DE3638893A1

DE3638893A1 - Positionsempfindlicher strahlungsdetektor

Info

Publication number: DE3638893A1
Application number: DE19863638893
Authority: DE
Inventors: Frithjof Dr Asmussen; Thomas Dr Schiller; Uwe Dr Weigmann
Original assignee: Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Current assignee: Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority date: 1986-11-14
Filing date: 1986-11-14
Publication date: 1988-05-26
Also published as: US4870265A; DE3638893C2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen positionsempfindlichen Strahlungsdetektor wie er im Hinblick auf die Veröffentlichung von C Martin et al im "Rev. Sci. Instrum." 52 (7), Jul. 1981, 1067-1074, als bekannt vorausgesetzt wird.

Strahlungsdetektoren der hier interessierenden Art enthalten eine auf der Oberfläche eines Substrats angeordnete elektrisch leitende Elektrodenanordnung, deren Konfiguration und Anordnung eine Posi tionsbestimmung eines auftreffenden Ladungsträgerbündels in zwei Koordinatenrichtungen gestattet. Eine bekannte Elektrodenanordnung dieser Art enthält vier Elektroden, und zwar ein Elektrodenpaar mit einander gegenüberliegenden und jeweils zur anderen Elektrode hin zulaufenden keilförmigen Elektrodenteilen und ein zweites, mit dem ersten verschachteltes Elektrodenpaar aus nebeneinander liegenden streifenförmigen Elektroden, deren Breiten sich quer zu ihrer Längsrichtung gegenläufig ändert. Der Auftreffort eines Strahlungs bündels ausreichenden Querschnitts läßt sich bei dieser Elektroden anordnung in zwei aufeinander senkrecht stehenden Koordinatenrich tungen aus dem Verhältnis der von den einzelnen Elektroden aufge nommenen Ladungsträgerströme ermitteln. Es gibt auch Elektro denanordnungen dieser Art mit nur drei Elektroden sowie Anoden anordnungen, bei denen die Position eines auftreffenden Ladungsträ gerstrahlbündels in Polarkoordinaten ermittelt werden kann. Wenn es sich bei der Strahlungsverteilung um optische (elektromagnetische) Strahlung handelt, wird sie möglichst positionsgetreu in eine entsprechende Ladungsträgerverteilung, insbesondere Elektronenver teilung umgewandelt, was z. B. durch eine Photokathode und eine anschließende Photoelektronenvervielfacheranordnung, z. B. Mikroka nalplatten, erfolgen kann.

Außer positionsempfindlichen Strahlungsdetektoren der obengenannten Art, die mit elektronischer Signalerfassung arbeiten, ist aus der Veröffentlichung von Panitz in J. Vac. Sci. Technol., 17 (3), Mai/Juni 1980, 757, 758 auch ein positionsempfindlicher Strahlungs detektor bekannt, der mit optischer Signalerfassung arbeitet. Bei diesem optischen Strahlungsdetektor wird durch die zu erfassende Strahlungsverteilung eine Leuchtstoffschicht zur Lumineszenz ange regt und die dabei entstehende optische Strahlungsverteilung wird mit einer Fernsehkamera, z. B. Vidicon-Kamera, z. in ein entspre chendes elektrisches Videosignal umgesetzt.

Es gibt ferner positionsempfindliche Strahlungsdetektoren, deren Elektrodenanordnung aus einer einzigen Widerstandselektrode oder eine Anordnung aus Silizium-Photoelement-Segmenten enthalten, siehe z. B. die Dissertation von Thomas Schiller, TU Berlin, 1985 S. 30, 31.

Nachteilig an den bisherigen Strahlungdetektoren ist, daß sie keine gleichzeitige optische und elektrische Signalerfassung ermöglichen.

Dies wäre jedoch z. B. wünschenswert, wenn bei Messungen, in denen geringe Eingangssignalintensitäten zu erwarten sind, in einem Vorver such mit hohen Intensitäten die Justierung durch visuelle Beobach tung erfolgen kann. Detektoren auf Silizium-Basis haben ein hohes Störrauschen und sind nur bedingt ausheizbar. Detektoren mit Widerstandselektroden leiden an hohen geometrischen Verzeichnungen. Die beiden letztgenannten Detektortypen können nicht mehr als 10⁶ Ereignisse/Sekunde erfassen.

Die im Patentanspruch 1 gekennzeichnete Erfindung löst die Aufgabe, einen positionsempfindlichen Strahlungsdetektor zu schaffen, der gleichzeitig sowohl eine elektronische als auch eine optische Signalerfassung gestattet.

Außer der Möglichkeit einer gleichzeitigen elektronischen und optischen Signalerfassung hat der vorliegende Strahlungsdetektor noch den weiteren wesentlichen Vorteil eines hohen dynamischen Bereiches, der bis etwa 10¹³ Ereignisse/Sekunde reicht.

Die Elektrodenanordnung des vorliegenden Strahlungsdetektors ent hält vorzugesweise Elektroden aus einem Gemisch von Indiumoxid und Zinnoxid. Das Verhältnis von Indium zu Zinn beträgt vorzugsweise etwa 20:1.

Vorzugsweise liegt das Zinnoxid ausschließlich in der Form SnO₂ vor, während das Indiumoxid in allen seinen Oxidationsstufen In₂O₃...InO auftreten kann.

Die durchsichtige Elektrodenanordnung bildende Schicht kann chemisch aus der Gasphase durch CVD (Chemical Vapor Deposition) oder durch ein Sprühverfahren als dünne Schicht niedergeschlagen werden.

Wenn es sich bei der nachzuweisenden Strahlung um elektromagnetische Strahlung handelt, wird sie z. B. durch eine Photokathode positions getreu in eine entsprechende Ladungsträger - insbesondere Elektro nenverteilung umgesetzt.

Die Ladungsträgerverteilung wird vorzugsweise durch einen Vervielfa cher, wie eine Kanalplatte oder andere SEV-Anordnung, verstärkt, bevor sie auf die Elektrodenanordnung des Strahlungsdetektors fällt.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezug nahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines positionsempfindlichen Strahlungsdetektors;

Fig. 2 einen stark vergrößerten Querschnitt durch einen Teil einer Detektoranode;

Fig. 3 eine Draufsicht auf ein bevorzugtes Elektrodensystem für eine Detektoranode und

Fig. 4, 5 und 6 Einzelansichten der drei Elektroden des Elektro densystems gemäß Fig. 3.

Das in Fig. 1 schematisch dargestellte Strahlungsdetektorsystem enthält eine flächige Photokathode (10) zur positionsgetreuen Umwandlung einer einfallenden optischen Strahlungsverteilung (12) (Strahlungsmuster, Bild) in eine entsprechende Elektronenverteilung. Die Elektronenverteilung wird durch einen Sekundärelektro nenvervielfacher positionsgetreu verstärkt. Der Sekundärelektronen vervielfacher kann beispielsweise, wie dargestellt, zwei hinterein andergeschaltete Mikrokanalplatten enthalten. Die verstärkte Elek tronenverteilung (16) fällt auf eine als Anodenanordnung (18) geschaltete Elektrode, die auf einer Oberfläche eines Substrats (20) angeordnet ist. Die Elektrodenanordnung (18) enthält mehrere Elek troden (siehe z. B. Fig. 3 und die oben erwähnten Veröffentlichung von Martin et al.), deren Konfiguration und Anordnung eine Posi tionsbestimmung eines auftreffenden Ladungsträgerbündels ausreichen den Querschnitts ermöglicht. Soweit beschrieben, ist der Strahlungs detektor bekannt.

Gemäß der Erfindung besteht das Substrat (20) aus einem transparen ten Werkstoff, wie Glas. Ferner bestehen die Elektroden der Elektrodenanordnung (18) aus einem elektrisch leitenden und transpa renten Werkstoff. Weiterhin ist zumindest auf den Elektroden, vorzugsweise auf der ganzen elektrodenseitigen Oberfläche der Elektroden-Substrat-Anordnung eine Schicht (22) aus einem Lumines zenzmaterial (Leuchtstoff) angeordnet, wie in Fig. 2 genauer dargestellt ist. Das Lumineszenzmaterial kann in bekannter Weise aus einer dotierten Halbleiterverbindung, wie CdSe/Ag, bestehen.

Die Elektroden der Elektrodenanordnung (18) bestehen z. B. aus einem Metall, wie Au; aus ggf. mit einem Nichtmetall, wie Fluor, dotierten Metalloxiden, wie SnO₂, In₂O₃, RuO und sogenannten "organischen Metallen" wie Polycarbazolen, Polyphenothiazinen (mit Jod dotiert), welche in Form einer dünnen Schicht durchsichtig oder zumindest durchscheinend sind. Bevorzugt wird derzeit ein Gemisch von Indium oxid und Zinnoxid. Das Verhältnis von Indium zu Zinn beträgt vorzugsweise etwa 20:1. Das Zinnoxid liegt vorzugsweise ausschließ lich in der Form von SnO₂ vor, während das Indiumoxid in allen Oxidationsstufen In₂O₃...InO auftreten kann.

Die Indiumoxid-Zinnoxidschicht kann chemisch aus der Gasphase durch CVD (Chemical Vapor Deposition) oder durch ein Sprühverfahren in bekannter Weise niedergeschlagen werden.

Die Elektrodenanordnung (18) gestattet es, die Position und Inten sität von auftreffenden Elektronenimpulsen in bekannter Weise mittels einer Signalverarbeitungseinheit (24) zu erfassen, die z. B. ein digitales Ausgangssignal liefert. Mit dem Strahlungsdetektor gemäß der Erfindung ist jedoch außerdem auch eine gleichzeitige optisch-elektronische Signalerfassung möglich. Hierzu ist bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel auf der der Elektrodenan ordnung (18) abgewandten Seite des durchsichtigen Substrats (20) ein opto-elektronisches Bildaufnahmesystem (26) angeordnet, welche ein nur schematisch angedeutetes Objektiv (28) sowie eine Fernsehkamera (30) enthält, die z. B. mit einem Vidicon oder einer Ladungsgekop pelten Einrichtung (CCD) arbeiten kann und ein Videosignal liefert, welches die von der Leuchtstoffschicht (22) erzeugte optische Strahlungsverteilung darstellt. Anstelle des optisch-elektronischen Bildaufnahmesystems (26) oder zusätzlich zu diesem können auch Mittel zur visuell-optischen Betrachtung und/oder photographischen Registrierung des durch die Lumineszenzschicht (22) erzeugten sichtbaren Bildes vorgesehen sein, z. B. ein Okular (34) und ein zwischen dem Substrat (20) und dem Objektiv (28) angeordneter teildurchlässiger Spiegel (36).

Eine vorteilhafte Elektrodenanordnung, die im Prinzip aus der Veröffentlichung von Martin et al. (l.c.) bekannt ist, ist in den Fig. 3 bis 6 dargestellt. Fig. 3 zeigt die Elektrodenanordnung als Ganzes. In den Fig. 4, 5 und 6 sind die drei Elektroden (18 a), (18 b) und (18 c) der Elektrodenanordnung getrennt dargestellt.

Die in Fig. 4 dargestellte erste Elektrode (18 a) mit einem Anschluß (A) besteht aus einer kammartigen Anordnung von Streifen mit von links nach rechts abnehmender Breite. Die in Fig. 5 dargestellte zweite Elektrode (18 b) mit einem Anschluß (B) enthält eine Anordnung gleicher keilförmiger Elektrodenteile, die in die Zwischenräume zwischen die Streifen der Elektrode (18 a) hineinreichen. Zwischen den vorspringenden Elektrodenteilen der Elektroden (18 a) und (18 b) befindet sich eine dritte, mäanderförmige Elektrode (18 c), die bei der Elektrodenanordnung gemäß Fig. 3 den Zwischenraum zwischen den Elektroden (18 a) und (18 b) einnimmt und zwei Anschlüsse (C ₁), (C ₂) hat. Die Breite der in Fig. 3 oberen, im wesentlichen V-förmigen Enden der Mäanderwindung nimmt von links nach rechts zu, außerdem ändert sich das Verhältnis der Breiten der Schenkel dieser Windungen in der aus Fig. 6 ersichtlichen Weise.

Die Erfindung läßt sich selbstverständlich auch mit anderen Elektro denkonfigurationen realisieren, z. B. anderen Konfigurationen, die in der erwähnten Veröffentlichung von Martin et al. beschrieben sind sowie auch mit einer Widerstandselektrode der eingangs erwähnten Art. Sie läßt sich nicht nur bei Positionsdetektoren der beschriebe nen und erwähnten Art anwenden, sondern auch z. B. bei Feldionenmi kroskopen, Transmissions-Rastermikroskopen, Röntgenmikroskopen, Bildwandlern und -verstärkern, wie Nachsichtgeräten, Bildaufnahme einrichtungen für astronomische Zwecke, LEED-Systeme (low energy electron diffraction) u. a. m.

Claims

1. Positionsempfindlicher Strahlungsdetektor mit einem Substrat (20) und einer auf einer Oberfläche des Substrats angeordneten Elektro denanordnung (18), deren Konfiguration und Anordnung eine Positions bestimmung eines auf sie auftreffenden Ladungsträgerbündels (16) gestattet, dadurch gekennzeichnet, daß

a) die Elektrodenanordnung (18) aus einem transparenten, elektrisch leitenden Material besteht;
b) das Substrat (20) aus einem transparenten Material besteht; und
c) auf der vom Ladungsträgerbündel beaufschlagten Seite der Elek trodenanordnung (18) eine Leuchtstoffschicht (22) vorgesehen ist.

2. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtstoffschicht (22) sowohl die Elektrodenanordnung (18) als auch etwaige elektrodenfreie Bereiche der Oberfläche des Substrats (20) bedeckt.

3. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (26; 34, 36) zur optischen Erfassung der von der Leuchtstoffschicht (22) erzeugten optischen Strahlungsverteilung.

4. Strahlungsdetektor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur optischen Signalerfassung eine opto-elektroni sche Einrichtung, wie eine Fernsehkamera (30) enthält.

5. Strahlungsdetektor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeich net, daß die Vorrichtung zur optischen Signalerfassung eine Vorrich tung (34, 36) zur visuellen Betrachtung der optischen Strah lungsverteilung enthält.

6. Strahlungsdetektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Elektrodenanordnung (18) ein Sekundärelektronenvervielfacher (14) angeordnet ist.

7. Strahlungsdetektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die transparente Elektrodenanordnung aus einem Gemisch von Indiumoxid und Zinnoxid besteht.

8. Strahlungsdetektor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis von Indium zu Zinn etwa 20:1 beträgt.

9. Strahlungsdetektor nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeich net, daß Zinnoxid als SnO₂ vorliegt, während das Indiumoxid in verschiedenen Oxidationsstufen vorliegt.

10. Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung eine aus Widerstandsmate rial bestehende Elektrode enthält.