DE3834117A1 - Koordinatenmessgeraet mit einem optischen tastkopf - Google Patents
Koordinatenmessgeraet mit einem optischen tastkopfInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Koordinatenmeßgerät mit einem
am Meßarm des Koordinatenmeßgerätes befestigten optischen Tast
kopf.
Es ist bereits bekannt, an Koordinatenmeßgeräten anstelle des
oder zusätzlich zu dem üblicherweise verwendeten mechanischen
Tastkopf, mit dem das zu vermessende Werkstück berührt werden
muß, sogenannte optische Tastköpfe zu verwenden, die eine be
rührungslose Erfassung der zu vermessenden Geometrieelemente
gestatten. Hierfür sind sowohl punktweise messende optische
Tastköpfe eingesetzt, die in der Regel nach dem sogenannten
Triangulationsprinzip arbeiten, als auch sogenannte "Video
taster", von denen ein mehr oder minder komplettes Bild des zu
vermessenden Geometrieelementes aufgenommen und anschließend
mit den an sich bekannten Mitteln der Bildanalyse ausgewertet
wird.
Bei Videotastsystemen des letztgenannten Typs bereitet die
Beleuchtung des zu vermessenden Objektdetails besondere
Probleme. Denn für eine kontrastreiche und reflexfreie
Beleuchtung insbesondere von glatten bzw. metallischen
Werkstückoberflächen muß der Winkel, unter dem die
Beleuchtungseinrichtung strahlt, an die Brennweite des
verwendeten Objektivs angepaßt werden. Dies ist oft nur mit
großem Aufwand möglich. Außerdem entsteht bei den meisten der
verwendeten Lichtquellen Verlustwärme, die zu einer
unerwünschten Verformung des Maschinenkoordinatensystems führen
kann.
Es ist bereits vorgeschlagen worden, faseroptische
Ringleuchten in Verbindung mit Videotastern an
Koordinatenmeßgeräten einzusetzen, um das vorstehend
angesprochene Problem zu umgehen. Beispielsweise ist in dem
US-Patent 47 06 168 ein Koordinatenmeßgerät mit einem
derartigen Videotaster beschrieben. Hier erfolgt jedoch die
Versorgung der Ringleuchte über flexible Lichtleiter von einer
ortsfest aufgestellten Lichtquelle aus. Zur Anpassung des
Beleuchtungswinkels an die Brennweite des verwendeten Objektivs
ist eine komplizierte Einstellmechanik nötig. Eine Einstellung
des Videotasters in unterschiedliche Blickrichtungen ist nicht
möglich.
Es ist auch schon vorgeschlagen worden, optische Tastköpfe wie
z.B. Triangulationstaster oder Videotaster über ein sogenanntes
Dreh-Schwenk-Gelenk am Meßarm eines Koordinatenmeßgerätes zu
befestigen, um unterschiedliche Blickrichtungen realisieren zu
können. Ein solches Tastsystem ist beispielsweise in der
US-PS 46 88 184 beschrieben. Dies bekannte Tastsystem ist
jedoch sehr teuer. Denn ein Dreh-Schwenk-Gelenk, das einen
Videotaster mit seiner relativ hohen Masse hochgenau zu
positionieren in der Lage ist, erfordert einen hohen
konstruktiven und fertigungstechnischen Aufwand.
In der internationalen Patentanmeldung WO 87/01 798 ist eine
Tasterwechseleinrichtung beschrieben, die den Austausch von
mechanischen Tastköpfen gegen optische Tastköpfe ermöglichen
soll. Dieser Schrift sind jedoch keine Angaben bezüglich der
Ausgestaltung einer Beleuchtungseinrichtung für optische Taster
entnehmbar.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein
Koordinatenmeßgerät mit einem am Meßarm befestigten optischen
Tastkopf zu schaffen, welches einfach und schnell an unter
schiedliche Meßaufgaben angepaßt werden kann, die beispiels
weise unterschiedliche Arbeitsabstände, Durchmesser oder
Blickrichtungen des Tastsystems erfordern, und bei dem die
Beleuchtungseinrichtung der Meßaufgabe stets optimal angepaßt
ist.
Ausgehend von einem Koordinatenmeßgerät mit einem optischen
Tastkopf gemäß dem Oberbegriff wird diese Aufgabe durch die im
Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Maßnahmen dadurch
gelöst, daß der Tastkopf mit einer auswechselbaren Frontoptik
versehen ist und die Frontoptik ein Objektiv und eine an das
Objektiv angepaßte Beleuchtungsoptik enthält, daß die Licht
leiter über die Wechselfläche geführt sind, mittels der die
Frontoptik reproduzierbar am Tastkopf gehalten ist, und daß
eine Einrichtung zur verlustarmen Kopplung der Lichtleiterenden
an der Wechselfläche vorgesehen ist.
Durch diese Maßnahmen ist es möglich, die Frontoptiken von
optischen Tastköpfen ebenso wie die Taststifte von mechanischen
Tastköpfen ohne Nachkalibrierung einfach und schnell auto
matisch auszuwechseln, wobei die Beleuchtung gleich mitge
wechselt wird und dementsprechend immer dem benutzen Objektiv
angepaßt ist. Trotz Verwendung von Lichtleitern zur Beleuchtung
ist der Wechselvorgang automatisierbar, da die Lichtleiter mit
über die Trennfläche zwischen der Frontoptik und dem ver
bleibenden Teil des Tastkopfes geführt sind.
Die Beleuchtungseinrichtung des Tastkopfes kann deshalb von
einer zweckmäßig thermisch isoliert am anderen Ende des
Meßarmes befestigten Lichtquelle gespeist werden, ohne daß die
Lichtleiterkabel im Meßbereich des Koodinatenmeßgerätes stören.
Es ist vorteilhaft, mehrere Frontoptiken vorzusehen, die
Objektive mit unterschiedlichem Arbeitsabstand, unter
schiedlichem Durchmesser oder unterschiedlicher Blickrichtung
besitzen, um eine Vielzahl verschiedener Meßaufgaben angehen zu
können. Unterschiedliche Blickrichtungen lassen sich zweckmäßig
auch dadurch erzielen, daß für die Frontoptik eine kontinuier
lich oder in festen Schritten drehbare Halterung vorgesehen
ist.
Weiterhin ist es zweckmäßig, wenn der Tastkopf über eine
nachgiebige Knickstelle im Meßarm des Koordinatenmeßgerätes
gelagert ist. Die Knickstelle dient als Kollisionsschutz und
verhindert ein Zerstören des Tastkopfes infolge Kollision mit
z.B. dem zu vermessenden Werkstück.
Die Beleuchtungsoptik des Tastkopfes kann außerdem mehrere um
das Objektiv des Tastkopfes herum angeordnete Kollimatoren
enthalten, die unter dem für eine Dunkelfeldbeleuchtung er
forderlichen Winkel zur optischen Achse des Objektivs strahlen.
Auf diese Weise lassen sich Stufen an Metalloberflächen sehr
gut erkennen. Von besonderem Vorteil kann es hier sein, wenn
jeder der Kollimatoren von einem eigenen Lichtleiter versorgt
ist und die Lichtleiter einzeln schaltbar sind. Denn damit läßt
sich für die Beleuchtung eine Vorzugsrichtung einstellen, unter
der bestimmte Oberflächenstrukturen deutlicher sichtbar sind
bzw. mit höherem Kontrast abgebildet werden.
Um Lichtverluste an der Trennstelle der Lichtleiter in der Nähe
der Wechselfläche für die Frontoptik möglichst gering zu halten
ist es zweckmäßig, wenn die Enden der Lichtleiter dort in
Zentrierhülsen aufgenommen sind. Dem gleichen Zweck dient auch
die Maßnahme, für die in der Frontoptik selbst enthaltenen
Lichtleiter Lichtleitstäbe mit vollem Querschnitt zu verwenden.
Auf diese Weise sind Zwickelverluste vermieden, die andernfalls
entstehen, wenn zwei aus mehreren Einzelfasern bestehende
Lichtleiter stirnseitig aufeinandergesetzt werden.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der
nachfolgenden Bescheibung von Ausführungsbeispielen anhand der
Fig. 1-9 der beigefügten Zeichnungen
Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel für einen
optischen Tastkopf im Schnitt am Meßarm eines
Koordinatenmeßgerätes;
Fig. 2 ist ein Schnitt durch den Halter (2) in Fig. 1 in
einer anderen Ebene;
Fig. 3 zeigt die Frontoptik (10) aus Fig. 1 im Schnitt
entlang der Linie III-III in Fig. 1;
Fig. 4 zeigt den Tastkopf aus Fig. 1 mit einer Frontoptik
mit abgewinkelter Blickrichtung;
Fig. 5a ist eine vergrößerte Schnittdarstellung eines der
Lichtleiter im Tastkopf nach Fig. 1 im Bereich der
Wechselfläche;
Fig. 5b und 5c sind Schnitte durch die Lichtleiter (9 a) bzw.
(13 a) aus Fig. 5a;
Fig. 6 zeigt in Ansicht ein weiteres Ausführungsbeispiel für
einen optischen Tastkopf gemäß der Erfindung am
Meßarm eines Koordinatenmeßgerätes;
Fig. 7 ist die Ansicht einer alternativen Ausführungsform
eines Teils der Frontoptik aus Fig. 6;
Fig. 8 ist die Aufsicht auf die Wechselfläche eines Tast
kopfes gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der
Erfindung;
Fig. 9 ist eine vereinfachte Prinzipskizze eines
Koordinatenmeßgerätes mit dem in Fig. 1
dargestellten Tastkopf.
In Fig. 1 stellt das mit (1) bezeichnete Teil das untere Ende
der vertikalen Pinole eines Koordinatenmeßgerätes dar. Der
rechteckige Querschnitt der Pinole (1) mündet dort in einen
ringförmigen Bund (31) mit größerem Durchmesser, der innen in
Winkelabständen von 120° drei Kugelpaare trägt, auf denen ein
Zwischenstück (2) mit drei radial abstehenden Zylindern (4 a-c)
aufliegt. In der Darstellung nach Fig. 1 sind nur die beiden
Kugeln (3 a) und (3 b) der Kugelpaare zu sehen. Das durch die
drei Zylinder (4 a-c) und die drei Kugelpaare gebildete
Dreipunktlager dient als Kollisionsschutz.
Zentrisch im Zwischenstück (2) ist ein Tubusrohr (5) befestigt,
auf das eine Videokamera (6) aufgesetzt ist. Diese Videokamera
(6) ist der Sensor des aus den Gehäuseteilen (2) und (10)
bestehenden optischen Tastkopfes, die Anschlußkabel der Kamera
(6) sind durch das Innere der hohlen Pinole (1) geführt.
Gleichfalls durch die Pinole geführt sind fünf Lichtleiter (9 a-
e), von denen in der Darstellung nach Fig. 1 drei Stück
nämlich die Lichtleiter (9 a-9 b und 9 e) zu sehen sind. Die
Lichtleiter bestehen aus flexiblen Faserkabeln und werden wie
in Fig. 9 dargestellt von einer am oberen Ende der Pinole (1)
thermisch isoliert montierten Lichtquelle (41) versorgt.
Der Lichtleiter (9 e) endet wie aus der Darstellung nach Fig. 2
ersichtlich ist, im Zwischenstück (2) in einer Befestigungs
hülse (29 e). Das aus ihm austretende Licht wird nach Umlenkung
an einem Spiegel (22) über einen Kollektor (23) geführt und von
einem Teilerspiegel (7) im Tubusrohr (5) in den Beobachtungs
strahlengang eingespiegelt und dient zur Hellfeldbeleuchtung
der zu vermessenden Objekte.
Die vier anderen Lichtleiter (11 a-11 d) enden in axial federnden
Zentrierhülsen (11 a-d) an der Unterseite des Zwischenstücks
(2). Die Unterseite des Zwischenstücks (2) stellt außerdem die
Wechselfläche für die daran auswechselbar gehaltenen
nachfolgend beschriebenen Frontoptiken dar.
Die in der Darstellung nach Fig. 1 an das Zwischenstück (2)
angesetzte Frontoptik trägt an der Oberseite ihres Gehäuses
(10) drei Kugelpaare (12 a-c), die eine eindeutig bestimmte
Lagerung des Gehäuses (10) auf den in die Unterseite des
Zwischenstücks (2) eingelassenen drei Zylindern (8 a, 8 b und 8 c)
bewirken. Im Inneren des Gehäuses (10) ist in Verlängerung des
Tubusrohres (5) im Zwischenstück (2) ein zweites Tubusrohr (15)
gefaßt, das an seiner Unterseite das Objektiv (18) der Front
optik trägt. Um dieses Objektiv (18) herum sind in Winkelab
ständen von 90° vier Fassungen (20 a-d) für vier Kollimator
linsen (17 a-d) eingelassen. Die Kollimatoren sind so ausge
richtet, daß ihre Achsen die optische Achse des Objektivs (18)
in der Objektebene (19) unter einem für Dunkelfeldbeleuchtung
ausgewählten Winkel α schneiden.
Die Kollimatoren (17 a-d) beleuchten das zu vermessende Objekt
mit dem Licht, das aus den Endflächen von vier Lichtleitern
(13 a-13 d) austritt. Zur Strahlumlenkung sind auf die Licht
leiterendflächen jeweils Prismen (16 a-16 d) aufgesetzt. Die
Lichtleiter (13 a-d) sind halbstarre Plastikstäbe, deren andere
Enden jeweils in Fassungen (12 a-d) an der Oberseite des
Gehäuses (10) münden. Wie aus der vergrößerten Darstellung nach
Fig. 5a hervorgeht sind diese Fassungen (14) innen leicht
abgeschrägt, so daß die konischen Außenflächen der Zentrier
hülsen (11), in die die flexiblen Lichtleiter (9 a-d) ver
sorgungsseitig münden, dort bei jedem Wechselvorgang sicher
aufgenommen werden. Eine Feder (32 a) sorgt in Verbindung mit
zwei Anschlagringen (31 a) und (30 a) in der in Fig. 5 darge
stellten Lichtleiterkupplung für ein sicheres Ankoppeln bei
jedem Wechselvorgang.
Der Kern des halbstarren Lichtleitstabes (13 a) im Gehäuse (10)
besteht aus Vollmaterial, wie dies im Schnitt nach Fig. 5c
ersichtlich ist. Hierdurch wird erreicht, daß die aus dem
versorgungsseitig aus Einzelfasern bestehenden flexiblen Licht
leiter (9) (siehe Fig. 5b) austretende Strahlung verlustfrei
in den Lichtleiter (13 a) eintritt. Zwickelverluste entstehen
daher nicht.
Die Haltekraft, von der das Gehäuse (10) der wechselbaren
Frontoptik in das Dreipunktlager (12/8) an der Unterseite des
Zwischenstücks (2) gezogen wird, wird von drei Elektromagneten
im Zwischenstück (2) aufgebracht. In der Darstellung nach Fig.
2 ist einer der Magneten, der Magnet (23 a) zu sehen.
Die Blickrichtung der in Fig. 1 dargestellten Frontoptik an
dem in Fig. 9 dargestellten Koordinatenmeßgerät ist senkrecht
nach unten auf die Oberfläche des Meßtisches zu gerichtet. Um
Meßaufgaben bewältigen zu können, bei denen die Oberfläche des
Werkstücks andere Blickrichtungen erfordert, sind mehrere
Frontoptiken vorgesehen, bei denen das Objektiv unter ver
schiedenen Winkeln bezogen auf die Ausrichtung des Dreipunkt
lagers (8 a) an der Unterseite des Zwischenstücks (2) senkrecht
zur optischen Achse der Videokamera (6) abgewinkelt ist. Eine
solche Frontoptik ist in Fig. 4 dargestellt. Hier dient ein
Umlenkspiegel (121) im Strahlengang zwischen dem Objektiv (118)
und der Videokamera (6) zur Umlenkung des Beobachtungsstrahlen
ganges. Die übrigen Bauelemente sind genauso oder ähnlich aus
geführt wie in der Frontoptik in Fig. 1. Durch Ausnutzen der
90°-Symmetrie, mit der die Endflächen der Lichtleiter an der
Trennstelle aufeinanderliegen, kann ein und dieselbe Frontoptik
(110) in vier verschiedenen Richtungen nämlich in die
Richtungen X, -X, Y und -Y arbeiten, wenn zusätzliche Zylinder
für das Dreipunktlager an der Unterseite des Zwischenstücks (2)
in 30°-Abständen vorgesehen sind.
Verwendet man statt der halbstarren Lichtleiterstäbe (113 a-d)
im Gehäuse (110) der Frontoptik flexible Lichtleiter und nimmt
die entstehenden Zwickelverluste in Kauf, lassen sich unter
schiedliche Blickrichtungen dadurch realisieren, daß beispiels
weise an der durch die Strichlinie (125) bezeichneten Stelle
ein Drehlager eingesetzt wird, um das der untere Teil der
Frontoptik (110) in einem begrenzten Winkelbereich drehbar ist.
Ein kontinuierliches Drehen ohne Begrenzung des Drehwinkels ist
dann möglich, wenn die Wechselstelle wie in Fig. 8 skizziert
ausgebildet ist. Hier besteht die Oberseite des Gehäuses der
Frontoptik aus zwei gegeneinander verdrehbaren Teilen. Der
äußere Ring (310) trägt das mit (312 a-c) bezeichnete Dreipunkt
lager. Am inneren Ring (311) ist die Frontoptik insgesamt
befestigt. Das Drehlager ist durch die Doppellinie (314) ange
deutet.
Im inneren Ring (311) sind die aufgespleisten Enden eines
faseroptischen Lichtleiters (313) kreisförmig angeordnet und
stehen mit ihren Stirnflächen den entsprechenden Enden eines
oder mehrerer Vesorgungslichtleiter gegenüber, die ebenfalls
kreisförmig angeordnet sind. Auf diese Weise entsteht ein
optischer Schleifring, der die Übertragung des Lichts von den
Versorgungslichtleitern in die Frontoptik in jeder Winkel
stellung sicherstellt. Auch hier können einzelne Segmente des
aus den Lichtleiterstirnflächen gebildeten Kreises versorgungs
seitig und/oder auf der Seite der Frontoptik getrennt schaltbar
bzw. getrennt verlegt sein, um Vorzugsrichtungen der Be
leuchtung einstellen zu können.
In Fig. 6 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung
dargestellt, welches sich insbesondere zur videotechnischen
Vermessung Im Innern von Bohrungen oder anderen engen Werk
stücköffnungen eignet. Hierzu ist an das Zwischenstück (2) aus
Fig. 1 statt der dort gezeigten Frontoptik (10) eine Front
optik (215) in Form eines Endoskopes bzw. Technoskopes ange
setzt. Das Technoskop (215) ist zentrisch an einer Halteplatte
(210) befestigt, die an ihrer Oberseite wie die Frontoptik (10)
aus Fig. 1 ein Dreipunktlager bestehend aus drei Kugelpaaren
trägt. In dem Tubusrohr in der Platte (210), welches das Endos
kop (215) mit dem inneren Tubusrohr im Zwischenstück (2) ver
bindet, ist eine Hilfsoptik (216) untergebracht, die für eine
Abbildung des vom Objektiv (218) am distalen Ende des Endoskops
entworfenen Bildes auf die photoempfindliche Fläche der
Fernsehkamera (6) sorgt. Der Lichtleiteranschluß (223) des
Endoskops (215) ist auf eine Hülse (214) auf der Oberseite der
Platte (210) gelegt. Diese Hülse (214) wirkt in gleicher Weise
wie die Hülse (14 a) in Fig. 1 mit der Zentrierhülse (11 a) im
Zwischenstück (2) zusammen und koppelt den Lichtleiter (223)
verlustarm an den Versorgungslichtleiter (3 a) an. Damit auch
Bohrungen mit unterschiedlichen Achsrichtungen ausgemessen
werden können, sind jeweils an entsprechenden anderen Platten
(210) weitere Endoskope vorgesehen, die anstelle des geraden
Schafts (217) einen abgewinkelten Schaft besitzen. Ein solcher
Schaft (227) ist in der Fig. 7 beispielhaft dargestellt. Für
eine bestimmte Meßaufgabe werden dann die benötigte Anzahl von
Halteplatten (210) mit mehreren entsprechend den zu unter
suchenden Bohrungen abgewinkelten Endoskopen bereitgehalten und
können in ähnlicher Weise wie mechanische Taststifte auch auto
matisch an den am Meßarm des Koordinatenmeßgerätes ver
bleibenden Teil des Tastkopfes eingewechselt werden. Da die
Objektive von Endoskopen bzw. Technoskopen oft am distalen Ende
auswechselbar sind, ist hier noch zusätzlich ein Austausch
gegen Objektive mit anderer Brennweite bzw. anderer
Blickrichtung möglich.
Claims (10)
1. Koordinatenmeßgerät mit einem am Meßarm des Koordinaten
meßgerätes befestigten optischen Tastkopf, der eine durch
Lichtleiter versorgte Beleuchtungseinrichtung besitzt, da
durch gekennzeichnet, daß der Tastkopf mit einer aus
wechselbaren Frontoptik (10) versehen ist und die Front
optik ein Objektiv (18) und eine an das Objektiv angepaßte
Beleuchtungsoptik (17) enthält, daß die Lichtleiter (9 a-d,
13 a-d) über die Wechselfläche geführt sind, mittels der die
Frontoptik reproduzierbar am Tastkopf gehalten ist, und daß
eine Einrichtung (11/14) zur verlustarmen Kopplung der
Lichtleiterenden an der Wechselfläche vorgesehen ist.
2. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (41), von der die
Lichtleiter (9 a-d) gespeist werden, an dem vom Tastkopf
abgewandten Ende des Meßarmes (1) thermisch isoliert
befestigt ist.
3. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß mehrere gegeneinander auswechselbare
Frontoptiken (10; 110; 215; 225) vorgesehen sind, die Ob
jektive (18; 118; 218; 228) mit unterschiedlichem Arbeitsab
stand, unterschiedlichem Durchmesser oder unterschiedlicher
Blickrichtung besitzen.
4. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß für die Frontoptik (10) eine kontinuier
lich oder in festen Schritten drehbare Halterung vorgesehen
ist.
5. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Tastkopf über eine nachgiebige
Knickstelle im Meßarm (1) des Koordinatenmeßgerätes ge
lagert ist.
6. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Beleuchtungsoptik mehrere um das
Objektiv (18) der Frontoptik (10) herum angeordnete
Kollimatoren (17 a-d) enthält, die unter dem für eine
Dunkelfeldbeleuchtung erforderlichen Winkel zur optischen
Achse des Objektivs strahlen.
7. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß jeder Kollimator (17 a-d) von einem
eigenen Lichtleiter (9 a-d) versorgt ist und die Lichtleiter
einzeln schaltbar sind.
8. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Enden der Lichtleiter (9 a-d) an der
Wechselfläche in Zentrierhülsen (11 a-d) aufgenommen sind.
9. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 7, dadurch ge
kennzeichnet, daß die in der wechselbaren Frontoptik (10)
enthaltenen Lichtleiter (13 a-d) Lichtleitstäbe sind.
10. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Stirnseiten (313) der Lichtleiter an
der Wechselfläche ringförmig angeordnet sich direkt gegen
überstehen.
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---|---|---|---|
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EP89117453A EP0362625B1 (de) | 1988-10-07 | 1989-09-21 | Koordinatenmessgerät mit einem optischen Tastkopf |
DE8989117453T DE58902612D1 (de) | 1988-10-07 | 1989-09-21 | Koordinatenmessgeraet mit einem optischen tastkopf. |
US07/417,551 US4963728A (en) | 1988-10-07 | 1989-10-05 | Coordinate measuring apparatus having an optical sensing head |
JP1260321A JPH02147902A (ja) | 1988-10-07 | 1989-10-06 | 光学的探査ヘッドを備えた座標測定機 |
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---|---|---|---|
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JP (1) | JPH02147902A (de) |
DE (2) | DE3834117A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007008361B3 (de) * | 2007-02-16 | 2008-04-03 | Isis Sentronics Gmbh | Abtastsensorsystem zum berührungslosen optischen Abtasten von Objektoberflächen |
DE102013113407A1 (de) * | 2013-12-03 | 2015-06-03 | Hexagon Metrology Gmbh | Koordinatenmessgerät |
EP2667147B1 (de) | 2012-05-25 | 2018-07-04 | Mitutoyo Corporation | Austauschbare Optikkonfiguration für einen Lesestift eines Sensors mit chromatischem Bereich |
EP1337803B2 (de) † | 2000-11-20 | 2019-05-01 | Taylor Hobson Ltd. | Interferometrische messvorrichtung |
DE102019129707A1 (de) * | 2019-11-05 | 2021-05-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit optischer sensor- und/oder beleuchtungsvorrichtung, optische sensor- und/oder beleuchtungsvorrichtung für ein koordinatenmessgerät und verfahren zur nachrüstung eines koordinatenmessgeräts mit einer optischen sensor- und/oder beleuchtungsvorrichtung |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5212647A (en) * | 1991-07-15 | 1993-05-18 | Preco Industries, Inc. | Die stamping press having ccd camera system for automatic 3-axis die registration |
JPH05133721A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-05-28 | Carl Zeiss:Fa | 光学式プローブヘツド |
EP0635697B1 (de) * | 1993-07-20 | 1998-09-23 | Helmut Raff | Messeinrichtung |
DE4325744C1 (de) * | 1993-07-31 | 1994-12-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
AU6556598A (en) * | 1997-03-28 | 1998-10-22 | Preco Industries, Inc. | Web or sheet-fed apparatus having high-speed positioning mechanism |
US7640836B1 (en) | 1997-03-28 | 2010-01-05 | Preco Industries, Inc. | Method for simultaneous x, y and θ registration of segment of continuous web with a processing station |
GB9907643D0 (en) | 1999-04-06 | 1999-05-26 | Renishaw Plc | Measuring probe |
US20050122509A1 (en) * | 2002-07-18 | 2005-06-09 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Apparatus for wafer inspection |
DE102004014153A1 (de) | 2004-03-23 | 2005-10-13 | IBTL - Ing. Büro Lang & Armlich GmbH | Koordinatenmessgerät mit Wechseloptik |
US7268871B2 (en) * | 2004-08-12 | 2007-09-11 | Datacolor Holding Ag | Measuring head for planar measurement of a sample |
CN100376863C (zh) * | 2004-12-17 | 2008-03-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 散热器段差影像量测***及方法 |
US7387605B2 (en) * | 2005-04-08 | 2008-06-17 | Linvatec Corporation | Rotatable coupler for endoscopic camera |
DE102007054915A1 (de) * | 2007-11-15 | 2009-05-20 | Precitec Optronik Gmbh | Messvorrichtung, Messkopf und Messkopfhalter |
EP2161536A1 (de) * | 2008-09-05 | 2010-03-10 | Leica Geosystems AG | Optischer Sensor mit Kollisionsschutz für eine Messmaschine |
EP2194357A1 (de) | 2008-12-03 | 2010-06-09 | Leica Geosystems AG | Optisches Sensorelement für eine Messmaschine, und messmaschinenseitiges Kupplungselement hierfür |
WO2013091697A1 (de) | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum koppeln zweier systemkomponenten eines messgeräts, insbesondere eines koordinatenmessgeräts |
EP2795243B1 (de) | 2011-12-21 | 2016-04-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Koordinatenmessgerät mit verbesserter schnittstellenanordnung |
WO2013167167A1 (de) | 2012-05-07 | 2013-11-14 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Wechselbares beleuchtungsmodul für ein koordinatenmessgerät |
WO2013167168A1 (de) | 2012-05-07 | 2013-11-14 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verbessertes beleuchtungsmodul für ein koordinatenmessgerät |
JP2014181974A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Nidec Tosok Corp | 測定装置 |
DE102013105753B3 (de) * | 2013-06-04 | 2014-10-02 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum automatischen Aufnehmen eines Sensorkopfs und Koordinatenmessgerät |
DE102013112186A1 (de) | 2013-11-06 | 2015-05-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verbessertes Beleuchtungsmodul für einen Metrologiesensor, insbesondere ein Koordinatenmessgerät |
US9429416B2 (en) * | 2013-12-06 | 2016-08-30 | Tesa Sa | Accessory for coordinate measuring machine |
DE102015105613B4 (de) | 2015-04-13 | 2023-08-31 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Auflicht-Beleuchtung für variablen Arbeitsabstand |
EP3184957B1 (de) * | 2015-12-23 | 2021-07-14 | Hexagon Technology Center GmbH | Modulare mikrooptik für optische sonden |
DE102016102971B4 (de) | 2016-02-19 | 2021-02-11 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Linseneinrichtung für variablen Arbeitsabstand, Beleuchtungsbaugruppe, Koordinatenmessgerät und Verfahren |
DE102017203044B3 (de) | 2017-02-24 | 2018-05-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einer Wechselschnittstelle zur Änderung von Abbildungsmaßstäben und / oder von Arbeitsabständen von Abbildungsoptiken |
DE202017107827U1 (de) * | 2017-06-12 | 2018-01-12 | Tesa Sa | Dreh /Schwenkkopf für optische Messtaster, Koordinatenmesssystem und Werkzeughalter |
DE102017113411B4 (de) | 2017-06-19 | 2019-08-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Beleuchtungssystem für ein Koordinatenmessgerät, Koordinatenmessgerät und Verfahren |
DE102021101749A1 (de) | 2021-01-27 | 2022-07-28 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Schnittstellenanordnung zur kopplung von systemkomponenten einer messvorrichtung |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL186353C (nl) * | 1979-06-12 | 1990-11-01 | Philips Nv | Inrichting voor het afbeelden van een maskerpatroon op een substraat voorzien van een opto-elektronisch detektiestelsel voor het bepalen van een afwijking tussen het beeldvlak van een projektielenzenstelsel en het substraatvlak. |
US4561776A (en) * | 1981-03-25 | 1985-12-31 | Diffracto Ltd. | Electro-optical sensors for tool and robotic inspection |
WO1983000216A1 (en) * | 1981-07-07 | 1983-01-20 | Mcmurtry, David, Roberts | Method of and device for measuring dimensions |
US4570065A (en) * | 1983-01-28 | 1986-02-11 | Pryor Timothy R | Robotic compensation systems |
IT1184935B (it) * | 1984-03-29 | 1987-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | Sistema per rilevare coordinate tridimensionali con l impiego di un elaboratore |
GB8522984D0 (en) * | 1985-09-17 | 1985-10-23 | Renishaw Plc | Tool change apparatus |
US4706168A (en) * | 1985-11-15 | 1987-11-10 | View Engineering, Inc. | Systems and methods for illuminating objects for vision systems |
GB2200357B (en) | 1987-01-27 | 1990-10-10 | Thorn Emi Electronics Ltd | Epoxy foams |
US4887883A (en) * | 1988-06-20 | 1989-12-19 | Honeywell Inc. | Undersea wet-mateable fiber optic connector |
-
1988
- 1988-10-07 DE DE3834117A patent/DE3834117A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-09-21 DE DE8989117453T patent/DE58902612D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-21 EP EP89117453A patent/EP0362625B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-05 US US07/417,551 patent/US4963728A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-06 JP JP1260321A patent/JPH02147902A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1337803B2 (de) † | 2000-11-20 | 2019-05-01 | Taylor Hobson Ltd. | Interferometrische messvorrichtung |
DE102007008361B3 (de) * | 2007-02-16 | 2008-04-03 | Isis Sentronics Gmbh | Abtastsensorsystem zum berührungslosen optischen Abtasten von Objektoberflächen |
WO2008098716A3 (de) * | 2007-02-16 | 2008-11-20 | Isis Sentronics Gmbh | Abtastsensorsystem zum berührungslosen optischen abtasten von objektoberflächen |
US8125649B2 (en) | 2007-02-16 | 2012-02-28 | Isis Sentronics Gmbh | Scanning sensor system for noncontact optical scanning of object surfaces |
EP2667147B1 (de) | 2012-05-25 | 2018-07-04 | Mitutoyo Corporation | Austauschbare Optikkonfiguration für einen Lesestift eines Sensors mit chromatischem Bereich |
DE102013113407A1 (de) * | 2013-12-03 | 2015-06-03 | Hexagon Metrology Gmbh | Koordinatenmessgerät |
DE102013113407B4 (de) | 2013-12-03 | 2022-08-18 | Hexagon Metrology Gmbh | Koordinatenmessgerät |
DE102019129707A1 (de) * | 2019-11-05 | 2021-05-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit optischer sensor- und/oder beleuchtungsvorrichtung, optische sensor- und/oder beleuchtungsvorrichtung für ein koordinatenmessgerät und verfahren zur nachrüstung eines koordinatenmessgeräts mit einer optischen sensor- und/oder beleuchtungsvorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0362625B1 (de) | 1992-11-04 |
JPH02147902A (ja) | 1990-06-06 |
EP0362625A3 (en) | 1990-05-30 |
DE58902612D1 (de) | 1992-12-10 |
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US4963728A (en) | 1990-10-16 |
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