DE3501077A1 - Pulsventil - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000001208 nuclear magnetic resonance pulse sequence Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
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Description
Kernforschungszentrum Karlsruhe, den 9.Jan. 1985
Karlsruhe GmbH PLA 8501 Ku/he
ANR 1002597
Pulsventil
Die Erfindung betrifft ein Pulsventil gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Zur Erzeugung gepulster Gas- oder Flüssigkeitsstrahlen werden elektromagnetisch oder piezoelektrisch angetriebene
Pulsventile verschiedenster Bauart eingesetzt.
Aus der DE-PS 22 47 091 ist ein Hochvakuumventil mit einem mittels Membrane vom Ventilkörper abgedichteten Antriebskörper bekannt. Dabei handelt es sich um ein mittels Antriebsschraube
betätigtes Dosierventil, wobei im Ventilkörper Unterdruck und im Antriebskörper Atmosphärendruck
herrscht.
Die bekannten Ventile haben den Nachteil, daß sie, weil jeweils anwendungsspezifisch konstruiert, die drei Eigenschaften:
hoher Betriebsdruck,
kur ζ e Impu1s daue r,
hohe Pulsfolge und
kur ζ e Impu1s daue r,
hohe Pulsfolge und
für extreme Temperaturen verwendbar, nicht in einer Konstruktion vereint aufweisan.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, eine gepulste Ventildüse für ein Atomstrahlspektrometer
bereitzustellen, bei der die Pulsdauer variabel, die Pulsfolge bis zu ' 150 Pulsen/sec. betragen, die Düse
sowohl geheizt als auch gekühlt und ein maximaler Betriebsdruck bis 50 bar einstellbar sein soll.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist in den
kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 beschrieben.
Die übrigen Ansprüche geben vorteilhafte Weiterbildungen und Ausführungsformen der Erfindung wieder.
Der besondere Vorteil dieses Konstruktionsprinzips besteht darin, daß der piezoelektrische Antrieb nicht gegen
den Betriebsdruck im Vorratsraum arbeiten muß. Es kann daher mit wesentlich höherem Betriebsdruck gearbeitet
werden als bei den bisherigen gepulsten Düsen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels mittels der Figur näher erläutert.
Das Pulsventil besteht aus einem Ventilkörper 1 mit einem stirnseitig demontierbaren Düsenkörper 2, dessen Öffnung
mit auswechselbaren Blenden 3 unterschiedlicher Durchmesser versehen werden kann. Der Ventilkörper 1 weist
einen Vorratsraum 4 auf, in dem der Ventilsitz 5 und das mit dem Ventilstempel 6 verbundene Verschlußstück
7 untergebracht sind, und der über einen Anschlußstutzen
8 mit dem gasförmigen, flüssigen oder gas-flüssiggemisehten
Druckmittel versorgt wird. Der Ventilstempel 6 ragt in den mittels Membrane 9 vom Vorratsraum 4 vakuumdicht
getrennten, evakuierbaren Antriebsraum 10 des mit dem Ventilkörper 1 fest verbundenen Antriebskörpers 11 hinein.
Ein erster thermisch und elektrisch isolierender Körper 12 verbindet den Ventilstempel 6 mit einem piezoelektrischen
Antrieb 20 der aus einem Stapel piezoelektrischer Kristalle besteht und über einen zweiten thermisch
und elektrisch isolierenden Körper 13 gegen den Ventilkörper 1 abgestützt ist. Außerdem ist der Ventilstempel
6 über ein elastisches Element 14 und eine Einstellvorrichtung 15 mit dem Antriebskörper 11 verbunden. Der Antriebskörper
11 ist in einem vakuumdichten Gehäuse 16 untergebracht, daß am unteren Ende mit dem Ventilkörper 1 ver-
— j —
bunden und am oberen Ende mit einer Flanschverbindung 17 ausgestattet ist.
Sowohl das Gehäuse 16 als auch der Antriebskörper 11 werden über einen Pumpstutzen 18 und die Bohrungen 19, 19a evakuiert.
Das thermisch und elektrisch isolierende Vakuum und die isolierenden Körper 12 und 13 schützen den piezoelektrischen
Antrieb 20 vor den extremen Temperaturen des Ventilkörpers 1 und des Druckmittels im Vorratsraum 4, die ebenso wie der Düsenkörper 2 geheizt oder gekühlt
sein können. Der Druck im Vorratsraum 4 wirkt über die Membrane 9 und den mit ihr verbundenen Ventilstempel 6
gegen die Federkraft des aus Tellerfedern bestehenden elastischen Elementes 14. Die Tellerfedern müssen so stark
ausgelegt sein, daß mit der Einstellvorrichtung 15 ein Druck eingestellt werden kann, der der Summe aus dem
maximalen Betriebsdruck im Vorratsraum 4 und dem mindestens zum Schließen notwendigen Druck des Ventilstempels 6 entspricht.
BezuQszeichenliste:
1 | Ventilkörper |
2 | Düsenkörper |
3 | Blende |
4 | Vorratsraum |
5 | Ventilsitz |
6 | Ventilstempel |
7 | Verschlußstück |
8 | Anschlußstutzen |
9 | Membrane |
10 | Antriebsraum |
11 | Antriebskörper |
12 | erster thermisch und elektrisch isolieren der Körper |
13 | zweiter thermisch und elektrisch isolieren der Körper |
14 | elastisches Element |
15 | Einstellvorrichtung |
16 | Gehäuse |
17 | Flanschverbindung |
18 | Pumpstutzen |
19 | Bohrung |
19a | Bohrung |
20 | piezoelektrischer Antrieb |
- Leerseite -
Claims (4)
1. Pulsventil mit einem Ventilsitz, einem Verschlußstück, einem Ventilstempel und einem piezoelektrischen Antrieb
für den Ventilstempel, der aus einem Stapel piezoelektrischer Kristalle besteht,
dadurch gekennzeichnet, daß
a) die Kristalle des Antriebs (20) ringförmig um den Ventilstempel (6) konzentrisch angeordnet sind, von
elektrisch und thermisch isolierendem Vakuum umgeben sind und die Hubkraft mittels thermisch und elektrisch
isolierender Körper (12, 13) übertragbar ist,
b) der Ventilkörper (1) einen Vorratsraum (4) für das
Druckmittel aufweist, der mittels Membrane (9) vakuumdicht vom Antriebsraum (10) des Antriebskörpers
(11) getrennt ist,
c) ein· evakuierbares Gehäuse (16) den Antriebskörper (11) umschließt und
d) die Austrittsöffnung des Ventilsitzes (5) mit einem auswechselbare Blenden (3) tragenden Düsenkörper (2)
versehen ist,
e) der Ventilkörper (1) und der Düsenkörper (2)x heiz-
oder kühlbar sind. ·
2. Pulsventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein elastisches Glied (14) zwischen Antriebskörper (11)
und Ventilstempel (6) derart eingebracht ist, daß eine den Betriebsdruck im Vorratsraum (4) entgegenwirkende
Vorspannung der Membrane (9) einstellbar ist.
3. Pulsventil nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hub durch die Anzahl der piezoelektrischen
Kristalle des Antriebs (20) und durch Variation der angelegten Spannung einstellbar ist.
4. Pulsventil nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß das Ventil für Gase und Flüssigkeiten bis zur Temperatur des flüssigen Heliums verwendbar ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853501077 DE3501077A1 (de) | 1985-01-15 | 1985-01-15 | Pulsventil |
US06/818,039 US4669660A (en) | 1985-01-15 | 1986-01-13 | Pulse valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853501077 DE3501077A1 (de) | 1985-01-15 | 1985-01-15 | Pulsventil |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3501077A1 true DE3501077A1 (de) | 1986-07-17 |
DE3501077C2 DE3501077C2 (de) | 1988-02-11 |
Family
ID=6259850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853501077 Granted DE3501077A1 (de) | 1985-01-15 | 1985-01-15 | Pulsventil |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4669660A (de) |
DE (1) | DE3501077A1 (de) |
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Legal Events
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