form, nimmt allmählich von einem mitti gen Abschnitt 33 m des Widerstandes 33 zu den Abschnitten 33 a, 33 b und 33 c ab, wie dies in Fig. 6 dargestellt ist. Folglich ist der Ohmsche Widerstandswert an jedem der Eck bereiche 33 a und den Endabschnitten 33 b, 33 c größer als derjenige des mittigen Abschnittes 33 m. Bei diesem Ausfüh rungsbeispiel wird deshalb die Temperaturverteilung des Wi derstandes 33 zum Erfassen der Geschwindigkeit auf der Grundplatte 31 in deren Längsrichtung auf einem Wert gehal ten, der um eine vorbestimmte Temperaturdifferenz AT höher ist als die Temperatur der Ansaugluft, und der gleichmäßig von dem mittleren Abschnitt 33 m zu dem Eckbereich 33 a und zu den Endabschnitten 33 b, 33 c am offenen Ende verläuft.

In den Fig. 8 und 9 ist ein viertes Ausführungsbeispiel für das Sensorelement dargestellt. Das Sensorelement 40 gemäß diesem Ausführungsbeispiel weist einen Widerstand 43 zum Erfassen der Geschwindigkeit auf, der als Dünnfilmwider stand U-förmig ausgebildet und am freien Endabschnitt der flachen Oberfläche der Grundplatte 41 angeordnet ist. Das Sensorelement 40 hat eine thermisch leitende Schicht 46, die auf der Oberfläche des, den Widerstand 43 zum Erfassen der Geschwindigkeit bildenden, Dünnfilmwiderstandes ange ordnet ist, so daß sich eine gleichförmige Wärmeübertragung von dem Dünnfilmwiderstand ergibt. Die Wärmeleitschicht 46 besteht aus Silizium oder dergleichen und weist eine hohe Wärmeleitfähigkeit auf. Sie wird im Verlauf des Herstellens des Widerstandes 43 durch Aufsprühen, Aufdampfen, Ätzen oder dergleichen aufgebracht. Demzufolge wird eine Wärme übertragung von dem Widerstand 43 zum Erfassen der Ge schwindigkeit der Ansaugluft, ausgehend von dessen mittle ren Abschnitt gleichförmig zu dessen Randabschnitten hin verlaufend erreicht. Der übrige Aufbau entspricht im we sentlichen demjenigen des Sensorelementes 20 nach Fig. 5.

Da die Wärmeleitschicht 46 auf dem Widerstand 43 zum Erfas sen der Geschwindigkeit aufgebracht ist, wird die Tempera turverteilung des Widerstandes 43 zum Erfassen der Ge schwindigkeit auf der Grundplatte 41 auf einen, um die vor bestimmte Differenz AT, höheren Wert gehalten als die Tem peratur der Ansaugluft, und zwar gleichförmig ausgehend von dem mittleren Abschnitt der Grundplatte 41 zu deren Randab schnitten. Eine derartige Temperaturverteilung ergibt sich dabei sowohl in Quer- als auch in Längsrichtung, wie dies in den Fig. 8 und 9 dargestellt ist. Die strichpunktierten Linien in den Fig. 8 und 9 betreffen die Temperatur der An saugluft und die durchgehend gezeichneten Linien die Tempe ratur eines Bereichs der Grundplatte 41, auf dem der Wider stand 43 zum Erfassen der Geschwindigkeit angeordnet ist. Die Wärmeübertragung von dem Widerstand 43 zum Erfassen der Geschwindigkeit zu der Ansaugluft spricht somit auf eine Änderung der Strömungsgeschwindigkeit der Ansaugluft an, so daß diese Änderung gut erfaßt wird.

In den Fig. 10 und 11 ist ein fünftes Ausführungsbeispiel für das Sensorelement dargestellt, bei dem sich die Wärme leitschicht 56 hinsichtlich ihres Aufbaus von der Wärme leitschicht 46 nach den Fig. 8 und 9 unterscheidet. Bei ei nem Sensorelement 50 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbei spiel erstreckt sich die Wärmeleitschicht 56 über die Leit elemente 55 a, 55 b und sie dient weiterhin als Schutzschicht für die Oberfläche des Sensorelementes 50. Die auf dem Wi derstand 53 zum Erfassen der Geschwindigkeit angeordnete Wärmeleitschicht 56 ist dicker als die auf den Leitelemen ten 55 a, 55 b angeordnete Schicht und zwar derart, daß sie mehr als zweimal so dick wie diese ist, so daß die Wärme übertragung von dem Widerstand 53 zum Erfassen der Ge schwindigkeit groß ist. Demzufolge ergibt sich ein Wärme übertragungsverhalten des Widerstandes 53 zu der Ansaug luft, welches ähnlich dem in Fig. 8 dargestellten Verhalten ist. Es wird dabei insbesonders ein schneller Abfall auf die Temperatur der Ansaugluft im Bereich des Verbindungsab schnittes, zwischen dem Widerstand 53 zum Erfassen der Ge schwindigkeit und den Leitelementen 55 a, 55 b, erreicht. Der übrige Aufbau des vorliegenden Ausführungsbeispiels ist derselbe, wie derjenige des in den Fig. 8 und 9 dargestell ten Ausführungsbeispiels, so daß diesbezüglich eine Be schreibung weggelassen wird. Gemäß dem vorliegenden Ausfüh rungsbeispiel ergibt sich eine gleichmäßige Temperaturver teilung des Widerstandes 53 zum Erfassen der Geschwindig keit sowohl in Quer- als auch in Längsrichtung, wie dies in den Fig. 10 und 11 dargestellt ist.

In den Fig. 12 und 13 ist ein sechstes Ausführungsbeispiel eines Sensorelementes dargestellt, bei dem eine Wärmeleit schicht 66 auf der umgekehrten Seite des Widerstandes 63 zum Erfassen der Geschwindigkeit angeordnet ist. Die Wärme leitschicht 66 ist somit zwischen der Grundplatte 61 und dem Widerstand 63 angeordnet und es ist eine Isolierschicht 67 zwischen dem Widerstand 63 zum Erfassen der Geschwindig keit und der Wärmeleitschicht 66 angeordnet. Als Wärmeleit schicht 66 kann beispielsweise eine Kupferschicht einge setzt werden, die sowohl wärme- als auch elektrisch leitend ist. Die Wärmeleitschicht 66 ist aus diesem Grund über die Isolierschicht 67 mit dem Widerstand 63 zum Erfassen der Geschwindigkeit verbunden. Als Isolierschicht 67 kann, auf grund seiner passenden Wärmeübertragungseigenschaft, Sili zium verwendet werden. Die Wärmeleitschicht 66 und die Iso lierschicht 67 können gleichzeitig mit dem Widerstand 63 zum Erfassen der Geschwindigkeit durch Aufspritzen, Auf dampfen, Ätzen oder dergleichen ausgebildet werden. Der üb rige Aufbau des Sensorelementes 60 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der gleiche wie derjenige bei dem in den Fig. 8 und 9 dargestellten Ausführungsbeispiel; eine diesbezügliche Beschreibung wird deshalb nicht wiederholt. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ergibt sich folg lich eine geeignete Temperaturverteilung auf der Grundplat te 61, wie dies in den Fig. 12 und 13 dargestellt ist. Das in den Fig. 12 und 13 dargestellte Ausführungsbeispiel kann ferner Merkmale des in den Fig. 8 bis 11 dargestellten Aus führungsbeispiels aufweisen. Es können sowohl die Wärme leitschicht 66 als auch die Isolierschicht 67 an beiden Seiten des in den Fig. 12 und 13 dargestellten Widerstandes 63 zum Erfassen der Geschwindigkeit angeordnet sein.

Wie leicht zu erkennen ist, dienen die obigen Ausführungs beispiele lediglich der Erläuterung einiger weniger, von einer Vielzahl möglicher, Ausführungsformen gemäß der vor liegenden Erfindung. Bei den oben beschriebenen Ausfüh rungsbeispielen kann zum Beispiel ein Widerstand zum Erfas sen der Geschwindigkeit des selbstheizenden Typs eingesetzt werden, und es kann bei einer Ausbildung nach dem sogenann ten indirekt heizenden Typ dem Widerstand zum Erfassen der Geschwindigkeit benachbart ein Heizwiderstand eingesetzt werden. Zahlreiche weitere Ausführungsformen bzw. Abwand lungen sind dabei möglich, ohne daß der Schutzbereich der Erfindung verlassen wird.

Claims

1. Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaugluft mit:

- einer flachen Grundplatte (11), die in einem An saugluftstutzen so angeordnet ist, daß die flache Ober fläche der Grundplatte (11) parallel zu einer Strömungs richtung der durch den Ansaugluftstutzen strömenden Ansaug luft verläuft,
- einem Widerstand (13) zum Erfassen der Strömungsge schwindigkeit, der auf der Grundplatte (11) als langge streckter Film ausgebildet ist, der sich von einem freien Endabschnitt der Grundplatte (11) zu deren einspannseitigen Ende erstreckt, wobei der Widerstand (13) einen Ohmschen Widerstandswert aufweist, der sich mit einer Temperaturän derung des Widerstandes (13) abhängig von einer Strömungs geschwindigkeit der Ansaugluft verändert, und
- einem Paar von Leitelementen (15 a, 15 b), die auf der Grundplatte (11) angeordnet sind, wobei ein erstes Lei telement (15 a) sich von dem einspannseitigen Ende der Grundplatte (11) zu dem freien Ende hin erstreckt und mit einem in Längsrichtung gelegenen freien Ende des Wider stands (13) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit elek trisch verbunden ist und wobei ein zweites Leitelement (15 b) sich von dem einspannseitigen Ende der Grundplatte (11) im Abstand parallel zu dem ersten Leitelement (15 a) bis zu einem in Längsrichtung dem einspannseitigen Ende der Grundplatte (11) benachbarten Ende des Widerstandes (13) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit erstreckt und mit diesem elektrisch verbunden ist.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß ein Isolierglied (16) auf dem ersten Leitelement (15 a) angeordnet ist, wobei der Widerstand (13) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit auf dem Isolier glied (16) angeordnet ist, das in Längsrichtung gelegene freie Ende des Widerstandes (13) zum Erfassen der Strö mungsgeschwindigkeit elektrisch mit dem ersten Leitelement (15 a) verbunden ist, und das in Längsrichtung gelegene ein spannseitige Ende des Widerstandes (13) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit mit dem zweiten Leitelement (15 b) elektrisch verbunden ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge kennzeichnet, daß ein Temperaturmeßwiderstand (12) für die Ansaugluft einen Ohmschen Widerstandswert auf weist, der abhängig ist von einer Temperaturänderung der Ansaugluft, wobei der Temperaturmeßwiderstand (12) parallel im Abstand von dem Widerstand (13) zum Erfassen der Strö mungsgeschwindigkeit auf der Grundplatte (11) angeordnet ist.

4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da durch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (11) einen Schlitz (11 a) aufweist, der sich von ihrem frei en Ende in Längsrichtung in Richtung zu ihrem einspannsei tigen Ende zwischen dem Widerstand (13) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit und dem Temperaturmeßwiderstand (12) für die Ansauglufttemperatur erstreckt.

5. Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaugluft mit:

- einer flachen Grundplatte (21), die in einem An saugluftstutzen so angeordnet ist, daß die flache Oberflä che der Grundplatte (21) parallel zu einer Strömungsrich tung der durch den Ansaugluftstutzen strömenden Ansaugluft verläuft,
- einem Widerstand (23) zum Erfassen der Strömungsge schwindigkeit der auf der Grundplatte (21) angeordnet ist, in Form eines Films mit einer Querschnittsfläche, in einem mindestens den freien Endabschnitt des Films umfassenden Bereich in einer Richtung parallel zur Strömungsrichtung der Ansaugluft, die kleiner ist als eine Querschnittsfläche eines mittigen Bereich (23 m) des Films, und wobei der Wi derstand (23) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit einen Ohmschen Widerstandswert aufweist, der sich mit einer Temperaturänderung des Widerstandes (23) abhängig von einer Strömungsgeschwindigkeit der Ansaugluft verändert, und
- einem Paar von Leitelementen (25 a, 25 b), die auf der Grundplatte (21) angeordnet und mit dem Widerstand (23) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit elektrisch leitend verbunden sind.

6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß der Widerstand (23) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit einen Dünnfilmwiderstand aufweist, der auf der Grundplatte (21) U-förmig derart ausgebildet ist, daß die offenen Enden dem einspannseitigen Ende der Grundplatte (21) zugewandt sind, wobei eine Querschnitts fläche eines Abschnittes des gekrümmten Bereichs und der offenen Enden des Filmwiderstandes kleiner ist als eine Querschnittsfläche eines sich in Längsrichtung erstrecken den mittleren Abschnittes (23 m) des Filmwiderstandes.

7. Einrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch ge kennzeichnet, daß der Filmwiderstand an jeder Ecke (23 a, 23 b) des gekrümmten Bereiches und an den offenen Enden (23 c, 23 d) zugeschnitten ist.

8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, da durch gekennzeichnet, daß der Temperaturmeß widerstand (22) für die Ansauglufttemperatur einen Ohmschen Widerstandswert aufweist, der sich mit einer Änderung der Ansauglufttemperatur verändert, wobei der Temperaturmeßwi derstand (22) im Abstand parallel zu dem Widerstand (23) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit auf der Grund platte (21) angeordnet ist.

9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, da durch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (21) einen Schlitz (21 a) aufweist, der sich von dem freien Ende der Grundplatte (21) in Längsrichtung in Richtung zu dem einspannseitigen Ende der Grundplatte (21) zwischen dem Widerstand (23) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit und dem Temperaturmeßwiderstand (22) erstreckt.

10. Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaugluft mit:

- einer flachen Grundplatte (41, 51, 61), die in ei nem Ansaugluftstutzen so angeordnet ist, daß die flache Oberfläche der Grundplatte (41, 51, 61) parallel zur Strö mungsrichtung der durch den Ansaugluftstutzen strömenden Ansaugluft verläuft,
- einem Widerstand (43, 53, 63) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit, der in Form eines Films auf der Grundplatte (41, 51, 61) angeordnet ist, wobei der Wider stand (43, 53, 63) zum Erfassen der Strömungsgeschwindig keit einen Ohmschen Widerstandswert aufweist, der sich mit einer Temperaturänderung des Widerstands (43, 53, 63) ab hängig von einer Strömungsgeschwindigkeit der Ansaugluft verändert,
- einem Paar von Leitelementen (45 a, 45 b, 55 a, 55 b, 65 a, 65 b), die auf der Grundplatte (41, 51, 61) angeordnet und elektrisch leitend mit dem Widerstand (43, 53, 63) zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit verbunden sind, und
- einer Wärmeleitschicht (46, 56, 66), die auf dem Widerstand (43, 53, 63) zum Erfassen der Strömungsgeschwin digkeit so angeordnet ist, daß sie zumindest einen Teil da von bedeckt.

11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch ge kennzeichnet, daß die Wärmeleitschicht (46, 56) auf dem Widerstand (43, 53) zum Erfassen der Strömungsge schwindigkeit und den Leitelementen (55 a, 55 b) angeordnet ist, um diese zu überdecken.

12. Einrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmeleitschicht (66) zwischen dem Widerstand (63) zum Erfassen der Strömungsge schwindigkeit und der Grundplatte (61) angeordnet ist.

13. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein Temperatur meßwiderstand (42, 52, 62) zum Erfassen der Ansauglufttem peratur angeordnet ist mit einem Ohmschen Widerstandswert, der sich aufgrund einer Änderung der Ansauglufttemperatur verändert, wobei der Temperaturmeßwiderstand (42, 52, 62) parallel im Abstand zu dem Widerstand (43, 53, 63) zum Er fassen der Strömungsgeschwindigkeit auf der Grundplatte (41, 51, 61) angeordnet ist.

14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (41, 51, 61) einen Schlitz (41 a, 51 a, 61 a) aufweist, der sich von ihrem freien Ende in Längsrichtung in Richtung zu dem einspannseitigen Ende der Grundplatte (41, 51, 61) zwi schen dem Widerstand (43, 53, 63) zum Erfassen der Strö mungsgeschwindigkeit und dem Temperaturmeßwiderstand (42, 52, 62) zum Erfassen der Ansauglufttemperatur erstreckt.