DE3816413A1 - Verfahren zum betreiben eines gasentladungslasers und gasentladungslaser - Google Patents
Verfahren zum betreiben eines gasentladungslasers und gasentladungslaserInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine verbesserte Art eines Gasent
ladungslasers. Ferner betrifft sie ein hochwirksames
Verfahren zum Kühlen des Plasmas, was zu einer wesentlich
erhöhten Leistungsabgabe führt, verglichen mit herkömm
lichen Lasern derselben Größe, und Einrichtungen zum Durch
führen einer solchen Kühlung. Das Kühlverfahren beruht
auf der Verwendung eines senkrechten oder parallelen elek
trischen Felds in Bezug auf ein axiales Magnetfeld, das
bevorzugt im wesentlichen homogen ist, wobei deren Para
meter auf eine solche Weise gewählt sind, daß eine Plasma
strömung hergestellt wird, die dazu eingerichtet ist, die
erforderliche Wärmeübertragung auf die Wände und die
Abführung der Wärme von dem kritischen Bereich des Laser
systems zu bewirken.
Eines der speziellen Ausführungsbeispiele der Erfindung
betrifft einen koaxialen Gasentladungslaser, der an beiden
Seiten durch Spiegel verschlossen ist, wobei eine Einrich
tung vorgesehen ist, um ein axiales Magnetfeld mit ein
stellbarer Intensität und ein radiales elektrisches Feld
vorzusehen, das senkrecht zu dem im wesentlichen homogenen
Magnetfeld steht, oder ein axiales Magnetfeld und auch
ein axiales elektrisches Feld, wobei der Laser unter den
Bedingungen eines bestimmten Gasströmungsmusters betrie
ben wird, das dazu eingerichtet ist, wirksam den kriti
schen Verstärkungsbereich des Lasers zu kühlen, was zu
einer hochgradig erhöhten Leistungsabgabe führt.
Eine Anzahl von Veröffentlichungen, die von den Verfassern
V.A. Seguin et al. der Elektrotechnischen Fakultät der
Universität Alberta, Edmonton, Alberta, Canada, erschienen
sind (vgl. Applied Optics, Bd. 25, Nr. 21, S. 3825 bis
3829, 1. November 1986, und Bezugsstellen), beschreibt
eine Ausbildung, die ähnlich jener der Erfindung ist. Es
wird ein nichthomogenes Magnetfeld verwendet, um die End
wirkungen zu vermeiden, die durch die Anode selbst (Anode/
Spule) erzeugt werden,wobei die Kathode eine aus mehreren
Elementen gebildete hohle Knopfelektrode ist. Sowohl
Anode als auch Kathode werden durch ein dielektrisches
Strömungsmittel gekühlt. Die Gasentladung ist nicht-selbst
unterhaltend, magnetisch stabilisiert, photoinitiiert,
impulsvergrößert, elektrisch erregt (MAGPIE), und das
CO2-Gasgemisch strömt durch den Verstärkungsbereich in
einem geschlossenen Zyklus mit Hilfe axialer Strömungs
lüfter. Das magnetische Feld beträgt etwa 83 (Gauß), und
sein einziger Zweck ist es, die elektrische Gasentladung
zu stabilisieren und die Stromzufuhr zur entsprechenden
Einrichtung zu erhöhen. Das Magnetfeld ist ein schwaches
und nichthomogenes Feld.
Die Erfindung betrifft Verbesserungen bei Gasentladungs
lasern, die zu einer wesentlich erhöhten Leistungsabgabe
führen, verglichen mit herkömmlichen Lasern derselben
Größe. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum
Betreiben eines solchen Lasersystems, um wirksam Wärme
aus dem kritischen Bereich abzuziehen, was zu einer erhöh
ten Leistungsabgabe führt und die volle Benutzung des
Zwischenelektrodenbereichs zur Laserbildung ermöglicht.
Hohe Stromaufladungen können im Verstärkungsbereich ohne
Lichtbogenbildung induziert werden. Eine bessere moleku
lare Pumpwirkung findet infolge des verstärkten Elektroden
wegs statt.
Die Erfindung betrifft ferner Gasentladungslaser, die mit
einer Einrichtung zum Herstellen einer bestimmten Art
einer Gasumlaufströmung versehen sind, die zu einer hoch
gradig erhöhten Wärmeabfuhr führt, was zu einer verbesser
ten Laserleistung und einer höheren Leistungsabgabe für
eine vorgegebene Lasergröße führt. Mit koaxialen Gasent
ladungslasern, die an ihren Enden mit geeigneten Spiegeln
abgedichtet sind, sind Einrichtungen vorgesehen, um ein
im wesentlichen homogenes axiales Magnetfeld herzustellen,
sowie Einrichtungen, um eine solche Feldstärke zu ändern;
es sind Einrichtungen vorgesehen, um ein radiales oder
senkrechtes elektrisches Feld herzustellen, wobei das
elektrische Feld dazu eingerichtet ist, das gasförmige
Medium des Lasers zu ionisieren und eine Besetzungsumkehr
im Verstärkungsbereich zu verursachen, wobei das gasför
mige Gemisch (Plasma) durch eine erzwungene Konvektion
gekühlt wird, die durch die Wechselwirkung des schwach
ionisierten Plasmas mit dem magnetischen und elektrischen
Feld verursacht wird. Wenn die magnetische Feldstärke über
einen bestimmten kritischen Wert (B crit ) erhöht wird, dann
ergibt sich eine sehr steile Zunahme der Leistungsabgabe.
Die Zunahme in der Leistungsabgabe kann um einen Faktor
von etwa 5, in manchen Fällen sogar 10 und mehr, erfolgen,
verglichen mit ähnlichen Lasern ohne die spezielle Kühl
einrichtung der vorliegenden Erfindung.
Laser nach Art der vorliegenden Erfindung können in einem
Druckbereich von etwa 3 bis etwa 200 torr oder mehr be
trieben werden, die angelegten magnetischen Felder können
zwischen der unteren Grenze von B crit bis auf mehr als
10 000 Gauß variieren, und die angelegte elektrische
Spannung variiert zwischen etwa 100 V bis zu etwa 1000 V
oder mehr.
Beispielsweise kann ein CO2-Laser, der mit einem Druck
von 20 torr betrieben wird, mit einer angelegten Spannung
von 600 V zwischen Anode und Kathode (Abstand 20 mm) und
mit einem axialen Magnetfeld von etwa 300 Gauß und bis
zu etwa 5000 Gauß betrieben werden.
Obwohl die Erfindung an einer Vielfalt von Laserarten und
Laserausbildungen anwendbar ist, wird sie doch im einzel
nen unter Bezugnahme auf ein paar spezielle Konstruktio
nen beschrieben, die jedoch keine Einschränkung bilden
sollen. Erfindungsgemäße Gasentladungslaser mit wesent
lich erhöhter Leistungsabgabe, verglichen mit herkömm
lichen Lasern ähnlicher Größe, weisen im wesentlichen ein
geeignetes Entladungsrohr, einen optischen Resonator,
eine Kathode und Anode, die dazu eingerichtet sind, zwi
scheneinander ein elektrisches Feld bestimmter Orientie
rung und Stärke herzustellen, und einen Magneten auf, der
dazu eingerichtet ist, ein Magnetfeld mit Feldlinien
herzustellen, die im wesentlichen senkrecht oder parallel
zu jenen des elektrischen Feldes verlaufen, wobei das
Magnetfeld ein axiales Magnetfeld ist. Vorteilhafterweise
ist eine Einrichtung vorgesehen, um eine kontinuierliche
Gasströmung herzustellen oder um das gasförmige Medium
zu regenerieren bzw. nachzufüllen.
Gemäß einem der Ausführungsbeispiele sind konzentrische
rohrförmige Elektroden verwendet, wobei eine eine Anode
und die andere eine Kathode sind, welche auch das Ent
ladungsrohr bilden. Dieses kann ein Gas oder Gasgemisch
mit einem bestimmten, im allgemeinen niedrigen Druck ent
halten. Es kann eine Einrichtung vorgesehen sein, um ein
solches Gas oder Gasgemisch durch das Entladungsrohr in
Umlauf zu versetzen. Das System kann auch abgedichtet
sein. Es ist eine Einrichtung vorgesehen, um ein elektri
sches Feld (E) zwischen der Anode und der Kathode durch
Anlegen einer elektrischen Spannung an die beiden Elek
troden herzustellen, wobei die Spannungen allgemein im
Bereich von etwa 100 V bis zu etwa 1000 V liegen. Dieses
radiale oder axiale elektrische Feld führt zur Ionisierung
des Gases oder der Gase im Entladungsrohr und zu einer
Besetzungsumkehr. Um eine "Kantenwirkung" zu vermeiden,
sind vorteilhafterweise Rohre verwendet, deren Enden aus
gebaucht sind.
Es ist eine herkömmliche Kühleinrichtung zum Kühlen der
Elektroden vorgesehen, wie etwa ein Strömungsmittelumlauf
durch die Elektroden und/oder die Verwendung von Wärme
rohren zum Wärmeabzug. Erfindungsgemäß wird eine verbes
serte Kühlwirkung dadurch erreicht, daß man eine erzwun
gene Konvektion des gasförmigen Gemisches herstellt,
welche auf die Wechselwirkung des elektrischen Feldes und
des Magnetfeldes an ionisierten Einheiten und den
"Lehnert-Hoh"-Effekt für schwach ionisierte Plasmas zu
rückgeht, der auch "strömungskonvektive Instabilität des
schwach ionisierten Plasmas" genannt wird.
Wenn ein längliches rohrförmiges Entladungsrohr verwendet
wird, dann beginnt die erzwungene Konvektion bei bestimm
ten Werten des Magnetfelds, und eine solche erzwungene
Konvektion führt zu einem wesentlich erhöhten Abzug der
Wärme des Plasmas und zu einer wesentlich erhöhten
Leistungsabgabe aus einem solchen Lasersystem.
Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Laserbe
trieb, das zu einer erhöhten Leistungsabgabe führt und
das die Schritte umfaßt, ein schwach ionisiertes Plasma
in einer Entladungsrohr-Laseranordnung mit niedrigem
Druck mittels eines radialen oder axialen elektrischen
Feldes zu bilden und das genannte System mit einem Magnet
feld mit einer im wesentlichen gleichförmigen magneti
schen Induktion (B) zu überlagern, das im wesentlichen
parallel zur Achse des Rohres verläuft, wobei das elek
trische Feld und das Magnetfeld auf eine solche Weise
eingestellt werden, daß eine erzwungene Umlaufströmung
des gasförmigen Gemisches (Plasmas) hergestellt wird, die
zu einer verbesserten Kühlung und einer Zunahme der
Leistungsabgabe des Lasers führt.
Die Erfindung ist auf eine weite Vielfalt von Lasersyste
men anwendbar, wie etwa Systeme, die auf CO2, CO, NO2,
Eximern usw. beruhen. Das Magnetfeld kann durch einen
Permanentmagneten hergestellt werden oder es kann durch
eine Spule erzeugt werden. Das elektrische Feld wird
durch Anlegen einer Gleichspannung an Anode und Kathode
erzeugt. Statt einer konstanten Gleichspannung und eines
konstanten Magnetfeldes ist es auch möglich, eine Kombi
nation aus einem Wechselstrom oder pulsierenden Strom mit
einem entsprechenden, in der Phase übereinstimmenden
Magnetfeld zu verwenden. Es ist klar, daß im Falle paral
leler und elektrischer magnetischer Felder E und B ober
halb von B crit solche Lorentz-Kräfte auftreten, daß der
Weg von Anode zu Kathode in eine wendelförmige Umlaufbahn
um die Rohrachse umgeändert wird. Da dieser Weg eine er
höhte Länge aufweist, führt er zu vielfachen Kollisionen
zwischen Elektronen und Molekülen, was die Besetzungsum
kehr erhöht. Die Anwendung eines starken Magnetfeldes
erhöht die Azimuth-Geschwindigkeit und erbringt sekundäre
"Taylor-Zellen"-Strömungen oder wendelförmige Strömungs
wege, wobei der Übergang auf solche Strömungsmuster beim
kritischen Wert der magnetischen Induktion stattfindet,
wo die Lösung für die Plasmaströmung einen Verzweigungs
punkt erreicht. Ferner führt die Anwendung eines solchen
magnetischen Feldes zu einem "Scheindruck" P, was einen
Faktor E/P für den optischen Pumpvorgang der Gasmoleküle
optimiert.
Die anderen Bestandteile des Lasersystems sind herkömm
lich: Der optische Resonator kann zwei Spiegel aufweisen,
die senkrecht zur Rohrachse stehen, von denen der eine
zu 100% reflektiert, während der andere nur teilweise re
flektiert. Erfindungsgemäße Laser können mit entweder
außenliegendem oder innenliegendem Raum betrieben werden.
Wenn ein außenliegender Resonator verwendet wird, dann
ist das Rohr an seinen beiden Enden abgedichtet, wobei
geeignete Fenster, wie etwa Fenster aus ZnSe, vorgesehen
sind, die zentriert oder außermittig angeordnet sein
können und die auch unter einem Brewster-Winkel angeord
net sein können. Die Größe der Fenster ist nach Wunsch
veränderlich, und sie können eine solche Größe aufweisen,
daß sie nur einen Teil des aktiven Bereichs abdecken, bis
zu einer Größe, die der vollen Größe eines solchen Be
reichs entspricht, wobei solche Spiegel außerhalb des
Rohrs angeordnet sind und mit ihrer optischen Achse den
maximalen Verstärkungsbereich durchdringen. Wenn ein
innenliegender Resonator verwendet wird, dann nehmen die
Spiegel den Platz der Fenster der seitlichen Verschluß
teile ein.
Verschiedenartige Ausbildungen von Lasersytemen können
verwendet werden, und eine spezielle ist nachfolgend un
ter Bezugnahme auf einige der Figuren dargestellt.
Das Hauptmerkmal der Erfindung ist die hochwirksame Küh
lung des Gases oder Gasgemisches im Entladungsrohr
(Plasma), welche es ermöglicht, daß man zu einer sehr
stark erhöhten Eingangsleistung für eine vorgegebene
Größe eines solchen Rohres greift, und welche zu einer
sehr ausgeprägten Zunahme der Leistungsabgabe für einen
Laser vorgegebener Größe führt.
Die erfindungsgemäßen Lasersysteme sind gekennzeichnet
durch die Kompaktheit ihrer Abmessung, Einfachheit ihres
Aufbaus und billige Komponenten, wie etwa die Stromversor
gung, und zwar infolge der niedrigen verwendeten Spannun
gen.
Die homogene magnetische Induktion ermöglicht die volle
Verwendung des gesamten Zwischenraums zwischen den Elek
troden zur Laserbildung, und hohe Stromaufladungen können
im Verstärkungsbereich induziert werden, ohne daß dies
zur Lichtbogenbildung führt.
Ganz allgemein existiert ein kritischer Wert von B, "B crit ",
bei welchem die Sekundärströmung beginnt, und eine Erhöhung
der magnetischen Induktion über diesen Wert hinaus ermög
licht eine starke Zunahme in der Leistungsabgabe.
Die Erfindung wird nur beispielsweise unter Bezugnahme
auf die beigefügten schematischen Zeichnungen erläutert,
die nicht maßstäblich sind; in diesen zeigt:
Fig. 1a, 1b und 1c das Strömungsmuster eines
schwachen Plasmas unter Einfluß elektrischer und magneti
scher Felder unterschiedlicher Intensität,
Fig. 2 den Längsschnitt durch ein erfindungs
gemäßes rohrförmiges Lasersystem,
Fig. 3 eine Frontansicht eines Spiegels, der
in einem erfindungsgemäßen System verwendet wird,
Fig. 4 ein anderes erfindungsgemäßes Laser
system in einem Teilausschnitt, und zwar in einem Längs-
Querschnitt,
Fig. 5 einen Schnitt längs der Linie A-A in
Fig. 4,
Fig. 6 eine Spiegelausbildung eines erfindungs
gemäßen Lasersystems,
Fig. 7 einen weiteren erfindungsgemäßen Laser,
Fig. 8 einige weitere Ausführungsbeispiele und
geometrische Ausbildungen gemäß der vorliegenden Erfin
dung; in Fig. 8 ist:
Fig. 8a die Ansicht eines Längsschnitts durch
eine Magnetspule oder einen Permanentmagneten mit zylin
drischer Bohrung, in welche die beschriebenen unter
schiedlichen Laserausbildungen eingeführt werden können,
Fig. 8b die Ansicht eines Schnitts einer Laser
ausbildung ähnlich jener, die in Fig. 2 dargestellt ist,
Fig. 8c ein Längsschnitt durch eine unter
schiedliche geometrische Ausbildung eines Lasers ähnlich
jener, die in Fig. 4 dargestellt ist,
Fig. 8d die Ansicht eines Schnitts, der längs
der Schnittlinie vorgenommen wurde, die in Fig. 8c be
zeichnet ist,
Fig. 8e die Ansicht eines Längsschnitts durch
eine Hohlkathode ähnlich jener, die in dem in Fig. 7
dargestellten Laser verwendet ist, und
Fig. 8f die Ansicht eines Längsschnitts durch
eine Anoden-Kathoden-Anordnung jener Art, die in der Li
teratur als P.I.G.-Entladungsanordnung bezeichnet ist,
und zwar zur Verwendung in erfindungsgemäßen Lasern.
Wie in Fig. 1a, 1b bzw. 1c gezeigt ist, weist ein Ent
ladungsrohr für niedrigen Gasdruck aus einem erfindungs
gemäßen Lasersystem zwei konzentrische Elektroden 11 und
12 auf, wobei 11 eine Anode und 12 eine Kathode ist und
die Elektroden mit einer geeigneten Gleichstromquelle ver
bunden sind, die eine Spannung in der Größenordnung von
etwa 100 V bis etwa 1000 V oder mehr vorsieht. Die resul
tierenden radialen elektrischen Feldlinien sind als
E r bezeichnet und liefern ein elektrisches Radialfeld ge
wünschter Stärke in der positiven Stelle bzw. Kolonne der Entladung
Eine Magnetspule oder ein Permanentmagnet (nicht gezeigt)
ist verwendet, um ein Magnetfeld zu erzeugen, und zwar
vorteilhafterweise mit einstellbarer Feldstärke, wobei
die magnetische Induktion im wesentlichen parallel zur
Rohrachse verläuft und mit B bezeichnet ist.
Die gasförmigen Bestandteile werden ionisiert, und die
Kombination aus dem elektrischen und dem magnetischen Feld
führt zunächst (bei einer geringen magnetischen Kraft)
zu einem Weg, der in Fig. 1a bezeichnet ist; eine Zunahme
eines solchen magnetischen Felds führt zu einem Über
wechseln auf ein Strömungsmuster, das schematisch in
Fig. 1b gezeigt ist, nämlich "Taylor-Zellen"; eine noch
weitere Zunahme des Magnetfeldes führt bei einem bestimm
ten Wert zur Erzeugung eines Strömungsmusters nach Art
der Taylor-Zellen, das in Fig. 1c gezeigt ist, welche
Strömung zu einer weit erhöhten Wärmeübertragung von
Plasma auf die die Wärme abziehenden Elemente (Außenzellen)
des Systems führt.
Die Hauptelemente des Lasersystems der Erfindung sind unter
Bezugnahme auf Fig. 2 dargestellt. Das Lasersystem weist
in Kombination ein Gasentladungsrohr auf, das von der
Anode 21, die ein rohrförmiges Teil mit einem Innendurch
messer d 2 ist, und einer konzentrischen Kathode 22 mit
einem Außendurchmesser d 1 begrenzt ist, welche den Gasent
ladungskanal 23 begrenzen, in welchem ein Gas oder Gasge
misch unter einem bestimmten Druck anwesend ist. Die
Metallanode 21 ist vorteilhafterweise ein Zylinder aus
rostfreiem Stahl mit einem Flansch 24, der ein Rogovsky-
Profil oder ähnliches Profil aufweist, um Endwirkungen
des schwach ionisierten Plasmas im Verstärkungsbereich 23
zu verhindern. Es ist ein weiteres rohrförmiges Teil 25
vorgesehen, das einen Strömungsmittelmantel rund um die
Anode 21 bildet, durch welchen ein Kühlmedium 26 umläuft.
Stattdessen kann auch ein koaxiales Wärmerohr für solche
Kühlzwecke vorgesehen sein. Das rohrförmige Teil 25 ist
von einem Magneten 27 umgeben, der ebenfalls durch das
Kühlmedium 26 gekühlt werden kann. Dieses Magnetsystem 27
kann ein Permanentmagnet, ein Bitter-Magnet, eine Magnet
spule oder ein supraleitender Magnet sein. Seine Ausbil
dung muß so sein, daß er eine im wesentlichen homogene
Magnetinduktion B parallel zur Achse der Elektrode 28 des
Gaslaserrohrs im Verstärkungsbereich 23 erzeugt.
Der Magnet kann permanent oder einstellbar sein. Der mag
netische Induktionsvektor B sollte mindestens eine be
stimmte Intensität aufweisen oder größer sein als ein
solcher kritischer Wert B crit , der eine Funktion ist von
der Rohrlänge L, dem effektiven Durchmesser des Entladungs
rohres (d 2-d 1), dem Entladungsstrom I D , dem Gasdruck im
Entladungsrohr und der Viskosität des Plasmagemisches.
Ohne sich auf eine Theorie festzulegen, ist der Erfinder
überzeugt, daß die Feldstärke B crit verringert werden kann,
wenn das Streckungsverhältnis (aspect ratio) erhöht wird.
Der Wert B crit nimmt mit abnehmendem Druck zu. Es sind
Rohre 29 und 30 vorgesehen, die bevorzugt aus nichtmetal
lischem Material hergestellt sind und verwendet werden
können, um Gas oder ein Gasgemisch durch das Entladungs
rohr mit einem vorgegebenen Strömungsdurchsatz umlaufen
zu lassen, um die Dissoziierung der bei der Laserbildung
beteiligten Moleküle zu vermeiden. Es kann die Kathode 22
auch aus rostfreiem Stahl oder einem nichtkorrosiven
Metall hergestellt sein, mit einem Flansch 31, der ein
Rogovsky-Profil oder ähnliches Profil aufweist, um End
wirkungen zu vermeiden. Die Kathode 22 wird durch ein
Strömungsmittel gekühlt, das durch den Bereich 32 umläuft,
oder sie kann ein Wärmerohr mit Rogovsky-Flanschen 31
sein. Die Kathode 22 kann auch ein Wolframdraht sein, der
durch den Peltier-Effekt gekühlt werden kann.
An den Enden der Anode 21 sind jeweils dielektrische Zylin
der 33 und 34 vorgesehen, oder statt dieser können
Emailleschichten mit derselben Ausbildung vorgesehen sein,
die sich vom Ende der Anode (Rogovsky-Profil) zum Ende
des Rohrs erstrecken. Ein Katalysator kann wahlweise an
den Zylindern 33 und 34 Anwendung finden, um die Dissoziie
rung der Gasmoleküle bei abgesiegelten Vorgängen zu min
dern.
Das in Fig. 4 und 5 dargestellte Lasersystem weist in
Kombination eine mittige Strömungsmittelleitung 41 auf,
an der zwei Elektroden 42 und 43 angebracht sind, die als
Anoden dienen, wobei ein rohrförmiges, umgebendes Bauteil
44 vorgesehen ist, an dessen oberer und unterer Innen
wand eine Kathode 45 bzw. 46 angebracht ist, deren Ränder
bestimmte Rogovsky-artige Flansche 47 oder 48 aufweisen,
wobei Anoden und Kathoden aus nichtkorrodierender Metall
legierung, wie etwa rostfreiem Stahl, hergestellt sind.
Im Inneren der Strömungsmittelleitung 41, die aus dielek
trischem Material hergestellt ist, wird Wasser oder ein
anderes geeignetes Strömungsmittel in Umlauf versetzt.
Auch im Zwischenraum 49 wird eine Flüssigkeit in Umlauf
versetzt. Es ist ein Magnet 50 vorgesehen, der koaxial
auf die Laseranordnung übergeschoben ist und ein koaxiales
Magnetfeld mit einer Feldstärke B liefert. Es liegen zwei
Verstärkungsbereiche 51 und 52 vor, in denen ein Gas
oder ein Gasgemisch mit einem bestimmten Druck vorgesehen
ist. Dieses kann über Rohre 53 und 54 umgepumpt werden
oder, falls erforderlich, über solche Rohre nachgefüllt
werden. Es kann eine Anzahl von Wärmerohren 55 zum Abzug
von Wärme vorgesehen sein. Der Magnet 50 kann ein Perma
nentmagnet oder eine Magnetspule sein. Eine Gleichspannung
wird an Anoden und Kathoden angelegt, die ein elektrisches
Feld zwischen diesen herstellt, wobei das Magnetfeld recht
winklig zum elektrischen Feld ausgerichtet ist. Die
resultierenden Lorentz-Kräfte verursachen einen Umlauf
des Plasmas durch die Bereiche 51 und 52, und Wärme wird
hauptsächlich über die Wärmerohre 53 und 54 bzw. 55 ab
gezogen. Die Intensität des Magnetfelds ist nicht kritisch
bei dieser speziellen Ausbildung, und sogar ein verhält
nismäßig schwaches Feld führt zu einer ausgeprägten Zu
nahme der Leistungsabgabe. Der Resonator ist von zwei
flachen Spiegeln 55′ und 56 gebildet, die eine Spiegel
fähigkeit von 100% aufweisen, eine rechteckige Form haben
und unter einem Winkel von 90° zueinander angeordnet
sind. Es ist ein totalreflektierender Spiegel 57 aus
Metall mit zylindrischer Krümmung und rechteckiger Form
vorgesehen. Es ist weiter ein Ausgangs-Kopplerspiegel 58
mit einem bestimmten Spiegelungsvermögen vorgesehen, um
den Laserausgang des Verstärkungsbereichs zu optimieren.
Es kann auch eine unstabile, gekippte bzw. umgeknickte
zylindrische Resonatorausbildung verwendet werden, wie
in Fig. 6 dargestellt. In ähnlicher Weise sind an den En
den der Kathode 22 dielektrische Zylinder 35 bzw. 36 oder
entsprechende Emaillebeschichtungen oder ähnliche Be
schichtungen vorgesehen, mit einer guten Abdichtung für
die Kathode. Am Ende der Anoden/Kathoden sind ein Resona
torspiegel 37 und ein teilweise reflektierender Spiegel
38 vorgesehen, wobei der Abstand S so gewählt ist, daß
ein Dampfniederschlag auf den beiden Spiegeln verhindert
ist. Es liegt eine Auswahl verschiedenartiger Ausbildun
gen des Resonators vor, wie etwa beispielsweise:
- a) Der Spiegel 37 ist ein totalreflektierender Spiegel mit verbesserten Reflexionsbeschichtungen, während der Spiegel 38 ein teilweise reflektierender Spiegel ist (toroidförmig), und zwar mit einer bestimmten Durchlässigkeit, um die geringe Signalverstärkung im Resonanzhohlraum zu optimieren.
- b) Eine Mehrkanal-(multipass-)Ausbildung, wie sie durch J.G. Xin und D.R. Hall, Optics Communications 58,420-6 (1986), beschrieben ist.
- c) Ein unstabiler Resonator, wobei der Spiegel 37 ein toroidförmiger, totalreflektierender Metallspiegel und der Spiegel 38 ein Spiegel jener Art ist, wie es in Fig. 3 dargestellt ist.
- d) Ein unstabiler Resonator, wie in Appln- Phys. Lett. 52 (7), 15.2.88, von Yasni et al. beschrieben.
Wie in Fig. 3 gezeigt, ist der Spiegel 38 ein Auskoppe
lungsspiegel, der aus zwei Teilen besteht, nämlich einem
toroidförmigen Fenster, das mit antireflektierenden Be
schichtungen versehen ist und die Abschnitte 39 bildet,
und einem reflektierenden, ringförmigen Sektor 40 (Ring
spiegel), der eine Totalreflexion liefert und im Bereich
der maximalen Verstärkung eines geringen Signals liegt.
In allen oben dargestellten Ausführungsbeispielen ist
eine vakuumfeste Abdichtung vorgesehen. Das gasförmige
Medium kann kontinuierlich umgepumpt werden oder es kann
nachgefüllt werden, falls erforderlich, und zwar über die
Leitungen, die in Fig. 2 gezeigt sind.
Der Laser kann auch mit einem Wechselstrom betrieben wer
den, wobei die Funktionen der Elektroden abwechseln und
auf eine Änderung des Magnetfeldes mit derselben Frequenz
zurückgegriffen werden muß.
Wenn das Magnetfeld erhöht wird, dann führt dies bei einer
bestimmten Feldstärke B crit zu einer sehr steilen und aus
geprägten Zunahme der Leistungsabgabe, welche näherungs
weise linear abhängig ist von der weiteren Zunahme des
Magnetfeldes B. Diese Zunahme der magnetischen Feldstärke
impliziert eine Zunahme in der Entladungsspannung, was
die Möglichkeit einer erhöhten Leistungsaufnahme für ei
nen festgelegten Entladungsstrom liefert. Die erhöhte
Leistungsaufnahme führt zu einer sehr ausgeprägten Zu
nahme der Leistungsabgabe, und eine Zunahme um einen Fak
tor von 5 oder mehr, verglichen mit einem ähnlichen Laser
ohne das Kühlsystem der vorliegenden Erfindung, kann mühe
los erreicht werden. In bestimmten Fällen wurde eine Zu
nahme um einen Faktor 10 oder noch sogar mehr erreicht.
Beispielsweise wurde ein Laser gemäß Fig. 2 aufgebaut,
mit einem Innendurchmesser d 1 von 3 mm, einem Außendurch
messer d 2 von 31 mm und einer Länge des Verstärkungsbe
reichs von etwa 310 mm. Dies war ein CO2-Laser für einen
Druck von 20 torr, und er wurde mit einer angelegten Span
nung von etwa 600 V und mit einem Magnetfeld von mehr als
1000 Gauß bei einem Entladungsstrom von mehr als 3 A be
trieben.
Die Ausgangsleistung hängt von der Art der verwendeten
Resonatoroptik ab, und mit gut konstruierten herkömmli
chen Resonatoren kann eine Ausgangsleistung von mehr als
20% der Eingangsleistung erreicht werden.
Wenn ein so hoher Eingang mit einem abgedichteten, diffu
sionsgekühlten Laser mit ähnlichen Abmessungen des Ver
stärkungsbereichs verwendet wird, dann führt dies ganz
allgemein zur Ausbildung eines Lichtbogens.
Bisher wurden Versuche unternommen, um eine wirksame Küh
lung mittels teurer und komplizierter Gebläse und Wärme
austauscher vorzunehmen, aber diese haben nicht die vor
teilhaften Ergebnisse der Lasersysteme der vorliegenden
Erfindung ergeben. CO2-Laser mit langsamer Strömung kön
nen nicht solchen Stromeingängen mit einem Verstärkungs
volumen standhalten, wie es oben bei diesem Beispiel aus
geführt ist.
Verschiedene andere Ausbildungen und Betriebsbedingungen
wurden überprüft, und es ist deutlich geworden, daß das
Kühlsystem der vorliegenden Erfindung, das auf der Wech
selwirkung eines elektrischen Feldes und eines magneti
schen Feldes beruht, das über einem bestimmten Wert liegt,
und zwar bei einem geeigneten laserbildenden Medium, zu
einer drastischen Zunahme der Ausgangsleistung für eine
vorgegebene Lasergröße führt.
Obwohl der Anmelder sich nicht auf eine spezielle wissen
schaftliche Theorie festlegen will, wird doch davon aus
gegangen, daß das physikalische Prinzip der vorliegenden
Erfindung die strömungskonvektive Unstabilität einer
Gasentladung ist, wie dies durch L. Lehnert, Report P/146
bei der Zweiten Internationalen US-Konferenz über die fried
liche Verwendung von Atomenergie, Genf 1958, beschrieben
ist und wie es auch als "Plasma-Instabilität" von V.V.
Kadomtsev und A.V. Nedospasov in J. Nuclear Energy C 1,
230 (1960) erörtert ist. Die Plasma-Instabilität tritt
bei einer kritischen magnetischen Feldstärke, B cr , auf,
und für ein Magnetfeld von B<B cr sind die ambipolaren
Diffusionsgleichungen gültig. Im ambipolaren Diffusions
bereich ist das elektrische Feld um die Zunahme des magne
tischen Feldes verringert, bis ein Wert von B B cr erreicht
ist, wo die anomale Diffusion von D. Bohm vorliegt
(A. Guthrie & R. Wakerling: The Characteristics of Electric
Discharges in Magnetic Fields, McGraw Hill, N.Y. 1949),
und das elektrische Feld nimmt wiederum mit B<B cr zu. Das
oben genannte Prinzip kann bei einem Laser jener Art
angewandt werden, die schematisch in Fig. 7 dargestellt
ist, wo ein Laser mit einer von außen her wassergekühl
ten zylindrischen Bohrung dargestellt ist, die in einem
homogenen axialen Magnetfeld angeordnet ist. Anode und
Kathode sind hohle Elektroden am Ende der zylindrischen
Bohrung, wo auch ein einfacher stabiler oder unstabiler
Resonator aus kugeligen Teilen angeordnet und eingestellt
ist. Für B<B cr ist das Strömungsmuster des schwach ioni
sierten Plasmas ein wendelförmiges Muster, wobei das
elektrische Feld parallel zu B für B<B cr ist und eine ra
diale und azimuthale Komponente für B B cr wird.
Der Laser kann ein abgedichteter Laser sein oder einer
mit einem offenen Zyklus. Die Hauptelemente solcher Laser
sind unter Bezug auf Fig. 7 erläutert.
In dieser Figur bezeichnet 71 einen Permanentmagneten
oder eine Magnetspule, die den Laser umgibt, der einen
Zylinder 72 aus wärmeisolierendem Material aufweist, der
den Außenteil des Lasers bildet, und aus einem Strömungs
mittel-Kühlmantel. 73 und 74 sind die Auslaß- und Einlaß
öffnungen des umlaufenden Kühlmediums. Die Kathode 77 ist
eine Hohlelektrode, wie es auch die Anode 76 ist, und
beide sind über einen Zylinder 75 aus elektrisch isolie
rendem Material verbunden, das ein guter Wärmeleiter ist.
Es ist ein Resonator mit unstabiler positiver Abzweigung
vorgesehen, und an den Enden der rohrförmigen Anordnung
sind kugelige Spiegel 78 bzw. 82 vorgesehen, wobei 79
ein flaches bzw. ebenes AR/AR-Fenster mit Beschichtung
ist. Das Gasmedium kann in das Innere des Lasers über ein
Einlaßrohr 80 zum Plasmabereich 85 eingelassen werden
und kann über eine Auslaßöffnung 81 abgezogen werden.
Der erwähnte unstabile Resonator wird durch die beiden
Spiegelhalter 83 und 84 gestützt.
Es ist klar, daß die obige Beschreibung in erster Linie
der Erläuterung anhand von Beispielen dient und daß ver
schiedenartige Änderungen und Abwandlungen von Art und
Anordnung von Teilen vorgenommen werden können, ohne
daß man den Umfang und Grundgedanken dieser Erfindung
verläßt.
Die in den Zeichnungen gezeigten Ausbildungen sind jedoch
ganz besonders vorteilhaft und bilden ausdrücklich bevor
zugte Ausgestaltungen der Erfindung.
Claims (11)
1. Verfahren zum Betreiben eines Gasentladungslasers,
dadurch gekennzeichnet, daß man ein Gas
entladungsrohr mit einem Gas oder Gasgemisch bei einem
vorbestimmten Druck versieht, ein elektrisches Feld in
einer bestimmten Richtung durch das Gasgemisch hindurch
herstellt, um die Gasbestandteile zu ionisieren, und ein
Magnetfeld senkrecht oder parallel zum elektrischen Feld
herstellt, wobei das Magnetfeld ein axiales Magnetfeld
ist und dessen Wechselwirkung mit den ionisierten Gasbe
standteilen zu einer Umlaufströmung des Plasmas führt,
was zu einer verbesserten Wärmeübertragung aus dem Ver
stärkungsbereich zu den Wänden hin führt und eine höhere
Leitungsaufnahme und eine höhere Laser-Ausgangsleistung
ermöglicht, verglichen mit einem herkömmlichen Laser der
selben Größe.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die gasförmigen Bestandteile in
einem Ringraum zwischen einer axialen Elektrode und einer
koaxialen rohrförmigen Elektrode eingeschlossen ist, das
elektrische Feld ein radiales Feld ist und die Intensität
des elektrischen Feldes und des magnetischen Feldes so
gewählt sind, daß sich eine Umlaufströmung des Plasmas
im Ringraum zwischen den Elektroden ergibt, und daß ferner
eine Einrichtung zum Entfernen von Wärme aus dem System
vorgesehen ist.
3. Gasentladungslaser mit wesentlich erhöhter Ausgangs
leistung, verglichen mit einem herkömmlichen Laser dersel
ben Art und denselben Abmessungen des Verstärkungsbereichs,
gekennzeichnet durch ein Gasentladungsrohr
(z.B. Anode 21), das mit einer Einrichtung zum Aufrecht
erhalten eines bestimmten Drucks versehen ist, eine Ein
richtung (21, 22) zum Herstellen eines elektrischen Felds
mit einer bestimmten Richtung durch das Gas hindurch,
eine Einrichtung (27) zum Herstellen eines axialen Magnet
feldes senkrecht zum elektrischen Feld und ein herkömm
liches optisches Spiegelsystem mit Spiegeln (37, 38), die
einander gegenüberliegen und einander an den Enden des
Entladungsrohrs zugewandt sind, wobei der resultierende
Laserausgang parallel zur Richtung des Magnetfelds liegt.
4. Gasentladungslaser nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß das Gas oder Gasgemisch
in einem Ringraum (23) zwischen den konzentrischen koaxia
len rohrförmigen Teilen (21, 22) eingeschlossen ist, wo
bei das elektrische Feld ein radiales Feld ist, das
Magnetfeld im wesentlichen ein axiales Feld ist und das
Magnetfeld über einem bestimmten kritischen Wert (B crit )
liegt, was zu einem erzwungenen Umlauf des ionisierten
gasförmigen Mediums (eines schwach ionisierten Plasmas)
führt, und wobei eine Einrichtung (25) zum Abführen der
Wärme für die wirksame Entziehung der Wärmeenergie aus
den Grenzbereichen des Laserbereichs vorgesehen ist.
5. Gasentladungslaser nach Anspruch 3 oder 4,
gekennzeichnet durch zwei koaxiale, elek
trisch leitfähige Rohre (21, 22), die an ihren Enden mit
Rogovsky-Flanschen (24, 31) versehen sind, eine Einrich
tung, um im Raum (23) zwischen den Rohren ein gasförmiges
Medium unter einem bestimmten Druck einzuschließen, eine
Einrichtung (29, 30), um erforderlichenfalls ein solches
gasförmiges Medium umzupumpen, eine Einrichtung zum An
legen eines radialen elektrischen Feldes zwischen den
beiden rohrförmigen Teilen, eine Einrichtung (27) zum
Herstellen eines Magnetfeldes senkrecht zum elektrischen
Feld, geeignete Spiegel (37, 38), die an den Enden der
Rohre vorgesehen sind und dem Raum zwischen diesen zuge
wandt sind, und eine Einrichtung (25) zum Abziehen von
Wärme, die vorgesehen ist, um Wärme aus dem Verstärkungs
bereich des Lasers während dessen Betriebs abzuziehen.
6. Gasentladungslaser nach mindestens einem der An
sprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß der aufrechterhaltene Druck zwischen etwa 3 und etwa
200 torr liegt, daß die angelegte Spannung zwischen etwa
100 und etwa 1000 V veränderlich ist und daß das Magnet
feld zwischen einem kritischen Magnetfeld (B crit ) und
etwa 10000 Gauß liegt.
7. Gasentladungslaser nach mindestens einem der An
sprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß der verwendete Magnet (27) ein Permanentmagnet, eine
Magnetspule, ein Supraleiter oder ein Bitter-Magnet ist.
8. Gasentladungslaser nach mindestens einem der An
sprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Einrichtung zum Abführen von Wärme Strömungsmittel-
Wärmeaustauscher (25) oder Wärmerohre (55) aufweist.
9. Gasentladungslaser nach mindestens einem der An
sprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß das verwendete gasförmige Medium CO2, CO, NO2, ein
Eximer oder irgendein anderes Gas oder geeignetes Gasge
misch ist.
10. Gasentladungslaser nach mindestens einem der An
sprüche 3 bis 9, gekennzeichnet durch einen
innenliegenden oder außenliegenden optischen Raum.
11. Gasentladungslaser nach Anspruch 3, gekenn
zeichnet durch ein mittiges längliches Teil (41),
wobei an zwei Flächen dieses Teiles Elektroden (42, 43)
angeordnet sind, eine Leitung (44), die diese Anordnung
umgibt, in welcher zwei Elektroden (45, 46) so angeordnet
sind, daß sie dem anderen Elektrodenpaar gegenüberliegen,
wobei jedes der Elektrodenpaare an unterschiedliche Pole
einer Gleichspannungsquelle angelegt ist, ein gasförmiges
Medium unter bestimmtem Druck, das im Raum (49) vorgesehen
ist, welcher von der Leitung und zwischen den Elektroden
paaren begrenzt ist, eine Einrichtung (53, 54) zum Um
pumpen eines solchen Gases oder Gasgemisches durch den
Raum oder zu dessem Nachfüllen, einen Magneten (50), der
rund um die gesamte Anordnung vorgesehen ist und ein
Magnetfeld liefert, das senkrecht zum elektrischen Feld
steht, und eine wärmeleitfähige Einrichtung (55), die im
Raum zwischen den Elektrodenpaaren vorgesehen ist, wobei
das elektrische Feld und das Magnetfeld das Plasma, das
im Raum angeordnet ist, während des Betriebs des Lasers
veranlassen, eine Umlaufströmung im Raum aufzunehmen,
welche die Wärmeabgabe an die Wärmeübertragungseinrichtung
erbringt, und wobei ein geeignetes herkömmliches optisches
System für den Laserbetrieb vorgesehen ist.
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Publication Number | Publication Date |
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FR (1) | FR2615331B3 (de) |
GB (1) | GB2205991B (de) |
IL (1) | IL82545A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022128056A1 (de) | 2020-12-14 | 2022-06-23 | Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh | Laserverstärker, laser und verfahren mit quer zum e-feld verlaufendem b-feld |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH081972B2 (ja) * | 1991-07-29 | 1996-01-10 | 株式会社東芝 | ガスレーザ発振器 |
US6005882A (en) * | 1997-11-18 | 1999-12-21 | Hyde, Jr.; James R. | Electron pump |
US7031160B2 (en) * | 2003-10-07 | 2006-04-18 | The Boeing Company | Magnetically enhanced convection heat sink |
JP5927218B2 (ja) * | 2014-03-12 | 2016-06-01 | ファナック株式会社 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
US20180126489A1 (en) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | General Electric Company | In-situ laser machining using mirrored optics |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3413568A (en) * | 1965-06-22 | 1968-11-26 | Bell Telephone Labor Inc | Reversed axial magnetic fields in lasers |
GB1234094A (de) * | 1967-07-26 | 1971-06-03 | ||
US3516012A (en) * | 1968-04-22 | 1970-06-02 | Perkin Elmer Corp | Argon laser |
US3651367A (en) * | 1968-06-21 | 1972-03-21 | Hitachi Ltd | Electrical discharge tube |
US3582817A (en) * | 1969-05-12 | 1971-06-01 | Atomic Energy Commission | Gas laser having excitation chambers |
US4007430A (en) * | 1969-10-14 | 1977-02-08 | Nasa | Continuous plasma laser |
US3670262A (en) * | 1970-10-02 | 1972-06-13 | Hughes Aircraft Co | Gas laser with discharge and gas return paths through a common cylindrical body |
US3747015A (en) * | 1972-01-13 | 1973-07-17 | United Aircraft Corp | Magnetic stabilized cross field flowing gas laser |
US3993965A (en) * | 1975-02-24 | 1976-11-23 | Coherent Radiation | Laser having improved windows |
US4550408A (en) * | 1981-02-27 | 1985-10-29 | Heinrich Karning | Method and apparatus for operating a gas laser |
EP0065761B1 (de) * | 1981-05-29 | 1985-11-27 | Battelle-Institut e.V. | Laseranordnung |
US4641316A (en) * | 1982-03-01 | 1987-02-03 | Applied Electron Corp. | D.C. electron beam method and apparatus for continuous laser excitation |
US4530096A (en) * | 1982-11-15 | 1985-07-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Lowbitron - a source of coherent electromagnetic radiation |
US4649547A (en) * | 1984-09-10 | 1987-03-10 | Spectra-Physics, Inc. | Gas laser construction |
US4755999A (en) * | 1985-03-25 | 1988-07-05 | Macken John A | Laser apparatus utilizing a magnetically enhanced electrical discharge |
CA1259396A (en) * | 1985-03-25 | 1989-09-12 | John A. Macken | Laser apparatus utilizing a magnetically enhanced electrical discharge |
US4715039A (en) * | 1985-07-12 | 1987-12-22 | Spectra-Physics, Inc. | Internal resonator water cooled ion laser |
GB8521065D0 (en) * | 1985-08-22 | 1985-09-25 | English Electric Valve Co Ltd | Discharge tube arrangements |
US4849984A (en) * | 1986-02-03 | 1989-07-18 | Hill Alan E | Large volume gaseous electric discharge system |
DE3611303A1 (de) * | 1986-04-04 | 1987-10-08 | Juergen Prof Dr Mentel | Gaslaseranordnung |
-
1987
- 1987-05-15 IL IL82545A patent/IL82545A/xx unknown
-
1988
- 1988-05-10 US US07/191,582 patent/US4910742A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-11 FR FR888806341A patent/FR2615331B3/fr not_active Expired
- 1988-05-13 DE DE3816413A patent/DE3816413A1/de not_active Withdrawn
- 1988-05-16 JP JP63117170A patent/JPH01138773A/ja active Pending
- 1988-05-16 GB GB8811566A patent/GB2205991B/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022128056A1 (de) | 2020-12-14 | 2022-06-23 | Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh | Laserverstärker, laser und verfahren mit quer zum e-feld verlaufendem b-feld |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4910742A (en) | 1990-03-20 |
GB2205991B (en) | 1991-12-11 |
IL82545A0 (de) | 1987-11-30 |
GB2205991A (en) | 1988-12-21 |
FR2615331A1 (fr) | 1988-11-18 |
FR2615331B3 (fr) | 1989-10-06 |
JPH01138773A (ja) | 1989-05-31 |
IL82545A (en) | 1991-11-21 |
GB8811566D0 (en) | 1988-06-22 |
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