DE3507445A1 - Verfahren und vorrichtung zur optischen bestimmung der entfernung zwischen einer messeinrichtung und waehlbaren stellen auf der oberflaeche eines prueflings - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur optischen bestimmung der entfernung zwischen einer messeinrichtung und waehlbaren stellen auf der oberflaeche eines prueflings

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DE3507445A1 DE19853507445 DE3507445A DE3507445A1 DE 3507445 A1 DE3507445 A1 DE 3507445A1 DE 19853507445 DE19853507445 DE 19853507445 DE 3507445 A DE3507445 A DE 3507445A DE 3507445 A1 DE3507445 A1 DE 3507445A1
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Description

  • Verfahren und Vorrichtung zur optischen Bestimmung der Entfernung
  • zwischen einer Meßrichtung und wählbaren Stellen auf der Oberfläche eines Prüflings Die Erfindung betrifft ein Verfahren, das die Merkmale des Oberbegriffs des Anspruches 1 aufweist, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
  • In der noch nicht veröffentlichten deutschen Patentanmeldung P 33 31 552.3 ist ein derartiges Verfahren beschrieben. Die dort erwähnten Realisierungsmöglichkeiten für die Bestimmung der Bildweite als Grundlage für die Ermittlung der zu messenden Entfernung sind jedoch nicht in jeder Hinsicht zufriedenstellend. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art zu verbessern. Diese Aufgabe löst ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruches 1.
  • Die Abbildung eines punktförmigen Bereichs der Marke, bei dem es sich auch um den gesamten Bereich der punktförmigen Marke handeln kann, ergibt nicht nur den Vorteil, daß die zu bestimmende Entfernung auch aus dem Durchmesser des Ringes ermittelt weordeUnS L+£+J kann. In Verbindung mit der Lichtintensitätsmessung in der durch den Schnitt der Strahlen gebildeten Ringzone erhält man auch eine maximale Empfangshelligkeit sowie eine maximale Änderung der Empfangshelligkeit bei Änderungen der Meßentfernung, was für die Genauigkeit der Entfernungabestimmung von großer Bedeutung ist.
  • Hinzu kommt noch der Vorteil der Unempfindlichkeit gegen unterschiedliche Lichtdichte in den verschiedenen Bereichen der Abbildungsoptik, die beispielsweise auf einer ungleichen Helligkeitsverteilung infolge einer partiellen Abschattung oder einer glänzenden Oberfläche des Prüflings in der rechten Marke beruhen kann.
  • Im Hinblick auf eine Unempfindlichkeit gegen solche unterschiedlichen Helligkeiten ist eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens gemäß Anspruch 2 von besonderem Vorteil. Eine große Schärfe, d.h. eine möglichst große Helligkeitsänderung bei Änderungen der Meßentfernung wird durch eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens gemäß des Anspruches 3 begünstigt.
  • Der Erfindung lieg-t auch die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zu schaffen.
  • Diese Aufgabe löst eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 4.
  • Der besondere Vorteil dieser Lösung besteht darin, daß eine derartige Abbildungsoptik besonders kostengünstig ist, da sie nur sphärische Linsen benötigt. Allerdings braucht es sich bei der Linse oder den Linsen, aus denen die Abbildungsoptik gebildet ist, nicht um massive Linsen zu handeln. Es können FRESNEL-Linsen und sogar nur Segmente von massiven Linsen oder FRESNEL-Linsen verwendet werden, die konzentrisch um die optischen Achse der Abbildungsoptik herum angeordnet sind.
  • Die der Abbildungsoptik zugeordnete Lichtempfangsfläche, also diejenige Fläche, auf die von der Abbildungsoptik kommenden Lichtstrahlen auftreffen, kann ortsveränderlich sein, um sie jeweils in diejenige Position bringen zu können, in welcher die durch die Strahlenschnittpunkte gebildete Ringzone liegt. Bei bevorzugten Ausführungsformen erstreckt sich jedoch die Lichtempfangsfläche, die durch eine Sensorfläche der lichtelektrischen Wandlereinrichtung oder durch eine Empfangsfläche einer Lichtleiteinrichtung gebildet sein kann, über derjenigen Flächenbereich, in dem bei unterschiedlichen Bildweiten innerhalb des Meßbereichs die Schnittpunkte der von der Marke kommenden Strahlung liegen.
  • Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen der lichtelektrischen Wandlereinrichtung und/oder der Lichtleiteinrichtung sind Gegenstand der Ansprüche 9 bis 17.
  • Die Beleuchtungseinrichtung kann in der optischen Achse der Projektionsoptik angeordnet sein, und zwar vor oder hinter der Abbildungsoptik. Im letztgenannten Falle ist es nur erforderlich, daß die Abbildungsoptik eine zentrale Durchgangsöffnung für den Beleuchtungsstrahl hat. Es ist sogar möglich, die lichtelektrischen Wandlereinrichtung und/oder die Lichtleiteinrichtung mit einer solchen zentralen Durchgangsöfffnung zu versehen. Dann kann das Licht der Beleuchtungseinrichtung, welche beispielsweise durch eine Leuchtdiode oder einen Laser gebildet sein kann, auch durch diese Bauteile hindurch geführt werden. Selbstverständlich ist es aber auch möglich, die Beleuchtungseinrichtung außerhalb der optischen Achse der Projektionsoptik anzuordnen und den von ihr erzeugten Lichtstrahl in die optische Achse einzuspiegeln, und zwar vor oder hinter der Abbildungsoptik.
  • Im folgenden ist die Erfindung anhand in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen im einzelnen erläutert. Es zeigen: Figur 1 eine schematische Darstellung der prinzipiellen Ausbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung, jedoch ohne die lichtelektrische Wandlereinrichtung, Figur 2 eine Darstellung in Diagrammform der funktionalen Zusammenhänge zwischen der zu bestimmenden Bildweite und dem Durchmesser der Abbildung einer punktförmigen Marke, Figur 3 einen schematisch dargestellten Längsschnitt eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung in der Meßposition, Figuren 4 und 5 je eine perspektivisch dargestellte Ansicht unterschiedlich ausgebildeter lichtelektrischer Wandlereinrichtungen, Figur 6 eine schematisch und unvollständig dargestellte Seitenansicht einer anderen Ausführungsform der lichtelektrischen Wandlereinrichtung, Figuren 7 bis 11 je eine schematische Darstellung verschiedener Ausführungsformen der lichtelektrischen Wandlereinrichtung und der zugehörigen Lichtleiteinrichtung, Figur 12 eine schematisch dargestellte Seitenansicht der Abbildungsoptik und der lichtelektrischen Wandlereinrichtung einer weiteren Ausführungsform, Figur 13 eine Draufsicht auf die lichtelektrische Wandlereinrichtung gemäß Figur 12, Figur 14 eine Draufsicht entsprechend Figur 13 auf eine abgewandelte Ausführungsform einer lichtelektrischen Wandlereinrichtung, Figur 15 einen unvollständig dargestellten Längsschnitt einer weiteren Ausführungsform einer Lichtleiteinrichtung, Figur 16 eine Stirnansicht der Lichtleiteinrichtung gemäß Figur 15, Figur 17 eine Seitenansicht des Endabschnittes der Lichtleiteinrichtung gemäß den Figuren 15 und 16 sowie der zugeordneten lichtelektrischen Wandlereinrichtung, Figur 18 eine perspektivisch dargestellte Ansicht des Endabschnittes einer anderen Ausführungsform einer Lichtleiteinrichtung mit zugehöriger lichtelektrischer Wandlereinrichtung, Figur 19 eine unvollständige schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform einer Lichtleiteinrichtung und der zugehörigen lichtelektrischen Wandlereinrichtung, Figur 20 eine Draufsicht auf die Empfangsfläche der Lichtleiteinrichtung gemäß Figur 19, Figur 21 ein Längsschnitt einer anderen Ausführungsform der Lichtleiteinrichtung und der zugeordneten lichtelektrischen Wandlereinrichtung, Figur 22 eine Seitenansicht einer anderen Ausführungsform der Lichtleiteinrichtung, Figur 23 eine Stirnansicht der Lichtleiteinrichtung gemäß Figur 22, Figur 24 eine schematische Darstellung der Abbildungsoptik und einer sich in Längsrichtung der optischen Achse erstrekkenden lichtelektrischen Wandlereinrichtung mit ebener EmpfangsFläche, Figur 25 eine schematische Darstellung einer Abwandlung des Ausführungsbeispiels gemäß Figur 24 durch die Anordnung eines rotierenden Prismas zwischen der Abbildungsoptik und der lichtelektrischen Wandlereinrichtung, Figur 26 eine schematische Darstellung einer lichtelektrischen Wandlereinrichtung für eine analoge Positionsbestimmung der Abbildung der Marke, Figur 27 eine schematische Darstellung einer möglichen Anordnung der Abbildungsoptik der lichtlelektrischen Wandlereinrichtung und der zugehörigen Beleuchtungseinrichtung, Figur 28 eine schematische Darstellung einer anderen möglichen Anordnung der Abbildungsoptik der lichtelektrischen Wandlereinrichtung und der Beleuchtungseinrichtung.
  • Wie Figur 1 zeigt, weist die erfindungsgemäße Meßvorrichtung zur Bestimmung der Entfernung zwischen ihr und einer wählbaren Stelle auf der Oberfläche eines Prüflings eine Beleuchtungseinrichtung 01 sowie eine Projektionsoptik 02 auf, mittels deren auf der ausgewählten Stelle der Oberfläche des Prüflings eine punktförmige Marke 03 erzeugt wird. Der Abstand zwischen der Projektionsoptik 02 und der punktförmigen Marke 03 ist mit xl bezeichnet. nurcg 8 geeignete Maßnahmen, beispielsweise eine Ringblende 04, ist sichergestellt, daß die von der punktförmigen Marke 03 ausgehenden Lichtstrahlen 05 nur den äußeren Randbereich einer Abbildungsoptik 06 beaufschlagen, die gleichachsig zur Projektionsoptik 02 angeordnet ist durch eine nicht-gaußsche Ausbildung der Abbildungsoptik 06 wird erreicht, daß die aus der Abbildungsoptik 06 austretenden Lichtstrahlen 05 sich n einer zur optischen Achse konzentrischen Ringzone schneiden, die auch als Taille des Strahlenbündels bezeichnet werden kann. Der Abstand dieser Ringzone von der Abbildungsoptik stellt die Bildweite dar, die mit x2 bezeichnet ist. Die Bildweite x2 ist abhängig von der zu ermittelnden Entfernung xl. Wie aus Figur 2 hervorgeht, ist aber auch der Radius y der Ringzone eine Funktion der Bildweite x2 und der Entfernung xl. Deshalb kann die Entfernung nicht nur aus der Bildweite x2 ermittelt werden, sondern auch dem Radius y der die Abbildung der Marke 03 darstellenden Ringzone oder Taille des Strahlenbündels.
  • Die Abbildungsoptik 06 braucht nicht, wie in Figur 1 dargestellt, aus einer oder mehreren massiven Linsen zu bestehen. Es könnten auch Linsensegmente oder beispielsweise FRESNEL-Linsen verwendet werden, was vor allem bei großen Durchmessern kostengünstiger ist als massive Linsen. Allerdings ist auch in diesem Falle eine rotationssymetrische Anordnung der Abbildungsoptik um die optische Achse herum von Vorteil, um Vorzugsrichtungen zu vermeiden, d.h.
  • beispielsweise bei einer glänzenden Oberfläche des Prüfling und partiellen Abschattungen eine ungleiche Strahlenverteilung zu vermeiden.
  • Eine Realisierungsmöglichkeit des in Figur 1 dargestellten Prinzips der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung zeigt Figur 3. Diese Meßvorrichtung weist ein hohlzylindrisches Außengehäuse 2 auf, dessen eines, bei der Messung der Oberfläche 1 zugewandtes Ende als Fassung für eine erste Linse 3 ausgebildet ist, die eine plankonvexe Form hat. Im Inneren dieses Außengehäuses 2 ist ein zylindrisches Gehäuse 4 angeordnet, dessen Längsachse mit derjenigen des Außengehäuses 3 zusammenfällt. Das eine, offene Ende des zylindrischen Gehäuses 4 liegt an der konvex gekrümmten Fläche der ersten Linse 3 an. An das andere Ende schließt sich ein einstückig mit dem zylindrischen Gehäuse 4 ausgebildeter Träger 5 an.
  • Das zylindrische Gehäuse 4 enthält in dem sich an den konischen Träger 5 anschließenden Endabschnitt eine Halterung 6, welche eine vorzentrierte Lichtquelle 7, bei der es sich im Ausführungsbeispiel um eine LED handelt, auf die Längsachse des zylindrischen Gehäuses 4 ausrichtet. Der sich an die erste Linse 3 anschließende Endabschnitt des zylindrischen Gehäuses 4 ist als Fassung für eine plankonvexe Linse 8 ausgebildet, deren konvexe Seite an der konvexen Seite der ersten Linse 3 anliegt. Beide Linsen 3 und 8 bilen eine Projektionsoptik, deren optische Achse in der Längsachse des zylindrischen Gehäuses 4 liegt, auf die auch exakt der aus der Lichtquelle 7 austretende Strahl ausgerichtet ist. Die Projektionsoptik, die durch eine von der Halterung 6 getragene dritte Linse ergänzt sein kann, projiziert eine rotationssymmetrische Marke auf diejenige Stelle der Oberfläche 1, deren Abstand von der Meßvorrichtung ermittelt werden soll. Da die Meßvorrichtung auf einer definierten Bahn bewegt werden kann, kann mit ihrer Hilfe auch das abgetastete Profil der Oberfläche 1 bestimmt werden.
  • Der zwischen der Innenwandfläche des Außengehäuses 2 und der Außenmantelfläche des zylindrischen Gehäuses 4 liegende Ringbereich der ersten Linse 3 gibt den Randstrahlen des Strahlenbündels, das die Oberfläche 1 infolge der Projektion der Marke reflektiert, einen Verlauf, der zumindest annähernd parallel ist zur Längsachse des Außengehäuses 2. Es entsteht deshalb im Zwischenraum zwischen dem zylindrischen Gehäuse 4 und dem Außengehäuse 2 ein ringförmiges Strahlenbündel, das auf die konvexe Oberfläche einer ringförmigen, plankonvexen Linse 9 fällt, die das sich an den Träger 5 anschließende Ende des zylindrischen Gehäuses 4 umgibt und im Außengehäuse 2 zentriert ist. Dadurch zein= triert die Linse 9 auch das zylindrische Gehäuse 4. Eine in geringes Abstand vor der konvexen Oberfläche 9 angeordnete Ringblende 10 blendet die Randstrahlen des ringförmigen Strahlenbündes aus.
  • (De ringförmige Linse 9, welche zusammen mit der ersten Linse 3 eine nicht-gaußsche Abbildungsoptik bildet, schafft durch ihren Abstand von der Linse 3 den erforderlichen Einbauraum für die Projektionsoptik und deren Lichtquelle.
  • Die ringförmige Linse 9 gibt den aus ihr auf der der Linse 3 abgekehrten Seite austretenden Strahlen einen konvergierenden Verlauf, wobei der Winkel, den diese Strahlen mit der optischen Achse einschließen, vom Abstand zwischen der Meßvorrichtung und derjenigen Stelle der Oberfläche 1 abhängt, auf die die Marke projiziert wird, weil dieser Abstand die Bildweite festlegt, die ihrerseits von dem genannten Winkel abhängt.
  • Wie Figur 3 zeigt, ist in dem konvergierenden Abschnitt der die Marke abbildenden Strahlen dort, wo das Stahlenbündel seine Taille hat,eine Spiegellochblende 11 konzentrisch zur optischen Achse und in einer von der optischen Achse lotrecht durchstoßenen Ebene im Außengehäuse 2 angeordnet. Die Spiegelschicht liegt auf der der ringförmigen Linse 9 zugekehrten Seite. An die der Linse 9 abgekehrte Seite schließt sich eine im Außengehäuse 2 festgelegte Halterung 12 für eine Photodiode 13 an, auf deren lichtempfindliche Fläche diejenigen Strahlen fallen, welche durch das Loch der Spiegellochblende 11 hindurchfallen. Eine zweite Photodiode 14 ist im konischen Träger 5 gehaltert, und zwar in der Art, daß ihre lichtempfindliche Fläche der Spiegellochblende 11 zugekehrt ist. Beide Photodioden 13 und 14 liegen in der Längsachse des Außengehäuses 2 und damit in der optischen Achse der Abbildungsoptik. Die Photodiode 14 wird von denjenigen Strahlen beaufschlagt, welche von der Spiegellochblende 11 reflektiert werden.
  • Der Abstand der Spiegellochblende 11 von der ringförmigen Linse 9 und die Größe ihres Loches sowie die Positionen der Photodioden 13 und 14 bezDglich der SpiRellochklßnds 11 nind so gewählt, daß bei einem Abstand der Meßvorrichtung von der Oberfläche 1, der in der Mitte des Meßbereichs liegt, die Hälfte des aus der ringförmigen Linse 9 austretenden Lichts auf die Photodiode 13 und die andere Hälfte auf die Photodiode 14 fällt. Bei größeren Abständen zwischen der Meßvorrichtung unci der Oberfläche 1 ist der auf die Photodiode 13 fallende Teil des Strahlenbündels entsprechend kleiner, während der reflektierte und auf die Photodiode 14 fallende Teil entsprechend größer ist. Sind die Abstände hingegen kleiner, dann erhöht sich die Beleuchtungsintensität der Photodiode 13 auf Kosten der Beleuchtungsintensität der Photodiode 14.
  • Durch eine Differenzbildung der beiden von den Photodioden 13 und 14 erzeugten Signale kann deshalb ein Signal erzeugt werden, dessen Größe ein Maß für den Abstand zwischen der Meßvorrichtung und der Meßstelle auf der Oberfläche 1 darstellt, wobei durch die Differenzbildung sich unterschiedliche Intensitäten des Projektionslichtstrahls und unterschiedliche Reflexionsbedingungen nicht auf das Meßergebnis auswirken können.
  • Statt einer Aufteilung des aus der Abbildungsoptik austretenden Strahlenbündels, wie dies bei dem Ausführungsbeispiel gemäß der Figur 3 der Fall ist, kann man aber auch die aus der Abbildungsoptik austretenden Strahlen direkt auf die lichtelektrische Wandlereinrichtung fallen lassen. Letztere kann, wie Figur 4 zeigt, eine rotationssymetrische Ausbildung haben und dort koaxial zur optischen Achse der Abbildungsoptik angeordnet sein, wo die aus ihr austretenden Strahlen sich schneiden und die punktförmige Marke in einem Ring abbilden. Da sich diese Ringzone bei einer Änderung der Entfernung zwischen der Meßvorrichtung und der Oberfläche des Prüflings in Richtung der optischen Achse verschiebt und außerdem ihren Durchmesser verändert, besteht die in Figur 4 rotadargestellte lichtelektrische Wandlereinrichtung 20 aus einem rotationssyme trischen Trägerkörper 21, dessen Länge mindesSens^5 gleich der Länge des Verschiebebereichs der Ringzone innerhalb des Meßbereiches ist und dessen sich in Richtung seiner Längsachse Gnderender Durchmesser zumindest annähernd auf den Durchmesser der die Abbildung der Marke darstellenden Ringzone bei unterschiedlichen Bildweiten abgestimmt ist. Der Trägerkörper 21 trägt auf seiner Oberfläche in axialer Richtung nebeneinander seperate, ringförmige Phototsensoren 22 der im übrigen nicht dargestellten lichtelektrischen Wandlereinrichtung. Da die Signalgröße der Photosensoren 21 von der Beleuchtungsintensität abhängt, erzeugt derjenige Photosensor das größte elektrische Signal, der in der durch die Schnittpunkte der Lichtstrahlen gebildeten Ringzone liegt. Da jeder der Photosensoren 22 einer bestimmten Bildweite und damit auch einer bestimmten Entfernung zwischen der Meßvorrichtung und der Oberfläche entspricht, kann diese Entfernung mit einer von der axialen Erstreckung der Photosensoren 22 abhängigen Genauigkeit ermittelt werden.
  • Wie Figur 5 zeigt, kann der lichtelektrische Wandler auch eine kreiszylindrische Mantelfläche haben. Weiterhin zeigt Figur 5, daß anstelle der ringförmigen Photosensoren 22 auf den Träger 23 auch in Richtung einer Mantellinie sich erstreckende Reihen von einzelnen Photosensoren 24 aufgebracht sein können, wobei es sich bei diesen Photosensoren 24 auch um Photosensoren mit ebener Empfangsfläche handeln kann. Es wäre sogar möglich, wie noch in Verbindug mit Figur 26 erläutert werden wird, die Photosensoren als sich über die gesamte Trägerlänge erstreckende Streifen auszubilden.
  • Eine andere Ausbildung der konzentrisch zur optischen Achse der Abbildungsoptik angeordneten und sich über den Variationsbereich der Bildweite in Richtung der optischen Achse erstreckenden lichtelektrichen Wandlereinrichtung 25 zeigt Figur 6. Der zylindrische, massive oder rohrförmige Träger 26 trägt im Abstand voneinander Scheiben 27, die auf der der Abbildungsoptik zugekehrten Seite in ihrem äußeren Randbereich je einen ringförmigen Photo- J sensor 28 tragen. Innerhalb des Photosensors 28 kann auf jeder Scheibe 27 eine Elektronik angeordnet sein, welche beispielsweise den erforderlichen Verstärker, einen Speicher und andere erforderlichen Komponenten aufhält. Ferner kann, wie Figur 6 zeigt, der Träger 26 die erforderlichen Anschlüße 29 tragen.
  • Wie die Figuren 7 bis in zeigen, kann man, wie dies auch bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 3 der Fall ist, in den Strahlengang zwischen der Abbildungsoptik und der lichtelektrischen Wandlereinrichtung eine Lichtleiteinrichtung anordnen. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 7 besteht diese Lichtleiteinrichtung 30 aus koaxial zur optischen Achse und in deren Richtung nebeneinander angeordneten, scheibenförmigen Prismen, welche die von der Abbildungsoptik 31 kommenden Strahlen reflektieren und auf eine ebene Sensorfläche der lichtelektrischen Wandlereinrichtung 32 werfen, die zwischen Abbildungsoptik 31 und Lichtleiteinrichtung 30 so angeordnet ist, daß die optische Achse lotrecht zur Empfangsfläche verläuft. Welches der Prismen die Strahlen reflektiert, hängt von der Bildweite ab. Aufgrund des Durchmessers des auf der Empfangsfläche der lichtelektrischen Wandlereinrichtung 32 abgebildeten Ringes der von der Bildweite abhängt, kann die zu bestimmenden Entfernung ermittelt werden. Hierzu kann, wie die Figuren 13 und 14 zeigen, die Empfangsfläche der lichtelektrischen Wandlereinrichtungen 32 aus einem Raster einzelner Photosensoren oder aus konzentrisch angeordneten, ringförmigen Photosensoren bestehen.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 8 besteht die Lichtleiteinrichtung aus einzelnen, konzentrisch zur optischen Achse und in deren Längsrichtung versetzt angeordneten, ringförmigen Spiegeln 32 deren Spiegel fläche einen sehr flache Kegelstumpf definiert, um optimale Reflektionsverhältnisse zu erzielen. Der Außendurchmesser der Spiegel 33 ist dabei so gewählt, daß dann, wenn die Bildweite gleich dem Abstand einer der Spiegel von der Abbildungsoptik ist, der benachbarte, der Abbildungsoptik näherliegende Spiegel keine oder möglichst wenige Strahlen des Strahlenbündels ablenkt. Jedem der Spiegel 33 ist ein auf der optischen Achse angeordneter, scheibenförmiger Photosensor 34 zuges-dnet, der an der der Abbildungsoptik abgekehrten Seite des benacobarten Spiegels angeordnet sein kann und dadurch keinen separaten Träger benötigt.
  • Wie Figur 9 zeigt ist es auch möglich, einen hohlzylindrischen Träger 35 hoher Lichtdurchlässigkeit vorzusehen, der auf seiner Außenmantelfläche in axialer Richtung nebeneinander ringförmige Prismen 36 trägt, die auch an den Trägern 35 angeformt sein können. Diese Prismen 36 haben eine von den aus der Abbildungsoptik kommenden Strahlen zumindest annähernd lotrecht beaufschlagte Fläche, und sie lenken die Strahlen radial nach innen durch den Träger 35 hindurch zu den dort in axialem Abstand voneinander angeordneten scheibenförmigen Phototsensoren 37. Auch hier kann wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 8 die Bildweite und damit die zu bestimmende Entfernung aufgrund desjenigen Photosensors 37 ermittelt werden, welcher mit der größten Beleuchtungsintensität beaufschlagt wird. Analog zu der möglichen Ausbildung der Lichtleiteinrichtung 30 als FRESNEl-Spiegel können die Prismen 36 durch FRESNEL-Linsen gebildet sein.
  • Die Figuren 11 und 10 zeigen, daß die ringförmigen Spiegel 38 bzw. die ringförmigen Prismen 39 unmittelbar auf der lichtelektrischen Wandlereinrichtung angeordnet sein können, die in diesem Falle aus einem rotationssymetrischen Träger und ringförmige Photosensoren 40 besteht, deren Sensorfläche die Außenmantelfläche des rotationasymetrischen Körpers zumindest teilweise bildet. Gegenüber einer unmittelbaren Beaufschlagung der Sensorfläche, die an sich auch möglich wäre, wie dies die Figuren 4 und 5 zeigen, erreicht man durch die Spiegelung oder Brechung einer günstigeren Einfallswinkel und damit eine höhere Beleuchtungsintensität der Photosensoren.
  • Anstatt die Bildweite aufgrund des Abstandes des Bildes von der Abbildungsoptik zu ermitteln, kann man die zu messende Entfernung auch aufgrund des Durchmessers bestimmen, welchen die die Abbildung der Marke darstellende Ringzone oder Taille des Strahlenbündels hat. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Figuren 12 und 13 weist deshalb die lichtelektrische Wandlereinrichtung 41 eine ebene Sensorfläche auf, zu der die optische Achse der Abbildungsoptik 42 lotrecht verläuft. Die Sensorfläche ist aus einzelnen Photosensoren 43 zusammengesetzt, welche rechtwinklig zueinander verlaufende Zeilen und Reihen, also eine Matrix, bilden. Mittels einer Elektronik läßt sich aufgrund der Signale der einzelnen Photosensoren 43 der Durchmesser des Strahlenbündels ohne Schwierigkeiten ermitteln.
  • Wie Figur 14 zeigt, wäre es selbstverständlich auch möglich, Photosensoren 44 in Form konzentrischer Ringe anzuordnen. Die Ermittlung des Durchmessers des auf dieser Sensorfläche abgebildeten Ringes ist hier einfacher als bei einer Matrix.
  • Sofern beispielsweise außer Raumgründen die lichtelektrische Wandlereinrichtung nicht direkt mit den von der Abbildungsoptik kommenden Strahlen beaufschlagt werden kann, kann man eine Lichtleiteinrichtung 45 verwenden, die aus koaxial angeordneten rohrförmigen Lichtleitern 46 besteht. Diese Lichtleiter 46 sind, wie Figur 15 zeigt, an ihrem einen Ende in Achsrichtung versetzt so angeordnet, daß das jeweils im Durchmesser kleinere Rohr über das im Durchmesser größere Rohr ein Stück weit übersteht. Dieses gestufte Ende der Lichtleiteinrichtung 45 wird in der optischen Achse der Abbildungsoptik in demjenigen Bereich angeordnet, in dem die Taille des Strahlenbündels bei unterschiedlichen Entfernungen liegt. Abhängig von der Entfernung werden dann die Stirnflächen der Lichtleiter 46 mit stark unterschiedlicher Intensität beleuchtet, wobei die größte Beleuchtungsintensität derjenigen Stelle entspricht, an der die Marke abgebildet wird, das Strahlenbündel also seine Taille hat. Am anderen Ende der Lichtleiter 46 läßt sich dann mittels einer lichtelektrischen Wandlereinrichtung 41 oder einer lichtelektrischen Wandlereinrichtung gemäß Figur 14 aus dem Durchmesser der Ringzone die gesuchte Entfernung bestimmen.
  • m rotz einer rotationasymetrischen Lichtleiteinrichtung 47, welche wie die Lichtleiteinrichtung 45 ausgebildet sein kann, eine einfache li-chtelektrische Wandlereinrichtung 48 verwenden zu können, die von allen von der Lichtleiteinrichtung weitergeleiteten Strahlen beaufschlagt wird, kann man das für den Lichtaustritt vorgesehene Ende der rotationasymetrischen Lichtleiteinrichtung abschrägen, wobei die Winkel dieser Abschrägung so gewählt werden müssen, daß ein Lichtaustritt nur in einer einzigen, vom Zentrum zum äußeren Rand sich erstreckenden Zone erfolgt, im übrigen jedoch das Licht so von der Schrägfläche reflektiert wird, daß es zu dieser Zone gelangt. Die lichtelektrische Wandlereinrichtung 48 kann dann als Linearsensor ausgebildet sein.
  • Sofern man die rohrförmigen Lichtleiter aus einer schneidfähigen Folie oder dergleichen herstellt, kann man, wie Figur 18 zeigt, das Lichtaustrittsende durch Schnitte, die in Richtung je einer Mantellinie verlaufen, in Streifen 49 unterteilen, welche an ihrem freien Ende gebündelt sind. Auch hier genügt dann die Verwendung eines Linearsensors 50.
  • Die gleiche Möglichkeit bildet eine Lichtleiteinrichtung 51 die aus einzelnen, strangförmigen Lichtleitern 52 kombiniert ist. Das eine Ende der einzelnen Lichtleiter 52 kann hier, wie Figur 20 zeigt, in einer Ringzone angeordnet sein. Sofern zwei konzentrische Bündel genügen, was bei dem Ausführungsbeispiel gemäß den Figuren 19 und 20 angenommen ist, hat man in diesem Falle auch die Möglichkeit, alle Lichtleiter des äußeren Bündels und andererseits alle Lichtleiter des anderen Bündels zu bündeln und das von ihnen weitergeleitete Licht zwei Photosensoren 53 zuzuleiten, bei denen es sich um einfache Photosensoren mit ebener Empfangsfläche handeln kann.
  • Eine andere Ausführungsform einer Lichtleiteinrichtung 61, welche in der Lage ist, das Licht verschiedener Ringzonen zu bündeln, zeigt Figur 21. Die Lichtleiteinrichtung 61 besteht aus mehreren, ineinander gesteckten Lichtleitern 62 in Form je eines Kegels, wobei die einzelnen Kegel aneinander anliegen können. Der Kegelwinkel ist so gewählt, daß die der Abbildungsoptik zugekehrte, ringförmige Stirnfläche am offenen Ende der Kegel zumindest nahezu lotrecht von den auftrefenden Strahlen beaufschlagt wird.
  • Zweckmäßigerweise wird die Kegelhöhe so gewählt, daß die vom Licht beaufschlagte Außenmantelfläche der Lichtleiteinrichtung 61 Stufen bildet. Hierdurch liegen die der Abbildungsoptik zugekehrten Enden der Lichtleiter in unterschiedlichen Abständen von der Abbildungsoptik, so daß sich die Bildweite unmittelbar daraus ergibt, welcher der Lichtleiter 62 mit der höchsten Beleuchtungsintensität beaufschlagt wird. Die Lichtleiter 62 weisen statt einer Kegelspitze eine Abflachung auf, an der je ein Photosensor 63 anliegt.
  • Eine Lichtleiteinrichtung, welche in ihrer Wirkung mit derjenigen gemäß den Figuren 15 und 16 vergleichbar ist, die jedoch wesentlich einfacher herzustellen ist, zeigen die Figuren 22 und 23.
  • Diese Lichtleiteinrichtung 64 ist aus einer dreieckförmigen oder trapezförmigen Folie gewickelt. Hierdurch erhält das eine Ende der Lichtleiteinrichtung 64 eine Kegelstumpfform mit Stufen, an denen die von der Abbildungsoptik kommenden Strahlen in die Lichtleiteinrichtung eintreten können. Am anderen Ende erhält man dann einen ringähnlichen Bereich maximaler Helligkeit, aus dem der Durchmesser der Abbildung der Marke und die Entfernung zwischen der Vorrichtung und der Marke ermittelt werden können.
  • Sofern die lichtelektrische Wandlereinrichtung nur aus einem ebenen Linearsensor 65 bestehen würde, würde sie, wie Figur 24 zeigt, nur von einem Teil von der Abbildungsoptik 66 kommenden Strahlen beaufschlagt. Die Ermittlung der Bildweite ist aber hier besonders einfach, da der Linearsensor 65 aus einer Reihe einzelner Sensoren gebildet sein könnte. Eine bessere Ausnutzung der von der Abbildungsoptik 66 kommenden Strahlen erhält man dann, wenn man einen zweiten Linearsensor oder mehr als zwei Linearsensoren so bezüglich der optischen Achse anordnet, daß die Empfangsflächen jeweils von Teilen des Strahlenbündels beaufschlagt werden. Man kann jedoch, wenn auch zeitlich versetzt, alle von der Abbildungsoptik kommenden Strahlen auf eine lichtelektrische Wandlereinrichtung 68 mit ebener Sensorfläche lenken. Diese lichtelektrische Wandlereinrichtung 68 besteht wie der Linearsensor 63 beispielsweise aus einer Reihe einzelner Photosensoren.
  • Eine Realisierung einer solchen Reihe von Photosensoren ist mit einem CCD-Lineararray möglich. Im Strahlengang zwischen der lichtelektrischen Wandlereinrichtung 68 und der Abbildungsoptik ist in diesem Falle ein Dove-Prisma 69 anzuordnen, das um die optische Achse rotiert, wie dies durch den Pfeil 70 angedeutet ist.
  • Sofern ein Linearsensor Anwendung findet, ist es nicht notwendig, diesen aus einer Reihe einzelner Photosensoren zu bilden. Die Stelle größter Beleuchtungsintensität kann auch, wie Figur 26 zeigt, nach einer analogen Meßmethode ermittelt werden. Es kann dann eine handelsübliche, ebene Photodiode 71 mit Substrat und zwei weiteren elektrischen Anschlüssen verwendet werden. Die Bestimmung der Stelle größter Beleuchtungsintensität läßt sich hier aus der Aufteilung des der Diode auf halber Länge zugeführten Stromes I in die an den beiden Enden abnehmbaren Ströme I1 und I2 bestimmen. Das Verhältnis von I2 zu I1 gleicht dem Verhältnis von xl zu x2, wobei xl der Abstand der Stelle größter Beleuchtungsintensität von der Austrittstelle des Stromes I1 und x2 der entsprechende Abstand von der Austrittstelle des Stromes I2 bedeutet.
  • Die Beleuchtungseinrichtung 72 braucht nicht, wie in den Figuren 1 und 3 dargestellt, zwischen den Linsen der Projektionsoptik und der Abbildungsoptik angeordnet zu sein. Sofern die Beleuchtungseinrichtung 72 in der optischen Achse liegt und die lichtelektrische Wandlereinrichtung 73 einen in der optischen Achse liegenden Durchlaßkanal für den Strahl der Beleuchtungseinrichtung 72 hat, kann mit die lichtelektrische Wandlereinrichtung 73 auch zwischen der Abbildungsoptik 74 und der Beleuchtungseinrichtung 72 anordnen.
  • Wie Figur 28 zeigt, ist es aber auch möglich, das Licht der Beleuchtungseinrichtung 75, bei der es sich wie bei der Beleuchtungseinrichtung 72 um einen Laser handeln kann, in die optische Achse einzuspiegeln. Die Beleuchtungseinrichtung 75 ist daher aus der optischen Achse heraus versetzt. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 28 wird das Licht der Beleuchtungseinrichtung 75 mittels zweier Spiegel 76 zwischen der Abbildungsoptik 75 und der lichtelektrischen Wandlereinrichtung 78 eingespiegelt. Der Einspiegelungspunkt könnte aber auch an einer anderen Stelle der optischen Achse liegen, also beispielsweise vor der Abbildungsoptik.
  • Alle in der vorstehenden Beschreibung erwähnten sowie auch die nur allein aus der Zeichnung entnehmbaren Merkmale sind als weitere Bestandteile der Erfindung, auch wenn sie nicht besonders hervorgehoben und insbesondere nicht in den Ansprüchen erwähnt sind.

Claims (19)

  1. Patentansprüche 1. Verfahren zur optischen Bestimmung der Entfernung zwischen einer Meßvorrichtung und wählbaren Stellen auf der Oberfläche eines Prüflings, bei dem eine Marke auf die ausgewählte Stelle projiziert, diese Marke auf der Meßvorrichtung abgebildet und aus der Bildweite der Marke die zu bestimmende Entfernung ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die von einem punktförmigen Bereich von der Marke ausgehenden Strahlen in einer die optische Achse der Abbildungsoptik konzentrisch umgebenden Ringzone zum Schnitt gebracht und die Lage dieser Ringzone als Maß für die Bildweite bestimmt werden.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die von der Marke ausgehenden Strahlen in einem zur optischen Achse. konzentrischen Bündel der Schnittstelle zugeführt werden.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens überwiegend die Randstrahlen des aus der Abbildungsoptik austretenden Lichtes zur Abbildung der Marke verwendet werden.
  4. 4. Vo richtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß Anspruch 1 mit einer Lichtquelle, einer Projektionsoptik für die Projektion einer Marke auf eine auswählbare Stelle der Oberfläche des Prüflings sowie einer Abbildungsoptik und einer von den von der Marke kommenden Strahlen beaufschlagbaren lichtelektrischen Wandlereinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungsoptik als nicht-gauBsche Optik ausgebildet ist.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungsoptik eine zur optischen Achse der Projektionsoptik koaxiale Anordnung hat.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungsoptik in einem zur optischen Achse konzentrischen Ringbereich angeordnet oder nur im dem ihrer Randzone entsprechende Ringbereich für die Beeinflußung der Strahlen freigegeben ist.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die der Abbildungsoptik zugeordnete Lichtempfangsfläche im Bereich der durch die Strahlenschnittpunkte gebildeten Ringzone angeordnet oder durch die Empfangsfläche einer die Strahlen zu der Sensorfläche der lichtelektrischen Wandlereinrichtung führenden Lichtleiteinrichtung gebildet ist.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangsfläche sich über denjenigen Flächenbereich erstreckt, in dem bei unterschiedlichen Bildweiten innerhalb des Meßbereiches die Schnittpunkte der von der Marke kommenden Strahlen liegen.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangsfläche aus den Empfangs flächen einzelner Photosensoren oder einzelner Elemente der Lichtleiteinrichtung gebildet ist.
  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangsfläche eine zur optischen Achse der Abbildungsoptik rotationsymetrische Form hat.
  11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangsfläche in wenigstens einer vorzugsweise zur optischen Achse der Abbildungsoptik parallelen Ebene liegt.
  12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangsfläche in einer Ebene liegt, zu der die optische Achse der Abbildungsoptik lotrecht verläuft.
  13. 13. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangsfläche durch die eine Stirnfläche von koaxial angeordneten, rohrförmigen Lichtleitern gebildet ist.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das andere Ende der rohrförmigen Lichtleiter in einer allen gemeinsamen Schrfigfläche liegt, auf die eine ebene Sensorfläche der lichtelektrischen Wandlereinrichtung ausgerichtet ist.
  15. 15. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8r dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangsfläche durch Stirnflächen hohlkegelförmiger, koaxial angeordneter Lichtleiter gebildet ist, an deren abgestumpftem, die Lichtaustrittfläche bildendem Ende je ein Photosensor angeordnet ist.
  16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteinrichtung ein konzentrisch zur optischen Achse der Abbildungsoptik angeordneter Wickel aus einer lichtleitenden Folie ist, dessen schraubenlinienförmig verlaufende, durch den einen Rand derFolie gebildete Randfläche die Lichtempfangsfläche bildet.
  17. 17. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, daurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteinrichtung aus einem oder mehreren in Richtung der optischen Achse der Abbildungsoptik versetzt angeordneten, die von der Abbildungsoptik kommenden Strahlen reflektierenden oder brechenden Elementen besteht.
  18. 18. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Element als konzentrich zur optischen Achse der Abbildungsoptik im konvergierenden Bereich der gegen die Lichtempfangsfläche gerichteten Strahlen zwischen zwei Photosensoren angeordnete Lochblende ausgebildet ist.
  19. 19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung eine außerhalb der optischen Achse der Projektionsoptik liegende Lichtquelle und eina seren Licht in die optische Achse ausführende Lichtleiteinrichtung aufweist.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3920133A1 (de) * 1989-06-20 1991-01-03 Siemens Ag Optischer sensor zur untersuchung der lage und/oder der kontur eines objekts
US5978089A (en) * 1997-04-15 1999-11-02 Nextel Ltd. Non-contact method for measuring the shape of an object
WO2004048890A1 (de) * 2002-11-25 2004-06-10 Peter Ott Abbildungsoptik sowie verfahren und vorrichtung zur optischen bestimmung der entfernung zu einem objekt
IT202000007837A1 (it) * 2020-04-14 2021-10-14 Tecnosens S P A Dispositivo di misura dimensionale non a contatto con risoluzione micrometrica

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10142206A1 (de) * 2001-08-25 2003-03-13 Fraunhofer Ges Forschung Messanordnung und Verfahren zur Bestimmung der Tiefe von in Substratoberflächen ausgebildeten Bohrungen oder nutenförmigen Einschnitten

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2845850A1 (de) * 1978-10-20 1980-04-24 Sick Optik Elektronik Erwin Opto-elektronischer abstandstaster

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2845850A1 (de) * 1978-10-20 1980-04-24 Sick Optik Elektronik Erwin Opto-elektronischer abstandstaster

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Firmenschrift: optics Guide 1985, S. 25, 26 *
ISBN 0-93 3993-00-5 Melles Griot *
ISBN 3-8023-00 67-X *
Schröder, G.: Technische Optik Vogel Verlag Würzburg 1974, S. 18, 19 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3920133A1 (de) * 1989-06-20 1991-01-03 Siemens Ag Optischer sensor zur untersuchung der lage und/oder der kontur eines objekts
US5978089A (en) * 1997-04-15 1999-11-02 Nextel Ltd. Non-contact method for measuring the shape of an object
WO2004048890A1 (de) * 2002-11-25 2004-06-10 Peter Ott Abbildungsoptik sowie verfahren und vorrichtung zur optischen bestimmung der entfernung zu einem objekt
IT202000007837A1 (it) * 2020-04-14 2021-10-14 Tecnosens S P A Dispositivo di misura dimensionale non a contatto con risoluzione micrometrica
WO2021209845A1 (en) * 2020-04-14 2021-10-21 Tecnosens S.P.A. Non-contact dimensional measurement device with micrometric resolution

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