DE3737869C2 - - Google Patents
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum optischen
Prüfen eines Gegenstandes gemäß dem Oberbegriff des
Anspruches 1.
Eine solche Einrichtung ist, bis auf das fakultative
Merkmal, aus der DE 35 35 400 A1 (Fig. 1) bekannt.
Die aus der DE 35 35 400 A1 bekannte Einrichtung weist je eine Aufnahme für das
Mutterstück und den Gegenstand auf, von denen jede
über einen lichtundurchlässigen und einen lichtdurchlässigen
Umlenkspiegel mit einer Videokamera als optoelektronischem Wandler in optischer
Wirkverbindung steht. Zur Überprüfung des Gegenstandes
werden sowohl das Mutterstück als auch der
Gegenstand mit Lichtquellen beleuchtet,
wodurch über die Spiegelanordnung die Bilder des Mutterstückes
und des Gegenstandes in der
Abbildungsebene abgebildet werden. Stimmt das Bild
des Gegenstandes nicht mit demjenigen des Mutterstücks
überein, so wird
ein Fehlergrad geliefert. Bei vollständiger
Übereinstimmung von Mutterstück und Gegenstand
wird der Gegenstand als gut bewertet.
Diese Einrichtung hat den Nachteil, daß
erhebliche zu verarbeitende Datenmengen
auftreten, deren Verarbeitung einen nicht unerheblichen
Zeitaufwand nach sich zieht.
Der elektronische Teil der
Einrichtung ist so auszubilden, daß alle Punkte der Abbildung
von Mutterstück und Gegenstand gespeichert
und verarbeitet werden können. Demzufolge benötigt
diese Einrichtung einen aufwendigen Rechner. Nachteilig
ist bei dieser Einrichtung ferner, daß das optische
System aus hochwertigen Spiegeln und aufeinander
abgestimmten Bauteilen bestehen muß, sollen Verzerrungen
und damit Prüffehler aufgrund von Abweichungen
in den optischen Systemen der beiden Strahlengänge
sicher vermieden werden.
Es ist des weiteren eine Einrichtung zum Prüfen von
Leiterplatten bekannt, bei der ein Leiterplattenmutterstück
optisch mittels eines Festkörperbildsensoren
enthaltenden optischen Systems abgetastet wird und
die so erhaltene elektrischen Bildsignale in einem
Speicher eines Rechners abgelegt werden. Die einzelnen
Festkörperbildsensoren bestehen aus optoelektronischen
Halbleiterbauelementen als lichtelektrische
Empfänger, die mit Ladungsspeichern verbunden sind
und die Zerlegung eines optischen Bildes in Bildelemente
ermöglichen. Die Größe eines Festkörperbildsensors
beträgt etwa 7×7 µm.
Nach dem Einspeichern des Leiterplattenmutterstücks
wird in einem weiteren Erfassungsvorgang die zu prüfende
Leiterplatte ebenfalls mit demselben optischen
System - um Fehler durch unterschiedliche optische
Systeme zu vermeiden - abgetastet und die so erhaltenen
elektrischen Bildsignale werden gleichfalls in
einem Speicher des Rechners abgelegt. Der Rechner beginnt
danach mit dem Vergleich beider eingespeicherter
Bilder und zwar durch aufeinanderfolgendes Vergleichen
aller einander unmittelbar zugeordneter
Bildpunkte. Treten dabei Abweichungen zwischen zwei
einander zugeordneten Bildpunkten auf, werden diese
in einen Fehlerspeicher abgelegt. Nach dem Vergleich
aller Bildpunkte und Abspeicherung eventuell auftretender
Abweichungen wird das Bild der zu prüfenden
Leiterplatte gelöscht. Nunmehr kann eine weitere Leiterplatte
einer optischen Prüfung unterzogen werden,
indem sie durch das optische System abgetastet wird,
die elektrischen Bildsignale in den Speicher eingelesen
und mit dem bereits zu Beginn eingespeicherten
Bild des Leiterplattenmutterstücks verglichen werden.
Auch bei dieser Einrichtung müssen erhebliche Datenmengen
verarbeitet werden, so daß die Prüfung verhältnismäßig
langsam ist. So benötigt man beispielsweise
für einen Vergleich einer Leiterplatte mit den
Abmessungen 500×500 mm mit ihrem Leiterplattenmutterstück
etwa 30 Sekunden. Darüber hinaus wird ein
teurer Rechner - die Kosten des Rechners machen bei
der bekannten Einrichtung etwa 70% ihrer Gesamtkosten
aus - mit großer Speicherkapazität für die Bildsignale
des Mutterstückbildes und des Bildes des
Prüfgegenstandes benötigt, was einer breiten Anwendung
des Verfahrens im Prüfwesen im Wege steht.
Bei einer anderen bekannten Einrichtung zur optoelektronischen
Qualitätskontrolle (DE 36 12 256 A1) werden
in Echtzeit durch einen Steuerrechner
ausgesuchte Bildpunkte eines Prüflings und eines
Originals mittels einer Kamera abgetastet.
Es erfolgt ein Analogvergleich der von der Kamera aufgenommenen
Signale, wobei infolge identischer Bildpunkte übereinstimmende
Signale gelöscht werden. Nur die restlichen Signale werden weiter verarbeitet.
Eine solche Einrichtung würde
beim Prüfen von Leiterplatten, bei denen
die gesamte Fläche
abgetastet werden muß
eine lange Zeit beanspruchen.
Zur automatischen optischen Prüfung von im wesentlichen zweidimensionalen
Mustern mit Reliefstruktur, insbes. Leiterplatten,
ist eine Einrichtung bekannt
(DE 32 04 086 A1), bei der ein optischer Abtastkopf
ein Lichtband unter einem bestimmten Winkel auf das
Muster richtet und mit mindestens einer Abtast-Diodenzeile zusammenwirkt,
die so angebracht ist, daß sie nur solches
Licht empfängt, das von Leiterzügen reflektiert
wird, deren Oberfläche eine vorgegebene Nominalhöhe
von der Grundfläche aufweisen. Eine solche Prüfung
hat den Nachteil, daß
nicht erkennbar ist, wenn beispielsweise eine falsche
Leiterplatte geprüft wird, weil die Prüfung unabhängig
davon erfolgt, wie die Leiterbahnkonfiguration
der Leiterplatte beschaffen ist.
Bei einem anderen bekannten Prüfverfahren
(DE 35 40 100 A1) werden
die im Rahmen der Abtastung einer Leiterplatte entstehenden
Daten jeweils bestimmten Ausschnitten (Fenstern) zugeordnet,
in die die Leiterplatte unterteilt wird,
für jeden Ausschnitt die Summe der
den Leiterbahnen entsprechenden Bildpunkte oder die
Summe der den leiterbahnfreien Flächen entsprechenden
Bildpunkte und der Schwerpunkt dieser Bildpunktbereiche erfaßt und mit
zuvor bestimmten Sollwerten entsprechender Ausschnitte
einer Referenzleiterplatte verglichen.
Dieses Verfahren erfordert aber einen
hohen Rechenaufwand.
Der Nachteil der aus der DE 35 35 400 A1 (Fig. 1) bekannten Einrichtung
soll durch die Erfindung überwunden werden.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Einrichtung
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 derart weiterzubilden,
daß sie eine optische Prüfung von Gegenständen
ohne einen aufwendigen Rechner in möglichst kurzer
Zeit und mit einem möglichst geringen Prüffehler
gestattet.
Ausgehend von der Einrichtung der eingangs beschriebenen
Gattung wird diese Aufgabe erfindungsgemäß
durch die Merkmale des Kennzeichens des Anspruches 1
gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen und
Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung werden also
nicht mehr die kompletten Bilder des Mutterstücks und
des zu überprüfenden Gegenstandes erzeugt und miteinander
verglichen, sondern lediglich ein Ausschnitt
des Mutterstücks mit dem gleichen Ausschnitt des zu
prüfenden Gegenstandes. Ein derartiger Ausschnitt
kann 1/10 oder 1/100 oder auch 1/1000 des Mutterstücks
und damit des Gegenstandes ausmachen. Ein solcher
Ausschnitt besteht naturgemäß aus einer wesentlich
geringeren Anzahl von Bildsignalen, so daß
lediglich wenige Bildsignale des Mutterstücks und
gegebenenfalls des Gegenstandes gespeichert werden
müssen. Während des Vergleichs oder alternativ auch
nach dem Vergleich werden die übereinstimmenden Bildsignale
gelöscht, während die nicht übereinstimmenden
Bildsignale, die eine Abweichung signalisieren, in
einem Fehlerspeicher gespeichert werden. Demzufolge
benötigt die erfindungsgemäße Einrichtung nicht
länger einen Speicher großer Kapazität, sondern es
genügt die Verwendung eines kleinen Zwischenspeichers,
beispielsweise eines RAM-Bausteines, also
eines kleinen Schreib-Lese-Speichers. Bei der erfindungsgemäßen
Einrichtung betragen die Kosten für diese
rechnerähnliche Hardware nurmehr 10% der Gesamtkosten.
Durch die besondere Ausbildung des optischen Teils
der Einrichtung und die Anordnung der lichtdurchlässigen
Platte in einem Strahlengang können Verzerrungen
der Teilbilder in der Abbildungsebene und damit
Prüffehler weitestgehend vermieden werden, da die
Lichtstrahlen in dem einen Strahlengang nunmehr in
gleicher Weise und in gleichem Umfang wie diejenigen
des anderen Strahlenganges gebrochen werden. Dies
wird noch durch die Entkopplung der beiden vom
Mutterstück und dem Gegenstand ausgehenden Lichtstrahlengänge
voneinander durch die Anordnung beider
Umlenkspiegel hintereinander im Strahlengang konzentrisch
zur optischen Achse des Objektivs verbessert.
Vorteilhafterweise ist eine lichtabsorbierende Wand vorgesehen.
Im übrigen bedarf es keiner besonderen
Erwähnung, daß der gesamte Prüfvorgang in einem abgedunkelten
Raum stattfinden sollte, um Prüffehler
durch Umgebungslichteinflüsse sicher auszuschalten.
Das Mutterstück und der zu prüfende Gegenstand sind
nebeneinander und relativ zueinander unbeweglich angeordnet.
Das Austauschen des Mutterstücks
gegen den zu prüfenden Gegenstand und umgekehrt
entfällt.
Damit können mehrere zu prüfende
Gegenstände nacheinander ohne Austausch derselben
geprüft werden. Es sind lediglich durch zusätzliche
Spiegel zusätzliche Strahlengänge zu realisieren.
Zur Erzielung einer großen Schärfentiefe und damit
zur Erhöhung der Prüfschärfe empfiehlt es sich, eine
Lichtstrahlenganglänge in einer Größenordnung von
Metern zu wählen, auch wenn sich dies vergrößernd auf
die Einrichtung auswirkt. Ferner empfiehlt es sich,
beide Strahlengänge gleich lang zu wählen, um Verzerrungen
und unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe
auszuschalten.
Eine Beschleunigung des mit der Prüfeinrichtung durchführbaren Prüfverfahrens kann dadurch
erreicht werden, daß das Mutterstück und der Gegenstand
während des Prüfvorganges unbeweglich und die
die Bildsignale erzeugenden Festkörperbildsensoren
beweglich angeordnet sind. Die Festkörperbildsensoren
werden also von Ausschnitt zu Ausschnitt
bewegt, während Mutterstück und Gegenstand
stillstehen. An sich ist es auch ohne weiteres
möglich, Mutterstück und Gegenstand gemeinsam
gegenüber feststehenden Festkörperbildsensoren von
Ausschnitt zu Ausschnitt zu bewegen, jedoch sind dann
die zu bewegenden Massen größer und somit ist der
Einstellvorgang langsamer.
Sind dem Mutterstück
und dem Gegenstand jeweils
eine oder mehrere Blitzlampen zugeordnet, so
wird durch Anblitzen des Mutterstücks in der Abbildungsebene
zuerst das Mutterstück und danach durch
Anblitzen des Gegenstandes der Gegenstand in der Abbildungsebene
erzeugt. Bei Anblitzen des Mutterstücks
wird dann durch die Festkörperbildsensoren
ein Ausschnitt erfaßt und abgespeichert und durch Anblitzen
des Gegenstandes der entsprechende Auschnitt
des Gegenstandes durch die Festkörperbildsensoren erfaßt.
Danach erfolgt der Vergleich.
Als zweckmäßig hat es sich erwiesen, als lichtdurchlässigen
Umlenkspiegel einen Spiegel mit einem solchen
Reflexionsgrad vorzusehen, daß in seiner
Position im Lichtstrahlengang ein Transmissionsgrad
von 50% auftritt. Bei Verwendung eines solchen Spiegels
werden die Lichtstrahlen in beiden Strahlengängen
im wesentlichen in gleichem Umfange geschwächt,
so daß Änderungen in der Lichtintensität zweier zueinandergehöriger
Teilbilder auf ein vernachlässigbares
Maß zurückgeführt werden können. Des weiteren
hat es sich als zweckmäßig erwiesen, in beiden Strahlengängen
Lichtmengensensoren anzuordnen, die die
Lichtstärke erfassen und die Ausleuchtung des
Mutterstücks und des zu prüfenden Gegenstandes dergestalt
zu steuern, daß in beiden Strahlengängen immer
gleiche Lichtstärke herrscht.
Dies kann bei Blitzlampen beispielsweise durch die
Variation der Blitzdauer geschehen.
Als zweckmäßig hat es sich erwiesen, den ersten Umlenkspiegel,
den zweiten lichtdurchlässigen Umlenkspiegel,
die lichtdurchlässige Platte und das Objektiv
mit der Abbildungsebene und den Festkörperbildsensoren
zu einer Baueinheit zusammenzufassen. Dadurch
läßt sich ohne besonderen Aufwand ein exaktes
optisches System erreichen.
In der Abbildungsebene
der Einrichtung ist eine Zeile oder Matrix von Festkörperbildsensoren
angeordnet, deren Zeilen oder
Spalten nacheinander einzeln oder in einer Konfiguration
ansteuerbar sind. So wird bei einem Abtastvorgang
beispielsweise zuerst die erste Zeile der
Matrix nach Beaufschlagung mit dem Mutterstückbild in
einen Speicher eingelesen und danach wird diese Zeile
mit dem Gegenstandsbild beaufschlagt und beim Auslesen
mit dem gespeicherten Mutterstückbild verglichen.
Es wird also ein der ersten Zeile der Festkörperbildsensormatrix
entsprechendes Teilbildpaar ausgewertet.
Danach erfolgt das der zweiten Matrixzeile entsprechende
Teilbildpaar usw. Selbstverständlich sind auch
andere Matrixkonfigurationen als Teilbild denkbar, so
beispielsweise diagonalförmige, rautenförmige oder
rechteckförmige Konfigurationen.
In einer vorteilhaften Ausführungsform ist in der Abbildungsebene
mindestens eine Zeile von Festkörperbildsensoren
angeordnet, die motorisch parallel verfahrbar
ist. Hierbei erfolgt also anstelle einer Ansteuerung
von einer ersten Matrixzeile in eine zweite
Matrixzeile gemäß der vorhergehenden Ausführungsform
eine motorische Parallelverschiebung der Festkörper
bildsensorzeile. Eine solche Ausführungsform bringt
den Vorteil mit sich, daß sie wesentlich billiger ist
als die Ausführungsform mit einer Matrix, da für eine
Matrixform wesentlich mehr der teuren Bildsensorelemente
benötigt werden.
Eine Beschleunigung des mit der Prüfeinrichtung durchführbaren Prüfverfahrens läßt
sich bei der zuletzt beschriebenen Ausführungsform in
vorteilhafter Weise dadurch erreichen, daß zwei oder
mehrere parallel zueinander beabstandete Festkörper
bildsensorzeilen vorgesehen sind, die gemeinsam motorisch
parallel verfahrbar sind. Durch die Verwendung
von zwei oder mehreren Festkörperbildsensorzeilen erhöht
sich zwar der Aufwand an Bildsensoren, jedoch
ist der Gesamtaufwand immer noch wesentlich geringer
als bei einer Festkörperbildsensormatrix. Ferner erhöht
sich auch der Auswertungsaufwand, da jeder der
Festkörperbildsensorzeilen eine Auswerteschaltung zugeordnet
ist, so daß die verschiedenen Zeilen gleichzeitig,
aber getrennt ausgewertet werden können. Eine
solche gleichzeitige, aber getrennte Auswertung läßt
sich im übrigen auch bei einer Festkörperbildsensormatrix
durchführen, sofern einzelnen Zeilen oder
Spalten der Matrix gesonderte Auswerteschaltungen zugeordnet
sind.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform umfaßt die
Speicher- und Auswerteschaltung für jede Festkörperbildsensorzeile
ein analoges Schieberegister, dessen
Eingänge mit den Ausgängen der Festkörperbildsensorzeilen
verbunden ist und dessen Ausgang über einen
Analog-Digital-Wandler mit einer Umschaltstufe in
Verbindung steht, über die der Analog-Digital-Wandler
einerseits auf einen kleinen Schreib-Lese-Speicher
(RAM) aufschaltbar ist, dessen Ausgang mit den Eingängen
eines Komparators in Verbindung steht, und
andererseits auf die anderen Eingänge des Komparators
aufschaltbar ist, dessen Ausgang mit dem Fehlerspeicher
in Verbindung steht. Jeder durch die Festkörperbildsensorzeilen
erfaßte Ausschnitt des Mutterstücks
wird nach seiner Erfassung und Analog-Digital-Umwandlung
über die Umschaltstufe in den Schreib-Lese-Speicher
(RAM) eingespeichert. Danach wird der Ausschnitt
des zu prüfenden Gegenstandes durch die Festkörperbildsensorzeile
erfaßt und in das analoge Schieberegister
überführt. Die Umschaltstufe wird nunmehr
umgeschaltet und das Schieberegister wird über den
Analog-Digital-Wandler ausgelesen. Gleichzeitig
erfolgt die Auslesung des im Schreib-Lese-Speichers
gespeicherten Ausschnitts des Mutterstücks. Der Vergleich
des Ausschnitts des Mutterstücks mit demjenigen
des zu prüfenden Gegenstandes findet also während des
Auslesens des Schieberegisters statt, so daß ein
Zeitaufwand für eine besondere Speicherung des Ausschnitts
des zu prüfenden Gegenstandes nicht auftritt.
Dies stellt einen besonderen Vorteil
der Einrichtung dar.
Die Erfindung ist anhand der Zeichnung, die in zum Teil
schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel
enthält, näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 Seitenansicht des optischen Teils einer
Einrichtung zum Prüfen von Leiterplatten,
Fig. 2 einen Schnitt durch die Einrichtung nach
Fig. 1 entlang der Linie II-II und
Fig. 3 ein Prinzipschaltbild eines Teils der
Auswerteeinrichtung.
Wie aus Fig. 1 hervorgeht enthält die Einrichtung eine
Aufnahme 1 für das Leiterplattenmutterstück 2 sowie eine
weitere Aufnahme 3, auf die die zu prüfenden Leiter
platten 4 aufgelegt werden können. Die Fixierung des
Leiterplattenmutterstücks 2 sowie der zu prüfenden
Leiterplatten 4 erfolgt mittels nicht dargestellter
Stifte, die sich in den Aufnahmen 1 und 3 befinden und
durch entsprechende Bohrungen im Leiterplattenmutter
stück 2 bzw. den zu prüfenden Leiterplatten 4 ragen.
Über der Aufnahme 1 für das Leiterplattenmutterstück 2
befindet sich ein Umlenkspiegel 5, der das von einer
Blitzlampe 6 erzeugte und von dem Leiterplattenmutter
stück 2 abgestrahlte Licht entlang dem Lichtstrahlengang
7 in Richtung auf ein Objektiv 8 wirft. Das Objektiv 8
enthält ein mehrlinsiges System, das nach Art eines
Linsensystems einer Kamera aufgebaut ist und das von dem
Spiegel 5 reflektierte Bild des Leiterplattenmutter
stücks 2 in die Abbildungsebene 9 projiziert.
Die Abbildung der zu prüfenden Leiterplatte 4 in der
Abbildungsebene 9 erfolgt mittels eines halbdurchläs
sigen Spiegels 10, der im Lichtstrahlengang 7 so
angeordnet ist, daß das von der Blitzlampe 11 auf die zu
prüfende Leiterplatte 4 ausgesandte Licht über einen
Lichtstrahlengang 12 auf das Objektiv 8 gerichtet ist,
der mit dem Lichtstrahlengang 7 zusammenfällt.
Zwischen dem halbdurchlässigen Umlenkspiegel 10 und der
zu prüfenden Leiterplatte 4 befindet sich eine
Glasscheibe 13, die parallel zu dem halbdurchlässigen
Umlenkspiegel 10 angeordnet ist und deren Dicke gleich
groß wie die Dicke des halbdurchlässigen Umlenkspiegels
10 ist.
Zur lichtoptischen Entkopplung der beiden Lichtstrahlen
gänge vor ihre Umlenkung durch die beiden Umlenkspiegel
5 und 10 ist eine Trennwand 14 zwischen den beiden
Systemen angeordnet. Diese Trennwand 14 sowie alle
anderen Wände der Einrichtung, in dem sich der licht
elektrische Teil befindet, sind mit einer schwarzen,
Licht absorbierenden Oberfläche versehen.
Die Abbildungsebene 9 ist durch eine Mattscheibe 15
realisiert, hinter der sich die Festkörperbildsensoren 16
befinden.
Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, sind die Festkörper
bildsensoren 16 auf einer Platte 17 in zwei Zeilen 18
und 19 angeordnet. Jede der beiden Zeilen 18 und 19
besteht aus fünf Festkörperbildsensoren 16, die in
Längsrichtung zueinander versetzt angeordnet sind, um eine
möglichst enge Packungsdichte in Längsrichtung zu
erreichen und sie dennoch elektrisch an die Auswerte
schaltung anschließen zu können.
Die Platte 17 ist verschieblich auf zwei Führungsstangen
20 und 21 gelagert, die ortsfest angebracht sind. Zur
Verschiebung der Platte 17 entlang der beiden Führungs
stangen 20 und 21 ist eine Spindel 22 vorhanden, die in
eine an der Platte 17 befestigte Mutter 23 eingreift.
Die Spindel 22 ist an einen Schrittmotor 24 ange
flanscht.
Die Festkörperbildsensoren 16 einer Zeile 18 bzw. 19
sind, wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, an ein Schiebe
register 25 angeschlossen, das über einen Analog-
Digital-Wandler 26 mit einer Umschaltstufe 27 in
Verbindung steht. In der einen Umschaltrichtung ist der
Analog-Digital-Wandler 26 mit einem RAM 28 verbunden,
dessen Ausgang mit dem Eingang eines Komparators 29 in
Verbindung steht. In der anderen Umschaltrichtung der
Umschaltstufe 27 ist der Analog-Digital-Wandler 26 mit
dem anderen Eingang des Komparators 29 verbunden. An den
Ausgang des Komparators 29 ist ein Fehlerspeicher 30
sowie ein Drucker 31 angeschlossen.
Zur Erläuterung der Wirkungsweise der Einrichtung sei
davon ausgegangen, daß das Leiterplattenmutterstück 2
sich in der Aufnahme 1 befindet und in der Aufnahme 3
eine zu überprüfende Leiterplatte 4 angeordnet ist.
Beide Leiterplatten sind einer Dauerbeleuchtung durch
die Blitzlampen 6 und 11 unterworfen, so daß sowohl das
Leiterplattenmutterstück 2 als auch die zu prüfende
Leiterplatte 4 beide gleichzeitig in der Abbildungsebene
abgebildet sind. Beide Leiterplatten werden nunmehr
solange relativ zueinander bewegt, bis beide Bilder
deckungsgleich in der Abbildungsebene erscheinen. In
dieser Position werden die beiden Leiterplatten bzw. die
die Leiterplatten in ihrer Lage haltenden Stifte
fixiert, da nunmehr die Einrichtung zur Prüfung
eingestellt ist.
Die Prüfung beginnt nunmehr mit der Auslösung eines
Blitzes mit der Blitzlampe 6, die das Leiterplatten
mutterstück 2 beleuchtet. Die so beleuchtete Oberfläche
des Leiterplattenmutterstücks 2 wird über den Umlenk
spiegel 5 und den halbdurchlässigen Spiegel 10 sowie das
Objektiv auf der Mattglasscheibe 15 abgebildet. Da sich,
wie aus Fig. 2 hervorgeht, in der Ruhestellung der
Platte 17 lediglich die unterhalb der gestrichelten
Linie A liegende Festkörperbildsensoren 16 hinter der
Mattglasscheibe 15 befinden, werden lediglich diejenigen
Flächen des Leiterplattenmutterstückbildes erfaßt, die
von den drei Festkörperbildsensoren 16 in der Zeile 18
und von den fünf Festkörperbildsensoren 16 in der Zeile
19 überdeckt sind. Die von den Sensoren 16 in der Zeile
18 erfaßten Bildflächen bilden ein erstes Teilbild und
die von den fünf Festkörperbildsensoren 16 der Zeile 19
überdeckten Flächen ein zweites Teilbild des Mutter
stückbildes.
Die durch die Beleuchtung der Festkörperbildsensoren 16
der Zeile 18 entstehenden Ladungen werden nunmehr in ein
dieser Zeile 18 zugeordnetes analoges Schieberegister 25
parallel eingelesen und danach seriell über einen
Analog-Digital-Wandler 26 und eine Umschaltstufe 27 in
einem RAM 28 eingespeichert. Gleiches geschieht mit den
Ladungsinformationen in den Festkörperbildsensoren 16
der Zeile 19, der ebenfalls eine Auswerteschaltung, wie
sie in Fig. 3 dargestellt ist, zugeordnet ist.
Nunmehr wird durch einen Blitz aus der Lampe 11 die zu
überprüfende Leiterplatte 4 beleuchtet, so daß diese
über die Glasscheibe 13 und den halbdurchlässigen
Spiegel 10 sowie das Objektiv 8 auf der Mattglasscheibe
15 abgebildet wird. Da die Platte 17 sich nach wie vor
in ihrer gleichen Position wie zuvor befindet, wird
nunmehr ein Teilbild der zu prüfenden Leiterplatte 4,
das sich aus den durch die drei Festkörperbildsensoren
16 in der Zeile 18 überdeckten Flächen zusammensetzt,
durch die der Zeile 18 zugeordnete Auswerteschaltung
erfaßt. Die Ladungen der einzelnen Festkörperbild
sensoren wird wiederum parallel in das analoge
Schieberegister 25 eingelesen und seriell über den
Analog-Digital-Wandler und die in ihrer anderen Position
befindliche Umschaltstufe dem Komparator 29 zugeführt.
Gleichzeitig mit diesem Auslesevorgang wird auch das RAM
28 ausgelesen und im Komparator 29 werden nun die
Bildinformationen des Teilbildes des Leiterplatten
mutterstücks und des Teilbildes der zu prüfenden
Leiterplatte nacheinander Bildelement für Bildelement
verglichen. Bei Abweichungen zweier Bildelemente um
einen bestimmten Betrag wird ein Fehlersignal generiert,
das im Fehlerspeicher 30 abgelegt wird. Ein entsprechen
der Vorgang findet gleichzeitig auch in der der Zeile 19
zugeordneten Auswerteschaltung 25 statt.
Nunmehr wird die Platte 17 um eine der Breite der Fest
körperbildsensoren 16 entsprechenden Betrag mittels des
Schrittmotors 24 aus seiner Ruhelage in Pfeilrichtung B
verschoben. Danach wird erneut ein Blitz mit der Blitz
lampe 6 erzeugt, wodurch wiederum das Leiterplatten
mutterstück 2 auf der Mattglasscheibe 15 abgebildet
wird. Ein Teilbild dieses Bildes, das von den fünf,
nunmehr um eine Sensorbreite versetzten Festkörper
bildsensoren 16 in Zeile 18 erfaßt wird, wird wiederum
wie zuvor über die Auswerteschaltung ausgewertet.
Gleiches geschieht mit dem Teilbild, das durch die fünf,
nunmehr um eine Breite versetzten Festkörperbildsensoren
16 in der Zeile 19 erfaßt wird.
Danach wird die Blitzlampe 11 aktiviert und es erscheint
auf der Mattglasscheibe 15 die Abbildung der zu prüfen
den Leiterplatte 4. Die beiden Teilbilder in Zeile 18
und Zeile 19 werden wiederum wie zuvor erfaßt und
gleichzeitig wird ein Vergleich des zuvor einge
speicherten Leiterplattenmutterstückteilbildes mit dem
nunmehr vorliegenden Teilbild der zu prüfenden Leiter
platte durchgeführt. Allfällig auftretende Abweichungen
werden als Fehler erkannt und in dem jeweiligen Fehler
speicher 30 abgelegt.
Nunmehr wird die Platte 17 um eine weitere Breite der
Festkörperbildsensoren 16 in Richtung des Pfeiles B
durch den Schrittmotor bewegt. Die Blitzlichtlampe 6
wird aktiviert, die beiden Teilbilder des Leiterplatten
mutterstücks erfaßt und gespeichert, danach wird die
Blitzlampe 11 aktiviert und die beiden Teilbilder der zu
prüfenden Leiterplatte werden erfaßt und mit den zuvor
gespeicherten Teilbildern verglichen. Abweichungen
werden in den Fehlerspeichern 30 abgespeichert. Dieser
Vorgang wiederholt sich, bis die gesamte Abbildungsebene
auf diese Weise abgetastet ist. Am Ende des Prüfvor
ganges werden die in den Fehlerspeichern 30 abgespei
cherten Fehler über einen Drucker in Form eines Barcode
ausgedruckt und dieser Ausdruck wird auf der Leiterplat
te angebracht. Die Leiterplatte kann nunmehr mit diesen
Informationen einer Reparatur unterzogen werden.
Eine übliche Blitzdauer zum Erfassen eines Bildes
beträgt etwa 500 µs, während das Einspeichern der
Ladungsinformationen einer Zeile in das RAM 28 etwa eine
Millisekunde beansprucht. Die gleiche Zeitdauer von
einer Millisekunde benötigt auch das Auslesen der
Ladungsinformationen einer Zeile und der Vergleich
dieser Informationen mit den in RAM 28 gespeicherten.
Eine weitere Millisekunde dauert das Verfahren der
Platte 17 um eine Breite der Festkörperbildsensoren.
Anhand dieser Werte ist unschwer erkennbar, daß das
erfindungsgemäße Abtastverfahren äußerst zeitsparend ist
und im wesentlichen von der Auslesezeit der Festkörper
bildsensoren abhängig ist.
Claims (12)
1. Einrichtung zum optischen Prüfen eines Gegenstandes,
insbesondere einer gedruckten Leiterplatte,
auf Abweichungen von einem Mutterstück
mit mindestens einem optoelektronischen Wandler
in einer Abbildungsebene und einem davor angeordneten
Objektiv, Mitteln zum Vergleichen von
Bildern und zum Auswerten und Speichern der Abweichungen,
mit einer ersten Aufnahme für das
Mutterstück, einer zweiten Aufnahme für den zu
prüfenden Gegenstand, einem zwischen dem Objektiv
und der ersten Aufnahme angeordneten ersten
Umlenkspiegel und einem zwischen dem Objektiv
und der zweiten Aufnahme angeordneten zweiten
lichtdurchlässigen Umlenkspiegel, der in dem von
der ersten Aufnahme über den ersten Umlenkspiegel
zum Objektiv verlaufenden Strahlengang dergestalt
angeordnet ist, daß der von der ersten
Aufnahme zum Objektiv verlaufende Strahlengang
und der von der zweiten Aufnahme zum Objektiv
verlaufende Strahlengang zwischen dem zweiten,
lichtdurchlässigen Umlenkspiegel und dem Objektiv
parallel und konzentrisch zur optischen Achse
des Objektivs verlaufen, dadurch gekennzeichnet,
daß der optoelektronische Wandler aus einer
Anzahl von zeilen- oder matrixförmig angeordneten
Festkörperbildsensoren (16) besteht, deren
Zeilen oder Spalten nacheinander einzeln oder in
einer Konfiguration dergestalt angesteuert werden,
daß jeweils nacheinander Ausschnitte des Mutterstücks
(2) und gleiche Ausschnitte des Gegenstandes
(4) erfaßt und auf Abweichungen ausgewertet
werden, bis das Mutterstück (2) und der
Gegenstand (4) vollständig miteinander verglichen
sind, daß sich zwischen der zweiten Aufnahme
(3) und dem zweiten, lichtdurchlässigen Umlenkspiegel
(10) eine zu diesem parallele lichtdurchlässige
Platte (13) befindet, deren Dicke
gleich derjenigen des zweiten, lichtdurchlässigen
Umlenkspiegels (10) ist, und daß die beiden
vom Mutterstück (2) und dem Gegenstand (4) ausgehenden
Lichtstrahlengänge (7, 12) bis in den
Spiegelbereich voneinander entkoppelt sind.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß als zweiter, lichtdurchlässiger
Umlenkspiegel (10) ein Spiegel mit einem solchen
Reflexionsgrad vorgesehen ist, daß in seiner Position
im Lichtstrahlengang (12) ein Transmissionsgrad
von 50% vorhanden ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der erste Umlenkspiegel (5),
der zweite, lichtdurchlässige Umlenkspiegel
(10), die lichtdurchlässige Platte (13) und das
Objektiv (8) mit der Abbildungsebene (9) und den
Festkörperbildsensoren (16) zu einer Baueinheit
zusammengefaßt sind.
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß dem Mutterstück (2)
und dem Gegenstand (4) jeweils eine oder mehrere
Blitzlampen (6, 11) zugeordnet sind.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß Mutterstück (2) und
Gegenstand (4) während des Prüfvorganges unbeweglich
und die Festkörperbildsensoren (16) beweglich
angeordnet sind.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß in der Abbildungsebene (9) mindestens
eine Zeile (18) von Festkörperbildsensoren
(16) angeordnet ist, die motorisch parallel
verfahrbar ist.
7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß zwei oder mehrere parallel zueinander
beabstandete Festkörperbildsensorzeilen
(18, 19) vorhanden sind, die gemeinsam motorisch
parallel verfahrbar sind.
8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß jede Festkörperbildsensorzeile
(18; 19) mit einem analogen Schieberegister
(25) verbunden ist, das über einen Analog-Digital-Wandler
(26) mit einer Umschaltstufe
(27) in Verbindung steht, über die der Analog-Digital-Wandler
(26) einerseits auf einen
Schreib-Lese-Speicher (RAM) (28) aufschaltbar
ist, dessen Ausgang mit den einen Eingängen eines
Komparators (29) in Wirkverbindung steht,
und andererseits auf die anderen Eingänge des
Komparators (29) aufschaltbar ist, dessen Ausgang
mit dem Fehlerspeicher (30) in Verbindung
steht.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß in beiden Strahlen
gängen (7, 12) Lichtmengensensoren angeordnet
sind, die die Lichtstärke
der Blitzlampen (6, 11) in beiden
Strahlengängen auf einen gleichen Wert steuern.
10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß beide Strahlengänge
(7, 12) gleiche Länge aufweisen.
11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß beide Strahlengänge
(7, 12) eine Länge in der Größenordnung von Metern
aufweisen.
12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtstrahlengänge
(7, 12) bis in den Spiegelbereich durch
eine lichtabsorbierende Wand (14) entkoppelt
sind.
Priority Applications (1)
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DE19873737869 DE3737869A1 (de) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Verfahren und einrichtung zum optischen pruefen von gegenstaenden |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19873737869 DE3737869A1 (de) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Verfahren und einrichtung zum optischen pruefen von gegenstaenden |
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ID=6340031
Family Applications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE10025751A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Atg Test Systems Gmbh | Verfahren zum Untersuchen einer leiterplatte an einem vorbestimmten Bereich der Leiterplatte und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
Families Citing this family (2)
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---|---|---|---|---|
DE4027902C2 (de) * | 1990-09-03 | 1994-07-14 | Siemens Ag | Verfahren zur visuellen Prüfung bestückter Flachbaugruppen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens |
DE19709939A1 (de) * | 1997-03-11 | 1998-09-17 | Atg Test Systems Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Leiterplatten |
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---|---|---|---|---|
IT1130315B (it) * | 1979-03-19 | 1986-06-11 | Rca Corp | Sistema di ispezione per la rivelazione di difetti in configurazioni regolari |
DE3204086A1 (de) * | 1982-02-06 | 1983-08-11 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur automatischen optischen beschaffenheitspruefung |
JPH0616013B2 (ja) * | 1984-11-22 | 1994-03-02 | 肇産業株式会社 | 自動検査装置 |
DE3540100A1 (de) * | 1985-11-12 | 1987-06-11 | Mania Gmbh | Verfahren zur optischen pruefung von leiterplatten |
DE3612256C2 (de) * | 1986-04-11 | 1998-05-14 | Twi Tech Wissenschaftliche Ind | Verfahren und Einrichtung zur optoelektronischen Qualitätskontrolle |
-
1987
- 1987-11-09 DE DE19873737869 patent/DE3737869A1/de active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10025751A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Atg Test Systems Gmbh | Verfahren zum Untersuchen einer leiterplatte an einem vorbestimmten Bereich der Leiterplatte und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
Also Published As
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DE3737869A1 (de) | 1989-05-24 |
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