DE3718604A1 - Ultraschall-sensor mit polymerfolie und elektrolytischer elektrodenankopplung - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Sensor mit ei­ ner in ihrem Randbereich an einem Stützkörper befestigten Poly­ merfolie, die in einem Teilbereich piezoelektrisch aktiviert ist, und mit einer ersten und zweiten Elektrode, die über den aktivierten Teilbereich der Polymerfolie elektrisch miteinander gekoppelt sind.

Stoßwellen im Ultraschallbereich sind kurze Impulse mit Antei­ len hoher Frequenzen von mehr als 1 MHz und oft sehr hohem Druck von über 1 kbar. Diese Stoßwellen werden z.B. bei der Lithotripsie zum Zerstören von Konkrementen, beispielsweise von Nierensteinen, verwendet, wie in der DE-OS 33 28 051 näher beschrieben. Insbesondere bei einer solchen medizinischen An­ wendung ist es notwendig, die Stoßwellen genau zu messen, den Fokus genau zu definieren und den Betrieb des Lithotripters zu überwachen. Dazu muß ein Sensor bereitgestellt werden, der mit genügend hoher Bandbreite den Zeitverlauf der jeweiligen Stoß­ welle darstellen kann. Weiterhin muß der Sensor in der Lage sein, den Stoßwellenverlauf auch am Ort des höchsten Drucks, also im Fokus der Stoßwellenquelle, wo das zu zerstörende Kon­ krement plaziert wird, genau und reproduzierbar zu messen, ohne selbst zerstört zu werden. Mit anderen Worten, es müssen rela­ tiv hohe Drücke zuverlässig gemessen werden können, und der Sensor muß von robuster Bauart sein. Darüber hinaus muß die er­ zielbare Ortsauflösung ausreichend sein.

An Orten niederen Drucks wurden bisher als Ultraschall-Sensoren Membran-Hydrophone in verschiedener Bauart (K.C. Shotton et al., Ultrasonics, Mai 1980, 123-126; A.S. DeReggi et al., J. Acoust. Soc. Am. 69 (3), März 1981, 853-859; P.A. Lewin, Ultra­ sonics, Sept. 1981, 213-216; R.C. Preston et al., J. Phys. E.: Sci. Instrum., Vol. 16 (1983), 786-796) verwendet. In allen Fällen enthält der Sensor als Meßfolie das piezoelektrische Po­ lymer Polyvinylidenfluorid (PVDF), auf das eine Metallisierung aufgebracht wurde. Mit PVDF läßt sich eine hohe Bandbreite von z.B. 10 MHz realisieren. Es hat sich aber gezeigt, daß alle Sensortypen der genannten Ausführungsformen für den Nachweis von Stoßwellen im Fokus einer Stoßwellenquelle nicht geeignet sind. Sie halten nämlich dem hohen Druck, dessen Amplitude im Bereich von etwa 10⁸ Pa, d.h. 1 kbar, liegen kann, bei gleich­ zeitiger steiler Anstiegsflanke der Stoßwelle, wobei die An­ stiegszeit 1 µsec unterschreiten kann, im Fokus nicht stand. Sie sind nach wenigen Stoßwellenimpulsen unbrauchbar. Insbeson­ dere die elektrischen Kontakte in der Nähe der sensitiven Stel­ le, das heißt nahe des aktivierten Bereichs der Polymerfolie, werden beim Nachweis von Stoßwellen zerstört.

Im folgenden soll noch kurz auf zwei der bekannten Ausführungs­ formen näher eingegangen werden.

Bei dem aus "Ultrasonics", Sept. 1981, S. 213-216, bekannten Miniatur-Hydrophon ist eine an ihren beiden Flachseiten mit Elektroden versehene piezoaktive Folie aus Polyvinylidenfluorid (PVDF) mit einer Dicke von 25 µm auf die Stirnfläche eines Edelstahlrohres elektrisch isoliert aufgespannt. Der Durchmes­ ser der Folie beträgt etwa 1 mm. Auf der Innenseite der Folie ist ein Platindraht angebracht, der mit dem Innenleiter eines Koaxialkabels verbunden ist. Dieser Platindraht wird von einem das Innere des Edelstahlrohres ausfüllenden Backing gestützt. Die Außenseite der Folie ist mit dem Edelstahlrohr elektrisch kontaktiert und mit der Abschirmung des Koaxialkabels verbun­ den. Diese Ausführungsform kann man somit als "nadelförmige Sensor-Ausführung" bezeichnen.

In der Literaturstelle "Ultrasonics", Mai 1980, S. 120-126, ist dagegen ein Membran-Hydrophon oder Ultraschall-Sensor der ein­ gangs genannten Art offenbart, bei dem eine Folie aus Poly­ vinylidenfluorid (PVDF) mit einer Dicke von 25 µm zwischen zwei als Stützkörper dienenden Metallringen aufgespannt ist. Die Fo­ lie wirkt hier als Membran und besitzt einen Innendurchmesser von etwa 100 mm. Die Oberflächen der Membran sind in einem kleinen zentralen Bereich mit einander gegenüberliegenden kreisscheibenförmigen Elektroden versehen, deren Durchmesser beispielsweise jeweils 4 mm beträgt. Zwischen diesen Elektroden befindet sich der polarisierte, piezoelektrisch aktive Bereich der Membran. Von den kreisscheibenförmigen Elektroden führen Anschlußleiter, die als Metallfilme auf den Oberflächen der Membran aufgebracht sind, zum Rand der Membran. Sie sind dort mit Hilfe eines leitfähigen Klebers mit einem Koaxialkabel kon­ taktiert. Diese Ausführungsform läßt sich also als "Membran-Hy­ drophon" bezeichnen. Sie ist ebenfalls nur für verhältnismäßig niedere Drücke geeignet.

Die Anforderung an einen Ultraschall-Sensor, der für die Litho­ tripsie geeignet sein soll, lassen sich so zusammenfassen: Er soll trotz des Auftretens hoher Druckamplituden eine lange Le­ bensdauer bei ausreichender Stabilität besitzen, wobei Artefak­ te nach Möglichkeit nicht in Erscheinung treten sollen. Der Zeitverlauf der Druckkurve im Stoßwellenfokus, der von sehr geringem Durchmesser sein kann, soll möglichst getreu ermittelt werden können; er soll also nicht im Vergleich zu Sensoren, die für geringere Drücke eingesetzt werden, verlängert sein.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es somit, einen Ultra­ schall-Sensor der eingangs genannten Art anzugeben, der zum Nachweis von Stoßwellen geeignet ist. Er soll eine hohe Lebens­ dauer und Stabilität besitzen sowie eine gute Wiedergabe des Zeitverlaufs der Stoßwellen gewährleisten, wobei Artefakte nicht oder nur in geringem Maße auftreten sollen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die er­ ste Elektrode in einem vorgegebenen Abstand hinter und getrennt von dem aktivierten Teilbereich der Polymerfolie angeordnet ist, daß die zweite Elektrode räumlich getrennt vom aktivierten Teilbereich angeordnet ist, und daß der Raum zwischen den Elek­ troden und dem aktivierten Teilbereich jeweils mit einem Elek­ trolyten gefüllt ist. Der vorgegebene Abstand kann etwa den Wert des Durchmessers des aktivierten Teilbereiches haben. Spe­ ziell kann so vorgegangen werden, daß der vorgegebene Abstand etwa den Wert des Durchmessers der ersten Elektrode besitzt.

Beim Auftreffen eines Stoßwellenimpulses entstehen im piezo­ elektrisch aktivierten Teilbereich der Polymerfolie Ladungen. Die erste Elektrode steht nur über einen ersten Elektrolyten mit dem piezoelektrisch aktivierten Teilbereich auf der Rück­ seite der Polymerfolie, die insbesondere aus PVDF besteht, in Kontakt. Die zweite Elektrode ist beispielsweise als Ringelek­ trode ausgebildet und auf der Vorderseite der Polymerfolie an­ geordnet. In ihrem Zentrum liegt der aktivierte Teilbereich der Polymerfolie. Zwischen der Polymerfolie und der Ringelektrode ist ein zweiter Elektrolyt vorhanden, der mit der Substanz des ersten Elektrolyten identisch sein kann. Auf diese Weise wird von den Elektroden das bei Einwirken eines kurzdauernden aku­ stischen Impulses entstehende Signal von der piezoaktiven Stel­ le der Polymerfolie über die beiden elektrolytischen Strecken abgegriffen. Dieses Signal kann direkt auf ein Oszilloskop ge­ geben werden. Bedingt durch die genannte konstruktive Ausge­ staltung wird eine ausreichend gute Empfindlichkeit und eine lange Lebensdauer des Ultraschall-Sensors, insbesondere auch für hohe Drücke, erzielt.

Weitere Vorteile und Ausgestaltung an der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand von vier Figuren. Es zeigen:

Fig. 1 einen Ultraschall-Stoßwellensensor mit Polymerfolie und elektrolytischer Kopplung von erster und zweiter Elek­ trode in einem Schnittbild;

Fig. 2 eine bevorzugte Ausführung der ersten Elektrodenanord­ nung in einer vergrößerten Teildarstellung;

Fig. 3 eine weitere Ausführung der ersten Elektrodenanordnung in vergrößerter Teildarstellung; und

Fig. 4 eine dritte Ausführung der ersten Elektrodenanordnung ebenfalls in einer vergrößerten Teildarstellung.

Nach Fig. 1 umfaßt der Ultraschall-Sensor 2 für den Nachweis von Stoßwellen eine dünne, insbesondere kreisscheibenförmige Polymerfolie oder -membran 4, die im Inneren eines ringförmigen Stützkörpers oder Spannrings 6 straff eingespannt ist. Wie ge­ zeigt, kann der Stützkörper 6 in seinem mittleren Teil innen mit einem ringförmigen Befestigungsteil 6 a vom Innendurchmesser D versehen sein. Auf dessen linker Stirnseite, die der eine Stoßwelle w aussendenen Stoßwellenquelle zugewandt ist, liegt die Polymerfolie 4 randseitig fest auf. Der aus einem Isolier­ stoff gefertigte Stützkörper 6 ist Teil eines zylindrischen Ge­ häuses. Die Polymerfolie 4 besteht vorzugsweise aus Polyvinyl­ idenfluorid (PVDF). Sie ist nur in ihrem zentralen Bereich 8 (vgl. Fig. 2 bis 4) polarisiert und damit nur dort piezo­ elektrisch aktiviert. Der piezoelekrisch aktivierte Bereich 8 ist somit bei den vorliegenden Ausführungsbeispielen von einem ringförmigen Bereich 10 umgeben, der piezoelektrisch inaktiv ist. Die Polymerfolie 4 ist vorliegend mit keinerlei metalli­ schen Beschichtungen versehen. Die aktive Zone 8 ist rotations­ symmetrisch bezüglich einer senkrecht zu den Flachseiten der Polymerfolie 4 verlaufenden Mittelachse 12 angeordnet. Sie wird bei der bevorzugten Anwendung im Fokus der (nicht gezeigten) Stoßwellenquelle plaziert.

Der Durchmesser d des kreisscheibenförmigen zentralen Teilbe­ reichs 8 ist sehr viel kleiner als der freie Durchmesser D der Polymerfolie 4. Die Dicke Z der Polymerfolie 4 liegt zwischen 10 µm und 100 µm, insbesondere zwischen 25 µm und 50 µm. Vor­ liegend hat sie z.B. eine Dicke Z=25 µm. Der Durchmesser d des aktivierten Teilbereichs 8 kann z.B. 1 mm bis 2 mm betra­ gen. Er bestimmt die Ortsauflösung, mit der gemessen werden kann. Der Durchmesser D kann z.B. 50 mm oder 100 mm betragen. In Richtung einer Stoßwelle w gesehen auf der Rückseite des zentralen Bereichs 8, d.h. hinter diesem Bereich 8 der Polymer­ folie 4, ist eine erste Elektrode 16 angeordnet. Wie später an­ hand von Fig. 2 gezeigt wird, kann diese die Form eines gera­ den Metall- oder Kontaktstifts 16 A haben. Auch eine Metallnadel kann hier eingesetzt werden. Die Befestigung ist mittels einer Brücke oder eines dünnen Stegs 18 vorgenommen. Der Steg 18, der aus einem ultraschalldurchlässigen Material wie z.B. Plexiglas besteht, dient somit als Halteelement für die erste Elektrode 16. Der Steg 18 ist randseitig an der rechten Stirnseite des inneren Befestigungsteils 6 a befestigt, z.B. durch die gezeig­ ten Schrauben.

Die erste Elektrode 16 ist in einem vorgegebenen Abstand a - in Schallrichtung gesehen - hinter dem aktivierten Teilbereich 8 der Polymerfolie 4 angeordnet. Eine Berührung findet also nicht statt. Durch den Abstand a ist ein freier Raum geschaffen. Die erste Elektrode 16 dient hier als Signalableitelektrode. Der vorgegebene Abstand a liegt bevorzugt zwischen 0,5 mm und 2 mm. Vorzugsweise wird so vorgegangen, daß der vorgegebene Abstand a größenordnungsmäßig den Wert des Durchmessers d des aktivierten Teilbereichs 8 hat. Bei der Dimensionierung sollte gleichzeitig auch darauf geachtet werden, daß bei Fig. 2 der vorgegebene Ab­ stand a etwa den Wert des Durchmessers p des Kontaktstifts 16 A besitzt. Mit anderen Worten, die Fläche des Kontaktstifts 16 A, die dem aktivierten Teilbereich 8 gegenüberliegt, sollte etwa so groß sein wie die Fläche dieses Teilbereichs 8.

Die erste Elektrode 16 ist mit einer elektrischen Leitung 20 versehen, die durch eine flüssigkeitsdichte Durchführung 22 an einen Signalanschluß 24 führt. Dieser Signalanschluß 24 kann direkt, das heißt ohne Zwischenschaltung eines Verstärkers oder einer Spannungsquelle, mit dem Eingang eines (nicht gezeigten) Oszilloskops verbunden sein.

Auf der Vorderseite der Polymerfolie 4 ist eine räumlich vom aktivierten Teilbereich 8 getrennte zweite Elektrode 26 ange­ bracht. Im dargestellten Ausführungsbeispiel besteht die zweite Elektrode 26 aus einem dünnen Metallring, der den Innen- und Außendurchmesser des Befestigungsteils 6 a besitzt. Diese Ring­ elektrode 26 ist unter Einschluß der Polymerfolie 4 mit nicht näher bezeichneten Schrauben am Befestigungsteil 6 a verschraubt. Eine elektrische Leitung 30 führt von der Ringelektrode 26 durch eine Durchführung 32 zu einem weiteren Anschluß 34, der vorliegend auf Massepotential gelegt ist. Auch der andere Ein­ gang des (nicht gezeigten) Oszilloskops liegt auf Massepoten­ tial.

Der Stützkörper 6, z.B. aus Kunststoff, ist an seinen beiden Stirnseiten jeweils mit einer Deckplatte 36 bzw. 38 aus gut ultraschalldurchlässigem Material versehen. Die erste Deckplat­ te 36, die als Austrittsfenster dient und beispielsweise aus Plexiglas bestehen kann, ist mittels eines ersten Abdeckrings 40 und nicht näher bezeichneter Schrauben am Stützkörper 6 ver­ schraubt. Entsprechend ist die zweite Deckplatte 38, die als Eintrittsfenster dient und beispielsweise aus EPDM-Gummi (Äthy­ len-Propylen-Dien-Kautschuk) bestehen kann, mittels eines zwei­ ten Abdeckrings 41 und nicht näher bezeichneter Schrauben am Stützkörper 6 befestigt.

Zwischen der Polymerfolie 4 und den Deckplatten 36, 38 ist so­ mit jeweils eine flüssigkeitsdichte Kammer 42 bzw. 44 gebildet. Die erste Kammer 42 ist mit einem ersten Elektrolyten 46 ge­ füllt. Entsprechend ist die zweite Kammer 44 mit einem zweiten Elektrolyten 48 gefüllt. Damit ist jeweils auch der Raum zwi­ schen dem Teilbereich 8 einerseits und den Elektroden 16, 26 andererseits mit den Elektrolyten 46 bzw. 48 gefüllt. Vorzugs­ weise handelt es sich dabei jeweils um dieselbe Elektrolyt- Flüssigkeit. Bei beiden Elektrolyten 46, 48 handelt es sich um Elektrolyte mit relativ hoher spezifischer Leitfähigkeit von etwa 0,1 S/m oder höher, wofür bevorzugt starke Elektrolyte in einer Konzentration von 0,01 Mol/l oder höher in Frage kommen. Starke Elektrolyte sind Elektrolyte, die in Wasser oder einer anderen Flüssigkeit vollständig dissoziiert sind. Solche Elek­ trolyte sind z.B. in einschlägigen Lehrbüchern, wie z.B. Ulich- Jost: "Kurzes Lehrbuch der physikalischen Chemie", beschrieben. Man sollte einen Elektrolyten verwenden, der wenig aggressiv für die verwendeten Kunststoffe ist. Beispielsweise eignet sich eine KCl- oder NaCl-Lösung. Versuche haben ergeben, daß die Kochsalzlösung (NaCl-Lösung) eine Konzentration von 0,1 bis 1 Gewichtsprozent besitzen sollte. Selbst wenn sich eine solche Lösung in der Leitfähigkeit etwas verändert, so bleibt das ohne nennenswerte negative Folgen auf das Meßergebnis. Versuche ha­ ben gezeigt, daß eine Konzentration von z.B. 0,1 Gewichtspro­ zent bei einer NaCl-Lösung gute Ergebnisse liefert.

Es soll an dieser Stelle betont werden, daß die Polymerfolie 4 nicht nur als Meßfolie dient; sie ist gleichzeitig auch als Trennwand zwischen den beiden jeweils für sich geschlossenen Kammern 42, 44 ausgebildet.

Versuche haben gezeigt, daß man ohne Löcher in der Polymerfolie 4, die man zwecks Druckausgleichs zur Verbindung der Kammern 42 und 44 eigentlich vorsehen könnte, auskommt.

Die Deckplatten 36, 38 der Kammern 42 bzw. 44 bestehen, wie dargelegt, vorteilhafterweise aus einem Kunststoff oder spe­ ziell aus einem Polymer. Die Elektrolyte 46, 48 haben nahezu dieselbe akustische Impedanz wie das schalltragende Medium, das die Stoßwellenimpulse w an den Ultraschall-Sensor 2 heranführt.

Beim Auftreffen eines Ultraschall-Stoßwellenimpulses w entste­ hen im piezoelektrisch aktivierten Teilbereich 8 elektrische Ladungen. Diese werden als Signal von dem Teilbereich 8 über die Elektrolyten 46, 48 sowie über die Elektroden 16 bzw. 26 und die Leitungen 20 bzw. 30 "ausgelesen" und an die Anschlüsse 24 bzw. 34 geführt.

Als besonderer Vorteil wird es angesehen, daß Artefakte durch die großflächige Anordnung der Masse-Elektrode in der Kammer 44, die räumliche Trennung der hinter der polarisierten Zone 8 liegenden Elektrode 16 sowie die relativ niederohmige Signalab­ leitung weitgehend vermieden werden.

In Fig. 1 ist ein Ausschnitt A der ersten Elektrodenanordnung eingekreist, von dem bevorzugte Ausführungsformen in den Figu­ ren 2 bis 4 näher gezeigt sind.

Nach Fig. 2 handelt es sich bei der ersten Elektrode 16 um ei­ ne Metallnadel oder besser einen stumpfen Metallstift 16 A, der beispielsweise einen Durchmesser p=1 mm besitzt. Der Abstand a ist bei dieser Ausführungsform ebenfalls a=1 mm gewählt. Es gilt: a=p. Der Durchmesser d des aktivierten Bereichs 8 liegt hier bei d=2 mm.

Nach Fig. 3 ist die erste Elektrode oder Signalelektrode 16 speziell als kleiner Ring oder Ringelektrode 16 B aus Metall ausgebildet. Die Verbindungsleitung ist auch hier wieder mit 20 bezeichnet. Der Innendurchmesser der Ringeelektrode 16 B ent­ spricht hier dem Durchmesser d der aktivierten Zone 8. Ihr Aus­ sendurchmesser kann somit im Bereich von 2 bis 5 mm liegen.

Aus Fig. 4 geht hervor, daß als erste Elektrode 16 auch ein quer durch die erste Kammer 42 gespannter, in geringem Abstand a über die polarisierte Zone 8 geführter dünner Draht 16 C Ver­ wendung finden kann. Die Dicke dieses Drahtes 16 C kann bei­ spielsweise 0,1 mm betragen. In einigem Abstand, z.B. in einem Abstand von 1 cm von der Meßstelle vor dem aktivierten Teilbe­ reich 8, kann dieser Draht 16 C isoliert sein. Er ist mit dem Anschluß 24 verbunden.

Es soll noch angeführt werden, daß bei den Ausführungsformen nach den Fig. 2 bis 4 ein Vorverstärker nicht notwendig ist, da selbst bei einer Länge der Leitungen 22, 30 von etwa 1 m die Empfindlichkeit in der Größenordnung von 20 mV/MPa liegt. Sie reicht zur Messung der Stoßwellen im Fokus von Lithotriptern.

Claims (15)

1. Ultraschall-Sensor mit einer in ihrem Randbereich an einem Stützkörper befestigten Polymerfolie, die in einem Teilbereich piezoelektrisch aktiviert ist, und mit einer ersten und zweiten Elektrode, die über den aktivierten Teilbereich der Polymerfo­ lie elektrisch miteinander gekoppelt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Elektrode (16) in einem vorgegebenen Abstand (a) hinter und getrennt von dem aktivierten Teilbereich (8) der Polymerfolie (4) angeordnet ist, daß die zweite Elektrode (26) räumlich getrennt vom akti­ vierten Teilbereich (8) angeordnet ist, und daß der Raum (42, 44) zwischen den Elektroden (16, 26) und dem aktivierten Teil­ bereich (8) mit einem Elektrolyten (46, 48) gefüllt ist.

2. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der vorgegebene Abstand (a) etwa den Wert des Durchmessers (d) des aktivierten Teilbereichs (8) hat.

3. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der vorgegebene Abstand (a) etwa den Wert des Durchmessers (p) der ersten Elektrode (16) hat.

4. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß der vorgegebe­ ne Abstand (a) zwischen 0,5 und 2 mm groß ist.

5. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der vorgegebene Abstand (a) et­ wa 1 mm beträgt.

6. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, daß der Elektrolyt (46, 48) eine Kochsalzlösung ist.

7. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 6, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Konzentration der Kochsalz­ lösung etwa 0,1 Gewichtsprozent beträgt.

8. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß die erste Elektrode (16) ein Metallstift (16 A) oder ein Metallring (16 B) ist.

9. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß die erste Elek­ trode (16) ein dünner Draht (16 C) ist, der in dem vorgegebenen Abstand (a) über den aktivierten Teilbereich (8) geführt ist.

10. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Elektrode (26) als Ringelektrode ausgebildet ist.

11. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der akti­ vierte Teilbereich (8) im zentralen Teil der Polymerfolie (4) angeordnet ist, daß die Polymerfolie (4) als Trennwand zwischen einer ersten und einer zweiten Kammer (42, 44) ausgebildet ist, und daß die erste Elektrode (16) in der ersten Kammer (42) und die zweite Elektrode (26) in der zweiten Kammer (44) unterge­ bracht ist.

12. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Kammer (42) durch ein Kunststoff-Fenster (36) abgeschlossen ist.

13. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 11 oder 12, da­ durch gekennzeichnet, daß die zweite Kammer (44) durch ein Gummi-Fenster (38) abgeschlossen ist.

14. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß er zylin­ drisch ausgebildet ist.

15. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Poly­ merfolie (4) im Inneren des Stützkörpers (6) an einem Befesti­ gungsteil (6 a) eingespannt ist.