DE3809182A1 - Optisches bauelement - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches funktio
nelles Bauelement des Wellenleitertyps, insbesondere ein
solches Element, das ein organisches nichtlineares optisches
Material enthält und zur Anwendung in der optischen Kommuni
kationstechnik oder der optischen Informationsverarbeitung
geeignet ist.
Es hat sich bei experimentellen und theoretischen Forschun
gen herausgestellt, daß organische Verbindungen mit nicht
lokalisierten Pi-Elektronen ein extrem großes nichtlineares
optisches Ansprechverhalten zeigen. Insbesondere für nicht
lineare optische Konstanten der zweiten Ordnung wurden viele
Verbindungen auf molekularer Ebene gefunden, die eine nicht
lineare optische Konstante haben, die wesentlich größer ist
als die der bekannten anorganischen Kristalle wie LiNbO3
oder dergleichen, und es wurden Untersuchungen angestellt,
diese Verbindungen zu kristallisieren.
Solche organischen nichtlinearen optischen Kristalle er
wecken als neue Materialien für die Anwendung bei der opti
schen Modulation, der optischen Frequenzmodulation, der
optischen Bistabilität, der phasenkonjugierten Optik usw.
viele Hoffnungen, und es wurden daher schon einige Methoden
für den Einbau solcher Kristalle in Bauelemente vorgeschla
gen. So wurde bereits die Aufmerksamkeit auf Einmoden-Wel
lenleiter als auch auf konventionelle Multimoden-Wellen
leiter als optisch funktionelle Bauelemente des Wellenlei
tertyps gelenkt. Diese Vorschläge führten jedoch nur zur
Schaffung von Multimoden-Wellenleitern, wie es in Optical
Communications, 50, 154 (1984) oder der ACS-Symposium-Reihe
233, 153 (1983) beschrieben ist, wobei ein Kanal mit einer
Breite von etwa 100 µm auf einem Substrat mit geschmolzenem
nichtlinearen optischen Material gefüllt wird oder wobei das
geschmolzene Material durch Kapillarwirkung in eine hohle
Lichtleitfaser mit einem Innendurchmesser von 2-10 µm
eingeführt wird.
Andererseits werden optische funktionelle Bauelemente in
vielen Fällen aus einem Einmoden-Wellenleiter mit kleinem
Kerndurchmesser und Elektroden zur Steuerung des durchge
leiteten Lichts durch elektrooptische, akustooptische oder
ähnliche Effekte gebildet.
Außerdem ist bei der bekannten Vorrichtung sehr schwierig,
den Kanal, der eine vorgeschriebene Tiefe und Breite hat,
mit dem geschmolzenen nichtlinearen optischen Material zu
füllen, da die Abmessungen des Kanals nur wenige Mikrometer
betragen.
Bei der Füllung der hohlen Lichtleitfaser mit dem geschmol
zenen nichtlinearen optischen Material ist es schwierig,
einen einheitlichen Aufbau mit Elektroden oder anderen
optischen Teilen zu verwirklichen, das heißt, eine optische
Integration zu erreichen.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein optisches funktionelles
Bauelement zu schaffen, das als Wellenleiter ein organisches
nichtlineares optisches Material aufweist, das in die Ober
fläche eines Substrates mit vorgegebener Beschaffenheit
eingebettet ist, wobei das organische nichtlineare optische
Material in einen hohlen Abschnitt eingefüllt ist, der sich
aus einem Kanal in der Form eines Schlitzes an der Ober
fläche des erwähnten Substrates und einem weiteren Substrat
zur Abdeckung des oberen Teiles des Kanales zusammensetzt.
Erfindungsgemäß werden daher die vorstehenden Schwierig
keiten beseitigt und ein optisches funktionelles Bauelement
des Wellenleitertyps mit einem organischen nichtlinearen
optischen Material geschaffen, das leicht hergestellt und
ebenso leicht mit anderen Bauteilen integriert werden kann.
Erfindungsgemäß kann auch ein Einmoden-Wellenleiter durch
Kapillarwirkung oder durch Vakuum-Ansaugung hergestellt
werden, da das Bauteil einen Hohlraum in der Form einer
feinen Röhre aufweist. Das Bauelement befindet sich außerdem
auf einem Substrat, so daß Elektroden oder andere funk
tionelle Teile über das Substrat leicht damit verbunden
werden können.
Das Einbringen des organischen nichtlinearen optischen Ma
terials ist bei dem erfindungsgemäßen Bauelement einfach, so
daß ein optischer Wellenleiter mit diesem Material leicht
ausgebildet werden kann. Das erfindungsgemäße Bauelement
kann wesentlich kleiner gemacht werden als die Bauelemente
mit herkömmlichem anorganischem Material als Wellenleiter,
so daß es mit geringerer Spannung betrieben werden kann und
ein sehr schnelles Ansprechverhalten zeigt.
Ausführungsbeispiele des optischen funktionellen Bauelemen
tes werden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines ersten Aus
führungsbeispieles des optischen Bauelementes;
Fig. 2 einen Längsschnitt und
Fig. 3 einen Querschnitt durch die erste Ausführungsform;
Fig. 4 und 5 schematische Darstellungen zweier Arten von
optischen funktionellen Bauelementen;
Fig. 6 und 7 Schnittansichten eines zweiten bzw. dritten
Ausführungsbeispieles des Bauelementes; und die
Fig. 8, 9 und 10 Darstellungen weiterer Ausführungsbeispiele
des Bauelementes.
Die Fig. 1 zeigt eine Realisierung des optischen Bauelemen
tes als Phasenmodulator, der ein Grundbeispiel für ein
optisches funktionelles Bauelement ist. Das Bezugszeichen 1
bezeichnet dabei ein Silizium-Substrat, 2 eine Pyrex-Glas
platte, 3 einen Wellenleiter mit einem organischen nicht
linearen optischen Material, 4 eine Elektrode und 5 eine
Lichtleitfaser.
An der Oberfläche des Substrates 1 ist eine Nut oder ein
Kanal ausgebildet, die bzw. der dafür vorgesehen ist, mit
einem organischen nichtlinearen optischen Material gefüllt
zu werden. Der Kanal hat eine vorgegebene Breite und Tiefe,
die für die Übertragung einer Einheitsmode erforderlich ist.
Auf die Oberfläche des Substrates 1, an der der Kanal ausge
bildet ist, ist die Glasplatte 2 so aufgeklebt, daß sie den
Kanal abdeckt, wodurch der erwähnte Kanal einen Hohlraum in
der Form einer feinen Röhre bildet. In den Hohlraum wird
mittels Kapillarwirkung oder Vakuum-Ansaugung ein orga
nisches nichtlineares optisches Material eingebracht, wo
durch der Wellenleiter 3 mit organischem nichtlinearen opti
schen Material ausgebildet wird.
Es ist in diesem Fall erforderlich, daß die Brechungsindizes
an der Oberfläche des Kanals im Substrat und an der den
oberen Teil des Kanals abdeckenden Fläche kleiner sind als
der Brechungsindex des eingefüllten organischen nichtline
aren optischen Materials, um das Substrat als optisches
Zwischenmedium des optischen Wellenleiters verwenden zu
können.
Als Substrat kann neben Silizium eine Glasplatte, eine
Platte, an deren Oberfläche Glas aufgebracht wurde, oder
dergleichen verwendet werden. Der Brechungsindex einer Glas
platte bzw. einer Platte, an deren Oberfläche Glas auf
gebracht ist, ist kleiner als der eines organischen nicht
linearen optischen Materials. Eine Siliziumplatte hat jedoch
normalerweise einen größeren Brechungsindex, und es ist da
her erforderlich, die Oberfläche des Kanals oder die den
Kanal abdeckende Fläche einer thermischen Oxidation zu
unterwerfen, um eine optische Zwischenschicht auszubilden.
Die entsprechenden Brechungsindizes (n) sind im allgemeinen
wie folgt:
Bei Silizium ist n etwa 3,75; bei thermisch oxidiertem
Silizium (SiO2) ist (bei einer Wellenlänge von 0,6328 µm)
n = 1,460; bei einer Pyrex-Glasplatte ist (bei der Wellen
länge 0,6328 µm) n = 1,472; und organisches nichtlineares
optisches Material hat ein n von 1,5 bis 2,5.
Der Kern der Lichtleitfaser 5 ist mit den Enden des Wellen
leiters 3 verbunden. Dazu ist auf dem Substrat 1 durch Ätzen
in der Verlängerung der Achse des Wellenleiters 3 eine
V-förmige Nut ausgebildet, die die Lichtleitfaser 5 auf
nimmt.
Auf der Oberfläche des Substrates 1 ist ein Paar von Elek
troden 4 ausgeformt, zwischen denen der Wellenleiter 3
angeordnet ist. Eine genaue Beschreibung dieser Anordnung
folgt später. Wenn an die Elektroden 4 eine Spannung ange
legt und im Wellenleiter 3 ein elektrisches Feld erzeugt
wird, ändert sich der Brechungsindex des Wellenleiters 3
durch den elektrooptischen Effekt erster Ordnung (Pockels-
Effekt), so daß eine Phasenmodulation des Lichts erfolgt,
das durch den Wellenleiter 3 läuft, der dadurch als opti
scher Modulator wirkt.
Die Fig. 2 zeigt den Aufbau des Bauelementes in einem
Schnitt längs des Wellenleiters 3, und die Fig. 3 den Aufbau
in einem Schnitt senkrecht zum Wellenleiter 3.
Wie in der Fig. 3 gezeigt, ist das Silizium-Substrat 1 vom
p-Typ, und eine benötigte elektronische Schaltung oder
andere Bauteile können vorhergehend darauf ausgebildet
werden. In diesem Fall ist zur Isolation des Substrates von
solchen Zusatzelementen ein Bereich 8 vom n-Typ auf dem
Substrat 1 mit der p-Typ-Schicht 9 aufgebracht, und im
Bereich 8 befinden sich p⁺-Schichten 7, die einen Abschnitt
bilden, der als Elektrode 4 wirkt.
Dann wird ein Kanal mit einer Breite von 1 µm, einer Tiefe
von 1 µm und einer Länge von 1 mm, das heißt ein ent
sprechendes Raster an der Seite des Substrates 1 vorgesehen,
auf der durch reaktives Sputter-Ätzen ein Kanal ausgeformt
werden soll. Die V-förmige Nut zur Aufnahme der Lichtleit
faser wird durch alkalisches Ätzen mit Kaliumhydroxid oder
dergleichen erzeugt.
Silizium hat einen großen Brechungsindex, daher kann der
Wellenleiter 3 nicht direkt auf dem Silizium ausgebildet
werden. Die Oberfläche des Silizium-Substrates 1 wird
deshalb thermisch oxidiert, um eine SiO2-Schicht 6 auf
wachsen zu lassen, die als optische Zwischenschicht dient.
Die thermische Oxidation wird bei einer Temperatur von 1000
bis 1200°C in trockener Reinsauerstoff-Atmosphäre (trockene
Oxidation) oder in Dampfatmosphäre (nasse Oxidation) ausge
führt. Die zur Oxidation erforderliche Zeit hängt von der
Atmosphäre ab, wobei die nasse Oxidation schneller vor sich
geht als die trockene Oxidation. Durch die Oxidation wird
eine SiO2-Zwischenschicht mit einem Brechungsindex erzeugt,
der kleiner ist als der von Silizium. Es reicht dabei aus,
wenn sich die Zwischenschicht nur in dem Kanal befindet, der
für den Wellenleiter 3 vorgesehen ist, so daß die SiO2-
Schicht an den anderen Stellen durch Ätzen oder dergleichen
entfernt werden kann.
Dann wird die Oberfläche des Silizium-Substrates 1, an der
sich der Kanal befindet, mit der Pyrex-Glasplatte 2 oder
einem Substrat, an dessen Oberfläche Pyrex-Glas abgeschieden
ist, abgedeckt und durch eine anodische Verbindung des Sili
ziums und des Pyrex-Glases befestigt, so daß durch den er
wähnten Kanal eine hohle Röhre entsteht. Dann wird ein
geschmolzenes organisches nichtlineares optisches Material
durch Kapillarwirkung oder Vakuum-Ansaugung in die Röhre
eingebracht.
Wenn als organisches nichtlineares optisches Material
2-Methyl-4-Nitroamin (MNA) verwendet wird, kann es bei einer
Temperatur eingefüllt werden, die entsprechend dem Schmelzpunkt
von MNA etwas größer ist als 131°C, jedoch noch keine
Zersetzung des MNA verursacht.
Als organisches nichtlineares optisches Material kann auch
m-Nitroanilin (m-NA, Urea, 3-Methyl-4-Nitropyridinoxid
(POM) oder p-Nitroanilin (p-NA) Verwendung finden.
Das in den Kanal eingefüllte organische nichtlineare opti
sche Material (z.B. MNA) wird dann auf Raumtemperatur abge
kühlt. Das Material bildet jedoch dabei normalerweise eine
feinkristalline, ungeordnete Struktur aus. Deshalb wird das
Material mit einer bestimmten geringen Geschwindigkeit durch
einen Ofen mit einem geeigneten Temperaturgradienten ge
führt, um sicherzustellen, daß es in einen großen Einkri
stall rekristallisiert und somit als Wellenleiter verwendet
werden kann.
In der Fig. 2 bezeichnet das Bezugszeichen 5′ die Umhüllung
der Lichtleitfaser 5 und das Bezugszeichen 5′′ den Kern
davon.
Auf der Oberfläche der p⁺-Schicht 7 ist ein Elektrodenan
schluß 10 aus Aluminium oder dergleichen vorgesehen.
Mit dieser Ausführungsform kann ein Wellenleiter aus
organischem nichtlinearen optischen Material mit exakten
Abmessungen einfach hergestellt werden.
Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird als Substrat
1 ein Silizium-Substrat verwendet, so daß ein Einmoden-Wel
lenleiter mit einem organischen nichtlinearen optischen
Material und die Elektroden oder andere Bauelemente leicht
auf demselben Substrat ausgebildet werden können.
Als erstes Ausführungsbeispiel wurde ein Phasenmodulator
beschrieben. Eine solche zusammengesetzte bzw. abgedeckte
Ausführung eines Wellenleiters kann jedoch auch als Modu
lator des Abzweigungs-Interferenz-Typs oder des Brückentyps
usw. Verwendung finden.
Es ist auch möglich, an Stelle der Elektroden eine Heiz
vorrichtung vorzusehen, um die Phase durch Steuerung der
Temperatur einzustellen, so daß eine Harmonische höherer
Ordnung erzeugt werden kann. Es kann mit anderen Worten mit
dieser Ausführungsform ein optisches Frequenzwandler-Element
erhalten werden.
Es kann auch ein Innen-Totalreflektionsschalter wie in der
Fig. 4 oder ein Abzweigungsschalter wie in der Fig. 5 erhal
ten werden. Solche Bauelemente erfordern jedoch Bereiche
zwischen dem Wellenleiter und den Elektroden, die sich
überschneiden, weshalb es schwierig ist, diese Bauelemente
mit dem oben geschilderten zusammengesetzten Aufbau herzu
stellen.
Es wird daher anhand der Fig. 6 und 7 ein Beispiel gezeigt,
das für diesen Fall besser geeignet ist.
Bei dem in der Fig. 6 gezeigten Ausführungsbeispiel wird ein
isolierendes Substrat 11 geeigneter Art verwendet. Auf der
Oberfläche des Substrates 11 sind Elektroden 4 ausgebildet,
auf denen eine SiO2-Schicht 6′ als optische Zwischenschicht
vorgesehen ist. Darauf ist durch ein CVD-Verfahren eine Si
liziumschicht 12 in einer Dicke abgeschieden, die der Tiefe
des Wellenleiters entspricht, womit der Kanal für den Wel
lenleiter erzeugt wird. An der Innenfläche des Kanals wird
durch thermische Oxidation eine SiO2-Schicht als optische
Zwischenschicht erzeugt. Dann wird auf die Siliziumschicht
12 eine Pyrex-Glasplatte 2 mittels einer anodischen Verbin
dung zur Ausbildung eines hohlen Abschnittes aufgebracht.
Schließlich wird in den hohlen Abschnitt ein geschmolzenes
organisches nichtlineares optisches Material eingefüllt, das
dann verfestigt und zur Bildung eines Wellenleiters in die
Form eines Einkristalles gebracht wird.
Bei dem in der Fig. 7 gezeigten Beispiel wird als Substrat 1
ein Silizium-Substrat mit der p-Typ-Schicht 9, dem
n-Typ-Bereich 8 und der p⁺-Schicht 7 ähnlich wie bei der
Ausführung der Fig. 3 verwendet. Auf dem Substrat ist ein
Kanal mit der SiO2-Schicht 6 und der Elektrodenanschluß 10
vorgesehen. Auf einem weiteren, vom Substrat 1 getrennten
isolierenden Substrat 13 sind Elektroden 14 und eine Pyrex
Glasschicht 2 angebracht, die durch Abscheidung erzeugt
wurde und als Haftschicht für eine optische Zwischenschicht
und das Silizium dient. Die beiden Substrate 1 und 13 werden
durch eine anodische Verbindung miteinander verbunden, um
den hohlen Abschnitt zu bilden, in den zur Bildung des
Wellenleiters 3 ein organisches nichtlineares optisches
Material eingefüllt wird.
Es reicht aus, daß die Elektrodenanschlüsse 10 auf dem
Substrat 1 und die Elektroden 14 auf dem Substrat 13
miteinander durch Lot 15 verbunden werden.
Bei den Ausführungsbeispielen der Fig. 6 und 7 überschneiden
sich somit die optischen Wellenleiter und die Elektroden. Es
ist daher möglich, den Innen-Totalreflektions-Schalter der
Fig. 4 oder den Abzweigungsschalter der Fig. 5 auf diese Art
auszubilden. Es kann daher eine Integration eines optischen
Einmoden-Wellenleiters mit einem organischen nichtlinearen
optischen Material mit Elektroden und anderen elektronischen
Schaltungselementen zum Aufbau eines optischen funktionellen
Bauteiles erfolgen.
Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen wurde der hohle
Abschnitt für den optischen Wellenleiter durch Laminieren
und Aufeinanderkleben zweier Substrate erzeugt. Im folgenden
werden Ausführungsbeispiele beschrieben, bei denen der hohle
Abschnitt durch eine Reihe von Halbleiter-Prozeßschritten
und nicht durch Verbinden mehrerer Teile erhalten wird.
Die Fig. 8 zeigt, wie eine Reihe von Prozeßschritten aus
geführt wird, um ein Substrat herzustellen, das einen hohlen
Abschnitt enthält, der zur Ausbildung eines optischen Wel
lenleiters durch Einbringen eines organischen nichtlinearen
optischen Materials vorgesehen ist. Dabei wird wie in der
Fig. 8A gezeigt zuerst das Silizium-Substrat 1 vorbereitet
und es werden die Elektroden 4 und andere erforderliche
Schaltungselemente an dessen Oberfläche ausgebildet. Gemäß
Fig. 8B wird dann eine SiO2-Schicht 6 durch CVD oder ther
mische Oxidation aufgebracht und darin an vorbestimmter
Stelle eine Öffnung mit einer Breite erzeugt, die geringer
ist als die des herzustellenden optischen Wellenleiters.
Wie in der Fig. 8C gezeigt, wird das Substrat 1 dann einer
isotropen Ätzung mit der SiO2-Schicht 6, in der sich die
Öffnung befindet, als Maske durchgeführt. Dabei erfolgt eine
Ätzung des Substrates 1 nicht nur in die Tiefe, sondern auch
in die Breite, wodurch ein Kanal mit einer Breite entsteht,
die größer ist als die der Öffnung in der SiO2-Schicht 6.
Dann wird das Substrat 1 gemäß Fig. 8D zur Erzeugung einer
SiO2-Schicht 6′ thermisch oxidiert und nach Fig. 8E mit
einer SOG-Schicht 16 versehen (SOG für "Spin-on-Glass"; ein
Material aus Glaspulver und einer organischen Masse, die
beim Einbrennen bei 450°C für 30-60 Minuten eine glas
ähnliche Substanz bildet; der Brechungsindex nach dem Aus
härten ist etwa 1,5 bis 2) und bei einer vorgegebenen Tem
peratur von mehreren 100°C ausgehärtet. Die SOG-Schicht 16
kann so ausgebildet werden, daß sie die Öffnung in der
SiO2-Schicht 6 verschließt, jedoch nicht in die Öffnung bzw.
den hohlen Abschnitt eindringt. Im Ergebnis ist der im
Substrat 1 ausgebildete hohle Abschnitt mit der SOG-Schicht
16 abgedeckt und bildet den Kanal.
Dann kann durch Einbringen eines organischen nichtlinearen
optischen Materials im geschmolzenen Zustand durch Kapillar
wirkung oder Vakuum-Ansaugung in den hohlen Abschnitt bzw.
Kanal der optische Wellenleiter hergestellt werden.
Die Fig. 9 zeigt ein weiteres Beispiel eines optischen
Bauelementes, bei dem ein Paar von n⁺-Elektroden auf dem
Silizium-Substrat 1 ausgebildet ist und wobei der Kanal, der
zur Aufnahme eines organischen nichtlinearen optischen
Materials und zum Halten einer Lichtleitfaser vorgesehen
ist, auf dem Substrat 1 durch Ätzen hergestellt wird. Die
Oberfläche des Silizium-Substrates 1, auf der sich der Kanal
befindet, ist durch ein weiteres Silizium-Substrat 1′ abge
deckt, das am ersten Substrat anbracht ist. Eine gute Ver
bindung der Substrate 1, 1′ wird durch große Reinheit, d.h.
durch gründliches Spülen zur Vermeidung der Kontamination
mit Staub oder dergleichen, Aktivieren und Zusammenkleben
der polierten Flächen der Siliziumplättchen erreicht. Die
zusammengeklebten Substrate werden bei einer Temperatur von
1000°C oder mehr zur vollständigen Integration getempert.
Wenn das so gebildete Laminat aus den Silizium-Substraten 1,
1′ einer thermischen Oxidation unterworfen wird, oxidieren
die Seitenflächen des Kanals unter Bildung einer SiO2-
Schicht 6′.
Die Fig. 10 zeigt noch ein Beispiel für ein optisches Bau
element, bei dem der Kanal durch Ätzen auf einer Pyrex-
Glasplatte 2 ausgebildet wird und wobei ein Paar von
n⁺-Elektroden getrennt auf einem Silizium-Substrat 1 ange
ordnet sind. Die Oberfläche der Pyrex-Glasplatte 2 mit dem
Kanal ist mit der Fläche des Silizium-Substrates 1 bedeckt,
an der die n⁺-Elektroden angeordnet sind, und diese Flächen
sind durch anodisches Verbinden zusammengefügt. Nach dem
Zusammenfügen wird eine thermische Oxidation ausgeführt, so
daß die Fläche des Silizium-Substrates 1, die den Kanal
abdeckt, unter Bildung einer SiO2-Schicht 6′ oxidiert wird.
Claims (9)
1. Optisches funktionelles Bauelement mit einem organischen
nichtlinearen optischen Material als optischen Wellenleiter
(3), der in die Oberfläche eines ersten Substrates (1; 2)
vorgegebener Beschaffenheit eingebettet ist, dadurch ge
kennzeichnet, daß das organische nichtlineare
optische Material in einen hohlen Abschnitt des Bauelementes
eingebracht ist, wobei der hohle Abschnitt von einem Kanal,
der in der Form eines Schlitzes in der Oberfläche des ersten
Substrates (1; 2) vorgesehen ist, und von einem zweiten Sub
strat (2; 1; 1′) zur Abdeckung des oberen Teiles des Kanales
gebildet ist.
2. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Brechungsindizes an der Oberfläches des Kanals und der
Oberfläche des den oberen Teil des Kanales abdeckenden
zweiten Substrates kleiner sind als der Brechungsindex des
eingefüllten organischen nichtlinearen optischen Materials.
3. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das erste Substrat (1), in dem der Kanal ausgebildet ist
aus Silizium besteht und die Oberfläche des Kanals thermisch
oxidiert ist, und daß das zweite Substrat (2), das den
oberen Teil des Kanales abdeckt, eine Glasplatte oder ein
Substrat ist, an dessen Oberfläche Glas abgeschieden ist.
4. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das erste Substrat (1), auf dem der Kanal ausgebildet ist,
und das den oberen Teil des Kanals abdeckende zweite Sub
strat (1′) aus Silizium besteht, und daß die den Kanal bil
denden Flächen und die den Kanal abdeckende Fläche thermisch
oxidiert sind.
5. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das erste Substrat (2), auf dem der Kanal ausgebildet ist,
eine Glasplatte ist, daß das zweite Substrat (1), das den
oberen Teil des Kanals abdeckt, aus Silizium besteht, und
daß die den oberen Teil des Kanals abdeckende Fläche ther
misch oxidiert ist.
6. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der hohle Abschnitt durch Laminieren und Verkleben einer
Platte (2) mit der Oberfläche des ersten Substrates (1)
gebildet ist.
7. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der hohle Abschnitt durch Aufschmelzen eines Teiles auf die
Oberfläche des ersten Substrates (1) ausgebildet ist.
8. Optisches funktionelles Bauelement mit einem organischen
nichtlinearen optischen Material als optischen Wellenleiter
(3), der in die Oberfläche eines ersten Substrates (1) mit
vorgegebener Beschaffenheit eingebettet ist, dadurch ge
kennzeichnet, daß das organische nichtlineare
optische Material in einen hohlen Abschnitt eingebracht ist,
der aus einem Kanal, der in der Form eines Schlitzes an der
Oberfläche des ersten Substrates (1) vorgesehen ist, einem
zweiten Substrat (6), das den oberen Teil des Kanals abdeckt
und eine Öffnung in dessen Mittenbereich hat, und einer Sub
stanz (16) besteht, die die Öffnung in dem zweiten Substrat
(6) verschließt.
9. Bauelement nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
das erste Substrat (1), in dem der Kanal ausgebildet ist,
aus Silizium besteht, wobei, die Oberflächen des Kanals
thermisch oxidiert sind, daß das zweite Substrat (6), das
den Kanal abdeckt und eine Öffnung in dessen Mittenbereich
hat, thermisch oxidiertes Silizium ist, und daß die Substanz
(16), die die Öffnung in dem zweiten Substrat verschließt,
eine aufgebrachte SOG-Glas-Schicht ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62062555A JP2582066B2 (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 光機能性デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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