DE3838988C1

DE3838988C1 - Vacuum clamping device

Info

Publication number: DE3838988C1
Application number: DE19883838988
Authority: DE
Inventors: Heinz 7300 Esslingen De Mielenz
Original assignee: Heinz Mielenz Cnc-Bearbeitung 7316 Koengen De GmbH
Current assignee: Heinz Mielenz Cnc-Bearbeitung 7316 Koengen De GmbH
Priority date: 1988-11-18
Filing date: 1988-11-18
Publication date: 1989-12-07

Abstract

A vacuum clamping device for non-magnetic and/or sensitive workpieces contains a mounting table which contains a multiplicity of intersecting slots on its top side. The slots define prominences which are separated from one another all round. The top side of the prominences form the mounting surface of the table. At least one chamber which can be acted upon by a vacuum is provided in the mounting table. The chamber is connected via at least one passage to at least one of the slots. In order to be able to fix additional lateral stops at any point without impairing the vacuum supply in the slots or making the sealing more difficult, a T-slot is provided at least on one side of the mounting table.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumspannvorrichtung mit den Merkmalen des Oberbegriffes des Anspruches 1.The invention relates to a vacuum clamping device the features of the preamble of claim 1.

Um verzugsempfindliche nichtmagnetische Teile auf Ma schinen spanabhebend zu bearbeiten, werden die Teile auf Vakuumspannvorrichtungen festgehalten, wie sie beispiels weise in der DE-AS 19 23 833 gezeigt sind. Diese Vakuum spannvorrichtung enthält eine rechteckige Werkstück- Aufspannplatte, in deren Oberseite ein Nutenraster, be stehend aus rechtwinklig einander schneidenden Nuten eingearbeitet ist. Diese Nuten dienen dem Einlegen von Dichtungsschnüren zur Bildung von Saugfeldern unterhalb von Werkstücken, die auf die Oberseite der Werkstück- Aufspannplatte aufgesetzt sind.To measure non-magnetic parts sensitive to warping on Ma Machining seem to machine, the parts are on Vacuum clamping devices, such as those held as shown in DE-AS 19 23 833. This vacuum clamping device contains a rectangular workpiece Platen, in the top of which a slot pattern, be standing from grooves intersecting at right angles is incorporated. These grooves are used to insert Sealing cords to form suction fields below of workpieces that are on top of the workpiece Platen are attached.

An jeder Schnittstelle zweier Nuten ist eine Bohrung vor gesehen, die strömungsmäßig mit einem Unterdruckverteiler system in Verbindung steht. Bei der Benutzung der bekann ten Vakuumspannvorrichtung werden alle außerhalb der Saug felder liegenden Bohrungen durch Stopfen verschlossen, so daß beim Beaufschlagen mit Unterdruck das auf der Aufspannseite befindliche Werkstück vom Vakuum auf die Oberseite der Aufspannplatte niedergezogen wird. Die in die Nuten eingelegten Dichtungen sorgen dabei für eine entsprechende Abdichtung und verhindern Leckluft.There is a hole at each intersection of two grooves seen the flow with a vacuum manifold system is connected. When using the known th vacuum clamping device are all outside the suction bores in the field are closed by plugs, so that when applied with negative pressure on the Workpiece located on the clamping side from vacuum to Top of the platen is pulled down. In the the grooves inserted seals ensure a appropriate sealing and prevent leakage air.

Um komplizierte Teile auch seitlich abstützen zu können, sind bei der bekannten Vakuumspannvorrichtung Werkstück- Anschlagelemente vorgesehen, die auf der Oberseite der Werkstück-Aufspannplatte ebenfalls durch ein Vakuum wie das Werkstück selbst festgelegt werden. Die Werkstück- Anschlagelemente besitzen mit Vakuum beaufschlagbare Werkstück-Anschlagflächen, wobei das Vakuum teilweise separat und teilweise über die Werkstück-Aufspannplatte zugeführt wird.In order to be able to support complicated parts laterally, are workpiece in the known vacuum clamping device Stop elements provided on the top of the Workpiece platen also through a vacuum like the workpiece itself can be determined. The workpiece Stop elements have a vacuum Workpiece stop surfaces, the vacuum being partial separately and partly via the workpiece clamping plate is fed.

Weil bei der bekannten Anordnung die Werkstück-Anschlag elemente nur vom Vakuum festgehalten werden, besteht eine erhöhte Gefahr, falls infolge von Undichtigkeiten das Vakuum so weit zusammenbricht, daß die auftretenden Be arbeitungskräfte die Haltekräfte des Werkstücks und der Werkstück-Anschlagelemente überwinden. Das bearbeitete Werkstück wird dann von der Aufspannplatte herunterge rissen.Because in the known arrangement, the workpiece stop elements are only held in place by the vacuum increased danger if this is due to leaks Vacuum breaks down so far that the occurring Be workers the holding forces of the workpiece and the Overcome workpiece stop elements. The edited The workpiece is then pulled down from the clamping plate tore.

Außerdem ist eine exakte Positionierung des Werkstückes auf der Aufspannplatte nur mit Hilfe von Fixierstiften möglich, die in entsprechenden Paßbohrungen der Ober seite der Aufspannplatte vorgesehen sind, denn die zu sätzlichen Werkstück-Anschlagelemente sind nach dem Ab schalten des Vakuums auf der Oberseite der Werkstück- Aufspannplatte frei beweglich und können nicht zur Po sitionierung herangezogen werden. Eine lagerichtige Festlegung der Werkstücke vor dem Einschalten des Vakuums ist deswegen nur bei solchen Werkstücken möglich, die hierzu an ihrer der Werkstück-Aufspannplatte benachbar ten Seite entsprechende Öffnungen oder Durchbrechungen enthalten, wenn nicht andererseits auf seitlich stützende Werkstück-Anschlagelemente verzichtet werden soll.There is also an exact positioning of the workpiece on the clamping plate only with the help of fixing pins possible in the corresponding fitting holes of the upper side of the platen are provided, because the too additional workpiece stop elements are after Ab switching the vacuum on the top of the workpiece Clamping plate can move freely and cannot go to the bottom sitioning can be used. A correct position Determining the workpieces before switching on the vacuum is therefore only possible with workpieces that to this end on the workpiece platen corresponding openings or openings on the side included, if not on the side support Workpiece stop elements should be dispensed with.

Ferner ist bei der bekannten Vakuumspannvorrichtung eine exakte Anpassung der Gestalt der Werkstück-Anschlag elemente an die Werkstückform bzw. -größe erforderlich, da die Dichtung in der Werkstück-Anschlagfläche nur in eine randseitig umlaufende Nut eingelegt werden kann.Furthermore, the known vacuum clamping device an exact adjustment of the shape of the workpiece stop elements to the workpiece shape or size required, since the seal in the workpiece stop surface is only in a groove running around the edge can be inserted.

Ausgehend hiervon ist es Aufgabe der Erfindung, eine Vakuumspannvorrichtung zu schaffen, bei der die zusätz lichen, seitlich am Werkstück angreifenden Anschläge in weiten Grenzen flexibel verstellbar sind und die eine erhöhte Sicherheit beim Festhalten der Werkstücke gewährleistet, selbst dann, wenn das Vakuum nachläßt.Based on this, it is an object of the invention to To create vacuum clamping device in which the additional The same stops that act laterally on the workpiece are flexibly adjustable within wide limits and increased security when holding the workpieces guaranteed, even if the vacuum subsides.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Vakuumspann vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.The object is achieved by the vacuum clamping device with the features of claim 1 solved.

Eine Vakuumspannvorrichtung, bei der die Werkstück- Anschlagelemente ohne Zuhilfenahme des Vakuums mechanisch auf der Werkstück-Aufspannplatte festgelegt sind, ist aus der US-PS 32 21 201 bekannt. Die Werkstück-Aufspann platte enthält auf ihrer planen und von Nuten freien Oberseite mehrere Gewindebohrungen, die am Rand der rechteckigen Werkstück-Aufspannplatte liegen. Mit die sen Gewindebohrungen werden unter Zuhilfenahmen von Spannpratzen mit Langlöchern Werkstück-Unterlagen auf der Oberseite der Werkstück-Aufspannplatte festgeklemmt, wobei die Stirn seiten der Spannpratzen zugleich Werkstück-Anschlagflächen für das Werkstück bilden, das auf den Werkstück-Unterlagen aufgelegt ist.A vacuum clamping device in which the workpiece Mechanical stop elements without the aid of the vacuum are fixed on the workpiece platen known from US-PS 32 21 201. The workpiece clamping plate contains on your tarpaulin and free of grooves Top several tapped holes on the edge of the rectangular workpiece platen. With the tapped holes are made with the help of Clamping claws with elongated holes on the top of the workpiece supports Workpiece clamping plate clamped, the forehead sides of the clamping claws at the same time workpiece stop surfaces for form the workpiece on the workpiece base is on the hook.

Die längs dem Rand der Aufspannplatte verlaufende T-Nut erlaubt eine sehr stabile und robuste Befestigung der Werkstück-Anschlagelemente, wobei andererseits ein sehr großer Verstellbereich möglich ist. Insbe sondere gestattet es die T-Nut, das Werkstück-Anschlag element beim Festziehen der T-Nutenschraube auf der Ober seite der Vakuumspannvorrichtung niederzuziehen. Dadurch wird, obwohl die Befestigung der Werkstück-Anschlag elemente unter Umständen weit von dem Werkstück entfernt liegt, ein Spalt zwischen dem Werkstück-Anschlagelement und der Oberseite der Aufspannplatte sicher vermieden, der sonst bei der Bearbeitung zu Schwingungen führen könnte. Außerdem können in das solchermaßen befestigte Werkstück-Anschlagelement auch Querkräfte eingeleitet werden, die einen nennenswerten Abstand von der Ober seite der Aufspannplatte haben und deswegen an dem Werkstück-Anschlagelement ein hohes Kippmoment erzeugen, das bestrebt ist, das Werkstück-Anschlagelement von der Oberseite der Aufspannplatte abzuheben. Es ist deswegen mit der neuen Vakuumspannvorrichtung ohne weiteres möglich, die Innenseiten von dünnwandigen Werkstücken zu bearbeiten, ohne durch die auftretenden Schnitt- und Vorschubkräfte das Werkstück zu verformen, was sonst zu Meßfehlern führen würde. The one running along the edge of the platen T-slot allows a very stable and robust attachment the workpiece stop elements, on the other hand a very large adjustment range is possible. In particular in particular, the T-slot allows the workpiece stop element when tightening the T-slot screw on the top side of the vacuum chuck. Thereby will, although fixing the workpiece stop elements far away from the workpiece is a gap between the workpiece stop element and safely avoided the top of the platen, which otherwise lead to vibrations during machining could. It can also be fixed in such a way Workpiece stop element also introduced transverse forces be a significant distance from the upper side of the platen and therefore on the Workpiece stop element generate a high tilting moment which strives to remove the workpiece stop element from the Lift off the top of the clamping plate. It’s because of that easily with the new vacuum clamping device possible, the inside of thin-walled workpieces to edit without cutting and Feed forces to deform the workpiece, what else to Would lead to measurement errors.

Die Lagegenauigkeit des Werkstückes nach dem Spannen wird verbessert, weil auch die Werkstück-Anschlagelemente, an denen das Werkstück anliegt, in ihren Werkstück-Anlage flächen ein Nutenraster enthalten, um auch die Seiten wände des Werkstückes aktiv festzuhalten. Die Seiten wände von Werkstücken werden hierdurch gegenüber Biege momenten abgestützt, die während der Bearbeitung be strebt sind, die Seitenwand von dem Werkstück-Anschlag element weg nach innen zur Innenseite des Werkstückes hin zu biegen.The positional accuracy of the workpiece after clamping improved because also the workpiece stop elements in which the workpiece is in their workpiece system A grooved grid included to include the sides actively hold onto the walls of the workpiece. The sides walls of workpieces are thereby bent moments supported during machining strives, the side wall of the workpiece stop element away inwards to the inside of the workpiece to bend there.

Weil einige der Werkstück-Anschlagelemente mit der Vakuum- Aufspannplatte und einige der Werkstück-Anschlagelemente von einem davon unabhängigen Vakuum beaufschlagt sind, sowie andererseits einige Werkstück-Anschlagelemente unabhängig vom Vakuum fest auf der Aufspannplatte sitzen, erleichtert sie die Handhabung erheblich, beispielsweise bei einem quaderförmigen Werkstück können drei Werk stück-Anschlagflächen fix bleiben und das von ihnen aus geübte Vakuum wird praktisch gleichzeitig wirksam. Das Werkstück wird dadurch gleichmäßig in eine Lage gezogen, die von drei jeweils rechtwinklig zueinander verlaufen den Werkstück-Anschlagflächen festgelegt ist. Die Spann genauigkeit ist folglich von der Sorgfalt des Bedien personals weitgehend unabhängig und es ist auch eine automatische Aufspannung möglich.Because some of the workpiece Clamping plate and some of the workpiece stop elements are acted upon by an independent vacuum, as well as some workpiece stop elements sit firmly on the platen regardless of the vacuum, it makes handling considerably easier, for example in the case of a cuboid workpiece, three works piece stop faces remain fixed and that from them practiced vacuum is effective practically at the same time. The This pulls the workpiece evenly into one position of three of which are perpendicular to each other the workpiece contact surfaces is fixed. The instep accuracy therefore depends on the care of the operator Personals largely independent and it is also one automatic clamping possible.

Wenn die fest auf dem Werktisch vorgesehene Werkstück- Anschlagelemente eine zu der Unterseite hin offene Kammer enthalten, können sie in weiten Bereichen verstellt werden, ohne daß die Gefahr besteht, daß versehentlich der Vakuumeinlaß für das Werkstück-Anschlagelement über eine Erhöhung der Aufspannplatte zu liegen kommt und des wegen verschlossen ist.If the workpiece Stop elements a chamber open to the bottom contain, they can be adjusted in wide ranges become, without the danger that the Vacuum inlet for the workpiece stop element above an increase in the platen comes to rest and the is closed because of.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Ge genstandes der Erfindung dargestellt. Es zeigtIn the drawing is an embodiment of the Ge the subject of the invention. It shows

Fig. 1 eine Vakuumspannvorrichtung gemäß der Erfin dung in einer Draufsicht, Fig. 1 is a vacuum chuck according to the dung OF INVENTION in a plan view,

Fig. 2 die Vakuumspannvorrichtung nach Fig. 1 in einem Querschnitt entlang der Linie I-I nach Fig. 1 in einer verkürzten Darstellung und ohne die seitlichen bzw. hinteren Werkstück- Anschlagelemente, Fig. 2, the vacuum chuck of FIG. 1 in a cross section along the line II of Fig. 1 in a shortened representation and without the side and rear workpiece stop elements,

Fig. 3 eines der seitlichen Werkstück-Anschlagelemente der Vakuumspannvorrichtung nach Fig. 1 in einem Querschnitt, Fig. 3 of one of the side workpiece-abutment elements of the vacuum chuck of FIG. 1 in a cross section,

Fig. 4 das Werkstück-Anschlagelement nach Fig. 3 in einer Draufsicht, Fig. 4, the workpiece-abutment member of Fig. 3 in a plan view,

Fig. 5 ein Werkstück-Anschlagelement der Vakuumspann vorrichtung nach Fig. 1, mit einer unabhängigen Vakuumversorgung in einer Draufsicht und Fig. 5 is a workpiece stop element of the vacuum clamping device according to Fig. 1, with an independent vacuum supply in a plan view and

Fig. 6 ein Rückschlagventil für die Vakuumspannvor richtung nach Fig. 1 in einem Querschnitt. Fig. 6 shows a check valve for the vacuum clamping device according to Fig. 1 in a cross section.

Fig. 1 zeigt eine Vakuumspannvorrichtung 1 für nicht magnetische und/oder empfindliche Werkstücke in einer Ansicht von oben. Die Vakuumspannvorrichtung 1 enthält eine etwa quaderförmige quadratische Werkstück-Aufspann platte 2 mit einer oben liegenden planen Oberseite 3, vier rechtwinklig dazu verlaufenden Seitenflächen 4, 5, 6 und 7 sowie einer in Fig. 2 erkennbaren Boden fläche 8, die ebenfalls plan ist. In die Oberseite 3, die gleichzeitig die Aufspannfläche für Werkstücke bildet, sind in der Nähe der Seitenflächen 4, 5, 6 und 7 jeweils vier zu der benachbarten Seitenfläche 4, 5, 6, 7 parallel verlaufende T-Nuten 9 eingearbeitet, die mit geringem Abstand von der zugehörigen Seiten fläche 4, 5, 6, 7 verlaufen und die sich mit ihrem Schlitz 11 nach oben öffnen. Die insgesamt vier T-Nuten 9 begrenzen eine ebenfalls quadratische Werkstück-Anschlagfläche 12 auf der planen Oberseite 3. Fig. 1 shows a vacuum chuck 1 for non-magnetic and / or delicate workpieces in a view from above. The vacuum clamping device 1 contains an approximately cuboid square workpiece clamping plate 2 with an overhead flat top 3 , four rectangular side surfaces 4, 5, 6 and 7 and a recognizable in Fig. 2 bottom surface 8 , which is also flat. In the upper side 3 , which also forms the clamping surface for workpieces, four T-grooves 9 running parallel to the adjacent side surfaces 4, 5, 6, 7 are incorporated in the vicinity of the side surfaces 4, 5, 6 and 7 , which have a small Distance from the associated side surface 4, 5, 6, 7 and which open with their slot 11 upwards. The total of four T-grooves 9 delimit a likewise square workpiece stop surface 12 on the flat upper side 3 .

Die Werkstück-Anschlagfläche 12 durchziehen zwei Gruppen von Nu ten 13 und 14. Die Nuten 13 sind äquidistant parallel zueinander und parallel zu den beiden Seitenflächen 5 und 7 angeordnet, während die Nuten 14, die eben falls äquidistant auf der Werkstück-Anschlagfläche 12 verteilt sind, rechtwinklig zu den Nuten 13 verlaufen. Hierdurch entstehen auf der Werkstück-Anschlagfläche 12 eine große Viel zahl von Auflagestellen 15 mit quadratischer ebener Oberseite, die voneinander durch die Nuten 13 und 14 getrennt sind. Die Oberseiten der Auflagestellen 15 befinden sich alle in derselben Ebene, nämlich der Ebene der Oberseite 3. Sie sind darüber hinaus mit den Rändern der T-Nuten 9 bündig.The workpiece stop surface 12 run through two groups of Nu th 13 and 14th The grooves 13 are arranged equidistantly parallel to one another and parallel to the two side surfaces 5 and 7 , while the grooves 14 , which are also distributed equidistantly on the workpiece stop surface 12 , run at right angles to the grooves 13 . This creates on the workpiece stop surface 12 a large number of support points 15 with a square flat top, which are separated from one another by the grooves 13 and 14 . The upper sides of the support points 15 are all in the same plane, namely the plane of the upper side 3 . They are also flush with the edges of the T-slots 9 .

Wie der Querschnitt von Fig. 2 veranschaulicht, befin den sich in der Werkstück-Aufspannplatte 2 zwei nach unten zu offene Kammern 16 und 17, die an der Bodenfläche 8 der Werkstück-Aufspannplatte 2 durch eine Bodenplatte 18, die in die Bodenfläche 8 eingelassen ist, abgedichtet ver schlossen sind. Durch die Bodenplatte 18 sind auch die beiden Kammern 16 und 17 gegeneinander abgedich tet. Die Bodenplatte 18 wird durch mehrere in die Werkstück-Aufspannplatte 2 eingeschraubte Senkschrauben 19, 21 und 22 festgehalten.As the cross section of Fig. 2 illustrates really near to a 2-two by the which is let into the bottom surface 8 in the workpiece mounting plate down to open chambers 16 and 17, on the bottom surface 8 of the workpiece clamping plate 2 by a bottom plate 18, , are sealed sealed. Through the base plate 18 , the two chambers 16 and 17 are sealed against each other. The base plate 18 is held in place by several countersunk screws 19, 21 and 22 screwed into the workpiece clamping plate 2 .

In die Kammer 16 münden zwei Bohrungen oder Kanäle 23 und 24, von denen der eine die Kammer 16 mit einer Nut 16 in der Werkstück-Anschlagfläche 12 und der andere die Kam mer 16 mit einer an der Seitenfläche 5 angeflanschten Anschlußeinrichtung 25 verbindet. Entsprechende Boh rungen oder Kanäle 26 und 27 verbinden die Kammer 17 mit einer Nut 13 sowie einer weiteren Anschlußein richtung 28, die an der Seitenfläche 7 befestigt ist. Die beiden Anschlußeinrichtungen 25 und 28 enthalten 3/2-Wegeventile sowie ein in Fig. 6 im Querschnitt gezeigtes Rückschlagventil und dienen dazu, die jeweils zugehörige Kammer 16 bzw. 17 wahl weise mit einer oder mehreren nicht veranschaulich ten Unterdruckquellen zu verbinden oder in der ande ren Stellung des Wegeventils nach außen zu belüften.Open into the chamber 16, 23 and 24, each of which connects two bores or channels of a chamber 16 with a groove 16 in the workpiece-abutment surface 12 and the other the Kam mer 16 with a flange-mounted on the side surface 5 connecting device 25th Corresponding Boh stanchions or channels 26 and 27 connect the chamber 17 with a groove 13 and a further connection device 28 which is attached to the side surface 7 . The two connection devices 25 and 28 contain 3/2-way valves and a check valve shown in cross section in FIG. 6 and serve to connect the associated chamber 16 or 17 either with one or more vacuum sources (not illustrated) or in the other to vent the position of the directional control valve to the outside.

Das Festhalten der Werkstücke auf der Vakuumspannvor richtung 1 erfolgt einerseits mit Hilfe von Vakuum und andererseits mit Hilfe etwa L-förmiger Werkstück-Anschlagelemente 29 und 31, die nach außen hin etwa gleiches Aus sehen haben, sich aber an der Unterseite unterschei den. Das Werkstück-Anschlagelement 29 ist in Fig. 3 im Querschnitt dar gestellt und weist, wie dort zu erkennen ist, einen aufrecht stehenden Schenkel 32 sowie einen liegenden Schenkel 33 auf. Der liegende Schenkel 33 geht an seiner Unterseite 34 glatt in den Schenkel 32 über, damit sich eine vollständig ebene Auflagefläche ergibt. Der lie gende Schenkel 33 dient der Halterung des Werkstück-Anschlagelementes 29 an einer der T-Nuten 9 und enthält zu diesem Zweck zwei in Längsrichtung des Schenkels 33 sich erstrecken de Langlöcher 35 und 36, die in Fig. 4 zu sehen sind. Die Langlöcher 35 und 36 durchsetzen den liegenden Schenkel 33 von oben bis hin zu seiner Unterseite 34 und sind parallel zueinander.The holding of the workpieces on the vacuum clamping device 1 takes place on the one hand with the help of vacuum and on the other hand with the help of approximately L-shaped workpiece stop elements 29 and 31 , which have approximately the same outward appearance, but differ on the underside. The workpiece stop element 29 is shown in cross section in FIG. 3 and, as can be seen there, has an upright leg 32 and a lying leg 33 . The lying leg 33 merges smoothly into the leg 32 on its underside 34 , so that a completely flat contact surface results. The lying leg 33 is used to hold the workpiece stop element 29 on one of the T-grooves 9 and for this purpose contains two elongated holes 35 and 36 extending in the longitudinal direction of the leg 33 , which can be seen in FIG. 4. The elongated holes 35 and 36 pass through the lying leg 33 from above to its underside 34 and are parallel to one another.

Eine von dem liegenden Schenkel 33 weg weisende plane Werkstück- Anschlagfläche 37 bildet die eigentliche Anschlagfläche für ein Werkstück und sie ist, wie die Werkstück-Anschlagfläche 12 von einer Vielzahl sich rechtwinklig schneidender Nuten 13 und 14 durchzogen. Die Nuten 13 verlaufen parallel zu der Unterseite 34, während die Nuten 14 rechtwinklig eingearbeitet sind, so daß sich wiederum rechteckige Auflagestellen 15 mit planer Oberseite ergeben.A flat workpiece stop surface 37 facing away from the lying leg 33 forms the actual stop surface for a workpiece and, like the workpiece stop surface 12 , is traversed by a multiplicity of grooves 13 and 14 intersecting at right angles. The grooves 13 run parallel to the underside 34 , while the grooves 14 are incorporated at right angles, so that in turn there are rectangular support points 15 with a flat top.

Um in diesen Nuten 14 und 15 ein Vakuum erzeugen zu können, enthält der aufrecht stehende Schenkel 32 mit der Werk stück-Anschlagfläche 37 eine kleine Kammer 38, die zu der Unterseite 34 hin offen ist und über zwei Bohrungen 39 mit einer der Nuten 13, 14 strömungsmäßig in Verbindung steht.In order to be able to generate a vacuum in these grooves 14 and 15 , the upright leg 32 with the workpiece abutment surface 37 contains a small chamber 38 which is open towards the underside 34 and via two bores 39 with one of the grooves 13, 14 is connected in terms of flow.

Die andere Art von Werkstück-Anschlagelementen 31 hat dieselbe äußere Gestalt wie die Werkstück-Anschlagelemente 29, weshalb für wiederkehren de Teile dieselben Bezugszeichen wie im Zusammenhang mit den Fig. 3 und 4 verwendet sind. Der Unterschied zwischen den Werkstück-Anschlagelementen 29 und 31 besteht im wesent lichen darin, daß bei dem Werkstück-Anschlagelement 31 die zu der Unterseite 34 hin offene Kammer fehlt und statt dessen in dem liegenden Schenkel 33 eine Sackbohrung 41 vor gesehen ist, die an einer Rückseite 42 des liegen den Schenkels 33 beginnt und in der Nähe der Werkstück-An schlagfläche 37 endet. Über zwei Bohrungen 42 kleineren Durchmessers ist die Sackbohrung 41 strömungsmäßig mit den Nuten 13 und 14 in der Werkstück-Anschlagfläche 37 ver bunden. Damit die Bohrungen 41 und 43 mit Vakuum beaufschlagt werden können, ist in die Bohrung 41 von der Rückseite 42 des Werkstück-Anschlagelementes 31 her ein Anschlußnippel 44 eingeschraubt.The other type of workpiece stop elements 31 has the same outer shape as the workpiece stop elements 29 , which is why the same reference numerals are used for recurring parts as in connection with FIGS. 3 and 4. The difference between the workpiece stop elements 29 and 31 consists in the union that the workpiece stop element 31 lacks the open chamber to the underside 34 and instead a blind bore 41 is seen in the lying leg 33 , which on a Back 42 of the lie leg 33 begins and ends in the vicinity of the workpiece abutment surface 37 . Via two bores 42 of smaller diameter, the blind bore 41 is fluidly connected to the grooves 13 and 14 in the workpiece stop surface 37 . So that the bores 41 and 43 can be subjected to vacuum, a connecting nipple 44 is screwed into the bore 41 from the rear 42 of the workpiece stop element 31 .

Wenn auf der gezeigten Vakuumspannvorrichtung 1 gleich zeitig zwei Werkstücke gespannt werden sollen, ist vorzugsweise noch ein weiteres, etwa balkenförmig gestaltetes Werkstück-Anschlagelement 45 vorhanden, das sich über die gesamte Werkstück-Anschlagfläche 12 erstreckt und an seinen Enden Bohrungen enthält, um mit Hilfe von Schrauben 46 in zwei zueinander parallel laufenden T-Nuten befestigt zu werden. Das Werkstück-Anschlagelement 45 trägt zwei zueinander parallele Werkstück-Anschlagflächen 47 und 48, die in einem mittleren Bereich in der gleichen Weise durch horizontal und vertikal ver laufende Nuten 13 und 14 gerastert sind wie die Werkstück-An schlagfläche 12. Damit entstehen auf den beiden Werkstück-An schlagflächen 47 und 48 eine Vielzahl von Anlage stellen 15, wie sie auch die Werkstück-Anschlagfläche 12 zeigt. Um in denjenigen Nuten, denen eine Fläche des zu be arbeitenden Werkstückes gegenübersteht, ein Vakuum erzeugen zu können, geht von der Werkstück-Anschlagfläche 48 eine Bohrung 49 aus in Richtung auf eine Kammer 51, die das balkenförmige Werkstück-Anschlagelement 45 über etwa den gerasterten Bereich durchzieht und die in Richtung auf die Werkstück-Anschlagfläche 12 hin offen ist. Die Vakuum versorgung der Kammer 51 kann entweder durch Nuten 13 und 14 der Werkstück-Anschlagfläche 12 erfolgen oder aber es kann eine zusätzliche Bohrung 52 vorgesehen sein, um eine unter der Kammer 51 befindliche Nut 13 oder 14 unmittelbar mit der Kammer 16 zu verbinden. Sinngemäß die gleiche Anordnung ist für die Werkstück-Anschlagfläche 47 vorgesehen, wobei hier eine Verbindung mit der Kam mer 17 besteht.If two workpieces are to be clamped at the same time on the vacuum clamping device 1 shown, there is preferably a further, approximately beam-shaped workpiece stop element 45 which extends over the entire workpiece stop surface 12 and contains holes at its ends in order to with the aid of Screws 46 to be fastened in two mutually parallel T-slots. The workpiece stop element 45 carries two mutually parallel workpiece stop surfaces 47 and 48 , which are rasterized in a central region in the same way by horizontally and vertically running grooves 13 and 14 as the workpiece stop surface 12 . This creates on the two workpiece abutment surfaces 47 and 48 a large number of plant 15 , as the workpiece abutment surface 12 shows. In order to be able to generate a vacuum in those grooves which face a surface of the workpiece to be machined, a bore 49 extends from the workpiece stop surface 48 in the direction of a chamber 51 which the bar-shaped workpiece stop element 45 has about the grid pattern The area runs through and is open in the direction of the workpiece stop surface 12 . The vacuum supply of the chamber 51 can either take place through grooves 13 and 14 of the workpiece stop surface 12 or an additional bore 52 can be provided in order to connect a groove 13 or 14 located under the chamber 51 directly to the chamber 16 . Analogously, the same arrangement is provided for the workpiece stop surface 47 , here there is a connection with the chamber 17 .

Damit beim Abschalten der Unterdruckquelle oder bei Un dichtigkeiten in den Schlauchleitungen, die die Va kuumspannvorrichtung 1 mit der Unterdruckquelle ver binden, das Vakuum in den verschiedenen Kammern der Vakuumspannvorrichtung 1 nicht zusammenbricht, sind zu mindest in den Anschlußvorrichtungen 25 und 28 Rück schlagventile angeordnet, die ein Einströmen von Luft in die Kammern 16 und 17 verhindern.So that when switching off the vacuum source or in the case of leaks in the hose lines which connect the vacuum clamping device 1 to the vacuum source, the vacuum in the various chambers of the vacuum clamping device 1 does not break down, check valves are arranged at least in the connecting devices 25 and 28 , which prevent air from flowing into the chambers 16 and 17 .

Wie Fig. 6 erkennen läßt, ist zwischen einem Schlauch anschlußnippel 53 und einen 3/2-Wegeventil 54 ein Rückschlagventil 55 vorgesehen. Dieses Rückschlag ventil 55 weist ein etwa zylindrisches Gehäuse 56 auf, das eine koaxiale Stufenbohrung 57 enthält. In ein Gewinde der Stufenbohrung 57 ist mit einem zugehörigen Gewindeansatz 58 der Schlauchanschlußnippel 53 einge schraubt und außerdem befindet sich in dem Bereich der Stufenbohrung 57 mit dem größeren Durchmesser, der auch das Gewinde enthält, eine Kugel 59 als Ventilverschlußglied, die durch eine Feder 61 in An lage mit einer Schulter 62 gehalten wird, die die Stufenbohrung an der Stelle der Durchmesserverjüngung ausbildet. Der Abschnitt der Stufenbohrung 57 mit dem kleineren Durchmesser mündet in das 3/2-Wege ventil 54, dessen mit der Kammer 16 bzw. 17 verbunde ner Strömungskanal bei 63 zu sehen ist.As can be seen in FIG. 6, a check valve 55 is provided between a hose connection nipple 53 and a 3/2-way valve 54 . This check valve 55 has an approximately cylindrical housing 56 which contains a coaxial stepped bore 57 . In a thread of the stepped bore 57 , the hose connection nipple 53 is screwed in with an associated threaded shoulder 58 and there is also in the area of the stepped bore 57 with the larger diameter, which also contains the thread, a ball 59 as a valve closure member which is connected by a spring 61 in Is held in place with a shoulder 62 which forms the stepped bore at the location of the diameter taper. The section of the stepped bore 57 with the smaller diameter opens into the 3/2-way valve 54 , the flow channel connected to the chamber 16 and 17 of which can be seen at 63 .

Mit Hilfe von Bohrungen 64 ist die Anschlußeinrichtung 25 bzw. 28 an der Seitenfläche 5, 7 zu befestigen. With the help of holes 64 , the connection device 25 or 28 is to be fastened to the side surface 5, 7 .

Die insoweit beschriebene Vakuumspannvorrichtung 1 ist wie folgt zu verwenden:The vacuum clamping device 1 described so far is to be used as follows:

Die Vakuumspannvorrichtung 1 wird mit nicht veranschau lichten Schrauben auf einem Maschinentisch befestigt, wozu in den Ecken der Werkstück-Aufspannplatte 2 vorgesehene flachgesenkte Bohrungen 65 vorhanden sind, die sich an den Schnittstellen der T-Nuten 9 befinden. Es wird nun in die T-Nuten 13 und 14, die die Mündungen der beiden Bohrungen 52 in der Werkstück-Anschlagfläche 12 umgeben, jeweils eine weiche, im Querschnitt kreisförmige Dichtung eingelegt, die von einer entsprechenden Meterware heruntergeschnitten ist. Das Einlegen der beiden Dichtungen erfolgt in der Weise, daß sich an einer Stelle die beiden Enden einer Dichtung überkreu zen, so daß ein vollständig geschlossener Ring um die entsprechende Bohrung entsteht. Dann wird das balkenförmige Werkstück-Anschlagelement 45 mit Hilfe entsprechender Schrauben 46 und in den T-Nuten 9 sitzender T-Nuten steine festgeschraubt. Es entsteht hierdurch eine nach außen abgedichtete Verbindung zwischen der Kammer 51 und den Kammern 16 bzw. 17.The vacuum clamping device 1 is fastened to a machine table with screws which are not illustrated, for which purpose there are flat-countersunk holes 65 provided in the corners of the workpiece clamping plate 2 , which are located at the interfaces of the T-slots 9 . A soft seal with a circular cross section is now inserted into the T-grooves 13 and 14 , which surround the mouths of the two bores 52 in the workpiece stop surface 12 , and is cut off by a corresponding piece. The insertion of the two seals takes place in such a way that the two ends of a seal cross at one point, so that a completely closed ring is formed around the corresponding bore. Then the beam-shaped workpiece stop element 45 is screwed on with the aid of corresponding screws 46 and T-slots in the T-slots 9 . This creates a sealed connection between the chamber 51 and the chambers 16 and 17, respectively.

Unterhalb der beiden Werkstück-Anschlagelemente 29, d. h. neben den Anschlagflächen 47 der Werkstück-Anschlagelemente 45, münden in die Werkstück-Anschlagfläche 12 zwei aus Darstellungsgründen nicht sichtbare Bohrungen, die ebenfalls zu den Kammern 16 und 17 führen. Um die Mündung dieser Bohrung wer den in der gleichen Weise, wie vorher beschrieben, Dichtungsschnüre herumgelegt und es wird sodann das entsprechende Werkstück-Anschlagelement 29 auf der Werkstück-Aufspann platte 2 befestigt, wobei auch hier die am Rand der Werkstück-Anschlagfläche 12 verlaufende T-Nut 9 verwendet wird. Durch das An ziehen der entsprechenden Schrauben 66, die in T-Nuten steine in der T-Nut 9 eingedreht sind, wird das Werkstück-Anschlag element 29 mit seiner planen Unterseite 34 auf die Oberseite der Werkstück-Anschlagfläche 12 niedergedrückt, wobei gleichzeitig die Dichtung in den Nuten 13 und 14 flachgequetscht wird. Damit besteht eine nach außen abgedichtete Strömungsverbindung zwischen der Kammer 16 und 17 und der Kammer 38 in dem jeweiligen Werkstück anschlagelement 29.Below the two workpiece stop elements 29 , ie in addition to the stop surfaces 47 of the workpiece stop elements 45 , two bores, which are not visible for reasons of illustration, open into the workpiece stop surface 12 and likewise lead to the chambers 16 and 17 . Around the mouth of this hole who in the same way as previously described, sealing cords and then the corresponding workpiece stop element 29 is attached to the workpiece mounting plate 2 , the running at the edge of the workpiece stop surface 12 T here -Nut 9 is used. By pulling on the corresponding screws 66 , which are screwed into T-slot stones in the T-slot 9 , the workpiece stop element 29 is pressed down with its flat underside 34 onto the top of the workpiece stop surface 12 , at the same time the seal is squeezed flat in the grooves 13 and 14 . So there is an outwardly sealed flow connection between the chamber 16 and 17 and the chamber 38 in the respective workpiece stop element 29th

Um ein Werkstück links von dem Werkstück-Anschlagelement 45 einspannen zu können, werden weitere Dichtungsschnüre in die gerasterte Werkstück-Anschlagfläche 48, die Werkstück-Anschlagfläche 37 des linken Werkstück-Anschlagelementes 29 und in die Werkstück-Anschlagfläche 12 eingelegt, und zwar so, daß sich innerhalb der Werkstück-An schlagfläche an jedem Werkstück-Anschlagelement 29, 45 und der Werkstück- Anschlagfläche 12 die Enden der entsprechenden Dichtungsschnur schneiden und die Dichtungsschnur die Mündungen der Bohrungen 39, 23 und 49 in einer geschlossenen Schlei fe umgeben. Damit die wirksame Fläche, über die das Werkstück mit Hilfe von Vakuum fixiert wird, möglichst groß wird, wird die Dichtungsschnur in jene Nuten 13 und 14 eingelegt, die an der entsprechenden benach barten Werkstückfläche möglichst weit an den Grenzen des Werkstückes liegen. Wird nun bei der so vorberei teten Vakuumspannvorrichtung 1 ein Werkstück links von dem Werkstück-Anschlagelement 45 eingelegt und das 3/2-Wege ventil der Anschlußeinrichtung 25 umgestellt, um die zugehörige Kammer 16 mit der Unterdruckquelle zu verbinden, drückt das entstehende Vakuum das einge legte Werkstück, das gleichzeitig an drei Anlage flächen entsteht, gegen drei Anschlagflächen. Es können jetzt auch die Werkstück-Anschlagelemente 31, in deren Werk stück-Anschlagfläche 37 ebenfalls eine Rundschnurdichtung einge legt ist, an die anderen noch freien Werkstückflächen angelegt werden. Sobald in die Bohrungen 41 ein Vakuum entsteht, weil die Verbindung über den Schlauchan schluß 44 mit der Vakuumquelle hergestellt ist, saugen sich die Werkstück-Anschlagelemente 31 an dem Werkstück fest. Wenn dies geschehen ist, werden die Befestigungsschrauben 66 der Werkstück-Anschlagelemente 31 unverrückbar auf der Oberseite der Werkstück-Anschlagfläche 12 festzulegen. Beispielsweise ein qua derförmiges Werkstück ist durch die Werkstück-Anschlagelemente 29, 31 und 45 sowie die Werkstück-Anschlagfläche 12 mit Ausnahme einer einzigen Werkstückfläche allseitig festgelegt. Auch große Bearbeitungskräfte vermögen bei dieser Art der Fixierung das Werkstück in keiner Weise zu verformen.In order to be able to clamp a workpiece to the left of the workpiece stop element 45 , additional sealing cords are inserted into the rastered workpiece stop surface 48 , the workpiece stop surface 37 of the left workpiece stop element 29 and into the workpiece stop surface 12 , in such a way that the inside of the workpiece stop surface on each workpiece stop element 29, 45 and the workpiece stop surface 12 intersect the ends of the corresponding sealing cord and the sealing cord surrounds the mouths of the bores 39, 23 and 49 in a closed loop. So that the effective area over which the workpiece is fixed with the aid of vacuum is as large as possible, the sealing cord is inserted into those grooves 13 and 14 which lie on the corresponding adjacent workpiece surface as far as possible at the limits of the workpiece. If now in the vacuum clamping device 1 thus prepared, a workpiece is inserted to the left of the workpiece stop element 45 and the 3/2-way valve of the connection device 25 is changed over to connect the associated chamber 16 to the vacuum source, the resulting vacuum presses the inserted Workpiece that is created simultaneously on three contact surfaces against three stop surfaces. It can now also the workpiece stop elements 31 , in the workpiece stop surface 37 also a round cord seal is inserted, be applied to the other still free workpiece surfaces. As soon as a vacuum is created in the bores 41 because the connection is made via the hose connection 44 to the vacuum source, the workpiece stop elements 31 suck onto the workpiece. When this has been done, the fastening screws 66 of the workpiece stop elements 31 will be fixed immovably on the upper side of the workpiece stop surface 12 . For example, a qua deriform workpiece is fixed on all sides by the workpiece stop elements 29, 31 and 45 and the workpiece stop surface 12 with the exception of a single workpiece surface. Even large machining forces cannot deform the workpiece in any way with this type of fixation.

Weil die Kammer 16 von der Kammer 17 unabhängig ist, kann auf der anderen Seite des balkenförmigen Werkstück- Anschlagelementes 45 die Aufspannung eines Werkstückes vorbe reitet werden, während gleichzeitig die Bearbeitung des anderen Werkstückes läuft.Because the chamber 16 is independent of the chamber 17 , the clamping of a workpiece can be prepared on the other side of the beam-shaped workpiece stop element 45 , while at the same time the machining of the other workpiece is running.

Die an dem Rand der Werkstück-Anschlagfläche 12 verlaufenden T- Nuten 9 gestatten eine weitgehend beliebige Befesti gung der Werkstück-Anschlagelemente 29, 31 und 45 auf der Werkstück-An schlagfläche 12, ohne daß andererseits die Vakuumversor gung durch die Nuten 13 und 14 beeinträchtigt wird. Im übrigen ist bei richtig eingelegter Dichtung das Vakuum an drei Werkstückflächen gleichzeitig zu erzeugen, da drei Werkstück-Anschlagflächen über entsprechende Kanäle mit der Kammer 16 bzw. der Kammer 17 in Ver bindung stehen. Die Gefahr einer fehlerhaften Werk stückspannung, die besteht, wenn die einzelnen Werk stück-Anschlagflächen nacheinander mit Vakuum beaufschlagt werden, ist deswegen nicht gegeben. Außerdem ist das Werkstück nach drei Seiten hin formschlüssig festge legt. Dies führt zu einer sehr großen Wiederkehrge nauigkeit bei der Spannung von Werkstücken. The running on the edge of the workpiece stop surface 12 T-grooves 9 permit a largely arbitrary supply of the workpiece stop elements 29, 31 and 45 on the workpiece stop surface 12 without, on the other hand, the vacuum supply through the grooves 13 and 14 becomes. Incidentally, when the seal is correctly inserted, the vacuum is to be generated simultaneously on three workpiece surfaces, since three workpiece stop surfaces are connected to the chamber 16 or the chamber 17 via corresponding channels. There is therefore no risk of faulty workpiece clamping when the individual workpiece abutment surfaces are successively subjected to vacuum. In addition, the workpiece is positively fixed on three sides. This leads to a very high accuracy when clamping workpieces.

Um nicht benötigte Bohrungen oder Kanäle, die Vakuum führen, verschließen zu können, ist vorzugsweise an deren Mündung in die jeweilige Nut ein Gewinde vor gesehen, in die ein Stopfen eingeschraubt werden kann.To unneeded holes or channels that vacuum to be able to lead is preferably on a thread in the mouth of the respective groove seen into which a stopper is screwed can.

Bei der praktischen Ausführung sollte, wenn die Aufspannplatte und die Werkstück-Anschlagelemente aus Leichtmetall bestehen, eine abriebfeste Oberflächenbeschichtung vorgesehen sein.In the practical execution, if the Clamping plate and the workpiece stop elements made of light metal consist of an abrasion-resistant surface coating be provided.

Claims

1. Vakuumspannvorrichtung (1) zum Festspannen von Werk stücken auf Werkzeugmaschinen, mit einer Werkstück- Aufspannplatte (2), die in ihrer der Werkstück-Auflage dienenden Oberseite (3) einen über Bohrungen (23, 26, 52) zu einem Unterdrucksystem führenden Nuten raster (13, 14) aufweist, in den zur Bildung von Saugfeldern Dichtungen einlegbar sind, sowie mit auf der Oberseite (3) der Werkstück-Aufspannplatte (2) aufliegenden Werkstück-Anschlagelementen (29, 31, 45) mit Saugflächen bildenden Werkstück-Anschlag flächen (12, 37, 47, 48), wobei die Vakuumspannvor richtung (1) sowohl solche dieser Werkstück-Anschlag elemente (29, 45) umfaßt, deren Saugfläche über ihre auf der Oberseite (3) der Werkstück-Auf spannplatte (2) aufliegende Unterseite (34) an das Unterdrucksystem der Werkstück-Aufspannplatte (2) anschließbar ist, als auch solche (31), deren Saug fläche an ein separates Unterdrucksystem anschließbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstück-Aufspannplatte (2) in ihrer Oberseite (3) längs ihrer Ränder verlaufende T-Nuten (9) aufweist, zur einstellbaren Befestigung der hierzu mit Löchern bzw. Langlöchern (35, 36) zum Durchtritt von T-Nuten schrauben (66) versehenen Werkstück-Anschlagelemente (29, 31, 45) und daß die Werkstück-Anschlagflächen (12, 37, 47, 48) ebenfalls einen über Bohrungen (39, 41, 43, 49) an ein Unterdrucksystem anschließ baren Nutenraster (13, 14) zum Einlegen von Dich tungen aufweisen.1. Vacuum clamping device ( 1 ) for clamping work pieces on machine tools, with a workpiece clamping plate ( 2 ), which in its workpiece support upper side ( 3 ) has a bores ( 23, 26, 52 ) leading to a vacuum system Has grid ( 13, 14 ), in which seals can be inserted to form suction fields, and with workpiece stop elements ( 29, 31, 45 ) resting on the upper side ( 3 ) of the workpiece clamping plate ( 2 ) with workpiece stop forming suction surfaces surfaces ( 12, 37, 47, 48 ), the vacuum clamping device ( 1 ) includes both those workpiece stop elements ( 29, 45 ), the suction surface of which on their top ( 3 ) of the workpiece clamping plate ( 2 ) underlying underside ( 34 ) can be connected to the vacuum system of the workpiece platen ( 2 ), as well as those ( 31 ) whose suction surface can be connected to a separate vacuum system, characterized in that the workpiece adapter pannel plate ( 2 ) in its upper side ( 3 ) along its edges T-grooves ( 9 ) for the adjustable fastening of the holes or slots ( 35, 36 ) for the passage of T-slots provided with workpiece ( 66 ) Stop elements ( 29, 31, 45 ) and that the workpiece stop surfaces ( 12, 37, 47, 48 ) also a via holes ( 39, 41, 43, 49 ) connectable to a vacuum system ble slot grid ( 13, 14 ) for inserting Show you lines.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bohrungen (39, 49) in eine Kammer (38, 51) münden, die in denjenigen Anschlagelementen (29, 45) ausgebildet ist, die über die Oberseite (3) der Werkstück-Aufspannplatte (2) an das Unterdruck system der Werkstück-Aufspannplatte (2) anschließbar sind, und daß die Kammer (38, 51), abgesehen von der Bohrung (39, 49), ausschließlich zu jener Seite hin offen ist, mit der das jeweilige Werkstück-Anschlagelement (29, 45) auf der Werkstück-Auflage (12) der Werkstück- Aufspannplatte (2) aufliegt.2. Device according to claim 1, characterized in that the bores ( 39, 49 ) open into a chamber ( 38, 51 ) which is formed in those stop elements ( 29, 45 ) which over the top ( 3 ) of the workpiece Platen ( 2 ) can be connected to the vacuum system of the workpiece platen ( 2 ), and that the chamber ( 38, 51 ), apart from the bore ( 39, 49 ), is only open to the side with which the respective Workpiece stop element ( 29, 45 ) rests on the workpiece support ( 12 ) of the workpiece clamping plate ( 2 ).

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstück-Anschlagflächen (37, 47, 48) von An schlagelementen (29, 31, 45) an die benachbarte Außen seite des zu bearbeitenden Werkstückes angepaßt ist.3. Apparatus according to claim 1, characterized in that the workpiece abutment surfaces ( 37, 47, 48 ) of impact elements ( 29, 31, 45 ) is adapted to the adjacent outer side of the workpiece to be machined.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstück-Aufspannplatte (2) wenigstens zwei voneinander getrennte Vakuumkammern (16, 17) enthält, und daß jeder Vakuumkammer (16, 17) eigene Anschluß mittel (25, 28) zum Verbinden mit einem Unterdruck system zugeordnet sind.4. The device according to claim 1, characterized in that the workpiece platen ( 2 ) contains at least two separate vacuum chambers ( 16, 17 ), and that each vacuum chamber ( 16, 17 ) has its own connection means ( 25, 28 ) for connection to are assigned to a vacuum system.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberseite (3) der Aufspannplatte (2) und die Werkstück-Anschlagflächen (37, 47, 48) der Anschlag elemente (29, 31, 45) mit einer abtriebfesten Ober flächenbeschichtung versehen sind.5. The device according to claim 1, characterized in that the top ( 3 ) of the platen ( 2 ) and the workpiece stop surfaces ( 37, 47, 48 ) of the stop elements ( 29, 31, 45 ) are provided with an abrasion-resistant upper surface coating .