DE3812094A1 - Deckenkonstruktion fuer reinraeume - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Deckenkonstruktion für Reinräume, mit einem den Raum überspannenden Trag­ werk und einer an diesem befestigten luft- und partikeldichten Reinraumdecke, die abgedichtet an Raumwände angeschlossen ist und Einrichtungen für die Zu- und/oder Rückluftversorgung bzw. -ent­ sorgung des Reinraumes enthält.

Für die Fertigung hochempfindlicher elektronischer Bauteile, für microbiologische Verfahren und dergl., sind sogenannte Reinräume erforderlich, in denen durch besondere bautechnische und lufttechnische Anlagen gewährleistet ist, daß der in der Raum­ luft enthaltene Anteil von Schmutzteilchen unter den für die jeweilige Reinraumklasse zulässigen Grenzwerten gehalten ist. Um die für die jeweilige Raumreinheit erforderliche Luftqualität zu erzielen, sind besondere Vorkehrungen zur lufttechnischen Versorgung des Reinraumes (Außenluftversorgung und Umlufteinrichtungen) erforderlich. Dazu werden an der Decke des Reinraumes, der sogenannten Reinraumdecke, großflächige Schwebstoffilter installiert, über die dauernd eine bestimmte Luftmenge in den Raum eingeführt wird, der eine entsprechende Luftmengenabfuhr (Rückluft) im Bereiche des Fußbodens oder des Arbeitsplatzes oder aber in der Reinraumdecke selbst zugeordnet ist.

Dabei ist es bekannt, die Reinraumdecke als Raster-Unterdecke auszubilden, deren Deckenfelder entweder durch Deckenplatten oder -funktionselemente partikeldicht verschlossen sind oder Filterkassetten für die Raumluftversorgung oder Rücklufteinlässe enthalten. Auf einer oberhalb der Reinluftdecke liegenden Ebene ist häufig ein Luftkanal-Schienen­ netz angeordnet, das den gesamten Reinraum über­ spannt und die Zu- und Rückluftver- und -entsorgung gewährleistet. Die Luftein- oder -auslässe der einzelnen Deckenfelder sind über eigene Leitungen oder Schläuche an das Kanalnetz angeschlossen, in dessen Kanäle Luft-Drosseleinrichtungen oder -vorwiderstände zweckentsprechend derart angeordnet sind, daß die einzelnen Filterkassetten der Zuluft- Deckenfelder mit der jeweils erforderlichen Luft­ menge beaufschlagt werden, um die gewünschte Luft­ austrittsströmung und -geschwindigkeit zu erzielen.

Eine solche Konstruktion ist konstruktiv sehr aufwendig und weist wegen der für die Luftver­ sorgung oberhalb des Reinraums erforderlichen verschiedenen Geräteebenen einen beträchtlichen Platzbedarf auf.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, eine Decken­ konstruktion für Reinräume zu schaffen, die einen wesentlich geringeren Installationsaufwand für die Luftver- und/oder -entsorgung des Reinraumes bei ge­ ringerem Platzbedarf ermöglicht und gleichzeitig eine flexible Anpassung an die jeweiligen Erfordernisse in dem Reinraum gestattet.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist die eingangs genannte Deckenkonstruktion erfindungsgemäß dadurch gekenn­ zeichnet, daß im Abstand oberhalb der Reinraumdecke eine mit dieser unter Ausbildung eines luftdicht abgeschlossenen Hohlraumes (Plenums) verbundene luft­ dichte obere Decke angeordnet ist, daß an den Hohl­ raum Luftzu- und/oder -abführeinrichtungen ange­ schlossen sind und daß in den Hohlraum Luftein­ oder -auslässe der Reinraumdecke münden.

Durch diese kurz gesagt "doppelwandige" Reinraum­ deckenkonstruktion, deren Plenum der Luftversorgung bzw. -entsorgung dient, ist mit in der Höhenabmessung geringem Platzbedarf eine gleichmäßige Ver- bzw. Entsorgung des ganzen Reinraumes möglich, da die Decke und damit auch das Plenum den ganzen Reinraum überspannen. Damit sind das bisher erforderliche eigene Luftkanalsystem oberhalb der eigentlichen Reinraumdecke und die diesem zugeordneten Anschluß­ einrichtungen oder -kassetten überflüssig geworden.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Anordnung derart getroffen, daß die Reinraumdecke und/oder die obere Decke als Rasterdecke ausgebildet ist bzw. sind, wobei es in dem Fall, daß beide Decken als Rasterdecken ausgebildet sind, zweckmäßig ist, wenn diese auch gleiches Rastermaß aufweisen.

Die als Rasterdecken ausgebildeten Decken können dann mit Vorteil dem Rastermaß entsprechende Decken­ platten enthalten, die randseitig auf horizontalen Trägern des Tragwerkes aufgelegt sind, wobei die Träger der beiden Decken durch mit den Trägern verbundene strebenartige Verbindungselemente im Abstand zueinander gehalten sind. In die Reinraum­ decke eingesetzte Zuluft-Filtermittel können vorteil­ hafterweise derart ausgebildet sein, daß sie von dem Reinraum aus in die Reinraumdecke einsetzbar sind. Dazu können die Filtermittel wenigstens eine Filter­ material enthaltende Filterkassette aufweisen, die auf der dem Hohlraum zugewandten Seite auf Träger des Tragwerks oder mit diesen verbundene Teile ab­ gedichtet aufgesetzt ist. Da in dem zweckmäßiger­ weise druckfest ausgebildeten Hohlraum Luftüberdruck herrscht, kann die Filterkassette auch randseitig mit den Trägern oder den mit diesen verbundenen Teilen verklebt sein. Der in dem Hohlraum herrschende Luftdruck wirkt gleichzeitig als Anpreßkraft für das Filter.

Alternativ kann die Filterkassette mit dem Tragwerk oder anderen Teilen der Reinraumdecke naturgemäß auch mittels lösbarer Verschlüsse, Verschraubungen oder anderer Befestigungsmittel verbunden sein.

Die zweischalige Konstruktion kann in einer zweck­ mäßigen Ausführungsform auch derart ausgeführt sein, daß die beiden Decken mit dem Tragwerk zu einer statisch selbsttragenden Konstruktionseinheit ver­ bunden sind, die dann an Auflagemitteln abgehängt oder auf Abstützeinrichtungen aufgeständert ist. Dabei sind bei einem Rasteraufbau Abhänge- oder Aufständerungsspannweiten bis zu 6 m ohne weiteres möglich. Die selbsttragende Konstruktionseinheit kann deshalb auch Teil einer statisch selbsttragend ausgebildeten Reinraumkabine sein,wobei sehr große Reinräume dadurch gebildet werden können, daß mehrere solcher Reinraumkabinen nebeneinander oder aneinander anschließend angeordnet sind.

Um die Zu- und Rückluftführung an beliebigem Ort oberhalb des Reinraumes zweckentsprechend gestalten zu können, ist es vorteilhaft, wenn der Hohlraum der neuen "Doppelreinraumdecke" Luftleiteinrichtungen enthält, die einfacherweise mit den beiden Decken verbundene Querschotte aufweisen können. Wenn die Reinraumdecke Filtermittel mit unterschiedlichem Durchströmwiderstand enthält, lassen sich die Aus­ blas- bzw. Laminargeschwindigkeiten der in den Rein­ raum einströmenden Zuluft individuell den jeweiligen örtlichen Erfordernissen anpassen, ohne daß dazu in dem Hohlraum selbst irgendwelche Strömungs-Vorwider­ stände etc. vorgesehen werden müßten.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele des Gegen­ standes der Erfindung dargestellt. Es zeigen:

Fig. 1 einen Reinraum mit einer Deckenkonstruktion gemäß der Erfindung, in einer perspektivischen, schematischen Teildarstellung,

Fig. 2 die Deckenkonstruktion des Reinraumes nach Fig. 1, geschnitten längs der Linie II-II der Fig. 1, in einer Seitenansicht, in einem anderen Maßstab und im Ausschnitt,

Fig. 3 eine Reinraumkabine mit einer Deckenkonstruktion gemäß der Erfindung, geschnitten längs der Linie III-III der Fig. 4, in einer Seitenansicht,

Fig. 4 die Reinraumkabine nach Fig. 3, geschnitten längs der Linie IV-IV der Fig. 3, in einer Draufsicht, und

Fig. 5 die Reinraumkabine nach Fig. 3, geschnitten längs der Linie V-V der Fig. 4, in einer Seitenansicht.

Der in Fig. 1 schematisch dargestellte Reinraum ist in einem mit einer Wand 1 und dem Fußboden 2 angedeuteten Gebäuderaum untergebracht. Er ist um­ geben von luft- und partikeldichten Seitenwänden 3, von denen wenigstens eine Fenster 4 und eine Tür 5 enthält, sowie von einer ebenfalls luft- und partikel­ dichten Doppelbodengrundplatte 6 und einer sich an die Seitenwände 3 luft- und partikeldicht anschließen­ den Reinraumdecke, die ihrerseits Teil einer Decken­ konstruktion 8 ist. Die aus einzelnen Rasterplatten zusammengesetzte Doppelbodengrundplatte 6 ist über höhenverstellbare, in den Kreuzungspunkten eines Rastergitters 9 angeordnete Füße 10 auf dem Gebäudefußboden 2 abgestützt. Sie enthält einige gelochte Plattenelemente 11, die an eine nicht weiter dargestellte Absaugeeinrichtung angeschlossen sind, die es gestattet, aus dem Reinraum Abluft abzusaugen.

Die Deckenkonstruktion 8, deren Aufbau im einzelnen insbesondere auch aus Fig. 2 zu ersehen ist, weist ein aus horizontalen Trägern 12, 13 und diese mit­ einander in Abständen verbindenden, vertikalen, strebenartigen Verbindungselementen 14 zusammenge­ fügtes Tragwerk auf, das mittels Tragankern 15 an der bei 16 angedeuteten Gebäudedecke abgehängt ist.

Die Träger 12, 13 sind vorzugsweise aus Aluminium stranggepreßte, im Querschnitt im wesentlichen Doppel-U-förmige Profilschienen, die zu zwei starren, rostartigen Rahmen 17,18 zusammengefügt sind. Die bei­ den Rahmen 17, 18 liegen in zwei horizontalen Ebenen, deren Abstand durch die Verbindungselemente 14 be­ stimmt ist.

Jeder der Rahmen 17, 18 besteht aus parallel verlaufenden, durchgehenden Längsträgern 12 und zwischen diese in Abständen eingefügten kurzen Querträgern 13, derart, daß von einander zugeord­ neten Längs- und Querträgern 12, 13 jeweils qua­ dratische Deckenfelder begrenzt sind, die nach dem sogenannten Euro-Raster von 1.20/1.20 m bemessen sind, aber auch andere Rasterabmessungen aufweisen können. Beide Rahmen 17, 18 sind in dem gleichen Rastermaß ausgebildet. Die an den Eckpunkten der Deckenfelder angeordneten Verbindungselemente 14 weisen eine im wesentlichen U-förmige Querschnitts­ gestalt auf; sie sind an ihren horizontalen Schenkeln 19 mittels Schrauben 20 an den Längsträgern 12 fest­ geschraubt, welche mit aufeinander zu weisenden Profilnuten angeordnet sind.

In ähnlicher Weise sind die Traganker 15 mit den Längsträgern 12 über aufgesetzte Trag- und Klemm­ platten 21, 22 verbunden, die in der aus Fig. 2 ersichtlichen Weise mit den Längsträgern 12 zusammen­ wirken und mit diesen jeweils durch eine aufgesetzte Schraubenmutter 23 verklemmt sind. An dem deckensei­ tigen Ende sind die Traganker 15 über Schraubenmuttern 24 an U-Schienen 25 aufgehängt, die bei 26 mit der Gebäudedecke 16 verdübelt sind.

In die quadratischen Deckenfelder des oberen Rahmens 17 sind an den Rändern abgekantete Blindbleche 27 eingesetzt, die randseitig über dazwischengelegte Dichtungen 28 gegen die Längsträger 12 und die Quer­ träger 13 sowie gegeneinander abgedichtet sind und damit gemeinsam mit dem oberen Rahmen 17 eine luft- und partikeldichte Oberdecke bilden. Die Blindbleche 27 sind randseitig über U-Profilschienen 29 gegen entsprechende, die Abdichtungen 28 tragende Auflageschultern 30 der Träger 12, 13 abgestützt. Da­ zu sind die die randseitigen Abkantungen der Blind­ fläche 27 übergreifenden U-Profilschienen 29 durch Schrauben 31 gegen die Längsträger 12 verspannt.

In die Deckenfelder des unteren Rahmens 18 sind Schwebstoff-Filterkassetten 32 und an einzelnen Stellen luft- und partikeldichte Deckplatten in Gestalt von Blindblechen 33 (Fig. 1) ebenfalls luft- und partikeldicht eingefügt. Die Verbindung der Blindbleche 33 mit den Längsträgern 12 und den Querträgern 13 des unteren Rahmens 18 geschieht wiederum über U-förmige Klemmschienen 29 und Schrauben 31 in der bereits im Zusammenhang mit dem oberen Rahmen 17 und den Blindblechen 27 ge­ schilderten Weise. Gemeinsam mit dem Rahmen 18 und den Filterkassetten 32 bilden sie eine Rein­ raumdecke 34, die seitlich bei 35 (Fig. 1) luft- und partikeldicht an die selbsttragenden Seitenwände 3 des Reinraumes angeschlossen ist.

Zwischen der Reinraumdecke 34 und der von dem oberen Rahmen 17 und den Blindblechen 27 gebildeten oberen Decke ist ein sich über die gesamte Fläche der Rein­ raumdecke 34 erstreckender Hohlraum (Plenum) 36 aus­ gebildet, der seitlich durch ringsumlaufende Blind­ bleche 37 abgeschlossen ist, welche, ähnlich den Blindblechen 27, 33, an ihren Rändern abgewinkelt und mittels der randständigen U-Klemmschienen 29 mit den entsprechenden Längs- und Querträgern 12 bzw. 13 abdichtend verklemmt sind.

Der zwischen den beiden Decken 34 und (17, 27) abgeschlossene Hohlraum 36 ist druck- und unter­ druckfest ausgebildet. Er dient zur Luftversorgung oder -entsorgung des Reinraums, wie dies im einzel­ nen noch beschrieben werden wird.

Die Filterkassetten 32 weisen einen ringsumlaufenden, gehäuseartigen Blechrahmen 38 auf, in den Schwebstoff- Filtermaterial 39 eingesetzt ist, das unten auf einem Lochblech 40 aufliegt. Mit dem Rahmen 38 liegen die Filterkassetten 32 randseitig auf den Schultern 30 der zugeordneten Längs- und Querträger 12, 13 auf, wobei sie auf diesen Schultern aufgeklebt sind, wie dies bei 41 angedeutet ist.

Die Länge der Verbindungselemente 14 und damit die Höhe des Hohlraums 36 sind derart gewählt, daß die Filterkassetten 32 von der Unterseite der Reinraum­ decke 34 her in dem jeweiligen Deckenfeld durch den unteren Rahmen 18 durchgeschoben, sodann in dem Hohlraum 36 flachgelegt und auf die Schultern 30 der Träger 12, 13 aufgelegt werden können.

In dem Hohlraum 36 herrscht Luft-Überdruck, der somit von oben her auf den Filterkassetten 32 lastet und damit eine zusätzliche Anpreßkraft im Bereiche der Verklebung bei 41 bewirkt.

Alternativ können die Filterkassetten 32 natur­ gemäß randseitig mit den benachbarten Längs- und Querträgern 12, 13 auch mittels an sich bekannter lösbarer Klemmeinrichtungen staub- und partikel­ dicht verklemmt sein.

An den Hohlraum 36 ist über entsprechende Öffnungen in seitlichen Blindblechen 37 ein nicht weiter dar­ gestelltes Zuluftgerät angeschlossen, das ein Ge­ bläse enthält, welches den Hohlraum 36 mit Zuluft beaufschlagt, derart, daß in dem Hohlraum 36 ein bestimmter Überdruck aufrecht erhalten bleibt. Damit strömt durch die Filterkassetten 32 von oben her gleichmäßig Zuluft in den Reinraum ein, während die Ab- oder Rückluft bei 11 abströmt.

Durch entsprechende unterschiedliche Belegung des unteren Raster-Rahmens 18 mit Blindblechen 33 und Filterkassetten 32 kann eine flexible Anpassung der Zuluftversorgung des Reinraumes in Abhängigkeit von dessen jeweiligen örtlichen Gegebenheiten (An­ ordnung und Verteilung der Arbeitsplätze etc.) er­ folgen. Normalerweise werden Filterkassetten 32 mit gleichem Durchströmungswiderstand des Filter­ materials 39 verwendet, so daß sich auch eine gleichmäßige Luftzuführung in dem betreffenden Deckenbereich ergibt. Daneben ist es aber ohne weiteres möglich, durch Einsatz von Filterkassetten 32 mit unterschiedlichen Durchström-, d.h. Filter­ widerständen, die Luft-Ausblas- bzw. -laminar­ geschwindigkeiten individuell den jeweiligen örtlichen Erfordernissen anzupassen. Außerdem ist in dem Hohlraum 36 eine Zuluftführung an beliebigem Ort durch entsprechende Abschottung des Plenums möglich. Dazu brauchen lediglich Quer- oder Längsschotten an entsprechenden Stellen zwischen die beiden Rahmen 17, 18 und die benach­ barten Verbindungselemente 14 eingefügt zu werden, was keinen besonderen konstruktiven Aufwand be­ deutet. Ein Längsschott und ein Querschott einer solchen Abschottung sind in Fig. 1 bei 42 und 43 angedeutet.

Die aus den beiden Rahmen 17, 18 den Blindblechen 27, 33, 37 und den Filterkassetten 32 bestehende Deckenkonstruktion bildet eine scheibenförmige, statisch selbsttragende Konstruktionseinheit, die erforderlichenfalls noch zusätzliche Diagonal- oder Querstreben enthalten kann, die durch den Hohlraum 36 verlaufen. Bei der beschriebenen Aus­ führungsform nach den Fig. 1, 2 ist diese den Rein­ raum überspannende, selbsttragende Konstruktions­ einheit als Unterdecke mittels der Traganker 15 an der Gebäudedecke 16 aufgehängt und seitlich bei 35 abdichtend an die Reinraum-Seitenwände 3 angeschlossen. Die selbsttragende Ausbildung dieser Deckenkonstruktion erlaubt es aber auch, die so ge­ bildete Konstruktionseinheit auf Abstützeinrichtungen aufzuständern, wobei sie bspw. Teil einer statisch selbsttragend ausgebildeten Reinraumkabine sein kann. Ein solches Ausführungsbeispiel ist in den Fig. 3 bis 5 veranschaulicht:.

Die im Querschnitt rechteckige Reinraumkabine be­ steht aus luft- und partikeldichten Reinraumwänden 50, die selbsttragende Wandprofile 51 enthalten und an vertikalen Stützen 52 befestigt sind, sowie bei 53 angedeutete Fenster enthalten können. Die Seiten­ wände 50 sind luft- und partikeldicht auf einen Reinraumboden 54 aufgesetzt und stirnseitig eben­ falls luft- und partikeldicht mit Reinraum-Stirn­ wänden 540 verbunden. Eine Glasschiebetür 55 in einer Stirnwand 540 gibt Zugang zu einem Eingangs-Schleusen­ raum 56,von dem aus eine weitere Tür 57 Zugang zu dem eigentlichen Reinraum gibt, in dem ein seitliches Podest 58 angeordnet ist.

Auf die Seiten- und Stirnwände 50 bzw. 540 ist die bereits anhand der Fig. 1,2 beschriebene doppelschalige, selbsttragende Decken-Konstruktionseinheit luft- und partikeldicht aufgesetzt, die in Fig. 3 lediglich schematisch dargestellt ist. Ihre Einzelheiten sind aus den Fig. 1 und 2 zu entnehmen. Gleiche Teile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen, so daß sich eine nochmalige Erläuterung insoweit erübrigt.

Seitlich neben der Reinraumkabine ist ein Zuluft ansaugendes und reinigendes sowie gegebenenfalls erwärmendes oder kühlendes Zuluftgerät 59 angeordnet, das ein Gebläse 60 enthält, welches über einen Zuluft­ kanal 61 (Fig. 5) an den Hohlraum 36 angeschlossen ist und diesen mit Zuluft beaufschlagt.

Die Reinraumdecke 34 ist in diesem Falle durch ent­ sprechende Belegung der Deckenfelder des unteren Raster-Rahmens 18 derart ausgebildet, daß die Filter­ kassetten 32 in streifenartiger Anordnung in einem Mittelbereich sich etwa über die Länge der Reinraum­ kabine erstrecken, während beidseitig anschließende Längsbereiche durch Blindbleche 33 abgeschlossen sind. Damit wird die Luftzufuhr auf den in Fig. 5 bei 62 angedeuteten Arbeitsbereich konzentriert, während die Abluft durch Abluftkanäle 63, 64 abgezogen wird. Durch Längs- und Querschotten 42, 43 (Fig. 4, 5) wird die ge­ wünschte Zuluftführung in dem Hohlraum 36 gewährleistet.

Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen sind in der Reinraumdecke 34 lediglich Zuluft-Auslässe 40 bei den Filterkassetten 32 vorhanden. Die Abluft wird boden- oder wandseitig abgesaugt, wie dies im einzelnen erläutert wurde. Die Reinraumdecke 34 kann natürlich auch Rücklufteinlässe aufweisen, die in durch ent­ sprechende Längs- und/oder Querschotte 42, 43 abgeteilte Bereiche des Hohlraumes 36 münden, an die wiederum Luftabsaugeinrichtungen angeschlossen sind. Ebenso können in der Reinraumdecke 34 an bestimmten Stel­ len anstelle der Filterkassetten 32 einfache Luftaus­ lässe, beispielsweise in Gestalt von Lochblechen 40, vorgesehen sein, wie dies beispielsweise in Fig. 3 zur Belüftung der Schleusenkammer 56 dargestellt ist.

Claims (15)

1. Deckenkonstruktion für Reinräume, mit einem den Raum überspannenden Tragwerk und einer an diesem befestigten luft- und partikeldichten Reinraum­ decke, die abgedichtet an Raumwände angeschlossen ist und Einrichtungen für die Zu- und/oder Rückluft­ ver- bzw. -entsorgung des Reinraumes enthält, da­ durch gekennzeichnet, daß im Abstand oberhalb der Reinraumdecke (34) eine mit dieser unter Ausbildung eines luftdicht abge­ schlossenen Hohlraums (Plenums) (36) verbundene luftdichte obere Decke (17, 27) angeordnet ist, daß an den Hohlraum (36) Luftzu- und/oder -abführ­ einrichtungen (60, 61) angeschlossen sind und daß in dem Hohlraum (36) Luftein- oder -auslässe (40) der Reinraumdecke (34) münden.

2. Deckenkonstruktion nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Reinraumdecke (34) und/oder die obere Decke (17, 27) als Rasterdecke ausgebildet ist bzw. sind.

3. Deckenkonstruktion nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die beiden als Rasterdecken ausgebil­ deten Decken (34; 17, 27) gleiches Rastermaß aufweisen.

4. Deckenkonstruktion nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden als Rasterdecken aus­ gebildeten Decken (34; 17, 27) jeweils dem Raster­ maß entsprechende Deckenplatten (33, 27) enthalten, die randseitig auf horizontalen Trägern (12, 13) des Tragwerks aufgelegt sind und daß die Träger der bei­ den Decken durch mit den Trägern verbundene, streben­ artige Verbindungselemente (14) im Abstand zueinander gehalten sind.

5. Deckenkonstruktion nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in die Reinraum­ decke (34) eingesetzte Zuluft-Filtermittel (32) von dem Reinraum aus in die Reinraumdecke (34) einsetz­ bar ausgebildet sind.

6. Deckenkonstruktion nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Filtermittel wenigstens eine Filtermaterial (39) enthaltende Filterkassette (32) aufweisen, die auf der dem Hohlraum (36) zugewandten Seite auf Träger (12, 13) des Tragwerkes oder mit diesen verbundene Teile abgedichtet aufgesetzt ist.

7. Deckenkonstruktion nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Filterkassette (32) randseitig mit den Trägern (12, 13) oder den mit diesen verbundenen Teilen verklebt ist.

8. Deckenkonstruktion nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Reinraumdecke (34) Filtermittel (32) mit unterschiedlichem Durchströmwiderstand enthält.

9. Deckenkonstruktion nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohl­ raum (36) Luftleiteinrichtungen (42, 43) enthält.

10. Deckenkonstruktion nach Anspruch 9, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Luftleiteinrichtungen mit den beiden Decken (34, 17, 27) verbundene Quer- und/oder Längsschotte (43; 42) aufweisen.

11. Deckenkonstruktion nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Decken (34; 17, 27) mit dem Tragwerk zu einer statisch selbsttragenden Konstruktionseinheit verbunden sind.

12. Deckenkonstruktion nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die selbsttragende Kon­ struktionseinheit an Aufhängemitteln (15) abge­ hängt ist.

13. Deckenkonstruktion nach Anspruch 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die selbsttragende Konstruktions­ einheit auf Abstützeinrichtungen (51, 52) aufge­ ständert ist.

14. Deckenkonstruktion nach Anspruch 13, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die selbsttragende Konstruktions­ einheit Teil einer statisch selbsttragend ausge­ bildeten Reinraumkabine ist.

15. Deckenkonstruktion nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum (36) druck- und/oder unterdruckfest aus­ gebildet ist.