DE3718604A1 - Ultraschall-sensor mit polymerfolie und elektrolytischer elektrodenankopplung - Google Patents
Ultraschall-sensor mit polymerfolie und elektrolytischer elektrodenankopplungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Sensor mit ei
ner in ihrem Randbereich an einem Stützkörper befestigten Poly
merfolie, die in einem Teilbereich piezoelektrisch aktiviert
ist, und mit einer ersten und zweiten Elektrode, die über den
aktivierten Teilbereich der Polymerfolie elektrisch miteinander
gekoppelt sind.
Stoßwellen im Ultraschallbereich sind kurze Impulse mit Antei
len hoher Frequenzen von mehr als 1 MHz und oft sehr hohem
Druck von über 1 kbar. Diese Stoßwellen werden z.B. bei der
Lithotripsie zum Zerstören von Konkrementen, beispielsweise
von Nierensteinen, verwendet, wie in der DE-OS 33 28 051 näher
beschrieben. Insbesondere bei einer solchen medizinischen An
wendung ist es notwendig, die Stoßwellen genau zu messen, den
Fokus genau zu definieren und den Betrieb des Lithotripters zu
überwachen. Dazu muß ein Sensor bereitgestellt werden, der mit
genügend hoher Bandbreite den Zeitverlauf der jeweiligen Stoß
welle darstellen kann. Weiterhin muß der Sensor in der Lage
sein, den Stoßwellenverlauf auch am Ort des höchsten Drucks,
also im Fokus der Stoßwellenquelle, wo das zu zerstörende Kon
krement plaziert wird, genau und reproduzierbar zu messen, ohne
selbst zerstört zu werden. Mit anderen Worten, es müssen rela
tiv hohe Drücke zuverlässig gemessen werden können, und der
Sensor muß von robuster Bauart sein. Darüber hinaus muß die er
zielbare Ortsauflösung ausreichend sein.
An Orten niederen Drucks wurden bisher als Ultraschall-Sensoren
Membran-Hydrophone in verschiedener Bauart (K.C. Shotton et
al., Ultrasonics, Mai 1980, 123-126; A.S. DeReggi et al., J.
Acoust. Soc. Am. 69 (3), März 1981, 853-859; P.A. Lewin, Ultra
sonics, Sept. 1981, 213-216; R.C. Preston et al., J. Phys. E.:
Sci. Instrum., Vol. 16 (1983), 786-796) verwendet. In allen
Fällen enthält der Sensor als Meßfolie das piezoelektrische Po
lymer Polyvinylidenfluorid (PVDF), auf das eine Metallisierung
aufgebracht wurde. Mit PVDF läßt sich eine hohe Bandbreite von
z.B. 10 MHz realisieren. Es hat sich aber gezeigt, daß alle
Sensortypen der genannten Ausführungsformen für den Nachweis
von Stoßwellen im Fokus einer Stoßwellenquelle nicht geeignet
sind. Sie halten nämlich dem hohen Druck, dessen Amplitude im
Bereich von etwa 108 Pa, d.h. 1 kbar, liegen kann, bei gleich
zeitiger steiler Anstiegsflanke der Stoßwelle, wobei die An
stiegszeit 1 µsec unterschreiten kann, im Fokus nicht stand.
Sie sind nach wenigen Stoßwellenimpulsen unbrauchbar. Insbeson
dere die elektrischen Kontakte in der Nähe der sensitiven Stel
le, das heißt nahe des aktivierten Bereichs der Polymerfolie,
werden beim Nachweis von Stoßwellen zerstört.
Im folgenden soll noch kurz auf zwei der bekannten Ausführungs
formen näher eingegangen werden.
Bei dem aus "Ultrasonics", Sept. 1981, S. 213-216, bekannten
Miniatur-Hydrophon ist eine an ihren beiden Flachseiten mit
Elektroden versehene piezoaktive Folie aus Polyvinylidenfluorid
(PVDF) mit einer Dicke von 25 µm auf die Stirnfläche eines
Edelstahlrohres elektrisch isoliert aufgespannt. Der Durchmes
ser der Folie beträgt etwa 1 mm. Auf der Innenseite der Folie
ist ein Platindraht angebracht, der mit dem Innenleiter eines
Koaxialkabels verbunden ist. Dieser Platindraht wird von einem
das Innere des Edelstahlrohres ausfüllenden Backing gestützt.
Die Außenseite der Folie ist mit dem Edelstahlrohr elektrisch
kontaktiert und mit der Abschirmung des Koaxialkabels verbun
den. Diese Ausführungsform kann man somit als "nadelförmige
Sensor-Ausführung" bezeichnen.
In der Literaturstelle "Ultrasonics", Mai 1980, S. 120-126, ist
dagegen ein Membran-Hydrophon oder Ultraschall-Sensor der ein
gangs genannten Art offenbart, bei dem eine Folie aus Poly
vinylidenfluorid (PVDF) mit einer Dicke von 25 µm zwischen zwei
als Stützkörper dienenden Metallringen aufgespannt ist. Die Fo
lie wirkt hier als Membran und besitzt einen Innendurchmesser
von etwa 100 mm. Die Oberflächen der Membran sind in einem
kleinen zentralen Bereich mit einander gegenüberliegenden
kreisscheibenförmigen Elektroden versehen, deren Durchmesser
beispielsweise jeweils 4 mm beträgt. Zwischen diesen Elektroden
befindet sich der polarisierte, piezoelektrisch aktive Bereich
der Membran. Von den kreisscheibenförmigen Elektroden führen
Anschlußleiter, die als Metallfilme auf den Oberflächen der
Membran aufgebracht sind, zum Rand der Membran. Sie sind dort
mit Hilfe eines leitfähigen Klebers mit einem Koaxialkabel kon
taktiert. Diese Ausführungsform läßt sich also als "Membran-Hy
drophon" bezeichnen. Sie ist ebenfalls nur für verhältnismäßig
niedere Drücke geeignet.
Die Anforderung an einen Ultraschall-Sensor, der für die Litho
tripsie geeignet sein soll, lassen sich so zusammenfassen: Er
soll trotz des Auftretens hoher Druckamplituden eine lange Le
bensdauer bei ausreichender Stabilität besitzen, wobei Artefak
te nach Möglichkeit nicht in Erscheinung treten sollen. Der
Zeitverlauf der Druckkurve im Stoßwellenfokus, der von sehr
geringem Durchmesser sein kann, soll möglichst getreu ermittelt
werden können; er soll also nicht im Vergleich zu Sensoren, die
für geringere Drücke eingesetzt werden, verlängert sein.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es somit, einen Ultra
schall-Sensor der eingangs genannten Art anzugeben, der zum
Nachweis von Stoßwellen geeignet ist. Er soll eine hohe Lebens
dauer und Stabilität besitzen sowie eine gute Wiedergabe des
Zeitverlaufs der Stoßwellen gewährleisten, wobei Artefakte
nicht oder nur in geringem Maße auftreten sollen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die er
ste Elektrode in einem vorgegebenen Abstand hinter und getrennt
von dem aktivierten Teilbereich der Polymerfolie angeordnet
ist, daß die zweite Elektrode räumlich getrennt vom aktivierten
Teilbereich angeordnet ist, und daß der Raum zwischen den Elek
troden und dem aktivierten Teilbereich jeweils mit einem Elek
trolyten gefüllt ist. Der vorgegebene Abstand kann etwa den
Wert des Durchmessers des aktivierten Teilbereiches haben. Spe
ziell kann so vorgegangen werden, daß der vorgegebene Abstand
etwa den Wert des Durchmessers der ersten Elektrode besitzt.
Beim Auftreffen eines Stoßwellenimpulses entstehen im piezo
elektrisch aktivierten Teilbereich der Polymerfolie Ladungen.
Die erste Elektrode steht nur über einen ersten Elektrolyten
mit dem piezoelektrisch aktivierten Teilbereich auf der Rück
seite der Polymerfolie, die insbesondere aus PVDF besteht, in
Kontakt. Die zweite Elektrode ist beispielsweise als Ringelek
trode ausgebildet und auf der Vorderseite der Polymerfolie an
geordnet. In ihrem Zentrum liegt der aktivierte Teilbereich der
Polymerfolie. Zwischen der Polymerfolie und der Ringelektrode
ist ein zweiter Elektrolyt vorhanden, der mit der Substanz des
ersten Elektrolyten identisch sein kann. Auf diese Weise wird
von den Elektroden das bei Einwirken eines kurzdauernden aku
stischen Impulses entstehende Signal von der piezoaktiven Stel
le der Polymerfolie über die beiden elektrolytischen Strecken
abgegriffen. Dieses Signal kann direkt auf ein Oszilloskop ge
geben werden. Bedingt durch die genannte konstruktive Ausge
staltung wird eine ausreichend gute Empfindlichkeit und eine
lange Lebensdauer des Ultraschall-Sensors, insbesondere auch
für hohe Drücke, erzielt.
Weitere Vorteile und Ausgestaltung an der Erfindung ergeben
sich aus den Unteransprüchen sowie aus der Beschreibung von
Ausführungsbeispielen anhand von vier Figuren. Es zeigen:
Fig. 1 einen Ultraschall-Stoßwellensensor mit Polymerfolie und
elektrolytischer Kopplung von erster und zweiter Elek
trode in einem Schnittbild;
Fig. 2 eine bevorzugte Ausführung der ersten Elektrodenanord
nung in einer vergrößerten Teildarstellung;
Fig. 3 eine weitere Ausführung der ersten Elektrodenanordnung
in vergrößerter Teildarstellung; und
Fig. 4 eine dritte Ausführung der ersten Elektrodenanordnung
ebenfalls in einer vergrößerten Teildarstellung.
Nach Fig. 1 umfaßt der Ultraschall-Sensor 2 für den Nachweis
von Stoßwellen eine dünne, insbesondere kreisscheibenförmige
Polymerfolie oder -membran 4, die im Inneren eines ringförmigen
Stützkörpers oder Spannrings 6 straff eingespannt ist. Wie ge
zeigt, kann der Stützkörper 6 in seinem mittleren Teil innen
mit einem ringförmigen Befestigungsteil 6 a vom Innendurchmesser
D versehen sein. Auf dessen linker Stirnseite, die der eine
Stoßwelle w aussendenen Stoßwellenquelle zugewandt ist, liegt
die Polymerfolie 4 randseitig fest auf. Der aus einem Isolier
stoff gefertigte Stützkörper 6 ist Teil eines zylindrischen Ge
häuses. Die Polymerfolie 4 besteht vorzugsweise aus Polyvinyl
idenfluorid (PVDF). Sie ist nur in ihrem zentralen Bereich 8
(vgl. Fig. 2 bis 4) polarisiert und damit nur dort piezo
elektrisch aktiviert. Der piezoelekrisch aktivierte Bereich 8
ist somit bei den vorliegenden Ausführungsbeispielen von einem
ringförmigen Bereich 10 umgeben, der piezoelektrisch inaktiv
ist. Die Polymerfolie 4 ist vorliegend mit keinerlei metalli
schen Beschichtungen versehen. Die aktive Zone 8 ist rotations
symmetrisch bezüglich einer senkrecht zu den Flachseiten der
Polymerfolie 4 verlaufenden Mittelachse 12 angeordnet. Sie wird
bei der bevorzugten Anwendung im Fokus der (nicht gezeigten)
Stoßwellenquelle plaziert.
Der Durchmesser d des kreisscheibenförmigen zentralen Teilbe
reichs 8 ist sehr viel kleiner als der freie Durchmesser D der
Polymerfolie 4. Die Dicke Z der Polymerfolie 4 liegt zwischen
10 µm und 100 µm, insbesondere zwischen 25 µm und 50 µm. Vor
liegend hat sie z.B. eine Dicke Z=25 µm. Der Durchmesser d
des aktivierten Teilbereichs 8 kann z.B. 1 mm bis 2 mm betra
gen. Er bestimmt die Ortsauflösung, mit der gemessen werden
kann. Der Durchmesser D kann z.B. 50 mm oder 100 mm betragen.
In Richtung einer Stoßwelle w gesehen auf der Rückseite des
zentralen Bereichs 8, d.h. hinter diesem Bereich 8 der Polymer
folie 4, ist eine erste Elektrode 16 angeordnet. Wie später an
hand von Fig. 2 gezeigt wird, kann diese die Form eines gera
den Metall- oder Kontaktstifts 16 A haben. Auch eine Metallnadel
kann hier eingesetzt werden. Die Befestigung ist mittels einer
Brücke oder eines dünnen Stegs 18 vorgenommen. Der Steg 18, der
aus einem ultraschalldurchlässigen Material wie z.B. Plexiglas
besteht, dient somit als Halteelement für die erste Elektrode
16. Der Steg 18 ist randseitig an der rechten Stirnseite des
inneren Befestigungsteils 6 a befestigt, z.B. durch die gezeig
ten Schrauben.
Die erste Elektrode 16 ist in einem vorgegebenen Abstand a - in
Schallrichtung gesehen - hinter dem aktivierten Teilbereich 8
der Polymerfolie 4 angeordnet. Eine Berührung findet also nicht
statt. Durch den Abstand a ist ein freier Raum geschaffen. Die
erste Elektrode 16 dient hier als Signalableitelektrode. Der
vorgegebene Abstand a liegt bevorzugt zwischen 0,5 mm und 2 mm.
Vorzugsweise wird so vorgegangen, daß der vorgegebene Abstand a
größenordnungsmäßig den Wert des Durchmessers d des aktivierten
Teilbereichs 8 hat. Bei der Dimensionierung sollte gleichzeitig
auch darauf geachtet werden, daß bei Fig. 2 der vorgegebene Ab
stand a etwa den Wert des Durchmessers p des Kontaktstifts 16 A
besitzt. Mit anderen Worten, die Fläche des Kontaktstifts 16 A,
die dem aktivierten Teilbereich 8 gegenüberliegt, sollte etwa
so groß sein wie die Fläche dieses Teilbereichs 8.
Die erste Elektrode 16 ist mit einer elektrischen Leitung 20
versehen, die durch eine flüssigkeitsdichte Durchführung 22 an
einen Signalanschluß 24 führt. Dieser Signalanschluß 24 kann
direkt, das heißt ohne Zwischenschaltung eines Verstärkers oder
einer Spannungsquelle, mit dem Eingang eines (nicht gezeigten)
Oszilloskops verbunden sein.
Auf der Vorderseite der Polymerfolie 4 ist eine räumlich vom
aktivierten Teilbereich 8 getrennte zweite Elektrode 26 ange
bracht. Im dargestellten Ausführungsbeispiel besteht die zweite
Elektrode 26 aus einem dünnen Metallring, der den Innen- und
Außendurchmesser des Befestigungsteils 6 a besitzt. Diese Ring
elektrode 26 ist unter Einschluß der Polymerfolie 4 mit nicht
näher bezeichneten Schrauben am Befestigungsteil 6 a verschraubt.
Eine elektrische Leitung 30 führt von der Ringelektrode 26
durch eine Durchführung 32 zu einem weiteren Anschluß 34, der
vorliegend auf Massepotential gelegt ist. Auch der andere Ein
gang des (nicht gezeigten) Oszilloskops liegt auf Massepoten
tial.
Der Stützkörper 6, z.B. aus Kunststoff, ist an seinen beiden
Stirnseiten jeweils mit einer Deckplatte 36 bzw. 38 aus gut
ultraschalldurchlässigem Material versehen. Die erste Deckplat
te 36, die als Austrittsfenster dient und beispielsweise aus
Plexiglas bestehen kann, ist mittels eines ersten Abdeckrings
40 und nicht näher bezeichneter Schrauben am Stützkörper 6 ver
schraubt. Entsprechend ist die zweite Deckplatte 38, die als
Eintrittsfenster dient und beispielsweise aus EPDM-Gummi (Äthy
len-Propylen-Dien-Kautschuk) bestehen kann, mittels eines zwei
ten Abdeckrings 41 und nicht näher bezeichneter Schrauben am
Stützkörper 6 befestigt.
Zwischen der Polymerfolie 4 und den Deckplatten 36, 38 ist so
mit jeweils eine flüssigkeitsdichte Kammer 42 bzw. 44 gebildet.
Die erste Kammer 42 ist mit einem ersten Elektrolyten 46 ge
füllt. Entsprechend ist die zweite Kammer 44 mit einem zweiten
Elektrolyten 48 gefüllt. Damit ist jeweils auch der Raum zwi
schen dem Teilbereich 8 einerseits und den Elektroden 16, 26
andererseits mit den Elektrolyten 46 bzw. 48 gefüllt. Vorzugs
weise handelt es sich dabei jeweils um dieselbe Elektrolyt-
Flüssigkeit. Bei beiden Elektrolyten 46, 48 handelt es sich um
Elektrolyte mit relativ hoher spezifischer Leitfähigkeit von
etwa 0,1 S/m oder höher, wofür bevorzugt starke Elektrolyte in
einer Konzentration von 0,01 Mol/l oder höher in Frage kommen.
Starke Elektrolyte sind Elektrolyte, die in Wasser oder einer
anderen Flüssigkeit vollständig dissoziiert sind. Solche Elek
trolyte sind z.B. in einschlägigen Lehrbüchern, wie z.B. Ulich-
Jost: "Kurzes Lehrbuch der physikalischen Chemie", beschrieben.
Man sollte einen Elektrolyten verwenden, der wenig aggressiv
für die verwendeten Kunststoffe ist. Beispielsweise eignet sich
eine KCl- oder NaCl-Lösung. Versuche haben ergeben, daß die
Kochsalzlösung (NaCl-Lösung) eine Konzentration von 0,1 bis 1
Gewichtsprozent besitzen sollte. Selbst wenn sich eine solche
Lösung in der Leitfähigkeit etwas verändert, so bleibt das ohne
nennenswerte negative Folgen auf das Meßergebnis. Versuche ha
ben gezeigt, daß eine Konzentration von z.B. 0,1 Gewichtspro
zent bei einer NaCl-Lösung gute Ergebnisse liefert.
Es soll an dieser Stelle betont werden, daß die Polymerfolie 4
nicht nur als Meßfolie dient; sie ist gleichzeitig auch als
Trennwand zwischen den beiden jeweils für sich geschlossenen
Kammern 42, 44 ausgebildet.
Versuche haben gezeigt, daß man ohne Löcher in der Polymerfolie
4, die man zwecks Druckausgleichs zur Verbindung der Kammern 42
und 44 eigentlich vorsehen könnte, auskommt.
Die Deckplatten 36, 38 der Kammern 42 bzw. 44 bestehen, wie
dargelegt, vorteilhafterweise aus einem Kunststoff oder spe
ziell aus einem Polymer. Die Elektrolyte 46, 48 haben nahezu
dieselbe akustische Impedanz wie das schalltragende Medium, das
die Stoßwellenimpulse w an den Ultraschall-Sensor 2 heranführt.
Beim Auftreffen eines Ultraschall-Stoßwellenimpulses w entste
hen im piezoelektrisch aktivierten Teilbereich 8 elektrische
Ladungen. Diese werden als Signal von dem Teilbereich 8 über
die Elektrolyten 46, 48 sowie über die Elektroden 16 bzw. 26
und die Leitungen 20 bzw. 30 "ausgelesen" und an die Anschlüsse
24 bzw. 34 geführt.
Als besonderer Vorteil wird es angesehen, daß Artefakte durch
die großflächige Anordnung der Masse-Elektrode in der Kammer
44, die räumliche Trennung der hinter der polarisierten Zone 8
liegenden Elektrode 16 sowie die relativ niederohmige Signalab
leitung weitgehend vermieden werden.
In Fig. 1 ist ein Ausschnitt A der ersten Elektrodenanordnung
eingekreist, von dem bevorzugte Ausführungsformen in den Figu
ren 2 bis 4 näher gezeigt sind.
Nach Fig. 2 handelt es sich bei der ersten Elektrode 16 um ei
ne Metallnadel oder besser einen stumpfen Metallstift 16 A, der
beispielsweise einen Durchmesser p=1 mm besitzt. Der Abstand
a ist bei dieser Ausführungsform ebenfalls a=1 mm gewählt. Es
gilt: a=p. Der Durchmesser d des aktivierten Bereichs 8 liegt
hier bei d=2 mm.
Nach Fig. 3 ist die erste Elektrode oder Signalelektrode 16
speziell als kleiner Ring oder Ringelektrode 16 B aus Metall
ausgebildet. Die Verbindungsleitung ist auch hier wieder mit
20 bezeichnet. Der Innendurchmesser der Ringeelektrode 16 B ent
spricht hier dem Durchmesser d der aktivierten Zone 8. Ihr Aus
sendurchmesser kann somit im Bereich von 2 bis 5 mm liegen.
Aus Fig. 4 geht hervor, daß als erste Elektrode 16 auch ein
quer durch die erste Kammer 42 gespannter, in geringem Abstand
a über die polarisierte Zone 8 geführter dünner Draht 16 C Ver
wendung finden kann. Die Dicke dieses Drahtes 16 C kann bei
spielsweise 0,1 mm betragen. In einigem Abstand, z.B. in einem
Abstand von 1 cm von der Meßstelle vor dem aktivierten Teilbe
reich 8, kann dieser Draht 16 C isoliert sein. Er ist mit dem
Anschluß 24 verbunden.
Es soll noch angeführt werden, daß bei den Ausführungsformen
nach den Fig. 2 bis 4 ein Vorverstärker nicht notwendig ist,
da selbst bei einer Länge der Leitungen 22, 30 von etwa 1 m die
Empfindlichkeit in der Größenordnung von 20 mV/MPa liegt. Sie
reicht zur Messung der Stoßwellen im Fokus von Lithotriptern.
Claims (15)
1. Ultraschall-Sensor mit einer in ihrem Randbereich an einem
Stützkörper befestigten Polymerfolie, die in einem Teilbereich
piezoelektrisch aktiviert ist, und mit einer ersten und zweiten
Elektrode, die über den aktivierten Teilbereich der Polymerfo
lie elektrisch miteinander gekoppelt sind, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Elektrode (16)
in einem vorgegebenen Abstand (a) hinter und getrennt von dem
aktivierten Teilbereich (8) der Polymerfolie (4) angeordnet
ist, daß die zweite Elektrode (26) räumlich getrennt vom akti
vierten Teilbereich (8) angeordnet ist, und daß der Raum (42,
44) zwischen den Elektroden (16, 26) und dem aktivierten Teil
bereich (8) mit einem Elektrolyten (46, 48) gefüllt ist.
2. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß der vorgegebene Abstand (a) etwa
den Wert des Durchmessers (d) des aktivierten Teilbereichs (8)
hat.
3. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der vorgegebene Abstand (a)
etwa den Wert des Durchmessers (p) der ersten Elektrode (16)
hat.
4. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß der vorgegebe
ne Abstand (a) zwischen 0,5 und 2 mm groß ist.
5. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß der vorgegebene Abstand (a) et
wa 1 mm beträgt.
6. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß der Elektrolyt
(46, 48) eine Kochsalzlösung ist.
7. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Konzentration der Kochsalz
lösung etwa 0,1 Gewichtsprozent beträgt.
8. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da
durch gekennzeichnet, daß die erste
Elektrode (16) ein Metallstift (16 A) oder ein Metallring (16 B)
ist.
9. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da
durch gekennzeichnet, daß die erste Elek
trode (16) ein dünner Draht (16 C) ist, der in dem vorgegebenen
Abstand (a) über den aktivierten Teilbereich (8) geführt ist.
10. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die zweite
Elektrode (26) als Ringelektrode ausgebildet ist.
11. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß der akti
vierte Teilbereich (8) im zentralen Teil der Polymerfolie (4)
angeordnet ist, daß die Polymerfolie (4) als Trennwand zwischen
einer ersten und einer zweiten Kammer (42, 44) ausgebildet ist,
und daß die erste Elektrode (16) in der ersten Kammer (42) und
die zweite Elektrode (26) in der zweiten Kammer (44) unterge
bracht ist.
12. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 11, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Kammer (42) durch
ein Kunststoff-Fenster (36) abgeschlossen ist.
13. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 11 oder 12, da
durch gekennzeichnet, daß die zweite
Kammer (44) durch ein Gummi-Fenster (38) abgeschlossen ist.
14. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß er zylin
drisch ausgebildet ist.
15. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß die Poly
merfolie (4) im Inneren des Stützkörpers (6) an einem Befesti
gungsteil (6 a) eingespannt ist.
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DE19873718604 DE3718604A1 (de) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | Ultraschall-sensor mit polymerfolie und elektrolytischer elektrodenankopplung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=6328975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19873718604 Withdrawn DE3718604A1 (de) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | Ultraschall-sensor mit polymerfolie und elektrolytischer elektrodenankopplung |
Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1991008706A1 (en) * | 1989-12-18 | 1991-06-27 | Jan Lesny | Ultrasonic instrument |
FR2667396A1 (fr) * | 1990-09-27 | 1992-04-03 | Inst Nat Sante Rech Med | Capteur pour mesure de pression en milieu liquide. |
US6249076B1 (en) * | 1998-04-14 | 2001-06-19 | Massachusetts Institute Of Technology | Conducting polymer actuator |
-
1987
- 1987-06-03 DE DE19873718604 patent/DE3718604A1/de not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1991008706A1 (en) * | 1989-12-18 | 1991-06-27 | Jan Lesny | Ultrasonic instrument |
US5383465A (en) * | 1989-12-18 | 1995-01-24 | Lesny; Jan | Ultrasonic instrument |
FR2667396A1 (fr) * | 1990-09-27 | 1992-04-03 | Inst Nat Sante Rech Med | Capteur pour mesure de pression en milieu liquide. |
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