DE3903293A1

DE3903293A1 - Optical magnetic-field sensor

Info

Publication number: DE3903293A1
Application number: DE19893903293
Authority: DE
Inventors: Thomas Dr Bosselmann
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1987-08-07
Filing date: 1989-02-03
Publication date: 1990-08-09

Abstract

The subject matter of the main application (Patent Application P 3726411.7-GR 87 P 3272 DE) is an optical magnetic-field sensor in which the magnetic-field-dependent Faraday rotation of the plane of polarisation of a linearly polarised light ray (10, 11) which propagates in an optical fibre, is measured by means of an arrangement with heterodyne reception and reciprocal light path. According to the invention, a light source (1) with a frequency-modulatable laser diode (40), which is associated with a Mach-Zehnder interferometer (52, 53, 54, 55), is provided for generating a linearly polarised light ray (2), the direction of polarisation of which rotates at a predetermined angular rate. <IMAGE>

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen optischen Magnetfeldsen sor zur Messung eines Magnetfeldes mit Hilfe des Faraday-Effek tes.The invention relates to an optical magnetic field sensor for measuring a magnetic field using the Faraday effect tes.

Gegenstand des Hauptpatents (Patentanmeldung P 37 26 411.7) ist ein faseroptischer Magnetfeldsensor bei dem die magnetfeldab hängige Drehung der Polarisationsebene eines linear polarisier ten Lichtstrahls, der sich in einer Lichtleitfaser ausbreitet, gemessen wird. Dieser faseroptische Magnetfeldsensor enthält eine Lichtquelle zur Erzeugung eines linear polarisierten Lichtstrahls, dessen Polarisationsrichtung mit einer vorge gebenen Winkelgeschwindigkeit rotiert sowie eine optische Ver zweigungseinrichtung zur Aufteilung des Lichtstrahls in wenig stens einen Meßstrahl und wenigstens einen Referenzstrahl, so daß den Meßstrahlen jeweils ein Referenzstrahl zugeordnet ist. Zur Führung des Meßstrahls ist eine Lichtleitfaser vorgesehen, die zugleich als magnetfeldempfindliche faseroptische Meß strecke dient. Dem Meßstrahl und dem Referenzstrahl ist jeweils eine Analysatoreinrichtung zur Messung der Intensität der Lichtstrahlen in einer vorgegebenen Polarisationsrichtung zu geordnet, wobei für die Analysatoreinrichtung eines Meßstrahls und die Analysatoreinrichtung des Referenzstrahls ein gemein samer Phasendetektor vorgesehen ist. Außerdem sind noch optische Einrichtungen zur Erzeugung von Meßstrahlen vor gesehen, welche die Lichtleitfaser in zueinander entgegenge setzten Richtungen durchlaufen. The main patent (patent application P 37 26 411.7) is the subject a fiber optic magnetic field sensor in which the magnetic field dependent rotation of the plane of polarization of a linearly polarized th light beam that propagates in an optical fiber, is measured. This fiber optic magnetic field sensor contains a light source for generating a linearly polarized Light beam, the direction of polarization with a pre given angular speed rotates and an optical ver branching device for dividing the light beam into little at least one measuring beam and at least one reference beam, so that a reference beam is assigned to each of the measuring beams. An optical fiber is provided to guide the measuring beam, which at the same time as a magnetic field sensitive fiber optic measurement route serves. The measuring beam and the reference beam are each an analyzer device for measuring the intensity of the Light rays in a given direction of polarization ordered, being for the analyzer device of a measuring beam and the analyzer device of the reference beam samer phase detector is provided. Besides, there are still optical devices for generating measuring beams seen which the optical fiber in opposite to each other go through set directions.

In "Journal of Lightwave Technology, Vol. LT-4, No. 6, 1986, Seiten 640 bis 644" wird zur Erzeugung eines linear polarisier ten Lichtstrahls, dessen Polarisationsrichtung mit einer vor gegebenen Winkelgeschwindigkeit rotiert, eine Lichtquelle vor geschlagen, bei der einer frequenzmodulierten Laserdiode ein Michelson-Interferometer nachgeschaltet ist. Das von der Laser diode emittierte Licht wird in die zwei Arme des Michelson- Interferometers aufgespalten. Die beiden Interferometerarme enthalten zueinander gekreuzte Polarisatoren. Die durch diese Polarisatoren erzeugten senkrecht zueinander polarisierten Lichtstrahlen erfahren entsprechend dem optischen Weglängen unterschied im Michelson-Interferometer eine Phasendifferenz. Mittels eines λ/4-Plättchens werden diese zueinander phasen verschobenen und orthogonalen Komponenten zu einem linear po larisierten Lichtstrahl zusammengesetzt, dessen Polarisations richtung sowohl vom Gangunterschied des Michelson-Interferome ters als auch von der Frequenz des von der Laserdiode emit tierten Lichtes abhängt. Durch Änderung des Injektionsstroms in der Laserdiode läßt sich die Lichtfrequenz und somit die Pola risationsebene des aus dem λ/4-Plättchens austretenden Lichtes ändern. Der Injektionsstrom in der Laserdiode wird dabei säge zahnförmig geändert, wobei die Amplitude der Stromänderung so bemessen ist, daß sich eine Drehung der Polarisationsrichtung um 180° ergibt. Die Rotationsfrequenz der Drehung der Polari sationsrichtung beträgt dann die Hälfte der Modulationsfrequenz des Injektionsstromes.In "Journal of Lightwave Technology, Vol. LT-4, No. 6, 1986, pages 640 to 644" a light source is proposed in order to generate a linearly polarized light beam whose direction of polarization rotates at a given angular velocity frequency-modulated laser diode is connected to a Michelson interferometer. The light emitted by the laser diode is split into the two arms of the Michelson interferometer. The two interferometer arms contain mutually crossed polarizers. The light beams polarized perpendicularly to one another by these polarizers experience a phase difference in the Michelson interferometer in accordance with the optical path length. By means of a λ / 4 plate, these mutually phase-shifted and orthogonal components are assembled to form a linearly polarized light beam, the direction of polarization of which depends both on the path difference of the Michelson interferometer and on the frequency of the light emitted by the laser diode. By changing the injection current in the laser diode, the light frequency and thus the polarization level of the light emerging from the λ / 4 plate can be changed. The injection current in the laser diode is changed in a saw-like manner, the amplitude of the change in current being dimensioned such that there is a rotation of the polarization direction by 180 °. The rotation frequency of the rotation of the polarization direction is then half the modulation frequency of the injection current.

Diese bekannte Lichtquelle hat jedoch den Nachteil, daß in Ab hängigkeit vom Gangunterschied des Michelson-Interferometers ein Teil des von der Laserdiode emittierten Lichts wieder auf die Laserdiode zurückfällt. Dies führt jedoch zu Problemen bei der Modulation der Laserdiode.However, this known light source has the disadvantage that in Ab dependence on the path difference of the Michelson interferometer a part of the light emitted by the laser diode the laser diode falls back. However, this creates problems the modulation of the laser diode.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, einen optischen Magnetfeldsensor anzugeben, bei dem der genannte Nachteil be seitigt ist.The invention is based on the object of an optical Specify magnetic field sensor, in which the disadvantage mentioned be is sided.

Die genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit den Merk malen des Hauptanspruchs. Durch die Verwendung eines Mach-Zehn der-Interferometers ist gewährleistet, daß in die Laserdiode praktisch kein Licht mehr zurückgekoppelt wird, da bei einem Mach-Zehnder-Interferometer die Interferometer-Ausgänge mit den Interferometer-Eingängen nicht zusammenfallen.The stated object is achieved according to the invention with the notes paint the main claim. By using a Mach Ten The interferometer ensures that the laser diode practically no light is fed back, because with one Mach-Zehnder interferometer with the interferometer outputs Interferometer inputs do not coincide.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist ein Ausgang des Mach-Zehnder-Interferometers direkt mit einer Analysator einrichtung verbunden. Dadurch wird die Anzahl der erforderli chen Strahlteiler verringert.In a particularly preferred embodiment there is an exit the Mach-Zehnder interferometer directly with an analyzer facility connected. This will reduce the number of Chen beam splitter reduced.

Als magnetooptische Bauelemente können neben Lichtleitfasern auch optische Materialien verwendet werden, die eine gegenüber Lichtleitfasern höhere Verdet-Konstante haben und somit einen verkürzten Lichtweg erfordern. Dadurch ist eine weitergehende Miniaturisierung des im Magnetfeld anzuordnenden sensitiven Teils des Magnetfeldsensors ermöglicht. Die Gestaltung und Auswahl des magnetooptischen Bauteiles richtet sich dabei nach dem jeweiligen Einsatzzweck. Anstelle der Forderung nach einer hohen Verdet-Konstante kann beispielsweise auch die Forderung nach einer möglichst kleinen Temperaturabhängigkeit im Vorder grund stehen. Als magnetooptische Bauteile sind dabei sowohl Kristalle mit hoher Verdet-Konstante, vorzugsweise Bi₁₂SiO₂₀- Einkristalle und ZnSe-Kristalle, als auch Gläser mit niedrigem Temperaturkoeffizienten, insbesondere SF6-Flintglas, geeignet.In addition to optical fibers, optical materials can also be used as magneto-optical components which have a higher Verdet constant than optical fibers and thus require a shorter light path. This enables further miniaturization of the sensitive part of the magnetic field sensor to be arranged in the magnetic field. The design and selection of the magneto-optical component depends on the respective application. Instead of the requirement for a high Verdet constant, for example, the requirement for the smallest possible temperature dependency may also be in the foreground. Crystals with a high Verdet constant, preferably Bi ₁₂ SiO ₂₀ single crystals and ZnSe crystals, and glasses with a low temperature coefficient, in particular SF6 flint glass, are suitable as magneto-optical components.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich gemäß den Unteransprüchen 7 bis 9.Further advantageous embodiments of the invention result according to subclaims 7 to 9.

Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung verwiesen, in deren einziger Figur ein optischer Magnetfeld sensor gemäß der Erfindung schematisch veranschaulicht ist. To further explain the invention, reference is made to the drawing referenced in their only figure an optical magnetic field sensor according to the invention is illustrated schematically.

Gemäß Fig. 1 enthält ein optischer Magnetfeldsensor eine Lichtquelle 1, die einen linear polarisierten Lichtstrahl 2 emittiert, dessen Polarisationsrichtung mit einer vorgegebenen Winkelgeschwindigkeit um die Ausbreitungsrichtung des Licht strahls 2 rotiert. Mit einer optischen Verzweigungseinrichtung 5 wird der Lichtstrahl 2 in einen Meßstrahl 10 und einen Referenzstrahl 12, der einer Analysatoreinrichtung 22 zuge leitet wird, zerlegt. Der Meßstrahl 10 wird in ein magneto optisches Bauteil 70 eingekoppelt, das als optische magnetfeld empfindliche Meßstrecke dient. Das magnetooptische Bauteil 70 ist in einem Magnetfeld H angeordnet, wobei die Empfindlichkeit am größten ist, wenn die Ausbreitungsrichtung des Meßstrahls 10 parallel zum Magnetfeld H verläuft. Der Meßstrahl 10 wird an der Koppelfläche 73 in das magnetooptische Bauteil 70 ein gekoppelt, durchquert das magnetooptische Bauteil 70 und tritt an der gegenüberliegenden Koppelfläche 74 aus. Der Koppelfläche 74 ist ein Spiegel 9 zugeordnet, an dem der Meßstrahl 10 re flektiert und ein Meßstrahl 11 erzeugt wird, der das optische Bauteil 70 in umgekehrter Richtung durchläuft. Dadurch wird ein nahezu reziproker Lichtweg geschaffen, durch den die intrin sischen zirkularen Doppelbrechungseigenschaften weitgehend kompensiert werden. Dieser reziproke Lichtweg kann auch durch Verspiegelung der Koppelfläche 74 erreicht werden. Mittels einer im Lichtweg zwischen der Verzweigungseinrichtung 5 und dem magnetooptischen Bauteil 70 angeordneten Verzweigungsein richtung 6 wird der Meßstrahl 11 zu einer Analysatoreinrichtung 21 weitergeleitet. Die Verzweigungseinrichtungen 5 und 6 können auch in einem einzigen Strahlteiler zusammengefaßt sein. In den Analysatoreinrichtungen 21 und 22 wird mit Analysatoren jeweils eine in einer vorgegebenen Polarisationsrichtung polarisierte Komponente des Meßstrahls 11 bzw. des Referenzstrahls 12 her ausgefiltert. Durch in den Analysatoreinrichtungen 21 und 22 enthaltenen Lichtempfängern, beispielsweise Fotodioden, werden die Intensitäten dieser Komponenten in elektrische Signale umgewandelt. Diesen elektrischen Signalen ist jeweils eine Schwingung aufgeprägt, die z.B. zur Rauschunterdrückung mittels eines ebenfalls in den Analysatoreinrichtungen 21 und 22 je weils enthaltenen Bandpaßfilters ausgefiltert werden kann. Die am Ausgang der Analysatoreinrichtung 21 und 22 anstehenden elektrischen Signale werden einem Phasendetektor 30 zugeführt, dessen Ausgangssignal proportional zur Phasendifferenz Φ zwischen diesen Signalen ist. Diese Phasendifferenz Φ enthält neben der durch den Faraday-Effekt bedingten Phasenverschiebung Φ _F auch apparativ bedingte konstante Anteile Φ _o und Φ _o′, die beispielsweise durch die Stellung der in den Analysatoreinrich tungen 21 und 22 enthaltenen optischen Analysatoren kompensiert werden können.Referring to FIG. 1, an optical magnetic field sensor includes a light source 1 which emits a linearly polarized light beam 2, whose direction of polarization is rotated with a predetermined angular velocity about the propagation direction of the light beam 2. With an optical branching device 5 , the light beam 2 is broken down into a measuring beam 10 and a reference beam 12 , which is fed to an analyzer device 22 . The measuring beam 10 is coupled into a magneto-optical component 70 , which serves as an optical magnetic field sensitive measuring section. The magneto-optical component 70 is arranged in a magnetic field H , the sensitivity being greatest when the direction of propagation of the measuring beam 10 runs parallel to the magnetic field H. The measuring beam 10 is coupled into the magneto-optical component 70 at the coupling surface 73 , crosses the magneto-optical component 70 and emerges at the opposite coupling surface 74 . The coupling surface 74 is assigned a mirror 9 , on which the measuring beam 10 is reflected and a measuring beam 11 is generated, which passes through the optical component 70 in the opposite direction. This creates an almost reciprocal light path through which the intrinsic circular birefringence properties are largely compensated. This reciprocal light path can also be achieved by mirroring the coupling surface 74 . By means of a branching device 6 arranged in the light path between the branching device 5 and the magneto-optical component 70 , the measuring beam 11 is passed on to an analyzer device 21 . The branching devices 5 and 6 can also be combined in a single beam splitter. In the analyzer devices 21 and 22 , analyzers each filter out a component of the measuring beam 11 or of the reference beam 12 that is polarized in a predetermined polarization direction. The intensities of these components are converted into electrical signals by light receivers, for example photodiodes, contained in the analyzer devices 21 and 22 . An oscillation is impressed on each of these electrical signals, which can be filtered out, for example, for noise suppression by means of a bandpass filter which is also contained in the analyzer devices 21 and 22 . The electrical signals present at the output of the analyzer devices 21 and 22 are fed to a phase detector 30 , the output signal of which is proportional to the phase difference Φ between these signals. This phase difference Φ contains, in addition to the phase shift Φ _F caused by the Faraday effect, also apparatus-related constant components Φ _o and Φ _o ', which can be compensated, for example, by the position of the lines 21 and 22 contained in the analyzer devices.

Als magnetooptisches Bauteil 70 sind alle Werkstoffe geeignet, die im Magnetfeld eine Faraday-Rotation der Polarisationsebene des sich in ihnen ausbreitenden Lichts zeigen. Zur Miniaturi sierung des Magnetfeldsensors sind insbesondere Gläser oder Kristalle mit großer Verdet-Konstante, beispielsweise Bi₁₂SiO₂₀ -Einkristalle oder ZnSe-Kristalle geeignet (T.Mitsui, K.Hosoe, H.Usami, S.Miyamoto, "Development of Fiber-Optic Vol tage Sensors and Magnetic-Field Sensors", IEEE Trans. on Power Delivery, 1987, Vol. 2, No. 1, Seiten 87-93).All materials are suitable as magneto-optical component 70 which show a Faraday rotation of the polarization plane of the light propagating in them in the magnetic field. Glasses or crystals with a large Verdet constant, for example Bi ₁₂ SiO ₂₀ single crystals or ZnSe crystals, are particularly suitable for miniaturization of the magnetic field sensor (T.Mitsui, K.Hosoe, H.Usami, S.Miyamoto, "Development of Fiber- Optic Voltage Sensors and Magnetic-Field Sensors ", IEEE Trans. On Power Delivery, 1987, Vol. 2, No. 1, pages 87-93).

Für Anwendungszwecke, bei denen das magneto-optische Bauteil 70 stark schwankenden Umgebungstemperaturen ausgesetzt ist, ist als Werkstoff vorzugsweise SF6-Flintglas vorgesehen (K.Kyuma, S.Tai, M.Nunoshita, T.Takioka, Y.Ida, "Fiber Optic Measuring System for Electric Current by Using a Magnetooptic Sensor", IEEE Journ. of Quantum Electr., 1982, Vol. QE18, No. 10, Seiten 1619 bis 1623).For applications in which the magneto-optical component 70 is exposed to strongly fluctuating ambient temperatures, SF6 flint glass is preferably provided as the material (K.Kyuma, S.Tai, M.Nunoshita, T.Takioka, Y.Ida, "Fiber Optic Measuring System for Electric Current by Using a Magnetooptic Sensor ", IEEE Journ. Of Quantum Electr., 1982, Vol. QE18, No. 10, pages 1619 to 1623).

Die Lichtquelle 1 enthält eine frequenzmodulierbare Laserdiode 50 und ein aus den Strahlteilern 52 und 55 sowie aus den Spie geln 53 und 54 bestehendes Mach-Zehnder-Interferometer. Der Strahlteiler 52 ist vorzugsweise ein Polarisationsstrahlteiler, der das von der Laserdiode emittierte Licht in zwei zueinander orthogonal polarisierte Komponenten aufspaltet, deren eine Komponente parallel zu den Spiegelflächen der Spiegel 53 und 54, in der Figur senkrecht zur Zeichenebene, orientiert ist. Anstelle eines Polarisationsstrahlteilers kann in den beiden Armen des Mach-Zehnder-Interferometers jeweils ein Polarisa tor vorgesehen sein.The light source 1 contains a frequency-modulated laser diode 50 and an existing Mach-Zehnder interferometer consisting of the beam splitters 52 and 55 as well as of the mirrors 53 and 54 . The beam splitter 52 is preferably a polarization beam splitter which splits the light emitted by the laser diode into two mutually orthogonally polarized components, one component of which is oriented parallel to the mirror surfaces of the mirrors 53 and 54 , in the figure perpendicular to the plane of the drawing. Instead of a polarization beam splitter, a polarizer can be provided in each of the two arms of the Mach-Zehnder interferometer.

Einem Ausgang des Mach-Zehnder-Interferometers ist ein λ/4- Plättchen 56 zugeordnet, das unter einem Winkel von 45° zu den beiden senkrecht zueinander polarisierten Komponenten angeord net ist. Am Ausgang 57 der Lichtquelle 1 steht somit ein Licht strahl 2 an, dessen Polarisationsrichtung mit einer Winkelge schwindigkeit um seine Ausbreitungsrichtung rotiert, die halb so groß ist wie die Modulationsfrequenz der Laserdiode.An output of the Mach-Zehnder interferometer is assigned a λ / 4 plate 56 which is arranged at an angle of 45 ° to the two components polarized perpendicular to one another. At the output 57 of the light source 1 is thus a light beam 2 , the direction of polarization of which rotates at an angular rate around its direction of propagation, which is half the modulation frequency of the laser diode.

In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Analysatorein richtung 22 direkt mit dem zweiten Ausgang 58 des Mach-Zehnder- Interferometers optisch verbunden sein. In dieser Anordnung ist somit der Strahlteiler 5 nicht mehr erforderlich.In a preferred embodiment, the analyzer device 22 can be optically connected directly to the second output 58 of the Mach-Zehnder interferometer. In this arrangement, the beam splitter 5 is therefore no longer required.

Ein reziproker Lichtweg kann auch dadurch bewirkt werden, daß der Lichtstrahl mittels optischer Verzweigungseinrichtungen in zwei Teillichtstrahlen zerlegt wird. Aus diesen Teillichtstrah len werden vor Eintritt in das magnetooptische Bauteil 70 mit tels weiterer Verzweigungseinrichtungen zwei Meßstrahlen er zeugt, die in Analogie zur Ausführungsform gemäß Fig. 3 des Hauptpatents an den gegenüberliegenden Koppelflächen 73 und 74 in das magnetooptische Bauteil 70 eingekoppelt werden.A reciprocal light path can also be brought about in that the light beam is split into two partial light beams by means of optical branching devices. From these partial light beams len before entering the magneto-optical component 70 with means of further branching devices, two test beams are generated, which are coupled into the magneto-optical component 70 in analogy to the embodiment according to FIG. 3 of the main patent on the opposite coupling surfaces 73 and 74 .

Dabei sind sowohl zur Führung der Lichtstrahlen als auch zur Strahlteilung insbesondere faseroptische Bauelemente geeignet, da diese einen mechanisch unempfindlicheren Aufbau ermöglichen.Both for guiding the light beams and for Beam splitting particularly suitable for fiber optic components, since these allow a mechanically less sensitive structure.

Claims

1. Optischer Magnetfeldsensor zur Messung eines Magnetfeldes mit Hilfe des Faraday-Effektes mit

a) einer Lichtquelle (1) zur Erzeugung eines linear polarisier ten Lichtstrahls (2), dessen Polarisationsrichtung mit einer vorgegebenen Winkelgeschwindigkeit rotiert, wobei
b) die Lichtquelle (1) eine frequenzmodulierbare Laserdiode (50) sowie ein Mach-Zehnder-Interferometer (52, 53, 54, 55) enthält,
c) einer optischen Verzweigungseinrichtung (5 und 6) zur Auf teilung des Lichtstrahls (2) in wenigstens einen Meßstrahl (10) und wenigstens einen Referenzstrahl (12),
d) den Meßstrahlen (10) ist jeweils ein Referenzstrahl (12) zugeordnet,
e) der Meßstrahl (10) durchquert ein magnetooptisches Bauteil (70),
f) dem Meßstrahl und dem Referenzstrahl (12) ist jeweils eine Analysatoreinrichtung (21 bzw. 22) zur Messung der Intensität der Lichtstrahlen in einer vorgegebenen Polari sationsrichtung zugeordnet,
g) der Analysatoreinrichtung (21) eines Meßstrahls und der Analysatoreinrichtung (22) des zugeordneten Referenzstrahls (12) ist ein gemeinsamer Phasendetektor (30) zugeordnet und es sind
h) optische Einrichtungen zur Erzeugung von Meßstrahlen (10 und 11) vorgesehen, die das magnetooptische Bauteil (70) in zueinander entgegengesetzten Richtungen durchlaufen.

1. Optical magnetic field sensor for measuring a magnetic field with the help of the Faraday effect

a) a light source ( 1 ) for generating a linearly polarized light beam ( 2 ), the direction of polarization of which rotates at a predetermined angular velocity, wherein
b) the light source ( 1 ) contains a frequency-modulated laser diode ( 50 ) and a Mach-Zehnder interferometer ( 52 , 53 , 54 , 55 ),
c) an optical branching device ( 5 and 6 ) for splitting the light beam ( 2 ) into at least one measuring beam ( 10 ) and at least one reference beam ( 12 ),
d) the measuring beams ( 10 ) are each assigned a reference beam ( 12 ),
e) the measuring beam ( 10 ) passes through a magneto-optical component ( 70 ),
f) the measuring beam and the reference beam ( 12 ) are each assigned an analyzer device ( 21 or 22 ) for measuring the intensity of the light beams in a predetermined polarization direction,
g) the analyzer device ( 21 ) of a measuring beam and the analyzer device ( 22 ) of the assigned reference beam ( 12 ) are assigned a common phase detector ( 30 ) and they are
h) optical devices for generating measuring beams ( 10 and 11 ) are provided which pass through the magneto-optical component ( 70 ) in mutually opposite directions.

2. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die Analysatoreinrichtung (22) mit einem Ausgang (58) des Mach-Zehnder-Interferometers (52, 53, 54, 55) optisch verbunden ist.2. Magnetic field sensor according to claim 1, characterized in that the analyzer device ( 22 ) with an output ( 58 ) of the Mach-Zehnder interferometer ( 52 , 53 , 54 , 55 ) is optically connected.

3. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als magnetooptisches Bauteil (70) eine Lichtleitfaser vorgesehen ist.3. Magnetic field sensor according to claim 1 or 2, characterized in that an optical fiber is provided as the magneto-optical component ( 70 ).

4. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als magnetooptisches Bau teil (70) ein Bi₁₂SiO₂₀-Einkristall vorgesehen ist.4. Magnetic field sensor according to claim 1 or 2, characterized in that a Bi ₁₂ SiO ₂₀ single crystal is provided as the magneto-optical construction part ( 70 ).

5. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als magnetooptisches Bau teil (70) ein ZnSe-Kristall vorgesehen ist.5. Magnetic field sensor according to claim 1 or 2, characterized in that a ZnSe crystal is provided as the magneto-optical construction part ( 70 ).

6. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetooptische Bau teil (70) aus einem SF6-Flintglas besteht.6. Magnetic field sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the magneto-optical construction part ( 70 ) consists of an SF6 flint glass.

7. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da durch gekennzeichnet, daß einer Koppel fläche des magneto-optischen Bauteils (70) ein Spiegel (9) zugeordnet ist, der den Meßstrahl (10) in das magnetooptische Bauteil (70) reflektiert.7. Magnetic field sensor according to one of claims 1 to 6, characterized in that a coupling surface of the magneto-optical component ( 70 ) is assigned a mirror ( 9 ) which reflects the measuring beam ( 10 ) into the magneto-optical component ( 70 ).

8. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da durch gekennzeichnet, daß eine optische Verzweigungseinrichtung vorgesehen ist, die den Lichtstrahl in zwei Teillichtstrahlen zerlegt, denen jeweils weitere Ver zweigungseinrichtungen zugeordnet sind, die Meßstrahlen erzeugen, die an den gegenüberliegenden Koppelflächen (73 und 74) des magnetooptischen Bauteils (70) eingekoppelt werden.8. Magnetic field sensor according to one of claims 1 to 6, characterized in that an optical branching device is provided which divides the light beam into two partial light beams, each of which is associated with further Ver branching devices, which generate the measuring beams which on the opposite coupling surfaces ( 73 and 74 ) of the magneto-optical component ( 70 ).

9. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da durch gekennzeichnet, daß als Verzwei gungseinrichtungen (5, 6) bidirektionale optische Faserkoppler vorgesehen sind.9. Magnetic field sensor according to one of claims 1 to 8, characterized in that bidirectional optical fiber couplers are provided as branching devices ( 5 , 6 ).