DE3709614A1 - Verfahren und vorrichtung zur positionsbestimmung - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur positionsbestimmungInfo
- Publication number
- DE3709614A1 DE3709614A1 DE19873709614 DE3709614A DE3709614A1 DE 3709614 A1 DE3709614 A1 DE 3709614A1 DE 19873709614 DE19873709614 DE 19873709614 DE 3709614 A DE3709614 A DE 3709614A DE 3709614 A1 DE3709614 A1 DE 3709614A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- light source
- detector
- photosensitive
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 3
- 231100000289 photo-effect Toxicity 0.000 description 3
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/28—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication
- G01D5/30—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication the beams of light being detected by photocells
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Positionsbestimmung eines von
einer Lichtquelle auf einem eindimensionalen positionsempfindlichen Detektor
erzeugten Lichtpunktes, insbesondere für ein optisches Potentiometer,
wobei die Position des Lichtpunktes durch den Quotienten zwischen
der Differenz und der Summe zweier Ströme gegeben ist, welche an zwei
auf der photoempfindlichen Fläche des Detektors gegenüberliegenden Elektroden
abgeführt werden sowie Vorrichtungen zur Durchführung dieses Verfahrens.
Die Erfassung der Position von Lichtpunkten ist bei optoelektrischen
Instrumenten, die in Meß- und Regelungssystemen eingesetzt werden, bedeutsam.
Eine dazu geeignete Einrichtung ist der als PSD bekannte positionsempfindliche
Detektor, der sich "laterale Photoeffekte" auf der
Oberfläche eines Halbleiter-Lichtdetektors zunutze macht. Ein derartiger
PSD ist prinzipiell aufgebaut wie eine großflächige PIN-Diode, deren
P- und/oder N-Schicht als dünne Schicht sehr konstanten Flächenwiderstandes
ausgeführt ist, die in eindimensionaler Ausführung an zwei Kanten
mit einem Paar von Elektroden versehen ist. Diese dünne Schicht bildet
die PN-Schicht, die den inneren Photoeffekt zeigt.
In Fig. 1 ist der prinzipielle Aufbau eines derartigen PSD gezeigt. Die
Entfernung zwischen den Elektroden A und B ist L und der Widerstand ist
R L . Die Entfernung der Elektrode A zur Position eines auftreffenden
Lichtpunktes ist x und der Widerstand R x . Der Photostrom der am Punkt
des Lichteinfalls entsteht, wird von den zwei Elektroden A und B abgeführt.
Diese Ausgangsströme sind proportional zur Eingangsenergie und
umgekehrt proportional zum Widerstand der Schicht. Ist der Photostrom,
der vom einfallenden Licht produziert wird I O , so sind die Ströme I A
und I B zu den Elektroden A und B durch folgende Gleichungen bestimmt:
Da die Widerstandsschicht einheitlich und der Flächenwiderstand konstant
ist, sind die jeweiligen Entfernungen zu den Elektroden und der entsprechende
Widerstand zueinander proportional. Aus diesem Grund kann in
den Gleichungen (1) R L durch L und R x durch x ersetzt werden. Durch
Zusammenfassung der so umgeschriebenen Gleichungen (1) ergibt sich:
Die Position des Lichtpunktes ist damit, unabhängig von seiner Energie,
durch den Quotienten aus der Differenz und der Summe der Ströme I A und
I B gegeben.
Das Verfahren zur Positionsbestimmung mit einem derartigen Detektor besteht
demzufolge darin, daß die beiden Ströme I A und I B zum einen
einer Addierstufe und zum anderen einer Subtrahierstufe zugeführt werden,
deren Ausgänge jeweils mit einem elektronischen Dividierer verbunden
werden. Das Ausgangssignal dieses Dividierers ist dann dem Wert x
proportional. Eine derartige Einrichtung ist bei entsprechender Lichtführung
auch zur Winkelerfassung verwendbar; eine Anwendung für ein optisches
Potentiometer ist jedoch nicht bekannt.
Ein spezielles optisches Potentiometer ist z. B. aus der DE-OS 33 07 639
bekannt, bei dem entlang einer Kreisbahn eine zwischen 0° und 360° in
ihren optischen Eigenschaften kontinuierlich variierende Abtastschicht
vorgesehen ist, die mit Hilfe einer Lichtquelle beleuchtet ist und das
zu einem Lichtempfänger gelangende Licht entsprechend der Drehstellung
eines speziell ausgebildeten Steuerteils in seiner Intensität moduliert.
Ein derartiges, auf Veränderungen der Lichtintensität basierendes Potentiometer
ist ebenso wie der obengenannte positionsempfindliche Detektor
relativ stark temperaturabhängig und zeigt zudem Alterungserscheinungen,
die zu Meßfehlern führen.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Positonsbestimmung
eines von einer Lichtquelle auf einem eindimensionalen positionsempfindlichen
Detektor erzeugten Lichtpunktes, insbesondere für ein optisches
Potentiometer zu schaffen, bei welchem Temperatur- und Alterungsabhängigkeiten
vermieden werden und welches sich bei der Ausführung miniaturisieren
und mit relativ geringem elektronischen Aufwand durchführen
läßt. Diese Aufgabe erfüllt ein nach den kennzeichnenden Merkmalen des
Patentanspruchs 1 ausgebildeten Verfahren sowie eine Vorrichtung zur
Durchführung des Verfahrens gemäß Patentanspruch 2 und ein optisches
Potentiometer nach den Patentansprüchen 3, 4 und 5.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die Summe der Ströme I A und
I B eines positionsempfindlichen Detektors, wie er oben beschrieben
wurde, durch eine spezielle Regelung der Lichtstärke der Lichtquelle
konstant gehalten, so daß der Summenstrom I A +I B für alle Positonen
des Lichtpunktes auf dem Detektor gleich und konstant ist. Wie sich
aus der obengenannten Gleichung (2) leicht erkennen läßt, ist dann die
Position des Lichtfleckes nur noch von der Differenz der Ströme I A und
I B abhängig. Dies bedeutet, daß zum einen Alterungs- und Temperaturabhängigkeiten
des Detektors ständig kompensiert werden und zum anderen
der elektronische Aufwand deutlich verringert wird, da an Stelle eines
Summiergliedes und eines Quotientenbildners lediglich ein einfacher integrierender
Regler (I-Regler) erforderlich wird.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in den Fig. 2 bis 5
teilweise schematisch dargestellten Ausführungsbeispieles näher beschrieben.
Es zeigt
Fig. 2 ein Blockschaltbild zum Betrieb eines positionsempfindlichen
Detektors;
Fig. 3 eine Schaltung gemäß dem Blockschaltbild aus Fig. 2;
Fig. 4 den optomechanischen Aufbau eines optischen Potentiometers und
Fig. 5 eine Aufsicht auf den Sensor eines optischen Potentiometers
gemäß Fig. 4.
Bei dem in Fig. 2 dargestellten Blockschaltbild wird mittels eines Differenzbildners
aus einem positionsempfindlichen Detektor PSD ein Differenzstromsignal
I A -I B gebildet. Die die Kathode bildende Gegenelektrode
PSD ist mit einem I-Regler verbunden, der seinerseits die
Lichtstärke einer den PSD punktförmigen beleuchtenden Lichtquelle in
Form einer LED derart steuert, daß das Summenstromsignal I A +I B ,
unabhängig von der Position des Lichtpunktes, konstant ist. Aufgrund
dieser Regelung kann eine Quotientenbildung aus Differenz- und Summenstrom
entfallen, da gemäß Gleichung (2) für I A +I B = konstant gilt:
x∼I A -I B .
Fig. 3 zeigt nun eine konkrete Schaltung entsprechend dem Blockschaltbild
gemäß Fig. 2. Hierbei ist die Elektrode A des PSD direkt mit dem
Minuseingang eines Operationsverstärkers Op₁ verbunden, dessen Pluseingang
auf Masse liegt, ebenso wie die Elektrode B des PSD. Der Operationsverstärker
Op₁ wird durch einen Widerstand R₁ gegengekoppelt.
Die, die Kathode bildende Gegenelektrode (G) des PSD führt an den Mittelpunkt
einer aus den Widerständen R₂ und R₃ bestehenden Spannungs-/
Stromteilerschaltung, deren eine Seite (R₂) mit der Elektrode A
und deren andere Seite (R₃) mit dem Minuseingang eines, einen Integrationsregler
darstellenden Operationsverstärkers Op₂ verbunden ist. Der
Minuseingang des Operationsverstärkers Op₂ ist weiterhin über Widerstände
R₄ und R₅ mit einer Spannungsquelle V verbunden, wobei
zwischen R₄ und R₅ eine Zenerdiode ZD zur Spannungsstabilisierung
gegen Masse geschaltet ist. Der Pluseingang des Operationsverstärkers
Op₂ liegt auf Masse und der Ausgang des Operationsverstärkers Op₂
direkt, oder indirekt über eine Verstärkerschaltung, steuert die Leuchtdiode
LED. Die Differenzeingangsspannungen U₁ und U₂ an den gegengekoppelten
Operationsverstärkern ist Null so daß die Ausgangsspannung
U a am Operationsverstärker Op₁ sich wie folgt berechnet:
Der Einfluß des mittels der Kapazität C rückgekoppelten Operationsverstärkers
Op₂ auf die Leuchtdiode und damit auf die Stärke der
Ströme I a und I B läßt sich wie folgt erklären:
Der Ausgang von Op₂ stellt sich stets so ein, daß der Strom durch R₃
gleich dem Strom durch R₄ ist, der sich zu
berechnet, wobei U ref die an der Zenerdiode ZD anliegende Spannung
ist. Erst wenn die Bedingung
erfüllt ist, ist die Differenzeingangsspannung vom Op₂ gleich Null,
d. h. der in bekannter Weise als I-Regler beschaltete Op₂ befindet sich
im Beharrungspunkt.
Auf diese Weise wird erreicht, daß die Summe der Ströme I A +I B
stets konstant bleibt. Aufgrund der obengenannten Gleichung (2) ist
damit die Ausgangsspannung U a direkt proportional zur Position x des
Lichtpunktes auf dem PSD.
Die Fig. 4 zeigt in schematischer Weise einen Querschnitt durch ein
optisches Potentiometer, welches nach dem vorher beschriebenen Verfahren
unter Verwendung eines PSD funktioniert. Der eigentliche PSD ist in Fig.
5 dargestellt und besteht aus einer kreisringförmigen aktiven Fläche 1,
die an einer Stelle unterbrochen ist und dort mit den Elektroden A und B
versehen ist. Die aktive Fläche 1 ist auf einem kreisringförmigen Träger
2 angeordnet, der gleichzeitig die integrierte Schaltung gemäß Fig. 3
beinhaltet. Im Zentrum des ringförmigen PSD ist eine Leuchtdiode 3
angeordnet, die ihr Licht koaxial zu der Seite des PSD abstrahlt, auf
der sich die aktive Fläche 1 befindet. Über dem PSD und der Leuchtdiode
ist ein Winkelspiegel 5 derart angeordnet, daß das Licht der Leuchtdiode
möglichst punktförmig, zumindest jedoch in einem relativ schmalen Sektor
auf die aktive Fläche des PSD fällt. Der Winkelspiegel 3 ist exzentrisch
an einer Achse 4 befestigt, welche koaxial zur zentralen Achse des PSD
verläuft und um welche der Winkelspiegel 5 drehbar ist. Bei Drehung
dieser Achse 4 wandert daher der auf der aktiven Fläche des PSD erzeugte
Lichtfleck 6 mit. Die so durch Photoeffekt in der aktiven Fläche des PSD
erzeugten Ströme I A und I B definieren entsprechend den obigen Ausführungen
die Position des Lichtfleckes auf der aktiven Fläche 1 und
geben daher auch den Drehwinkel ϕ des Winkelspiegels in bezug auf die
Position der Elektrode A bzw. B wieder. Durch die komplanare Anordnung
der Lichtquelle 3 und des Sensorchips 2 ist eine besonders kompakte Bauweise
dieses optischen Potentiometers möglich.
Claims (5)
1. Verfahren zur Positionsbestimmung eines von einer Lichtquelle auf
einem eindimensionalen positionsempfindlichen Detektor erzeugten Lichtpunktes,
insbesondere für ein optisches Potentiometer, wobei die Position
des Lichtpunktes durch den Quotienten zwischen der Differenz und
der Summe zweier Ströme gegeben ist, welche an zwei auf der photoempfindlichen
Fläche des Detektors gegenüberliegenden Elektroden abgeführt
werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Summe
der Ströme durch eine Regelung der Lichtstärke konstant
gehalten wird.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, insbesondere
ein optisches Potentiometer, mit einem eindimensionalen positionsempfindlichen
Detektor, der zwei Elektroden auf der photoempfindlichen
Fläche sowie eine Gegenelektrode aufweist und dessen Elektroden
zur Bildung eines Differenzstromsignals mit einem Differenzverstärker
verbunden sind sowie einer elektrischen Lichtquelle, welche einen über
die photoempfindliche Fläche des Detektors bewegbaren Lichtpunkt erzeugt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenelektrode
(G) des Detektors (PSD) mit einem Regler (Op₂) verbunden ist, dessen
Ausgang die Lichtstärke der elektrischen Lichtquelle (LED) derart
steuert, daß der durch die Gegenelektrode (G) fließende Summenstrom
(I A +I B ), unabhängig von der Position (x) des Lichtpunktes (6),
konstant ist.
3. Optisches Potentiometer nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der eindimensionale photoempfindliche
Detektor eine kreisförmige, an einer Stelle unterbrochene, photoempfindliche
Ringfläche (1) aufweist, die an beiden Rändern der Unterbrechungsstelle
mit je einer Elektrode (A, B) versehen ist sowie eine Gegenelektrode
besitzt und, daß eine Lichtquelle (3) sowie ein um eine konzentrisch
zur Ringfläche (1) verlaufende Achse (4) drehbarer Reflektor (5)
vorgesehen ist, wobei das Licht der Lichtquelle (3) in Abhängigkeit vom
Drehwinkel (ϕ ) des Reflektors (5) auf einen Vergleichsweise schmalen
Sektor der Ringfläche (1) gerichtet wird.
4. Optisches Potentiometer nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (3) konzentrisch zur
Ringfläche (1) des Detektors angeordnet ist und der Reflektor (5) als
exzentrisch zur Drehachse (4) angeordneter Winkelspiegel ausgebildet
ist, dessen Öffnung dem Radius der Ringfläche (1) entspricht.
5. Optischer Potentiometer nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der eindimensionale photoempfindliche
Detektor eine geschlossene kreisförmige, photoempfindliche Ringfläche
aufweist, die am Umfang mit mindestens drei Elektroden versehen
ist sowie eine gemeinsame Gegenelektrode besitzt und, daß eine Lichtquelle
sowie ein um eine konzentrisch zur Ringfläche verlaufende Achse
drehbarer Reflektor vorgesehen ist, wobei das Licht der Lichtquelle in
Abhängigkeit vom Drehwinkel des Reflektors auf einen vergleichsweise
schmalen Sektor der Ringfläche gerichtet wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873709614 DE3709614A1 (de) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | Verfahren und vorrichtung zur positionsbestimmung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873709614 DE3709614A1 (de) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | Verfahren und vorrichtung zur positionsbestimmung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3709614A1 true DE3709614A1 (de) | 1988-10-20 |
DE3709614C2 DE3709614C2 (de) | 1989-01-19 |
Family
ID=6323845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873709614 Granted DE3709614A1 (de) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | Verfahren und vorrichtung zur positionsbestimmung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3709614A1 (de) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0422259A1 (de) * | 1989-10-09 | 1991-04-17 | LITEF GmbH | Schaltungsanordnung für einen optoelektronischen Positionssensor |
WO1992014991A1 (de) * | 1991-02-20 | 1992-09-03 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Optisches weg- oder verformungsmessverfahren sowie optischer weg- oder verformungsmesser |
DE4230405A1 (de) * | 1991-09-12 | 1993-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | Optischer bewegungsdetektor |
DE4340417A1 (de) * | 1992-11-27 | 1994-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | Optischer Drehstellungscodierer |
WO1996012304A1 (en) * | 1994-10-15 | 1996-04-25 | Penny & Giles Electronic Components Limited | Optical potentiometer |
EP0851211A1 (de) * | 1996-12-24 | 1998-07-01 | Datalogic S.P.A. | Optische Abstandsmessvorrichtung |
WO2000066984A1 (en) * | 1999-04-29 | 2000-11-09 | National Research Council Of Canada | Position sensitive light spot detector |
US7022966B2 (en) | 2001-08-01 | 2006-04-04 | National Research Council Of Canada | System and method of light spot position and color detection |
US11217619B2 (en) | 2017-06-06 | 2022-01-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor device and method of manufacturing the same |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3923488C1 (en) * | 1989-07-15 | 1990-11-15 | Messerschmitt-Boelkow-Blohm Gmbh, 8012 Ottobrunn, De | Integrated opto-electronic displacement sensor - has detector having pin-structure and V-grooves in which bent ends of fibre are positioned |
DE3931856A1 (de) * | 1989-09-23 | 1991-04-04 | Pfaff Ag G M | Anordnung zur erfassung einer werkstueckkante |
DE3939905A1 (de) * | 1989-12-02 | 1991-06-06 | Teldix Gmbh | Winkelgeber |
DE4413481C2 (de) * | 1994-04-19 | 1999-12-16 | Vishay Semiconductor Gmbh | Optoelektronisches Bauelement |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3612890A (en) * | 1969-10-13 | 1971-10-12 | Trw Inc | Radiation sensitive optical gaging system |
DE3105788A1 (de) * | 1980-02-19 | 1981-12-17 | General Atomic Co., 92121 San Diego, Calif. | Positionsanzeigevorrichtung |
DE3151800A1 (de) * | 1981-02-23 | 1982-09-09 | Hitachi, Ltd. | Anordnung zum ermitteln der lage eines werkstuecks |
DE3307639A1 (de) * | 1983-03-04 | 1984-09-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Winkelanzeigeeinrichtung |
-
1987
- 1987-03-24 DE DE19873709614 patent/DE3709614A1/de active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3612890A (en) * | 1969-10-13 | 1971-10-12 | Trw Inc | Radiation sensitive optical gaging system |
DE3105788A1 (de) * | 1980-02-19 | 1981-12-17 | General Atomic Co., 92121 San Diego, Calif. | Positionsanzeigevorrichtung |
DE3151800A1 (de) * | 1981-02-23 | 1982-09-09 | Hitachi, Ltd. | Anordnung zum ermitteln der lage eines werkstuecks |
DE3307639A1 (de) * | 1983-03-04 | 1984-09-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Winkelanzeigeeinrichtung |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5117103A (en) * | 1989-10-09 | 1992-05-26 | Litef Gmbh | Circuit for optoelectronic positioning tap |
EP0422259A1 (de) * | 1989-10-09 | 1991-04-17 | LITEF GmbH | Schaltungsanordnung für einen optoelektronischen Positionssensor |
WO1992014991A1 (de) * | 1991-02-20 | 1992-09-03 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Optisches weg- oder verformungsmessverfahren sowie optischer weg- oder verformungsmesser |
DE4230405A1 (de) * | 1991-09-12 | 1993-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | Optischer bewegungsdetektor |
DE4230405B4 (de) * | 1991-09-12 | 2005-11-17 | Mitsubishi Denki K.K. | Positions-Detektor |
DE4340417C2 (de) * | 1992-11-27 | 2001-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | Optischer Drehstellungscodierer |
DE4340417A1 (de) * | 1992-11-27 | 1994-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | Optischer Drehstellungscodierer |
WO1996012304A1 (en) * | 1994-10-15 | 1996-04-25 | Penny & Giles Electronic Components Limited | Optical potentiometer |
EP0851211A1 (de) * | 1996-12-24 | 1998-07-01 | Datalogic S.P.A. | Optische Abstandsmessvorrichtung |
US6122061A (en) * | 1996-12-24 | 2000-09-19 | Datalogic S.P.A. | Optical apparatus for measuring the distance of an object and process for measuring the distance of an object from an optical measuring apparatus |
US6297488B1 (en) | 1999-04-29 | 2001-10-02 | National Research Council Of Canada | Position sensitive light spot detector |
WO2000066984A1 (en) * | 1999-04-29 | 2000-11-09 | National Research Council Of Canada | Position sensitive light spot detector |
US7022966B2 (en) | 2001-08-01 | 2006-04-04 | National Research Council Of Canada | System and method of light spot position and color detection |
US11217619B2 (en) | 2017-06-06 | 2022-01-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor device and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3709614C2 (de) | 1989-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3709614C2 (de) | ||
DE2836887A1 (de) | Leistungsgeraet | |
DE3151800A1 (de) | Anordnung zum ermitteln der lage eines werkstuecks | |
EP0058302A2 (de) | Lichtelektrische inkrementale Positioniereinrichtung | |
DE2729440C3 (de) | Servoregelungssystem für die Drehung einer Welle | |
DE2313997C3 (de) | Lichtelektrische Potentiometeranordnung unter Vermeidung beweglicher Strom Zuführungen | |
DE3135545A1 (de) | Entfernungsmesseinrichtung | |
DE2061943C3 (de) | Differenzverstärker | |
DE2822477C3 (de) | Optoelektrischer einstellbarer Spannungsteiler | |
DE3233633C2 (de) | Photometerschaltung | |
DE2809025C3 (de) | Schaltungsanordnung für den elektrischen Verschluß einer Kamera | |
DE1932051B2 (de) | Elektrische Regeleinrichtung mit Handsteueranordnung | |
DE3007600C2 (de) | Belichtungssteuerschaltung für eine Kamera | |
EP0257305A2 (de) | Schaltungsanordnung für einen positionsempfindlichen Strahlungsdetektor | |
DE1538390A1 (de) | Optische Abtastvorrichtung | |
DE2304547C3 (de) | Positionsempfindliches Photowiderstandselement für ein lichtelektrisches Potentiometer | |
DE2709527A1 (de) | Analog arbeitender einsteller fuer eine photographische kamera | |
DE2834720C3 (de) | Vorrichtung zur proportionalen Anzeige der jeweiligen Verstärkung eines pilotgeregelten Wechselstromverstärkers | |
DE3830520A1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung von steuerspannungen | |
DE2359143A1 (de) | Verfahren zum linearisieren der signale eines fotodetektors | |
DE1516264C3 (de) | Photoelektrische Vorrichtung | |
DE2304547A1 (de) | Positionsempfindliches photowiderstandselement | |
DE2112013C (de) | Schaltungsanordnung zur elektrischen Steuerung eines Kameraverschlusses | |
DE3426588C2 (de) | ||
DE19741855B4 (de) | Optoelektronische Sensoreinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEUTSCHE AEROSPACE AG, 8000 MUENCHEN, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |