DE3923405A1 - DEVICE FOR TRANSPORTING AND POSITIONING DISC-SHAPED WORKPIECES, IN PARTICULAR SEMICONDUCTOR DISC, AND METHOD FOR THE WET-CHEMICAL TREATMENT OF THE SAME - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transportieren und Positionieren von scheibenförmigen Werkstücken, insbe­ sondere Halbleiterscheiben, bei welcher die Werkstücke mit Hilfe fluider Medien über eine mit seitlichen Einfassungen versehene Führungsplatte bewegt werden, wobei die Medien durch im Plattenboden angeordnete, in Transportrichtung geneigte Düsen in den Transportraum eingepreßt werden, in welchem mindestens ein Bereich zum Abbremsen und Positionie­ ren der Werkstücke vorgesehen ist. Sie betrifft ferner ein Verfahren zur naßchemischen Oberflächenbehandlung von schei­ benförmigen Werkstücken, insbesondere Halbleiterscheiben, bei dem eine oder mehrere Flüssigkeiten zur Einwirkung auf die Scheibenoberfläche gebracht werden und die Scheiben mindestens einem mittels fluider Medien erfolgenden Trans­ portvorgang unterworfen werden.The invention relates to a device for transporting and positioning of disc-shaped workpieces, esp special semiconductor wafers, in which the workpieces with Using fluid media on one with side bezels provided guide plate are moved, the media by arranged in the slab bottom in the direction of transport inclined nozzles are pressed into the transport space, in which has at least one area for braking and positioning ren of the workpieces is provided. It also affects one Process for wet chemical surface treatment of schei ben-shaped workpieces, in particular semiconductor wafers, in which one or more liquids to act on the disc surface are brought and the discs at least one trans using fluid media port process.

Eine Vorrichtung der eingangs genannten Art ist aus der DE- B-20 36 337, angemeldet 22. 7. 70 mit Priorität der US- Anmeldung mit Aktenzeichen 8 44 918 vom 25. 7. 69, Anmelder Texas Instruments Inc., bekannt. Als Transportmittel werden dabei unter Druck stehende gasförmige oder auch flüssige Medien, üblicherweise Luft, eingesetzt. Zum Abbremsen werden die Werkstücke an einer vorgesehenen Stelle zur Anlage an einer Bremsfläche gebracht, so daß durch mechanische Reibung zunächst die Geschwindigkeit verringert wird, bis die Schei­ ben nahe einer vorgegebenen Stelle zur Ruhe kommen und schließlich in ihre endgültige Position gebracht werden können. Ein solcher Kontakt mit Bremsflächen kann jedoch bereits zu einer unzulässigen Kontamination der Werkstücke führen, was insbesondere für Halbleiterscheiben gilt, an die von den Bauelementeherstellern äußerst hohe Reinheitsanfor­ derungen gestellt werden. Überdies gestattet diese Vorrich­ tung nur translatorische, nicht aber rotatorische Bewegungen der Scheiben.A device of the type mentioned is known from DE B-20 36 337, filed July 22, 70 with priority of U.S. Registration with file number 8 44 918 of July 25, 69, applicant Texas Instruments Inc., known. As a means of transportation pressurized gaseous or liquid Media, usually air, used. To slow down the workpieces at a designated location for the system  brought a braking surface, so that by mechanical friction first the speed is reduced until the Schei ben come to rest near a predetermined point and will eventually be brought into their final position can. Such contact with braking surfaces can, however already impermissible contamination of the workpieces lead, which applies in particular to semiconductor wafers, to the extremely high purity requirements from component manufacturers changes are made. Furthermore, this device allows only translatory, but not rotary movements of the discs.

Aus der EP-B-1 30 866 bzw. der entsprechenden US-PS 45 57 785 ist eine weitere derartige Vorrichtung bekannt, bei der die Scheiben nach einer unter Rotation in einer Ätzstation durchgeführten Ätz- und Spülbehandlung mittels Düsen durch ein Spülbad transportiert und schließlich in einen Schleu­ dertrockner überführt werden, in dem anhaftendes Wasser abgeschleudert wird, so daß die schließlich erhaltenen trockenen Scheiben dann für den nächsten Behandlungsschritt entnommen werden können. Sowohl das Einbringen der Scheiben in die Ätzstation als auch das Abbremsen der Scheiben beim Einbringen in den Schleudertrockner und das Trockenschleu­ dern geschieht dabei mit mechanischen Hilfsmitteln, so daß eine Kontamination oder Beschädigung der Scheiben nicht aus­ zuschließen ist. Überdies muß die Ätzstation durch mechani­ sche Bewegung ihrer Abdeckung jeweils zum Ein- bzw. Aus­ bringen der Scheibe geöffnet werden, was natürlich auch die Gefahr einer Kontamination durch Abrieb beinhaltet. Ein weiterer Nachteil liegt darin, daß die Ätzstation abwech­ selnd mit Ätzmittel und Wasser beschickt wird, so daß eine Verschleppung von Chemikalienresten möglich ist.From EP-B-1 30 866 or the corresponding US-PS 45 57 785 Another such device is known in which the Discs after rotating in an etching station carried out etching and rinsing treatment by means of nozzles transported a rinsing bath and finally into a sluice the dryer are transferred into the adhering water is thrown off, so that the finally obtained dry slices then for the next treatment step can be removed. Both the insertion of the washers into the etching station as well as braking the discs when Place in the spin dryer and the dry sluice but happens with mechanical aids, so that contamination or damage to the panes is not sufficient is to be locked. In addition, the etching station by mechani cal movement of their cover to on or off bring the window open, which of course the Risk of contamination from abrasion. A Another disadvantage is that the etching station varies is fed selectively with caustic and water, so that a Carryover of chemical residues is possible.

Die Aufgabe der Erfindung lag darin, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, die diese Nachteile ver­ meidet und es ermöglicht, insbesondere Halbleiterscheiben ohne mechanischen Kontakt zu transportieren, anzuhalten, zu positionieren, gegebenenfalls in Rotation zu versetzen und weiterzutransportieren sowie gegebenenfalls dabei die Schei­ ben einem oder mehreren naßchemischen Behandlungs- und/oder Reinigungsschritten zu unterziehen. Die Aufgabe lag ferner darin, ein entsprechend gestaltetes, derartige Schritte beinhaltendes Verfahren anzugeben.The object of the invention was to provide a device Specify the type mentioned that ver these disadvantages  avoids and makes it possible, in particular semiconductor wafers without transporting, stopping, mechanical contact position, if necessary set in rotation and to be transported further and, if necessary, the shit ben one or more wet chemical treatment and / or Undergo cleaning steps. The task also lay in a correspondingly designed, such steps to include the procedure.

Gelöst wird die Aufgabe durch eine Vorrichtung, welche da­ durch gekennzeichnet ist, daß im Abbremsbereich im Boden Bremsdüsen vorgesehen sind, welche unter gegen die Trans­ portrichtung geneigten Winkel in der Führungsplatte angeord­ net sind und zumindest beim Abbremsen und Positionieren eines Werkstückes mit fluiden Medium beaufschlagt werden. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Vorrichtung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen. Das die Aufgabe lösende Ver­ fahren der eingangs genannten Art ist dadurch gekennzeich­ net, daß die Scheiben mindestens eine derartige Vorrichtung durchlaufen, wobei in der Vorrichtung die zur Einwirkung zu bringende Flüssigkeit als fluides Medium eingesetzt wird.The task is solved by a device which there is characterized in that in the braking area in the floor Brake nozzles are provided, which against the Trans Angle arranged in the guide plate in the direction of the port are net and at least when braking and positioning fluid medium is applied to a workpiece. Advantageous configurations of the device result from the dependent claims. The task solving Ver driving of the type mentioned is characterized net that the discs at least one such device go through, in the device to act bringing liquid is used as a fluid medium.

Die Führungsplatte wird zweckmäßig aus gegenüber den jeweils eingesetzten fluiden Medien weitgehend inertem Material gefertigt, das auch gegenüber den zu transportierenden Scheiben nicht kontaminierend wirken kann. Beim Transport von besonders empfindlichen scheibenförmigen Werkstücken wie Halbleiterscheiben aus Silicium, Germanium, Galliumarsenid oder Indiumphosphid, aber auch von Scheiben aus oxidischem Material wie Gallium-Gadolinium-Granat, Saphir, Spinell oder Glaswerkstoffen, haben sich vor allem Kunststoffe bewährt, wobei insbesondere Polymethylmethacrylate ("Plexiglas"), aber auch Polytetrafluorethylen, Polycarbonate, Polyvinyli­ denfluoride, Perfluoroalkoxyalkane, Acrylglas oder ähnliche Werkstoffe, aber auch Glas eingesetzt werden können. Vor­ teilhaft ist die Anwendung von transparenten oder durchsich­ tigen Materialien, da sie in einfacher Weise die visuelle und/oder mittels optischer Sensoren vorgenommene Überwachung und gegebenenfalls auch Steuerung der Bewegung der Werk­ stücke oder der Zufuhr bzw. des Abflusses der eingesetzten fluiden Medien gestatten. Wichtig ist auch, daß das ausge­ wählte Material genügend formstabil ist, um eine präzise und maßhaltige Orientierung der Düsen wie auch eine genaue Ober­ flächenbearbeitung zu ermöglichen, so daß eine einen ein­ wandfreien und ungestörten Fluß des Fluids gestattende, plane und von Unebenheiten freie Oberfläche des Bodens der Führungsplatte, beispielsweise durch Polieren, bereitge­ stellt und unter den Betriebsbedingungen aufrechterhalten werden kann.The guide plate is expediently compared to each used fluid media largely inert material manufactured, which also compared to the to be transported Windows can not be contaminating. While transporting of particularly sensitive disc-shaped workpieces such as Semiconductor wafers made of silicon, germanium, gallium arsenide or indium phosphide, but also from discs made of oxidic Material such as gallium-gadolinium-garnet, sapphire, or spinel Glass materials, especially plastics have proven themselves, in particular polymethyl methacrylates ("plexiglass"), but also polytetrafluoroethylene, polycarbonates, polyvinyli denfluoride, perfluoroalkoxyalkane, acrylic glass or the like Materials, but also glass can be used. Before  the use of transparent or transparent is partial materials because they are simple visual and / or monitoring carried out by means of optical sensors and possibly also control the movement of the plant pieces or the supply or outflow of the used allow fluid media. It is also important that it works selected material is sufficiently dimensionally stable to be precise and true to size orientation of the nozzles as well as an exact upper To allow surface processing, so that a one wall-free and undisturbed flow of the fluid, flat surface of the floor free of unevenness Guide plate, for example by polishing, ready and maintain under the operating conditions can be.

Vorteilhaft bestehen die das seitliche Austreten des Fluids verhindernden seitlichen Einfassungen der Führungsplatte aus dem selben Material wie die Führungsplatte selbst, was je­ doch nicht zwingend vorgeschrieben ist. In den Fällen, in denen höchste Reinheitsanforderungen gestellt werden, können sie auch aus dem Material gefertigt sein, aus dem die zu transportierenden Scheiben bestehen. Auf diese Weise läßt sich die Gefahr einer Verunreinigung durch Abrieb gering halten, da es im allgemeinen nicht vollständig ausgeschlos­ sen werden kann, daß auch bei sehr genau gearbeiteten Füh­ rungsplatten die Scheiben seitlich von der idealen Transportrichtung abweichen und in Kontakt mit den Einfas­ sungen kommen, beispielsweise beim Auftreten von Druck­ schwankungen im Fluidsystem. Die Einfassungen können mit dem Plattenboden lösbar, z.B. durch Schraub- oder Steckverbin­ dungen, oder fest, beispielsweise durch Verkleben oder Ver­ schweißen, verbunden sein. Im allgemeinen hat es sich bewährt, die Führungsplatte so zu dimensionieren, daß zwi­ schen dem Außenumfang der zu transportierenden Scheibe und den beiderseitigen Einfassungen jeweils ein freier Zwischen­ raum von 2 bis 50 mm verbleibt. Diese Werte müssen jedoch nicht zwingend eingehalten werden, beispielsweise im Falle von Anordnungen, die für den Transport von Scheiben mit ver­ schiedenen Durchmessern vorgesehen sind.Advantageously, there is the lateral leakage of the fluid preventing lateral bezels of the guide plate the same material as the guide plate itself, which ever is not mandatory. In the cases in which have to meet the highest purity requirements they also be made from the material from which the to transporting discs exist. This way the risk of contamination from abrasion is low hold as it is generally not completely excluded can be sen that even with very precisely worked Füh plates the side of the ideal Direction of transport deviate and in contact with the Einfas solutions, for example when pressure occurs fluctuations in the fluid system. The bezels can with the Removable slab base, e.g. by screw or plug connection dungen, or firmly, for example by gluing or Ver weld, be connected. In general it has proven to dimension the guide plate so that between the outer circumference of the pane to be transported and a free intermediate between the two sides  space of 2 to 50 mm remains. However, these values must not strictly observed, for example in the case of arrangements for the transport of disks with ver different diameters are provided.

Letztlich besitzt die Führungsplatte die Form eines flachen Troges mit vorzugsweise rechteckigem oder trapezoidem Quer­ schnitt, wobei gegebenenfalls die seitlichen Ecken gerundet sein können. Zweckmäßig wird, schon um das Einschleppen von Partikeln oder Verunreinigungen zu verhindern, zusätzlich eine obere Abdeckung vorgesehen, die zumindest teilweise, günstig aber vollständig die Führungsplatte bedeckt und von oben her abschließt. Vorteilhaft ist die nach innen weisende Oberfläche der Abdeckung, wie die nach innen weisende Boden­ fläche der Führungsplatte, möglichst plan und glatt, um ein ungestörtes Durchtreten des Fluides wie auch der transpor­ tierten Scheiben zu ermöglichen. Die Höhe des umschlossenen Raumes bzw. der Abstand der Abdeckung von der Bodenfläche der Führungsplatte richtet sich nach den angestrebten Durch­ flußraten und der Dicke der zu transportierenden Scheiben; als Richtwert für die mindestens erforderliche Höhe, der allerdings nicht im Sinne einer Beschränkung zu verstehen ist, hat sich beispielsweise beim Transport von Halbleiter­ scheiben mittels wässriger Medien ein etwa der dreifachen Scheibendicke entsprechender Wert erwiesen, während die bevorzugten Werte im Bereich von 2.5 bis 15 mm liegen. Die Höhe braucht dabei nicht über die gesamte Länge der Füh­ rungsplatte hinweg konstant gehalten zu werden, sondern kann gegebenenfalls auch verringert oder vergrößert werden. Eine Abdeckung des Systems hat auch den Vorteil, daß sie eben­ falls mit Düsen versehen werden kann, was sich in allen Bereichen der Führungsplatte gleichermaßen als günstig erwiesen hat.Ultimately, the guide plate has the shape of a flat one Troughs with a preferably rectangular or trapezoidal cross cut, possibly rounding the side corners could be. It is advisable to bring in Prevent particles or contaminants, in addition an upper cover is provided, which at least partially, cheap but completely covered the guide plate and by locks up. The one facing inwards is advantageous Surface of the cover, like the inward-facing bottom surface of the guide plate, as flat and smooth as possible, in order to undisturbed passage of the fluid as well as the transpor to enable slices. The height of the enclosed Space or the distance of the cover from the floor surface the guide plate depends on the desired through flow rates and the thickness of the slices to be transported; as a guideline for the minimum required height, the however, not to be understood as a limitation has, for example, in the transport of semiconductors slice about three times using aqueous media Slice thickness proved appropriate value, while the preferred values are in the range from 2.5 to 15 mm. The Height does not need the entire length of the feet plate can be kept constant, but can may also be reduced or enlarged. A Covering the system also has the advantage of being flat if it can be equipped with nozzles, which is in all Areas of the guide plate equally as cheap has proven.

Als Fluide können grundsätzlich Gase oder Flüssigkeiten eingesetzt werden, die chemisch die gewünschten reaktiven oder inerten Eigenschaften besitzen und eine geeignete, niedrige Viskosität zur Einstellung der erforderlichen Strömungsverhältnisse aufweisen. Schon aus Kostengründen wird als Gas bevorzugt Druckluft, gegebenenfalls in parti­ kelarmer Form, eingesetzt, sofern nicht aus Reinheitsgründen Rein- oder Reinstgase wie Stickstoff, Argon oder Helium erforderlich sind. Bei den gegenüber Gasen im allgemeinen bevorzugt verwendeten Flüssigkeiten gelangen wässrige Medien, d.h. Wasser und/oder wässrige Lösungen, die beispielsweise chemische Reagenzien oder Spül- bzw. Reini­ gungsmittel enthalten können, mit besonderem Vorteil zur Anwendung.In principle, gases or liquids can be used as fluids  are used, the chemically the desired reactive or have inert properties and a suitable, low viscosity to adjust the required Have flow conditions. For cost reasons alone compressed air is preferred as the gas, optionally in parti low-limb form, used, if not for reasons of purity Pure or ultrapure gases such as nitrogen, argon or helium required are. For gases in general preferably used liquids get aqueous Media, i.e. Water and / or aqueous solutions that for example chemical reagents or rinsing or cleaning may contain, with particular advantage for Application.

Besondere Bedeutung kommt der Anordnung der das jeweils eingesetzte Fluid in den Innenraum der Führungsplatte frei­ gebenden Düsen im Plattenboden zu. Im folgenden werden die eine Bewegung des zu transportierenden scheibenförmigen Werkstückes in der vorgesehenen Richtung bewirkenden Düsen als Vorschubdüsen, die eine Verlangsamung dieser Bewegung bewirkenden Düsen als Bremsdüsen und die eine Rotation des Werkstückes bewirkenden Düsen als Rotationsdüsen bezeichnet. Als Bezugsebene dient die geometrisch ideale innere Boden­ fläche der Führungsplatte, wobei etwaige in der realen Ober­ fläche vorhandene minimale Unebenheiten außer Betracht bleiben sollen. Unter Transportrichtung ist diejenige Rich­ tung zu verstehen, in der sich bei idealem, ungestörtem Transportverlauf der Schwerpunkt des scheibenförmigen Werk­ stückes über die Führungsplatte bewegt. In der Regel ver­ läuft die Transportrichtung im wesentlichen parallel zur Längsachse der Führungsplatte.Of particular importance is the arrangement of each used fluid in the interior of the guide plate free giving nozzles in the plate bottom. The following are the a movement of the disc-shaped to be transported Nozzles causing the workpiece in the intended direction as feed nozzles that slow down this movement effecting nozzles as brake nozzles and the rotation of the Workpiece-causing nozzles referred to as rotary nozzles. The geometrically ideal inner floor serves as the reference plane surface of the guide plate, with any in the real upper minimal unevenness should stay. Under the direction of transport, that is rich to understand in the ideal, undisturbed The course of transport is the focus of the disk-shaped work piece moved over the guide plate. Usually ver the direction of transport runs essentially parallel to Longitudinal axis of the guide plate.

Zweckmäßig werden die im Plattenboden sowie gegebenenfalls auch in der Abdeckung vorgesehenen Düsen zu Gruppen zusam­ mengefaßt, die jeweils über einen gemeinsamen Versorgungska­ nal mit dem Fluid, insbesondere dem wässrigen Medium versorgt werden. Die Anordnung der Düsen folgt dann den jeweiligen Versorgungskanälen, die soweit als möglich gerade verlaufen, da sie so am leichtesten in der ggf. aus zwei Hälften zusammengesetzten Führungsplatte, z.B. durch Bohren oder Fräsen, angelegt werden können. Günstig ist es auch, die Vorschub-, Brems- und Rotationsdüsen über voneinander unabhängige Kanäle zu versorgen, so daß sie nicht gleichzei­ tig und andauernd beschickt werden, sondern nur bei Bedarf mit Fluid beaufschlagt werden können.Appropriately, those in the slab floor and, if necessary also nozzles provided in the cover to groups quantified, each via a common supply box  nal with the fluid, especially the aqueous medium be supplied. The arrangement of the nozzles then follows respective supply channels that are as straight as possible run because they are the easiest in the possibly from two Halves of composite guide plate, e.g. by drilling or milling. It is also convenient the feed, brake and rotation nozzles over each other to supply independent channels so that they do not simultaneously be loaded continuously and continuously, but only when needed can be acted upon with fluid.

Die Form und lichte Weite der Düsen richtet sich im wesent­ lichen nach dem jeweils eingesetzten fluiden Medium und wird zweckmäßig in Vorversuchen auf die erwünschten Transportbe­ dingungen hin optimiert. Bei den bevorzugten wäßrigen Medien haben sich beispielsweise Düsen mit rundem Quer­ schnitt und Durchmessern im Bereich von 0.1 bis 5 mm, vor­ teilhaft 0.5 bis 1.5 mm bewährt, wobei die Untergrenze im Regelfall durch die Viskosität der Medien und die Größe der enthaltenen Partikel, die Obergrenze letztlich durch die verfügbare Pumpleistung und die noch vertretbaren Durchfluß­ mengen vorgegeben ist. Anstelle von Düsen mit rundem Quer­ schnitt können auch solche mit ovalem, quadratischem, rechteckigem oder schlitzartigem Querschnitt vorgesehen wer­ den. Allgemein ist es auch möglich, durch die Gestaltung der Auslaßöffnung die Austrittscharakteristik des Mediums zu beeinflussen, und beispielsweise Voll-, Streu- oder Sprüh­ strahlen oder entsprechende Mischformen vorzusehen.The shape and clear width of the nozzles depends essentially Lichen according to the fluid medium used and will Appropriately in preliminary tests on the desired transport areas optimized conditions. In the preferred aqueous Media, for example, have nozzles with a round cross cut and diameters in the range of 0.1 to 5 mm partially proven 0.5 to 1.5 mm, the lower limit in Usually by the viscosity of the media and the size of the contained particles, the upper limit ultimately by the available pump power and the still acceptable flow quantities is specified. Instead of nozzles with a round cross You can also cut those with oval, square, rectangular or slit-like cross section provided the. In general, it is also possible to design the Outlet opening the outlet characteristic of the medium influence, and for example full, scatter or spray radiate or provide appropriate mixed forms.

Wichtig ist es auch, die verschiedenen Fluidversorgungs­ systeme möglichst weitgehend gegenüber Druckschwankungen zu sichern. Dies kann beispielsweise mit Hilfe von Druckreglern oder Puffern geschehen. Allgemein konnten bei wässrigen wie bei gasförmigen Medien mit Betriebsdrücken von etwa 200 bis 500 kPa gute Ergebnisse erzielt werden. Der erforderliche Druck kann beispielsweise mittels handelsüblicher Pumpen oder Hochbehältern erzeugt werden.It is also important to have the various fluid supplies systems as far as possible against pressure fluctuations to back up. This can be done with the help of pressure regulators, for example or buffers happen. In general, watery like for gaseous media with operating pressures of around 200 to 500 kPa good results can be achieved. The required  Pressure can be achieved, for example, using commercially available pumps or raised containers.

Im Plattenboden der Führungsplatte sind die einzelnen Vor­ schubdüsen so angeordnet, daß sie jeweils in einer zum Plat­ tenboden im wesentlichen senkrechten, im wesentlichen parallel zur Transportrichtung verlaufenden Ebene liegen, wobei auch Abweichungen von dieser idealen Orientierung vor­ gesehen sein können, sofern die resultierenden Momente so zusammenwirken, daß sie im wesentlichen in Transportrichtung gerichtet sind. Grundsätzlich sind jedoch auch Anordnungen nicht ausgeschlossen, bei denen diese Ebene, in Trans­ portrichtung gesehen, mit dieser einen spitzen Winkel einschließt, so daß der von den Düsen ausgehende Fluidstrahl jeweils von außen schräg zur Längsachse der Führungsplatte und der Transportrichtung im wesentlichen gleich gerichtet ist. Dabei ist auch die Anwendung von Mischformen nicht ausgeschlossen, die sowohl derart schräg wie auch parallel zur Transportrichtung ausgerichtete Vorschubdüsen besitzen.In the plate bottom of the guide plate are the individual front thrusters arranged so that they each in one to the plat floor essentially vertical, essentially lie parallel to the plane of transport, with deviations from this ideal orientation can be seen if the resulting moments are like this interact that they are essentially in the direction of transport are directed. However, there are also basic orders not excluded, at which this level, in Trans seen port direction, with this an acute angle includes so that the fluid jet emanating from the nozzles from the outside at an angle to the longitudinal axis of the guide plate and the direction of transport is essentially the same is. The use of mixed forms is also not included excluded that both as oblique as well as parallel have feed nozzles aligned with the transport direction.

In Transportrichtung betrachtet, bilden die Düsen mit dem Plattenboden einem spitzen Winkel, und zwar vorteilhaft zwischen 30 und 60°, bevorzugt etwa 45°. Bevorzugt wird für diese Düsen eine Anordnung vorgesehen, bei der sie mehrere parallel zur Transportrichtung bzw. der Längsachse der Führungsplatte verlaufende, verschiedenen oder günstig gleichen Abstand zueinander aufweisende Reihen bilden, innerhalb derer sie in wechselndem oder günstig gleichem Abstand aufeinanderfolgend angeordnet sind. Einander entsprechende Düsen in den verschiedenen Reihen werden vorteilhaft so in die Bodenplatte eingebracht, daß sie eine im wesentlichen geradlinige Front ausbilden, obwohl grund­ sätzlich auch ein gekrümmter Frontverlauf nicht ausgeschlos­ sen ist. When viewed in the direction of transport, the nozzles form with the Slab bottom at an acute angle, and advantageous between 30 and 60 °, preferably about 45 °. Is preferred for these nozzles provided an arrangement in which they had several parallel to the transport direction or the longitudinal axis of the Guide plate trending, different or cheap form equidistant rows, within which they are in changing or cheaply the same Distance are arranged in succession. To each other corresponding nozzles in the different rows advantageously introduced into the base plate so that it is a form a substantially straight front, although basic In addition, a curved front profile is not excluded is.  

Die erfindungsgemäß im Plattenboden vorgesehenen Bremsdüsen sind vorzugsweise ebenfalls so angeordnet, daß sie in einer zum Plattenboden im wesentlichen senkrechten Ebene liegen, die im wesentlichen parallel zur Transportrichtung verläuft, wobei auch Abweichungen von dieser idealen Orientierung vorgesehen sein können, sofern die resultierenden Momente so zusammenwirken, daß sie im wesentlichen in Transportrichtung gerichtet sind. Grundsätzlich sind jedoch auch Anordnungen nicht ausgeschlossen, bei denen diese Ebene, in Trans­ portrichtung gesehen, mit dieser einen stumpfen Winkel einschließt, so daß der von den Düsen ausgehende Fluidstrahl jeweils von außen schräg zur Längsachse der Führungsplatte und der Transportrichtung im wesentlichen entgegen gerichtet ist. Dabei ist auch die Anwendung von Mischformen nicht ausgeschlossen, die sowohl derart schräg wie auch parallel zur Transportrichtung ausgerichtete Bremsdüsen besitzen.The brake nozzles provided in the plate base according to the invention are preferably also arranged so that they are in a lie essentially perpendicular to the slab floor, which runs essentially parallel to the direction of transport, with deviations from this ideal orientation can be provided if the resulting moments are so interact that they are essentially in the direction of transport are directed. However, there are also basic orders not excluded, at which this level, in Trans seen port direction, with this an obtuse angle includes so that the fluid jet emanating from the nozzles from the outside at an angle to the longitudinal axis of the guide plate and essentially directed against the transport direction is. The use of mixed forms is also not included excluded that both as oblique as well as parallel have brake nozzles aligned with the transport direction.

Die Bremsdüsen sind gegenüber dem Plattenboden geneigt ausgerichtet, und zwar beträgt der Neigungswinkel in Trans­ portrichtung gesehen 90 bis 170°, vorzugsweise 120 bis 150° und günstig etwa 135°, so daß die Bremsdüsen letztendlich also gegen die Transportrichtung geneigt sind. Bevorzugt wird wie bei den Vorschubdüsen auch für die Bremsdüsen eine Anordnung vorgesehen, bei der sie mehrere parallel zur Transportrichtung bzw. der Längsachse der Führungsplatte verlaufende, verschiedenen oder günstig gleichen Abstand zueinander aufweisende Reihen bilden, innerhalb derer sie in wechselndem oder günstig gleichem Abstand aufeinanderfolgend angeordnet sind. Einander entsprechende Düsen in den verschiedenen Reihen werden vorteilhaft so in die Bodenplat­ te eingebracht, daß sie eine im wesentlichen geradlinige Front ausbilden, obwohl grundsätzlich auch ein gekrümmter Frontverlauf nicht ausgeschlossen ist. Dabei ist es nicht zwingend vorgeschrieben, daß alle Bremsdüsen den selben Neigungswinkel besitzen; es sind auch Anordnungen denkbar, bei denen die Düsen innerhalb einer Reihe unter verschiede­ nen Neigungswinkeln ausgerichtet sind und beispielsweise von einer nahezu oder genau senkrechten in eine stärker geneigte Position übergehen, wobei dieser Übergang auch in Stufen erfolgen kann. Günstig sind die Reihen der Brems- und der Vorschubdüsen jeweils in einer Linie angeordnet.The brake nozzles are inclined towards the plate floor aligned, namely the angle of inclination in Trans seen port direction 90 to 170 °, preferably 120 to 150 ° and cheap about 135 °, so that the brake nozzles ultimately are inclined against the direction of transport. Prefers As with the feed nozzles, it is also used for the brake nozzles Arrangement provided in which they are parallel to several Transport direction or the longitudinal axis of the guide plate running, different or cheap same distance form rows with each other, within which they in alternating or cheaply equal distance in succession are arranged. Corresponding nozzles in the Different rows will be advantageous in the bottom plate te introduced that they are a substantially rectilinear Form the front, although basically also a curved one Front course is not excluded. It is not mandatory that all brake nozzles be the same Have angle of inclination; arrangements are also conceivable  where the nozzles differed within a row NEN angles of inclination are aligned and for example from an almost or exactly vertical one in a more inclined one Pass position, this transition also in stages can be done. The rows of the brake and the are cheap Feed nozzles arranged in a line.

Beispiele für mögliche Anordnungen der Vorschub- und Brems­ düsen sowie gegebenenfalls der zusätzlich vorhandenen Rotationsdüsen werden nachstehend an Hand der Fig. 1 und 2 erläutert, ebenso wie mögliche Ausführungsformen von Verfahren zur naßchemischen Oberflächenbehandlung von Schei­ ben, insbesondere Halbleiterscheiben unter Einsatz der vorgestellten Vorrichtungen. Fig. 1 zeigt dabei schematisch eine mögliche Ausgestaltung einer Führungsplatte mit Vorschub-, Brems- und Rotationsdüsen in einer Draufsicht und einem idealisierten Längsschnitt, Fig. 2 einen Ausschnitt aus einer Behandlungsstraße mit hintereinandergeschalteten Vorrichtungen, die nacheinander von den zu behandelnden Scheiben durchlaufen werden. Einander entsprechende Elemente sind in beiden Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.Examples of possible arrangements of the feed and brake nozzles and optionally the additional rotary nozzles are explained below with reference to FIGS . 1 and 2, as well as possible embodiments of methods for wet chemical surface treatment of wafers ben, in particular semiconductor wafers using the devices presented. Fig. 1 shows schematically a possible embodiment of a guide plate with feed, brake and rotation nozzles in a plan view and an idealized longitudinal section, Fig. 2 shows a section of a treatment line with devices connected in series, which are successively passed through by the discs to be treated. Corresponding elements are provided with the same reference symbols in both figures.

In Fig. 1 ist eine Führungsplatte 1, beispielsweise aus Polymethylmethacrylat (Plexiglas), mit seitlichen Einfassun­ gen 2 dargestellt. In den planen Plattenboden 3 sind vonein­ ander unabhängige Versorgungskanalsysteme 4, 5, 6 und 7 eingebracht, wobei über die Kanalsysteme 4 und 5 die Vor­ schubdüsen, über das System 6 die Bremsdüsen und über das System 7 die bei der dargestellten Vorrichtung vorhandenen und vorteilhaften, aber nicht zwingend vorgeschriebenen Rotationsdüsen mit biespielsweise wäßrigem Medium versorgt werden können. Aus Gründen der Übersichtlichkeit sind die einzelnen, von den Kanälen ausgehenden Reihen der Düsen nicht dargestellt; die Pfeile in bzw. an den Kanälen geben jedoch die Hauptrichtung an, in welche sich das aus den Düsen ausströmende Medium bewegt. Die Transportrichtung, welche nicht eigens angedeutet ist, verläuft parallel zur Längsachse der Führungsplatte von links nach rechts.In Fig. 1, a guide plate 1 , for example made of polymethyl methacrylate (plexiglass), with side edging gene 2 is shown. In the planar plate floor 3 , independent supply channel systems 4 , 5 , 6 and 7 are introduced, whereby via the channel systems 4 and 5 the before nozzles, via the system 6 the brake nozzles and via the system 7, the present and advantageous in the device shown, but not necessarily mandatory rotating nozzles can be supplied with, for example, aqueous medium. For reasons of clarity, the individual rows of nozzles emanating from the channels are not shown; however, the arrows in or on the channels indicate the main direction in which the medium flowing out of the nozzles moves. The transport direction, which is not specifically indicated, runs parallel to the longitudinal axis of the guide plate from left to right.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist in dem Bereich der Führungsplatte, in dem die transportierte Scheibe durch die Einwirkung der Bremsdüsen zum Stehen kommt, ein zusätzlicher Rotationsbereich 6 vorgesehen, in dem diese bei oder nach dem Abbremsen in Rotation versetzt werden kann. Die in diesem Bereich vorgesehenen, hier aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellten Rota­ tionsdüsen folgen in ihrer Anordnung vorteilhaft Linien, die von einem gemeinsamen Mittelpunkt, der im wesentlichen auch dem Mittelpunkt der Scheibenrotation entspricht, radial ausgehen. Diese Linien können gerade verlaufen, sind bevor­ zugt aber gekrümmt, und folgen vorteilhaft Kreislinien, aber auch elliptischen, parabel- oder hyperbelförmigen Kurvenaus­ schnitten, wobei die Krümmungsmittelpunkte jeweils in der vorgesehenen Drehrichtung liegen. Zweckmäßig folgt in der in der Fig. 1 dargestellten Weise dieser jeweils für die Anord­ nung der Rotationsdüsen gewählten Linienführung auch das Versorgungskanalsystem 7, über welches das schließlich frei­ gegebene Fluid bereitgestellt wird, obwohl grundsätzlich auch anders gestaltete Systeme, beispielsweise in der Art von Ringkanälen, nicht ausgeschlossen sind.According to a preferred embodiment of the invention, in the area of the guide plate in which the transported disk comes to a standstill due to the action of the brake nozzles, an additional rotation area 6 is provided, in which it can be set in rotation during or after braking. The rotation nozzles provided in this area, which are not shown here for reasons of clarity, advantageously follow in their arrangement lines which radially start from a common center, which essentially also corresponds to the center of the disc rotation. These lines can run straight, are preferred but curved, and advantageously follow circular lines, but also elliptical, parabolic or hyperbolic curve sections, with the centers of curvature each lying in the intended direction of rotation. Appropriately, in the manner shown in FIG. 1, this line routing chosen for the arrangement of the rotary nozzles is also followed by the supply duct system 7 , via which the finally released fluid is provided, although fundamentally different systems, for example in the form of ring ducts, are not excluded.

Für eine zuverlässige Scheibenrotation sind mindestens 3, vorteilhaft 4 bis 10 derartiger von einem gemeinsamen Mit­ telpunkt ausgehender und der jeweils gewählten, vorzugsweise gekrümmten Linienführung folgender Reihen von Rotationsdüsen erforderlich. Bevorzugt besitzt diese Anordnung bezüglich des gemeinsamen Mittelpunktes Rotationssymmetrie. Als günstig hat es sich auch erwiesen, wenn bei diesen Reihen einander entsprechende Düsen jeweils auf bezüglich des gemeinsamen Mittelpunktes konzentrischen Kreisen liegen. Dabei hat es sich besonders bewährt, wenn die Radiendiffe­ renz aufeinanderfolgender Kreise nicht konstant bleibt, son­ dern von innen nach außen abnimmt, so daß sich letztlich von innen nach außen innerhalb einer Düsenreihe die Entfernung benachbarter Düsen voneinander verringert.For reliable disc rotation, at least 3, advantageous 4 to 10 such from a common Mit outgoing and the selected one, preferably curved lines of the following rows of rotary nozzles required. This arrangement preferably has the common center of rotation symmetry. As It has also proven to be favorable if these rows corresponding nozzles each on the  common center of concentric circles. It has proven particularly useful if the Radiendiff limit of successive circles does not remain constant, son which decreases from the inside out, so that ultimately from the distance inside out within a row of nozzles adjacent nozzles reduced from each other.

Günstig entspricht die mit Rotationsdüsen bestückte Fläche des Rotationsbereiches 8 annähernd der Oberfläche des trans­ portierten scheibenförmigen Werkstückes. Als vorteilhaft, insbesondere im Hinblick auf die Lagestabilität der rotie­ renden Scheibe, hat es sich erwiesen, wenn die äußersten Rotationsdüsen so angeordnet sind, daß sie sich noch inner­ halb der von dieser bei der Drehbewegung überstrichenen Fläche befinden. Günstig beträgt der Abstand der jeweils äußersten Rotationsdüsen einer Düsenreihe vom gemeinsamen Mittelpunkt 60 bis 95% des Scheibenradius.The surface of the rotation region 8 , which is equipped with rotary nozzles, corresponds approximately to the surface of the disk-shaped workpiece being transported. It has proven to be advantageous, in particular with regard to the positional stability of the rotating disk, if the outermost rotary nozzles are arranged in such a way that they are still within the area covered by this during the rotary movement. The distance between the outermost rotary nozzles of a row of nozzles from the common center is favorably 60 to 95% of the disk radius.

Die Rotationsdüsen liegen zweckmäßig jeweils in zum Platten­ boden der Führungsplatte 1 senkrechten Ebenen, wobei Abwei­ chungen um etwa ±5° aus der genau senkrechten Orientierung noch toleriert werden können. Diese Ebenen schneiden die Linien, entlang derer die Düsen ausgehend von dem gemeinsa­ men Mittelpunkt angeordnet sind, unter einem rechten Winkel, wobei ebenfalls Abweichungen um ±5° noch zulässig sind. Liegen die Rotationsdüsen also auf Geraden, so sind diese Ebenen im wesentlichen parallel ausgerichtet. Bilden die Reihen der Rotationsdüsen gekrümmte Linien, beispielsweise Kreislinien, so schneiden sich die Ebenen bei idealer Aus­ richtung in einer Geraden, die senkrecht durch den Krüm­ mungsmittelpunkt verläuft. In der Praxis sind jedoch die genannten Abweichungen von der idealen Ausrichtung noch zulässig. Es wurde weiterhin gefunden, daß die Scheiben bei der Rotation gegenüber Auslenkungen besonders unempfindlich sind, wenn der jeweilige Krümmungsmittelpunkt außerhalb des Scheibenumfanges liegt.The rotary nozzles are expediently in each case in planes perpendicular to the plate bottom of the guide plate 1 , deviations by approximately ± 5 ° from the exactly vertical orientation can still be tolerated. These planes intersect the lines along which the nozzles are arranged, starting from the common center, at a right angle, with deviations of ± 5 ° also still being permissible. If the rotary nozzles lie on straight lines, these planes are aligned essentially parallel. If the rows of the rotary nozzles form curved lines, for example circular lines, the planes intersect in an ideal direction in a straight line which runs perpendicularly through the center of the curve. In practice, however, the deviations from the ideal alignment mentioned are still permissible. It has also been found that the disks are particularly insensitive to deflections during rotation if the respective center of curvature lies outside the disk circumference.

Die Rotationsdüsen sind in Rotationsrichtung geneigt; der Neigungswinkel gegenüber dem Plattenboden beträgt, jeweils in Rotationsrichtung gesehen, 10 bis 80°, vorzugsweise 30 bis 60° und günstig etwa 45°.The rotary nozzles are inclined in the direction of rotation; the Inclination angle with respect to the plate floor is, in each case seen in the direction of rotation, 10 to 80 °, preferably 30 up to 60 ° and cheap about 45 °.

Um zu verhindern, daß insbesondere bei naßchemischen Behand­ lungen der rotierenden Scheiben aufgrund der Zentrifugal­ kräfte in der Scheibenmitte unterversorgte Bereiche entstehen, kann eine zentrale Zuleitung 9 vorgesehen werden, mit deren Hilfe das jeweils eingesetzte, insbesondere wäßrige Medium zusätzlich auch zentral von unten und/oder oben auf die Scheibe aufgebracht werden kann. In diesem Zusammenhang wurde überraschend durch Tests mit gefärbten Lösungen gefunden, daß bei in der erfindungsgemäßen Vorrich­ tung rotierenden Scheiben keine Verschleppung von auf die Scheibenoberseite aufgebrachtem Medium auf die Scheibenun­ terseite und umgekehrt zu beobachten ist, was beispielsweise bei der Reinigung von Halbleiterscheiben von Bedeutung ist.In order to prevent undersupplied areas, in particular in wet-chemical treatments of the rotating disks due to the centrifugal forces, in the middle of the disk, a central feed line 9 can be provided, with the aid of which the particular used, in particular aqueous medium, additionally also centrally from below and / or can be applied to the top of the disc. In this connection, it was surprisingly found by tests with colored solutions that in the device according to the invention rotating discs no carryover of medium applied to the upper side of the pane to the lower side and vice versa can be observed, which is important, for example, when cleaning semiconductor wafers.

Ist bei der Vorrichtung gemäß der bevorzugten Ausführungs­ form ein Rotationsbereich vorgesehen, so verlaufen zweck­ mäßig die Fronten zwischen den Vorschub- und den Bremsdüsen nicht senkrecht zur Transportrichtung, sondern schräg, wobei jeweils diejenigen Düsen gegenüber dem senkrechten Frontver­ lauf vorgeschoben sind, bei denen die Austrittsrichtung des Fluides mit der vorgesehenen Rotationsrichtung überein­ stimmt. Bei dieser Anordnung, die auch bei der in der Figur dargestellten Anordnung im Randbereich verwirklicht ist, entsteht bereits beim Bremsvorgang ein auf die Scheiben wirkender Drehimpuls, der einerseits die Rotation erleich­ tert und andererseits auch die rasche Positionierung der Scheibe in der Drehposition begünstigt. Der Rotationsbereich 8 braucht dabei aber nicht unbedingt auch mit Vorschub- bzw. Bremsdüsen bestückt zu sein, da insbesondere beim bevorzug­ ten Einsatz von wäßrigen Medien die von den umgebenden Düsen freigegebene Flüssigkeitsmenge erfahrungsgemäß die Scheibe trägt, auch ohne daß die Rotationsdüsen bereits in Betrieb sind. Allerdings sind auch sich überschneidende Bereiche nicht ausgeschlossen, bei denen die Front zwischen Vorschub- und Bremsdüsen durch den Rotationsbereich ver­ läuft, insbesondere wenn Scheiben mit großen Durchmessern von beispielsweise etwa 20 cm und darüber transportiert, abgebremst und in Drehung versetzt werden sollen.If a rotation area is provided in the device according to the preferred embodiment, the fronts between the feed and brake nozzles expediently do not run perpendicular to the transport direction, but rather obliquely, with those nozzles being advanced relative to the vertical Frontver in which the exit direction of the fluid agrees with the intended direction of rotation. In this arrangement, which is also realized in the arrangement shown in the figure in the edge region, there is already an angular momentum acting on the discs during the braking process, which on the one hand facilitates the rotation and on the other hand also favors the rapid positioning of the disc in the rotational position. The rotation area 8 does not necessarily have to be equipped with feed or brake nozzles, however, since experience shows that the amount of liquid released by the surrounding nozzles carries the disk, especially without the use of aqueous media, even without the rotary nozzles already in operation. However, overlapping areas are also not excluded, in which the front runs between the feed and brake nozzles through the rotation area, especially when disks with large diameters of, for example, about 20 cm and above are to be transported, braked and set in rotation.

In dem genannten Fall sich überschneidender Bereiche oder bei Anordnungen ohne Rotationsbereich, bei denen die Scheibe lediglich abgebremst wird, verlaufen vorteilhaft die Fronten der Vorschub- und der Bremsdüsen genau oder im wesentlichen parallel zueinander. Dabei kommt sowohl ein gerader, bei­ spielsweise rechtwinklig oder schräg zur Längsachse der Führungsplatte gerichteter, als auch ein gekrümmter Front­ verlauf in Frage, beispielsweise wenn eine Art Auffangstel­ lung mit kreisförmig oder parabelförmig zurückgenommenem Mittelabschnitt des Bremsdüsensystems vorgesehen ist.In the case of overlapping areas or for arrangements without a rotation range, in which the disc if the brakes are only applied, the fronts run advantageously the feed and brake nozzles exactly or essentially parallel to each other. Here comes a straight, at for example, at right angles or at an angle to the longitudinal axis of the Guide plate directed, as well as a curved front run into question, for example if a kind of catch with circular or parabolic withdrawn Midsection of the brake nozzle system is provided.

Der Längsschnitt entlang der Linie A-A zeigt schematisch eine Anordnung, die gemäß der bevorzugten Ausführungsform mit einer Abdeckung 10 versehen ist. Sowohl in den Platten­ boden 3 als auch in die Abdeckung 10 sind die voneinander unabhängigen Versorgungskanalsysteme 4, 6 und 7 eingebracht, welche die in Transportrichtung, die von links nach rechts verläuft, geneigten oberen und unteren Vorschubdüsen 11, die gegen die Transportrichtung geneigten oberen und unteren Bremsdüsen 12 und die in Rotationrichtung geneigten oberen und unteren Rotationsdüsen 13 mit Fluid, insbesondere wäßrigem Medium versorgen. Bewährt hat sich dabei eine annähernd spiegelbildliche Anordnung der Düsensysteme, ins­ besondere der Bremsdüsen, in der Abdeckung und im Plattenbo­ den, obwohl auch andere, beispielsweise reißverschlußartig alternierende Anordnungen nicht ausgeschlossen sind. Grund­ sätzlich können auch die Kanäle in der Abdeckung und im Plattenboden gegeneinander versetzt sein, oder die Düsen unter verschiedenen Neigungswinkeln angeordnet sein.The longitudinal section along the line AA schematically shows an arrangement which according to the preferred embodiment is provided with a cover 10 . Both in the plate floor 3 and in the cover 10 , the mutually independent supply channel systems 4 , 6 and 7 are introduced, which in the transport direction, which runs from left to right, inclined upper and lower feed nozzles 11 , the upper and lower inclined against the transport direction supply the lower brake nozzles 12 and the upper and lower rotation nozzles 13 inclined in the direction of rotation with fluid, in particular aqueous medium. An approximately mirror-image arrangement of the nozzle systems, in particular the brake nozzles, in the cover and in the Plattenbo has proven itself, although other, for example zipper-like alternating arrangements are not excluded. In principle, the channels in the cover and in the plate base can also be offset from one another, or the nozzles can be arranged at different angles of inclination.

Für eine gleichmäßige Einwirkung der jeweils eingesetzten Medien auf die Vorder- und Rückseite der Scheibe bei der Rotation hat es sich als günstig erwiesen, im Rotationsbe­ reich eine Verengung 14 vorzusehen, in der sich die Abdeckung 10 an den Plattenboden 3 annähert und somit die Durchflußhöhe verringert. Vorteilhaft wird die Verengung 14 über eine ein- und ausgangsseitige Abschrägung der Abdeckung 10 erzeugt, bis der vorgesehene Abstand zum Plattenboden erreicht ist, der typisch etwa 3 bis 5 mm entspricht. Die Abweichung von der Horizontalen wird im Bereich der Abschrä­ gung zweckmäßig gering gehalten; in den meisten Fällen haben sich Werte von bis zu etwa 10° bewährt, wobei gegebenenfalls in den Übergangsbereichen von und zu der Horizontalen die Kanten verrundet sein können.For a uniform action of the media used on the front and back of the disc during rotation, it has proven to be advantageous to provide a constriction 14 in the Rotationsbe rich, in which the cover 10 approaches the plate bottom 3 and thus reduces the flow height . The constriction 14 is advantageously produced via a beveling of the cover 10 on the input and output sides until the intended distance from the plate bottom is reached, which typically corresponds to approximately 3 to 5 mm. The deviation from the horizontal is usefully kept low in the area of the bevel; In most cases, values of up to approximately 10 ° have proven successful, the edges possibly being rounded in the transition regions from and to the horizontal.

Die verschiedenen Düsensysteme brauchen nicht andauernd und kontinuierlich in Betrieb zu sein. Schon um den Verbrauch an Fluid gering zu halten, werden vorzugsweise Steuerungssyste­ me vorgesehen, bei denen vorteilhaft durch die durchlaufende Scheibe ausgelöste Steuerimpulse jeweils das erforderliche Düsensystem in Betrieb setzen. Tritt beispielsweise eine Scheibe, insbesondere Halbleiterscheibe in die Vorrichtung ein, so werden günstig zunächst nur die über das Versor­ gungskanalsystem 4 beschickten Vorschubdüsen 11 in Funktion gesetzt, um die Scheibe ins Innere vorrücken zu lassen. Bei Erreichen einer bestimmten Position, die beispielsweise mittels eines optischen Sensors überwacht sein kann, werden die Bremsdüsen 12 über das Versorgungskanalsystem 6 eben­ falls in Betrieb genommen, so daß sich ein dem durch die Vorschubdüsen gebildeten Fluidstrom entgegengesetzter Strom ausbildet. Die Vorrückbewegung der Scheibe verlangsamt sich beim Eintritt in den Gegenstrombereich immer weiter, bis die Scheibe schließlich zum Stehen kommt und die Rotationsposi­ tion erreicht hat. Nun werden, vorteilhaft ebenfalls sensor­ gesteuert, die Rotationsdüsen 13 eingeschaltet, und die Scheibe beginnt sich mit steigender Geschwindigkeit zu drehen. Beispielsweise konnten mit analog der Fig. 1 gestal­ teten Vorrichtungen bei Siliciumscheiben mit ca. 20 cm Durchmesser Drehgeschwindigkeiten von etwa 60 UPM erzielt werden. Als Fluid kam dabei Wasser zum Einsatz, der Druck betrug etwa 450 kPa.The various nozzle systems do not have to be in continuous operation. Already in order to keep the consumption of fluid low, control systems are preferably provided, in which control pulses triggered by the continuous disk put the required nozzle system into operation. If, for example, a wafer, in particular a semiconductor wafer, enters the device, only the feed nozzles 11 charged via the supply duct system 4 are initially set to function, in order to allow the wafer to advance into the interior. When a certain position is reached, which can be monitored, for example, by means of an optical sensor, the brake nozzles 12 are also put into operation via the supply channel system 6 , so that a flow opposite to the fluid flow formed by the feed nozzles is formed. The advancing movement of the disk slows down further as it enters the counterflow area until the disk finally comes to a standstill and has reached the rotational position. Now, advantageously also controlled by sensors, the rotary nozzles 13 are switched on and the disk begins to rotate with increasing speed. For example, with devices designed analogously to FIG. 1, rotation speeds of about 60 rpm could be achieved with silicon wafers with a diameter of approximately 20 cm. Water was used as the fluid, the pressure was about 450 kPa.

Nach Ablauf der vorgesehenen Rotationszeit wird die Fluidzu­ fuhr durch die Rotationsdüsen und die Bremsdüsen unterbro­ chen, während die noch nicht in Betrieb befindlichen Vorschubdüsen in der Führungsplatte in Betrieb gesetzt werden, so daß alle Vorschubdüsen, also die über die Versor­ gungskanalsysteme 4 und 5 beschickten, in Funktion sind. Die Scheibe setzt sich dadurch erneut in Transportrichtung in Bewegung und verläßt schließlich die Führungsplatte. Zweck­ mäßig über eine Sensorsteuerung kann dann die Fluidzufuhr über das Versorgungskanalsystem 5 wieder beendet werden, während eingangsseitig eine weitere Scheibe eingeführt und transportiert werden kann. Grundsätzlich kann die Steuerung auch von Hand vorgenommen werden, beispielsweise im Ver­ suchsbetrieb oder bei der Optimierung der Betriebsparameter.After the scheduled rotation time, the fluid supply is interrupted by the rotary nozzles and the brake nozzles, while the feed nozzles that are not yet in operation are put into operation in the guide plate, so that all feed nozzles, that is to say the supply duct systems 4 and 5 , are fed, are in function. This causes the disc to start moving again in the direction of transport and finally leaves the guide plate. End, the fluid supply can be terminated again via the supply duct system 5 can be during the input side introduced another disc and transported as standard with a sensor control then. In principle, the control can also be carried out manually, for example in experimental operation or when optimizing the operating parameters.

Als vorteilhaft hat es sich auch erwiesen, wenn an der Vorrichtung ein- und/oder ausgangsseitig mindestens ein von den Scheiben zu durchlaufender Flüssigkeitsrückhalter vorge­ sehen ist, beispielsweise um von der vorherigen Behandlungs­ stufe etwaige noch anhaftende Reste von Flüssigkeiten, Reagentien oder Partikeln entfernen zu können, oder aber um die Gefahr einer Verschleppung von Fluidresten aus der Vorrichtung in die nachfolgende Behandlungsstufe gering zu halten. Die Rückhaltewirkung kann beispielsweise mit Hilfe von Flüssigkeitsvorhängen oder -strahlen erzielt werden, die die entsprechende Breite aufweisen, um auf die gesamte durchtretende Scheibenoberfläche einwirken zu können. Dabei kommt der Rückhalteeffekt durch die Relativgeschwindigkeit zwischen durchtretender Scheibe und Flüssigkeitsvorhang bzw. -strahl zustande. Gegebenenfalls können auch mehrere hinter­ einandergeschaltete Flüssigkeitsrückhalter vorgesehen sein. Bevorzugt werden derartige Flüssigkeitsrückhalter mit dem jeweils in der Vorrichtung eingesetzten Medium beschickt.It has also proven to be advantageous if at the Device on the input and / or output side at least one of the discs to be traversed liquid retainer see, for example, from the previous treatment level any remaining residues of liquids,  To be able to remove reagents or particles, or in order to the danger of carryover of fluid residues from the Device in the subsequent treatment stage to little hold. The restraining effect can, for example, with the help by liquid curtains or jets that are achieved have the appropriate width to cover the entire penetrating pane surface. Here the retention effect comes from the relative speed between penetrating pane and liquid curtain or -beam created. If necessary, several behind an interconnected fluid retainer may be provided. Such liquid retainers are preferred with the loaded medium used in the device.

Eine besonders geringe Verschleppung von Fluid, insbesondere wäßrigen Lösungen mit der transportierten Scheibe aus der Vorrichtung nach außen kann erzielt werden, wenn mindestens einem, vorteilhaft dem letzten, Flüssigkeitsrückhalter eine Trockenzone nachgeschaltet ist, in der ein Gasstrom, beispielsweise von, gegebenenfalls auch erwärmter, Luft oder Stickstoff, über die Oberfläche der austretenden Scheibe geleitet wird. Es wurde gefunden, daß die durch die erfin­ dungsgemäße Vorrichtung transportierten Scheiben nach Durch­ laufen einer derartigen Kombination aus Rückhalter und einer Trockenzone, bevorzugt mit erwärmter Luft, nur noch überra­ schend geringe Spuren von Partikeln und denjenigen wäßrigen Medien aufweisen, die vorher als Fluid zum Transport, Abbremsen und gegebenenfalls Rotieren eingesetzt wurden. Derartige Kombinationen aus Führungsplatte mit Rückhalter und Trockenzone lassen sich ihrerseits wieder untereinander kombinieren bzw. hintereinanderschalten, so daß sich letzt­ lich ganze Behandlungsstraßen aufbauen lassen, in denen die Scheiben nacheinander mit wechselnden Fluiden beschickte Vorrichtungen durchlaufen und somit beispielsweise hinter­ einander geätzt, gespült, gereinigt, oder anderen naßchemi­ schen Behandlungsschritten unterworfen werden können.A particularly low carryover of fluid, in particular aqueous solutions with the transported disk from the External device can be achieved if at least one, advantageously the last, liquid retainer Downstream drying zone, in which a gas flow, for example of, possibly also heated, air or Nitrogen, over the surface of the emerging disc is directed. It was found that the invented device according to the invention transported disks after through run such a combination of retainer and one Dry zone, preferably with heated air, only over extremely small traces of particles and those aqueous Have media that were previously used as a fluid for transport, Braking and possibly rotating were used. Such combinations of guide plate with retainer and the drying zone can in turn be interlinked combine or connect in series so that the last Have entire treatment lines built, in which the Loaded disks with changing fluids one after the other Go through devices and thus, for example, behind etched, rinsed, cleaned, or any other wet chemical  treatment steps can be subjected.

In der Fig. 2 ist ein möglicher Ausschnitt aus einer derar­ tigen Behandlungsstraße dargestellt. Sie zeigt zunächst eine Startposition 15, in der die Scheiben beispielsweise in einer Prozeßhorde bereitgestellt und z.B. mittels Wasser- oder Luftdüsen ausgehordet werden können. Die Scheiben tre­ ten dann in die erste Behandlungsstation 16 ein, die sich beispielsweise in einer nur schematisch angedeuteten Wanne 17 befindet, die zum Auffangen der in dieser Station austre­ tenden Flüssigkeitsmenge dient. Die Scheibe wird zunächst mit Hilfe der Einschleusdüsen 18 auf Geschwindigkeit gebracht und tritt dann in die Führungsplatte 1 der eigent­ lichen Vorrichtung ein, in der sie in der bereits erläuter­ ten Weise transportiert, abgebremst, rotiert, und weiterbewegt wird. Nach dem Verlassen der Führungsplatte 1 erhält die Scheibe von den Ausschleusdüsen 19 noch einen weiteren Bewegungsimpuls und tritt dann durch den Flüssig­ keitsrückhalter 20 und durch die beispielsweise als Trocken­ zone gestaltete Trennzone 21 in die zweite Behandlungsstation 22 ein, die im Grunde analog der ersten aufgebaut ist, und mit dem gleichen, aber auch mit einem anderen Fluid beschickt sein kann. Entsprechend diesem Prin­ zip können sich noch beliebig viele weitere Behandlungssta­ tionen anschließen. In den verschiedenen Stationen können mit besonderem Vorteil verschiedene wäßrige Medien als Fluide eingesetzt werden, wie etwa reines Wasser, saure Lösungen, Tenside enthaltende Lösungen oder oxidierende Lösungen. In den Trennzonen 21 können auch, neben oder anstelle einer Trocknung der Scheibe, Behandlungsschritte wie z.B. Wasch-, Spül- oder Neutralisationsvorgänge vorge­ nommen werden.In Fig. 2, a possible section from such a treatment line is shown. It first shows a starting position 15 , in which the disks can be made available in a process tray, for example, and can be removed, for example, by means of water or air nozzles. The disks then enter the first treatment station 16 , which is located, for example, in a tub 17 which is only schematically indicated and which serves to collect the amount of liquid escaping in this station. The disc is first brought up to speed with the aid of the feed nozzles 18 and then enters the guide plate 1 of the device itself, in which it is transported, braked, rotated, and moved on in the manner already explained. After leaving the guide plate 1 , the disk receives a further movement impulse from the discharge nozzles 19 and then passes through the liquid retention holder 20 and through the separation zone 21 , which is designed, for example, as a dry zone, into the second treatment station 22 , which is basically constructed analogously to the first , and can be loaded with the same, but also with a different fluid. According to this principle, any number of further treatment stations can follow. Various aqueous media can be used with particular advantage as fluids in the various stations, such as pure water, acidic solutions, surfactant-containing solutions or oxidizing solutions. In the separation zones 21 , treatment steps such as washing, rinsing or neutralization processes can also be carried out in addition to or instead of drying the pane.

Derartige Vorrichtungen eignen sich also in besonderem Maße für Verfahren zur naßchemischen Oberflächenbehandlung von scheibenförmigen Werkstücken, insbesondere Halbleiterschei­ ben, bei denen eine oder mehrere flüssige Phasen zur Einwir­ kung auf die Scheibenoberfläche gebracht werden und die Scheiben mindestens einem Transportvorgang mittels fluider Medien unterworfen werden. Bei solchen Verfahren kann nur bei einem oder bei getrennten Behandlungsschritten jeweils eine erfindungsgemäße Vorrichtung eingesetzt werden, wobei dann als fluides Medium diejenige Flüssigkeit eingesetzt wird, die bei der jeweiligen Prozeßstufe auch zur Einwirkung auf die Scheibenoberfläche gelangen soll. Gemäß der bevor­ zugten Ausführungsform kommen bei derartigen Verfahren jedoch in der weiter oben beschriebenen Art mehrere, minde­ stens zwei hintereinandergeschaltete Vorrichtungen zum Ein­ satz. Dabei werden von Station zu Station unterschiedliche Flüssigkeiten als fluides Medium eingesetzt, wobei beim Übergang von Station zu Station die Scheiben eine Spül- und Trockenzone, günstig in Form eines Waschvorhanges und eines Trockengasstromes durchlaufen und so weitgehend von der in der vorherigen Station eingesetzten Flüssigkeit befreit wer­ den. Als Fluide werden dabei bevorzugt wässrige Medien ein­ gesetzt, und zwar können beispielsweise alle derzeit für die naßchemische Oberflächenbehandlung von Halbleiterscheiben im Rahmen des Endreinigungsprozesses bekannten Lösungen verwen­ det werden.Such devices are therefore particularly suitable for processes for wet chemical surface treatment of  disk-shaped workpieces, in particular semiconductor wafers ben, in which one or more liquid phases for ent be brought onto the surface of the pane and the Disks at least one transport process using fluid Media subject. With such procedures only in one or in separate treatment steps in each case a device according to the invention are used, wherein then that liquid is used as the fluid medium will also act at the respective process level should get onto the surface of the pane. According to the before preferred embodiment come with such methods however in the manner described above, several at least two series-connected devices for one sentence. This will differ from station to station Liquids used as the fluid medium, with the Transition from station to station the panes a flushing and Drying zone, cheap in the form of a wash curtain and one Pass through dry gas flow and so largely from the in the liquid used in the previous station the. Aqueous media are preferably used as fluids set, for example, all currently for the wet chemical surface treatment of semiconductor wafers in Use known solutions as part of the final cleaning process be det.

Der besondere Vorteil liegt dabei darin, daß in einer Behandlungsstation jeweils immer ein wässriges Medium bestimmter Zusammensetzung eingesetzt wird, so daß eine Kontamination durch Chemikalienwechsel ausgeschlossen werden kann, die Gefahr einer Verschleppung in nachfolgende Behand­ lungsstationen gering und auch die Aufbereitung der wäßri­ gen Medien und eine etwaige Wiederverwendung oder ein Kreis­ lauf innerhalb der Behandlungsstation möglich ist. Des weiteren sind auch für mehrere aufeinanderfolgende Behand­ lungsschritte mit unterschiedlichen Lösungen keine mechani­ schen Kontakte oder Transportvorgänge mit mechanisch beweg­ ten Teilen erforderlich, ebensowenig wie für das Abbremsen und Rotieren der Scheibe. Darüber hinaus sind die zum Be­ trieb erforderlichen hydraulischen Bau- und Antriebselemente verschleißarm und die erforderlichen Druckbereiche leicht zu beherrschen, so daß gegenüber mechanische Transportschritte ausführenden Vorrichtungen und Prozessen neben reineren Pro­ dukten, also insbesondere Halbleiterscheiben, auch günstige­ re Standzeiten erzielt werden.The particular advantage is that in one Treatment station always an aqueous medium certain composition is used so that a Contamination through chemical changes can be excluded can, the risk of procrastination in subsequent treatment Processing stations low and the preparation of the water media and a possible reuse or a circle is possible within the treatment station. Of others are also for several successive treatments steps with different solutions no mechani  contacts or transport processes with mechanically moving ten parts required, just as little as for braking and rotating the disc. In addition, the be required hydraulic components and drive elements low wear and the required pressure ranges easily master so that compared to mechanical transport steps executing devices and processes in addition to purer pro products, in particular semiconductor wafers, also cheap re downtimes can be achieved.

Claims (14)

1. Vorrichtung zum Transportieren und Positionieren von scheibenförmigen Werkstücken, insbesondere Halbleiter­ scheiben, bei welcher die Werkstücke mit Hilfe fluider Medien über eine mit seitlichen Einfassungen (2) verse­ hene Führungsplatte (1) bewegt werden, wobei die Medien durch im Plattenboden (3) angeordnete, in Transportrich­ tung geneigte Vorschubdüsen (11) in den Transportraum eingepreßt werden, in welchem mindestens ein Bereich zum Abbremsen und Positionieren der Werkstücke vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß im Abbremsbereich im Plattenboden (3) Bremsdüsen (12) vorgesehen sind, welche unter einem gegen die Transportrichtung geneigten Winkel in der Führungsplatte angeordnet sind und zumindest beim Abbremsen und Positionieren eines Werkstückes mit flui­ dem Medium beaufschlagt werden.1. Device for transporting and positioning disc-shaped workpieces, in particular semiconductor wafers, in which the workpieces are moved with the aid of fluid media over a guide plate ( 1 ) provided with lateral mounts ( 2 ), the media being arranged in the plate base ( 3 ) , In the direction of transport inclined feed nozzles ( 11 ) are pressed into the transport space, in which at least one area is provided for braking and positioning of the workpieces, characterized in that brake nozzles ( 12 ) are provided in the braking area in the plate base ( 3 ), which are under a angles inclined against the direction of transport are arranged in the guide plate and are acted upon by the medium at least when braking and positioning a workpiece. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Neigungswinkel der Bremsdüsen (12), in Transportrichtung gesehen, 90 bis 170°, vorzugsweise 120 bis 150° beträgt.2. Device according to claim 1, characterized in that the angle of inclination of the brake nozzles ( 12 ), seen in the transport direction, is 90 to 170 °, preferably 120 to 150 °. 3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Abbremsbereich zusätzlich ein Rotationsbereich (8) mit in die vorgesehene Dreh­ richtung geneigten Rotationsdüsen (13) vorgesehen ist, welche bei oder nach dem Abbremsen der Scheibe mit Fluid beaufschlagt werden und die Scheibe in Ro­ tation versetzen.3. Device according to claims 1 or 2, characterized in that in the braking area in addition a rotation area ( 8 ) is provided with inclined in the direction of rotation provided rotation nozzles ( 13 ) which are acted upon during or after braking the disc with fluid and Set the disc in rotation. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsdüsen (13) auf mindestens 3, vor­ zugsweise 4 bis 10 von einem gemeinsamen Mittelpunkt ausgehenden gekrümmten Linien angeordnet sind, deren Krümmungsmittelpunkte in der vorgesehenen Drehrich­ tung liegen.4. The device according to claim 3, characterized in that the rotary nozzles ( 13 ) are arranged on at least 3, preferably 4 to 10 starting from a common center starting curved lines whose centers of curvature are in the direction of rotation provided. 5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsdüsen (13) konzen­ trisch um diesen gemeinsamen Mittelpunkt angeordnet sind.5. Device according to claims 3 or 4, characterized in that the rotary nozzles ( 13 ) are arranged concentrically around this common center. 6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Neigungswin­ kel der Rotationsdüsen (13) 10 bis 80°, vorzugsweise 30 bis 60° beträgt.6. The device according to one or more of claims 3 to 5, characterized in that the inclination angle of the rotary nozzles ( 13 ) is 10 to 80 °, preferably 30 to 60 °. 7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungs­ platte (1) zumindest teilweise mit einer oberen Ab­ deckung (10) versehen ist.7. The device according to one or more of claims 1 to 6, characterized in that the guide plate ( 1 ) is at least partially provided with an upper cover ( 10 ). 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß auch in der Abdeckung (10) Vorschubdüsen (11), Bremsdüsen (12) und Rotationsdüsen (13) vorgesehen sind.8. The device according to claim 7, characterized in that feed nozzles ( 11 ), brake nozzles ( 12 ) and rotary nozzles ( 13 ) are also provided in the cover ( 10 ). 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen in der Abdeckung (10) und im Platten­ boden (3) annähernd spiegelbildlich angeordnet sind.9. The device according to claim 8, characterized in that the nozzles in the cover ( 10 ) and in the plate bottom ( 3 ) are arranged approximately mirror images. 10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein- und/oder ausgangsseitig mindestens ein von den Scheiben zu durchlaufender Flüssigkeitsrückhalter (20) vorgese­ hen ist. 10. The device according to one or more of claims 1 to 9, characterized in that on the input and / or output side at least one of the discs to be traversed liquid retainer ( 20 ) is hen vorgese. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß mindestens einem Flüssigkeitsrückhalter (20) eine als Trockenzone ausgebildete Trennzone (21) nachgeschaltet ist.11. The device according to claim 10, characterized in that at least one liquid retainer ( 20 ) is followed by a separation zone designed as a drying zone ( 21 ). 12. Verfahren zur naßchemischen Oberflächenbehandlung von scheibenförmigen Werkstücken, insbesondere Halb­ leiterscheiben, bei dem eine oder mehrere Flüssig­ keiten zur Einwirkung auf die Scheibenoberfläche gebracht und die Scheiben mindestens einem Trans­ portvorgang mittels fluider Medien unterworfen werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheiben mindestens eine Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11 durchlaufen, wobei die zur Einwirkung zu bringende Flüssigkeit in der Vor­ richtung als fluides Medium eingesetzt wird.12. Process for wet chemical surface treatment of disc-shaped workpieces, especially half conductor discs, in which one or more liquid to act on the surface of the pane brought and the discs at least one trans subject to porting process using fluid media are characterized in that the disks at least one device according to one or more of claims 1 to 11, wherein the to Liquid to be exposed in the front direction is used as a fluid medium. 13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheiben mindestens zwei hintereinanderge­ schaltete Vorrichtungen durchlaufen, wobei von Vor­ richtung zu Vorrichtung unterschiedliche Flüssig­ keiten als fluides Medium eingesetzt werden und beim Übergang in die jeweils nächste Vorrichtung die Scheiben in einer Rückhalte- und Trockenzone zu­ mindest teilweise von der in der vorhergehenden Vorrichtung eingesetzten Flüssigkeit befreit werden.13. The method according to claim 12, characterized in that that the discs at least two in a row go through switched devices, being from before direction to device different liquid are used as a fluid medium and Transition to the next device Panes in a containment and drying zone at least partially from that in the previous Device used liquid are freed. 14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß als Flüssigkeiten wäßrige Medien eingesetzt werden.14. The method according to claim 12 or 13, characterized records that as liquids aqueous media be used.