DE4007947C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Bearbei
ten von Werkstücken mit Laserstrahlung, bei dem an der Bearbei
tungsstelle des Werkstücks von Laserstrahlungsimpulsen ein
nichtabschirmendes energieeinkoppelndes Plasma induziert wird,
und bei dem die Bearbeitungsstelle während des Vorhandenseins
von Plasma mit der Strahlung einer weiteren Energiequelle zusätzlich
beaufschlagt wird.
Ein Verfahren mit den vorgenannten Verfahrensschritten ist
aus der GB 21 75 737 A bekannt. Die Laserstrahlung wird von einem
CO₂-Laser erzeugt und als weitere Energiequelle wird ein
YAG-Laser eingesetzt. Beide Laser werden gleichzeitig eingesetzt,
was das Ziel hat, die je nach Wellenlänge unterschiedliche
Oberflächenreflexion im Sinne einer Verbesserung der Energieeinkopplung
zu nutzen.
Aus der DE 38 20 848 A1 ist ein Verfahren zum Bearbeiten von
Werkstücken mit Laserstrahlung bekannt, bei dem Laserstrahlung
einer einzigen Energiequelle mit unterschiedlichen Intensitäten
angewendet wird. Das bekannte Verfahren wird so durchgeführt,
daß die Intensität der Laserstrahlung bis zum Erreichen der zur
laserstrahlungsinduzierten Plasmabildung erforderlichen, dem
Grenzwert IC entsprechenden Schwellintensität oder wenig darüber
gesteigert wird, wobei die Plasmabildung an der Bearbeitungsstelle
von einer Meßeinrichtung überwacht wird. Die letztlich
erreichte bzw. eingestellte Intensität der Laserstrahlung wird
für eine vorbestimmte Zeit beibehalten, wonach eine Abregelung
der Intensität auf einen ein Plasmaerlöschen bewirkenden Wert
erfolgt. Danach wird die Intensität der Laserstrahlung bis zum
Beginn eines neuen Regelzyklus auf einem Wert gehalten, bei dem
der Werkstückwerkstoff plasmabildungsfrei über Schmelztempera
tur erwärmt bleibt. Mit diesem bekannten Verfahren wird er
reicht, daß unter Überwachung auf Plasmabildung mit hohen In
tensitäten der Laserstrahlung schnell gefügt werden kann, ohne
daß die Gefahr besteht, dünne Werkstücke zu durchbohren. Bei
diesem Verfahren ist es allerdings erforderlich, ein Plasmaer
löschen in Kauf zu nehmen, um erst danach die Intensität der
Laserstrahlung wieder so weit zu steigern, daß Plasmabildung
stattfindet, so daß die bekanntlich besonders starke Energie
einkopplung durch das Plasma ausgenutzt werden kann.
Aus der DE 34 24 825 A1 ist es bereits bekannt, Werkstücke
mit Laserstrahlung zu bearbeiten, mit der an der Bearbeitungs
stelle des Werkstücks ein nichtabschirmendes energieeinkoppeln
des, laserstrahlungsinduziertes Plasma erzeugt wird, indem die
Laserstrahlung mit einer Intensität IC eingestrahlt wird, die
zwischen einem unteren Grenzwert IC, bei dem die Erzeugung eines
Oberflächenplasmas beginnt, und einem oberen Grenzwert ID
liegt, bei dem eine laserstrahlungsinduzierte Detonationswelle
erzeugt wird. Dieses bekannte Verfahren wird so durchgeführt,
daß die Intensität IL eines einzigen Lasers unter fortlaufender
Überwachung der Plasmabildung an der Bearbeitungsstelle des
Werkstücks geregelt wird. Bei einer Vielzahl von Anwendungen
des Schneidens, Bohrens und Schweißens mit Laserstrahlung liegen
die Grenzwerte IC und ID so sehr dicht beieinander und werden
darüber hinaus durch Fluktuationen beeinflußt, die aus der
Schmelzbadbewegung, der Wärmeleitung und evtl. einem Einfluß
eines der Bearbeitungsstelle zugeleiteten Gases herrühren kön
nen. Dabei kann es dazu kommen, daß die Regelmöglichkeiten
nicht zu dem gewünschten Ergebnis führen. Auch kann die Rege
lung sehr aufwendig werden, weil die Regelfrequenzen des Regel
kreises den GHz-Bereich erreichen können.
Aus einer Demonstration, ICALEO′88, Okt. 30/Nov. 4, 1988,
Santa Clara, California, ist es bekannt, ein Werkstück mit zwei
Lasern unter Bildung von laserstrahlungsinduziertem Plasma zu
bearbeiten, wobei die Laser voneinander unterschiedliche Wel
lenlängen aufweisen. Diese Laser arbeiten jedoch nicht einander
abwechselnd.
Aus der US 48 70 244 ist ein Verfahren zum Schneiden
oder Bohren von Werkstücken mit zwei Lasern bekannt, bei dem
das Werkstück mit der Strahlung eines Lasers zunächst angeschmolzen
wird, wonach die Schmelze mittels einer Detonationswelle
ausgeblasen wird, die von der Strahlung des zweiten Lasers
induziert wird. Der Einsatz von Detonationswellen ist im
Hinblick auf das Bearbeitungsergebnis jedoch nicht unproblematisch.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren
der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß eine einander
abwechselnde Bestrahlung der Bearbeitungsstelle des Werkstücks
mit den Strahlungen zweier Energiequellen ausgenutzt wird, um
die mit hohem Wirkungsgrad und hoher Qualität erfolgende Bear
beitung durchführen zu können, ohne dabei den oberen Intensi
täts-Grenzwert ID zu überschreiten.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Laserstrahlungsimpulse
für eine vorbestimmte Impulsdauer mit einer Intensität
eingestrahlt werden, die zwischen einem unteren Grenzwert,
bei dem die Erzeugung eines Oberflächenplasmas beginnt,
und einem oberen, die Erzeugung einer laserstrahlungsinduzierten
Detonationswelle markierenden Grenzwert liegt, daß der Beginn
der Zusatzbestrahlung nach dem Beginn der Plasmaerzeugung
erfolgt, daß die Zusatzstrahlung ein Vielfaches länger als die
Impulsdauer und mit einer Intensität angewendet wird, die eine
zusatzstrahlungsinduzierte Detonationswelle vermeidet, und daß
ein neuer Bestrahlungszyklus vor der Rückbildung des energieeinkoppelnden
Plasmas gestartet wird.
Für die Erfindung ist von Bedeutung, daß der Einsatz der
plasmainduzierenden Laserbestrahlung und der Energiestrahlung
einer weiteren Energiequelle als Zusatzbestrahlung abwechselnd
erfolgt, indem der Beginn dieser Zusatzbestrahlung nach dem Be
ginn der plasmainduzierenden Laserbestrahlung einsetzt. Es wird
also so verfahren, daß mit dem Laser innerhalb der vorbestimm
ten kurzen Zeit ein Plasma erzeugt wird, indem die Intensität
IL mit Sicherheit unterhalb des oberen Grenzwerts ID liegt, so
daß eine Detonationswelle vermieden wird. Erst nach dem Beginn
der Plasmaerzeugung mit dem Laser wird die Zusatzbestrahlung
angewendet, und zwar mit einer eine zusatzstrahlungsinduzierte
Detonationswelle vermeidenden Intensität, wodurch das Verfahren
mit einfachen Mitteln beherrschbar wird, also insbesondere ohne
einen erheblichen regeltechnischen Aufwand durch Prozeßbeobach
tung und dementsprechende Prozeßsteuerung, weil die Intensitä
ten des Lasers und der Zusatzstrahlung unter Berücksichtigung
ihres zeitlich aufeinander erfolgenden Einsatzes so gewählt
werden können, daß Detonationswellenbildung zu vermeiden ist.
Die Verwendung des Lasers zur Erzeugung eines strahlungs
induzierten Plasmas in Abwechslung mit einer weiteren Energie
quelle hat zur Folge, daß als weitere Energiequelle jede Strah
lungsquelle eingesetzt werden kann, deren Strahlung durch das
von dem Laser erzeugte Plasma in hohem Maße absorbiert werden
kann. Das ist beispielsweise die Strahlung von Elektronen
strahl- oder Teilchenstrahlquellen, jedoch auch Hochfrequenz
strahlung, die elektrische Entladung von Hochspannungsquellen
oder eine Gasbrennerstrahlung. Die Einkopplung der Energie der
Zusatzstrahlung erfolgt über einen Zeitraum, der ein Vielfaches
größer ist, als die vorbestimmte kurze, der Plasmabildung die
nende Zeit der Laserstrahlungsinduktion. Erst wenn diese Zeit
der Zusatzbestrahlung etwa der Abklingzeitkonstanten des ener
gieeinkoppelnden Plasmas entspricht, wird der Laser erneut ein
geschaltet. Dabei ist davon auszugehen, daß die Zusatzstrahlung
bei der Einkopplung ihrer Energie über das Plasma zur Plasma
bildung beiträgt, so daß die Abklingzeitkonstante wesentlich
größer ist, als diejenige Abklingzeitkonstante, die sich aus
dem Abklingen des Plasmas nach Abschalten der plasmainduzieren
den Laserstrahlung ohne Zusatzstrahlung ergäbe.
Durch das erneute Einschalten des Lasers zur Plasmainduk
tion nach einer der Abklingzeitkonstanten τr entsprechenden Zeit
wird die Repetitionsrate des Lasers so groß wie möglich gehal
ten. Da das Plasma nach der der Abklingzeitkonstanten entspre
chenden Zeit noch nicht vollständig erloschen ist, findet in
nerhalb von τr eine Energieeinkopplung durch das Plasma statt.
Auf diese Weise wird der Absorptionszustand über das Plasma
quasi kontinuierlich aufrechterhalten. Diese ununterbrochene
Energieeinkopplung über das Plasma steigert die Einkopplungs
rate der Energie über die integrierte Bearbeitungszeit erheb
lich, so daß der Wirkungsgrad der Bearbeitung entsprechend an
steigt. Es wird also ein schnelles Bearbeiten des Werkstücks
erreicht, verbunden mit einer großen Sicherheit gegen Detona
tionswellenentstehung, so daß einerseits die Bearbeitungssi
cherheit gesteigert wird, andererseits aber auch die Bearbei
tungsqualität.
Vorteilhafterweise wird das Verfahren so durchgeführt, daß
der Beginn der Zusatzbestrahlung zeitlich etwa mit dem Ende der
durch den plasmainduzierenden Laser erfolgenden Plasmabildung
zusammenfällt. Zunächst wird also die Plasmainduktion durchge
führt, und im Anschluß daran erfolgt die Zusatzbestrahlung mit
großer mittlerer Leistung.
Bei den meisten Anwendungsfällen wird das Verfahren so
durchgeführt, daß die vorbestimmte kurze Zeit etwa im Bereich
von 10 bis 100 ns und die Dauer der Zusatzbestrahlung im Bereich
von Mikro- bis Millisekunden liegt.
Als weitere Energiequelle wird ein zusätzlicher Laser ver
wendet, was den Vorteil hat, daß die Abstimmung des Einsatzes
dieses Zusatzlasers in Abhängigkeit vom Einsatz des plasmaindu
zierenden Lasers steuerungstechnisch besonders einfach zu ver
wirklichen ist und baulich-räumliche Vorteile mit sich bringt.
Das Verfahren kann so durchgeführt werden, daß als plasma
induzierender Laser ein Excimer-, Argon-, Stickstoff- oder
Festkörperlaser und als die weitere Energiequelle
ein CO2-Laser verwendet wird. Diese plasmainduzieren
den Laser sind aufgrund ihrer kürzeren Laserwellenlängen insbe
sondere dafür geeignet, bei hoher Pulsleistung und Intensität
Plasma zu zünden, während der Zusatzlaser aufgrund seiner größeren
Wellenlänge und der damit verbundenen größeren Pulsdauer
bzw. aufgrund eines kontinuierlichen Betriebs über eine längere
Zeit, die der Abklingzeitkonstanten τr entspricht, Zusatzstrah
lungsenergie mit großer mittlerer Leistung einstrahlt.
Die Plasmabildung erfolgt, weil Werkstoff des Werkstücks
verdampft wird. Zur Verdampfung des Werkstoffs ist es also er
forderlich, daß die Intensität der Laserstrahlung größer ist,
als ein Grenzwert Iv, die sogenannte Verdampfungs-Schwellinten
sität. Der abströmende Materialdampf tritt in Wechselwirkung
mit der Laserstrahlung und es tritt eine Plasmabildung dann
auf, wenn die Intensität der Laserstrahlung den Grenzwert IC für
die Erzeugung eines Oberflächenplasmas überschreitet. In der
Regel ist der Grenzwert Iv kleiner, als der Grenzwert IC bzw.
als der noch höher liegende Grenzwert ID. Die vorgenannten
Grenzwerte sind jedoch von dem Werkstoff und von der Geometrie
der bearbeiteten Werkstücke abhängig. Es kann beispielsweise
sein, daß Iv größer als ID ist. Das ergibt sich beispielsweise
bei der Bearbeitung von Aluminium, insbesondere wegen der hohen
Wärmeleitfähigkeit dieses Werkstoffs. In einem derartigen Fall
erfolgt beim Verdampfen von Werkstoff unmittelbar die Ausbil
dung einer Detonationswelle, durch die Werkstoffdampf und
-schmelze in chaotischer Weise aus der Bearbeitungszone ausge
trieben werden, so daß die Bearbeitung unterbrochen ist und die
Qualität und der Wirkungsgrad sehr schlecht sind. Es ist aber
auch gefunden worden, daß die Grenzwerte IC und ID von der Wel
lenlänge der verwendeten Strahlung abhängen. Das Verfahren wird
daher so durchgeführt, daß beim Bearbeiten eines Werkstücks,
bei dem die Werkstoffverdampfungs-Schwellintensität Iv in einem
Teilbereich eines Wellenlängenspektrums größer als der die laserstrahlungsinduzierte
Detonationswelle betreffende Grenzwert
ID ist, ein plasmainduzierender Laser verwendet wird, dessen
Wellenlänge außerhalb des Teilbereichs liegt. Damit wird erreicht,
daß eine Zündung des Plasmas ohne die Gefahr einer sofortigen
Detonationswellenbildung erfolgt. Dieses Verfahren ist
insbesondere in Verbindung mit dem abwechselnden Bearbeiten des
Werkstücks durch einen plasmainduzierenden Laser und eine weitere
Energiequelle von Vorteil, weil dadurch auch kritische
Werkstücke bzw. Werkstücke aus kritischen Werkstoffen und mit
kritischer Geometrie bei hohem Wirkungsgrad mit guter Qualität
bearbeitet werden können, ohne dabei den Grenzwert ID zu
überschreiten.
In Weiterbildung des vorgenannten Verfahrens wird ein Zu
satzlaser verwendet, dessen Wellenlänge in dem Teilbereich
des Wellenlängenspektrums liegt. Es ergibt sich also ein besonders
vorteilhaftes Verfahren mittels zweier Laser für Werkstücke
der vorbeschriebenen kritischen Konstellation.
Die vorbeschriebenen Verfahren können durchgeführt werden,
indem sie vor einem kontinuierlichen Bearbeitungseinsatz hin
sichtlich ihrer kritischen Größen experimentell eingestellt
werden. D. h. die Intensität IL des Lasers und die Intensität
der Energiestrahlung der weiteren Energiequelle werden experimentell
bestimmt, ebenso wie die zeitliche Abwechslung der beiden
Energiequellen, also die vorbestimmte kurze Zeit des plasmainduzierenden
Lasers, die Abklingzeitkonstante τr bzw. die
Dauer der Zusatzbestrahlung und der Beginn der jeweiligen Bestrahlung.
Es kann aber auch vorteilhaft sein, das Verfahren so
durchzuführen, daß das Abklingen des Plasmas meßtechnisch ermitteltt
wird. Damit wird sichergestellt, daß das Plasma nicht
infolge von nicht vorhersehbaren Einflüssen auf den Bearbeitungsprozeß
zum Erlöschen kommt, beispielsweise infolge von Toleranzen
der Werkstückgeometrie oder der Werkstoffzusammensetzung.
Bei der Verwendung zweier Laser zur Werkstückbearbeitung
ist es vorteilhaft, wenn das Plasma der Bearbeitungsstelle des
Werkstücks durch die Bearbeitungsoptiken zweier Laser meßtech
nisch überwacht wird. Dabei wird zeitlich lückenlos überwacht,
ob an der Bearbeitungsstelle Plasma vorhanden ist, weil entwe
der der eine oder der andere Laser in Betrieb ist. Die Überwa
chung erfolgt zugleich mit einfachen Mitteln, weil die Bearbei
tungsoptiken der Laser für die meßtechnische Überwachung heran
gezogen werden.
Als Meßgröße zur Überwachung des Plasmas wird dessen
Leuchtstärke verwendet. Dabei kommen insbesondere übliche, auf
die Leuchtstärke reagierende Dioden zum Einsatz, mit deren Hil
fe unter Einsatz üblicher Prozeßrechner leicht festgestellt
werden kann, ob die Leuchtstärke des Plasmas beispielsweise um
den e-ten Teil abgesunken ist. Die Zeit, die vom Zuschalten der
weiteren Energiequelle bis zu diesem Zeitpunkt verstrichen ist,
entspricht der Abklingzeitkonstanten τr, so daß danach die Zu
schaltung des plasmainduzierenden Lasers veranlaßt werden kann.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird anhand der Zeichnungen
erläutert. Es zeigt
Fig. 1 die Laseransteuerung bzw. die Abhängigkeit der Laserintensität
von der Zeit,
Fig. 2 die Abhängigkeit der Elektronendichte ne von der
Zeit, und
Fig. 3 die Abhängigkeit der Reflexion bzw. der Laserinten
sität von der Wellenlänge.
Gemäß Fig. 1 wird zum Zeitpunkt t = 0 ein plasmaindu
zierender Laser 1 angesteuert, und strahlt mit der Intensität
IL1 für eine Zeit von τ1 = 100 ns bis zum Zeitpunkt t1. Infolge
dessen wird auf der Bearbeitungsstelle des Werkstücks Werkstoff
verdampft und ein Plasma ausgebildet, dessen Elektronendichte ne
in der Zeit τ1 von 0 bis t1 bis auf einen oberen Grenzwert nemax
< f(ID λ 1) ansteigt. Der Zeitpunkt t1 wird z. B. experimentell er
mittelt und dementsprechend wird der Laser 1 von einer Steuer
einrichtung beaufschlagt. Es ist aber auch möglich, diesen
Zeitpunkt z. B. anhand der Leuchtstärke des Plasmas meßtechnisch
zu überwachen und bei Erreichen von nemax den Laser 1 abzuschal
ten. In diesem Augenblick oder bedarfsweise auch vorher, aber
nach dem Einschalten des Lasers 1, wird als weitere Energie
quelle ein Laser 2 zugeschaltet, der mit der Intensität IL2 ein
strahlt. Die Einstrahlungsdauer τr von t1 bis t2 beträgt etwa
100 µs, ist also um das Tausendfache größer, als die Zeitspanne
τ1. Daher ist ersichtlich, daß während der Zeitspanne τ1 trotz
hoher Pulsleistung und Intensität wegen der Kürze der Zeitspan
ne verhältnismäßig wenig Energie ins Werkstück eingekoppelt
wird. Während der Zeitspanne τr erfolgt trotz geringerer Inten
sität der Laserstrahlung eine große Energiezufuhr infolge kon
tinuierlicher oder mit großer Pulsdauer eingestrahlter Laser
strahlung. Der Prozeß ist jedoch instabil, da die Energieein
strahlung der zusätzlichen Energiequelle bzw. des Zusatzlasers,
also des Lasers 2, mit einer Intensität erfolgt, die eine zu
satzstrahlungsinduzierte Detonationswelle vermeidet und in der
Regel kleiner als IC ist, damit die Zusatzstrahlung nicht selbst
Plasma induziert und dabei die Gefahr besteht, daß der Grenz
wert ID infolge von z. B. schutzgasbeeinflußten Fluktuationen
überschritten wird.
Wird der Laser 1 zum Zeitpunkt t1 abgeschaltet, so sinkt
die Elektronendichte ne vom Wert nemax gemäß einer e-Funktion
gestrichelt gegen 0. Die Abklingzeitkonstante eines solchen
Prozesses wäre τ0, also diejenige Zeit, in der die Elektronen
dichte von nemax auf 1/e×nemax abgesunken ist. Durch die Strah
lung des Zusatzlasers wird jedoch das Abklingen des vom Lasers
1 induzierten Plasmas verlangsamt. Die Elektronendichte ne sinkt
gemäß Fig. 2 entsprechend einer e-Funktion und wie mit ausgezo
genem Strich dargestellt ab, und zwar mit einer Abklingzeitkon
stanten τr = f(1/e×nemax), die die Zeitspanne von t1 bis t2 für
das Einschalten des Lasers 2 bestimmt. Zum Zeitpunkt t2 wird der
Laser 1 wieder eingeschaltet und strahlt für die Zeitspanne ≈ τ1
= t2 bis t3 auf die Bearbeitungsstelle ein, und zwar gemäß Fig. 1
mit einer Intensität IL1 die größer ist, als IC und kleiner als
ID. Damit wird ein neuer Bearbeitungszyklus der Bestrahlung des
Werkstücks mit den Lasern 1 und 2 begonnen. Aus Fig. 2 ist er
sichtlich, daß der Laser 1 auch etwas früher oder etwas später
eingeschaltet werden kann, als es der Abklingzeitkonstanten τr
entspricht. Von Bedeutung ist, daß das Plasma nicht erlischt,
die Elektronendichte ne also nicht unter einen Wert nemin sinkt.
In Fig. 3 ist die Abhängigkeit der Reflexion und der Inten
sitätsgrenzwerte der Laserstrahlung bzw. der Energiestrahlung
von der Wellenlänge für ein bestimmtes Werkstück am Beispiel
von Silber dargestellt. Die Reflexion liegt bei Wellenlängen
von etwa 0,1 bis 0,3 µm im Bereich von 0,2 und steigt dann
sprungartig im Bereich von 0,3 bis 0,5 µm auf größer 0,9. Dem
entsprechend verläuft auch der Grenzwert Iv, der der Reflexion
etwa proportional ist. Insbesondere zeigt sich, daß der Grenz
wert Iv, also diejenige Strahlungsintensität, bei der Werkstoff
verdampfung beginnt, mit zunehmenden Wellenlängen der Strah
lung, also beispielsweise des von einem Laser eingestrahlten
Lichts, in geringem Maße zunimmt. Außerdem ist ersichtlich, daß
der Grenzwert ID bei größeren Wellenlängen der verwendeten Ener
giestrahlung abnimmt. Diese Abhängigkeit des Grenzwerts ID ist
damit zu erklären, daß die Energieabsorption im hier relevanten
Intensitäts- und Temperaturbereich infolge der inversen Brems
strahlung proportional mit dem Quadrat der Laserwellenlänge
skaliert. Die Abnahme ist so stark, daß der Grenzwert Iv in ei
nem Teilbereich B2 des hier betrachteten Wellenlängenspektrums
oberhalb des Grenzwerts ID liegt. Das bedeutet, daß bereits bei
geringen Strahlungsintensitäten einer Strahlung mit einer Wel
lenlänge des Teilbereichs B2 sofort eine Detonationswelle auf
tritt, wenn eine Materialverdampfung stattfindet. Infolgedessen
wird das Werkstück erfindungsgemäß derart bearbeitet, daß als
plasmainduzierender Laser 1 ein solcher verwendet wird, dessen
Wellenlänge λ1 = 308 nm außerhalb des vorgenannten Teilbereichs
B2 liegt, wobei die Intensität IL1 < als ID g 1 ist. Der Laser 1
ist beispielsweise ein XeCl-Excimer-Laser. Der Laser 2 kann
dann bei einer Wellenlänge λ2 = 10,6 µm des Teilbereichs B2 be
trieben werden, jedoch mit einer Intensität IL2, die jedenfalls
kleiner ist, als ID λ 2. Der Laser 2 ist also beispielsweise ein
CO2-Laser.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird insbesondere für das
Bearbeiten von Aluminium, Bunt- und Edelmetallen eingesetzt,
die mit den konventionellen Verfahren nur unzureichend bearbei
tet werden können. Es ist jedoch auch möglich, das erfindungs
gemäße Verfahren bei Stahl einzusetzen, um dort mit einfachen
Mitteln besonders risikofrei, aber doch mit besonderer Bearbei
tungsqualität arbeiten zu können.
Als Bearbeitungsverfahren kommen insbesondere das Schnei
den und das Schweißen in Betracht.
Beim Schneiden wird mit dem plasmainduzierenden Laser in
der Schnittfuge das Plasma gezündet und trägt so verstärkt zum
Austrieb der Werkstoffschmelze über den induzierten Druck bei.
Die Zusatz-Energiequelle bzw. der Zusatzlaser führt über eine
verhältnismäßig längere Zeit Energie nach, die über das Plasma
eingekoppelt wird, so daß hinreichend dicke Schmelzezonen ent
stehen. Diese Schmelze wird durch kontinuierlich zugeschalteten
Schneidgasstrom unter Verstärkung der Wirkung des Plasmas aus
der Schnittfuge ausgetrieben.
Beim Schweißen mit Laserstrahlung ist die Dampfkapillare
ein wesentliches Element. In der Dampfkapillaren stehen die
Oberflächenspannung der Schmelze und der Dampfdruck des Plasmas
so in Gleichgewicht, daß ein Tiefschweißeffekt auftritt. Dieses
Gleichgewicht wird durch das erfindungsgemäße Verfahren positiv
beeinflußt, so daß die Anwendung spezieller Schweißschutzgase
zur Beeinflussung der Absorptionseigenschaften des Plasmas ver
ringert bzw. vollständig vermieden werden können.
Claims (10)
1. Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken mit Laserstrah
lung, bei dem an der Bearbeitungsstelle des Werkstücks von
Laserstrahlungsimpulsen ein nichtabschirmendes energieeinkoppelndes
Plasma induziert wird, und bei dem die Bearbeitungsstelle
während des Vorhandenseins von Plasma mit der
Strahlung einer weiteren Energiequelle zusätzlich beaufschlagt
wird, dadurch gekennzeichnet,
- a) daß die Laserstrahlungsimpulse für eine vorbestimmte Impulsdauer (τ₁) mit einer Intensität (IL) eingestrahlt werden, die zwischen einem unteren Grenzwert (IC), bei dem die Erzeugung eines Oberflächenplasmas beginnt, und einem oberen, die Erzeugung einer laserstrahlungsinduzierten Detonationswelle markierenden Grenzwert (ID) liegt,
- b) daß der Beginn (t₁) der Zusatzbestrahlung nach dem Beginn der Plasmaerzeugung erfolgt,
- c) daß die Zusatzstrahlung ein Vielfaches länger als die Impulsdauer (τ₁) und mit einer Intensität (IL2) angewendet wird, die eine zusatzstrahlungsinduzierte Detonationswelle vermeidet, und
- d) daß ein neuer Bestrahlungszyklus vor der Rückbildung des energieeinkoppelnden Plasmas gestartet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Beginn (t1) der Zusatzbestrahlung zeitlich etwa mit
dem Ende der durch den plasmainduzierenden Laser erfolgenden
Plasmabildung zusammenfällt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Impulsdauer (τ₁) etwa im Bereich von 10 bis
100 ns und die Dauer der Zusatzbestrahlung (τr) im Bereich
von Mikro- bis Millisekunden liegt
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß als weitere Energiequelle ein zusätzlicher
Laser verwendet wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß als plasmainduzierender Laser ein Excimer-,
Argon-, Stickstoff- oder Festkörperlaser und als
die weitere Energiequelle ein CO2-Laser verwendet wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß beim Bearbeiten eines Werkstücks, bei
dem die Werkstoffverdampfungs-Schwellintensität (Iv) in
einem Teilbereich (B2) eines Wellenlängenspektrums größer
als der die laserstrahlungsinduzierte Detonationswelle betreffende
Grenzwert (ID) ist, ein plasmainduzierender Laser
verwendet wird, dessen Wellenlänge (λ1) außerhalb des
Teilbereichs (B2) liegt.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
ein Zusatzlaser verwendet wird, dessen Wellenlänge (λ2) in
dem Teilbereich (B2) des Wellenlängenspektrums liegt.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß das Abklingen des Plasmas meßtechnisch
ermittelt wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß das Plasma der Bearbeitungsstelle des
Werkstücks durch die Bearbeitungsoptiken zweier Laser meßtechnisch
überwacht wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß als Meßgröße zur Überwachung des Plasmas
dessen Leuchtstärke verwendet wird.
Priority Applications (1)
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DE4007947A DE4007947A1 (de) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | Verfahren zum bearbeiten von werkstuecken mit laserstrahlung |
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DE10232815B4 (de) * | 2002-07-19 | 2006-11-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Modifizierung von dielektrischen Materialeigenschaften |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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DE4007947A1 (de) | 1991-09-19 |
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