DE3636448A1 - Electrical resistance furnace for producing high temperatures - Google Patents

Abstract

The present invention relates to a device for producing high temperatures, which is based on the prinicple of electrical resistance heating and in the case of which the electrical current intensity in the axially symmetrical resistance body through which flow passes axially is greatly increased by means of axial slots, which are distributed uniformly or non-uniformly around the circumference, in the remaining webs, and is influenced by the arrangement and shaping of the same such that high furnace temperatures and severe temperature profiles are produced at the same time. <IMAGE>

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen elektrisch beheizten Widerstandsofen für hohe Temperaturen und insbesondere auf das Heizelement selbst.The invention relates to an electrical heated resistance furnace for high temperatures and especially on the heating element itself.

Es ist bekannt, daß sich mit Hilfe elektrischer Widerstandsöfen hohe Temperaturen erreichen lassen. Dabei fließt ein elektrischer Strom durch einen als Heizkörper ausgebildeten Ohm′schen Widerstand und die elektrische Leistung wird dabei größtenteils in Wärme umgewandelt. Als Heizleiter kommen einige Metalle wie Molybdän, Tantal, Platin, oder Keramik, oder Graphit in Betracht.It is known that with the help of electrical Let resistance furnaces reach high temperatures. An electrical current flows through an as Radiator trained ohmic resistance and the electrical power is largely in Heat converted. Some come as heating conductors Metals such as molybdenum, tantalum, platinum or ceramic, or graphite.

Maßnahmen zur Steigerung der erzielbaren Temperatu­ ren beruhen auf einer Erhöhung der elektrischen Stromdichte. Der trivialen Erhöhung der Stromstärke sind durch den noch vertretbaren Energieaufwand wirtschaftliche und das maximale Gewicht der Zulei­ tungen technische Grenzen gesetzt. Die andere Mög­ lichkeit, die elektrische Stromdichte zu steigern, besteht darin, den stromdurchflossenen Querschnitt zu verkleinern.Measures to increase the achievable temperature ren are based on an increase in electrical Current density. The trivial increase in current are due to the still reasonable energy expenditure economic and the maximum weight of the Zulei technical limits. The other way possibility of increasing the electrical current density, is the cross section through which the current flows to downsize.

Die vorliegende Erfindung zielt auf einen im we­ sentlichen rohrförmigen Widerstandsofen mit ent­ sprechendem Heizkörper, der geeignet ist, insbeson­ dere rohr- und stabförmiges Material zu erhitzen.The present invention aims at an in substantial tubular resistance furnace with ent speaking radiator that is suitable, in particular  to heat their tubular and rod-shaped material.

Das Hauptaugenmerk ist bei derartigen Heizvorrich­ tungen darauf zu richten, daß das aufzuheizende Gut gleichmäßig erhitzt wird. In vielen Anwendungsfäl­ len ist es zudem erforderlich, die eingestrahlte Heizleistung gezielt nur einem definierten, be­ grenzten Bereich aufzuprägen. Erreicht wird dies durch die Ausbildung eines Teiles des Heizelementes als Heißzone.The main focus is on such a heating device to ensure that the goods to be heated is heated evenly. In many applications len it is also necessary to use the irradiated Heating output targeted only to a defined, be imprinted limited area. This is achieved by forming part of the heating element as a hot zone.

In einer Vorrichtung nach dem Stand der Technik (DE-OS 25 25 809) wird durch Verringerung der Wand­ dicke des rohrförmigen Heizelementes eine solche Heißzone geschaffen. Dabei ist die Änderung des elektrischen Widerstandes proportional der rezipro­ ken Wanddicke.In a device according to the prior art (DE-OS 25 25 809) by reducing the wall thickness of the tubular heating element Hot zone created. The change is electrical resistance proportional to the reciprocal wall thickness.

Zur Erreichung hoher Temperaturen sind bei dieser Ausführungsweise allerdings sehr dünne Heizelement­ wandungen erforderlich. Es ist bekannt und wird zudem durch eigene Versuche bestätigt, daß solche Heißzonen bei höheren Temperaturen als 1500°C und längerer Betriebszeit durchbrennen. Obendrein tre­ ten schon bei niedrigeren Temperaturen erhebliche Festigkeitsprobleme auf. Zudem kann die Wärmeüber­ tragung vom Heizelement an das Heizgut ausschließ­ lich durch Strahlung vonstatten gehen.To achieve high temperatures are at this Design, however, very thin heating element walls required. It is known and will also confirmed by own experiments that such Hot zones at temperatures higher than 1500 ° C and Burn out for a longer period of time. On top of that, tre significant even at lower temperatures Strength problems. In addition, the heat can Exclude transfer from the heating element to the heating material radiation.

Ein weiterer Nachteil dieser Vorrichtung besteht darin, daß - ausgehend von einer minimalen Wand­ dicke des Heizelementes - große axiale Temperatur­ gradienten nur durch eine entsprechende Vergröße­ rung der Wanddicke in den kühleren Gebieten reali­ siert werden können. Aufgrund der dann relativ großen Wanddicke entstehen starke thermische Span­ nungen zwischen Innen- und Außenmantel des Heizele­ mentes. In DE-OS 25 25 809 werden als Abhilfemaßnahme nicht durchgehende, axiale Dehnungsschlitze an der Außenseite des Heizelementes angebracht. Es bleibt jedoch der Nachteil bestehen, daß die größeren Abmessungen des Heizelementes eine Vergrößerung der gesamten Heizvorrichtung und damit ein erhöhtes Gewicht nach sich ziehen, ein Nachteil, der sich insbesondere bei verfahrbaren Heizvorrichtungen negativ bemerkbar macht.Another disadvantage of this device is in that - starting from a minimal wall Heating element thickness - high axial temperature gradients only by an appropriate magnification Realization of the wall thickness in the cooler areas can be settled. Because of the then relative Large wall thickness creates strong thermal chips  between the inner and outer jacket of the heating element mentes. In DE-OS 25 25 809 as a remedial measure non-continuous, axial expansion slots on the Attached to the outside of the heating element. It stays however, the disadvantage is that the larger ones Dimensions of the heating element an increase in entire heater and thus an increased Draw weight, a disadvantage of itself especially with movable heaters negatively noticeable.

In einer weiteren Vorrichtung nach dem Stand der Technik ( EPA 00 80 013 A 1) werden mäanderförmige Heizelemente eingesetzt. Ein wesentlicher Nachteil solcher Heizelemente besteht darin, daß sich keine axialen Temperaturgradienten in der Heizzone erzie­ len lassen. Außerdem ergibt sich durch die die Festigkeit stark herabsetzende Formgebung die An­ fälligkeit gegenüber mechanischer Beschädigung. Diese Heizelemente müssen häufig ausgewechselt werden. Durch die beschriebene Vorrichtung nach dem Stand der Technik, dessen Heizzone segmentartig aus den beschriebenen Heizelementen zusammengesetzt ist, soll die Auswechselung einzelner, defekt ge­ wordener Segmente erleichtert werden. Eine Steige­ rung der Betriebssicherheit ist nicht angestrebt.In a further device according to the prior art Technology (EPA 00 80 013 A 1) become meandering Heating elements used. A major disadvantage such heating elements is that there are none axial temperature gradients in the heating zone let len. It also results from the Strength greatly reducing shape due to mechanical damage. These heating elements need to be replaced frequently will. By the described device after State of the art, whose heating zone consists of segments the heating elements described is, the replacement of individual, defective segments have been facilitated. A climb Operational safety is not the goal.

Eine Verbesserung stellt eine mehrstöckige Heizvor­ richtung nach dem Stand der Technik nach DE-OS 33 28 431 A 1 dar, in der ebenfalls mäanderförmige Heizelemente eingesetzt werden, deren Temperatur etagenweise separat eingestellt werden kann. Neben dem hohen Fertigungs- und Installationsaufwand macht sich auch der durch die Komplexität der Appa­ ratur erforderliche Platzbedarf negativ bemerkbar, der einige Anwendungsmöglichkeiten von vornherein ausschließt.An improvement is a multi-storey heating system Direction according to the state of the art according to DE-OS 33 28 431 A 1, in the likewise meandering Heating elements are used, their temperature can be set separately on each floor. Next the high manufacturing and installation costs  also makes it through the complexity of the appa required space is negatively noticeable, of some uses from the start excludes.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen elektrischen Widerstandsofen zur Erzeugung hoher Temperaturen bereitzustellen, der sich neben einer erhöhten Betriebssicherheit durch geringen Ferti­ gungs- und Installationsaufwand sowie hohe Flexibi­ lität bei der Anpassung an unterschiedliche Heizan­ forderungen auszeichnet.The object of the present invention is a electric resistance furnace to produce high Provide temperatures that are next to a increased operational safety due to low ferti effort and installation effort as well as high flexibility lity when adapting to different heating systems excels demands.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Widerstandsofen gelöst, der sich aus äußerer Hal­ terung und dem eigentlichen Heizelement zusammen­ setzt. Zur Erhöhung der Betriebssicherheit und des Wartungskomforts ist das Heizelement aus einem Stück gefertigt. Die Halterung übernimmt die Ge­ währleistung der mechanischen Festigkeit, die An­ schlüsse für die Stromversorgung, die Anschlüsse für eine Inertgasbeaufschlagung, die Abschirmung der Wärmestrahlung sowie Anschlüsse zum Einbau in eine Verfahreinrichtung für Sonderanforderungen wie zum Beispiel die Herstellung von Glasfaservorformen für Lichtwellenleiter.This object is achieved by a Resistance furnace released, which consists of outer hal tion and the actual heating element together puts. To increase operational safety and Maintenance comfort is the heating element from one Piece manufactured. The bracket takes over the Ge guarantee of mechanical strength, the An connections for the power supply, the connections for an inert gas application, the shield heat radiation and connections for installation in a moving device for special requirements such as for example the production of glass fiber preforms for optical fibers.

Durch die funktionale Trennung der beiden Komponen­ ten ist es möglich, die Halterung universell einzu­ setzen und nur durch eine geänderte Ausführung des Heizelementes die Anpassung des Ofens an diverse Einsatzbedingungen zu bewerkstelligen.By the functional separation of the two components ten, it is possible to use the bracket universally set and only by a modified version of the Heating element adaptation of the oven to various Conditions of use.

Neben den bereits oben erwähnten Heizelement-Mate­ rialien bietet sich insbesondere Graphit durch seine leichte Bearbeitbarkeit und die günstige Kostensituation an.In addition to the heating element mate already mentioned above  rialien offers graphite in particular its easy workability and cheap Cost situation.

Die erfindungsgemäßen, rotationssymmetrischen Heiz­ elemente werden axial elektrisch durchströmt und zeichnen sich in der Heißzone durch axiale Längs­ schlitze aus, die den durchströmten Querschnitt reduzieren und so die elektrische Stromdichte und damit die auf die Reizfläche bezogene Reizleistung der verbleibenden Stege erhöhen.The rotationally symmetrical heating according to the invention elements are flowed through axially and electrically are characterized by axial length in the hot zone slits out the cross-section flowed through reduce and so the electrical current density and thus the stimulus output related to the stimulus area increase the remaining webs.

Durch die Länge der Längsschlitze läßt sich auf einfache Weise die Ausdehnung der Heißzone variie­ ren. Durch die Anzahl und die Breite der Längs­ schlitze läßt sich die Oberflächentemperatur des Heizelementes in der Heißzone einstellen. Zur wei­ teren Steigerung der Wärmeabgabe kann ein Inertgas von außen radial durch die Längsschlitze strömen und so dem Strahlungswärmetransport einen konvekti­ ven Wärmetransport von den Stegen des Heizelementes zum Heizgut hinzufügen.The length of the longitudinal slots allows for simple way to vary the extent of the hot zone ren. By the number and width of the longitudinal the surface temperature of the Set the heating element in the hot zone. For white An inert gas can increase the heat emission Flow radially from the outside through the longitudinal slots and so convective heat transport ven heat transfer from the webs of the heating element add to the heating material.

Ausdrückliches Ziel der vorliegenden Erfindung ist insbesondere, Hochleistungs-Graphitwiderstandsöfen für den Herstellungsprozeß von Vorformen für opti­ sche Wellenleiter zur Verfügung zu stellen. Haupt­ anwendungsgebiet sind dabei das MCVD-Verfahren (Modified Chemical Vapor Deposition) und seine Weiterentwicklungen.The express aim of the present invention is in particular, high performance graphite resistance furnaces for the manufacturing process of preforms for opti to make available waveguides. Main the MCVD process is the area of application (Modified Chemical Vapor Deposition) and its Further developments.

Außerdem eignen sich solche Öfen als Faserziehofen für verschiedene Einsatzgebiete.Such furnaces are also suitable as fiber drawing furnaces for different areas of application.

Die obigen sowie weitere Ziele, Merkmale und Vor­ teile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den nachfolgenden Zeichnungen und den dazugehörigen Beschreibungen und Ausführungsbeispielen.The above, as well as other goals, characteristics, and advantages  parts of the present invention result from the following drawings and the corresponding ones Descriptions and examples.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 ein Heizelement nach dem Stand der Technik mit axialer Änderung der Wanddicke Fig. 1 shows a heating element according to the prior art with an axial change in the wall thickness

Fig. 2 eine Heizvorrichtung nach dem Stand der Technik mit mäanderförmigem Heizelement Fig. 2 shows a heating device according to the prior art with a meandering heating element

Fig. 3 einen Heizer vom Stapeltyp nach dem Stand der Technik mit mäanderförmigen Heizseg­ menten Fig. 3 ment a heater of the stack type according to the prior art with meandering Heizseg

Fig. 4 eine erfindungsgemäße Heizvorrichtung be­ stehend aus Halterung und Heizelement Fig. 4 is a heater according to the invention be standing from the holder and heating element

Fig. 5 ein erfindungsgemäßes Graphitwiderstands- Heizelement mit axialen Längsschlitzen Fig. 5 shows a graphite resistance heating element according to the invention with axial longitudinal slots

Fig. 6 ein Schnitt durch die Heißzone eines erfindungsgemäßen Heizelementes Fig. 6 shows a section through the hot zone of a heating element according to the invention

In Fig. 1 ist ein Heizelement 1 nach dem Stand der Technik dargestellt, welches rotationssymmetrisch ist und eine Variation der Wanddicke in axialer Richtung aufweist. Durch die Formgebung entsteht am Ort geringer Wanddicke eine Heißzone 3, die die eigentliche Hochtemperatur-Heizzone des axial durchströmten Widerstandsofens bildet. Zu den plan­ parallelen Stirnflächen 5 hin nimmt die Wandstärke stark zu. Dehnungsschlitze 7 sollen Thermospannun­ gen vorbeugen. Die Dehnungsschlitze 7 werden aller­ dings nicht zur gezielten Beeinflussung der ange­ strebten Temperaturprofile eingesetzt.In Fig. 1, a heater 1 is shown according to the prior art, which is rotationally symmetrical and has a variation in wall thickness in the axial direction. The shaping creates a hot zone 3 at the location of a small wall thickness, which forms the actual high-temperature heating zone of the resistance furnace with axial flow. The wall thickness increases sharply towards the plane parallel end faces 5 . Expansion slots 7 are intended to prevent thermal stresses. However, the expansion slots 7 are not used for the targeted influencing of the desired temperature profiles.

Ein weiteres Beispiel für ein Heizelement aus Gra­ phit nach dem Stand der Technik gibt Fig. 2 wieder. Ein solches, kreissegmentförmiges Heizelement 9, das sich zu einem ringförmigen Heizer zusammenset­ zen läßt, besteht aus dem Segment eines Kreiszylin­ dermantels, in das wechselseitig nicht durchgehende Schlitze 11, 13 gefräst werden, so daß ein mäander­ förmiges Heizelement 9 entsteht. Um einen Ringofen aufzubauen, sind Anschlußstücke 15 erforderlich, die mit Bohrungen 17 für die Verschraubung mit jeweils zwei Heizelementen 9 versehen sind und eine weitere Bohrung 19 für eine Schraubverbindung mit der hier nicht dargestellten elektrischen Strom­ quelle aufweisen. Demzufolge werden die Heizelemen­ te mäanderförmig elektrisch durchflossen und keine axialen Temperaturprofile im Heizgebiet angestrebt.Another example of a heating element made of graphite according to the prior art is shown in FIG. 2 again. Such a circular segment-shaped heating element 9 , which can be assembled into an annular heater, consists of the segment of a circular cylinder dermantels into which mutually non-continuous slots 11 , 13 are milled, so that a meandering heating element 9 is formed. To build a ring furnace, connectors 15 are required, which are provided with holes 17 for screwing with two heating elements 9 and a further hole 19 for a screw connection with the electrical power source, not shown here. As a result, the heating elements are electrically flowed through in a meandering manner and no axial temperature profiles are sought in the heating area.

Fig. 3 zeigt die Konfiguration von mäanderförmigen Heizsegmenten 21 zu einem mehrstöckigen Heizer 23 vom Stapeltyp in einem Heizer-Haltekäfig 25, der seinerseits aus ringförmigen Graphitgliedern 27 und graphitischen Stützsäulen 29 besteht. Auf Grund des hohen Fertigungs- und Installationsaufwandes ist die Verwendung zusammensetzbarer Heizsegmente auf große Heizvorrichtungen und entsprechende Anwen­ dungsfälle begrenzt. Fig. 3 shows the configuration of meandering heating segments 21 to a multi-storey heater 23 of the stack type in a heater holding cage 25 , which in turn consists of annular graphite members 27 and graphite support columns 29 . Due to the high manufacturing and installation costs, the use of composite heating segments is limited to large heating devices and corresponding applications.

In Fig. 4 ist eine erfindungsgemäße Heizvorrichtung dargestellt. Das graphitische, zylindrische Heize­ lement 31 wird zwischen den Halterungen 33, 35 eingespannt, die auch über die hier nicht gezeigten elektrischen Anschlüsse verfügen und durch isolier­ te oder isolierende, zum Beispiel keramische Stütz­ stäbe 37 verbunden sind. Die Halterungen 33, 35 werden teilweise von den Halterungsmänteln 39, 41 umschlossen, die mit Wasseranschlußstutzen 43 ver­ sehen sind. Dadurch kann eine Wasserkühlung der Halterungen 33, 35 erfolgen. Zur Abschirmung der Ofenstrahlung ist das Mittelteil des Heizelementes 31 von einem Keramik-Zylinder 45 umschlossen. Die thermische Isolierung nach außen wird durch eine Keramikfasermatte 47 vervollständigt. Die Abschir­ mung des Heizelementes 31 in axialer Richtung er­ folgt über Gewindehülsen 49, die ebenfalls mit nicht gezeigten Fasermatten den Spalt zwischen zu beheizendem Heizgut 51, zum Beispiel einem Glasrohr und der Gewindehülse 49 ausfüllen und so das Heize­ lement 31 gegen die Umgebung abschirmen. Zur Beauf­ schlagung des Heizelementes 31 mit einem Inertgas­ strom ist die untere Halterung 35 mit Inertgas­ stutzen 53 versehen.In FIG. 4, a heating device according to the invention is shown. The graphitic, cylindrical heating element 31 is clamped between the brackets 33 , 35 , which also have the electrical connections not shown here and are connected by insulating or insulating, for example ceramic support rods 37 . The brackets 33 , 35 are partially enclosed by the bracket jackets 39 , 41 , which are seen with water connection stubs 43 ver. This allows the brackets 33 , 35 to be water-cooled. To shield the furnace radiation, the middle part of the heating element 31 is enclosed by a ceramic cylinder 45 . The thermal insulation to the outside is completed by a ceramic fiber mat 47 . The Abschir mung of the heating element 31 in the axial direction it follows via threaded sleeves 49, which are also filled with not shown fiber mats the gap between to beheizendem material to be heated 51, for example a glass tube and the threaded sleeve 49 and thus the heating floor lement 31 shielded from the environment. To Beauf striking the heating element 31 with an inert gas stream, the lower bracket 35 is provided with inert gas 53 .

Wie Fig. 5 zeigt, ist das Heizelement 31 mit axialen Längsschlitzen 55 versehen, die in dem zwischen den Anschlußkonussen 57 befindlichen, axial elektrisch durchströmten, verbliebenen Stegen 59 die Strom­ dichte stark erhöhen, so daß gesteigerte Tempera­ turen in dieser sogenannten Heißzone hervorgerufen werden.As shown in FIG. 5, the heating element 31 is provided with axial longitudinal slots 55 , which greatly increase the current density in the axially electrically flowed through webs 59 remaining between the connecting cones 57 , so that increased temperatures are caused in this so-called hot zone.

Fig. 6 verdeutlicht, daß mit Hilfe der Inertgasbe­ aufschlagung 53 Wärme von außen durch die Längs­ schlitze 55 des Heizelementes 31 an das von diesem umschlossene Heizgut 51 konvektiv übertragen werden kann. Damit dient das Inertgas neben einem Schutz des graphitischen Heizelementes 31 einer verbesser­ ten Wärmeabfuhr an das Heizgut 51. Fig. 6 illustrates that with the help of the inert gas loading 53 heat from the outside through the longitudinal slots 55 of the heating element 31 to the heating material 51 enclosed by this can be transferred convectively. In addition to protecting the graphitic heating element 31 , the inert gas thus serves to improve heat dissipation to the heating material 51 .

Das folgende Ausführungsbeispiel belegt die hohe Leistungsfähigkeit der erfindungsgemäßen Heizvor­ richtung, ohne jedoch die Leistungsgrenzen anzuge­ ben.The following embodiment shows the high Performance of the Heizvor invention direction without, however, increasing the performance limits ben.

Eine Heizvorrichtung nach Fig. 4 wurde für die Simu­ lation eines vertikalen MCVD-Prozesses zur Her­ stellung von Glasfaservorformen für optische Wel­ lenleiter in eine Verfahreinrichtung eingebaut und die mit einem Heizelement nach Fig. 5 und Fig. 6 erzielten Temperaturen und Temperaturprofile im obigen Prozeß experimentell ermittelt. Als Heizgut wurde, dem simulierten Prozeß entsprechend, ein Heralux-Quarzglasrohr der Firma Heraeus Quarz­ schmelze GmbH, Hanau mit den Abmessungen 040×1,8×1000 verwendet und die Temperaturen auf der Rohrinnenwand des Quarzrohres, an dem entlang die Heizvorrichtung verfahren wurde, gemessen.A heating device according to Fig. 4 was lation for Simu a vertical MCVD process for the manufacture Provision of fiber preforms for optical Wel lenleiter in a traversing installed and the experimentally with a heating element of FIG. 5 and FIG. 6 temperatures achieved and temperature profiles in the above process determined. A Heralux quartz glass tube from Heraeus Quarz schmelze GmbH, Hanau with the dimensions 040 × 1.8 × 1000 was used as the heating material, corresponding to the simulated process, and the temperatures were measured on the inner wall of the quartz tube along which the heating device was moved .

Bei einer Leistungsaufnahme von 16 kVA und einer Inertgasbeaufschlagung von 4 l Stickstoff / min wurde bei einer dem Vorbild entsprechenden Ofenver­ fahrgeschwindigkeit von 20 cm/min die angestrebte Temperatur von 2000 K erreicht. Noch höhere Tempe­ raturen konnten mit Rücksicht auf den Er­ weichungspunkt des Quarzglases nicht angefahren werden.With a power consumption of 16 kVA and one Inert gas admission of 4 l nitrogen / min was in a stove ver travel speed of 20 cm / min the desired Temperature of 2000 K reached. Even higher tempe fittings with due regard to the Er the quartz glass has not reached the softening point will.

Claims (7)

1. Elektrischer Widerstandsofen zur Erzeugung hoher Temperaturen dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Strom­ dichte in dem axialsymmetrischen und axial durchströmten, im wesentlichen rohrförmigen Wider­ standskörper aus Graphit oder keramischem Material durch die Anbringung axialer, über den Umfang ver­ teilter Schlitze, die sich nicht über die ganze Ofenlänge erstrecken, sondern wenige Zentimeter vor den Stirnflächen des Widerstandskörpers enden, in den verbleibenden, elektrisch durchströmten Stegen stark erhöht wird und dadurch wesentlich gesteiger­ te Ofentemperaturen hervorgerufen werden.1. Electrical resistance furnace for generating high temperatures, characterized in that the electrical current density in the axially symmetrical and axially flowed through, essentially tubular resistance body made of graphite or ceramic material by the application of axial, over the circumference ver divided slots that are not on the extend the entire length of the furnace, but end a few centimeters in front of the end faces of the resistance body, is greatly increased in the remaining, electrically flowed webs and this causes much higher furnace temperatures. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß durch die Anordnung und die Formgebung der stromdurchflossenen Stege - insbesondere hinsichtlich Länge und Breite - vorge­ gebene Temperaturprofile erzielt werden.2. Device according to claim 1 characterized in that by the arrangement and the shape of the current-carrying bars - especially with regard to length and width - pre given temperature profiles can be achieved. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, daß durch symmetrische Anordnung der Längsschlitze über den Umfang kon­ stante Temperaturen in azimutaler Richtung erzeugt werden. 3. Device according to claim 1 or 2 characterized in that by symmetrical Arrangement of the longitudinal slots on the circumference kon constant temperatures in the azimuthal direction will.   4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, daß durch unsymmetrische Anordnung der Längsschlitze über den Umfang Tempe­ raturgradienten in azimutaler Richtung erzeugt werden.4. Apparatus according to claim 1 or 2 characterized in that by asymmetrical Arrangement of the longitudinal slots over the circumference of Tempe generated in the azimuthal direction will. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4 dadurch gekennzeichnet, daß zur Steigerung des Wärmeüberganges von der Heizvorrichtung an das zu beheizende Objekt ein von außen radial durch die Schlitze geführter, geeigneter Gasstrom zusätzlich eine konvektive Wärmeübertragung hervorruft.5. Apparatus according to claim 1, 2, 3 or 4 characterized in that to increase the Heat transfer from the heater to the heating object a radially from the outside through the Slit-guided, suitable gas flow additionally causes convective heat transfer. 6. Vorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung der axia­ len Temperaturgradienten eine lokale Kühlung des Widerstandskörpers mittels geeigneter Fluide vorge­ sehen wird.6. Device according to one of the preceding claims characterized in that to increase the axia len temperature gradients local cooling of the Resistor body pre-selected using suitable fluids will see. 7. Halterung gekennzeichnet durch seine Bestimmung zur Aufnahme der Heizelemente nach einem der Ansprüche 1 bis 6.7. Bracket characterized by its destination for inclusion of the heating elements according to one of claims 1 to 6.