DE3619864C2 - - Google Patents
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- Magnetic Heads (AREA)
- Electrophotography Using Other Than Carlson'S Method (AREA)
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines
Aufzeichnungskopfes, der relativ zu einem Aufzeichnungs
träger bewegbar ist und ein nichtmagnetisches isolierendes
Substrat und eine Vielzahl von aus einem leitenden magneti
schen Material hergestellten nadelartigen Elektroden auf
weist zum Aufzeichnen von Daten auf dem Aufzeichnungsträger
mit Hilfe eines leitenden magnetischen Toners auf dem Auf
zeichnungsträger.
Ein Aufzeichnungskopf dieser Art ist z. B. in US-PS 38 16 840
beschrieben. Dieser Aufzeichnungskopf umfaßt ein nicht-
magnetisches isolierendes Substrat und eine Vielzahl von
aus einem leitenden magnetischen Werkstoff hergestellten
nadelartigen Elektroden. Bei der Herstellung des Aufzeich
nungskopfes müssen die Elektroden genauestens mit einer
vorbestimmten Form ausgebildet werden. Außerdem muß dabei
ein höchst zuverlässiger Aufzeichnungskopf hergestellt wer
den, bei dem ein Herausfallen oder Ablösen der leitenden
magnetischen Elektroden aus dem bzw. vom isolierenden Sub
strat (oder Träger) verhindert ist. Zudem ist es erforder
lich, ein Ablösen der Elektroden vom isolierenden Substrat
im Betrieb des Aufzeichnungskopfes zu verhindern.
Aufgabe der Erfindung ist damit die Schaffung eines Verfah
rens zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes, bei dem
die leitenden magnetischen Elektroden genauestens mit einer
vorbestimmten Form oder Gestalt ausgebildet und die aus
einem leitenden magnetischen Werkstoff geformten Elektroden
sicher vor einem Herausfallen oder Ablösen aus einem bzw.
von einem isolierenden Substrat geschützt sind.
Gelöst wird diese Aufgabe, ausgehend von einem Verfahren der
einleitend genannten Art, gemäß der Erfindung dadurch, daß
eine leitende magnetische Folie unter Zwischenfügung einer
Klebmittelschicht an einem isolierenden Substrat einer
ersten Größe angebracht wird, dessen erste Größe gleich
oder größer ist als eine zweite Größe desselben, die durch
das isolierende Substrat eines fertiggestellten Aufzeichnungs
kopfes definiert ist, die leitende magnetische Folie zur
Erzeugung einer Vielzahl von Schlitzen in vorbestimmten
gegenseitigen Abständen selektiv geätzt wird, wobei beide
Enden der Schlitze jeweils über eine Seitenkante des fertig
gestellten Aufzeichnungskopfes hinausreichen und die rest
lichen Abschnitte der leitenden magnetischen Folie elektrisch
miteinander verbunden sind, die leitende magnetische Folie
an ihrer einen von der betreffenden Seite des fertiggestell
ten Aufzeichnungskopfes zurückspringenden Seitenkante zur
Ausbildung einer Metallisierungsschicht für einen Abschluß
streifen galvanisiert wird, wobei der genannte Seitenkanten
abschnitt der leitenden magnetischen Folie den einen End
abschnitt der Schlitze schneidet und ihr anderer Seitenkan
tenabschnitt als gemeinsame oder Sammelelektrode für den
Galvanisierschritt benutzt wird, und die über die Seiten
kante des isolierenden Substrats des fertiggestellten Auf
zeichnungskopfes hinausragenden Bereiche der leitenden
magnetischen Folie, der Metallisierungsschicht und des
(anfänglichen) isolierenden Substrats entfernt werden, um
eine Parallelanordnung von leitenden magnetischen Elektroden
und einen Anschlußstreifen am genannten einen Seitenkanten
abschnitt der Elektroden auszubilden und die andere Seiten
fläche des Aufzeichnungskopfes eben zu machen.
Weitere Merkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen
angegeben.
Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsbeispiele der
Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1A bis 1D jeweils Aufsichten zur Erläuterung
eines Verfahrens zur Herstellung eines Auf
zeichnungskopfes gemäß einer ersten Aus
führungsform der Erfindung,
Fig. 2A bis 2D jeweils Schnitte längs der Linien
IIA-IIA, IIB-IIB, IIC-IIC bzw. IID-IID in
den Fig. 1A bis 1D,
Fig. 3 eine Aufsicht zur Erläuterung eines Ver
fahrens zur Herstellung eines Aufzeichnungs
kopfes gemäß einer zweiten Ausführungsform
der Erfindung,
Fig. 4A bis 4D jeweils Aufsichten zur Erläuterung
eines Verfahrens zur Herstellung eines
Aufzeichnungskopfes gemäß einer dritten
Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 5A bis 5D jeweils Schnitte längs der Linien
VA-VA, VB-VB, VC-VC bzw. VD-VD in den
Fig. 4A bis 4D,
Fig. 6A und 6B jeweils Aufsichten zur Erläuterung
eines Verfahrens zur Herstellung eines Auf
zeichnungskopfes gemäß einer vierten Aus
führungsform der Erfindung und
Fig. 7A und 7B Schnitte längs der Linien VIIA-VIIA
bzw. VIIB-VIIB in Fig. 6A bzw. 6B.
Im folgenden ist zunächst anhand der Fig. 1A bis 1D
und 2A bis 2D ein Verfahren zur Herstellung eines Auf
zeichnungskopfes gemäß einer ersten Ausführungsform
der Erfindung beschrieben.
Gemäß den Fig. 1A und 2A wird auf einem Glas-Substrat
oder -Träger 10 eine isolierende Klebmittelschicht
12 vorgesehen, an welcher sodann eine z. B. 50 µm dicke
Fe-Co-Folie 14 mit größeren Abmessungen als denen
des Glas-Substrats 10 als leitende magnetische Folie
oder Lage angebracht wird. Sodann wird auf nicht dar
gestellte Weise ein Abdeck- oder Resistmuster mit
einer Vielzahl von Schlitzen nach einem Photoätzver
fahren ausgebildet.
Gemäß den Fig. 1B und 2B wird eine Ätzlösung auf die
mit dem Resistmuster als Maske versehene Fe-Co-Folie
14 aufgeblasen, um letztere selektiv zu ätzen und in
ihr eine Vielzahl von z. B. 50 µm breiten Schlitzen 16
in gegenseitigen Abständen von 50 µm auszubilden. In
diesem Verfahrensschritt wird die isolierende Kleb
mittelschicht 12 als Unterlageschicht, wie in den ge
punkteten Bereichen in Fig. 1B dargestellt, an den
Sohlen der Schlitze 16 freigelegt. Die beiden Endab
schnitte 18 a, 18 b jedes Schlitzes erstrecken sich da
bei über die Seitenkanten 20 des Glas-Substrats 10
hinaus. Nach der Ausbildung der Schlitze wird das
Resistmuster von dem so entstandenen Gebilde abge
zogen oder abgestreift.
Der eine Längskantenteil 22 der Fe-Co-Folie 14 wird
dann zusammen mit dem Glas-Substrat 10 zunächst ver
nickelt und hierauf in eine Goldmetallisier- oder
Vergoldungslösung eingetaucht. Gemäß den Fig. 1C und 2C
wird dieser Bereich des erhaltenen Gebildes unter
Heranziehung des rahmenartigen Abschnitts 24 der Fe-
Co-Folie 14 als gemeinsame oder Sammelelektrode gal
vanisiert (electroplated), um eine durch die schraf
fierten Bereiche in Fig. 1C angedeutete Vergoldungs
schicht 26 für einen (metallisierten) Anschlußstrei
fen auszubilden; hierbei ist darauf hinzuweisen, daß
der rahmenartige Abschnitt 24 mit den darin ausgebil
deten Schlitzen 16 erhalten bleibt und die Vergoldungs
schicht 26 auf dem vom Glas-Substrat 10 zurücksprin
genden (recedes) Längskantenteil 22 der Fe-Co-Folie 14
ausgebildet ist.
Die Fe-Co-Folie 14, die Vergoldungsschicht 26 und die
isolierende Klebmittelschicht 12 werden hierauf längs
der jeweiligen Seitenkante des Glas-Substrats 10 ge
schnitten und poliert. Es ist zu beachten, daß die
endgültige Größe des Glas-Substrats 40 praktisch der
Größe des anfänglich vorgesehenen Glas-Substrats 10
entspricht. Dieser Aufzeichnungskopf umfaßt das Glas-
Substrat 40, die parallel zueinander auf letzterem
ausgebildeten Fe-Co-Elekroden 30 (aus einem leiten
den magnetischen Werkstoff), die Klebmittelschicht
12 und den an der linken Seite der Fe-Co-Elektroden
30 erzeugten Anschlußstreifen 32.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die leitende magne
tische (Fe-Co-)Folie 14 (zunächst) mit größeren Ab
messungen als denen des Glas-Substrats 10 ausgebildet,
wobei die Schlitze 16 so ausgebildet werden können,
daß sie sich über die Seite(n) des Glas-Substrats
hinaus erstrecken. Wenn die leitende magnetische Folie
14 zum Ende (Rand) des Glas-Substrats 40 (bündig)
poliert (oder geschliffen) wird, können die leitenden
magnetischen Elektroden 30 unter Verbesserung der
Bildauflösung des Aufzeichnungskopfes genauestens
erzeugt werden. Auf diese Weise wird auch eine un
gleichmäßige Konzentration oder Dichtverteilung des
Bilds verhindert.
Da die Fe-Co-Folie 14 größere Abmessungen als das
Glas-Substrat 10 besitzt, wird ein Fließen des Kleb
mittels auf die Oberfläche der Folie 14 und damit ihre
Verunreinigung durch das Klebmittel verhindert. Ebenso
kann eine Anlagerung des Resistmaterials an die Seite
oder Kante des Glas-Substrats 10 vermieden werden.
Die Fe-Co-Elektroden werden indirekt unter Nutzung
der Schlitze 16 und nicht nach einem unmittelbaren
Verfahren erzeugt. Die Vergoldungsschicht 26 für
einen Anschlußstreifen wird unter Heranziehung des
erwähnten rahmenartigen Abschnitts 24 als Sammelelek
trode erzeugt. Hierdurch wird verhindert, daß sich
die leitende magnetische Folie 14 während der Her
stellung des Aufzeichnungskopfes ablöst. Der Aufzeich
nungskopf kann mithin mit hohem Ausbringen hergestellt
werden, und er weist höchst zuverlässige leitende
magnetische Elektroden auf, bei denen kein Abbröckeln,
Kurzschließen usw. auftritt.
Obgleich bei der beschriebenen Ausführungsform ein
Glas-Substrat verwendet wird, kann ein beliebiges
anderes isolierendes Substrat, z. B. ein Keramik-Sub
strat, ebenfalls verwendet werden. Das isolierende
Substrat kann an seinem Randabschnitt, der dem Rand
abschnitt, an welchem der Anschlußstreifen ausgebil
det wird oder ist, gegenüberliegt, sich verjüngend
(tapered) ausgebildet sein.
Während bei der beschriebenen Ausführungsform die
Fe-Co-Folie als leitende magnetische Folie vorgesehen
ist, kann auch eine beliebige andere leitende magne
tische Folie, z. B. aus einer Fe-Ni-Legierung, ver
wendet werden.
Bei der beschriebenen Ausführungsform sind die leiten
den magnetischen Elektroden jeweils gleich breit;
diese Elektroden können aber auch im Anschlußstrei
fen-Erzeugungsbereich breiter ausgebildet sein als
im restlichen Bereich, um ein einfaches Anschließen
zu erlauben.
Ein Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes
gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung ist
nachstehend anhand von Fig. 3 erläutert. Bei der (beim)
ersten Ausführungsform (oder -beispiel) werden die
zahlreichen Schlitze mit beidseitig geschlossenen
Enden durch Ätzen geformt. Beim zweiten Ausführungs
beispiel werden zahlreiche Schlitze so ausgebildet,
daß sie jeweils an der Seite, wo der Anschlußstreifen
geformt sind, ein offenes Ende 34 aufweisen. Unter
Heranziehung der einen Längskante 24 a der vorgesehenen
leitenden magnetischen Folie als Sammelelektrode kann
(dann) die Vergoldungsschicht 26 im anderen Längs
kantenbereich dieser Folie erzeugt werden. Die anderen
Verfahrensschritte entsprechen denen beim ersten Aus
führungsbeispiel, und den Teilen von Fig. 1C entspre
chende Teile sind in Fig. 3 mit denselben Bezugs
ziffern wie vorher bezeichnet und daher nicht mehr
im einzelnen erläutert.
Im folgenden ist ein Verfahren zur Herstellung eines
Aufzeichnungskopfes gemäß einer dritten Ausführungs
form anhand der Fig. 4A bis 4D und 5A bis 5D beschrie
ben.
Gemäß den Fig. 4A und 5A wird zunächst auf einem
Glas-Substrat 10 eine 20-200 µm dicke isolierende
Klebmittelschicht 12 vorgesehen, an welche eine z. B.
30 µm dicke Fe-Co-Folie 14 als leitende magnetische
Folie angebracht wird. Die Fe-Co-Folie 14 besitzt da
bei kleinere Abmessungen als das Glas-Substrat 10,
aber größere Abmessungen als das Substrat eines fertig
gestellten Aufzeichnungskopfes. Sodann wird nach einem
Photoätzverfahren (nicht dargestellt) ein Abdeck- oder
Resistmuster mit einer Vielzahl von Schlitzen ausge
bildet.
Gemäß den Fig. 4B und 5B wird unter Nutzung des Resist
musters als Maske eine Ätzlösung auf das erhaltene
Gebilde aufgeblasen, um eine Vielzahl von jeweils
z. B. 50 µm breiten Schlitzen in gegenseitigen Ab
ständen (pitch) von 125 µm zu erzeugen. Dabei wird
die isolierende Klebmittelschicht 12 als Unterlage
schicht an den Sohlen der Schlitze freigelegt. Die
beiden Enden 18 a, 18 b jedes Schlitzes 16 sind dabei
so angeordnet, daß sie außerhalb der Randkante des
endgültigen Substrats des Aufzeichnungskopfes liegen.
Nach der Erzeugung der Schlitze 16 wird das Resist
muster vom erhaltenen Gebilde abgezogen.
Hierauf wird gemäß den Fig. 4C und 5C ein Schutzfilm,
z. B. ein Epoxyharzfilm 28 auf der Oberfläche der Fe-
Co-Folie 14 ausgebildet. Der eine Dicke von 20-200 µm
besitzende Epoxyharzfilm 28 wird unter Freilassung
eines Anschlußstreifen-Erzeugungsbereichs geformt.
Mit dem als Maske dienenden Epoxyharzfilm 28 wird zu
nächst der eine Längskantenbereich 22 der Fe-Co-Folie
14 gemeinsam mit dem Glas-Substrat 10 vernickelt,
wobei darauf hinzuweisen ist, daß dieser Längskanten
bereich 22 der Fe-Co-Folie 14 von der Seitenkante
des Substrats eines fertiggestellten Aufzeichnungs
kopfes zurückspringt (bzw. einwärts verläuft). Das
so gewonnene Gebilde wird dann in eine Vergoldungs
lösung eingetaucht. Unter Benutzung des rahmenartigen
Abschnitts 24 der Fe-Co-Folie 14 als Sammelelektrode
erfolgt hierauf ein Galvanisieren (oder Metallisieren)
zur Ausbildung einer Vergoldungsschicht 26 für einen
Anschlußstreifen.
Gemäß den Fig. 4D und 5D werden das Glas-Substrat 10,
die Fe-Co-Folie 14 und die Vergoldungsschicht 26 pa
rallel zur äußeren (Schmal-)Seite des Substrats 10
geschnitten und poliert, wobei der rahmenartige Ab
schnitt 24 der Folie 14 entfernt wird. Das fertigge
stellte Substrat 40 besitzt mithin kleinere Abmessungen
als das anfänglich verwendete Substrat. Auf diese
Weise wird ein erfindungsgemäßer Aufzeichnungskopf
hergestellt, der das Glas-Substrat 40, eine Anordnung
von parallel zum Glas-Substrat 40 ausgebildeten und
aus einem leitenden magnetischen Werkstoff bestehenden
Fe-Co-Elektroden 30, den an der einen Seite der
Fe-Co-Elektroden 30 ausgebildeten Anschlußstreifen
32, die Klebmittelschicht 12 und den die Elektroden
36 bedeckenden Schutzfilm 36 umfaßt.
Mit dem dritten Ausführungsbeispiel werden dieselben
Vorteile wie beim ersten Ausführungsbeispiel erzielt.
Da auf ihnen der Schutzfilm 36 ausgebildet ist, sind
die leitenden magnetischen Elektroden vor einem Ab
lösen vom restlichen Aufzeichnungskopf geschützt.
Die Fig. 6A und 6B sowie 7A und 7B veranschaulichen
ein Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungs
kopfes gemäß einer vierten Ausführungsform der Er
findung.
Nachdem wie beim dritten Ausführungsbeispiel Schlitze
ausgebildet worden sind, wird gemäß den Fig. 6A und
7A ein Epoxyharzfilm 28 auf der Fe-Co-Folie 14 ausge
bildet. Der Epoxyharzfilm besteht dabei aus einem
ersten, an der einen Seite der Fe-Co-Folie 14 vorge
sehenen Abschnitt 28 a und einem zweiten, an ihrer
anderen Seite vorgesehenen Abschnitt 28 b, wobei zwi
schen diesen beiden Abschnitten 28 a und 28 b ein An
schlußstreifen-Erzeugungsbereich nach außen hin frei
liegt. Unter Heranziehung dieser beiden Abschnitte
28 a, 28 b als Maske wird auf dieselbe Weise wie beim
dritten Ausführungsbeispiel eine Vergoldungsschicht
26 erzeugt.
Sodann werden gemäß den Fig. 6B und 7B das Glas-Substrat
10, die Klebmittelschicht 12, die Fe-Co-Folie 14 und
die Schutzschichten oder -filme 28 a, 28 b an den Sei
ten geschnitten und poliert, wobei der rahmenartige
Abschnitt 24 der Fe-Co-Folie 14 entfernt wird. Auf
diese Weise wird ein Aufzeichnungskopf erhalten, der
das Substrat 40 mit kleineren Abmessungen als beim
anfänglich verwendeten Substrat 10, die Klebmittel
schicht 12, eine Parallelanordnung von Fe-Co-Elek
troden 30, den Anschlußstreifen 32 sowie erste und
zweite Schutzfilme 36 a bzw. 36 b umfaßt.
Aufgrund der beschriebenen Ausbildung der Schutz
schichten oder -filme 28 a, 28 b kann die Fläche der
Vergoldungsschicht 26 auf erforderliche Weise klein
gehalten werden. Außerdem wird hierdurch ein Ablösen
der leitenden magnetischen Elektroden 30 vom rest
lichen Teil des Aufzeichnungskopfes bei ihrer Her
stellung und im Betrieb vermieden.
Claims (5)
1. Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes,
der relativ zu einem Aufzeichnungsträger bewegbar ist
und ein nichtmagnetisches isolierendes Substrat und eine
Vielzahl von aus einem leitenden magnetischen Material
hergestellten nadelartigen Elektroden aufweist zum Auf
zeichnen von Daten auf dem Aufzeichnungsträger mit
Hilfe eines leitenden magnetischen Toners auf dem
Aufzeichnungsträger,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine leitende magnetische Folie (14) unter Zwischen fügung einer Klebmittelschicht (12) an einem isolie renden Substrat (10) einer ersten Größe angebracht wird, dessen erste Größe gleich oder größer ist als eine zweite Größe desselben, die durch das isolierende Substrat eines fertiggestellten Aufzeichnungskopfes definiert ist,
die leitende magnetische Folie zur Erzeugung einer Vielzahl von Schlitzen in vorbestimmten gegenseitigen Abständen selektiv geätzt wird, wobei beide Enden der Schlitze jeweils über eine Seitenkante (20) des fertig gestellten Aufzeichnungskopfes hinausreichen und die restlichen Abschnitte der leitenden magnetischen Folie elektrisch miteinander verbunden sind,
die leitende magnetische Folie (14) an ihrer einen von der betreffenden Seite des fertiggestellten Aufzeich nungskopfes zurückspringenden Seitenkante zur Ausbildung einer Metallisierungsschicht für einen Abschlußstreifen galvanisiert wird, wobei der genannte Seitenkantenab schnitt der leitenden magnetischen Folie (14) den einen Endabschnitt der Schlitze schneidet und ihr anderer Seitenkantenabschnitt als gemeinsame oder Sammelelektrode für den Galvanisierschritt benutzt wird, und
die über die Seitenkante des isolierenden Substrats (40) des fertiggestellten Aufzeichnungskopfes hinausragenden Bereiche der leitenden magnetischen Folie, der Metalli sierungsschicht und des (anfänglichen) isolierenden Sub strats entfernt werden, um eine Parallelanordnung von lei tenden magnetischen Elektroden (30) und einen Anschluß streifen am genannten einen Seitenkantenabschnitt der Elektroden auszubilden und die andere Seitenfläche des Aufzeichnungskopfes eben zu machen.
eine leitende magnetische Folie (14) unter Zwischen fügung einer Klebmittelschicht (12) an einem isolie renden Substrat (10) einer ersten Größe angebracht wird, dessen erste Größe gleich oder größer ist als eine zweite Größe desselben, die durch das isolierende Substrat eines fertiggestellten Aufzeichnungskopfes definiert ist,
die leitende magnetische Folie zur Erzeugung einer Vielzahl von Schlitzen in vorbestimmten gegenseitigen Abständen selektiv geätzt wird, wobei beide Enden der Schlitze jeweils über eine Seitenkante (20) des fertig gestellten Aufzeichnungskopfes hinausreichen und die restlichen Abschnitte der leitenden magnetischen Folie elektrisch miteinander verbunden sind,
die leitende magnetische Folie (14) an ihrer einen von der betreffenden Seite des fertiggestellten Aufzeich nungskopfes zurückspringenden Seitenkante zur Ausbildung einer Metallisierungsschicht für einen Abschlußstreifen galvanisiert wird, wobei der genannte Seitenkantenab schnitt der leitenden magnetischen Folie (14) den einen Endabschnitt der Schlitze schneidet und ihr anderer Seitenkantenabschnitt als gemeinsame oder Sammelelektrode für den Galvanisierschritt benutzt wird, und
die über die Seitenkante des isolierenden Substrats (40) des fertiggestellten Aufzeichnungskopfes hinausragenden Bereiche der leitenden magnetischen Folie, der Metalli sierungsschicht und des (anfänglichen) isolierenden Sub strats entfernt werden, um eine Parallelanordnung von lei tenden magnetischen Elektroden (30) und einen Anschluß streifen am genannten einen Seitenkantenabschnitt der Elektroden auszubilden und die andere Seitenfläche des Aufzeichnungskopfes eben zu machen.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Ende jedes Schlitzes an einer Außenkante der leiten
den magnetischen Folie offen ist und eine Metallisierungs
folie oder -schicht (32) auf der leitenden magnetischen
Folie in einem Bereich, in welchem sich das eine Ende des
(jedes) Schlitzes befindet, ausgebildet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
auf der leitenden magnetischen Folie und der Metalli
sierungsschicht nach der Ausbildung der letzten ein
Schutzfilm (28, 28 a, 28 b; 36, 36 a, 36 b) erzeugt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
nach der Ausbildung der Schlitze (16) auf der leitenden
magnetischen Folie ein Schutzfilmmuster (28, 36) unter
Freilassung eines Anschlußstreifen-Erzeugungsbereiches
erzeugt wird und die Metallisierungsschicht (26) nach
einem Galvanisierverfahren unter Heranziehung des
Schutzfilmmusters als Maske erzeugt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
nach der Erzeugung der Schlitze (16) auf der leitenden
magnetischen Folie ein Schutzfilmmuster (28 a, 28 b;
36 a, 36 b) erzeugt wird, das einen am einen Seitenab
schnitt der leitenden magnetischen Folie vorgesehenen
ersten Abschnitt (28 a; 36 a) und einen am anderen Seiten
abschnitt dieser Folie vorgesehenen zweiten Abschnitt
(28 b; 36 b) aufweist, und die Metallisierungsschicht
(26; 32) nach einem Galvanisierverfahren unter Heranziehung
des Schutzfilmmusters als Maske erzeugt wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60142140A JPS621552A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 記録ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE3619864A1 DE3619864A1 (de) | 1987-01-08 |
DE3619864C2 true DE3619864C2 (de) | 1988-09-01 |
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Families Citing this family (2)
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Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5530228A (en) * | 1978-08-24 | 1980-03-04 | Sony Corp | Index signal forming circuit |
IE51854B1 (en) * | 1980-12-03 | 1987-04-15 | Memorex Corp | Method of fabricating a metallic pattern on a substrate |
US4424271A (en) * | 1982-09-15 | 1984-01-03 | Magnetic Peripherals Inc. | Deposition process |
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- 1985-06-28 JP JP60142140A patent/JPS621552A/ja active Granted
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1986
- 1986-06-05 US US06/870,898 patent/US4701767A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-13 DE DE19863619864 patent/DE3619864A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
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