DE3726025A1 - Clean room having handling device - Google Patents

Clean room having handling device

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DE3726025A1
DE3726025A1 DE19873726025 DE3726025A DE3726025A1 DE 3726025 A1 DE3726025 A1 DE 3726025A1 DE 19873726025 DE19873726025 DE 19873726025 DE 3726025 A DE3726025 A DE 3726025A DE 3726025 A1 DE3726025 A1 DE 3726025A1
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clean room
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column
gripper system
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Rainer Dipl Ing Schanz
Juergen Dipl Ing Geissinger
Paul Baumbusch
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Abstract

A description is given of a clean room having a handling device which transports containers, for example for carriers or wafers, arranged on or in a work plate from one processing station to the next. The clean room according to the invention is distinguished by the combination of the following features: - a linear guide, on which a slide is displaceable parallel to a lateral edge of the work plate, is arranged below the work plate, - a column, which projects through a guide slot in the work plate into the clean room, is fastened on the slide, - the column bears a gripper system, which can be adjusted at least in the direction of the column axis, for the containers to be handled and - the air is sucked off downwards along the guide slot. T

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Reinraum mit einer Handhabungseinrichtung, die auf bzw. in einer Arbeitsplat­ te angeordnete Behälter bzw. Gegenstände beispielsweise Carrier oder Wafer von einer Bearbeitungsstation zur nächsten transportiert.The invention relates to a clean room with a Handling device on or in a worktop te arranged containers or objects for example Carrier or wafer from one processing station to the transported next.

Ein derartiger Reinraum ist in der deutschen Patentanmel­ dung P 36 03 534.3 beschrieben, zu der die vorliegende Anmeldung eine Zusatzanmeldung darstellt.Such a clean room is in the German patent application P 36 03 534.3 to which the present Registration represents an additional registration.

Die in dieser Patentanmeldung P 36 03 534.3 beschriebene Handhabungseinrichtung ist nur mit größerem technischen Aufwand in Reinräumen beispielsweise der Klasse 10 ein­ setzbar, wie sie u.a. für Halbleiterfertigungslinien be­ nötigt werden.The one described in this patent application P 36 03 534.3 Handling device is only with larger technical Effort in cleanrooms, for example class 10 settable, such as for semiconductor production lines be compelled.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Reinraum gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 derart weiter­ zubilden, daß mit geringem technischem Aufwand Reinräume der Klasse 10 und besser mit automatisierbaren Handha­ bungseinrichtungen realisierbar sind.The invention has for its object a clean room according to the preamble of claim 1 to form that with little technical effort clean rooms class 10 and better with automatable handle exercise facilities are feasible.

Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist mit ihren Weiterbildungen in den Patentansprüchen gekennzeichnet.An inventive solution to this problem is with their Developments characterized in the claims.

Erfindungsgemäß zeichnet sich der Reinraum durch die Kom­ bination folgender Merkmale aus:According to the invention, the clean room is characterized by the comm combination of the following features:

  • - unter der Arbeitsplatte ist eine Linearführung ange­ ordnet, auf der ein Schlitten parallel zu einer Seitenkan­ te der Arbeitsplatte verschiebbar ist, - There is a linear guide under the worktop arranges on which a sled runs parallel to a side channel the worktop is movable,  
  • - an dem Schlitten ist eine Säule befestigt, die durch einen Führungsschlitz in der Arbeitsplatte hindurch in den Reinraum ragt,- A column is attached to the slide, which by a guide slot in the worktop through the Clean room protrudes
  • - die Säule trägt ein wenigstens in Richtung der Säulen­ achse verstellbares Greifersystem für die handzuhabenden Behälter, und- The column carries at least in the direction of the columns axis-adjustable gripper system for those to be handled Container, and
  • - entlang des Führungsschlitzes wird die Luft nach unten abgesaugt.- The air goes down along the guide slot aspirated.

Dieser erfindungsgemäße Merkmalskombination ermöglicht den Aufbau einer Handhabungseinrichtung, bei der alle bewegli­ chen und nicht vollständig kapselbaren Teile, wie Führun­ gen, Antriebe, Kraftübertragungselemente usw. unterhalb der Arbeitsfläche angeordnet sind. Diese Anordnung gewähr­ leistet, daß keine Kontamimierung durch bewegte Konstruk­ tionselemente auftritt. Da erfindungsgemäß zusätzlich die Luft im Reinraum über die gesamte Länge des Führungs­ schlitzes abgesaugt wird, wird vermieden, daß durch die Bewegung der Handhabungseinrichtung Partikel in den Rein­ raum gezogen werden.This combination of features according to the invention enables Setup of a handling device in which all mov Chen and not completely encapsulated parts, such as leadership gene, drives, power transmission elements, etc. below the work surface are arranged. Grant this arrangement ensures that no contamination by moving construct tion elements occurs. According to the invention, the Air in the clean room over the entire length of the guide suctioned slot is avoided by the Movement of the handling device particles into the clean space can be drawn.

Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet:Further developments of the invention are in the subclaims marked:

Durch die im Anspruch 2 gekennzeichnete Ausgestaltung, gemäß der das Greifersystem einen gabelförmigen Greifer auf­ weist, der an wenigstens zwei Stellen linienförmig an dem Behälter anliegt, wird eine sehr kleine Auflagefläche erreicht, die eine Kontaminierung von Greifer und/oder Carrier praktisch ausschließt.By the design characterized in claim 2, according to the gripper system has a fork-shaped gripper points, which is linear in at least two places on the The container rests on a very small contact area achieved that contamination of the gripper and / or Carrier practically excludes.

Die im Anspruch 3 angegebene Weiterbildung, bei der Grei­ fer an vier Stellen linienförmig anliegen, ermöglicht eine weitere Verringerung der Auflagefläche, da der Greifer bei entsprechender Gestaltung des Carriers nur nahezu punkt­ förmige Berührungsflächen bei weiterhin großer Aufnahme- Stabilität haben muß.The training specified in claim 3, at the Grei one at four points further reduction of the contact area, since the gripper at  Corresponding design of the carrier only almost point shaped contact surfaces with still large Must have stability.

Gemäß Anspruch 4 bestehen die in den Reinraum ragenden Teile der Säule und das Greifersystem aus Profilen mit rundem und/oder tropfenförmigem Querschnitt. Hierdurch wird zum einen erreicht, daß in den Reinraum nur glatte Flächen, die insbesondere bei der Verwendung von Kunst­ stoffprofilen leicht zu reinigen sind, ragen. Zum anderen wird durch die runde bzw. tropfenförmige Gestaltung eine Verwirbelung der laminaren Luftströmung in Werkstücknähe vermieden.According to claim 4, the projecting into the clean room Share the column and the gripper system from profiles round and / or teardrop-shaped cross section. Hereby is achieved on the one hand that only smooth in the clean room Areas particularly when using art fabric profiles are easy to clean, protrude. On the other hand is a round or drop-shaped design Swirling of the laminar air flow near the workpiece avoided.

Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn das Greifersystem so gestaltet ist, daß sich keine Teile im Laminarstrom über dem handzuhabenden Behälter befinden (Anspruch 5).It is particularly advantageous if the gripper system is designed so that there are no parts in the laminar flow are above the container to be handled (claim 5).

Selbstverständlich ist es möglich, die Linearführung parallel zu einer Seitenkante im Bereich dieser oder in der Mitte der Arbeitsfläche anzuordnen. Im Hinblick auf einen möglichst großen und nicht unterbrochenen Arbeits­ raum ist es jedoch gemäß Anspruch 6 vorteilhaft, wenn die Linearführung im Bereich der hinteren Längskante und pa­ rallel zu dieser angeordnet ist.Of course it is possible to use the linear guide parallel to a side edge in the area of this or in the middle of the work surface. With regard the largest possible and uninterrupted work However, according to claim 6, it is advantageous if the Linear guide in the area of the rear longitudinal edge and pa is arranged parallel to this.

Entsprechend den Anforderungen bei der Handhabungsaufgabe können an die Säule unterschiedliche Greifersysteme ange­ flanscht werden. Beispielsweise ist es dann, wenn ledig­ lich Carrier einer bestimmten Größe handzuhaben sind, möglich und im Hinblick auf einen möglichst einfachen und damit reinigungsfreundlichen Aufbau auch vorteilhaft, Greifer zu verwenden, die eine starre Gabel aufweisen und durch eine Bewegung des Systems entlang der beiden trans­ latorischen Freiheitsgrade in Eingriff mit dem Behälter gebracht werden.According to the requirements of the handling task different gripper systems can be attached to the column be flanged. For example, it is when single carriers of a certain size are to be handled, possible and with a view to the simplest possible therefore also easy to clean, To use grabs that have a rigid fork and by moving the system along the two trans  regulatory degrees of freedom in engagement with the container to be brought.

Bei komplexeren Handhabungsaufgaben ist es jedoch vorteil­ haft, wenn die Greiferbacken des gabelförmigen Greifers verstellbar sind (Anspruch 7), da ein derartiger Greifer eine große Flexibilität mit geringer Berührungsfläche verbindet.However, it is advantageous for more complex handling tasks sticks when the gripper jaws of the fork-shaped gripper are adjustable (claim 7), since such a gripper great flexibility with a small contact area connects.

In den Ansprüchen 8 bis 10 sind Möglichkeiten gekennzeich­ net, wie eine derartige Verstellbarkeit realisiert werden kann.In the claims 8 to 10 possibilities are marked net, how such adjustability can be realized can.

In den Ansprüchen 11 und 12 sind Abdichtmaterialien und -ausbildungen beansprucht, wie sie insbesondere bei ver­ stellbaren Greifern zur weiteren Verringerung von Verun­ reinigungsmöglichkeiten bevorzugt sind.In claims 11 and 12 are sealing materials and -trained training, as they are particularly in ver adjustable grippers to further reduce pollution cleaning options are preferred.

Die in den Ansprüchen 13 und 14 gekennzeichneten Maßnahmen tragen ebenfalls dazu bei, daß die erfindungsgemäß ausge­ bildete Handhabungseinrichtung auch in besseren Reinraum­ klassen als 10 eingesetzt werden kann.The measures characterized in claims 13 and 14 also contribute to the fact that the invention formed handling device also in better clean room classes than 10 can be used.

Die im Anspruch 15 angegebenen Bedingungen für die Ge­ schwindigkeit der einzelnen Achsen ( 0,6 m/s) und die Beschleunigung ( 2 m/s2) tragen ebenfalls dazu bei, daß die laminare Strömung im Reinraum möglichst wenig gestört wird.The conditions specified in claim 15 for the speed of the individual axes (0.6 m / s) and the acceleration (2 m / s 2 ) also contribute to the laminar flow in the clean room being disturbed as little as possible.

Der erfindungsgemäß aufgebaute Reinraum mit der in beson­ derer Weise ausgebildeten Handhabungseinrichtung ist selbstverständlich von außen manuell steuerbar. In beson­ derem Maße ist es jedoch für eine automatisierte Handha­ bung geeignet, bei der gemäß Anspruch 16 eine Steuerein­ heit die Bewegung der einzelnen Achsen steuert.The clean room constructed in accordance with the invention in particular which is designed handling device naturally controllable from the outside. In particular however, it is for an automated handheld suitable in the exercise according to claim 16 a Steuerein  controls the movement of the individual axes.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbei­ spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrie­ ben, in der zeigen:The invention is illustrated below with reference to embodiments play described with reference to the drawing ben, in which show:

Fig. 1a-c einen erfindungsgemäßen Reinraum in Vorder-, Auf- und Seitenansicht, Fig. 1a-c, a clean room according to the invention in front, plan and side views,

Fig. 2a und b ein zweites Ausführungsbeispiel, und FIGS. 2a and b, a second embodiment, and

Fig. 3 ein drittes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Greifers. Fig. 3 shows a third embodiment of a gripper according to the invention.

Die Fig. 1a-1c zeigen einen erfindungsgemäßen Reinraum 1 mit einer Arbeitsplatte 2, in bzw. auf Bearbeitungsstatio­ nen 3 für Carrier 4 für die Halbleiterherstellung angeord­ net sind. FIGS. 1a-1c show a clean room 1 according to the invention with a work surface 2, in or on Bearbeitungsstatio nen are net angeord 3 for carrier 4 for the manufacture of semiconductors.

Unter der Arbeitsplatte 2, d.h. außerhalb des eigentlichen Reinraums 1, ist eine Linearführung 5 mit nicht im Detail dargestellten (bekannten) Antriebselementen 6 angeordnet, auf der ein Schlitten 7 in Richtung der x-Achse verschieb­ bar ist. An dem Schlitten 7 ist ein Säule 8 befestigt, die aus zwei Teilen 8′ und 8′′ besteht. Das Teil 8′′ ist mittels eines Antriebselements 9, das ebenfalls nicht im Detail dargestellt ist, in Richtung der z-Achse gegen das Teil 8′ verschiebbar und ragt durch einen Führungsschlitz 10 in den Reinraum 1.Under the worktop 2 , ie outside of the actual clean room 1 , a linear guide 5 is arranged with (not shown) drive elements 6 , on which a carriage 7 can be moved in the direction of the x-axis. On the carriage 7 , a column 8 is attached, which consists of two parts 8 'and 8 ''. The part 8 '' is movable by means of a drive element 9 , which is also not shown in detail, in the direction of the z-axis against the part 8 'and protrudes through a guide slot 10 in the clean room 1st

Längs des Führungsschlitzes 10 sind Absaugöffnungen 11 vorgesehen, durch die die Luft aus dem Reinraum 1 nach unten abgesaugt werden kann.Suction openings 11 are provided along the guide slot 10 , through which the air can be sucked downward from the clean room 1 .

An dem Teil 8′′ der Säule 8 ist ein Greifersystem 12 befes­ tigt, das bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbei­ spiel einen gabelförmigen Greifer mit zwei starren Zinken 13′ und 13′′ aufweist.On the part 8 '' of the column 8 , a gripper system 12 is fastened, which in the embodiment shown in FIG. 1 has a fork-shaped gripper with two rigid prongs 13 'and 13 ''.

Damit kann das Greifersystem zwar nur einen Carrier 4 mit einer bestimmten Größe durch eine Bewegung des Greifer­ systems in z- und x-Richtung aufnehmen, das Greifersystem weist aber dafür ausschließlich glatte, leicht zu reini­ gende Teile auf.So that the gripper system can only accommodate a carrier 4 with a certain size by moving the gripper system in the z and x direction, but the gripper system only has smooth, easy-to-clean parts.

Da ferner die Konstruktionselemente des Greifers und der Säule 8′′ aus einem geschlossenen Profil und insbesondere einem Kunststoff-Hohlprofil mit einer sehr glatten und antistatischen Oberfläche bestehen, ist die erfindungsge­ mäße Handhabungseinrichtung nicht nur leicht zu reinigen, sondern auch bei geringem Gewicht sehr stabil.Furthermore, since the construction elements of the gripper and the column 8 '' consist of a closed profile and in particular a hollow plastic profile with a very smooth and antistatic surface, the handling device according to the invention is not only easy to clean, but also very light-weight.

Bevorzugt haben die Profile des Greifers einen runden oder tropfenförmigen Querschnitt, so daß sich nur eine sehr geringe Störung der laminaren Strömung in dem Reinraum 1 ergibt. Darüberhinaus wird die Störung durch die Gestaltung des Greifers, bei der sich keine Greiferteile über dem Carrier befinden, sowie die gewählte Geschwindig­ keit ( 0,6 m/s) und die Beschleunigung ( 2,0 m/s2) der translatorischen Achsen weiter verringert.The profiles of the gripper preferably have a round or drop-shaped cross section, so that there is only a very slight disturbance of the laminar flow in the clean room 1 . In addition, the disruption is further reduced by the design of the gripper, in which there are no gripper parts above the carrier, as well as the selected speed (0.6 m / s) and the acceleration (2.0 m / s 2 ) of the translatory axes .

Fig. 2 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein Greifersystem, das für bestimmte Handhabungsaufgaben, bei denen ein flexibles Greifersystem erforderlich ist, an­ stelle des in Fig. 1 dargestellten Greifersystems an die Säule 8 angeflanscht werden kann. Fig. 2 shows a further embodiment of a gripper system, which can be flanged to the column 8 in place of the gripper system shown in Fig. 1 for certain handling tasks where a flexible gripper system is required.

Bei diesem Greifersystem ist ein Öffnen und Schließen der Greiferzinken 13′ und 13′′ durch eine rotatorische Bewegung in Richtung eines Pfeils 21 möglich. Sämtliche für die Bewegung erforderlichen Elemente sind in einem geschlosse­ nen Gehäuse 22 angeordnet, das aerodynamisch gestaltet ist. Dieses Gehäuse ist direkt oder mittels geschlossener Profile an die Säule 8 angeflanscht.In this gripper system, opening and closing of the gripper tines 13 'and 13 ''is possible by a rotational movement in the direction of an arrow 21 . All the elements required for the movement are arranged in a closed housing 22 which is aerodynamically designed. This housing is flanged to the column 8 directly or by means of closed profiles.

Durch die Säule 8 können die erforder­ lichen Versorgungs- und Steuerleitungen geführt werden. Zusätzlich kann das Innere des Gehäuses 22 abgesaugt wer­ den, d.h. eventuell freigesetzte Partikel gelangen nicht in den eigentlichen Reinraum, sondern werden nach unten abgezogen.The required supply and control lines can be routed through the column 8 . In addition, the inside of the housing 22 can be suctioned off, ie any particles that are released do not get into the actual clean room, but are drawn off downwards.

Die Schnittstelle zum Reinraum, d.h. der Ausgang des Grei­ fergestänges 23 aus dem Gehäuse ist über PTFE-Bronze- oder PTFE-Kohle-Dichtungen 24 abgedichtet, d.h. hochverschleiß­ festem Teflon-Material.The interface to the clean room, ie the exit of the gripper rod 23 from the housing is sealed via PTFE bronze or PTFE carbon seals 24 , ie highly wear-resistant Teflon material.

Das Greifergestänge 23 ist so gestaltet, daß sich keine Teile über dem handzuhabenden Behälter 4 befinden, so daß der Laminarstrom nicht gestört wird. Zusätzlich sind sämtliche Profile wieder geschlossen und weisen einen runden oder tropfenförmigen Querschnitt auf und bestehen aus einem leicht zu reinigendem Kunststoffmaterial.The gripper linkage 23 is designed so that there are no parts above the container 4 to be handled, so that the laminar flow is not disturbed. In addition, all profiles are closed again and have a round or teardrop-shaped cross section and are made of an easy-to-clean plastic material.

Die Greiferbacken, d.h. die Zinken 13 und das Gestänge 23 sind über ein Klemmstück 25 austauschbar. Der Drehantrieb der Backen erfolgt bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel über einen Pneumatikzylinder 26 gegen Festanschläge, selbstverständlich ist aber auch ein anderer Antrieb mög­ lich, beispielsweise ein Elektromotor mit einer geeigneten Kraftübertragungseinheit.The gripper jaws, ie the tines 13 and the linkage 23, can be exchanged via a clamping piece 25 . The rotary drive of the jaws takes place in the embodiment shown via a pneumatic cylinder 26 against fixed stops, but of course another drive is also possible, for example an electric motor with a suitable power transmission unit.

Die Zinken 13 sind wie bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel so ausgeführt, daß der Behälter 4 in einer "4-Punkt-Linienauflage" gehalten wird.As in the exemplary embodiment shown in FIG. 1, the tines 13 are designed such that the container 4 is held in a “4-point line support”.

Fig. 3 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfin­ dung, wobei gleiche Teile wie in den Fig. 1 und 2 mit den selben Bezugszeichen bezeichnet sind. Fig. 3 shows a third embodiment of the inven tion, the same parts as in Figs. 1 and 2 are designated by the same reference numerals.

Bei dem in Fig. 3 dargestellten Greifersystem erfolgt das Öffnen und Schließen der Zinken 13 über eine translatori­ sche Bewegung des Gestänges 23. Die Abkapselung der die Bewegung erzeugenden Elemente, die Zuführung der Versor­ gungs- und Steuerleitungen sowie die Absaugung des Gehäu­ seinneren und die aerodynamische Gestaltung des Gehäuses 22 erfolgt wie bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausfüh­ rungsbeispiel.In the gripper system shown in FIG. 3, the tines 13 are opened and closed via a translatory movement of the linkage 23 . The encapsulation of the movement-generating elements, the supply of the supply and control lines and the suction of the interior of the housing and the aerodynamic design of the housing 22 is carried out as in the exemplary embodiment shown in FIG. 2.

Der Antrieb des Gestänges 23 erfolgt bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel über zwei gegenläufig arbeitende Pneumatikzylinder 26. Selbstverständlich ist aber auch ein Antrieb mittels eines Elektromotors bzw. über Kipphebel möglich.In the exemplary embodiment shown, the linkage 23 is driven by two pneumatic cylinders 26 working in opposite directions. Of course, a drive by means of an electric motor or via rocker arm is also possible.

Wie bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel kann die Abdichtung über Dichtringe 24 und/oder einen gedrehten Faltenbalg 24′ erfolgen, der die Kurzhub-Bewe­ gung aufnimmt. Die Dichtungen und der Faltenbalg bestehen bevorzugt wiederum aus PTFE-Bronze- bzw.-Kohle-Material.As in the embodiment shown in Fig. 2, the seal can be made via sealing rings 24 and / or a rotated bellows 24 ', which takes up the short-stroke movement. The seals and the bellows are preferably made of PTFE bronze or carbon material.

Die Greiferbacken sind ebenfalls über Klemmstücke 25 leicht austauschbar und damit an spezielle Probleme anpaßbar. Darüberhinaus erlauben die Klemmstücke eine Einstellung der Zinken 13 auf den genauen Greifabstand.The gripper jaws are also easily exchangeable via clamping pieces 25 and can therefore be adapted to special problems. In addition, the clamping pieces allow the tines 13 to be adjusted to the exact gripping distance.

Vorstehend ist die Erfindung anhand von Ausführungsbei­ spielen ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedan­ kens - einen Reinraum mit einer Handhabungseinrichtung mit wenigstens zwei translatorischen Achsen zu schaffen - beschrieben worden.Above, the invention based on Ausführungsbei play without limiting the general inventive concept - to create a clean room with a handling device with at least two translational axes.

Innerhalb dieses allgemeinen Erfindungsgedankens sind selbstverständlich die verschiedensten Modifikationen möglich:Are within this general inventive concept of course the most diverse modifications possible:

Beispielsweise können anstelle der bevorzugt verwendeten geschlossenen Kunststoffprofile auch andere Profile oder andere Materialien verwendet werden. Ferner können auch andere Greiferformen eingesetzt werden.For example, can be used instead of the preferred closed plastic profiles also other profiles or other materials are used. You can also other gripper shapes are used.

In jedem Falle erhält man jedoch einen Reinraum, der trotz einer leicht durch eine Steuereinheit zu automatisierenden Handhabungseinrichtung eine sehr reine Klasse aufweist.In any case, however, you get a clean room that despite one easy to automate by a control unit Handling device has a very pure class.

Claims (16)

1. Reinraum mit einer Handhabungseinrichtung, die auf bzw. in einer Arbeitsplatte angeordnete Behälter bei­ spielsweise für Carrier oder Wafer von einer Bearbeitungs­ station zur nächsten transportiert, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkmale:
  • - unter der Arbeitsplatte ist eine Linearführung ange­ ordnet, auf der ein Schlitten parallel zu einer Seitenkan­ te der Arbeitsplatte verschiebbar ist,
  • - an dem Schlitten ist eine Säule befestigt, die durch einen Führungsschlitz in der Arbeitsplatte hindurch in den Reinraum ragt,
  • - die Säule trägt ein wenigstens in Richtung der Säulen­ achse verstellbares Greifersystem für die handzuhabenden Behälter, und
  • - entlang des Führungsschlitzes wird die Luft nach unten abgesaugt.
1. Clean room with a handling device that transports containers arranged on or in a worktop, for example for carriers or wafers, from one processing station to the next, characterized by the combination of the following features:
  • - A linear guide is arranged under the worktop, on which a slide can be moved parallel to a side edge of the worktop,
  • a column is attached to the slide, which projects through a guide slot in the worktop into the clean room,
  • - The column carries an at least in the direction of the column axis adjustable gripper system for the containers to be handled, and
  • - The air is sucked down along the guide slot.
2. Reinraum nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Greifersystem einen gabelförmigen Greifer aufweist, der an wenigstens zwei Stellen linienförmig an dem Behälter anliegt.2. clean room according to claim 1, characterized in that the gripper system a has fork-shaped gripper that at least two Places in line with the container. 3. Reinraum nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Greifer an vier Stellen linienförmig anliegt.3. clean room according to claim 2, characterized in that the gripper at four points is in line. 4. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die in den Reinraum ragenden Teile der Säule und das Greifersystem aus Profilen mit rundem und/oder tropfenförmigem Querschnitt bestehen.4. Clean room according to one of claims 1 to 3, characterized in that the projecting into the clean room Share the column and the gripper system from profiles round and / or teardrop-shaped cross section. 5. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Greifersystem derart ge­ staltet ist, daß sich keine Teile im Laminarstrom über dem handzuhabenden Behälter befinden.5. Clean room according to one of claims 1 to 4, characterized in that the gripper system is ge stalten is that no parts in the laminar flow above the container to be handled. 6. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Linearführung im Bereich der hinteren Längskante und parallel zu dieser angeordnet ist.6. clean room according to one of claims 1 to 5, characterized in that the linear guide in the area the rear longitudinal edge and arranged parallel to this is. 7. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiferbacken des gabel­ förmigen Greifers verstellbar sind.7. clean room according to one of claims 1 to 6, characterized in that the gripper jaws of the fork  shaped gripper are adjustable. 8. Reinraum nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiferbacken schwenkbar sind.8. clean room according to claim 7, characterized in that the gripper jaws are pivotable are. 9. Reinraum nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiferbacken translato­ risch verstellbar sind.9. clean room according to claim 7, characterized in that the gripper jaws translato are adjustable. 10. Reinraum nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiferbacken über ein im Greifergehäuse angeordnetes Klemmstück verstellbar und gegebenenfalls austauschbar sind.10. clean room according to claim 7, characterized in that the gripper jaws via an in Gripper housing arranged and adjustable are interchangeable if necessary. 11. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die beweglichen Teile mittels PTFE-Bronze- und/oder PTFE-Kohle-Material abgedichtet sind.11. Clean room according to one of claims 1 to 10, characterized in that the moving parts by means of PTFE bronze and / or PTFE carbon material sealed are. 12. Reinraum nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdichtung mittels Falten­ balgen und/oder Dichtringen erfolgt.12. Clean room according to claim 11, characterized in that the sealing by means of folds bellows and / or sealing rings. 13. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß Versorgungs- und gegebenen­ falls Entsorgungsleitungen für das Greifersystem in der an dem Schlitten befestigten Säule geführt sind.13. Clean room according to one of claims 1 to 12, characterized in that supply and given if disposal lines for the gripper system in the are attached to the carriage attached column. 14. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenbereich der Säule und des Greifersystems nach unten absaugbar ist. 14. Clean room according to one of claims 1 to 13, characterized in that the interior of the column and of the gripper system can be extracted downwards.   15. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Geschwindigkeit der ein­ zelnen Achsen 0,6 m/s und die Beschleunigung 2 m/s2 ist.15. Clean room according to one of claims 1 to 14, characterized in that the speed of the individual axes is 0.6 m / s and the acceleration is 2 m / s 2 . 16. Reinraum nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuereinheit die Bewegung der einzelnen Achsen steuert.16. Clean room according to one of claims 1 to 15, characterized in that a control unit the Controls movement of the individual axes.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4116554A1 (en) * 1990-10-22 1992-04-23 Tdk Corp TRANSPORT METHOD AND SYSTEM FOR CLEANROOM CONDITIONS
US5364219A (en) * 1991-06-24 1994-11-15 Tdk Corporation Apparatus for clean transfer of objects

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3603534A (en) * 1968-08-10 1971-09-07 Elliott Brothers London Ltd Synchronized power control
US4466454A (en) * 1982-11-23 1984-08-21 Interlab, Inc. Automated work transfer system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3603534A (en) * 1968-08-10 1971-09-07 Elliott Brothers London Ltd Synchronized power control
US4466454A (en) * 1982-11-23 1984-08-21 Interlab, Inc. Automated work transfer system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4116554A1 (en) * 1990-10-22 1992-04-23 Tdk Corp TRANSPORT METHOD AND SYSTEM FOR CLEANROOM CONDITIONS
DE4116554C2 (en) * 1990-10-22 2002-11-21 Tdk Corp Transport method and device for clean room conditions
US5364219A (en) * 1991-06-24 1994-11-15 Tdk Corporation Apparatus for clean transfer of objects

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