DE3616390A1 - Verfahren und schaltungsanordnung zur messung des eigenschwingverhaltens eines rotierenden koerpers - Google Patents
Verfahren und schaltungsanordnung zur messung des eigenschwingverhaltens eines rotierenden koerpersInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung des Eigen
schwingverhaltens eines um eine Achse rotierenden langge
streckten Körpers unter Verwendung der berührungslosen kapa
zitiven Wegmessung, wobei mindestens zwei Meßsonden so ange
ordnet werden, daß sie die individuellen, den Abstand zwi
schen einer jeweiligen Meßelektrode und dem Körper repräsen
tierenden Kapazitätswerte aufnehmen, und der Körper selbst
zu seiner Umgebung hin eine Gesamtkapazität bildet sowie
eine Schaltungsanordnung zur Durchführung desselben. Insbe
sondere betrifft die Erfindung ein Verfahren zur kontinuier
lichen, berührungslosen Wegmessung an einem galvanisch ge
trennten, nahezu nichtleitenden rotierenden Körper.
Bei der dynamischen, mechanischen Vermessung von z. B.
schnellaufenden Gasultrazentrifugen im Vakuum ist es erfor
derlich, gleichzeitig in mehreren (10-30) Ebenen die Bewe
gungen des langen Rotors zu erfassen. Da die zeitliche
Zuordnung der Wegsignale von großer Bedeutung ist, müssen
alle eingesetzten Meßsysteme gleichzeitig und kontinuierlich
arbeiten. Bei der Zentrifuge als Meßobjekt kommt jedoch
erschwerend hinzu, daß der Rotor zum größten Teil aus nicht
leitendem Material bestehen kann und sämtliche Komponenten
(auch die Metallteile) während des Betriebes nicht galva
nisch mit dem Bezugspotential verbunden sind, sondern ledig
lich über die Kapazität, die der Rotor zusammen mit dem
Rezipienten bildet, eine Kopplung zum Bezugspotential er
reicht werden kann. Damit ist eine gegenseitige Beeinflus
sung der Meßsignale durch das Meßobjekt unvermeidlich.
Messungen an nahezu nichtleitenden Körpern sind mit vertret
barem Aufwand nur mit Systemen, die auf kapazitiver Basis
arbeiten, durchführbar, zumal wenn sich das Objekt im Vakuum
befindet. So stehen z. B. kapazitive Wegmeßsysteme der Fa.
DISA zur Verfügung, die zu Beginn der Entwicklung der neuen
Zentrifugengeneration auch erfolgreich eingesetzt wurden.
Bei diesem System wird die Wegänderung als Kapazitätsände
rung erfaßt und in Form einer Frequenzmodulation, da die
interessierende "Wegkapazität" Bestandteil des Oszillator
schwingkreises ist, einer geeigneten Auswerteschaltung zu
geführt. Die Oszillatoren arbeiten im Frequenzbereich von 4
- 6 MHz. Die tatsächliche Frequenz wird nun aber nicht
ausschließlich nur von dem augenblicklich gemessenen Abstand
bestimmt, sondern von vielen parasitären Einflüssen überla
gert wie Bauform der Meßsonde, Bauteilestreuungen in den
Oszillatoren, Länge und Lage der Verbindungskabel Meßsonde/
Abstimmstecker/Oszillator und Umgebungstemperatur.
Solange nur ein Meßsystem je Meßobjekt verwendet wird, haben
alle diese Einflußmöglichkeiten nur geringe Auswirkungen auf
die Korrektheit des Meßergebnisses, zumal wenn es sich um
Kurzzeitmessungen handelt und jeweils unmittelbar vor der
eigentlichen Messung eine individuelle Kalibrierung durchge
führt wird.
Wenn viele Systeme auf ein nicht galvanisch verbundenes nur
kapazitiv verkoppeltes Meßobjekt arbeiten, so beeinflussen
sich alle Oszillatoren über die gemeinsame Koppelkapazität
Rotor/Rezipient. Wenn Oszillatoren auf Frequenzen arbeiten,
deren Mischprodukte in die Übertragungsbandbreite der einge
setzten Demodulatoren fallen, produzieren sie Ausgangssi
gnale, die überhaupt nicht vom Meßobjekt stammen. Fehlinfor
mationen können daher bei den herkömmlichen Systemen nicht
generell ausgeschlossen werden.
Zusätzlich ist die Langzeitkonstanz bei den zur Verfügung
stehenden Systemen so schlecht, daß häufiges Nachkalibrieren
notwendig ist, was mit großem Zeitaufwand und an laufenden
Zentrifugen sogar noch mit einem hohen Risiko verbunden ist.
Die der Erfindung gestellte Aufgabe besteht nunmehr darin,
das e. g. Verfahren und die Schaltungsanordnung zur Durch
führung desselben derart auszugestalten, daß konstruktiv
parasitäre Einflußmöglichkeiten, z. B. durch gegenseitige
Beeinflussung der Systeme auf das Meßergebnis, so gering
gehalten werden können, daß insgesamt ein Wegmeßsystem mit
guter Langzeitkonstanz und hoher Empfindlichkeit erhalten
wird.
Insbesondere galt es daher, ein Meßsystem für die Wegmessung
an schnellaufenden Zentrifugenrotoren, die aus nichtleiten
dem Material gefertigt und im Betrieb lediglich über ihre
Koppelkapazität Rotor/Rezipient mit der Bezugsmasse verbun
den sind, zu entwickeln. Dabei war zu berücksichtigen, daß
gleichzeitig eine größere Zahl von Einheiten auf das gleiche
Meßobjekt arbeiten, eine gegenseitige Beeinflussung der
Ausgangssignale prinzipiell ausgeschlossen sein sollte, eine
gute Meßgenauigkeit bei einem großen Arbeitsbereich gefor
dert wurde, der Kalibrieraufwand bezogen auf die Betriebs
zeit minimal sein sollte, der Kalibriervorgang vom Meßobjekt
ins Labor verlagert werden sollte, konstruktiv parasitäre
Einflußmöglichkeiten auf das Meßergebnis so gering wie mög
lich zu halten waren und insgesamt das Wegmeßsystem gute
Langzeitkonstanz besitzen sollte.
Die Lösung ist in den kennzeichnenden Merkmalen des Anspru
ches 1 beschrieben.
Die weiteren Ansprüche geben eine Schaltungsanordung sowie
vorteilhafte Ausführungsformen derselben an, mit der das
erfindungsgemäße Verfahren durchführbar ist.
Das erfindungsgemäße kapazitive Wegmeßsystem benutzt zwar,
wie die bislang bekannten, einen hochfrequenten Träger, der
durch die Kapazitätsänderung infolge der Abstandsunterschie
de Meßsonde/Objektoberfläche moduliert wird, aber im Gegen
satz zu den anderen wird nicht die Frequenz (FM), sondern
die Amplitude (AM) bei quarzstabiler Frequenz verändert.
Um, wie gefordert ist, eine gegenseitige Beeinflussung der
Systeme über das Meßobjekt zu vermeiden, werden zwei Bedin
gungen strikt eingehalten:
Die Bandbreite des Demodulators zur Auswertung der Weginfor
mation ist erheblich kleiner als die Frequenzunterschiede
bei den verwendeten Oszillatoren der einzelnen Meßsonden und
es sind niemals zwei oder mehrere Meßsysteme mit der glei
chen Trägerfrequenz am selben Objekt eingesetzt.
Um die Ergebnisse der FM-Geräte nicht nur zu erreichen,
sondern bei weitem zu übertreffen, erfolgt eine
- - Steigerung der Empfindlichkeit der abgeschirmten Meßsonde durch Optimierung des Verhältnisses aktive Kodensatorflä che zu parasitären Streukapazitäten bei vorgegebenem Maxi maldurchmesser, eine
- - Erhöhung der elektrischen Stabilität durch Reduzierung der negativen Beeinflussungsmöglichkeiten am Flanschanschluß durch die Verwendung massiver Komponenten bei kürzest möglichem Abstand Meßsonde/Elektronik, eine
- - Verbesserung der thermischen Stabilität durch Verwendung eines speziell temperierten, doppelwandigen Gehäuses, wobei durch die chemische Vergütung der Oberfläche des Außengehäuses (kleines ε) sowohl der Energieverbrauch als auch die Beeinflussung von der Umgebung minimiert werden, eine
- - Verstärkung der Abschirmung sowohl gegen das Austreten der eigenen als auch die negative Beeinflussung aufgrund ex terner HF-Felder durch konstruktive Maßnahmen, ein
- - Anschluß der externen Meßsonde an eine kapazitive Brücke mit optimaler Empfindlichkeit, die gleichzeitig noch einen Teil des Ausgangsschwingkreises der HF-Leistungsendstufe darstellt, eine
- - Verwendung von temperaturkompensierten Bauteilen (TK = 0), eine
- - Stabilisierung der HF-Amplitude zur Speisung der Brücke (AGC) über den vollen Arbeitsbereich der Meßsonde mit Hilfe der anderen Brückenhälfte und unter Einbeziehung äquivalenter Demodulatorbauelemente (Gleichrichterdioden und Darlingtontransistoren) und eine
- - Industriegerechte Aufbereitung der Ausgangssignale als eingeprägte Ströme für eine entfernte Auswertung mit un verminderter Genauigkeit.
Mit dem Einsatz des erfindungsgemäßen Wegmeßsystems in
großer Stückzahl bei der Endabnahme von Zentrifugenrotoren,
die wegen des großen zeitlichen und apparativen Aufwands im
Schichtbetrieb durchgeführt wird, konnten folgende Vorteile
erzielt werden:
- - Systembedingtes Ausschließen von nahezu allen Fehlermög lichkeiten bei der Wegmessung an Zentrifugenrotoren
- - Erhöhung der Meßgenauigkeit
- - Enorme Zeitersparnis durch minimalen Kalibrieraufwand vor Ort
- - Reproduzierbare Ergebnisse über lange Zeiträume ohne Rekalibrierung
- - Verringerung des apparativen Aufwandes
- - Kostenreduzierung sowohl bei der Anschaffung als auch beim laufenden Betrieb der Systeme (keine aufwendige Kalibrier mechanik erforderlich).
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbei
spiels mittels der Fig. 1-3 näher erläutert.
In einem geerdeten (12) Rezipienten 1 gemäß der schemati
schen Fig. 1, der aus einem gut leitenden Material, wie z.
B. Aluminium besteht, dreht sich mit hoher Geschwindigkeit
der nahezu reibungsfrei gelagerte und dabei nicht potential
gebundene Rotor 2. Innerhalb dieses Rezipienten 1 herrschen
Vakuumbedingungen 3. Aufgrund der gegebenen geometrischen
Bedingungen bilden Rotor 2 und Rezipient 1 einen Zylinder
kondensator 10. Werden zur Erfassung der Bewegungen des
Rotors 2 kapazitive Meßelektroden 4 über isolierte, vakuum
dichte Durchführungen 5 in einen definierten Abstand zum
Rotor 2 gebracht, so bilden diese gegenüber dem Rotor 2 die
Kapazitäten (9) C x 1 bis C xn , deren Kapazitätswerte jeweils
ein Maß für die individuellen Abstände der einzelnen Sonden
4, 5, 6 gegenüber dem Meßobjekt 2 darstellen. Speisen nun
mehrere Wechselspannungsgeneratoren 8 mit gemeinsamem Be
zugspotential 11 über ihre Innenwiderstände (7) R 1 bis R n
diese Sonden 4, 5, 6, so fließen die Ströme I 1 bis I n über
die Kondensatoren (9) C x 1 bis C xn auf den Rotor 2 und von
dort über den gemeinsamen Zylinderkondensator C Zyl (10) zum
Rezipienten 1, der auch mit dem Bezugspotential 11 der
Wechselspannungsgeneratoren 8 verbunden ist. Der Strom I
durch diesen Kondensator 10 ist also die Summe aller indivi
duellen Sondenströme I x 1 bis I xn und verursacht somit den
Spannungsabfall U.
Werden nun beispielsweise nur die Signalwege der beiden
ersten Wechselspannungsgeneratoren 8 betrachtet, so kann
folgende Maschengleichung aufgestellt werden:
U G 1 = I₁ × R₁ + U₁ = I₁ × R₁ + U x 1 + U
U G 2 = I₂ × R₂ + U₂ = I₂ × R₂ + U x 2 + U
Als Meßsignale stehen zur Auswertung lediglich die Spannun
gen U 1 und U 2 zur Verfügung, die sich sowohl aus den eigent
lich interessierenden Meßgrößen U x 1 und U x 2 als auch der
beiden gemeinsamen Spannung U über den Zylinderkondensator
C Zyl zusammensetzen. Durch die Addition der beiden Wechsel
ströme in diesem gemeinsamen Koppelkondensator C Zyl beein
flussen sich die Signale gegenseitig. Liegen die Träger
frequenzen (f 1 und f 2) nahe beieinander, so entsteht bei der
Überlagerung der Wechselgrößen eine Schwebung. Die Aus
wirkungen auf die ursprünglichen Meßsignale hängen stark von
dem Verhältnis sowohl der Frequenzen als auch der Amplituden
ab. Beeinflußt werden sowohl Amplitude wie auch Frequenz.
Meist ist die resultierende Schwingung keine periodische
Funktion mehr, obwohl sie sich aus periodischen, sinusförmi
gen Schwingungen zusammensetzt. Je nach Unterschied bei den
Trägerfrequenzen fn der kapazitiven Meßsysteme werden somit
Signale erzeugt, die nicht vom Meßobjekt 2 stammen. Sie sind
von den Nutzsignalen nicht zu unterscheiden.
Fig. 2 zeigt ein Ersatzschaltbild des erfindungsgemäßen
Verfahrens mit dem korrekte Meßergebnisse zu erzielen sind.
Den kapazitiven Meßsonden (4, 5, 6) ist jeweils eine Elek
tronik-Einheit (28 bzw. E) E 1, E 2...E n mit gemeinsamem Be
zugspotential 11 zugeordnet, die einen Generator G und eine
Signalverarbeitungskette S beinhaltet.
Der Einfluß der Kapazität C Zykl (10) auf das Meßergebnis
wird zum einen dadurch beseitigt, daß den Meßsonden 4, 5, 6
unterschiedliche Trägerfrequenzen f 1, f 2...f n zugeordnet
werden, und zum anderen, daß die Signalverarbeitungsketten
S 1, S 2...S n einen Tiefpaßcharakter mit der Grenzfrequenz fg
aufweisen, wobei stets gewährleistet sein muß, daß die Ab
stände Δ fn der Trägerfrequenzen f 1, f 2...f n untereinander
wesentlich größer sein müssen als die Grenzfrequenz fg.
Das Auslegungskriterium für die Grenzfrequenz fg bildet der
Frequenzbereich der auszuwertenden Nutzsignale der Sonden 4,
5, 6.
Die von den Meßsonden 4, 5, 6 kommenden Signale beinhalten
auch die parasitären Schwebungsfrequenzen f x 1, f x 2...f xn ,
die jedoch alle oberhalb der Grenzfrequenz fg der Signalver
arbeitungskette S liegen und daher bei der Auswertung nicht
berücksichtigt werden.
Fig. 3 zeigt das Blockbild eines Ausführungsbeispiels der
Elektronikeinheit 28 oder E, die sowohl den Generator G als
auch die Signalverarbeitungskette S beinhaltet. Ein quarz
stabiler HF-Oszillator 8 speist über einen Amplitudenregler
13 die HF-Endstufe 14, an die eine kapazitive Brücke 15
angeschlossen ist. Die Meßsonde 4, 5, 6 bildet einen der
vier Brückenkondensatoren. Mit dem Demodulator 16 werden von
jeder Brückenhälfte, also sowohl von dem festen als auch von
dem über die Sonde 4, 5, 6 veränderbaren Zweig, Ausgangssi
gnale U M (17) und U R (18) erzeugt. Die Spannung des festen
Brückenzweigs U R (18) dient einmal zur Stabilisierung der
HF-Amplitude über den Regler 13, dem dazu noch die hochsta
bile Referenzspannung 24 zugeführt wird. Zum anderen bildet
sie zusammen mit der Spannung U M (17), die durch die Kapazi
tätsänderung der Meßsonde 4, 5, 6 infolge der Abstandsän
derung zum Meßobjekt 2 beeinflußt wird, über den Differenz
verstärker 19 das eigentliche Nutzsignal. Zur Vermeidung von
Erdschleifen wird das Signal, galvanisch getrennt 20, einem
U/I-Wandler 21 zugeführt, der dann einen eingeprägten Strom
am Ausgang zur Verfügung stellt. Durch einen geeigneten
externen Abschlußwiderstand 23 wird das Stromsignal nach der
störsicheren Übertragung auch über größere Entfernungen 22
wieder in eine Spannung umgeformt und steht zur weiteren
Auswertung zur Verfügung.
Zur Vermeidung von Temperatureinflüssen auf die Signalerzeu
gung und -verarbeitung ist das Gehäuse 28 zweischalig ausge
führt. Das Innengehäuse wird über einen Temperaturregler 25
auf einem konstanten Wert gehalten. Dazu erfaßt dieser Reg
ler die Isttemperatur des Gehäuses über einen Fühler 26 und
vergleicht sie mit der hochstabilen Referenzspannung 24.
Sein Ausgang speist die Flächenheizung 27 des inneren Ge
häuses.
Für Test- und Kalibrierzwecke stehen die notwendigen Hilfen
31 dem Anwender zur Verfügung, um diese Arbeiten im be
triebsmäßigen Zustand durchführen zu können.
Gespeist wird die gesamte Elektronikeinheit von einer exter
nen Stromversorgung 30. Da der Einsatzort der Einheit sehr
variabel und somit auch die Länge des Verbindungskabels zur
Stromversorgung 30 sehr unterschiedlich sein können, ist
zusätzlich eine interne Mehrfachstromversorgung 29 vorhan
den, die die Verluste auf der Speiseleitung ausregelt und
auch die potentialfreien Versorgungsspannungen für den
Trennverstärker 20 bereitstellt.
Claims (9)
1. Verfahren zur Messung des Eigenschwingverhaltens eines um
eine Achse rotierenden langgestreckten Körpers unter
Verwendung der berührungslosen kapazitiven Wegmessung,
wobei mindestens zwei Meßsonden so angeordnet werden, daß
sie die individuellen, den Abstand zwischen einer jewei
ligen Meßelektrode und dem Körper repräsentierenden Kapa
zitätswerte aufnehmen, und der Körper selbst zu seiner
Umgebung hin eine Gesamtkapazität bildet,
dadurch gekennzeichnet, daß
- a) jede Meßsonde (4, 5, 6) mit vorgegebener Trägerfre quenz (fn) betrieben wird,
- b) alle diese Trägerfrequenzen (fn) untereinander um bestimmte Beträge unterscheidbar ausgewählt werden,
- c) die Signale der Meßsonden (4, 5, 6) jeweils eine Signalverarbeitungskette (S) mit Tiefpaßcharakter und gleicher Grenzfrequenz (fg) durchlaufen und
- d) die Abstände (Δ fn) aller Trägerfrequenzen (fn) unter einander größer ausgelegt werden als die Grenzfrequenz (fg).
2. Schaltungsanordnung zur Durchführung des Verfahrens nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (2)
galvanisch getrennt von einem Rezipienten (1) angeordnet
ist, wobei der Rezipient (1) die Umgebung bildet, daß die
Meßsonden (4, 5, 6) isoliert gegenüber dem Rezipienten
(1) in definierten Abständen zum Körper (2) befestigt
sind, daß Generatoren (G) mit gemeinsamem Bezugspotential
(11) die Meßsonden (4, 5, 6) speisen, daß der Rezipient
(1) ebenfalls mit dem Bezugspotential (11) verbunden ist
und daß eine Signalverarbeitungskette (S) pro Meßsonde
(4, 5, 6) vorgesehen ist.
3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich
net, daß die Signalverarbeitungsketten (S) identisch mit
gleicher Grenzfrequenz (fg) ausgelegt sind.
4. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2 und 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Signalverarbeitungskette (S) mit
dem der Meßsonde (4, 5, 6) zugeordneten Generator (G) in
einem gemeinsamen, das Bezugspotential (11) bildenden Ge
häuse (28) untergebracht sind.
5. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2 oder einem der fol
genden, dadurch gekennzeichnet, daß der Generator (G)
einen HF-Oszillator (8) mit einer Trägerfrequenz
(f 1....fn) aufweist, der über einen Amplitudenregler (13)
eine HF-Endstufe (14) speist, an die eine kapazitive
Brücke (15) mit der jeweiligen Meßsonde (4, 5, 9) als
Brückenkondensator angeschlossen ist, und daß ein Demodu
lator (16) von jedem Brückenzweig ein Ausgangssignal (U M ,
U R bzw. 17, 18) erzeugt.
6. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2 oder einem der fol
genden, dadurch gekennzeichnet, daß der Demodulator (16)
mit einem Differenzverstärker (19), einem Trennverstärker
(20) und einem U/I-Wandler (21) die Signalverarbeitungs
kette (S) bildet.
7. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2 oder einem der fol
genden, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannung (U R ) des
festen Brückenzweiges als Stabilisierung der HF-Amplitude
über den Regler (13) dient.
8. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2 oder einem der fol
genden, dadurch gekennzeichnet, daß dem Regler (13) eine
hochstabile Referenzspannung (24) zugeführt wird.
9. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2 oder einem der fol
genden, dadurch gekennzeichnet, daß eine Temperaturstabi
lisierung (25-27) vorgesehen ist.
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