DE3889395T2 - Verfahren zur Trennung eines kurzgeschlossenen Teiles zwischen oberen und unteren Elektroden einer Flüssigkristallanzeigetafel und Verfahren zur Fertigung einer Flüssigkristallanzeigetafel unter Verwendung dieses Verfahrens. - Google Patents

Verfahren zur Trennung eines kurzgeschlossenen Teiles zwischen oberen und unteren Elektroden einer Flüssigkristallanzeigetafel und Verfahren zur Fertigung einer Flüssigkristallanzeigetafel unter Verwendung dieses Verfahrens.

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Description

    TITEL DER ERFINDUNG
  • Verfahren zur Trennung eines kurzgeschlossenen Teiles zwischen oberen und unteren Elektroden einer Flüssigkristallanzeigetafel und Verfahren zur Fertigung einer Flüssigkristallanzeigetafel unter Verwendung dieses Verfahrens.
    • BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reparatur einer Flüssigkristallanzeigetafell insbesondere ein Verfahren zur Reparatur einer ferroelektrischen Flüssigkristallanzeigetafel, mit dem ein durch Einschluß eines Fremdkörpers in einer Zelle gebildeter Kurzschluß zwischen oberen und unteren Elektroden beseitigt wird.
    • Einschlägiger Stand der Technik
  • Seit der Veröffentlichung von verwunden-nematischen (twisted-nematic bzw. TN-) Flüssigkristallen in "Applied Physics Letters", Band 18, Nr. 4, Seiten 127-128, von Shadt und W. Helfrich im Jahre 1971 unterliegen Flüssigkristallanzeigetafeln raschen Fortschritten, wobei sich die neuere Entwicklung von Produkten ausgehend von den ursprünglichen, numerischen Anzeigetafeln mit Segmentelektroden hin zu Anzeigetafeln verlagert, die eine Punktmatrix zur Anzeige von Zeichen benutzen. Insbesondere in den letzten Jahren verlangt der Markt Flüssigkristallanzeigetafeln mit einem in hohem Maße leistungsfähigen Bildelement, die zur Verwendung als Anzeigebildschirme für Textverarbeitungssysteme und Personal-Computer oder als Fernsehbildschirme verwendet geeignet sind.
  • Bei Multiplex-Ansteuerung der vorstehenden TN-Flüssigkristalle nimmt jedoch das Nutzverhältnis proportional zu (1/N) mit zunehmender Anzahl (N) der Abtastleitungen ab, wodurch folglich die Erhöhung der Anzahl der Abtastleitungen begrenzt wurde. Bei Flüssigkristallanzeigetafeln der Typen, bei denen an Kreuzungspunkten von Abtast- und Datenleitungen ausgebildete Bildpunkte einzeln angesteuert werden, müssen auf einem Flüssigkristallanzeigensubstrat Dünnfilmtransistoren in einer der Anzahl an Bildpunkten entsprechenden Anzahl ausgebildet werden. Daraus resultiert jedoch ein technisch sehr schwierig zu lösendes Problem bei der Ausbildung dieser Dünnfilmtransistoren über eine große Fläche zur Folge.
  • Als Ausführungsform einer Flüssigkristallanzeigetafel, die zur Lösung dieser Probleme geeignet ist, wurde 1980 von N. Clark und S.T. Lagerwall in "Applied Physics Letters", Band 36, Nr. 11, Seiten 899-901, die ferroelektrische Oberflächenstabilitäts-Flüssigkristalleinrichtung vorgestellt. Diese ferroelektrische Flüssigkristalleinrichtung erzeugt zwei stabil ausgerichtete Zustände, mittels welchen ein Kontrastunterschied entsprechend der Richtung eines elektrischen Feldes unterschieden werden kann. Dazu war es erforderlich, die Zellendicke auf ein ausreichend kleines Maß festzulegen, um die einem chiral smektischen Flüssigkristall innewohnende spiralförmige Struktur zum Verschwinden zu bringen. Eine derartige Dicke liegt näherungsweise zwischen 0.5um und 2um.
  • Hieraus resultiert das Problem, daß bereits durch Einschluß eines winzigen Fremdkörpers im Innern einer Zelle des vorstehenden ferroelektrischen Flüssigkristalls ein Kurzschluß zwischen den oberen und unteren Elektroden auftreten kann. Insbesondere ist jeder kurzgeschlossene Abschnitt, vorhanden an dem Ort, an dem sich Abtastleitungen und Datenleitungen kreuzen, für den Betrachter als Leitungsdefekt (nicht schaltende Leitung) in Form eines Kreuzes aus Abtastleitung und Signalleitung am Ort des kurzgeschlossenen Abschnitts erkennbar, wenn die ferroelektrische Flüssigkristallzelle mit matrixförmigen Elektroden (eine Abtast- und eine Signalelektrode) für die Multiplex-Ansteuerung verdrahtet ist, woraus eine herabgesetzte Anzeigequalität resultiert.
    • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Reparatur einer Flüssigkristallanzeigetafel, das die vorstehenden Probleme lösen kann, sowie eine Flüssigkristallanzeigetafel zu schaffen, dessen Anzeigegualität dadurch verbessert worden ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.
    • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1A zeigt eine Draufsicht zur Veranschaulichung einer Anzeigetafel, die nicht repariert wurde, Fig. 1B ist eine vergrößerte Draufsicht eines Kurzschlußortes derselben, und Fig. 1C ist eine Querschnitt entlang der Linie A - A';
  • Fig. 2 zeigt ein Blockdiagramm einer Reparaturvorrichtung zur Verwendung bei dem erfindungsgemäßen Verfahren;
  • Fig. 3A zeigt eine Draufsicht zur Veranschaulichung des erfindungsgemäßen Verfahrens, und Fig. 3B einen Querschnitt derselben;
  • Fig. 4A zeigt eine Draufsicht zur Veranschaulichung einer erfindungsgemäß reparierten Anzeigetafel, und Fig. 4B einen Querschnitt derselben;
  • Fig. 5a zeigt eine elektronenmikroskopische Aufnahme eines Metallstruktur-Zustands auf einem oberen Substrat nach der Reparatur, und Fig. 5b eine elektronenmikroskopische Aufnahme eines Metallstruktur-Zustands auf einem unteren Substrat nach der Reparatur.
    • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Die vorliegende Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben.
  • Fig. 1A zeigt eine Draufsicht zur Veranschaulichung einer Flüssigkristallanzeigetafel 11, und Fig 1B eine vergrößerte Draufsicht auf den Abschnitt X in Fig. 1A. Fig. 1C zeigt einen Querschnitt entlang der Linie A - A' in Fig. 1B.
  • Die in Fig. 1 veranschaulichte Flüssigkristallanzeigetafel 11 ist zwischen einem oberen Substrat 13, das mit einer transparenten gemeinsamen Elektrode (einem Anschluß) 12 versehen ist (der z.B. bei Multiplex-Ansteuerung als Abtastelektrode dient), und einem unteren Substrat 15, das mit transparenten gegenuberliegenden Elektroden (einem Anschluß) 14 versehen ist (der z.B. bei Multiplex-Ansteuerung als Signalelektrode dient), mit einem ferroelektrischen Flüssigkristall versehen. Bei der in Fig. 1 veranschaulichten Flüssigkristallanzeigetafel 11 wird durch einen Betrachter eine nicht schaltende Abtastleitung α und eine nicht schaltende Signalleitung β auf einem Anzeigeschirm erkannt. Die Linie N gemäß Fig. 1B entspricht einer Linie, auf der keine wechselseitig gegenüberliegenden Elektroden ausgebildet sind. Die Lage einer Polarisationsachse eines Polarisators und eines Analysators ist so festgelegt, daß die Ausrichtung der Flüssigkristalle auf der Linie N im Dunkelzustand erfolgen kann, wenn der Flüssigkristall zwischen den Polarisator und den Analysator eingebracht ist. Die transparente gemeinsame Elektrode 12 und die transparenten gegenüberliegenden Elektroden 14 sind jeweils mit elektrisch verbundenen, niederohmigen Leitungen 17b und 17a versehen. Diese niederohmigen Leitungen 17b und 17a können unter Verwendung von Metallen wie Silber, Kupfer, Gold, Aluminium, Chrom, Nolybdän oder Legierungen aus diesen Metallen hergestellt sein, und können Filmdicken im Bereich von 500 bis 5000 Angström, vorzugsweise zwischen 1000 und 3000 Angström, aufweisen. Ihre Leitungsbreite kann vorzugsweise im Bereich zwischen 10 um und 50 um gewählt sein.
  • Die vorstehend erwähnte, auf der Anzeige sichtbar gewordene defekte Leitung (α-β ist ein Ort, der einem Kreuzungsabschnitt der defekten Leitung (α-β entspricht und der durch einen Kurzschluß verursacht wird, der zwischen einer transparenten gemeinsamen Elektrode 12a und einer transparenten Signalelektrode 14a aufgetreten ist, wie in Fig. 1C dargestellt. An diesem kurzgeschlossenen Ort ist ein Fremdkörper 18, wie beispielsweise Staub und Kunstharz, zwischen dem unteren Substrat 15 und der transparenten gegenüberliegenden Elektrode 14a eingeschlossen, wodurch eine Konvexität auf der transparenten gegenüberliegenden Elektrode 14 verursacht wird, die dadurch einen Kurzschluß durch Kontakt mit der gemeinsamen Elektrode 12a verursacht. Ferner können die Ursachen des Kurzschlusses auch einen Zustand einschließen, bei dem ein leitfähiges Partikel zwischen der transparenten gemeinsamen Elektrode 12 und der transparenten gegenüberliegenden Elektrode 14 festgehalten ist. Ein derartiger kurzgeschlossener Abschnitt kann mittels Aktivierungsanschlüssen 19a und19b eines Schaltungsprüfgeräts 19 ermittelt werden.
  • Fig. 2 zeigt ein Blockdiagramm einer bei dem erfindungsgemäßen Verfahren benutzten Reparaturvorrichtung. In der Zeichnung kennzeichnet das Bezugszeichen 21 ein Mikroskop, 22 einen Betrachter, 23 eine Objektivlinse, 24 eine Spaltbzw. Schlitzblende, 25 eine Steuerlichtquelle, 26 einen Strahlenausweiter, 27 einen Laserstrahl, und 28 eine Laserlichtquelle.
  • In der in Fig. 2 gezeigten Reparaturvorrichtung wird der kurzgeschlossene Ort in der ferroelektrischen Flüssigkristallanzeigetafel 11 mittels dem Mikroskop 21 ermittelt. Danach kann die Positionierung auf die Stelle, die mit dem Laserstrahl bestrahlt wird, und die Punkt-Einstellung des Laserstrahles 27 durch Beleuchten mittels der Steuerlichtquelle 25 durchgeführt werden. Im Strahlengang von der Steuerlichtquelle 25 zu der ferroelektrischen Flüssigkristallanzeigetafel 11 sind halbdurchlässige Spiegel 20a und 20b sowie eine Schlitzblende 24 vorgesehen, die X-Achse und die y-Achse des durch den Laserstrahl bestrahlten Abschnitts steuert und den Laserstrahl verengt.
  • Daraufhin wird der Laserstrahl der Laserlichtquelle 28, nachdem Verbreitern seiner Weite durch den Strahlenausweiter 26, durch die halbdurchlässigen Spiegel 20b und 20a reflektiert und auf die ferroelektrische Flüssigkristallanzeigetafel gelenkt. Auf diese Weise ermöglicht erfindungsgemäß das Aussenden des Laserstrahls 27, wie in Fig. 3 (eine vom Laserstrahl bestrahlte Stelle 31) veranschaulicht, das Erzeugen eines durch Isolation abgetrennten Abschnitts 41, an dem der Kurzschlußort, wie Fig. 4 verdeutlicht, von der transparenten gemeinsamen Elektrode 12a und der transparenten gegenüberliegenden Elektrode 14a abgetrennt ist.
  • Als Laserstrahl 27 werden ein YAG-Laserstrahl, ein Rubin-Laserstrahl und ein CO&sub2;-Laserstrahl verwendet. Der YAG-Laser (Wellenlänge der Schwingung: 1,06 um) wird vorzugsweise in Fällen verwendet, in denen die transparenten Elektroden 12 und 14 aus ITO (Indium-Zinn-Oxid) und die niederohmigen Leitungen 17a und 17b aus Molybdän gebildet sind. Der Lichtfleck des Laserstrahls 27 kann beliebig eingestellt werden, liegt aber im Allgemeinen zwischen 1 um bis 100 um, vorzugsweise etwa zwischen 1 um und 10 um. Die Laserleistung kann näherungsweise 0.1 mJ/Impuls bis 10 mJ/Impuls, und die Impulsbreite näherungsweise 1 ns bis 100 ns betragen. Hierbei ist der durch Isolation abgetrennte Bereich 41 so auszubilden, daß die transparente gemeinsame Elektrode 12 und die transparente gegenüberliegende Elektrode 14 nicht durch Isolation von ihren jeweiligen Anschlüssen abgetrennt werden.
  • Ein Schritt des Bildens des durch Isolation abgetrennten Abschnittes 41 kann nach einem Schritt des Aufeinander-Plazierens des oberen Substrats 13 mit der transparenten gemeinsamen Elektrode 12 auf dem unteren Substrat 15 mit der transparenten gemeinsamen Elektrode 14 eingeführt werden, um eine leere Zelle zu bilden, und vor einem Schritt, der einem Schritt des Befüllens der leeren Zelle mit Flüssigkristallen vorangeht. Der Schritt des Bildens des durch Isolation abgetrennten Abschnitts 41 kann ebenso in einen Arbeitsschritt eingefügt werden, der auf den Schritt des Befüllens der leeren Zelle mit Flüssigkristallen folgt. Hierbei werden in Fällen, in denen die Flüssigkristalle in der Zelle ferroelektrische Flüssigkristalle umfassen, diese Flüssigkristalle an der vom Laserstrahl bestrahlten Stelle lokal erhitzt, wodurch an dieser Stelle eine Störung der Ausrichtung verursacht wird, so daß vorzugsweise ein Wiederausrichtungs-Schritt ausgeführt wird. Die Wiederausrichtung der Flüssigkristalle 16 kann erreicht werden durch Erwärmen der in die ferroelektrische Flüssigkristallanzeigetafel 11 eingefüllten Flüssigkristalle 16 nach dem Bestrahlen durch den Laserstrahl 27, bis diese in einen isotropischen Zustand gelangen, und nachfolgendes langsames Abkühlen mit näherungsweise 5ºC pro Stunde.
  • Das in der Erfindung verwendete obere Substrat 13 und/oder das untere Substrat 15 kann vorzugsweise mit einem Ausrichtungs-Steuerfilm versehen werden, der einer monoaxialen Ausrichtungsbearbeitung unterzogen wurde. Die monoaxiale Ausrichtungsbearbeitung kann mittels Reiben, Schrägbedampfung oder Schrägätzen ausgeführt werden. Als Ausrichtungssteuerfilm sind zum Beispiel organische Ausrichtungssteuerfilme aus Polyimid, Polyamid, Polyamidoimid, Polyester, Polyesterimid, Polyvinylalkohol, Polyethylen usw., oder anorganische Ausrichtungssteuerfilme aus SiO, SiO&sub2;, TiO&sub2;, usw., wie in den U.S. Patenten Nr. 4,561,726 und Nr. 4,639,089 offenbart, verwendbar.
  • Von den genannten Erfindern durchgeführte Experimente zeigten ferner, daß die Funktion der Ausrichtungssteuerung bei Verwendung von Polyimid, Polyamidoimid, Polyesterimid, Polyamid, Polyvinylalkohol, oder SiO&sub2; als Ausrichtungssteuerfilm geringfügig nachteilig beeinflußt ist, selbst nach der lokalen Erhitzung durch den Laserstrahl 27.
  • In einem bevorzugten Ausfünrungsbeispiel der vorliegenden Erfindung kann ein aus SiO&sub2;, TiO&sub2; oder Ta&sub2;O&sub5; erzeugter hochgradig dielektrischer Isolierfilm zwischen der gemeinsamen Elektrode und dem Ausrichtungssteuerfilm sowie zwischen der gegenüberliegenden Elektrode und dem Ausrichtungssteuerfilm vorgesehen sein. Dieser Isolierfilm ist derart ausgebildet, daß die Filmdicke im Allgemeinen 100 bis 5000 Angström, vorzugsweise 300 bis 2000 Angström beträgt. Ist hierbei ein leitfähiger Fremdkörper zwischen dem Substrat der gemeinsamen Elektrode und dem Substrat der gegenüberliegenden Elektrode eingeschlossen, so kann dieser leitfähige Fremdkörper den auf der Elektrode aufgebrachten Isolierfilm durchbrechen, und damit einen Kurzschluß zwischen der gemeinsamen Elektrode und der gegenüberliegenden Elektrode verursachen. Dementsprechend kann das vorstehend beschriebene Reparaturverfahren zur Beseitigung des in Fig. 1A gezeigten Auftretens einer defekten Leitung α-β verwendet werden.
  • Erfindungsgemäß können beispielsweise die in den U.S. Patenten Nr. 4,561,726, Nr. 4,589,996, Nr. 4,592,858, Nr. 4,596,667, Nr. 4,613,209, Nr. 4,614,609, Nr. 4,615,586, Nr. 4,622,165, Nr. 4,639,089, usw. offenbarten Flüssigkristalle als ferroelektrische Flüssigkristalle 16 verwendet werden.
  • Erfindungsgemäß ist es ferner möglich, ein Abstandshalterelement zum Steuern des Einhaltens des konstanten Abstandes zwischen dem oberen Substrat 13 und dem unteren Substrat 15 einzufügen. Als derartige Abstandshalterelemente sind Kunststoffkügelchen oder -perlen, Glaskügelchen, oder dergleichen mit einem Partikeldurchmesser von 0.5 um bis 5 um verwendbar. Als Kunststoffkügelchen sind hierbei Haftharzkügelchen verwendbar, die eine Adhäsion zwischen dem oberen Substrat 13 und dem unteren Substrat 15 ermöglichen. Auch gemischte Kügelchen, die Haftharzkügelchen und Glaskügelchen enthalten, sind verwendbar.
  • Die vorliegende Erfindung nachfolgend anhand von Beispielen beschrieben
    • Beispiel 1
  • Auf Glassubstrate wurden streifenförmige Elektroden, jeweils mit Indiumoxyd bzw. Molybdän, gemäß folgender Tabelle aufgebracht. Indiumoxid (Transparente Elektrode Molybdän (niederohmige Leitung Anzahl Elektrodenbreite Filmdicke Abstand zw. den Elektroden Obere Elektrode Untere Elektrode Leiter
  • Daraufhin wurde ein polymerischer Polyimidfilm (unter Verwendung von SP-710; Handelsname; erhältlich von Toray Industries, Inc.) auf die Elektrodensubstrate aufgebracht und die Ausrichtungsbearbeitung durch Reiben in eine Richtung mit einem Tuch durchgeführt. Auf eines der Substrate wurde ferner eine 0.05% (Gewichtsprozent) SiO&sub2;-Tröpfchen mit einem durchschnittlichen Teilchendurchmesser von 1.5 Uni enthaltende Isopropylalkohollösung durch Schleuderbeschichtung aufgetragen, gefolgt durch Trockung mittels Wärme und Pla zieren des oberen Substrats auf dem unteren Substrat mit Zwischenfügen eines Epoxidkleber enthaltenden Versiegelungsmaterials, dann Erhitzen unter Kontaktbonden, um eine Tafel (leere Zelle) mit einen Zwischenraum von ungefähr 1.5 um zu erzeugen. In die derart erhaltene Tafel wurden ferroelektrische Flüssigkristalle (CS-1014, erhältlich von der Chisso Corporation) eingeschlossen, um eine Anzeigevorrichtung vorzubereiten. Ein darauffolgendes Anlegen von Anzeigesignalen zwischen den oberen und unteren Elektroden resultierte im Auftreten eines Abschnitts, der eine von anderen Elektrodenabschnitten unterschiedlichen Anzeigezustand in Form eines Kreuzes zeigte, wie in Fig. 1A dargestellt. Die Messung des Widerstandswertes zwischen den diesem Abschnitt entsprechenden oberen und unteren Elektroden mit einem Schaltungstester ergab einen Anzeigewert von ca. 30 k Ω, was als kurzgeschlossener Zustand betrachtet wurde. Die Betrachtung der entsprechenden Bildaufnahme unter Verwendung eines Mikroskops (50-fache Vergrößerung) zeigt einen Fremdkörper von näherungsweise 10 um Durchmesser im Bildelement.
  • Diese Anzeigevorrichtung wurde in eine Reparaturvorrichtung mit YAG-Laserstrahl eingesetzt (SL456B; erhältlich von NEC), gezeigt in Abbildung 2, und die Elektrode wurde durch den Laserstrahl unter den folgenden Bedingungen und dem darüber hinaus unveränderten Zustand der Anzeigetafel in der Umgebung des Fremdkörpers durchgetrennt:
  • Wellenlänge: 1.06 um
  • Leistung: 2 mJ/Impuls
  • Strahl: 5 um * 10 um
  • Pulsbreite: 20 ns
  • Die resultierenden Zustände sind in Fig. 5 gezeigt. Die erneute Messung des Widerstandes zwischen denselben Elektroden mittels dem Tester ergab einen Wert von 20 MΩ oder höher, was dem Widerstandswert normaler Elektroden gleichzusetzen ist. Die Anzeigentafel wurde anschließend für 2 Stunden einer Erwärmung bei einer Temperatur von 90ºC und einer langsamen Abkühlung über 8 Stunden auf eine Temperatur von 40º C unterzogen, gefolgt von einem Anlegen von Anzeigesignalen zwischen den oberen und unteren Elektroden. Im Ergebnis war kein Leitungsdefekt in Form des in Fig. 1A gezeigten Kreuzes erkennbar, und selbst in dem mittels Laserreparatur geheilten Bildelement zeigten sich Schalteigenschaften derart, daß die Flüssigkristalle ohne mit bloßem Auge erkennbare Beeinträchtigung der Bildqualität ausgerichtet wurden, was somit eine beachtliche Verbesserung der Anzeigegualität mit sich bringt.
  • Fig. 5A zeigt einen Zustand des oberen Substrates, nachdem das obere und das untere Substrat der leeren Zelle abgeschält wurden, und Fig. 5B zeigt einen Zustand des ebenso abgeschälten unteren Substrates; beides sind mikroskopische Aufnahmen unter 1000-facher Vergrößerung.
    • Beispiel 2
  • Im Experiment wurde hier Beispiel 1 exakt wiederholt, mit der Ausnahme, daß der Schritt der Isolations-Trennbehandlung des kurzgeschlossenen Ortes mit dem in Beispiel 1 verwendeten YAG-Laserstrahl-Reparaturgerät ausgeführt wurde, bevor die leere Zelle mit ferroelektrischen Flüssigkeiten befüllt wurde. Im Ergebnis wurden dieselben Resultate erzielt wie im Beispiel 1.
    • Beispiel 3
  • Zur Ausführung eines Experiments wurde Beispiel 1 genau wiederholt, mit der Ausnahme, daß der bei der Vorbereitung der Zelle in Beispiel 1 verwendete Polyimidfilm durch einen Polyvinylalkohol-Film ersetzt wurde. Im Ergebnis wurden dieselben Resultate erzielt wie im Beispiel 1.
    • Beispiel 4
  • Zur Ausführung eines Experiments wurde Beispiel 1 exakt wiederholt, mit der Ausnahme, daß ein SiO&sub2;-Film der Dicke 500 Angström aufgebracht wurde, bevor der Polyimidfilm auf das bei der Vorbereitung der Zelle in Beispiel 1 verwendete Glassubstrat aufgebracht wurde Im Ergebnis wurden dieselben Resultate erzielt wie im Beispiel 1.
    • Beispiel 5
  • Zur Ausführung eines Experiments wurde Beispiel 4 exakt wiederholt, mit der Ausnahme, daß anstelle des SiO&sub2;-Films aus Beispiel 4 ein Ta&sub2;O&sub5;-Film verwendet wurde. Im Ergebnis wurden dieselben Resultate erzielt wie im Beispiel 4.
    • Beispiel 6
  • Zur Ausführung eines Experiments wurde Beispiel 4 exakt wiederholt, mit der Ausnahme, daß anstelle des SiO&sub2;-Films aus Beispiel 4 ein TiO&sub2;-Film verwendet wurde. Im Ergebnis wurden dieselben Resultate erzielt wie im Beispiel 4.

Claims (15)

1. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle von einer Schaltungsanordnung, wobei die Anordnung wechselseitig gegenüberliegend angeordnet ein erstes Substrat (13) und ein zweites Substrat (15), eine Vielzahl von ersten, auf der innenliegenden Oberfläche des ersten Substrats angeordnete Elektroden (12), und eine Vielzahl von zweiten, auf der innenliegenden Oberfläche des zweiten Substrats angeordnete Elektroden (14) beinhaltet, die ersten und zweiten Elektroden derart angeordnet sind, daß sie eine Vielzahl wechselseitig gegenüberliegender Abschnitte bilden, und das Verfahren
die nachfolgenden Schritte umfaßt:
(a) Ermitteln einer Stelle aus der Vielzahl der wechselseitig gegenüberliegenden Abschnitte, an der ein Kurzschluß aufgetreten ist, und
(b) Trennen der kurzgeschlossenen Stelle von zumindest einer der ersten Elektroden (12a) oder zumindest einer der zweiten Elektroden (14a) durch Isolation.
2. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 1, wobei der Schritt des Trennens durch Isolation einen Schritt des Bestrahlens mit einem Las erstrahl (27) umfaßt.
3. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 1, wobei der Laserstrahl (27) durch einen YAG-Laser, einen Rubin-Laserstrahl oder einen CO&sub2;-Laserstrahl erzeugt wird.
4. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 1, wobei die kurzgeschlossene Stelle durch Isolation von der zumindest einen der ersten Elektroden (12a) und der zumindest einen der zweiten Elektroden (14a) getrennt wird.
5. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 1, wobei der Schritt des Trennens das Isolieren der kurzgeschlossenen Stelle von der zumindest einen der ersten Elektroden (12a) und der zumindest einen der zweiten Elektroden (14a) derart, daß die elektrische Einheit der ersten (12) und der zweiten Elektroden (14), von denen die kurzgeschlossene Stelle getrennt wird, nach dem Trennen aufrechterhalten wird, umfaßt.
6. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 1, wobei die Vielzahl der ersten Elektroden (12) entweder als Abtast- oder Signalelektroden und die Vielzahl der zweiten Elektroden als die jeweilige andere arbeiten.
7. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 1, darüber hinaus einen Schritt umfassend, der einen Ausrichtungssteuerfilm auf dem ersten (13) und dem zweiten Substrat (15) erzeugt.
8. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 7, wobei der Ausrichtungssteuerfilm aus zumindest einem aus der aus Polyimid, Polyaminoimid, Polyesterimid, Polyamid, Polyvinyl-Alkohol und SiO&sub2; bestehenden Gruppe ausgewählten Material besteht.
9. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 7, wobei ein isolierender Film zwischen dem Ausrichtungssteuerfilm und den ersten Elektroden (12) sowie zwischen dem Ausrichtungssteuerfilm und den zweiten Elektroden (14) vorgesehen ist.
10. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 9, wobei der isolierende Film SiO&sub2;, TiO&sub2;, oder Ta&sub2;O&sub5; umfaßt.
11. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 7, wobei der Ausrichtungssteuerfilm einer monoaxialen Reibebehandlung unterzogen wird.
12. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 7, wobei der Ausrichtungssteuerfilm einer monoaxialen Schrägbedampfungsbehandlung unterzogen wird.
13. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 1, darüber hinaus den Schritt (c) des Befüllens des Zwischenraums zwischen dem ersten (13) und dem zweiten Substrat (15) mit einem Flüssigkristall (16) umfassend.
14. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 13, wobei der Schritt (b) ein dem Schritt (c) vorangehender Schritt ist.
15. Verfahren zur Trennung einer kurzgeschlossenen Stelle nach Anspruch 13, wobei der Schritt (b) ein dem Schritt (c) nachfolgender Schritt ist.
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