DE3786139T2

DE3786139T2 - Automatisches fokussierungsverfahren fuer mittel zur untersuchung eines objekts.

Info

Publication number: DE3786139T2
Application number: DE8787114611T
Authority: DE
Inventors: Hiroshi C O Fujitsu Ltd Ikeda; Shuji C O Fujitsu Lt Takeshita
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1986-10-07
Filing date: 1987-10-07
Publication date: 1993-09-16
Anticipated expiration: 2007-10-08
Also published as: JPH061288B2; US4851903A; EP0264057A2; CA1275330C; EP0264057A3; EP0264057B1; DE3786139D1; JPS6394139A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein automatisches Fokussierungssystem, welches zum Beispiel mit einer TV-(Fernseh)-Kamera arbeitet, zum Untersuchen einer Oberfläche eines Objektes, das betrachtet werden soll, und insbesondere, aber nicht ausschließlich, ein automatisches Fokussierungssystem, welches mit einer TV-Kamera arbeitet, zum Untersuchen gedruckter Muster auf einer gedruckten Schaltungskarte.
In der letzten Zeit sind Muster, die auf gedruckte Leiterplatten oder Schaltungskarten gedruckt sind, sehr fein geworden, so daß, wenn derartige gedruckte Muster unter Verwendung einer TV-Kamera untersucht werden, nicht die Gesamtheit der Muster auf einer gedruckten Schaltungskarte auf einmal untersucht werden kann. Daher wird vorher eine Vielzahl von Untersuchungspunkten auf der gedruckten Schaltungskarte derart bestimmt, daß ein zu untersuchender Teil der gedruckten Muster um jeden Untersuchungspunkt herum existiert. Die gedruckten Muster auf der gedruckten Schaltungskarte werden untersucht, indem diese Teile der gedruckten Muster nacheinander untersucht werden, indem die Sichtlinie der TV-Kamera mit den relevanten Untersuchungspunkten Punkt für Punkt ausgerichtet wird. Darüberhinaus sind kürzlich gedruckte Schaltungskarten (welche im folgenden einfach "Karten" genannt werden) vergrößert worden, und die Kartendicke ist erhöht worden, wobei die Karten eine Vielzahl von Schichten enthalten. Dementsprechend kann eine Karte unter Phänomenen wie Verbiegen und örtliche Variation der Dicke leiden. Solche Phänomene verursachen Unterschiede in den Abständen von der TV-Kamera zu den jeweiligen Untersuchungspunkten. (Der oben erwähnte Abstand der TV-Kamera zum Untersuchungspunkt wird nachfolgend als "Abstand der Untersuchungskamera" bezeichnet). Wenn zum Beispiel eine Karte mit einer Größe von 300 mm x 300 mm und einer großen Anzahl von Schichten, zum Beispiel 14 Schichten, untersucht wird, kann der Abstand der Untersuchungskamera bis maximal 1,5 mm variieren. Wenn weiters die Größe der Karte groß ist, müssen viele Untersuchungspunkte auf der Karte bestimmt werden, und das Fokussieren der TV-Kamera muß für jeden Untersuchungspunkt "automatisch" mit einer hohen Geschwindigkeit durchgeführt werden.
Kürzlich sind in einem automatischen Fokussierungssystem aktive Mittel, wie ein Infrarotstrahl oder Ultraschallwellen, zum Messen des Abstandes der Untersuchungskamera verwendet worden. Das heißt, daß früher die TV-Kamera automatisch durch Messen des Abstandes der Untersuchungskamera unter Verwendung eines Infrarotstrahl- oder Ultraschallsende- und -empfangsapparates zusammen mit der TV-Kamera fokussiert wurde. Darüberhinaus sind früher das Untersuchen eines gedruckten Musters um einen Untersuchungspunkt herum und das Verschieben der Karte, damit die Sichtlinie der TV-Kamera mit einem nächsten Untersuchungspunkt ausgerichtet wird, automatisch durchgeführt worden. Eine derartige automatische Untersuchung von gedruckten Mustern auf einer Karte ist gemäß den folgenden Schritten durchgeführt worden: (A) Ausrichten der TV-Kamera mit einem Untersuchungspunkt durch Verschieben der Karte, zum Beispiel in X- und Y-Richtung; (B) Messen des Abstandes der Untersuchungskamera mittels eines Infrarot- oder Ultraschallsende- und -empfangsgerätes; (C) Einstellen eines Fokussierungsmechanismus der TV-Kamera, wobei der gemessene Abstand verwendet wird; (D) Untersuchen eines gedruckten Musters um den Untersuchungspunkt herum; (E) Ausrichten der TV-Kamera mit einem nächsten Untersuchungspunkt durch Verschieben der Karte; (F) Wiederholen der obigen Schritte von (B) bis (E), bis die gedruckten Muster um alle Untersuchungspunkte herum untersucht worden sind, mit anderen Worten, bis die Musteruntersuchung der Karte beendet ist.
Wenn die gedruckten Muster auf einer Karte sehr fein sind, sind viele Untersuchungspunkte für die Untersuchung der gedruckten Muster notwendig, und eine sehr lange Zeitspanne ist zum Beenden der Untersuchung der gedruckten Muster an den vielen Untersuchungspunkten erforderlich, was zu erhöhten Fertigungskosten für die Karte führt. Im allgemeinen hängt die Zahl der Untersuchungspunkte von der Größe der Karte, der Dichte der gedruckten Muster auf der Karte und von den Charakteristiken der TV-Kamera ab, wie Sehfeld (FOV) und seine Auflösung. Wenn zum Beispiel die Karte eine Größe von 300 mm x 300 mm besitzt, die gedruckten Muster eine derartige Dichte haben, daß Verdrahtungsmuster, die jeweils eine Breite von 0,2 mm haben, mit einem Teilungsabstand von 0,5 mm angeordnet sind und als eine TV-Kamera eine vom Typus der SONY XC-38 verwendet wird, sind mindestens 2000 Untersuchungspunkte auf der Oberfläche einer Seite der Karte erforderlich (4000 Untersuchungspunkte sind auf den Oberflächen der zwei Seiten der Karte erforderlich). Die TV-Kamera des Typus SONY XC-38 besitzt ein derartiges FOV, daß eine Fläche in der Größe von 2,56 mm x 2,56 mm auf einer Oberfläche der Karte mit einer solchen Auflösung betrachtet werden kann, daß das obige FOV in 491 x 384 Bildelemente aufgelöst werden kann. Um im obigen Fall den Schritt (A) oder den Schritt (E) und die Schritte (B) und (C) auszuführen, ist eine Zeit von ungefähr 3 s erforderlich (ungefähr 1 s für jeden Schritt). Ungefähr 3 s sind für die reale Untersuchung im Schritt (D) erforderlich, so daß eine Zeit von 6 s zur Untersuchung des gedruckten Musters um einen Untersuchungspunkt herum erforderlich ist. Daher ist eine Zeit von 6000 s (3s/Untersuchungspunkt x 2000 Untersuchungspunkte = 1 Stunde und 40 Minuten) zum Ausführen des Schrittes (A) oder des Schrittes (E) und der Schritte (B) und (C) hinsichtlich aller Untersuchungspunkte auf der Oberfläche einer Seite der Karte erforderlich, und eine Zeit von 12000 s (6 s/Untersuchungspunkt x 2000 Untersuchungspunkte = 12000 s = 3 Stunden und 20 Minuten) ist zum Untersuchen der gedruckten Muster auf der Oberfläche einer Seite der Karte erforderlich. Eine derartig lange Zeit zum Untersuchen der gedruckten Muster auf der Oberfläche einer Seite der Karte führt zu verminderter Produktivität und erhöhten Herstellungskosten für die Karten. Aus diesem Grund ist das Problem des Reduzierens dieser langen Zeit von beträchtlicher Wichtigkeit. Falls die zur Ausführung des Schrittes (B) (zum Messen des Abstandes der Untersuchungskamera) auf Null verringert wird, können 33 Minuten eingespart werden.
Ein ähnliches Fokussierungssystem wird in der US-A - 4 350 884 geoffenbart, aber in diesem Fall wird die Fokussierung von einem Autokorrelationssystem durchgeführt.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sieht ein System zur Untersuchung der Oberfläche eines Objektes vor, in welchein System eine Kompensation für Variationen des Abstandes zwischen der Oberfläche des Objektes und der Beobachtungsmittel (z.B. eine TV-Kamera) bewirkt wird.
Der Abstand kann zum Beispiel jener zwischen einer TV-Kamera und einem Teil der gedruckten Muster auf einer Oberfläche einer gedruckten Schaltungskarte sein.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann eine Erhöhung der Geschwindigkeit der automatischen Untersuchung von gedruckten Mustern auf einer gedruckten Schaltungskarte vorsehen, welche Untersuchung unter Verwendung einer TV-Kamera durchgeführt wird.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann eine Erhöhung der Geschwindigkeit der automatischen Untersuchung, die unter Verwendung einer TV-Kamera ausgeführt wird, von gedruckten Mustern auf einer gedruckten Schaltungskarte mit einer großen Größe vorsehen, welche eine Verbiegung und örtlich verschiedene Dicke aufweist.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann eine Erhöhung der Produktivität in der Herstellung von gedruckten Schaltungskarten und eine Verringerung der Herstellungskosten der gedruckten Schaltungskarten vorsehen.
In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind Mittel zum Ausführen der folgenden Schritte vorgesehen: (1) Bestimmen einer Vielzahl von Bezugspunkten auf einer Oberfläche einer gedruckten Schaltungskarte (Karte) im voraus, auf welcher Muster gedruckt sind, die untersucht werden sollen. Wenn ein Verbiegen und örtlich verschiedene Dicken der Karte, was auftreten kann, in Betracht gezogen werden, werden zum Beispiel 9 Bezugspunkte, bestehend aus einem Zentralpunkt, 4 Eckpunkten und 4 Mittelpunkten von 4 Seiten einer vierseitigen Karte, als die Bezugspunkte bestimmt; (2) Messen von Abständen von der TV-Kamera zu den Bezugspunkten; (3) Vorsehen einer Vielzahl von zum Beispiel dreiseitigen Ebenen oder ebenen Flächen (8 dreiseitige ebene Flächen im Falle der 9 Bezugspunkte des obigen Beispiels), welche jeweils durch Verbinden von drei benachbarten Bezugspunkten gebildet werden und Berechnen einer Vielzahl von Ebenengleichungen (8 Ebenengleichungen im Falle von 9 Bezugspunkten); worin die Ebenengleichungen berechnet werden, wobei der Karte X-, Y- und Z-Koordinaten unterlegt werden und die Karte (im allgemeinen) einer X-Y-Ebene entspricht und die Richtung der Sichtlinie der TV-Kamera der Z-Achse entspricht; (4) Bestimmen eines Untersuchungspunktes, um welchen ein gedrucktes Muster, welches ein Teil der gedruckten Muster auf der Karte ist, die untersucht werden soll, existiert; (5) Berechnen einer Z-Koordinate des Untersuchungspunktes durch Einsetzen der X- und Y-Koordinate des Untersuchungspunktes in die Ebenengleichung der dreiseitigen Fläche, welcher die X- und Y-Koordinate des Untersuchungspunktes angehören und Berechnen eines Abstandes (Abstand der Untersuchungskamera) zwischen der TV-Kamera und dem Untersuchungspunkt; (6) Durchführen einer Fokuseinstellung der TV-Kamera unter Verwendung der im obigen Schritt (5) berechneten Z-Koordinate; (7) Positionieren der Karte derart, daß der Untersuchungspunkt in der Sichtlinie der TV-Kamera liegt; (8) Untersuchen des gedruckten Musters um den Untersuchungspunkt herum durch TV-Beobachtung des gedruckten Musters; und (9) Positionieren der Karte derart, daß ein nächster Untersuchungspunkt in der Sichtlinie der TV-Kamera ist.
In den obigen Schritten werden die Schritte (1), (2) und (3) ausgeführt, bevor mit der eigentlichen Untersuchung der gedruckten Muster auf der Karte begonnen wird, und die Schritte (4), (5) und (6) werden während der Ausführung von Schritt (7) durchgeführt. Auf diese Weise kann die in den früheren Vorschlägen zum Messen des Abstandes zwischen der TV-Kamera und dem Untersuchungspunkt auf Null verringert werden, was die Zeit, die für andere Schritte als die eigentliche Untersuchung (Schritt (8) erforderlich ist, von 3 s (wie in den früheren Vorschlägen) auf 2 s verringert.
In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann eine Messung des im obigen Schritt (2) festgelegten Abstandes zwischen der TV-Kamera und einem Bezugspunkt passiv (unter Verwendung einer Schlitzmarkierung) durchgeführt werden und nicht durch aktive Mittel, wie Infrarot- oder Ultraschallmittel, wie sie in den früheren Vorschlägen verwendet wurden, durchgeführt werden. Wenn derartige passive Mittel angewendet werden, können Ausrüstungskosten für ein automatisches Fokussierungssystem verringert werden.
Mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im Verlauf der Untersuchung die Zeit, die für einen Schritt entsprechend Schritt (B) der früheren Systeme erforderlich ist, im Wesentlichen auf Null verringert.
In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist, sogar obwohl, wie oben angegeben, die Entfernung (Entfernung der Untersuchungskamera) zwischen der TV-Kamera und dem Untersuchungspunkt aus der Berechnung einer Ebenengleichung abgeschätzt wird, die Genauigkeit des erhaltenen Abstandes der Untersuchungskamera ausreichend hoch.
Beispielhaft wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, in welchen:
Fig. 1 ein schematisches Blockdiagramm ist, welches Hauptteile eines automatischen Fokussierungssystems, welches die vorliegende Erfindung verkörpert, darstellt;
Fig. 2 ein Flußbild zur Hilfe beim Erklären von Betriebsschritten ist, die in einem automatischen Fokussierungssystem ausgeführt werden, das die vorliegende Erfindung verkörpert;
Fig. 3 ein detaillierteres Blockdiagramm eines automatischen Fokussierungssystems ist, welches die vorliegende Erfindung verkörpert;
Fig. 4 eine schematische Grundrißansicht einer gedruckten Schaltungskarte ist, welche eine Vielzahl von Bezugspunkten und dreiseitigen Flächen darstellt;
Fig. 5(a) eine Musterdarstellung einer Schlitzmarkierung ist, die in einem X-Y-Koordinatensystem dargestellt ist;
Fig. 5(b) ein Verteilungsbild der Schlitzmarkierung ist;
Fig. 6 ein schematisches Blockdiagramm eines die Erfindung verkörpernden, automatischen Fokussierungssystems ist und das Erhalten eines Abstandes zwischen einer TV-Kamera und einem Untersuchungspunkt unter Verwendung einer Schlitzmarkierung darstellt;
Fig. 7 eine Vielzahl von Ebenengleichungen angibt;
Fig. 8(a) und 8(b) Diagramme sind, zur Hilfe beim Erklären der Genauigkeit der Abstandsschätzungen zwischen einer TV-Kamera und einem Untersuchungspunkt, die von einem automatischen Fokussierungssystem erhalten wird, das die vorliegende Erfindung verkörpert;
Fig. 9 ein Diagramm ist, welches darstellt, daß vier geteilte Rechtecke auf einer Oberfläche einer gedruckten Schaltungskarte weiter in acht Dreiecke geteilt wird, dessen Flächengleichungen bestimmt werden;
Fig. 10 eine perspektivische Ansicht einer gedruckten Schaltungskarte zur Darstellung einer Flächenabtrennung einer gedruckten Schaltungskarte ist, was durch ein automatisches Fokussierungssystem durchgeführt wird, das die vorliegende Erfindung verkörpert; und
Fig. 11 ein grafisches Diagramm zur Darstellung der Genauigkeit der Abstandsschätzung zwischen einer TV-Kamera und einem Untersuchungspunkt ist, die von einem automatischen Fokussierungssystem erhalten wird, das die vorliegende Erfindung verkörpert.
Ein schematisches Blockdiagramm eines automatischen Fokussierungssystems, das die vorliegende Erfindung verkörpert, ist in Fig. 1 gezeigt. In Fig. 1 zeigt jeder Block die folgenden Mittel:
Block 1: Mittel zum Messen von Abständen zwischen einer TV-Kamera und Bezugspunkten, die vorher auf einer Oberfläche einer gedruckten Schaltungskarte bestimmt wurden. Es können zum Beispiel 9 Punkte, bestehend aus vier Eckpunkten, vier Mittelpunkten von vier Seiten und einem Zentralpunkt einer vierseitigen gedruckten Schaltungskarte, als die Bezugspunkte bestimmt werden.
Block 2: Mittel zum Berechnen von Ebenengleichungen, die den dreiseitigen Flächen entsprechen, die jeweils durch Verbinden von drei benachbarten Bezugspunkten gebildet wurden.
Die Anzahl der dreiseitigen Flächen ist zum Beispiel acht, wenn die Anzahl der Bezugspunkte neun ist.
In diesem Beispiel enthält jeder der Sätze von drei Bezugspunkten, die die dreiseitigen Flächen begrenzen, den Zentralpunkt, einen Eckpunkt und einen Seitenmittelpunkt. Die Punkte werden im allgemeinen so ausgewählt, daß die Flächen keine gemeinsainen Gebiete besitzen.
Block 3: Mittel zum Berechnen eines Abstandes (Abstand der Untersuchungskamera) zwischen der TV-Kamera und einem Untersuchungspunkt, um welchen ein gedrucktes Muster existiert, welches ein Teil der gedruckten Muster auf der Karte ist. Ein Signal, das die X- und die Y-Koordinate für den Untersuchungspunkt angibt, wird aus einem Eingabeanschluß 6 in den Block 3 gespeist, in welchem eine dreiseitige Fläche, enthaltend die X- und Y-Koordinate des Untersuchungspunktes, ausgewählt wird, und die X- und die Y-Koordinate werden in die Ebenengleichung der ausgewählten dreiseitigen Fläche eingesetzt, so daß die Z-Koordinate des Untersuchungspunktes erhalten wird. Aus der Z-Koordinate kann der Abstand der Untersuchungskamera erhalten werden.
Block 4: Mittel zum Fokussieren der TV-Kamera gemäß dem erhaltenen Abstand der Untersuchungskamera.
Block 5: Mittel zum Steuern einer Bühne, auf welcher die gedruckte Schaltungskarte montiert ist, derart, daß die Bühne in X- und Y-Richtung zum Ausrichten einer Sichtlinie der TV-Kamera mit einem nächsten Untersuchungspunkt auf der Karte verschoben wird.
In der obigen Erklärung kann von den Mitteln der Blöcke 1 und 2 gesagt werden, daß sie "vorbereitende Schritte" hinsichtlich der Untersuchung ausführen, wogegen von den Mitteln der Blöcke 3, 4, 5 und den in Fig. 1 nicht gezeigten Untersuchungsmitteln gesagt werden kann, daß sie "Ausführungsschritte" zur Untersuchung durchführen.
Wenn die Untersuchung des gedruckten Musters um einen Untersuchungspunkt herum beendet ist, wird ein Signal für einen nächsten Untersuchungspunkt eingegeben, und die Bühne wird, wie oben angegeben, verschoben. Zur gleichen Zeit wird jedoch das Fokussieren der TV-Kamera für den nächsten Untersuchungspunkt durch den Betrieb der Mittel der Blöcke 3 und 4 in dieser Reihenfolge ausgeführt.
Dementsprechend ist die Zeit, die für das Fokussieren der TV-Kamera erforderlich ist, in der Zeit enthalten, die zum Verschieben der Bühne erforderlich ist, so daß eine Gesamtzeit verringert wird, die zum Überprüfen des gedruckten Musters um einen Untersuchungspunkt herum erforderlich ist.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 11 detaillierter erklärt.
Die Details der Funktionen, die in dieser Ausführungsform der Erfindung durchgeführt werden, werden in der Reihenfolge der im Flußbild von Fig. 2 gezeigten Stufen erklärt.
SCHRITT (1) Die Punkte P1 bis P9, die aus vier Eckpunkten, vier Mittelpunkten von vier Seiten und einem Zentralpunkt einer vierseitigen gedruckten Schaltungskarte (Karte) 11 (Fig. 3) bestehen, werden als Bezugspunkte bestimmt, wie in Fig. 4 gezeigt, und die Signale, die die X- und Y-Koordinaten der 9 Bezugspunkte darstellen, werden in einem RAM (Speicher mit wahlweisem Zugriff) 205 in einer Verarbeitungseinheit 20, wie in Fig. 3 gezeigt, gespeichert. Ein X- und Y-Koordinatensignal für einen der 9 Bezugspunkte wird ausgelesen und einer Mechanismussteuerungseinheit 203 in der Verarbeitungseinheit eingegeben. Dann steuert die Mechanisinussteuerungseinheit 203 einen X-Treiber 21 und einen Y-Treiber 22, welche in Fig. 3 gezeigt sind, um die Karte 11 derart zu positionieren, daß der Untersuchungspunkt in der Sichtlinie einer TV-Kamera 13 liegt, wie in Fig. 3 gezeigt. Die Karte 11 ist auf einer Bühne 12 montiert, und die Positionierung der Karte 11 wird von einem X-Impulsmotor 23 und einem Y-Impulsmotor 24 durchgeführt, welche in Fig. 3 gezeigt sind, gesteuert von einem Ausgangssignal aus der Mechanismussteuerungseinheit 203.
SCHRITT (2) In dieser Ausführungsform der Erfindung wird der Abstand zwischen der TV-Kamera 13 und dem Bezugspunkt passiv unter Verwendung einer optischen Schlitzmarkierung gemessen, die von der Seite auf die Karte 11 von einem Markierungsprojektor 14 projiziert wird, wie in Fig. 3 gezeigt. Die TV-Kamera 13 umfaßt eine Linse 131-1, ein CCD (Ladungsspeicherelement) 131-2, einen Fokuseinstellungsmechanismus 132 und einen Fokuseinstellungsmotor 133, wie in Fig. 3 gezeigt. Ein Bild der auf die Karte 11 projizierten Schlitzmarkierung wird auf dem CCD 131-2 gebildet, wobei es die Linse 131-1 durchdringt, und ein analoges elektrisches Signal wird aus dem CCD 131-2 ausgegeben, welches Signal der Helligkeit des auf dem CCD 131-2 gebildeten Bildes entspricht. Das Ausgangssignal aus der TV-Kamera 13 (CCD 131-2) wird einer Signalverarbeitungskarte 201 in einer Verarbeitungseinheit 20 eingegeben und in ein digitales Signal umgewandelt, dann wird das digitale Signal in einem Bildspeicher 202 in der Verarbeitungseinheit 20 gespeichert.
SCHRITT (3) Das im Bildspeicher 202 gespeicherte digitale Signal wird verarbeitet, um von einer CPU (zentrale Prozessoreinheit) 208 in der Verarbeitungseinheit 20 ein binärkodiertes Signal zu erhalten, wobei ein in einem ROM (Nur-Lese-Speicher) 204 in der Verarbeitungseinheit 20 gespeichertes Programm verwendet wird.
SCHRITT (4) Das binärkodierte Signal der Schlitzmarkierung wird von der CPU 208 verarbeitet, wobei ein im ROM 204 gespeichertes Programm verwendet wird, um einen Zentralpunkt der Schlitzmarkierungsverteilung entlang der X-Achse zu erhalten, welche durch das Zentrum der Y-Koordinaten der Schlitzmarkierung geht. Fig. 5(a) zeigt eine Schlitzmarkierung 501, dargestellt in einem X-Y-Koordinatensystem, und Fig. 5(b) ist ein Verteilungsbild mit der X-Koordinate auf einer horizontalen Achse und einer Anzahl von Bildelementen, welche gleich ist der Anzahl der Datenwerte "1" in einer einheitskleinen Fläche, auf einer vertikalen Achse. In Fig. 5(b) ist der Zentralpunkt der Verteilung durch eine Markierung Xc dargestellt. Die Positionsdaten der X- und Y-Koordinaten für die Zentralpunkte (Xc) der 9 Bezugspunkte werden im Bildspeicher 202 gespeichert.
SCHRITT (5) Wie in Fig. 3 gezeigt, umfaßt ein Markierungsprojektor 14 eine optische Quelle 141, Übertragungslinsen 142, eine optische Faser 143, ein Schlitzstück 144 und eine Projektionslinse 145, so daß eine Schlitzmarkierung von der Seite auf eine Oberfläche der Karte 11 projiziert wird. Wenn daher die Abstände von der TV-Kamera zu den Bezugspunkten differieren, wobei sie Unterschiedsbeträge h&sub1; und h2, wie in Fig. 6 gezeigt, aufweisen, wird ein Bild auf dem CCD 131-2 an verschiedenen Positionen gebildet, wie in einem Monitor 26 in Fig. 6 gezeigt. Wenn die Oberfläche der Karte 11 um einen Betrag h1 höher ist als eine normale Position, wird ein Bild 262 der Schlitzmarkierung in einer Rechtsrichtung aus der Position eines normalen Bildes 261 verschoben, und wenn sie um einen Betrag h&sub2; tiefer ist als eine normale Position, wird ein Bild 263 der Schlitzmarkierung in eine Linksrichtung aus dem normalen Bild 261 verschoben, wie in einer gezeigten Darstellung im TV-Monitor 26 in Fig. 6 gezeigt. Fig. 6 ist ein schematisches Blockdiagramm des automatischen Fokussierungssystems dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, zum Darstellen der Bildverschiebung. In Fig. 6 bezeichnen die gleichen Bezugsziffern wie in Fig. 3 die gleichen Blöcke oder Teile wie in Fig. 3. Aus dem Betrag, um welchen das Bild der Schlitzmarkierung verschoben ist, kann der Betrag, um welchen der Abstand zwischen der TV-Kamera und dem Bezugspunkt vom normalen Abstand differiert, erhalten werden. Das heißt, daß ein wirklicher Zentralpunkt eines wirklichen Bildes der Schlitzmarkierung erhalten wird, wie im SCHRITT (5) festgelegt wurde, und die Daten (X-Koordinaten), die den wirklichen Zentralpunkt darstellen, werden mit den Daten verglichen, die im RAM 204 gespeichert sind, welche den normalen Zentralpunkt darstellen, so daß der Abstand zwischen der TV-Kamera und dem Bezugspunkt erhalten werden kann. Auf diese Weise können die Abstände von der TV-Kamera zu den 9 Bezugspunkten erhalten werden. Die obigen Verarbeitungen werden von der CPU 208 durchgeführt, wobei ein Programm verwendet wird, das im ROM 204 gespeichert ist.
SCHRITT (6) Acht Ebenengleichungen für acht dreiseitige Flächen, die auf der Karte 11 durch Verbinden der 9 Bezugspunkte gebildet wurden, wie in Fig. 4 gezeigt, werden von der CPU 208 erhalten, wobei ein Programm verwendet wird, das im ROM 204 gespeichert ist, und die 8 Ebenengleichungen werden im RAM 205 gespeichert. Die 8 Ebenengleichungen werden durch Positionieren der Karte 11 in den X-, Y- und Z-Koordinaten erhalten; die X- und Y-Koordinaten werden gebildet, indem eine Ebene der Bühne 12 als die X- und Y-Koordinatenebene festgesetzt wird, und die Z-Koordinaten werden aus den Abständen von der TV-Kamera zu den Bezugspunkten erhalten, die im obigen SCHRITT (5) erhalten wurden. Die erhaltenen 8 Ebenengleichungen werden im RAM 205 gespeichert.
SCHRITT (7) Ein Untersuchungspunkt wird gemäß einem im ROM 204 gespeicherten Programm bestimmt, und eine Z-Koordinate des Untersuchungspunktes wird durch Einsetzen der X- und Y-Koordinate eines Untersuchungspunktes in die Ebenengleichung berechnet, welche die X- und Y-Koordinate des Untersuchungspunktes enthält. Die erhaltene Z-Koordinate des Untersuchungspunktes wird als ein "h"-Signal behandelt. Die X- und Y-Koordinate des Untersuchungspunktes werden vorher im RAM 205 gespeichert. Die Berechnung der Z-Koordinate wird von der CPU 208 durchgeführt, wobei ein Programm verwendet wird, das im ROM 204 gespeichert ist.
SCHRITT (8) Im Fokuseinstellungsmechanismus 132 ist ein Signalgenerator vorhanden (welcher in Fig. 3 nicht gezeigt ist) zum Erzeugen eines Fokuspositionssignals "H" für die TV-Kamera 13. Das Signal H wird in die Mechanismussteuerungseinheit 203 eingespeist und eine Differenz (H - h) wird von der CPU 208 gemäß einem Programm berechnet, welches im ROM 204 gespeichert ist. Die Mechanismussteuerungseinheit 203 steuert einen Fokuseinstellungstreiber 25 derart, daß der Fokuseinstellungsmotor 133 den Fokuseinstellungsmechanismus 132 antreibt, bis die Differenz (H - h) Null wird. Wenn die Differenz (H - h) Null wird, ist die Fokussierung der TV-Kamera 13 beendet. Während der Ausführung des obigen SCHRITTES (7) und dieses SCHRITTES (8) wird die Bühne 12 unter der Steuerung der Mechanismussteuerungseinheit 203 derart verschoben, daß der Untersuchungspunkt auf der Karte 11 auf der Sichtlinie der TV-Kamera 13 liegt. Diese Steuerung wird auch von der CPU 208 gemäß einem Programm durchgeführt, welches im ROM 204 gespeichert ist.
SCHRITT (9) Dann beobachtet die TV-Kamera 13 das gedruckte Muster um den Untersuchungspunkt herum, so daß ein Bild des gedruckten Musters auf dem CCD 131-2 in der TV-Kamera 13 gebildet wird. Das CCD 131-2 wandelt das Bild in ein analoges Videosignal des gedruckten Musters um. Das analoge Videosignal wird der Signalverarbeitungskarte 201 in der Verarbeitungseinheit 20 zugeführt und in ein digitales Videosignal umgewandelt, und das digitale Videosignal des gedruckten Musters wird im Bildspeicher 202 durch Verarbeiten der CPU 208 gemäß einem Programm, welches im ROM 204 gespeichert ist, gespeichert. Das digitale Videosignal, das im Bildspeicher 202 gespeichert ist, wird mit einem normalen (idealen) digitalen Videosignal, welches im RAM 205 gespeichert ist, verglichen, gemäß der Operation der CPU 208, wobei ein Programm verwendet wird, das im ROM 204 gespeichert ist. Gewöhnlich werden digitale Videosignale, welche die (idealen) gedruckten Muster auf der Karte darstellen, auf einer FD (Floppy Disk) 207 gespeichert, und wenn ein Untersuchungspunkt bestimmt wird, wird ein gedrucktes Muster aus der FD 207 von einer FD-Steuerungseinheit 206 gemäß einer von der CPU 208 durchgeführten Verarbeitung ausgewählt, wobei ein Programm verwendet wird, welches im ROM 204 gespeichert ist. Nach dem Vergleich zwischen dem digitalen Videosignal, welches im Bildspeicher 202 gespeichert ist, und dem normalen digitalen Videosignal, welches im RAM 205 gespeichert ist, wird ein Signal, welches das Ergebnis der Untersuchung darstellt, aus einem Ausgangsanschluß 209 abgegeben.
SCHRITT (10) Wenn die Untersuchung des im SCHRITT (7) bezeichneten, gedruckten Musters bestimmt ist, anzuzeigen, daß das Muster zufriedenstellend ist, wird die Karte 11 derart verschoben, daß ein nächster Untersuchungspunkt in der Sichtlinie der TV-Kamera liegt, und zur gleichen Zeit werden die SCHRITTE (7), (8) und (9) für den nächsten Untersuchungspunkt durchgeführt. Dieser Prozeß wird automatisch weitergeführt, bis die Untersuchungen der gedruckten Muster um alle Untersuchungspunkte herum beendet sind, sofern nicht ein Untersuchungsergebnis während der Untersuchung generiert wird, welches ein Muster als nicht zufriedenstellend anzeigt.
In den obigen SCHRITTEN ist das Verschieben der Karte 11, so daß der Untersuchungspunkt in der Sichtlinie der TV-Kamera liegt, während die Berechnung des (H - h) und die Fokuseinstellung durchgeführt werden, ein entscheidendes vorteilhaftes Merkmal. Indem dies vorgenommen wird, kann die Zeit, die für die Untersuchung der gedruckten Muster auf der Karte erforderlich ist, beträchtlich reduziert werden.
Die Ableitung der Ebenengleichung in SCHRITT (6) dieser Ausführungsform dieser Erfindung wird unten beschrieben.
Zuerst wird eine Gleichung des Dreiecks T1, gezeigt in Fig. 4, in Betracht gezogen. Die Koordinaten der Scheitelpunkte P1, P2, P5 des Dreiecks T1 sind (0, l&sub1;&sub2;, z&sub1;), (0, 0, z&sub2;) bzw. (l&sub2;&sub5;, 0, z&sub5;). Falls die Gleichung T1 als ax + by + cz + d = 0 geschrieben wird, wird das Verhältnis der Konstanten a, b, c und d zueinander aus den folgenden drei Gleichungen bestimmt,
b.l&sub1;&sub2; + cz&sub1; + d = 0 (1)
cz&sub2; + d = 0 (2)
a.l&sub2;&sub5; + cz&sub5; + d = 0 (3)
da:
Die Gleichung T1 kann wie folgt umgeschrieben werden:
Eine Gleichung zur Variierung der Höhe z mit x und y kann dargestellt werden als:
Da der Ursprung der Ebene T1 durch einen Betrag l&sub2;&sub3; entlang der Y-Achse vom Ursprung (die Ecke P3) der Karte verschoben ist, sollte diese Gleichung geschrieben werden als
Die acht Gleichungen der acht Dreiecke T1 bis T8 von Fig. 4 sind in Fig. 7 zusammengefaßt. In der Figur gibt die "Bedingung" den Bereich der X- und Y-Koordinaten der Punkte an, die in das relevante Dreieck fallen.
In Fig. 4 werden zwei Diagonalen des Rechtecks, das mit den weiten Eckpunkten P1, P3, P4, P7 gebildet wird, im Koordinatensystem mit dem Ursprung bei P3 und einer X-Achse, die durch Verbinden der Punkte P3 und P9 entsteht, und einer Y-Achse, die durch Verbinden der Punkte P3 und P1 entsteht, ausgedrückt. Die Ursprünge der Ebenengleichungen T1 und T2, T3 und T8, T4 und T5, und T6 und T7 in Fig. 7 sind bei P2, P4, P6 bzw. P8.
Obwohl die Korrektur des Abstandes der Untersuchungskamera auf einer Ebenengleichungs-Annäherung basiert, liegen Fehler innerhalb der Toleranz, vorausgesetzt, daß die Anzahl der Teilungen sorgfältig gewählt wird (die Anzahl der Ebenen, in die die Karte erwogen wird, geteilt zu werden, groß genug ist).
Für den Fall einer einfach gekrümmten Oberfläche, wie in den Fig. 8(a) und 8(b) gezeigt, wird die Beziehung zwischen Fehlern und Anzahl von Teilungen diskutiert. Die Beziehung zwischen einer Seitenlänge "l" einer gedruckten Schaltungskarte, einer Abstandsvariation der Karte "d" und einem Radius der Krümmung "R" der Karte ist
R = (l² + 4 d²)/8d (11)
Wenn θ&sub2; als Winkel genommen wird, der die ganze Karte einschließt, und wenn θ als Winkel genommen wird, der einen geteilten Abschnitt der Karte einschließt, im Zentrum der Krümmung, und wenn δ als Toleranz genommen wird, wird aus δ = R - y und y = R cos (θ/2),
θ = 2 cos&supmin;¹ ((R - δ)/R) (12)
erhalten.
Aus Fig. 8(a) ist klar, daß
sin θ&sub1; = (R - d)/R,
und dann wird aus der obigen Gleichung θ&sub1; als
θ&sub1; = sin&supmin;¹ ((R - d)/R)
erhalten.
Daher kann
θ&sub2; = 180º - 2 sin&supmin;¹ ((R - d)/R (13)
erhalten werden.
Da die Anzahl der Teilungen "n" θ&sub2;/θ ist, kann n geschrieben werden als:
In Fig. 8(a) ist "l" eine Seitenlänge, gibt "d" einen Betrag einer Verbiegung der Karte an und ist "δ" die Toleranz des Abstandes der Untersuchungskamera.
Wenn l = 280 mm, d = 0,86 mm und δ = 0,25 mm, können die folgenden Ergebnisse erhalten werden: R = 11395,78 mm aus Gleichung (11), θ = 0,759 und θ&sub2; = 1,408 aus den Gleichungen (12) und (13), daher ist n = 1,855.
Wenn l = 200 mm und d und δ gleich sind wie oben, können auf ähnliche Weise die folgenden Ergebnisse erhalten werden: R = 5814,38 mm, θ = 1,063, θ&sub2; = 1,971 und n = 1,854.
Es wird gefunden, daß das Teilen der Karte in vier Rechtecke für den oben beschriebenen Fall ausreichend ist. Beim Teilen jedes Rechtecks in zwei Dreiecke, wie gezeigt in Fig. 9, werden acht Ebenengleichungen bestimmt, eine für jedes Dreieck.
In Fig. 10 wird die Abstandsvariation der Karte in perspektivischer Ansicht dargestellt, und der gemessene Fehler in der Annäherung entlang der X-Richtung ist in Fig. 11 aufgetragen. Der maximale Fehler ist ungefähr 0,1 mm.
In der obigen Ausführungsform arbeitet das automatische Fokussierungssystem mit einer TV-Kamera, und das Objekt der Untersuchung sind die gedruckten Muster auf der gedruckten Schaltungskarte. Es können jedoch andere Beobachtungsmittel mit dem automatischen Fokussierungssystem verwendet werden, und andere Objekte, zum Beispiel ein angeordnetes Muster von Teilen, die auf einer Karte montiert sind, kann untersucht werden.
Die vorliegende Erfindung sieht vor und enthält innerhalb ihres Umfanges ein automatisches Fokussierungsystem zum Untersuchen eines Objektes durch Beobachten des Objektes, wobei das genannte automatische Fokussierungssystem umfaßt:
Mittel (1) zum Beobachten des Objektes;
Mittel (2) zum Bestimmen einer Vielzahl von Bezugspunkten auf dem Objekt;
Mittel (3) zum Messen von Abständen von den Beobachtungsmitteln zu den Bezugspunkten;
Mittel (4) zum Berechnen einer Vielzahl von Ebenengleichungen für eine Vielzahl von dreiseitigen Flächen, von denen jede durch Verbinden von drei Bezugspunkten gebildet wird, die einander am nächsten benachbart sind, damit jede Linie vermieden wird, die die dreiseitigen Flächen so bildet, daß sie einander kreuzen, wobei die genannten Berechnungsmittel unter Festsetzen des Objektes in X-, Y- und Z-Koordinaten und durch Erhalten von Z-Koordinaten der Bezugspunkte aus den von den genannten Mitteln (3) gemessenen Abständen, durchgeführt werden;
Mittel (5) zum Bestimmen eines Untersuchungspunktes aus einer Vielzahl von Untersuchungspunkten, wobei jeder der Untersuchungspunkte durch die X- und Y-Koordinate definiert ist und vorhanden ist zum Ausrichten einer Sichtlinie der genannten Mittel (1) mit jedem der Untersuchungspunkte zum Beobachten eines Teiles des Objektes, um jeden der Untersuchungspunkte herum;
Mittel (6) zum Auswählen einer dreiseitigen Fläche, welche die X- und Y-Koordinate des bestimmten Untersuchungspunktes enthält, aus der genannten Vielzahl der dreiseitigen Flächen,
Mittel (7) zum Berechnen einer Z-Koordinate des bestimmten Untersuchungspunktes durch Einsetzen der X- und Y-Koordinate des bestimmten Untersuchungspunktes in eine Oberflächen-Ebenengleichung der ausgewählten dreiseitigen Fläche;
Mittel (8) zum Fokussieren der Beobachtungsmittel auf den bestimmten Untersuchungspunkt unter Verwendung der Z-Koordinate des bestimmten Untersuchungspunktes;
Mittel (9) zum relativen Bewegen einer Position des Objektes in X- und Y-Richtung derart, daß der bestimmte Untersuchungspunkt in der Sichtlinie der Beobachtungsmittel liegt, von einer unmittelbar vorigen Position des Objektes, in welcher ein unmittelbar voriger Untersuchungspunkt in der Sichtlinie der Beobachtungsmittel gewesen ist;
Mittel (10) zum Untersuchen des Teiles des Objektes, der um den Untersuchungspunkt herum existiert, durch Vergleichen mit Bezugsdaten des Objektes zur Untersuchung;
Mittel (11) zum Ausführen der genannten Mittel (5), (6), (7) und (8) während der Ausführung der genannten Mittel (9);
Mittel (12) zum Wiederholen der Ausführung der genannten Mittel von (5) bis (11) zum Untersuchen eines Teils des Objektes, der um einen nächsten Untersuchungspunkt herum existiert, bis zu Teilen des Objektes, die um alle früher bestimmten Untersuchungspunkte herum existieren; und
Mittel (13) zum automatischen Ausführen der genannten Mittel von (2) bis (12).
Im automatischen Fokussierungssystem können die Mittel (13) umfassen:
eine Mikroprozessoreinheit für das jeweilige aufeinanderfolgende Ausführen der Mittel von (2) bis (12);
einen Nur-Lese-Speicher zum Speichern von Programmen zur Ausführung der Operation der genannten Mikroprozessoreinheit;
einen Speicher für wahlweisen Zugriff zum Speichern von Daten, die wahlweise in einer Ausführungsperiode der Operation der genannten Mikroprozessoreinheit erzeugt werden; und
einen Speicher zum Speichern der genannten Bezugsdaten des Objektes.
Das automatische Fokussierungssystem kann zum Untersuchen von gedruckten Mustern auf einer gedruckten Schaltungskarte verwendet werden, wobei eine TV-Kamera zum Beobachten der gedruckten Muster verwendet wird.
Mittel (9) zum Untersuchen des Teils der gedruckten Muster, der um den bestimmten Untersuchungspunkt herum existiert, können durch Vergleichen mit Bezugsdaten des gedruckten Musters um den bestimmten Untersuchungspunkt herum zur Untersuchung betreiben.
In dem automatischen Fokussierungssystem können die Mittel (2) umfassen:
einen Schlitzmarkierungsprojektor zum optischen Projizieren einer Schlitzmarkierung von der Seite auf eine Oberfläche der gedruckten Schaltungskarte, wobei die genannte Schlitzmarkierung den TV-Kameraausgang zu einem Videosignal macht, welches der Schlitzmarkierung entspricht, wobei eine Position des Videosignals in der X-Koordinate gemäß einer Änderung des Abstandes zwischen der TV-Kamera und der Oberfläche der gedruckten Schaltungskarte geändert wird; und
Mittel zum Verarbeiten des Abstandes zwischen der genannten TV-Kamera und der Oberfläche der gedruckten Schaltungskarte, aus einem Betrag der Änderung der Videosignalposition.
In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird das Fokussieren von zum Beispiel einer TV-Kamera zum visuellen Untersuchen eines Objektes ausgeführt während einer Bewegung von einem Untersuchungspunkt aus, der von der TV-Kamera beobachtet wird, zu einem nächsten Untersuchungspunkt, wobei ein berechneter Abstand von der TV-Kamera zum nächsten Untersuchungspunkt verwendet wird, ohne daß der tatsächliche Abstand gemessen wird. Der Abstand zum nächsten Untersuchungspunkt wird aus einer Ebenengleichung berechnet, die eine aus einer Gruppe von dreiseitigen Flächen darstellt, die über dem Objekt durch Verbinden einer Vielzahl von Bezugspunkten gebildet werden, die vorher auf dem Objekt bestimmt wurden. Die Ebenengleichungen werden vor Ausführen der Überprüfung berechnet, wobei Abstände von der TV-Kamera zu den Bezugspunkten verwendet werden, die tatsächlich von Abstandsmessungsmitteln gemessen wurden.

Claims

1. Automatisches Fokussierungssystem zum Untersuchen eines Objektes durch Beobachten einer Oberfläche des Objektes, welches System umfaßt:

Beobachtungsmittel zum Beobachten der Oberfläche des Objektes, welche Oberfläche im allgemeinen mit einer X-Y-Ebene ausgerichtet ist, mit einer Sichtlinie in der Z-Richtung,

Mittel zum Bestimmen einer Vielzahl von Bezugspunkten auf der Oberfläche des Objektes,

Messungsmittel zum Messen von Beobachtungsabständen zu den Bezugspunkten, wobei jeder Beobachtungsabstand dem Sichtlinien- Z-Achsen-Abstand von den Beobachtungsmitteln zum betreffenden Bezugspunkt entspricht,

Mittel zum Ableiten einer Vielzahl von Ebenengleichungen, die sich jeweils auf nicht-überlappende, ebene Oberflächen beziehen, die jeweils Scheitelpunkte an benachbarten Bezugspunkten besitzen, wobei die gemessenen Z-Achsen-Abstände zu den Bezugspunkten verwendet werden, um die Abweichungen der Oberfläche des Objektes von der X-Y-Ebene darzustellen;

welches System ferner umfaßt:

Untersuchungspunktbestimmungsmittel zum Bestimmen der X- und Y-Koordinate eines Punktes, der untersucht werden soll, auf der Oberfläche des Objektes,

Berechnungsmittel, um aus der X- und Y-Koordinate des Untersuchungspunktes die Z-Koordinate des Punktes zu berechnen, wobei jene eine der Ebenengleichungen verwendet wird, die sich auf die ebene Oberfläche bezieht, welche die X- und die Y-Koordinaten der Untersuchungspunkte enthält,

Fokussierungsmittel zum Fokussieren der Beobachtungsmittel bei einem Beobachtungsabstand, der der berechneten Z-Koordinate entspricht,

Versetzungsmittel zum relativen Bewegen des Objektes und der Beobachtungsmittel, um den Beobachtungspunkt in die Sichtlinie der Beobachtungsmittel zu setzen, betreibbar, um die relative Bewegung zu bewirken, während die Berechnungs- und Fokussierungsmittel arbeiten.

2. System, wie in Anspruch 1 beansprucht, worin die ebenen Oberflächen dreiseitig sind.

3. System, wie in Anspruch 1 oder 2 beansprucht, worin die Beobachtungsmittel durch ein TV-Kameragerät gebildet werden und das zu untersuchende Objekt eine gedruckte Schaltungskarte mit gedruckten Mustern auf der beobachteten Oberfläche ist.

4. System, wie in Anspruch 1, 2 oder 3 beansprucht, umfassend Mittel zum Speichern von Bezugsdaten, die eine erwünschte Oberflächenkonfiguration um einen Untersuchungspunkt herum darstellen, und Mittel zum Vergleichen von Daten, die die Oberflächenkonfiguration darstellen, die tatsächlich um den Untersuchungspunkt herum gemessen wurde, mit den Bezugsdaten.

5. System, wie in Anspruch 4 beansprucht, wenn er als abhängig von Anspruch 3 gelesen wird, worin die Bezugsdaten die erwünschte Konfiguration eines gedruckten Musters um den Untersuchungspunkt herum darstellen.

6. System, wie in irgendeinem vorhergehenden Anspruch beansprucht, worin die Untersuchungspunktbestimmungsmittel betreibbar sind, um die X- und Y-Koordinaten einer Abfolge von Untersuchungspunkten zu bestimmen, wobei die Berechnungs-, Fokussierungs- und Versetzungsmittel ihre Operationen wiederum für jeden Untersuchungspunkt ausführen.

7. System, wie in irgendeinem vorhergehenden Anspruch beansprucht, enthaltend

eine Mikroprozessoreinheit zum Steuern des Betriebs des Systems,

einen Nur-Lese-Speicher zum Speichern von Programmen zum Steuern der Mikroprozessoreinheit,

einen Speicher für wahlweisen Zugriff zum Speichern von Betriebsdaten, die während des Betriebs des Systems erzeugt werden,

einen Speicher, zum Beispiel eine Diskette, zum Speichern von Bezugsdaten, die verwendet werden, um das Objekt zu untersuchen.

8. System, wie in irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche beansprucht, worin die Beobachtungsmittel ein TV-Kameragerät umfassen und die Messungsmittel einen Schlitzmarkierungsprojektor zum optischen Projizieren einer Schlitzmarkierung seitlich auf die Oberfläche des Objektes umfassen, und worin das TV-Kameragerät betreibbar ist, ein Videosignal zu liefern, welches der Schlitzmarkierung entspricht, wobei die Anordnung der Schlitzmarkierung, wie sie vom Videosignal dargestellt wird, vom Abstand zwischen dem Beobachtungsabstand zwischen dem Videokameragerät und der Oberfläche des Objektes, wo die Schlitzmarkierung auffällt, abhängt.