DE3731973A1 - Vorrichtung zur stabilisierung fuer roentgenfluoreszenzschichtdicken-messgeraete und verfahren hierzu - Google Patents
Vorrichtung zur stabilisierung fuer roentgenfluoreszenzschichtdicken-messgeraete und verfahren hierzuInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Haupt
anspruchs und ein Verfahren gemäß dem Anspruch 20.
Der Anspruch 1 geht von einer Vorrichtung gemäß der DE-OS 32 39 379.2
aus. Dort ist ein Proportionalzählrohr 97 gezeigt. Ein Roentgenstrahlerzeuger
33 schickt einen Roentgenstrahl zu einem Target 92, das zur Roentgen
fluoreszenz angeregt wird und die angeregte Strahlung zum Zählrohr 97
strahlt. Eine Verschließvorrichtung 41 ist in der AUF-Lage gezeichnet. Damit
keine Strahlung aus der Öffnung 22 austreten kann, wenn diese nach oben
offen ist, kann durch eine nicht dargestellte Betätigungsvorrichtung das Küken
41 so gedreht werden, daß seine Bohrung 42 waagerecht steht. Es ist dann in
der ZU-Lage.
Man kann sich das Küken 41 wie den drehbaren Teil eines Bier-Zapfhahns
vorstellen. Es ist jedoch klar, daß die Verschließvorrichtung nicht unbedingt
rotatorisch betätigbar sein muß. Vielmehr kann sie auch translatorisch be
tätigbar sein.
Es ist klar, daß ein solches Meßgerät - wie jedes andere - eine Drift hat,
herrührend von Einflüssen wie Wärme, Alter, Stromversorgung usw. Damit
eine lntensitätsmessung mit einer bestimmten charakteristischen Roentgen
strahlung durchgeführt werden kann, ist es notwendig, daß die Verstärkung
des Systems "Proportionalzählrohr-Ladungsverstärker-Hauptverstärker-
Vielkanalanalysator" stabil arbeitet. Eine Stabilisierung dieses Meßsystems
wird im Stand der Technik dadurch erreicht, daß eine Strahlung mit einem
definierten Spektrum auf das Zählrohr eingestrahlt wird und die gesamte
Meßanordnung so stabilisiert wird, daß die Linie dieses Spektrums immer
an einer bestimmten Stelle liegt. Während einer Messung ist dies nicht
möglich. Üblicherweise wird in bestimmten periodischen Pausen anstatt
eines Meßgegenstands (Target) ein Referenzgegenstand in den Primärstrahl
gebracht. Er wird entweder von Hand eingelegt oder automatisch einge
schwenkt und dann das Zählrohr stabilisiert. Der Nachteil dieses Verfahrens
ist, daß zwischen den einzelnen Stabilisierungsphasen das System unstabili
siert betrieben wird.
Typisch für die Schichtdickenmessung im Stand der Technik ist, daß immer
nach kurzen Meßzeitintervallen (zwischen 1 und 20 Sekunden) eine Pause
auftritt, die sich auch auf etliche Minuten ausdehnen kann. ln diesen Pausen
wird entweder ein anderer Meßgegenstand positioniert. Aus Strahlenschutz-
Sicherheitsgründen muß dann die Primärstrahlung im Meßraum abgeschirmt
sein. Oder es liegen keine Meßaufgaben vor, und das Gerät wird nicht bedient,
bleibt aber eingeschaltet. Auch in diesem Fall schreibt die Roentgenschutz
verordnung vor, daß die Strahlung nicht in den zugänglichen Meßraum emittiert
werden soll. Um die Forderung eines Strahlenschutzes zu realisieren wird nach
Beendigung einer Messung die Austrittsöffnung des primären Roentgenstrahls
durch eine Verschließvorrichtung abgeschirmt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Stabilisierung zu ermöglichen, bei der
keine Meßzeit verlorengeht und keine aktive Handlung des Kunden bestimmt,
ob stabilisiert wird oder nicht.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die aus dem kennzeichnenden Teil
des Hauptanspruchs ersichtlichen Merkmale gelöst. Damit ermöglicht man
nun, daß in den Pausen, die zwangsläufig durch die Benützung der Vorrichtung
entstehen, eine Stabilisierung durchgeführt wird. Es wird auch kein gesonderter
Roentgenstrahlerzeuger notwendig. Außerdem ist der notwendige Aufwand
minimal.
Durch die Merkmale des Anspruchs 2 kann man dem Zählrohr die Stabilisierungs-
Roentgenstrahlung an irgendeiner Stelle zuführen, z.B. dort, wo der Weg
zwischen der ersten Verschließvorrichtung und dem Zählrohr am kürzesten
ist, denn Leichtmetall ist für diese Roentgenstrahlen durchlässig. Würde
man Zählrohre mit Stahlmantel verwenden, dann müßte man entweder ein
besonderes Fenster für die Stabilisierungsstrahlung schaffen, was bei den
verhältnismäßig geringen Stückzahlen teuer sein dürfte oder aber man müßte
dasjenige Fenster für die Stabilisierungsstrahlung verwenden, das auch für
die vom Meßgegenstand kommende Strahlung benützt wird. Dies würde aber
wahrscheinlich zu langen Wegen führen.
Durch die Merkmale des Anspruchs 3 kann man die am weitesten verbreiteten
Zählrohre verwenden.
Durch die Merkmale des Anspruchs 4 kann man die Bewegungen der ersten
Verschließvorrichtung zugleich dazu verwenden, den der Stabilisierung dienenden
Roentgenstrahl dem Zählrohr zuzuführen.
Durch die Merkmale des Anspruchs 5 braucht man nicht auf die ganze Länge
des Nebenschlußkanals eine dünne Bohrung vorsehen. Vielmehr ist man dann in
der Lage eine relativ kurze erste Bohrung vorzusehen. Dies muß man vor dem
Hintergrund sehen, daß selbst eine Bohrung im Zehntelsmillimeterbereich ganz
wesentlich mehr Strahlung zum Zählrohr schicken würde als dies dem Bereich
üblicher Zählraten entsprechen würde, die von den Meßgegenständen kommt.
Durch die Merkmale des Anspruchs 6 erreicht man, daß die Roentgenstrahlung
gleich am Anfang geschwächt wird, so daß das Maß an Roentgenstrahlung
gleich von vornherein auf der ungefährlicheren Seite liegt.
Durch die Merkmale des Anspruchs 7 kann man durch Bemessung der dünnen
Schicht die Zählrate auf den gewünschten Wert herabsetzen ohne daß die
erste Bohrung prohibitiv dünn sein muß. Außerdem kann man die dünne
Schicht materialmäßig heraussuchen, so daß sie bestimmte Strahlungen wie
z.B. die I-Strahlung wegabsorbiert, jedoch die gewünschte k-Strahlung durch
läßt.
Durch die Merkmale des Anspruchs S braucht man nur die erste Schließ
vorrichtung betätigen und automatisch wird dann die zweite Schließvorrichtung
richtig betätigt.
Durch die Merkmale des Anspruchs 9 verhindert man, daß das Zählrohr auf
zwei Wegen Strahlen erhält.
Durch die Merkmale des Anspruchs 10 erreicht man, daß die Vorrichtung
klein baut, der Aufwand niedrig ist und an der ersten Schließvorrichtung
sehr wenig geändert werden muß, um mit ihr auch noch die zweite Schließ
vorrichtung zu realisieren.
Durch die Merkmale des Anspruchs 11 erreicht man, daß man mit denjenigen
Roentgenstrahlen, die vor der ersten Schließvorrichtung beständig vorhanden
sind direkt oder indirekt das Zählrohr mit Strahlen beaufschlagen kann. Man
braucht also keinen zweiten separaten Durchlaß vom Erzeuger zum Zählrohr.
Vielmehr kann man den ohnehin vorhandenen Durchlaß ausnutzen.
Durch die Merkmale des Anspruchs 12 kann man von bekannten ersten Schließ
vorrichtungen ausgehend auf billige einfache und strahlenschutzmäßig unbenk
liche Weise die zweite Schließvorrichtung realisieren und von ihr aus die
Strahlen in den Nebenschlußkanal schicken.
Material gemäß dem Anspruch 13 eignet sich am besten, wenn man die
Strahlen indirekt (nicht auf geradem Wege) in den Nebenschlußkanal schickt.
Durch die Merkmale des Anspruchs 14 kann man die Forderung erfüllen, daß die
Energie der charakteristischen Strahlung so hoch wie möglich ist. Bei
höheren Ordnungszahlen würde die k-Strahlung nicht mehr angeregt.
Ein Material gemäß Anspruch 15 ist billig und steht überall zur Verfügung.
Beispielsweise könnte man aber auch Silber oder dergleichen verwenden.
Die Merkmale des Anspruchs 16 gestatten, die Fläche auf ganz einfache
Weise herzustellen, denn Lötzinn gibt es in jedem Labor. Erstaunlicherweise
kann man das Lötzinn einfach auf die jetzigen aus Stahl bestehenden Küken
auflöten.
Natürlich könnte man das Küken auch aus Messing machen aus Lagermetall
oder dergleichen.
Durch die Merkmale des Anspruchs 17 kann man die I-Strahlung des Bleis
absorbieren. Wäre sowohl die k-Strahlung des Zinns als auch die l-Strahlung
des Bleis vorhanden, dann hätte man ja zwei Maximas. Zum Stabilisieren
benötigt man der Eindeutigkeit halber jedoch nur ein einziges. Man kann also
weiterhin das überall verfügbare Lötzinn verwenden.
Eine Folie gemäß dem Anspruch 18 eignet sich ausgezeichnet. Sie könnte
aber auch aus Stahl oder aus Kobalt bestehen. Aluminium wäre der
Ordnungszahl nach zu niedrig und Silber wäre nicht verwendbar, weil sie die
l-Strahlung des Bleis nicht so richtig absorbiert.
Durch die Merkmale des Anspruchs 19 hat man Zugriff auf die industriell
breit in allen möglichen Dicken hergestellte Folie.
Durch die Merkmale des Anspruchs 20 nutzt man für die Stabilisierung
die Meßpausen aus. Der Kunde braucht nicht an das Stabilisieren zu denken.
Man verliert keine Zeit für die Stabilisierung. Die Geräte sind immer meß
bereit und die Stabilisierung kann häufiger erfolgen.
Es wird nun eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine schematische geschnittene Anordnung;
Fig. 2 eine Darstellung des linken oberen Bereichs in Fig. 1, wie er
tatsächlich hergestellt wird;
Fig. 3 eine schematische Darstellung des Kükens in der Aufstellung für
Strahlen zum Meßobjekt und in der Zustellung für Strahlen in dem
Nebenschlußkanal; und
Fig. 4 eine Darstellung wie Fig. 3, jedoch in Zustellung für die Meß
strahlen zum Meßobjekt und Aufstellung für die Strahlen in den
Nebenschlußkanal.
Gemäß Fig. 1 ist in einem strahlungsdichten Behälter 11 ein Roentgen
strahl-Erzeuger 12 vorgesehen. Über diesem hat der Behälter 11 ein Loch
13, durch das ein Roentgenstrahl 14 nach oben austreten kann. Oberhalb
des Lochs 13 ist ein metallischer Aufbau 16 vorgesehen, dessen Material
Roentgenstrahlen absorbiert und der einen von unten nach oben weisenden
Durchlaß 17 hat. Im unteren Bereich unmittelbar oberhalb dem Loch 13
ist im Aufbau 16 eine kreiszylindrische Ausnehmung 18 vorgesehen, die
koaxial zu einer waagerechten geometrischen Längsachse 19 ist. In der
Ausnehmung 18 sitzt ein ebenfalls zur geometrischen Längsachse 19
koaxiales kreiszylindrisches Küken 21, das durch eine in Fig. 3 gestrichelt
gezeichnete Betätigungsvorrichtung 22 drehbar ist. Diese Betätigungsvor
richtung 22 kann ein Stellmotor sein. Das Küken 21 hat eine diametral
verlaufende Durchgangsbohrung 23, die in der Querabmessung wenig kleiner
als die Querabmessung des Durchlasses 17 ist. In der in Fig. 3 gezeichneten
Stellung kann Strahlung von unten nach oben durchtreten, die letztendlich
zum nicht dargestellten Meßgegenstand gelangt, wie dies z.B. die DE-OS
32 39 379.2 zeigt.
In der in Fig. 3 gezeichneten Stellung ist der obere Teil des Durchlasses
17 gegenüber der Strahlung durch den Sektor 24 abgeschirmt, der auf der
einen Seite der Durchgangsbohrung 23 stehengeblieben ist und der sich von
der geometrischen Längsachse 19 aus gesehen über etwa 140° erstreckt. Die
Durchgangsbohrung 23 steht etwa unter 25° geneigt, ist also nicht waage
recht gezeichnet in Fig. 3 und trotzdem reicht diese nicht ganz gegenüber
Fig. 3 90° betragende Drehung aus, den oberen Teil des Durchlasses 17
strahlungsdicht abzuschirmen. Die Überlappung im Eckbereich 26 des Kükens
21 mit dem Aufbau 16 ist noch genügend groß, so daß auch in diesem Eck
bereich das Küken 21 nicht strahlungsdurchlässig ist. Selbstverständlich ist
das Küken 21 aus strahlungsabsorbierendem Material.
Im Bereich der Durchgangsbohrung 23 ist in dem zweiten Sektor 27 des
Kükens 21 ein Ausschnitt 28 eingebracht, der einerseits bis zum Umfang
des Kükens 21 und andererseits bis zur Durchgangsbohrung 23 reicht. Der
Ausschnitt 21 reicht bis zu dem in Fig. 3 unteren Ende der Durchgangs
bohrung 23 und läßt eine Fläche 29 entstehen, die eben ist, grob gesehen
radial liegt und außerdem so liegt, daß sie in der Fig. 3 ähnlich wie ein
Spiegel für die im unteren Teil des Durchlasses 17 befindliche Strahlung
wirkt und somit Strahlung in einen Nebenschlußkanal 31 gelangen kann.
Dies dann, und nur dann, wenn der Sektor 24 den oberen Teil des Durch
lasses 12 abschirmt.
Wie man sieht, endet in dieser Lage die Fläche 29 links unten dort wo
der untere Teil des Durchlasses 17 endet. Aus Fig. 3 erkennt man, daß
der Ausschnitt 28 sowohl für den Durchlaß 17 als auch den Nebenschluß
kanal 31 wirkungslos ist, weil nun der Sektor 24 vor dem Nebenschluß
kanal 31 liegt.
Dreht man das Küken 21 aus seiner in Fig. 3 gezeichneten Lage zurück
in die in Fig. 2 gezeichnete Lage, dann ist der Nebenschlußkanal 31 wegen
des Eckbereichs 32 schon geschlossen, ehe die Überlappung des Eckbereichs
26 mit dem Aufbau 16 aufhört. Man hat so zwei Schließvorrichtungen
miteinander vereint.
Auf der Fläche 29 ist Lötzinn 33 aufgebracht, das in der Lage von Fig. 3
angeregt wird, und einen Teil seiner Strahlung in den Nebenschlußkanal 31
schickt.
Gemäß Fig. 1 kann also der Durchlaß 17 Strahlung zum Meßobjekt schicken
(im Falle einer Kükenlage nach Fig. 2). Die aus dem Meßobjekt austretende
Strahlung kann dann vom Proportional-Zählrohr aufgenommen werden, das
im Bereich 36 hierfür ein Fenster hat. Damit von rückwärts keine Strahlung
eindringt ist üblicherweise in dem gezeichneten Bereich hinter dem Zählrohr
eine sektorförmige Abschirmung 37 vorgesehen.
In der Kükenlage nach Fig. 3 kann dem Zählrohr 34 von schräg unten her
ebenfalls Strahlung zugeführt werden.
Die genauere Realisation ist aus Fig. 4 zu entnehmen. Man erkennt dort
das Zählrohr 34. Über den eingezeichneten Winkel von 60° geht der Bereich
36. Man erkennt den Aufbau 16 und den Durchlaß 17. Weiter oben ist der
Platz 38 für einen nicht dargestellten bekannten Spiegel vorgesehen und in
einer Führung 39 kann der Kollimator aus dem Stand der Technik geführt
werden.
Der gemäß Fig. 4 linke Bereich des Aufbaus 14 ist so, daß in die senk
rechte Wand 41 und in die von dort aus unter etwa 45° nach links unten
geneigte Wand 42 das Zählrohr 34 sich einschmiegen kann. Man erkennt auch
die tatsächliche Ausführung des Nebenschlußkanals 31. Er ist ausgeführt als
Stufenbohrung 43 und hat demgemäß zwei zu einer geometrischen Längsachse
44 koaxiale Bohrungen 46, 47. Die im Durchmesser wesentlich kleinere Bohrung
47 hat ein Durchmesser von 0,15 mm, ist also übertrieben dick gezeichnet.
Sie mündet in die nicht übertrieben dick gezeichnete Bohrung 46 und beginnt
in der Ausnehmung 18 ungefähr bei 9 Uhr.
In der Bohrung 46 befindet sich eine koaxiale Hülse 48 die gerade in die
Bohrung 46 paßt. Diese Hülse 48 hat selbst eine koaxiale Längsbohrung 49.
Sie dient als Träger einer Kupfer-Beryllium-Folie 51, die auf ihre innere
Stirnseite aufgeklebt ist.
Etwa dort, wo die geometrische Längsachse 44 das Zählrohr 34 durchstößt,
tritt durch deren Aluminiummantel 51 k-Strahlung mit einer solchen Zählrate
ein, wie sie im Durchschnitt der Fälle auch durch den Bereich 36 in das
Zählrohr 34 gelangt.
Im Betrieb der Vorrichtung wird in den Meßpausen, die mit der Lage des
Kükens 21 nach Fig. 3 übereinstimmt Strahlung in das Zählrohr 34 geschickt.
Diese Zeiten werden in einem Speicher addiert. Ist genügend lange Zeit
verflossen, dann wird die inzwischen in der Lage gemäß Fig. 3 in das Zähl
rohr 34 gelangte Zählrate zur Stabilisierung benutzt: Es wird die Verstärkung
des Systems Proportional-Zählrohr nicht dargestellter Ladungsverstärker, nicht
dargestellter Hauptverstärker, nicht dargestellter Vielkanalanalysator geregelt.
Claims (20)
1. Vorrichtung zur Stabilisierung eines Proportional-Zählrohres für ein
Schichtdickenmeßgerät nach dem Roentgenfluoreszenz-Prinzip,
mit einem Roentgenstrahl-Erzeuger,
mit einer strahlungsmäßig stromabliegenden ersten Verschließeinrichtung für den Roentgenstrahl,
mit dem Zählrohr neben der ersten Verschließvorrichtung und mit einer Betätigungsvorrichtung, durch die die erste Verschließvor richtung zumindest in eine erste ZU-Lage und in eine zweite AUF-Lage bringbar ist gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
mit einer strahlungsmäßig stromabliegenden ersten Verschließeinrichtung für den Roentgenstrahl,
mit dem Zählrohr neben der ersten Verschließvorrichtung und mit einer Betätigungsvorrichtung, durch die die erste Verschließvor richtung zumindest in eine erste ZU-Lage und in eine zweite AUF-Lage bringbar ist gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
- a) In der ZU-Lage der ersten Verschließvorrichtung ist ein Nebenschluß kanal offen, der von dem Zählrohr zumindest zum Roentgenstrahl führt, wobei im Nebenschlußkanal eine zweite Schließvorrichtung angeordnet ist.
- b) Die Durchlaßcharakteristik ist so, daß die in der ZU-Lage am Zählrohr ankommende Zählrate im Bereich derjenigen Zählrate ist, die von einem Meßgegenstand zurückgeworfen wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Zählrohr einen Leichtmetallmantel hat.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß das Leichtmetall eine Aluminiumlegierung ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der Nebenschlußkanal von der ersten Verschließ
vorrichtung aus zum Zählrohr führt.
5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Nebenschlußkanal eine koaxiale Stufen
bohrung in absorbierendem Material umfaßt, und daß die im Durchmesser
kleinere erste Bohrung der Stufenbohrung die Zählrate um einen ersten
Betrag herabsetzt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste Bohrung strahlungsmäßig stromauf
liegt.
7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 5,
dadurch gekennzeichnet, daß im Nebenschlußkanal eine dünne Schicht liegt,
die die Zählrate um einen zweiten Betrag herabsetzt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Schließvorrichtung
miteinander zwangsgekoppelt sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Schließvorrichtung erst dann
Roentgenstrahlen in den Nebenschlußkanal läßt, wenn die erste Schließ
vorrichtung ganz geschlossen ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der Nebenschlußkanal in die erste Schließ
vorrichtung mündet und die zweite Schließvorrichtung mit der ersten
Schließvorrichtung einstückig ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Teil der ersten Schließ
vorrichtung eine Ausnehmung hat, die in deren ZU-Lage sowohl mit dem
Nebenschlußkanal als auch mit dem Roentgenstrahl kommuniziert.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schließvorrichtung ein um eine Drehachse drehbares Küken umfaßt, das in einer komplementären Aus nehmung strahlungsdicht drehbar ist, welche Ausnehmung in einem Roentgenstrahlung absorbierenden Metallgehäuse vorgesehen ist,
daß im Metallgehäuse eine erste Durchgangsbohrung für die Roentgen strahlung vorgesehen ist, die von dem Erzeuger zu einem Target strahlt, daß das Küken eine zweite Durchgangsbohrung hat,
daß das Küken durch die Betätigungsvorrichtung in die Fluchtungsanlage für beide Durchgangsbohrungen bringbar ist, und in eine hiervon erheb lich abweichende Sperrlage bringbar ist,
daß die Ausnehmung im Küken eine Fläche hat, die in dieser Sperrlage einerseits den Nebenschlußkanal sieht und andererseits den Erzeuger sieht und
daß diese Fläche die Stabilisierungsstrahlung zum Zählrohr schickt.
dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schließvorrichtung ein um eine Drehachse drehbares Küken umfaßt, das in einer komplementären Aus nehmung strahlungsdicht drehbar ist, welche Ausnehmung in einem Roentgenstrahlung absorbierenden Metallgehäuse vorgesehen ist,
daß im Metallgehäuse eine erste Durchgangsbohrung für die Roentgen strahlung vorgesehen ist, die von dem Erzeuger zu einem Target strahlt, daß das Küken eine zweite Durchgangsbohrung hat,
daß das Küken durch die Betätigungsvorrichtung in die Fluchtungsanlage für beide Durchgangsbohrungen bringbar ist, und in eine hiervon erheb lich abweichende Sperrlage bringbar ist,
daß die Ausnehmung im Küken eine Fläche hat, die in dieser Sperrlage einerseits den Nebenschlußkanal sieht und andererseits den Erzeuger sieht und
daß diese Fläche die Stabilisierungsstrahlung zum Zählrohr schickt.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche mindestens teilweise aus einem
Material besteht, das nach Anregung k-Strahlung aussendet.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß das Material eine Ordnungszahl um 50 hat.
15. Vorrichtung nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß das Material Zinn enthält.
16. Vorrichtung nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß das Material Lötzinn ist, das auf die
Fläche aufgelötet wurde.
17. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 und 16,
dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Schicht aus einem Material ist,
das k-Strahlung gedämpft passieren läßt, l-Strahlung jedoch weitgehend
absorbiert.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Schicht eine Buntmetallfolie ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet, daß die Folie eine Kupfer/Berylliumfolie ist.
20. Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung nach einem oder mehreren
der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Zählrate in einem Speicher als Meßwert in Meßpausen akkumuliert wird,
daß die einzelnen Zeitspannen der Meßpausen bis zu einer vorgegebenen Zeitspanne akkumuliert werden und
daß danach automatisch stabilisiert wird.
dadurch gekennzeichnet, daß die Zählrate in einem Speicher als Meßwert in Meßpausen akkumuliert wird,
daß die einzelnen Zeitspannen der Meßpausen bis zu einer vorgegebenen Zeitspanne akkumuliert werden und
daß danach automatisch stabilisiert wird.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB8722424A GB2210161B (en) | 1987-09-23 | 1987-09-23 | Apparatus for stabilization for x-ray fluorescence layer thickness measuring instruments and process therefor |
US07/100,164 US4928293A (en) | 1987-09-23 | 1987-09-23 | Apparatus for stabilization of X-ray fluorescence layer thickness measuring instruments for stabilization SNF process thereof |
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Applications Claiming Priority (1)
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DE19873731973 Withdrawn DE3731973A1 (de) | 1987-09-23 | 1987-09-23 | Vorrichtung zur stabilisierung fuer roentgenfluoreszenzschichtdicken-messgeraete und verfahren hierzu |
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US7474730B2 (en) * | 2006-10-17 | 2009-01-06 | Oxford Instruments Analytical Oy | Compensation for fluctuations over time in the radiation characteristics of the X-ray source in an XRF analyser |
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JPS60127405A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 螢光x線膜厚計 |
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- 1987-09-23 DE DE19873731973 patent/DE3731973A1/de not_active Withdrawn
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Also Published As
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GB2210161A (en) | 1989-06-01 |
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GB2210161B (en) | 1992-03-25 |
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