DE4001433A1 - Korrekturverfahren fuer koordinatenmessgeraete - Google Patents
Korrekturverfahren fuer koordinatenmessgeraeteInfo
- Publication number
- DE4001433A1 DE4001433A1 DE4001433A DE4001433A DE4001433A1 DE 4001433 A1 DE4001433 A1 DE 4001433A1 DE 4001433 A DE4001433 A DE 4001433A DE 4001433 A DE4001433 A DE 4001433A DE 4001433 A1 DE4001433 A1 DE 4001433A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- probe
- swivel joint
- rotary
- coordinate measuring
- values
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Ist-
Position eines über ein Dreh-Schwenk-Gelenk an einem
Koordinatenmeßgerät befestigten Tastkopfes.
Dreh-Schwenk-Gelenke dienen an Koordinatenmeßgeräten in
erster Linie dazu, den für die Koordinatenvermessung von
Werkstücken benutzten Tastkopf winkelmäßig so auszurichten,
daß er für die gewünschte Meßaufgabe optimal eingesetzt
werden kann, beispielsweise um in eine Vielzahl von
Bohrungen mit unterschiedlicher Orientierung am Werkstück
einzutauchen.
Die bekannten Dreh-Schwenk-Gelenke lassen sich in zwei
Klassen einteilen: Die erste Klasse bilden sogenannte
schaltende Dreh-Schwenk-Gelenke, bei denen der eingesetzte
Tastkopf über Rasten in eine begrenzte Anzahl von z. B. je um
ca. 7,5° voneinander verschiedene Winkelstellungen
eingestellt werden kann. Die andere Klasse bilden sogenannte
messende Dreh-Schwenk-Gelenke, die sich kontinuierlich auf
beliebige Dreh- bzw. Schwenkwinkel einstellen lassen und
Encoder in beiden Achsen enthalten, die den eingestellten
Winkelwerten entsprechende Meßwerte an den Rechner des
Koordinatenmeßgerätes liefern.
Ein schaltendes Dreh-Schwenk-Gelenk ist beispielsweise in
der US-PS 43 13 263 und ein messendes Dreh-Schwenk-Gelenk in
der DE-OS 37 40 070 beschrieben.
Die Lage der direkt oder über Verlängerungsstücke an eine
solche Dreh-Schwenk-Gelenk angesetzten Tastköpfe bzw. die
Lage der Tastkugel des Tastkopfes muß in allen
Winkelstellungen sehr genau bekannt sein, wenn hochpräzise
Koordinatenmessungen durchgeführt werden sollen. Die
genannten Teile biegen sich nun allerdings im Bereich von
mehreren 10 µm aufgrund ihres eigenen Gewichtes durch.
Solange sich die winkelmäßige Lage des Tasters und der
Tasterverlängerung nicht verändert, ist der Betrag der
Durchbiegung konstant und wirkt sich deshalb auf die
Koordinatenmessung am Werkstück, die ja stets eine
Relativmessung ist, nicht aus. Diese Voraussetzung ist jedoch
während des Betriebs eines Tastkopfes an einem Dreh-Schwenk-
Gelenk nicht gegeben. Denn wenn der Taster mit Hilfe des
Dreh-Schwenk-Gelenks in unterschiedliche Winkelstellungen
gebracht wird, dann ändert sich der Betrag der Durchbiegung
abhängig davon, ob der Tastkopf beispielsweise waagerecht
oder vertikal ausgerichtet ist. Im letzteren Falle ist die
Durchbiegung praktisch Null. Im ersteren Falle hingegen kann
sie Werte in der Größenordnung von bis zu 180 µm annehmen.
Bisher wurden insbesondere schaltende Dreh-Schwenk-Gelenke
vor der Messung mit einem neu eingesetzten Tastkopf einem
Kalibrierverfahren unterzogen, in dem die aktuelle
Tasterkoordinate, d. h. die Lage der Tastkugel des Tastkopfes
für alle im Rahmen des Meßvorganges benötigten
Winkelstellungen bestimmt und gespeichert wurde. Hierbei
wurde auch der Einfluß der Schwerkraft auf die Tasterlage,
d. h. der Effekt der Durchbiegung aufgrund des Eigengewichtes
des Tastkopfes bzw. seiner Verlängerung, automatisch
miterfaßt. Ein derartiges Kalibrierverfahren ist jedoch sehr
zeitaufwendig und umständlich, da die Lage des
Tastkopfes in jeder Winkelstellung des Dreh-Schwenk-
Gelenks durch mehrmaliges Antasten einer Kalibrierkugel
und anschließende Kugeleinpassung neu bestimmt werden muß.
Aus der US-PS 46 63 852 ist es bekannt, Abweichungen der Lage
des Meßarms eines Koordinatenmeßgerätes von einer Geraden,
d. h. Verbiegungen des Meßarms, mit Hilfe von angesetzten
Neigungsmessern zu erfassen und die Ist-Lage des Tastkopfes
bzw. der Tastkugel mit den von den Neigungsmessern gewonnenen
Meßwerten zu korrigieren. Dies Verfahren ist jedoch nicht
anwendbar, wenn die winkelmäßige Orientierung des
betreffenden Teils, z. B. durch ein Dreh-Schwenk-Gelenk, gezielt
veränderbar sein soll. Zum anderen ist es auch nicht ohne
weiteres möglich, in einen Tastkopf Sensoren zur Messung der
Neigung einzubauen.
Aus der EP-PS 01 47 529 ist es bekannt, Biegungen des
Taststifts eines Tastkopfes, die während des Antastvorganges
auftreten, zu korrigieren, indem für die Geschwindigkeit des
Antastvorganges charakteristische Korrekturwerte sowie
Korrekturwerte, die die Materialpaarung beschreiben, bei der
Gewinnung des Meßergebnisses mitberücksichtigt werden. Auch
dies bekannte Verfahren ist nicht dazu geeignet,
Positionsabweichungen der Tastkugel aufgrund unterschiedlich
starker Durchbiegung je nach eingestellter Winkelstellung des
Tastkopfes zu korrigieren.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren
zur Bestimmung der Ist-Position eines über ein Dreh-Schwenk-
Gelenk an einem Koordinatenmeßgerät befestigten
Tastkopfes anzugeben, das es erlaubt, die Lageveränderung des
Tastkopfes infolge der Durchbiegung unter seinem
Eigengewicht möglichst schnell und einfach, ohne
zeitaufwendige Kalibriervorgänge für die benötigten
Winkelstellungen zu korrigieren.
Diese Aufgabe wird gemäß den im Kennzeichen des Anspruches 1
angegebenen Maßnahmen dadurch gelöst, daß
- - eine die Steifigkeit des Dreh-Schwenk-Gelenks bzw. des den Tastkopf mit ihm verbindenden Befestigungs- oder Verlängerungselementes beschreibende Größe bestimmt und gespeichert wird,
- - aus den für den Meßvorgang eingestellten Winkelpositionen (α, β) des Dreh-Schwenk-Gelenks und der die Steifigkeit beschreibende Größe ein die Durchbiegung des Dreh-Schwenk-Gelenks bzw. des Verlängerungselementes unter dem Einfluß der Schwerkraft beschreibender Korrekturwert berechnet wird, und
- - die vom Koordinatenmeßgerät gelieferten Positionsmeßwerte (x, y, z) für den Tastkopf mit Hilfe des Korrekturwertes berichtigt werden.
Dieses Verfahren erlaubt es, das Dreh-Schwenk-Gelenk in
einer sehr begrenzten Anzahl von Winkelstellungen - unter
Umständen allein in einer einzigen Winkelstellung - zu
kalibrieren und den Durchgang aufgrund des Eigengewichtes in
allen übrigen Winkelstellungen, in denen gemessen wird, zu
berechnen. Das Verfahren eignet sich deshalb besonders in
Verbindung mit messenden Dreh-Schwenk-Gelenken, die in
beliebige Winkelstellungen kontinuierlich einstellbar sind.
Jedoch läßt sich auch in Verbindung mit schaltenden Dreh-
Schwenk-Gelenken eine beträchtliche Verminderung der
Gesamtmeßzeit erzielen, da die genannten aufwendigen
Kalibrierprozesse für die in der Regel bis zu 720
verschiedenen diskreten Winkelstellungen des Dreh-Schwenk-
Gelenks entfallen können.
Genaueste Ergebnisse erhält man dann, wenn das
Biegungsverhalten der gesamten Anordnung bestehend aus Dreh-
Schwenk-Gelenk, Verlängerungsstück und angesetztem Tastkopf
berücksichtigt und dementsprechend die Größe berechnet
oder bestimmt wird, die die Steifigkeit des gesamten Gebildes
beschreibt, und anschließend bei der Koordinatenmessung zur
Korrektur der Meßwerte herangezogen wird. In vielen Fällen,
insbesondere wenn einzelne Komponenten wie der Tastkopf oder
das Dreh-Schwenk-Gelenk selbst genügend steif sind, kann es
ausreichen, allein das Biegeverhalten des
Verlängerungsstückes in Betracht zu ziehen.
Die für die Steifigkeit charakteristische Größe kann auf
unterschiedliche Art und Weise bestimmt werden. So ist es
beispielsweise möglich, den Steifigkeitsensor aus den
Materialdaten und den geometrischen Abmessungen von
Tastkopfverlängerung und gegebenenfalls Dreh-Schwenk-Gelenk
nach der Methode der Finiten Elemente zu errechnen. Weiterhin
ist es möglich, die Größe mit Hilfe einer Prüfvorrichtung zu
bestimmen, indem das Dreh-Schwenk-Gelenk mit angesetztem
Tastkopf gezielt belastet wird und die resultierende
Deformierung gemessen wird.
Die Größe läßt sich jedoch auch im Zuge eines
Kalibrierverfahrens mit Hilfe des Koordinatenmeßgerätes selbst
bestimmen. Hierzu ist es nur erforderlich, daß die Lage des
Tastkopfes bzw. der Tastkugel in zwei unterschiedlichen
Winkelstellungen, beispielsweise in vertikaler und in
horizontaler Ausrichtung, gemessen wird.
Für den Fall, daß häufig mit unterschiedlichen
Tasterkonfigurationen am Dreh-Schwenk-Gelenk gemessen wird,
ist es zweckmäßig, die für die Steifigkeit charakteristischen
Größen für diese Konfigurationen zu bestimmen und im
Speicher des Rechners des Koordinatenmeßgerätes abzulegen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Fig. 1-4 der
Zeichnungen näher erläutert:
Fig. 1 ist eine vereinfachte Skizze, die ein Dreh-Schwenk-
Gelenk mit angesetztem Tastkopf in einer ersten
Winkelstellung zeigt;
Fig. 2 ist eine vereinfachte Skizze, die ein Dreh-Schwenk-
Gelenk mit angesetztem Tastkopf in einer zweiten
Winkelstellung zeigt;
Fig. 3 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm der Meßsysteme
eines zur Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens geeigneten Koordinatenmeßgerätes mit
einem messenden Dreh-Schwenk-Gelenk;
Fig. 4 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm der Meßsysteme
eines zur Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens geeigneten Koordinatenmeßgerätes mit
schaltendem Dreh-Schwenk-Gelenk.
In Fig. 1 ist mit (1) die Aufnahme am Meßarm eines
Koordinatenmeßgerätes bezeichnet, an die ein Dreh-Schwenk-
Gelenk (2) angesetzt ist. Das Gelenk (2) besteht
vereinfacht aus zwei um die beiden Achsen (A) und (B) um
beliebige Winkelbeträge (α) bzw. (β) verdrehbaren Teilen (3)
und (4).
Das Dreh-Schwenk-Gelenk enthält in den beiden Achsen (A) und
(B) Encoder zur kontinuierlichen Messung der eingestellten
Winkellage. Bezüglich des konstruktiven Aufbaus des Gelenks
(2) wird auf die bereits eingangs genannte DE-OS 37 40 070
verwiesen, auf die an dieser Stelle ausdrücklich Bezug
genommen wird.
An das dreh- und schwenkbare Teil (4) des Dreh-Schwenk-
Gelenks ist über ein Verlängerungsstück (5) der Tastkopf
(6) des Koordinatenmeßgerätes angesetzt. Die Tastkugel (7) am
Taststift dieses Tastkopfes (6) ist das eigentliche
Antastelement, dessen Lage im Koordinatensystem der
Meßeinrichtung hochgenau bekannt sein soll.
Aufgrund ihres Eigengewichts können sich nun sowohl die Teile
(3) und (4) des Dreh-Schwenk-Gelenks bzw. deren Achslager als
auch das Verlängerungsstück (5) und sogar der Tastkopf (6)
bzw. der Taststift, wie in der Darstellung nach Fig. 1
übertrieben dargestellt, gegenüber der gestrichelt
gezeichneten idealen gestreckten Ausrichtung deformieren. Der
resultierende Durchhang (b) der Tastkugel setzt sich zusammen
aus einem Anteil (b2), der das Resultat einer Verbiegung im
Dreh-Schwenk-Gelenk (2) selbst ist, sowie aus einem Anteil
(b1), der aus der Durchbiegung der Tasterverlängerung (5)
resultiert. Wird dieser Durchhang (b) nicht bei der Messung
berücksichtigt, so können abhängig von der Winkelstellung
Fehler bis zum Betrage von 2b auftreten, abhängig von der
winkelmäßigen Ausrichtung um die Drehachsen (A) und (B). Dies
ist beispielhaft in Fig. 2 skizziert. Würde das Dreh-Schwenk-
Gelenk in der in Fig. 1 gezeigten Stellung kalibriert und
um den Winkel α=180° um die Achse A gedreht,
dann weicht die tatsächliche Lage der Tastkugel in der
durchgezogenen gezeichneten Stellung um den Betrag 2b in
Richtung der Schwerkraftachse von der nach den
Kalibrierdaten berechneten Stellung (kurzgestrichelt
gezeichnet) ab. Bei entsprechend raumschräger Ausrichtung des
Tastkopfes (6) ergeben sich andere, kleinere Werte für den
Durchhang, da sich hierbei die effektive Hebellänge verkürzt.
Um ein Nachkalibrieren für die verschiedenen Winkelstellungen
zu umgehen, wird nun so vorgegangen, daß in dem
mathematischen Modell, das die Bewegung der Tastkugel (7) im
Koordinatensystem des Koordinatenmeßgerätes beschreibt, die
Durchbiegung aufgrund der Schwerkraft mitberücksichtigt wird.
Das ursprüngliche mathematische Modell hat die Form
Diese Form entspricht abgesehen von einer etwas abweichenden
Benennung der Größen der Gleichung I in der genannten
DE-OS 37 40 070, wobei
: der drei-dimensionale Meßwert der Maßstäbe
des Koordinatenmeßgerätes
(α, β): der zwei-dimensionale (Winkel-)Meßwert des Dreh-Schwenk-Gelenks
: die Tasterkoordinate in einem Koordinatensystem (xs, ys, zs), das dem Tastkopf zugeordnet ist, und
D(α, β): die Matrix ist die die Drehbewegung um die beiden Achsen des Dreh-Schwenk-Gelenks beschreibt.
(α, β): ist ein Vektor, der eine translatorische Verlagerung des Tasterkoordinatensystems (xs, ys, zs) bei Drehung um die Achsen A und B beschreibt.
(α, β): der zwei-dimensionale (Winkel-)Meßwert des Dreh-Schwenk-Gelenks
: die Tasterkoordinate in einem Koordinatensystem (xs, ys, zs), das dem Tastkopf zugeordnet ist, und
D(α, β): die Matrix ist die die Drehbewegung um die beiden Achsen des Dreh-Schwenk-Gelenks beschreibt.
(α, β): ist ein Vektor, der eine translatorische Verlagerung des Tasterkoordinatensystems (xs, ys, zs) bei Drehung um die Achsen A und B beschreibt.
Der Vektor repräsentiert den dreidimensionalen Meßpunkt,
d. h. die Lage des Mittelpunktes der Tastkugel (7) in dem
Koordinatensystem des Koordinatenmeßgerätes. Dieser
Meßpunkt wird vom Rechner des Koordinatenmeßgerätes
weiterverarbeitet.
Formal kann Gleichung (1) um einen Term (α, β) erweitert
werden, der die Durchbiegung des Tasters mit der
Tasterkoordinate abhängig von der Winkelstellung (α, β)
wiedergibt:
Hierbei wird wieder auf die Darstellung in Fig. 1 Bezug
genommen.
Außer den bereits bekannten Größen und (α, β) sind in
Fig. 1 auch das Koordinatensystem (xM, yM, zM) des
Koordinatenmeßgerätes, das Koordinatensystem (xs, ys, zs) des
Tastkopfs und der Schwerkraftvektor eingezeichnet. Sind der
Biegetensor für den Tastkopf und seine Verlängerung für eine
Winkelstellung (α, β) des Dreh-Schwenk-Gelenks und der
Schwerkraftvektor bekannt, so kann die Durchbiegung (α, β)
für jede beliebige Winkelstellung berechnet werden. Schreibt
man den Biegetensor als T(α, β), so ergibt sich für (α, β):
Der Tensor T(α, β) kann mit Hilfe der Transformationsmatrix
D(α, β) für jede beliebige Winkelstellung einfach berechnet
werden. Entsprechende Darstellungen finden sich
beispielsweise in dem Lehrbuch "Tensorrechnung für
Ingenieure" von J. Betten, Verlag Teubner, Stuttgart 1987.
Da die exakte Bestimmung von Biegetensor T(α, β) und
Schwerkraftvektor einen erheblichen Rechenaufwand
erfordern, empfiehlt es sich folgende vereinfachende Annahmen
zu machen, wenn die Biegekorrektur während der
Koordinatenvermessung On-Line durchgeführt werden soll:
- A. Der Schwerkraftvektor zeigt im Koordinatensystem (xM, yM, zM) in Richtung -zM.
- B. Tastkopf und Verlängerung bilden eine Linie. Die Richtung dieses "geraden" Tastkopfs ist im Tastkopfkoordinatensystem (xs, ys, zs) immer zs.
- C. Die (xs, ys)-Koordinaten von sind ungleich Null, da der Koordinatenursprung des Systems (xs, ys, zs) in der Mitte des Dreh-Schwenk-Gelenks liegt. Die zs-Komponente von ist immer größer als Null und ist ein Maß für die "aktive" Biegelänge des Tastkopfs.
- D. Für jede Biegelänge zs eines Tastkopfs (6) mit oder ohne Verlängerung (5) ist der Betrag der maximalen Durchbiegung b(zs), d. h. der maximalen Länge von (α, β) für alle (α, β) bekannt. Die maximale Durchbiegung wird angenommen, wenn der Schwerkraftvektor wie in Fig. 1 dargestellt senkrecht auf der Tasterrichtung zs steht. Die Länge von zs ist über die Tasterkoordinate bekannt.
- E. Der Betrag der Durchbiegung ist gleich dem Produkt aus b(zs) und dem Sinus des Winkels zwischen Schwerkraftvektor und zs.
Mit diesen Annahmen können konkrete Formeln zur Berechnung
von (α, β) hergeleitet und auf dem Rechner des
Koordinatenmeßgerätes programmiert werden. Außerdem läßt sich
die maximale Durchbiegung b(zs) relativ einfach bestimmen.
Die vereinfachenden Annahmen A. bis E. sind für alle bisher
bekannten Koordinatenmeßgeräte mit einem Dreh-Schwenk-Gelenk
erfüllt. Sie ermöglichen die einfache Berechnung der
Korrektur der Durchbiegung (α, β). Es werden nun folgende
Abkürzungen benutzt:
f(α,β)=der Betrag der Durchbiegung für die Winkelstellung
(α, β). Es gilt f(α, β) ist größer oder gleich Null.
(α, β)=der Richtungsvektor der Durchbiegung für die Winkelstellung (α, β). Die Länge von (-α, β) ist gleich Eins.
(α, β)=der Richtungsvektor für den Taster in der Winkelstellung (α, β) in (xM, yM, zM)-Koordinaten. Die Länge von (α, β) ist gleich Eins.
(α, β)=der Richtungsvektor der Durchbiegung für die Winkelstellung (α, β). Die Länge von (-α, β) ist gleich Eins.
(α, β)=der Richtungsvektor für den Taster in der Winkelstellung (α, β) in (xM, yM, zM)-Koordinaten. Die Länge von (α, β) ist gleich Eins.
Damit ergeben sich folgende Formeln:
c ist die Länge des zweifachen Kreuzproduktes
(α, β) × × (α, β)
f(α, β)=b(zs) * sinus (Winkel zwischen und (α, β))
(α, β) × × (α, β)
f(α, β)=b(zs) * sinus (Winkel zwischen und (α, β))
Sind (dÿ)i,j=1,2,3 die Komponenten der die Drehbewegung
beschreibenden Matrix D(α, β) und benutzt man die Annahme A.,
kann das Kreuzprodukt und damit die Durchbiegung direkt aus
den Komponenten der Drehmatrix D(α, β) ausgerechnet werden:
Da die Länge c gerade gleich der Länge f(α, β) ist,
vereinfacht sich die Formel erheblich.
Die von dem Abstand (zs) der Tastkugel (7) vom Dreh-
Schwenk-Gelenk (2) abhängige maximale Durchbiegung b(zs)
läßt sich wie eingangs bereits erwähnt nach verschiedenen
Methoden ermitteln.
Hier wird beispielsweise so vorgegangen, daß die
Tasterkoordinate, d. h. der Mittelpunkt der Tastkugel (7)
zuerst in der in Fig. 1 dargestellten Ausrichtung des Dreh-
Schwenk-Gelenks kalibriert wird und danach ein Prüfkörper in
dieser Ausrichtung im Meßraum des Koordinatenmeßgerätes
vermessen wird. Danach wird der gleiche Prüfkörper noch
einmal gemessen, wobei aber das Dreh-Schwenk-Gelenk in die in
Fig. 2 dargestellte Ausrichtung gedreht ist. Beide Messungen
geben unterschiedliche Werte, und der Abstand der
Mittelpunkte des Prüfkörpers entspricht dem Wert 2b für diese
Tasterkonfiguration der Länge zs.
Man geht nun so vor, daß für die verschiedenen am
Koordinatenmeßgerät verwendeten Tasterkonfigurationen
unterschiedlicher Länge und Geometrie jeweils ihre Werte
b(zs) bestimmt und in den Speicher des Rechners des
Koordinatenmeßgerätes eingegeben werden. Der Rechner
berichtigt dann die von den Meßsystemen des
Koordinatenmeßgerätes gelieferten Meßwerte in jeder
beliebigen Winkelstellung des Dreh-Schwenk-Gelenks, indem
er die Durchbiegung B(α, β) gemäß Gleichung (3) aus den
Winkeldaten der Encoder des Dreh-Schwenk-Gelenks
berechnet und bei der Bildung des Positions-Meßwertes
in Gleichung (2) mitberücksichtigt. Das hierzu gehörende
vereinfachte Blockschaltbild ist in Fig. 3 dargestellt.
Darin sind mit (12x, y und z) die drei Maßstäbe des
Koordinatenmeßgerätes bezeichnet und mit (13x, y und z) die
entsprechenden Geber, deren Signale der Steuerung (11) des
Koordinatenmeßgerätes zugeführt sind. Ebenfalls an die
Steuerung (11) sind die Geber (13a und 13b) angeschlossen,
die die Teilkreise (12a und 12b) der Winkelencoder im
Dreh-Schwenk-Gelenk abtasten. Die Steuerung (11)
übergibt die Meßwerte über einen Datenbus an den Rechner (14)
des Koordinatenmeßgerätes, in dessen Speicher (15) neben
zusätzlichen Korrekturwerten, die beispielsweise die Nicht-
Linearität der Führungen des Koordinatenmeßgerätes betreffen,
auch die Korrekturwerte b₁ bis bn für die maximale
Durchbiegung der verschiedenen einzuwechselnden
Tasterkombinationen enthalten sind.
Wenn das Koordinatenmeßgerät die Lage der Antastpunkte am zu
vermessenden Objekt berechnet, wird der entsprechende Wert (b)
aus dem Speicher eingelesen, entsprechend Gleichung (3) mit
den Winkelwerten multipliziert, die die Ausrichtung des
Tastkopfs (6) im Raum beschreiben, und anschließend die
daraus berechnete Verlagerung der Tastkugel (7) aufgrund der
Schwerkraft in z-Richtung bei der Berechnung der
Antastkoordinate mitberücksichtigt. Das Ergebnis wird dann
auf einer Ausgabeeinheit (16) dargestellt.
Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 wurde von einem
Koordinatenmeßgerät ausgegangen, das ein messendes Dreh-
Schwenk-Gelenk besitzt. Das Verfahren läßt sich jedoch in
gleicher Weise auch mit einem schaltenden Dreh-Schwenk-Gelenk
realisieren. Hierzu wird auf das zweite Blockschaltbild in
Fig. 4 Bezug genommen. Dort sind die Maßstäbe des
Koordinatenmeßgerätes mit (112x, y und z) und die Geber der
Längenmeßsysteme mit (113x, y und z) bezeichnet. Das
schaltende Dreh-Schwenk-Gelenk besitzt für die beiden
Drehachsen Rasten (112a und 112b), die bestimmte
Winkelpositionen festlegen und auf die das Gelenk mit Hilfe
von Antrieben (113a und 113b) eingestellt werden kann. Die
entsprechenden Winkelwerte (α₁ bis α₁₅ und β₁ bis β₄₈), die
zu den 15 verschiedenen Positionen des Drehwinkels α und zu
den 48 verschiedenen Positionen des Schwenkwinkels β, also
den insgesamt 720 verschiedenen Rastpositionen gehören, sind
in diesem Falle in einem Eichprozeß vorab gewonnen worden und
im Speicher (115) des Rechners (114) des
Koordinatenmeßgerätes abgelegt. Ebenfalls in diesem Speicher
(115) abgelegt sind wieder die Korrekturwerte b₁ bis bn, die
die maximale Durchbiegung für die verschiedenen
Tasterkombinationen beschreiben.
Hier wird nun so vorgegangen, daß bereits vor jeder Antastung
das Produkt der jeweiligen Winkelstellung mit dem
Korrekturwert (b) für den bestimmten Taster gebildet wird und
dann für die Berichtigung der im Zuge eines Antastvorganges
gewonnenen Positionsmeßwerte zur Verfügung steht.
Claims (10)
1. Verfahren zur Korrektur der Ist-Position eines über ein
Dreh-Schwenk-Gelenk (2) an einem Koordinatenmeßgerät
befestigten Tastkopfes (6), dadurch gekennzeichnet, daß
- - eine die Steifigkeit des Dreh-Schwenk-Gelenks (2) bzw. des den Tastkopf (6) mit ihr verbindenden Verlängerungselementes (5) beschreibende Größe (b) bestimmt und in den Rechner (14) des Koordinatenmeßgerätes eingegeben wird,
- - aus den für den Meßvorgang eingestellten Winkelpositionen (α, β) des Dreh-Schwenk-Gelenks und der die Steifigkeit beschreibende Größe (b) ein die aktuelle Durchbiegung des Dreh-Schwenk-Gelenks bzw. des Verlängerungselementes (5) unter dem Einfluß der Schwerkraft beschreibender Korrekturwert (α, β) berechnet wird, und
- - die vom Koordinatenmeßgerät gelieferten Positionsmeßwerte für den Tastkopf mit Hilfe des Korrekturwerts berichtigt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Größe (b) vorab rechnerisch bestimmt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Größe (b) im Zuge eines Kalibrierverfahrens
mit Hilfe des Koordinatenmeßgerätes bestimmt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Größe (b) auf einer separaten Meßvorrichtung
ermittelt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Größe (b) ein Tensor ist.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Größen (b₁ . . . bn) für eine Vielzahl
unterschiedlicher Tasterkonfigurationen bestimmt und im
Speicher (15) des Rechners (14) des Koordinatenmeßgerätes
abgelegt werden.
7. Koordinatenmeßgerät zur Durchführung des Verfahrens nach
einem der Ansprüche 1-5 mit
- - Linearmaßstäben (12x, y, z) für die drei orthogonalen Raumrichtungen und diesen zugeordneten Positionsgebern (13x, y, z),
- - einem messenden Dreh-Schwenk-Gelenk (2) mit Encodern (12a/13a, 12b/13b), die Signale betreffend die Winkellage (α, β) des Dreh-Schwenk-Gelenks abgeben,
- - mindestens einem an das Dreh-Schwenk-Gelenk (2) mittels eines Verlängerungsstückes (5) befestigten Tastkopf (6),
- - einem Rechner (14), der aus den Werten der Positionsgeber und der Encoder die Lage des Tastkopfes bzw. einer davon getragenen Tastkugel (7) im Raum berechnet,
- - einem Speicher (15), in dem Korrekturwerte abgelegt sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - die Korrekturwerte (b) die Steifigkeit des Dreh- Schwenk-Gelenks (2) bzw. des Verlängerungstückes (5) beschreiben und daß im Rechner (14) ein Korrekturprogramm vorgesehen ist, das aus den Korrekturwerten (b) und den Winkelwerten der Encoder die Durchbiegung des Dreh-Schwenk-Gelenks bzw. des Verlängerungsstückes unter dem Einfluß der Schwerkraft berechnet und die Position des Tastkopfes (6) bzw. der Tastkugel (7) um die berechnete Durchbiegung (α, β) berichtigt.
8. Koordinatenmeßgerät zur Durchführung des Verfahrens nach
einem der Ansprüche 1-5 mit
- - Linearmaßstäben (12x, y, z) für die drei orthogonalen Raumrichtungen und diesen zugeordneten Positionsgebern (13x, y, z),
- - einem schaltenden Dreh-Schwenk-Gelenk (2), das auf eine endliche Anzahl festgelegter Winkelwerte (α, β) einstellbar ist,
- - mindestens einem an dem Dreh-Schwenk-Gelenk (2) mittels eines Verlängerungsstückes (5) befestigten Tastkopf (6),
- - einem Rechner (14), der aus den Werten der Positionsgeber und der Encoder die Lage des Tastkopfes bzw. einer davon getragenen Tastkugel im Raum berechnet,
- - einem Speicher (115), in dem die einstellbaren Winkelwerte des Dreh-Schwenk-Gelenks sowie Korrekturwerte abgelegt sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - die Korrekturwerte (b) die Steifigkeit des Dreh- Schwenk-Gelenks bzw. des Verlängerungsstückes beschreiben und daß im Rechner (14) ein Korrekturprogramm vorgesehen ist, das aus den Korrekturwerten (b) und den gespeicherten Winkelwerten (α, β) die Durchbiegung des Dreh-Schwenk-Gelenks (2) bzw. des Verlängerungsstückes (5) unter dem Einfluß der Schwerkraft berechnet und die Position des Tastkopfes (6) bzw. der Tastkugel (7) um die berechnete Durchbiegung (α, β) berichtigt.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4001433A DE4001433A1 (de) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Korrekturverfahren fuer koordinatenmessgeraete |
DE91100347T DE59100590D1 (de) | 1990-01-19 | 1991-01-12 | Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte. |
EP91100347A EP0438095B1 (de) | 1990-01-19 | 1991-01-12 | Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte |
US07/641,933 US5138563A (en) | 1990-01-19 | 1991-01-16 | Method and apparatus to correct for gravitational sag in the articulated mounting of a probe in a coordinate-measuring machine |
JP3003307A JP3001989B2 (ja) | 1990-01-19 | 1991-01-16 | 座標測定装置の修正方法及び座標測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4001433A DE4001433A1 (de) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Korrekturverfahren fuer koordinatenmessgeraete |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4001433A1 true DE4001433A1 (de) | 1991-07-25 |
Family
ID=6398356
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4001433A Withdrawn DE4001433A1 (de) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Korrekturverfahren fuer koordinatenmessgeraete |
DE91100347T Expired - Fee Related DE59100590D1 (de) | 1990-01-19 | 1991-01-12 | Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte. |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE91100347T Expired - Fee Related DE59100590D1 (de) | 1990-01-19 | 1991-01-12 | Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5138563A (de) |
EP (1) | EP0438095B1 (de) |
JP (1) | JP3001989B2 (de) |
DE (2) | DE4001433A1 (de) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4231040A1 (de) * | 1992-09-17 | 1994-03-24 | Zett Mess Technik Gmbh | Höhenmeß- und Anreißgerät |
DE9422043U1 (de) * | 1993-02-23 | 1997-10-09 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary, Fla. | Koordinatenmeßmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
EP1126237A2 (de) * | 2000-02-15 | 2001-08-22 | Carl Zeiss | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmessgerätes |
EP1279918A2 (de) * | 2001-07-27 | 2003-01-29 | Carl Zeiss | Verfahren zum Diagnostizieren von Schäden in einem messenden Tastkopf eines Koordinatenmessgeräts |
DE102005017708A1 (de) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | Wolfgang Madlener | Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen von Werkstücken mit einem Messtaster an einer Werkzeugmaschine |
DE19960191B4 (de) * | 1999-12-14 | 2010-05-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Sicherung eines Koordinatenmessgerätes vor Bedienfehlern |
EP2218710A1 (de) | 2004-11-04 | 2010-08-18 | Bayer CropScience AG | Verfahren zur Herstellung von 2,6-Diethyl-4-methylphenylessigsäure |
DE10066470B4 (de) * | 2000-02-15 | 2011-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes |
DE102016010840A1 (de) | 2016-09-08 | 2017-03-30 | Daimler Ag | Montagesystem |
DE102017003641A1 (de) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche |
US10591271B2 (en) | 2015-03-26 | 2020-03-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Method and apparatus for calibrating a rotating device attached to a movable part of a coordinate measuring device |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE59510796D1 (de) * | 1994-05-27 | 2003-10-23 | Zeiss Carl | Koordinatenmessung an Werkstücken mit einer Korrektur des durch die Messkraft abhängigen Biegeverhaltens des Koordinatenmessgerätes |
DE59510879D1 (de) * | 1994-05-27 | 2004-04-29 | Zeiss Carl | Koordinatenmessung an Werkstücken mit Korrekturen von Beschleunigungen |
DE4436507A1 (de) * | 1994-10-13 | 1996-04-18 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
EP0731333B1 (de) * | 1995-03-10 | 2001-01-31 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Mehrkoordinaten-Tastkopf mit gleichen Auslenkungen |
GB9517214D0 (en) * | 1995-08-23 | 1995-10-25 | Renishaw Plc | Calibration of an articulating probe head for a coordinating positioning machine |
US5832416A (en) * | 1995-09-01 | 1998-11-03 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Calibration system for coordinate measuring machine |
US5808888A (en) * | 1996-01-11 | 1998-09-15 | Thermwood Corporation | Method and apparatus for programming a CNC machine |
US6497134B1 (en) * | 2000-03-15 | 2002-12-24 | Image Guided Technologies, Inc. | Calibration of an instrument |
DE50106760D1 (de) * | 2000-05-23 | 2005-08-25 | Zeiss Ind Messtechnik Gmbh | Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte |
GB0326532D0 (en) | 2003-11-13 | 2003-12-17 | Renishaw Plc | Method of error compensation |
US7376261B2 (en) * | 2003-11-25 | 2008-05-20 | Mitutoyo Corporation | Surface scan measuring device and method of forming compensation table for scanning probe |
EP1617172B1 (de) * | 2004-07-16 | 2007-12-26 | Tesa SA | Lenkbarer Taststift |
DE102004044827A1 (de) | 2004-09-16 | 2006-03-23 | Bayer Cropscience Ag | Jod-phenylsubstituierte cyclische Ketoenole |
GB0508402D0 (en) * | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Probe calibration |
US7885777B2 (en) * | 2005-04-26 | 2011-02-08 | Renishaw Plc | Probe calibration |
GB0512138D0 (en) * | 2005-06-15 | 2005-07-20 | Renishaw Plc | Method of determining measurement probe orientation |
JP4839827B2 (ja) * | 2005-12-26 | 2011-12-21 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 3次元測定装置 |
JP5441302B2 (ja) * | 2006-11-28 | 2014-03-12 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置 |
GB0712008D0 (en) * | 2007-06-21 | 2007-08-01 | Renishaw Plc | Apparatus and method of calibration |
GB0713639D0 (en) * | 2007-07-13 | 2007-08-22 | Renishaw Plc | Error correction |
DE102007051054A1 (de) | 2007-10-19 | 2009-04-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Korrigieren der Messwerte eines Koordinatenmessgeräts und Koordinatenmessgerät |
GB201013938D0 (en) | 2010-08-20 | 2010-10-06 | Renishaw Plc | Method for recalibrating coordinate positioning apparatus |
CN107255462B (zh) * | 2011-07-08 | 2019-07-23 | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 | 在测量工件的坐标时的误差修正和/或避免 |
JP7436181B2 (ja) * | 2019-11-08 | 2024-02-21 | ファナック株式会社 | たわみ量算出装置及びプログラム |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD139454A1 (de) * | 1978-11-09 | 1980-01-02 | Gerd Huebner | Messkopf |
GB2045437B (en) * | 1979-03-30 | 1984-02-08 | Renishaw Electrical Ltd | Coordinate measuring machine |
JPS5769315A (en) * | 1980-10-13 | 1982-04-28 | Fanuc Ltd | Control system of industrial robot |
US4710884A (en) * | 1984-12-19 | 1987-12-01 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Device for compensating for deflection in a pliable positioning apparatus |
US4663852A (en) * | 1985-09-19 | 1987-05-12 | Digital Electronic Automation, Inc | Active error compensation in a coordinated measuring machine |
DE3740070A1 (de) * | 1987-11-26 | 1989-06-08 | Zeiss Carl Fa | Dreh-schwenk-einrichtung fuer tastkoepfe von koordinatenmessgeraeten |
DE3842151A1 (de) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf vom schaltenden typ |
DE3843125A1 (de) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf vom schaltenden typ |
-
1990
- 1990-01-19 DE DE4001433A patent/DE4001433A1/de not_active Withdrawn
-
1991
- 1991-01-12 EP EP91100347A patent/EP0438095B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-12 DE DE91100347T patent/DE59100590D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-16 JP JP3003307A patent/JP3001989B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-16 US US07/641,933 patent/US5138563A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4231040A1 (de) * | 1992-09-17 | 1994-03-24 | Zett Mess Technik Gmbh | Höhenmeß- und Anreißgerät |
DE4231040C2 (de) * | 1992-09-17 | 2002-11-28 | Zett Mess Technik Gmbh | Höhenmess- und Anreißgerät |
DE4447906B4 (de) * | 1993-02-23 | 2005-01-05 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Koordinatenmessmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
DE9422043U1 (de) * | 1993-02-23 | 1997-10-09 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary, Fla. | Koordinatenmeßmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
DE9422042U1 (de) * | 1993-02-23 | 1997-10-09 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary, Fla. | Koordinatenmeßmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
DE9422041U1 (de) * | 1993-02-23 | 1997-10-09 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary, Fla. | Koordinatenmeßmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
DE19960191B4 (de) * | 1999-12-14 | 2010-05-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Sicherung eines Koordinatenmessgerätes vor Bedienfehlern |
EP1126237A3 (de) * | 2000-02-15 | 2002-07-03 | Carl Zeiss | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmessgerätes |
US6546643B2 (en) | 2000-02-15 | 2003-04-15 | Carl-Zeiss-Stiftung | Articulated device for the probe head of a coordinate measuring apparatus |
EP1126237A2 (de) * | 2000-02-15 | 2001-08-22 | Carl Zeiss | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmessgerätes |
DE10066470B4 (de) * | 2000-02-15 | 2011-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes |
EP1279918A3 (de) * | 2001-07-27 | 2003-04-02 | Carl Zeiss | Verfahren zum Diagnostizieren von Schäden in einem messenden Tastkopf eines Koordinatenmessgeräts |
EP1279918A2 (de) * | 2001-07-27 | 2003-01-29 | Carl Zeiss | Verfahren zum Diagnostizieren von Schäden in einem messenden Tastkopf eines Koordinatenmessgeräts |
EP2218710A1 (de) | 2004-11-04 | 2010-08-18 | Bayer CropScience AG | Verfahren zur Herstellung von 2,6-Diethyl-4-methylphenylessigsäure |
DE102005017708A1 (de) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | Wolfgang Madlener | Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen von Werkstücken mit einem Messtaster an einer Werkzeugmaschine |
US7460970B2 (en) | 2005-04-15 | 2008-12-02 | Wolfgang Madlener | Method and device for measuring workpieces with a measuring probe on a machine tool |
US10591271B2 (en) | 2015-03-26 | 2020-03-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Method and apparatus for calibrating a rotating device attached to a movable part of a coordinate measuring device |
DE102016010840A1 (de) | 2016-09-08 | 2017-03-30 | Daimler Ag | Montagesystem |
DE102017003641A1 (de) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche |
DE102017003641B4 (de) | 2017-04-13 | 2019-10-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05223557A (ja) | 1993-08-31 |
JP3001989B2 (ja) | 2000-01-24 |
DE59100590D1 (de) | 1993-12-23 |
EP0438095B1 (de) | 1993-11-18 |
US5138563A (en) | 1992-08-11 |
EP0438095A1 (de) | 1991-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0438095B1 (de) | Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte | |
EP1342050B1 (de) | Ermittlung von korrekturparametern einer dreh- schwenkeinheit mit messendem sensor ( koordinatenmessgerät ) über zwei parameterfelder | |
DE102016116702B4 (de) | Messsystem zum Kalibrieren der mechanischen Parameter eines Roboters | |
DE102013021917B4 (de) | Robotersystemanzeigevorrichtung | |
EP0684447B1 (de) | Koordinatenmessung an Werkstücken mit einer Korrektur des durch die Messkraft abhängigen Biegeverhaltens des Koordinatenmessgerätes | |
DE69411130T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Eichen der Bewegungsachsen eines Industrierobotors | |
EP2834595B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum reduzieren von fehlern einer drehvorrichtung bei der bestimmung von koordinaten eines werkstücks oder bei der bearbeitung eines werkstücks | |
DE10214490B4 (de) | Verfahren zur Korrektur von Führungsfehlern bei einem Koordinatenmeßgerät | |
WO2014140188A1 (de) | Verfahren zur korrektur einer winkelabweichung beim betrieb eines koordinatenmessgeräts | |
DE10016058A1 (de) | Messvorrichtung und Verfahren zum Korrigieren von Fehlern bei einer Maschine | |
DE10339194B4 (de) | Verfahren zur Ermittlung systematischer geometrischer Abweichungen in technischen Mehrkörpersystemen | |
DE102015205567A1 (de) | Kalibrierung einer an einem beweglichen Teil eines Koordinatenmessgeräts angebrachten Drehvorrichtung | |
EP2212647A1 (de) | Verfahren zum kalibrieren eines koordinatenmessgerätes | |
DE102004023033A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung von Bauteilen | |
EP0703430B1 (de) | Verfahren zur Kalibrierung eines Koordinatenmessgerätes mit zwei rotatorischen Achsen | |
EP2874788A1 (de) | Robotergeführte messanordnung | |
DE102018007287B4 (de) | Roboter-Controller zum Durchführen einer Kalibrierung, Messsystem und Kalibrierverfahren | |
WO2003035333A2 (de) | 3d-koordinatenmesssystem | |
DE102007011603B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Geometriedaten eines konischen Messobjekts | |
EP3707569B1 (de) | Kalibrierung eines stationären kamerasystems zur positionserfassung eines mobilen roboters | |
DE10048096A1 (de) | Verfahren zur Kalibrierung eines messenden Sensors auf einem Koordinatenmeßgerät | |
DE102017003641B4 (de) | Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche | |
DE102019102927B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von dimensionalen und/oder geometrischen Eigenschaften eines Messobjekts | |
DE102020208567B4 (de) | Kalibrieren eines Referenzkörpers für die Führungsfehlerermittlung einer Maschinenachse | |
EP0557592A1 (de) | Einrichtung zum Kalibrieren einer Messeinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |