DE3743879A1 - Kohlenstoff-heizvorrichtung und zugehoeriges heizelement - Google Patents
Kohlenstoff-heizvorrichtung und zugehoeriges heizelementInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine zylindrische Kohlenstoff-Heiz
vorrichtung für elektrische Widerstandsheizung und deren
Heizelement.
Es existieren unterschiedliche Arten von Kohlenstoffheizvor
richtungen für elektrische Widerstandsheizung. Eine zylindrische
derartige Heizvorrichtung wird beispielsweise bei einem Gerät
verwendet, welches einen Siliziumeinkristall hochzieht, welcher
als Material für ein Substrat in einem Halbleitergerät verwendet
wird. Bei dem Siliziumeinkristall-Hochziehgerät ist ein Schmelz
tiegel drehbar innerhalb einer Kammer gehaltert, ein Silizium
material wird innerhalb des Schmelztiegels unter Verwendung
einer zylindrischen Kohlenstoff-Heizvorrichtung geschmolzen,
welche um den Umfang des Schmelztiegels herum angeordnet
ist, und ein drehbar von oben herabhängender Impfkristall
wird in die Oberfläche des geschmolzenen Siliziums eingetaucht
und hochgezogen, um einen Einkristallblock aus Silizium zu
erzeugen.
Die Kohlenstoff-Heizvorrichtung weist eine zylindrische Form
auf und ist alternierend mit Schlitzen versehen, welche sich
vom unteren Ende der Heizvorrichtung nach oben erstrecken,
und Schlitzen, die sich vom Oberende nach unten erstrecken,
entlang des Umfangs-Seitenabschnitts der Heizvorrichtung.
Eine elektrische Widerstandsheizung wird dadurch durchgeführt,
daß ein elektrischer Strom zum Fließen durch einen elektrischen
Leitungspfad veranlaßt wird, welcher sich zickzackartig entlang
des Umfangs-Seitenabschnitts der Heizvorrichtung erstreckt.
Die bekannte Kohlenstoff-Heizvorrichtung wird durch Ausformen
eines zylindrischen Kohlenstoffkörpers durch Bohren des zentra
len Abschnitts eines isotropen Kohlenstoffblocks von großem
Durchmesser und Ausbildung von Schlitzen, welche sich vom
unteren Ende des Kohlenstoffkörpers nach oben erstrecken,
und Schlitzen, welche sich von dessen Oberende nach unten
erstrecken, erzeugt.
Da die bekannte Kohlenstoff-Heizvorrichtung aus einem einstückigen
Schmelzstück besteht, läßt sich jedoch nicht der Einfluß
ungleichmäßiger Schmelzbedingungen vermeiden, und die physika
lischen Eigenschaften ändern sich entsprechend den Abschnitten,
welche die Heizvorrichtung bilden. Wenn daher ein elektrischer
Strom durch die Heizvorrichtung fließt, weisen die die Heizvor
richtung bildenden Abschnitte eine unterschiedliche Temperatur
auf, und dies macht es schwierig, eine gleichmäßige Heizwirkung
zu erzielen. Zusätzlich werden die Schlitze so ausgeformt,
daß sie sich vom unteren Ende und oberen Ende des zylindrischen
Kohlenstoffkörpers aus erstrecken, was die Herstellungskosten
und die Kosten dieses Erzeugnisses vermehrt.
Die vorliegende Erfindung dient zur Lösung der voranstehend
angegebenen Probleme. In vorteilhafter Weise werden gemäß
der vorliegenden Erfindung eine Kohlenstoff-Heizvorrichtung
und deren Heizelement bereitgestellt, welche gleichmäßige
physikalische Eigenschaften aufweisen und die Erzeugungskosten
verringern.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden diese Vorteile erzielt
durch ein Heizelement für eine zylindrische Kohlenstoff-Heiz
vorrichtung, welches einen ersten Kohlenstoffschenkel aufweist,
der im Querschnitt gebogen ist, einen zweiten Kohlenstoff
schenkel, der im Querschnitt gebogen ist, einen Kohlenstoff-Ver
bindungsteil, der einstückig ein Ende des ersten Kohlenstoff
schenkels mit einem Ende des zweiten Kohlenstoffschenkels
verbindet, um einen Schlitz zwischen dem ersten Kohlenstoff
schenkel und dem zweiten Kohlenstoffschenkel auszubilden,
wobei sich der Schlitz in Längsrichtung des ersten Kohlen
stoffschenkels vom anderen Ende des ersten Kohlenstoffschenkels
zum einen Ende des ersten Kohlenstoffschenkels erstreckt,
und durch eine Kohlenstoff-Heizvorrichtung, welche aus mehreren
derartigen Heizelementen zu einem Zylinder zusammengebaut
ist und bei welcher das andere Ende des ersten Kohlenstoffschen
kels an einem der Heizelemente mechanisch und elektrisch
mit dem anderen Ende des zweiten Kohlenstoffschenkels an
dem anderen Heizelement mit einer Kohlenstoffplatte auf solche
Weise verbunden ist, daß eine Entfernung zwischen dem ersten
Kohlenstoffschenkel und dem zweiten Kohlenstoffschenkel im
wesentlichen gleich einer Stützweite des Schlitzes ist, wobei
das andere Heizelement neben einem der Heizelemente angeordnet
ist.
Bei dieser Erfindung weist die zusammengebaute Kohlenstoff-Heiz
vorrichtung eine Form auf, die im wesentlichen der der bekannten
Kohlenstoff-Heizvorrichtung gleicht.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden mehrere Heizelemente,
die ähnliche physikalische Eigenschaften aufweisen, ausgewählt
und zu einer Kohlenstoff-Heizvorrichtung zusammengebaut,
so daß Ungleichförmigkeiten der physikalischen Eigenschaften
bezüglich der Lage in der Kohlenstoff-Heizvorrichtung ver
ringert werden und eine gleichförmige elektrische Widerstands
heizung über die gesamte Kohlenstoff-Heizvorrichtung gesichert
ist. Verglichen mit der Ausbildung von Schlitzen bei dem
konventionellen zylindrischen Kohlenstoffkörper, die sich
vom unteren Ende des zylindrischen Kohlenstoffkörpers nach
oben und vom oberen Ende des konventionellen zylindrischen
Kohlenstoffkörpers nach unten erstrecken, ist die Ausbildung
einzelner Heizelemente einfach, und so werden die Herstellungs
kosten und die Kosten der Erzeugnisse verringert.
Die Erfindung wird nachstehend anhand eines zeichnerisch
dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert, aus welchem
weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Perspektivansicht einer Ausführungsform einer
Kohlenstoff-Heizvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 2(a) eine Aufsicht, teilweise in Explosionsdarstellung,
der in Fig. 1 dargestellten Kohlenstoff-Heizvorrichtung;
Fig. 2(b) eine Querschnittsansicht enlang der Linie B-B′
von Fig. 2(a); und
Fig. 2(c) eine Querschnittsansicht entlang der Linie C-C′
von Fig. 2(a).
Die nachstehend beschriebene Ausführungsform dient nur als
Mittel zum klaren Verständnis der vorliegenden Erfindung,
und verschiedene Änderungen und Modifikationen dieser Ausführungs
form können durch einen Fachmann auf diesem Gebiet gemacht
werden, ohne von dem Umfang der Erfindung abzuweichen, welcher
auch deutlich in den Patentansprüchen angegeben ist.
In den Fig. 1 und 2(a) bis 2(c) weist eine Kohlenstoff-Heiz
vorrichtung 1 zwölf Heizelemente 2 auf, welche unter Verwendung
von Kohlenstoffplatten 3 und Kohlenstoffschrauben 4 zu einem
Zylinder zusammengebaut sind. Jedes Element 2 weist einen
zentralen Schlitz 2 a auf, welcher sich vom unteren Ende nach
oben erstreckt und einen gekrümmten Querschnitt aufweist.
Im einzelnen weist jedes Element einen ersten Kohlenstoffschenkel
auf, dessen Querschnitt gekrümmt ist, einen zweiten Kohlenstoff
schenkel, dessen Querschnitt gekrümmt ist, einen Kohlenstoff-
Verbindungsteil, welcher einstückig das obere Ende des ersten
Kohlenstoffschenkels mit dem oberen Ende des zweiten Kohlen
stoffschenkels so verbindet, daß ein Schlitz 2 a zwischen
dem ersten Kohlenstoffschenkel und dem zweiten Kohlenstoff
schenkel ausgebildet wird, wobei sich der Schlitz 2 a in Längs
richtung des ersten Kohlenstoffschenkels von dem unteren
Ende des ersten Kohlenstoffschenkels zum oberen Ende des
ersten Kohlenstoffschenkels erstreckt.
Jedes Element 2 ist an seinem äußeren unteren Ende 2 b in
einem Maße ausgeschnitten, welches der Dicke der Kohlenstoff
platte 3 entspricht, und an seinem unteren inneren Ende für
den weggeschnittenen Abschnitt ausgeglichen, um sicherzustellen,
daß eine Kohlenstoff-Heizvorrichtung erhalten wird, die genügend
dick ist, um eine lokale Erhitzung zu vermeiden, wenn die
Heizvorrichtung mit Strom versorgt wird. Das Element 2 ist
an seinem unteren Ende 2 b mit Gewindelöchern 2 c versehen,
welche Kohlenstoffschrauben 4 aufnehmen. Die unteren Enden
2 b des ersten Kohlenstoffschenkels und des zweiten Kohlenstoff
schenkels in jedem Element 2 unterscheiden sich in ihrer
Länge voneinander. In den benachbarten zwei Elementen 2 weisen
beide Kohlenstoffschenkel, die einander gegenüberliegen,
gleiche Länge auf. Jedes Element 2 ist an seinem äußeren
oberen Ende abgeschrägt. Jede Kohlenstoffplatte 3 ist mit
vier Löchern 3 a für Schrauben 4 versehen. Jede benachbarten
zwei Elemente 2 sind aneinander befestigt, so daß einerseits
zwei Löcher 3 a in einer Kohlenstoffplatte 3 mit Gewindelöchern
2 c in einem Schenkel des einen Elements 2 ausgerichtet sind
und andererseits die beiden anderen zwei Löcher 3 a in der
Kohlenstoffplatte 3 mit den Gewindelöchern 2 c in einem Schenkel
des benachbarten Elements 2 ausgerichtet sind, und Schrauben
4 in die Gewindelöcher 2 c durch Löcher 3 a eingedreht werden.
In diesem Fall sind die Elemente 2 miteinander mechanisch und
elektrisch zur Ausbildung der zylindrischen Kohlenstoff-Heiz
vorrichtung 1 derart verbunden, daß die Entfernung zwischen
sämtlichen benachbarten Elementen 2 und die Entfernung zwischen
sämtlichen benachbarten Kohlenstoff-Platten 3 im wesentlichen
gleich der Erstreckung des Schlitzes 2 a ist.
Bei einer Ausführungsform einer Kohlenstoff-Heizvorrichtung
gemäß der vorliegenden Erfindung werden mehrere Elemente
2, die gleiche physikalische Eigenschaften aufweisen, ausgewählt
und zur Kohlenstoff-Heizvorrichtung zusammengesetzt, so daß
Lage-Ungleichförmigkeiten physikalischer Eigenschaften über
die Kohlenstoff-Heizvorrichtung verringert werden und eine
gleichförmige elektrische Widerstandsheizung über die gesamte
Kohlenstoff-Heizvorrichtung sichergestellt wird.
Wenn die konventionelle Kohlenstoff-Heizvorrichtung und die
voranstehend beschriebene Ausführungsform der Kohlenstoff-Heiz
vorrichtung zu Vergleichszwecken auf 1500°C aufgeheizt
werden, so variiert die Temperatur der konventionellen Kohlen
stoff-Heizvorrichtung in einem Bereich von 1500 ± 40°C,
in Übereinstimmung mit den die Heizvorrichtung bildenden
Abschnitten, wogegen die Temperatur der voranstehend ange
gebenen Ausführungsform der Kohlenstoff-Heizvorrichtung in
einem Bereich von 1500 ± 10°C variiert, in Übereinstimmung
mit den die Heizvorrichtung ausbildenden Abschnitten.
Verglichen mit der Ausbildung von Schlitzen bei dem konventio
nellen zylindrischen Kohlenstoffkörper, die sich vom Unterende
des zylindrischen Kohlenstoffkörpers nach oben und vom Oberende
des zylindrischen Körpers nach unten erstrecken, ist die
Ausbildung der individuellen Heizelemente 2 dieser Ausführungs
form einfach, wodurch die Herstellungskosten und die Kosten
des Erzeugnisses gesenkt werden.
Wie voranstehend im einzelnen geschildert ist, weisen das
Heizelement oder die Kohlenstoff-Heizvorrichtung gemäß der
vorliegenden Erfindung gleichförmige physikalische Eigen
schaften auf, was für eine gleichmäßige Aufheizung vorteilhaft
ist und die Herstellungskosten der Kohlenstoff-Heizvorrichtung
verringern kann.
Claims (4)
1. Heizelement für eine zylindrische Kohlenstoff-Heizvor
richtung, gekennzeichnet durch einen
ersten Kohlenstoffschenkel mit gekrümmtem Querschnitt,
einen zweiten Kohlenstoffschenkel mit gekrümmtem Quer
schnitt, einen Kohlenstoff-Verbindungsteil, welcher ein
stückig ein Ende des ersten Kohlenstoffschenkels mit
einem Ende des zweiten Kohlenstoffschenkels verbindet,
um einen Schlitz (2 a) zwischem dem ersten Kohlenstoff
schenkel und dem zweiten Kohlenstoffschenkel auszubilden,
wobei sich der Schlitz (2 a) in Längsrichtung des ersten
Kohlenstoffschenkels von dem anderen Ende des ersten
Kohlenstoffschenkels zum einen Ende des ersten Kohlenstoff
schenkels erstreckt.
2. Heizelement nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der erste Kohlenstoffschenkel dieselbe
Breite aufweist wie der zweite Kohlenstoffschenkel.
3. Kohlenstoff-Heizvorrichtung, dadurch gekenn
zeichnet, daß mehrere Heizelemente (2) gemäß Anspruch
1 zu einem Zylinder zusammengesetzt sind, bei welchem
das andere Ende (2 b) des ersten Kohlenstoffschenkels
an einem Heizelement (2) mechanisch und elektrisch mit
dem anderen Ende (2 b) des zweiten Kohlenstoffschenkels
an dem anderen Heizelement (2) mittels einer Kohlenstoff
platte (3) derart verbunden ist, daß eine Entfernung
zwischen dem ersten Kohlenstoffschenkel und dem zweiten
Kohlenstoffschenkel im wesentlichen gleich der Erstreckung
des Schlitzes (2 a) ist, wobei das andere Heizelement
(2) neben dem einen Heizelement (2) angeordnet ist.
4. Kohlenstoff-Heizvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kohlenstoffplatte
(3) mit den anderen Enden (2 b) durch Kohlenstoffschrauben
(4) verbunden ist.
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