DE3710782A1 - Method and device for pumping out vapours and/or vaporous mixtures and/or gas-vapour mixtures or similar media - Google Patents

Method and device for pumping out vapours and/or vaporous mixtures and/or gas-vapour mixtures or similar media

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DE3710782A1
DE3710782A1 DE19873710782 DE3710782A DE3710782A1 DE 3710782 A1 DE3710782 A1 DE 3710782A1 DE 19873710782 DE19873710782 DE 19873710782 DE 3710782 A DE3710782 A DE 3710782A DE 3710782 A1 DE3710782 A1 DE 3710782A1
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Abstract

A method for pumping out vapours and/or vaporous mixtures and/or gas-vapour mixtures and/or similar media in two or more stages from at least one receiver by evacuation is to be developed further so that a final pressure of less than 10<-2> hPa, and preferably in the range 10<-3> hPa to 10<-4> hPa, can easily be achieved, and that it is also ensured that the vapours and/or vaporous mixtures and/or gas-vapour mixtures or similar media can be compressed to atmospheric pressure and pumped, even if partial condensation occurs. This is achieved by having the one or more first, vacuum-producing pumping-out stages (A1) followed by one or more second pumping-out stages (A2) that compress to atmospheric pressure so that the one or more first pumping-out stages or the space surrounding these is pumped out by the one or more second pumping-out stages to below a pressure corresponding to the dew point of the respective medium to be pumped out. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum wenigstens zweistufigen Abpumpen von Dämpfen und/oder dampfhaltigen Gemischen und/oder Gas-Dampf-Gemischen oder dgl. Medien aus wenigstens einem Rezipienten durch Evakuieren.The invention relates to a method for at least two-stage pumping of vapors and / or vapors Mixtures and / or gas-steam mixtures or the like media from at least one recipient by evacuation.

Ferner bezieht sich die Erfindung auf eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruches 10.The invention further relates to a device the features of the preamble of claim 10.

Der Stand der TechnikThe state of the art

Aus der CH-PS 4 73 985 sind bereits mehrstufige Vakuum­ pumpeneinrichtungen mit Drehkolben bekannt, bei denen in der oder den Vakuumpumpen oder -stufen mit Ausnahme der mit dem höchsten Druck arbeitenden Vakuumpumpe oder -stufe die Bauteile, die den Schöpfraum bilden und die Ver­ drängerwirkung hervorrufen, bei unmittelbarer gegen­ seitiger Berührung ohne Flüssigkeitsschmierung trocken­ reibend nebeneinander gleiten. Bei diesen bekannten mehrstufigen Vakuumpumpeneinrichtungen soll also die Verwendung von Öl zur Schmierung der bewegten Teile sowie zur Abdichtung der Spalten zwischen Saug- und Druckseite der Schöpfräume vermieden werden, damit ein praktisch öldampffreies Vakuum erzeugt werden kann. Es wird jedoch aber auch hier für die mit dem höchsten oder dem höheren Druck arbeitende Pumpe beispielsweise eine Drehschieber- Ölluftpumpe zum Einsatz gebracht, so daß z. B. bei einem zweistufigen System eine ölfrei arbeitende Pumpe mit einer nachgeschalteten Pumpe mit Ölfüllung kombiniert wird. CH-PS 4 73 985 already has multi-stage vacuum known pump devices with rotary lobes, in which in the vacuum pump or stages with the exception of with the highest pressure vacuum pump or stage the components that make up the scoop space and the ver cause a pushing effect, in the direct against side contact without liquid lubrication dry sliding alongside each other. With these known multi-stage vacuum pump devices should therefore Use of oil to lubricate moving parts as well to seal the gaps between the suction and pressure side of the scoops are avoided, so a practical Oil vapor-free vacuum can be created. However, it will but also for those with the highest or the higher Pressure pump, for example a rotary valve Oil air pump used so that, for. B. at one two-stage system with an oil-free pump downstream pump is combined with oil filling.  

Es hat sich jedoch gezeigt, daß diese bekannte Pumpen­ einrichtungen noch keine technisch und wirtschaftlich befriedigenden Lösungen darstellen und sich in der Praxis nicht durchsetzen konnten.However, it has been shown that these known pumps facilities not yet technically and economically represent satisfactory solutions and are in practice could not enforce.

Ein zweistufiges Vakuumpumpenaggregat zum Absaugen von Dämpfen oder Gas-Dampf-Gemischen ist weiterhin aus der DE-AS 13 02 133 bekannt. Dieses Aggregat besteht aus zwei hintereinander geschalteten, ölgedichteten rotierenden Verdrängerpumpen, wobei zwei Gasballasteinrichtungen vorgesehen sind, von denen die erste der zweiten, atmos­ phärenseitigen Pumpenstufe zugeordnet ist, während die zweite Gasballasteinrichtung an einer sowohl gegenüber dem Rezipienten als auch gegenüber dem erwähnten ersten Gasballasteinlaß abgesperrten, näher zum Rezipienten gelegenen Stelle des Weges des Fördermediums durch das Pumpenaggregat angeordnet ist, beispielsweise zwischen den beiden Pumpenstufen. Durch die Verwendung einer derartigen zweiten Gasballasteinrichtung soll eine Verdrängervakuum­ pumpe mit erhöhter Leistungsfähigkeit hinsichtlich des Absaugens von Dämpfen oder Gas-Dampf-Gemischen aus einem Rezipienten geschaffen werden, wobei Kondensationen in der Pumpe vermieden werden sollen.A two-stage vacuum pump unit for extracting Vaping or gas-steam mixtures is still out of the DE-AS 13 02 133 known. This unit consists of two oil-sealed rotating rotating series Displacement pumps, two gas ballast devices are provided, of which the first of the second, atmos is assigned to the phase-side pump stage, while the second gas ballast on both opposite Recipients as well as compared to the first mentioned Blocked gas ballast inlet, closer to the recipient located point of the path of the medium through the Pump unit is arranged, for example between the two pump stages. By using such a second gas ballast device is supposed to be a positive displacement vacuum pump with increased performance in terms of Extraction of vapors or gas-vapor mixtures from one Recipients are created, with condensation in the Pump should be avoided.

Weiterhin ist aus der DE-OS 29 27 797 ein Verfahren zum Betrieb einer Verdränger-Vakuumpumpe mit Saug- und Auspuffstutzen und einem im Saugstutzen angeordneten Ventil bekannt, durch das die Vakuumpumpe, die insbe­ sondere eine flüssigkeits- bzw. ölgedichtete Verdränger- Vakuumpumpe ist, in ihrer Warmlaufphase oder bei Unter­ schreitung der notwendigen Betriebstemperatur vor aggres­ siven und/oder kondensierbaren Dämpfen geschützt ist. Gemäß diesem bekannten Verfahren wird das Saugstutzen­ ventil in Abhängigkeit von der Temperatur derart ge­ steuert, daß es bei unterhalb der Betriebstemperatur liegenden Temperaturen im Schöpfraum der Pumpe geschlossen und bei im Bereich der Betriebstemperatur liegenden Temparaturen im Schöpfraum der Pumpe geöffnet ist, so daß die aggressiven und/oder kondensierbaren Dämpfe solange nicht in den Schöpfraum eintreten können, bis die Pumpe die erforderliche Betriebstemperatur erreicht hat. Infolgedessen soll die Gefahr schädlicher Kondensationen auf ein Minimum reduziert werden. Nachteilig bei diesem bekannten Verfahren ist aber der verhältnismäßig hohe Aufwand für die Steuerung des Saugstutzenventils sowie die Störanfälligkeit eines derartigen Betriebsverfahrens, wodurch die Betriebssicherheit beeinträchtigt ist.Furthermore, from DE-OS 29 27 797 a method for Operation of a positive displacement vacuum pump with suction and Exhaust pipe and one arranged in the intake pipe Valve known through which the vacuum pump, in particular especially a liquid- or oil-sealed displacement Vacuum pump is in its warm-up phase or under the necessary operating temperature is exceeded before aggres sive and / or condensable vapors is protected. According to this known method, the suction nozzle valve depending on the temperature such ge  controls that it is below the operating temperature temperatures in the pump's pumping chamber are closed and in the range of the operating temperature Temperatures in the pump's pump chamber is open, so that the aggressive and / or condensable vapors as long cannot enter the scoop until the pump has reached the required operating temperature. As a result, there is a risk of harmful condensation be reduced to a minimum. A disadvantage of this known method is the relatively high Effort for the control of the suction nozzle valve as well Such an operating procedure is susceptible to faults, which affects operational safety.

Gemäß dem Stand der Technik werden somit in erster Linie ölgedichtete Verdränger-Vakuumpumpen zum Fördern von Dämpfen oder dampfhaltigen Gasgemischen verwendet, wobei es wegen der hohen Verdichtung von ca. 1:104-1:106 unter bestimmten Umständen zu einer Kondensation der Dämpfe in der Pumpe kommt. Die hierbei entstehenden Kondensate beeinflussen häufig den erreichbaren Enddruck und das Saugvermögen der Pumpe. Sind die kondensierenden Dämpfe darüber hinaus von aggressiver Natur, dann greifen sie auch die Oberflächen der Schöpfräume und Kolben an. Außerdem kann infolge von Vermischungen oder Reaktionen der Kondensate mit dem Pumpenöl die Schmier- und Dicht­ fähigkeit dieses Öls wesentlich beeinträchtigt werden.According to the state of the art, oil-sealed positive displacement vacuum pumps are primarily used to convey vapors or steam-containing gas mixtures, with condensation of the vapors in certain circumstances due to the high compression of approx. 1:10 4 -1: 10 6 the pump is coming. The resulting condensates often affect the achievable final pressure and the pumping speed of the pump. If the condensing vapors are also of an aggressive nature, they also attack the surfaces of the scoops and pistons. In addition, the lubricating and sealing ability of this oil can be significantly impaired due to mixing or reactions of the condensates with the pump oil.

Es ist darüber hinaus aus der DE-PS 9 58 690 eine Dreh­ kolben-Hochvakuumpumpenanlage bekannt, bei der eine Trennung des Ölkreislaufes für die das Endvakuum er­ zeugende Drehschieberpumpenstufe und die auf Atmosphäre verdichtende Drehschieberpumpenstufe vorgesehen ist. Bei dieser bekannten Anlage wird das Öl in der das Vakuum erzeugenden Pumpenstufe permanent entgast und damit von leicht flüchtigen Dämpfen gereinigt. Ein wesentlicher Nachteil dieser bekannten Hochvakuumpumpenanlage besteht jedoch darin, daß die Kondensation in der auf Atmos­ phärendruck verdichtenden Pumpenstufe nicht verhindert werden kann und infolgedessen dort die bereits weiter oben erläuterten Störungen auftreten, wodurch die Lebensdauer und Arbeitsweise dieser Pumpenanlage beeinträchtigt werden.It is also a rotation from DE-PS 9 58 690 piston high-vacuum pump system known in the one Separation of the oil circuit for the final vacuum generating rotary vane pump stage and the atmosphere compressing rotary vane pump stage is provided. At This well-known plant uses the oil in the vacuum  generating pump stage permanently degassed and thus from volatile vapors cleaned. An essential one There is a disadvantage of this known high vacuum pump system however, in that the condensation in the on Atmos Pump stage compressing the atmospheric pressure is not prevented and as a result there are already above Disruptions explained occur, reducing the lifespan and operation of this pump system impaired will.

Aus der DD-PS 1 43 172 ist ferner ein Verfahren zum Abpumpen von hochreaktiven oder toxischen Gasen oder Dämpfen mittels Drehschiebervakuumpumpen bekannt, gemäß dem eine Frischölschmierung mit entgastem Öl vorgesehen ist.From DD-PS 1 43 172 is also a method for Pumping out highly reactive or toxic gases or Steaming known by rotary vane vacuum pumps, according to which is provided with fresh oil lubrication with degassed oil is.

Schließlich geht aus der DE-OS 31 50 000 eine ölgedichtete Vakuumpumpe mit einem Ölkreislauf zur Versorgung der Lagerungen und des Pumpenraumes mit Öl und einem im Ölkreislauf angeordneten Ventil für die Absperrung der Ölzufuhr zum Pumpenraum bei stillstehender Pumpe als bekannt hervor, bei der durch weitere Konstruktionsmaß­ nahmen bei verbesserter Lagerschmierung mit Drucköl ein Pumpenbetrieb bis zu 1000 mbar Ansaugdruck ohne unnötige Belastung der geförderten Gase mit Öldämpfen gewährleistet sein soll.Finally, from DE-OS 31 50 000 an oil-sealed Vacuum pump with an oil circuit to supply the Bearings and the pump room with oil and one in Oil circuit arranged valve for shutting off the Oil supply to the pump room when the pump is stopped as known, in the case of further design dimensions took with improved bearing lubrication with pressure oil Pump operation up to 1000 mbar suction pressure without unnecessary Guaranteed loading of the pumped gases with oil vapors should be.

Mit Rücksicht auf die dem im Vorangehenden geschilderten Stand der Technik anhaftenden Nachteile liegt der vor­ liegenden Erfindung nun die Aufgabe zugrunde, ein ver­ bessertes neues Verfahren der eingangs definierten Art anzugeben, mit dessen Hilfe insbesondere ein Enddruck unter 10-2 hPa, vorzugsweise im Bereich von 10-3-10-4 hPa erreicht wird und es im übrigen gewährleistet ist, selbst bei Eintreten einer teilweisen Kondensation die Dämpfe und/oder dampfhaltigen Gemische und/oder Gas-Dampf- Gemische oder dgl. Medien auf Atmosphärendruck zu ver­ dichten und zu fördern, wobei die im Vorangehenden erläuterten Nachteile der Beeinträchtigung und starken Korrosion innerhalb der Pumpenstufen vermieden wird.In view of the disadvantages inherent in the foregoing, the object of the present invention is to provide a new improved method of the type defined at the outset, with the aid in particular of a final pressure below 10 -2 hPa, preferably in the range of 10 -3 -10 -4 hPa is reached and it is also guaranteed to compress and promote the vapors and / or steam-containing mixtures and / or gas-steam mixtures or the like media to atmospheric pressure even if partial condensation occurs , the disadvantages of the impairment and severe corrosion within the pump stages explained in the foregoing being avoided.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Verfahrens­ maßnahmen des Patentanspruchs 1 gelöst.This task is characterized by the characteristic procedure Measures of claim 1 solved.

Vorteilhafte Weiterbildungen dieses erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus den Ansprüchen 2-9.Advantageous further developments of this invention Process result from claims 2-9.

Durch dieses erfindungsgemäße Verfahren wird es ermög­ licht, Gase oder Dämpfe oder Gemische aus beiden z. B. aus dem für viele Zwecke notwendigen Vakuumbereich von 1-10-3 hPa auf Atmosphäre zu verdichten, ohne daß die dabei auftretende Kondensation dieser Medien zu einer schäd­ lichen Beeinträchtigung der Funktionen und der Lebensdauer der einzelnen Abpumpstufen führt.By this inventive method, it is made light, gases or vapors or mixtures of both z. B. from the vacuum range necessary for many purposes from 1-10 -3 hPa to atmosphere without the resulting condensation of these media leads to a harmful union impairment of the functions and the life of the individual pumping stages.

Dadurch, daß die wenigstens erste, vakuumerzeugende Abpumpstufe sowie der diese Abpumpstufe umgebende Raum bis unter einen Druck abgepumpt wird, der dem Taupunkt des jeweiligen abzupumpenden Mediums entspricht, also bei­ spielsweise bis zu einem Enddruck mindestens unterhalb des Bereichs von 5 bis 10 mbar wird sichergestellt, daß Angriffe oder Eigenschaftsveränderungen im Bereich der ersten, vakuumerzeugenden Abpumpstufe wesentlich reduziert oder sogar völlig vermieden werden. Bei üblichen Be­ triebstemperaturen eines Vakuumpumpenaggregats von ca. 70-80°C liegt der Siededruck von nahezu allen Lösungs­ mitteln oberhalb von 5-10 mbar. The fact that the at least first, vacuum-generating Pumping stage and the space surrounding this pumping stage is pumped out under a pressure which corresponds to the dew point of the corresponds to the respective medium to be pumped out, ie at for example up to a final pressure at least below the Range of 5 to 10 mbar ensures that Attacks or property changes in the area of first, vacuum-generating pumping stage significantly reduced or even be avoided entirely. With usual loading operating temperatures of a vacuum pump unit of approx. The boiling pressure of almost all solutions is 70-80 ° C average above 5-10 mbar.  

Zu diesem Zweck stellt es eine ganz besonders vorteil­ hafte, weitere Verfahrensmaßnahme dar, das Abpumpen der wenigstens ersten, vakuumerzeugenden Abpumpstufe mittels wenigstens einer zweiten, ölfreien, kondensations-und korrosionsunempfindlichen Abpumpstufe durchzuführen.For this purpose, it represents a very special advantage is another procedural measure, the pumping of the at least the first, vacuum-generating pumping stage by means of at least one second, oil-free, condensation and pumping stage that is insensitive to corrosion.

Es bestehen somit in weiterer Ausgestaltung der Erfindung die besonders günstigen Möglichkeiten, einmal als wenig­ stens erste, vakuumerzeugende Abpumpstufe eine ölge­ dichtete Stufe zu verwenden und zum anderen als wenigstens zweite, auf Atmosphärendruck verdichtende Abpumpstufe eine Membranpumpenstufe zu verwenden.There are thus a further embodiment of the invention the particularly favorable options, once as little The first, vacuum-generating pumping stage is an oil pump use dense stage and other than at least second pumping stage compressing to atmospheric pressure To use diaphragm pump stage.

In bevorzugter Weise können diese aufeinanderfolgenden Abpumpstufen gemeinsam angetrieben werden.These can preferably be successive Pumping stages are driven together.

Es ist ferner in bestimmten Anwendungsfällen des Ver­ fahrens günstig, die Schöpfvolumina der wenigstens ersten, vakuumerzeugenden Abpumpstufe und der wenigstens zweiten, auf Atmosphärendruck verdichtenden Abpumpstufe unter­ schiedlich groß zu bemessen.It is also in certain applications of Ver low, the scooping volumes of the at least first, vacuum-generating pumping stage and the at least second, pumping stage compressing to atmospheric pressure below to be sized differently.

Hierbei besteht weiterhin die Möglichkeit, die Verhält­ nisse der jeweiligen Schöpfvolumina in Abhängigkeit von den jeweiligen Kompressionsverhältnissen in der Weise zu wählen, daß die in der wenigstens ersten, größeren, vakuumerzeugenden Abpumpstufe geförderte Gasmenge jeder­ zeit durch die wenigstens zweite, kleinere, auf Atmos­ phärendruck verdichtende Abpumpstufe gefördert wird.There is still the possibility to change the ratio nisse of the respective scooping volumes depending on the respective compression ratios in the way choose that in the at least the first, larger, vacuum-producing pumped amount of gas each time through the at least second, smaller, on Atmos pumping stage compressing the atmospheric pressure.

Darüber hinaus kann mit besonderem Vorteil in mindestens eine der wenigstens ersten Abpumpstufe und/oder in mindestens eine der wenigstens zweiten Abpumpstufe Gasballast eingeleitet werden. It can also be particularly beneficial in at least one of the at least first pumping stage and / or in at least one of the at least second pumping stage Gas ballast to be initiated.  

Die Einleitung von Gasballast ist außerdem aber auch zwischen den wenigstens ersten Abpumpstufen und/oder zwischen den wenigstens zweiten Abpumpstufen ohne weiteres möglich.The introduction of gas ballast is also also between the at least first pumping stages and / or between the at least second pumping stages without further ado possible.

Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Abpumpen von Dämpfen und/oder dampf­ haltigen Gemischen und/oder Gas-Dampf-Gemischen oder dgl.Medien aus wenigstens einem Rezipienten durch Evaku­ ieren zu schaffen, wobei diese Vorrichtung ein Vakuum­ pumpenaggregat aufweist, das aus wenigstens einer ersten Abpumpstufe und wenigstens einer zweiten Abpumpstufe besteht, und insbesondere eine Vorrichtung zur Durch­ führung des Verfahrens nach Patentanspruch 1, wobei diese Vorrichtung in der Weise ausgestaltet sein soll, daß ein Enddruck insbesondere unterhalb von 10-2 hPa, vorzugsweise im Bereich von 10-3-10-4 hPa erreicht wird, und daß hierbei selbst bei teilweiser Kondensation die Dämpfe oder dgl. Medien auf Atmosphärendruck verdichtet und gefördert werden können, wobei Beeinträchtigungen und starke Korrosionen innerhalb der einzelnen Abpumpstufen vermieden und somit die Einsatzbereitschaft und die Lebensdauer der gesamten Vorrichtung entscheidend verbessert werden sollen.The invention is also based on the object of providing a device for pumping vapors and / or steam-containing mixtures and / or gas-steam mixtures or the like from at least one recipient by evacuation, this device having a vacuum pump unit, which consists of at least a first pumping stage and at least a second pumping stage, and in particular a device for carrying out the method according to claim 1, which device should be designed in such a way that a final pressure in particular below 10 -2 hPa, preferably in the range of 10 -3 -10 -4 hPa is achieved, and that even with partial condensation, the vapors or the like media can be compressed and conveyed to atmospheric pressure, avoiding impairments and severe corrosion within the individual pumping stages and thus the operational readiness and the service life the entire device will be significantly improved n should.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens eine ölgedichtete, vakuumerzeugende Drehschie­ ber-Verdrängerpumpenstufe als erste Abpumpstufe mit wenigstens einer ölfreien, kondensations- und korrosions­ unempfindlichen, auf Atmosphärendruck verdichtenden Membranpumpenstufe als zweiten Abpumpstufe in Reihe geschaltet ist. This object is achieved in that at least one oil-sealed, vacuum-generating rotary slide ber displacement pump stage as the first pumping stage with at least one oil-free, condensation and corrosion insensitive, compressing to atmospheric pressure Diaphragm pump stage as the second pumping stage in series is switched.  

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung ergeben sich aus den Ansprüchen 11-20.Further advantageous embodiments of the invention Device result from claims 11-20.

Schließlich bezieht sich die vorliegende Erfindung auf die Verwendung einer ölfreien, kondensations- und korrosions­ unempfindlichen, auf Atmosphärendruck verdichtenden Membranpumpenstufe als wenigstens zweite Stufe für mehrstufige Aggregate zum Abpumpen von Dämpfen und/oder dampfhaltigen Gemischen und/oder Gas-Dampf-Gemischen oder dgl. Medien aus wenigstens einem Rezipienten durch Evakuieren.Finally, the present invention relates to Use an oil-free, condensation and corrosion insensitive, compressing to atmospheric pressure Diaphragm pump stage as at least a second stage for multi-stage units for pumping vapors and / or steam-containing mixtures and / or gas-steam mixtures or Like. Media from at least one recipient Evacuate.

Membranpumpen als solche sind bereits bekannt (vgl. FR-OS 25 10 203 oder Firmenprospekt "Die neuen Membranpumpen von VACUUBRAND, © 1986 bei VACUUBRAND GMBH + CO.).Diaphragm pumps as such are already known (cf. FR-OS 25 10 203 or company brochure "The new diaphragm pumps from VACUUBRAND, © 1986 at VACUUBRAND GMBH + CO.).

Darüber hinaus ist aus der GB-PS 12 79 418 eine einen Balg aufweisende Kolbenpumpe bekannt, die eventuell anstelle einer Membranpumpe äquivalent verwendet werden kann.In addition, from GB-PS 12 79 418 is a bellows having known piston pump, which may be instead a diaphragm pump can be used equivalent.

Es ist jedoch bisher nicht bekannt, derartige Membran-oder Kolbenpumpen als wenigstens zweite Abpumpstufe für mehrstufige Aggregate zu verwenden und insbesondere mit einer ölgedichteten, vakuumerzeugenden Drehschieber- Verdrängerpumpenstufe als einer wenigstens ersten Ab­ pumpstufe in Reihe zu schalten.However, it is not yet known to use such membrane or Piston pumps as at least a second pumping stage for to use multi-stage units and especially with an oil-sealed, vacuum-producing rotary valve Displacement pump stage as an at least first Ab to connect the pump stage in series.

Zur näheren Erläuterung der Erfindung, ihrer weiteren Merkmale und Vorteile dient die nachfolgende Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen anhand der bei­ gefügten Zeichnungen. For a more detailed explanation of the invention, its further The following description serves features and advantages of preferred embodiments based on the added drawings.  

Dabei zeigt:It shows:

Fig. 1 in schematischer, teilweise geschnittener Seitenansicht ein Vakuumpumpenaggregat, das aus einer ersten, vakuumerzeugenden Abpumpstufe und einer zweiten, nachgeschalteten, auf Atmos­ phärendurck verdichtenden Abpumpstufe besteht; Figure 1 is a schematic, partially sectioned side view of a vacuum pump unit which consists of a first, vacuum-generating pumping stage and a second, downstream pumping stage compressing to atmospheric pressure;

Fig. 2 in schematischer, teilweise geschnittener Seitenansicht eine weitere Ausführung eines Vakuumpumpenaggregates, das aus zwei ersten, vakuumerzeugenden Abpumpstufen und aus zwei zweiten, auf Atmosphärendruck verdichtenden Abpumpstufen in Form einer Reihenschaltung sämtlicher Abpumpstufen besteht; und Fig. 2 shows a schematic, partially sectioned side view of another embodiment of a vacuum pump unit which consists of two first vacuum generating Abpumpstufen and two second, compressed to atmospheric pressure Abpumpstufen in the form of a series connection of all Abpumpstufen; and

Fig. 3 in schematischer, teilweiser Schnittansicht eine Membranpumpenstufe, wie sie bei den Aggregaten gemäß Fig. 1 bzw. Fig. 2 als zweite Abpumpstufe verwendet ist. Fig. 3 shows a schematic, partial sectional view of a diaphragm pump stage, as it is used in the aggregates of FIG. 1 or FIG. 2 as the second pump down.

Gemäß Fig. 1 besteht das Vakuumpumpenaggregat aus einer ersten Abpumpstufe A 1, die durch eine ölgedichtete, vakuumerzeugende Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe 15 gebildet ist, sowie aus einer zweiten Abpumpstufe A 2 in Form einer ölfreien, kondensations- und korrosionsun­ empfindlichen, auf Atmosphärendruck verdichtenden Mem­ branpumpenstufe 17, wobei diese beiden Abpumpstufen A 1 und A 2 in Reihe geschaltet sind. Die Drehschieber-Verdränger­ pumpenstufe 15 ist in bekannter Weise durch ein in einem Ölreservoir 7 befindliches Öl gedichtet und steht an ihrer Einlaß-Seite 1 b mit einem Saugstutzen 1 a in Verbindung, durch den das aus einem Rezipienten abzupumpende Medium (Dampf und/oder dampfhaltiges Gemisch und/oder Gas- Dampf-Gemisch) in einen Schöpfraum 2 gelangt. In diesem Schöpfraum befindet sich ein exzentrisch angeordneter Rotor 3 mit zwei federbelasteten Drehschiebern 4 a und 4 b. Durch die Rotation des Rotors 3 wird in bekannter Weise periodisch der Schöpfraum 2 abgetrennt und das Medium sodann in einem Kompressionsraum 5 soweit verdichtet, bis es durch die mit einem Ventil versehene Auslaß-Seite 6 der Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe 15 ausgestoßen wird. Das abgepumpte Medium wird sodann in ein über dem Öl befindliches Zwischenvolumen 8 abgegeben, welches durch einen Überströmkanal 9 mittels der zweiten Abpumpstufe A 2 abgepumpt wird. Bei dieser zweiten Abpumpstufe handelt es sich, wie bereits erwähnt, um eine Membranpumpenstufe 17, wie sie im einzelnen aus der Fig. 3 ersichtlich ist. Die Membranpumpenstufe 17 weist eine randseitig eingespannte, zu einer hin- und hergehenden bzw. oszillierenden Bewegung befähigte Membrane 10 auf, die zu einer periodischen Veränderung des Volumens eines Schöpfraumes 11 dient. Im Falle einer gem. Fig. 1 nach rechts verlaufenden Bewegung der Membrane 10 vergrößert sich dieser Schöpfraum 11 und ein vorgeschaltetes, strömungsgesteuertes Flatterventil 12 öffnet sich. Hierdurch wird das Medium über die Über­ strömleitung 9 aus dem Zwischenvolumen 8 der ersten Abpumpstufe A 1 in den Schöpfraum 11 der Membranpumpenstufe 17 angesaugt. Bei Bewegungsumkehr der Membrane 10 und Beginn des Kompressionstaktes schließt sich das Flatter­ ventil 12 und das abgepumpte Medium wird in dem Schöpfraum 11 verdichtet, bis es schließlich bei Erreichen des Atmosphärendruckes durch ein weiteres, ausgangsseitig angeordnetes, strömungsgesteuertes Flatterventil 13 an Atmosphäre ausgestoßen wird. Zur mechanischen Verein­ fachung des Antriebes können die Drehschieber-Verdränger­ pumpenstufe 15 und die Membranpumpenstufe 17 auf einer gemeinsamen Motorwelle montiert sein, was aus Fig. 1 im einzelnen nicht ersichtlich ist.Referring to FIG. 1, the vacuum pump unit of a first pump down A 1, which is formed by an oil-sealed vacuum-generating rotary vane Verdrängerpumpenstufe 15 and branpumpenstufe from a second pump down A 2 in the form of an oil-free, condensation and korrosionsun sensitive compressed to atmospheric pressure Mem 17 , these two pumping stages A 1 and A 2 being connected in series. The rotary valve displacer pump stage 15 is sealed in a known manner by an oil in an oil reservoir 7 and is on its inlet side 1 b with a suction port 1 a in connection, through which the medium to be pumped out of a recipient (steam and / or steam-containing Mixture and / or gas-steam mixture) reaches a scoop 2 . In this scoop there is an eccentrically arranged rotor 3 with two spring-loaded rotary valves 4 a and 4 b . By rotating the rotor 3 , the scoop chamber 2 is periodically separated in a known manner and the medium is then compressed in a compression chamber 5 until it is expelled through the valve-side outlet side 6 of the rotary vane displacement pump stage 15 . The pumped medium is then discharged into an intermediate volume 8 located above the oil, which is pumped out through an overflow channel 9 by means of the second pumping stage A 2 . As already mentioned, this second pumping stage is a diaphragm pump stage 17 , as can be seen in detail from FIG. 3. The diaphragm pump stage 17 has an edge clamped, capable of a reciprocating or oscillating motion of diaphragm 10, which serves a pumping chamber 11 to a periodic variation in the volume. In the case of a Fig. 1 to the right extending movement of the diaphragm 10, this increased pump chamber 11 and an upstream, flow-controlled reed valve 12 opens. In this way, the medium is about the strömleitung About 9 from the intermediate volume 8 of the first pump down A 1 into the pump chamber 11 of the diaphragm pump stage 17 is sucked. When reversing the movement of the membrane 10 and beginning of the compression stroke, the flutter valve 12 closes and the pumped medium is compressed in the scooping chamber 11 until it is finally expelled to the atmosphere when the atmospheric pressure is reached by a further, flow-controlled flap valve 13 arranged on the output side. For mechanical simplification of the drive, the rotary vane pump stage 15 and the diaphragm pump stage 17 can be mounted on a common motor shaft, which is not apparent from Fig. 1 in detail.

Bei der aus der Fig. 2 ersichtlichen Anordnung handelt es sich um ein Vakuumpumpenaggregat, bei dem zwei hinter­ einander geschaltete Drehschieber-Pumpenstufen 15 a und 15 b als jeweils erste, vakuumerzeugende Abpumpstufen A 11 und A 12 vorgesehen sind, an welche sich zwei hintereinander geschaltete Membranpumpenstufen 17 a und 17 b als jeweils zweite, auf Atmosphärendruck verdichtende Abpumpstufen A 21 und A 22 anschließen.The arrangement shown in FIG. 2 is a vacuum pump unit in which two rotary vane pump stages 15 a and 15 b connected in series are provided as first, vacuum-generating pumping stages A 11 and A 12 , to which two series-connected pump stages Connect diaphragm pump stages 17 a and 17 b as second pumping stages A 21 and A 22, which compress to atmospheric pressure.

Im übrigen entsprechen die beiden Drehschieber-Pumpen­ stufen 15 a und 15 b im wesentlichen der in Fig. 1 darge­ stellten Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe 15, und in analoger Weise entsprechen die beiden Membranpumpenstufen 17 a und 17 b der Membranpumpenstufe 17 gemäß Fig. 1.Otherwise, the two rotary vane pump stages 15 a and 15 b essentially correspond to the rotary vane displacement pump stage 15 shown in FIG. 1, and in an analogous manner the two diaphragm pump stages 17 a and 17 b correspond to the diaphragm pump stage 17 according to FIG .

Die erste, das Vakuum erzeugende Drehschieber-Pumpenstufe 15 a wird über einen Überströmkanal 14 durch die weitere Drehschieber-Pumpenstufe 15 b abgepumpt. Die Drehschieber- Pumpenstufe 15 b steht über einen Überströmkanal 16 mit der Membranpumpenstufe 17 a in Verbindung, so daß das Zwischen­ volumen der Drehschieber-Pumpenstufe 15 b durch die Membranpumpenstufe 17 a abgepumpt werden kann. Sodann wird über einen weiteren Überströmkanal 18 die Membranpumpen­ stufe 17 a durch eine weitere, im wesentlichen baugleiche Membranpumpenstufe 17 b abgepumpt, die ihrerseits über einen Auslaß-Stutzen 20 an Atmosphäre fördert.The first, the vacuum-producing rotary vane pump stage 15 a is pumped out via an overflow channel 14 through the further rotary vane pump stage 15 b . The rotary vane pump stage 15 b is connected via an overflow channel 16 with the diaphragm pump stage 17 a , so that the intermediate volume of the rotary vane pump stage 15 b can be pumped out through the diaphragm pump stage 17 a . Then, via a further overflow channel 18, the diaphragm pump stage 17 a is pumped out through a further, essentially identical diaphragm pump stage 17 b , which in turn conveys to the atmosphere via an outlet nozzle 20 .

In gleicher Weise wie die Membranpumpenstufe 17 gemäß Fig. 1 weisen auch die Membranpumpenstufen 17 a und 17 b gemäß Fig. 2 jeweils eine randseitig eingespannte, oszilla­ tionsfähige Membrane 19 a bzw. 19 b auf.In the same way as the diaphragm pump stage 17 according to FIG. 1, the diaphragm pump stages 17 a and 17 b according to FIG. 2 each have an oscillating membrane 19 a or 19 b clamped in at the edge.

Die jeweiligen Schöpfvolumina der Drehschieber-Verdränger­ pumpenstufen 15 a und 15 b einerseits und der Membranpumpen­ stufen 17 a und 17 b können unterschiedlich groß bemessen sein und für diesen Fall ist an die Überströmleitung 16 ein Überdruckventil 21 angeschlossen, durch welches ein etwa entstehender Überdruck direkt an die Atmosphäre abgegeben wird.The respective scooping volumes of the rotary vane displacer pump stages 15 a and 15 b on the one hand and the diaphragm pump stages 17 a and 17 b can be of different sizes and for this case an overpressure valve 21 is connected to the overflow line 16 , through which an overpressure which arises is directly applied the atmosphere is released.

Ein derartiger Fall tritt beispielsweise zu Beginn des Abpumpens eines Vakuumrezipienten ein, wobei die Dreh­ schieber-Pumpenstufen 15 a und 15 b bei einem Druck bei oder nahe Atmosphärendruck fördern und die kleineren Membran­ pumpenstufen 17 a und 17 b die geförderte Gasmenge oder dgl. nicht bewältigen können.Such a case occurs, for example, at the beginning of the pumping down of a vacuum recipient, the rotary slide pump stages 15 a and 15 b conveying at a pressure at or near atmospheric pressure and the smaller membrane pump stages 17 a and 17 b not able to cope with the amount of gas conveyed or the like can.

Eine Kondensation tritt in diesem Falle in den ölge­ dichteten Drehschieberpumpenstufen 15 a und 15 b nicht auf, da wegen des hohen Luftanteiles der Taupunkt der mit abgepumpten Dämpfe nicht überschritten wird.In this case, condensation does not occur in the oil-sealed rotary vane pump stages 15 a and 15 b , since the dew point of the vapors pumped out is not exceeded due to the high proportion of air.

Zur Reduktion oder zur Vermeidung von Kondensationen kann an verschiedenen Stellen des Vakuum-Pumpenaggregats durch entsprechend angeordnete Gasballastventile Gas in der Weise eingelassen werden, daß bei der Kompression der Taupunkt der abzupumpenden Dämpfe nicht überschritten wird.To reduce or avoid condensation at various points in the vacuum pump unit correspondingly arranged gas ballast valves in the gas Be let in that the compression of the Dew point of the vapors to be pumped out not exceeded becomes.

Bei der Vorrichtung gemäß Fig. 2 ist beispielsweise ein Gasballastventil 22 an die Überströmleitung 14 zwischen den beiden Drehschieber-Pumpenstufen 15 a und 15 b ange­ schlossen, ferner ist die Drehschieber-Pumpenstufe 15 b mit ihrem dortigen Kompressionsraum direkt an ein weiteres Gasballastventil 23 angeschlossen.In the device according to FIG. 2, for example, a gas ballast valve 22 is connected to the overflow line 14 between the two rotary vane pump stages 15 a and 15 b , furthermore the rotary vane pump stage 15 b is directly connected to another gas ballast valve 23 with its compression space there.

Im Bereich der zweiten Abpumpstufen A 21 und A 22 ist ein weiteres Gasballastventil 24 an die Überströmleitung 18 zwischen den beiden Membranpumpenstufen 17 a und 17 b angeschlossen.In the area of the second pumping stages A 21 and A 22 , a further gas ballast valve 24 is connected to the overflow line 18 between the two diaphragm pump stages 17 a and 17 b .

Wie die Membranpumpenstufe 17 gemäß Fig. 1 bzw. die Membranpumpenstufen 17 a und 17 b gemäß Fig. 2 im einzelnen ausgebildet sind, ist aus der Fig. 3 zu ersehen.As the membrane pump stage 17 a and 17 b of FIG. 2 is formed in each of 17 of FIG. 1 and the diaphragm pumping stages is known from Fig. 3 to be seen.

Innerhalb eines Membranpumpen-Gehäuses 37 sitzt auf einer Antriebswelle 25 ein Exzenter 26, der über einen Pleuel 27 eine Membrane 28 auf und ab bewegt. Hierdurch wird das Volumen eines Schöpfraumes 29 periodisch vergrößert und verkleinert, derart, daß bei einer Vergrößerung durch ein Einlaßventil 30 Gas oder dgl. in den Schöpfraum 29 einströmt und während der anschließenden Kompressionsphase durch ein Ausstoßventil 31 aus der Membranpumpenstufe ausgestoßen wird.An eccentric 26 sits on a drive shaft 25 within a diaphragm pump housing 37 and moves a diaphragm 28 up and down via a connecting rod 27 . Thereby the volume is increased a pump chamber 29 periodically and scaled such that flows at a magnification by an intake valve 30 gas or the like. In the suction chamber 29 and is discharged from the diaphragm pump stage during the subsequent compression phase by a discharge valve 31.

Die Membrane 28 wird randseitig durch zwei oberhalb und unterhalb angeordnete Spannscheiben 32 und 33 gehalten. Die Spannscheibe 33 besteht hierbei aus einem korrosions­ beständigen Material oder ist mit einer korrosionsbe­ ständigen Schicht überzogen. Die Membrane 28 ist schöpf­ raumseitig mit einem Fluor-Kunststoff beschichtet. Der Schöpfraum 29 wird weiterhin durch einen Zylinderkopf 34 mit einer der Spannscheibe 33 entsprechenden Formgebung begrenzt, der beispielsweise aus einem korrosionsbe­ ständigen Kunststoff besteht, der zur Verbesserung seiner mechanischen Eigenschaften etwa mit einem insbesondere keramischen Füllstoff verstärkt sein kann. Das Einlaß­ ventil 30 sowie das Ausstoßventil 31 bestehen aus einem korrosionsbeständigen Fluor-Elastomer. Ein oberhalb des Zylinderkopfes 34 angeordneter Zylinderkopfdeckel 35 besteht in bevorzugter Weise aus einem korrosionsbe­ ständigen, verstärkten Fluor-Kunststoff, wobei das Verstärkungsmaterial so gewählt sein kann, daß es auch die Wärmeabfuhr verbessert. Eine Kammerung 36 aus Metall gibt den Kunststoffteilen der Membranpumpenstufe zusätzliche Steifigkeit und verhindert das Kriechen unter Dauerlast.The edge of the membrane 28 is held by two tensioning disks 32 and 33 arranged above and below. The spring washer 33 consists of a corrosion-resistant material or is coated with a corrosion-resistant layer. The membrane 28 is coated on the room side with a fluoroplastic. The scoop chamber 29 is further limited by a cylinder head 34 with a shape corresponding to the tensioning washer 33 , which consists, for example, of a corrosion-resistant plastic which can be reinforced with a ceramic filler, for example, to improve its mechanical properties. The inlet valve 30 and the exhaust valve 31 consist of a corrosion-resistant fluorine elastomer. An arranged above the cylinder head 34 cylinder head cover 35 is preferably made of a corrosion resistant, reinforced fluoroplastic, the reinforcing material can be selected so that it also improves heat dissipation. A chamber 36 made of metal gives the plastic parts of the diaphragm pump stage additional rigidity and prevents creeping under permanent load.

Erfindungstragend für die im Vorangehenden erläuterte Vorrichtung ist somit der Gedanke, mindestens eine ölgedichtete Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe als die das Vakuum erzeugende, wenigstens erste Abpumpstufe einzusetzen und das von dieser ersten Abpumpstufe ge­ förderte Gas sowie der diese Stufe umgebende Ölraum mittels einer ölfreien, kondensations- und korrosions­ unempfindlichen, auf Atmosphärendruck verdichtenden Membranpumpenstufe als wenigstens einer zweiten Abpump­ stufe abzupumpen.Invention-bearing for those explained in the foregoing Device is therefore the idea of at least one oil-sealed rotary vane displacement pump stage than that the vacuum-generating, at least first pumping stage to use and the ge of this first pumping stage produced gas and the oil space surrounding this stage by means of an oil-free, condensation and corrosion insensitive, compressing to atmospheric pressure Diaphragm pump stage as at least a second pump down pump down stage.

Eine Membranpumpe in bekannter Ausführung besteht im Prinzip aus Materialien, die nach dem gegenwärtigen Stand der Technik gegen fast alle korrosiven oder sonstwie aggressiven Medien beständig sind. Eine derartige Membran­ pumpenstufe ist somit in der Lage, auch im Falle des Auftretens von zumindest teilweisen Kondensationen die geförderten Dämpfe bis auf Atmosphärendruck zu verdichten und damit an Atmosphäre zu fördern. Auf der Auspuffseite der Membranpumpenstufe können die abgegebenen Medien aufgrund ihres höheren Druckes im allgemeinen leicht vollständig kondensiert und damit einer kontrollierten Entsorgung zugeführt werden. A diaphragm pump in a known version consists in Principle of materials according to the current status the technology against almost all corrosive or otherwise aggressive media are resistant. Such a membrane pump stage is thus able, even in the case of Occurrence of at least partial condensation compress the extracted vapors to atmospheric pressure and thus to promote atmosphere. On the exhaust side The diaphragm pump stage can discharge the media generally light due to its higher pressure completely condensed and thus a controlled Disposal.  

  • Bezugszeichenliste: A₁Erste Abpumpstufe A₂Zweite Abpumpstufe A₁₁ + A₁₂Zwei aufeinanderfolgende erste
    Abpumpstufen A₂₁ + A₂₂Zwei aufeinanderfolgende zweite
    Abpumpstufen 1 aSaugstutzen 2 bEinlaß-Seite 3Rotor 4 aDrehschieber 4 bDrehschieber 5Kompressionsraum 6Auslaß-Seite mit Ventil 7Ölreservoir 8Zwischenvolumen 9Überströmkanal 10Membrane 11Schöpfraum 12Flatterventil 13Flatterventil 14Überströmkanal 15Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe 15 aDrehschieber-Pumpenstufe 15 bDrehschieber-Pumpenstufe 16Überströmkanal 17Membranpumpenstufe 17 aMembranpumpenstufe 17 bMembranpumpenstufe 18Überströmkanal 19 aMembrane 19 bMembrane 20Auslaß-Stutzen 21Überdruckventil 22Gasballastventil 23Gasballastventil 24Gasballastventil 25Antriebswelle 26Exzenter 27Pleuel 28Membrane 29Schöpfraum 30Einlaßventil 31Ausstoßventil 32Spannscheibe 33Spannscheibe 34Zylinderkopf 35Zylinderkopfdeckel 36Kammerung 37Membranpumpen-Gehäuse    LIST OF REFERENCE SIGNS: A ₁First pumping stage A ₂Second pumping stage A ₁₁ + A ₁₂Two successive first
    Pumping stages A ₂₁ + A ₂₂Two successive second
    Pumping stages 1 a suction port 2 b inlet side 3 rotor 4 a rotary slide valve 4 b rotary slide valve 5 compression chamber 6 outlet side with valve 7 oil reservoir 8 intermediate volume 9 overflow channel 10 diaphragm 11 scoop chamber 12 flap valve 13 flap valve 14 overflow channel 15 rotary slide valve displacement pump stage 15 a rotary valve pump stage 15 b rotary vane pump stage 16 overflow duct 17 diaphragm pump stage 17 a diaphragm pump stage 17 b diaphragm pump stage 18 overflow duct 19 a diaphragm 19 b diaphragm 20 outlet connector 21 pressure relief valve 22 gas ballast valve 23 gas ballast valve 24 gas ballast valve 25 drive shaft 26 eccentric 27 connecting rod 28 diaphragm 29 scoop chamber 30 inlet valve 31 exhaust valve 32 Spring washer 33 Spring washer 34 Cylinder head 35 Cylinder head cover 36 Chambering 37 Diaphragm pump housing

Claims (21)

1. Verfahren zum wenigstens zweistufigen Abpumpen von Dämpfen und/oder dampfhaltigen Gemischen und/oder Gas-Dampf-Gemischen oder dgl. Medien aus wenigstens einem Rezipienten durch Evakuieren, dadurch gekennzeichnet, daß der wenigstens ersten, vakuumerzeugenden Abpump­ stufe (A 1) eine wenigstens zweite, auf Atmosphärendruck verdichtende Abpumpstufe (A 2) in der Weise nachge­ schaltet wird, daß die wenigstens erste Abpumpstufe bzw. der die wenigstens erste Abpumpstufe umgebende Raum durch die wenigstens zweite Abpumpstufe bis unter einen Druck abgepumpt wird, der dem Taupunkt des jeweiligen abzupumpenden Mediums entspricht. 1. A method for pumping at least two stages of vapors and / or steam-containing mixtures and / or gas-steam mixtures or the like. Media from at least one recipient by evacuation, characterized in that the at least first, vacuum-generating pumping stage ( A 1 ) at least one second, at atmospheric pressure pumping stage ( A 2 ) is switched in such a way that the at least first pumping stage or the space surrounding the at least first pumping stage is pumped out by the at least second pumping stage to a pressure below the dew point of the respective medium to be pumped out corresponds. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Abpumpen der wenigstens ersten, vakuumerzeu­ genden Abpumpstufe (A 1) mittels wenigstens einer zweiten, ölfreien, kondensations- und korrosionsun­ empfindlichen Abpumpstufe (A 2) erfolgt.2. The method according to claim 1, characterized in that the pumping of the at least first, vacuum-generating pumping stage ( A 1 ) by means of at least a second, oil-free, condensation and corrosion-sensitive pumping stage ( A 2 ). 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als wenigstens erste, vakuumerzeugende Abpumpstufe (A 1) eine ölgedichtete Stufe verwendet wird.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that an oil-sealed stage is used as at least the first, vacuum-generating pumping stage ( A 1 ). 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß als wenigstens zweite, auf Atmosphärendruck verdichtende Abpumpstufe (A 2) eine Membranpumpenstufe verwendet wird.4. The method according to any one of claims 1-3, characterized in that a diaphragm pump stage is used as at least the second pumping stage ( A 2 ) compressing to atmospheric pressure. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens erste Abpumpstufe (A 1) und die wenigstens zweite Abpumpstufe (A 2) gemeinsam ange­ trieben werden. 5. The method according to any one of claims 1-4, characterized in that the at least first pumping stage ( A 1 ) and the at least second pumping stage ( A 2 ) are driven together. 6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schöpfvolumina der wenigstens ersten, vakuumer­ zeugenden Abpumpstufe (A 1) und der wenigstens zweiten, auf Atmosphärendruck verdichtenden Abpumpstufe (A 2) unterschiedlich groß bemessen werden.6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the scooping volumes of the at least first, vacuum-generating pumping stage ( A 1 ) and the at least second, to atmospheric pressure pumping stage ( A 2 ) are sized differently. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verhältnisse der jeweiligen Schöpfvolumina in Abhängigkeit von den jeweiligen Kompressionsverhält­ nissen in der Weise gewählt werden, daß die in der wenigstens ersten, größeren, vakuumerzeugenden Ab­ pumpstufe (A 1) geförderte Gasmenge jederzeit durch die wenigstens zweite, kleinere, auf Atmosphärendruck verdichtende Abpumpstufe (A 2) gefördert wird.7. The method according to claim 6, characterized in that the ratios of the respective scooping volumes depending on the respective compression ratios are chosen in such a way that in the at least first, larger, vacuum-generating pumping stage ( A 1 ) delivered gas quantity at any time by the at least second, smaller, pumping stage ( A 2 ) compressing to atmospheric pressure is conveyed. 8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in mindestens eine der wenigstens ersten Abpump­ stufe und/oder der wenigstens zweiten Abpumpstufe Gasballast eingeleitet wird.8. The method according to any one of the preceding claims, characterized, that in at least one of the at least first pump down stage and / or the at least second pumping stage Gas ballast is introduced. 9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den wenigstens ersten Abpumpstufen und/oder den wenigstens zweiten Abpumpstufen Gasballast eingeleitet wird. 9. The method according to any one of the preceding claims, characterized, that between the at least first pumping stages and / or the at least second pumping stages of gas ballast is initiated.   10. Vorrichtung zum Abpumpen von Dämpfen und/oder dampf­ haltigen Gemischen und/oder Gas-Dampf-Gemischen oder dgl. Medien aus wenigstens einem Rezipienten durch Evakuieren, mit einem Vakuumpumpenaggregat, das aus wenigstens einer ersten Abpumpstufe und wenigstens einer zweiten Abpumpstufe besteht, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine ölgedichtete, vakuumerzeugende Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe (15) als erste Abpumpstufe (A 1) mit wenigstens einer ölfreien, kondensations- und korrosionsunempfindlichen, auf Atmosphärendruck verdichtenden Membranpumpenstufe (17) als zweiten Abpumpstufe (A 2) in Reihe geschaltet ist.10. Device for pumping vapors and / or steam-containing mixtures and / or gas-steam mixtures or the like. Media from at least one recipient by evacuation, with a vacuum pump unit, which consists of at least a first pumping stage and at least a second pumping stage, in particular for carrying out the method according to claim 1, characterized in that at least one oil-sealed, vacuum-generating rotary vane displacement pump stage ( 15 ) as the first pumping stage ( A 1 ) with at least one oil-free, condensation and corrosion-insensitive, diaphragm pump stage ( 17 ) compressing to atmospheric pressure as the second pumping stage ( A 2 ) is connected in series. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß ein gemeinsamer Antrieb für die Drehschieber- Verdrängerpumpenstufe(n) (15) und die nachgeschal­ tete(n) (17) Membranpumpenstufe(n) vorgesehen ist.11. The device according to claim 10, characterized in that a common drive for the rotary vane displacement pump stage (s) ( 15 ) and the downstream (n) (17) diaphragm pump stage (s) is provided. 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe(n) (15) und die Membranpumpenstufe(n) (17) auf einer gemein­ samen Motorwelle montiert sind.12. The apparatus according to claim 11, characterized in that the rotary vane displacement pump stage (s) ( 15 ) and the diaphragm pump stage (s) ( 17 ) are mounted on a common motor shaft. 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10-12, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens erste Drehschieber-Verdränger­ pumpenstufe (15) und die wenigstens zweite Membran­ pumpenstufe (17) unterschiedlich groß bemessene Schöpfvolumina (2; 11) aufweisen.13. The device according to one of claims 10-12, characterized in that the at least first rotary vane displacement pump stage ( 15 ) and the at least second diaphragm pump stage ( 17 ) have differently sized scooping volumes ( 2 ; 11 ). 14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Schöpfvolumen (2) der wenigstens ersten Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe (15) größer bemessen ist als das Schöpfvolumen (11) der wenig­ stens zweiten Membranpumpenstufe (17), wobei die Verhältnisse der jeweiligen Schöpfvolumina in Ab­ hängigkeit von den jeweiligen Kompressionsverhält­ nissen in der Weise gewählt sind, daß die in der wenigstens ersten Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe geförderte Gasmenge jederzeit durch die wenigstens zweite Membranpumpenstufe förderbar ist.14. The apparatus according to claim 13, characterized in that the scooping volume ( 2 ) of the at least first rotary vane displacement pump stage ( 15 ) is larger than the scooping volume ( 11 ) of the least least second diaphragm pump stage ( 17 ), the ratios of the respective scooping volumes in From dependence on the respective compression ratios are chosen in such a way that the amount of gas delivered in the at least first rotary vane displacement pump stage can be conveyed at any time through the at least second diaphragm pump stage. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10-14, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der Drehschieber-Verdränger­ pumpenstufe (n) und/oder wenigstens eine der Membran­ pumpenstufe (n) mit mindestens einem Gasballastventil (23) versehen sind.15. The device according to any one of claims 10-14, characterized in that at least one of the rotary valve displacer pump stage ( s ) and / or at least one of the diaphragm pump stage ( s ) are provided with at least one gas ballast valve ( 23 ). 16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10-15, dadurch gekennzeichnet, daß der (die) Leitungsbereich(e) zwischen den auf­ einanderfolgenden Abpumpstufen, z. B. zwischen der wenigstens ersten Drehschieber-Verdrängerpumpenstufe und der wenigstens zweiten Membranpumpenstufe mit mindestens einem Gasballastventil versehen ist (sind).16. The device according to any one of claims 10-15, characterized, that the line area (s) between the successive pumping stages, e.g. B. between the  at least the first rotary vane displacement pump stage and the at least second diaphragm pump stage at least one gas ballast valve is (are). 17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10-16, dadurch gekennzeichnet, daß als erste, vakuumerzeugende Abpumpstufen (A 11, A₁₂) zwei hintereinander geschaltete Drehschieber­ pumpenstufen (15 a, 15 b) und als zweite, auf Atmos­ phärendruck verdichtende Abpumpstufen (A 21, A 22) zwei hintereinander geschaltete Membranpumpenstufen (17 a, 17 b) vorgesehen sind.17. The device according to one of claims 10-16, characterized in that as the first, vacuum-generating pumping stages ( A 11, A ₁₂) two rotary vane pump stages connected in series ( 15 a , 15 b ) and as a second pumping stages compressing to atmospheric pressure ( A 21, A 22 ) two diaphragm pump stages ( 17 a , 17 b ) connected in series are provided. 18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß an eine Überströmleitung (14) zwischen den beiden Drehschieberpumpenstufen (15 a, 15 b) ein Gasballast­ ventil (22) angeschlossen ist.18. The apparatus according to claim 17, characterized in that a gas ballast valve ( 22 ) is connected to an overflow line ( 14 ) between the two rotary vane pump stages ( 15 a , 15 b ). 19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß an eine Überströmleitung (18) zwischen den beiden Membranpumpenstufen (17 a, 17 b) ein Gasballastventil (24) angeschlossen ist.19. The apparatus of claim 17 or 18, characterized in that a gas ballast valve ( 24 ) is connected to an overflow line ( 18 ) between the two diaphragm pump stages ( 17 a , 17 b ). 20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17-19, dadurch gekennzeichnet, daß an eine Überströmleitung (16) zwischen der Drehschieberpumpenstufe (15 b) und der Membranpumpen­ stufe (17 a) ein Überdruckventil (21) zum Abgeben von etwa entstehendem Überdruck direkt an die Atmosphäre angeschlossen ist.20. Device according to one of claims 17-19, characterized in that to an overflow line ( 16 ) between the rotary vane pump stage ( 15 b ) and the diaphragm pump stage ( 17 a ), a pressure relief valve ( 21 ) for releasing any overpressure directly to the Atmosphere is connected. 21. Verwendung einer ölfreien, kondensations- und korro­ sionsunempfindlichen, auf Atmosphärendruck verdich­ tenden Membranpumpenstufe als wenigstens zweite Stufe (A 2) für mehrstufige Aggregate zum Abpumpen von Dämpfen und/oder dampfhaltigen Gemischen und/oder Gas- Dampf-Gemischen oder dergl. Medien aus wenigstens einem Rezipienten durch Evakuieren.21. Use of an oil-free, condensation and corrosion-insensitive, to atmospheric pressure compressing diaphragm pump stage as at least the second stage ( A 2 ) for multi-stage units for pumping vapors and / or steam-containing mixtures and / or gas-steam mixtures or the like at least one recipient by evacuation.
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