DE3445725A1 - Halbleiter-laservorrichtung - Google Patents
Halbleiter-laservorrichtungInfo
- Publication number
- DE3445725A1 DE3445725A1 DE19843445725 DE3445725A DE3445725A1 DE 3445725 A1 DE3445725 A1 DE 3445725A1 DE 19843445725 DE19843445725 DE 19843445725 DE 3445725 A DE3445725 A DE 3445725A DE 3445725 A1 DE3445725 A1 DE 3445725A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- laser device
- layer
- areas
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
- H01S5/1225—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers with a varying coupling constant along the optical axis
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1053—Comprising an active region having a varying composition or cross-section in a specific direction
- H01S5/106—Comprising an active region having a varying composition or cross-section in a specific direction varying thickness along the optical axis
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
- H01S5/1206—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers having a non constant or multiplicity of periods
- H01S5/1215—Multiplicity of periods
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Halbleiter-Laservorrichtung und insbesondere eine Halbleiter-Laservorrichtung mit verteilter
Rückkopplung, in der eine Schwingung mit einer einzigen longitudinalen
Mode hervorgerufen wird.
Bei derartigen Halbleiter-Lasern mit verteilter Rückkopplung ("Distributed-Feedback Semiconductor Laser"; im folgenden als
"DFB-Laser" bezeichnet) ist im Inneren der Vorrichtung ein Gitter vorgesehen, um die longitudinalen Moden des Halbleiter-Lasers
zu steuern. In einem herkömmlichen DFB-Laser treten im Prinzip zwei Moden mit demselben Schwellen-Verstärkungsfaktor
auf. In der Praxis werden damit Schwingungen mit jeweils einer dieser zwei Moden hervorgerufen. Es ist daher schwierig, mit
hoher Reproduzierbarkeit eine Schwingung einer einzigen longitudinalen Mode zu erzielen, da bei der Herstellung der Laser-Vorrichtungen
geringfügige strukturelle Abweichungen auftreten.
DFB-Laser sind,beispielsweise aus folgenden Veröffentlichungen
bekannnt:
(1) T. Matsuoka et al., Electron Lett., 18, 28(1982)
(2) S. Akiba et al., Jpn. J. Appl. Phys., 21, 1736(1982)
Die Grundbestandteile eines DFB-Lasers sind eine^aktive Schicht
für die Lichtemission aufgrund injizierter Träger, eine Überzugs schicht zur Eingrenzung der Träger in der aktiven Schicht
("Carrier Confinement") und ein Gitter, das die verteilte Rückkopplung bewirkt. In einem herkömmlichen DFB-Laser hat
eine longitudinale Mode, die nächst der durch die Gitterperiode vorgegebenen Bragg-WeIlenlänge liegt, die kleinste Schwellenverstärkung.
Eine derartige longitudinale Mode tritt zu beiden Seiten der Bragg-Wellenlänge auf. Dadurch ist es schwierig,
eine Schwingung mit ausschließlich einer Mode zu erzielen.
Aufgrund der Herstellungsabweichungen der Vorrichtungen und der
Strom- und Temperaturschwankungen treten Moden-Sprünge auf.
Angesichts des Standes der Technik liegt die Aufgabe der vorliegenden
Erfindung darin, eine Halbleiter-Laservorrichtung anzugeben, mit der die den bekannten Laservorrichtungen
anhaftenden Nachteile zumindest teilweise überwunden werden, und mit der es möglich ist, eine stabile Schwingung mit einer
einzigen Mode zu erzeugen.
Zur Lösung dieser Aufgabe sind in der erfindungsgemäßen Halbleiter-Laservorrichtung
in Richtung ihrer optischen Achse zumindest zwei Bereiche mit unterschiedlichen Bragg-Wellenlängen
angeordnet. Die Wellenlänge der longitudinalen Mode, die in dem einen der Bereiche die kleinste Schwellenverstärkung hat, wird
der Wellenlänge der longitudinalen Mode überlagert, die in dem anderen der Bereiche die kleinste Schwellenverstärkung hat. Da
die durch eine derartige Überlagerung hervorgerufene Mode eine geringere Schwellenverstärkung als alle anderen Moden hat, läßt
sich eine stabile Schwingung mit dieser einen Mode erzielen.
Das Prinzip und bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die
Zeichnungen beschrieben. In den Zeichnungen zeigen
Fig. 1 ein Diagramm zur Erläuterung des Prinzips der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine Schnittansicht eines DFB-Lasers nach einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung; Fig. 3 eine Schnittansicht eines DFB-Lasers nach einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 4 ein Diagramm des Schwingungsspektrums der erfindungsgemäßen
Vorrichtung;
Fig. 5
bis
bis
Fig. 12 Schnittansichten weiterer Ausführungsbeispiele der Erfindung.
_ 5 _ 3 U it O / Z D
Vor der detaillierten Beschreibung einzelner Ausführungsbeispiele wird kurz das der Erfindung zugrunde liegende Prinzip
erläutert.
Wie in Fig. 1a gezeigt, sind in einem DFB-Laser longitudinale Moden entsprechend den Wellenlängen λ..*, λ.. ~ ···/ ^21' ^22' "'*
möglich, wobei die Bragg-Wellenlänge λ, in der Mitte dieses
Wellenlängenspektrums liegt. Bei einem herkömmlichen DFB-Laser wird eine Schwingung mit jeder der beiden Moden hervorgerufen,
die den Wellenlängen \J- und λ»., mit der kleinsten Schwellenverstärkung
entsprechen.
Die Bragg-Wellenlänge λ, läßt sich durch folgende Gleichung
ausdrücken, wobei Λ die Gitterperiode angibt:
Xb = 2'neff'A
Hierbei gibt η f^ den effektiven Brechungsindex an, der durch
folgende Gleichung gegeben ist:
neff = ϊς ' mit Ro = ¥
wobei λ die Wellenlänge der Schwingung und 3 eine Ausbreitungskonstante
angibt.
Diese Konstanten sind in der die grundlegende Theorie der optischen
Wellenleitung oder der Halbleiter-Laser behandelnden Literatur (z.B. "HETEROSTRÜCTURE LASERS", H.C. Casey, M.B.
Panish, ACADEMIC PRESS) näher erläutert.
Aufgrund des oben beschriebenen Zustands ist es nicht möglich, eine stabile Schwingung mit einer einzigen Mode zu realisieren,
da die λ-..-und λ?1-Moden dieselbe Schwellenverstärkung aufweisen,
wodurch aufgrund der Temperatur- und Stromänderungen ein Moden-Sprung auftritt.
Q / / ;~ '7 O ,C
Deshalb werden zwei Bereiche I (λ, τ) und II (λ, τ_) mit unter-
Dl DlI
schiedlicher Bragg-Wellenlänge (λ, ) hintereinander so in Richtung
der optischen Achse angeordnet, daß die den Wellenlängen λ, T und λ, T mit der kleinsten Schwellenverstärkung entsprechenden
Moden in den Bereichen I und II einander überlappen. Dieser Zustand ist in den Fig. 1b und 1c gezeigt. Aufgrund die
ser überlagerung des Moden-Spektrums der Bereiche I und II tritt, wie in Fig. 1d dargestellt, nur noch eine einzige Mode
mit der kleinsten Schwellenverstärkung auf. Damit erfolgt eine Schwingung immer mit dieser der Wellenlänge XAR entsprechenden
Mode, d.h. es wird eine Schwingung mit einer einzigen Mode erzeugt.
Der Abstand zwischen der Bragg-Wellenlänge (z.B. λ, A) und der
benachbarten Modenwellenlänge (z.B. λ, ) läßt sich durch folgende Gleichung ausdrücken:
wobei L eine entsprechende Hohlraumlänge angibt.
Wie aus der Beziehung λ, = 2·η ff*A hervorgeht, läßt sich die
Bragg-Wellenlänge für verschiedene Bereiche durch Veränderung von η ex- oder von Λ unterschiedlich einstellen,
erf
Der effektive Brechungsindex η *ψ kann durch Veränderung der
Dicke oder der Zusammensetzung eines den Wellenleiter bildenden Schichtenaufbaus verändert werden. Beispielsweise kann
die Dicke der aktiven Schicht selbst oder die Dicke der optisehen Führungsschicht oder der Uberzugsschicht verändert werden.
Ein genauere Beschreibung eines derartigen Aufbaus erfolgt bei der Erläuterung einzelner Ausführungsbeispiele der Erfindung.
Bisher wurde der Fall beschrieben, in dem das Gitter im "Resonator-Hohlraum"
in zwei Bereiche aufgeteilt ist. Es kann jedoch auch eine Aufteilung in eine größere Anzahl von Bereichen
erfolgen.
Die vorliegende Beschreibung bezieht sich weiterhin hauptsächlich auf die Einstellung der longitudinalen Mode. Zur Einstellung
der sogenannten "Transversal-Mode", d.h. der Mode in Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Laser-Lichts,
können in Kombination mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung die bislang bekannten Verfahren verwendet werden. Beispielsweise
kann neben dem erfindungsgemäßen Aufbau auch ein sogenannter "Buried Heterostructure"-Aufbau Anwendung finden.
Grundsätzlich läßt sich mit der erfindungsgemäßen Halbleiter-Laservorrichtung
eine Schwingung mit einer einzigen longitudinalen Mode mit hoher Reproduzierbarkeit und ohne Beeinflussung
durch Abweichungen der Vorrichtungen erzeugen.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung beschrieben.
Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht eines DFB-Lasers in einer Ebene parallel zur Ausbreitungsrichtung des Lichts. Wie in
der Zeichnung dargestellt, sind auf einem η-dotierten InP-Substrat 1 mit einem bekannten Flüssig-Epitaxie-Verfahren
nacheinander eine η-dotierte, etwa 2 μΐη dicke InP-Schicht 2
als Pufferschicht, eine etwa 0,1 um dicke In-. co„Gan ΛΛΟ
U,boz U , 41 ο
ASq 898P0 -io2~Sc^lic^lt 3 a"^s akt:i-ve Schicht und eine p-dotier-' u
te,bis zu 0,1 μια dicke In^71 7GaQ ^283As0 ^13P0 ^^-Schicht 4
als optische Führungsschicht gebildet. Auf der Oberfläche der optischen Führungsschicht 4 wird eine Fotoresistschicht ausgebildet,
wonach mittels eines bekannten Laserstrahl-Interferenzverfahrens
ein Muster mit einer gewünschten periodischen Wellenform freigelegt wird. Wie in Fig. 2 gezeigt, unterscheiden
sich in diesem Ausführungsbeispiel die Perioden der Wellen-
flächen I und II. Die Periode im Bereich I beträgt hierbei 230 nm, die im Bereich II 231,5 nm.
Anschließend wird die Oberfläche der p-dotierten InGaAsP-Schicht 4 unter Verwendung des oben genannten Fotolacks als
einer Maske selektiv geätzt/ wobei eine Ätzlösung aus einer
gemischten Lösung von HBr, HNO3 und H3O verwendet wird, um
die periodisch gewellte Fläche auszubilden. Die Vertiefungen sind bis etwa 30 nm tief. Nach Ausbildung dieser periodisch
gewellten Fläche werden nacheinander eine p-dotierte, bis zu 1,0 μπι dicke InP-Uberzugsschicht 5 und eine p-dotierte, bis
zu 0,5 μπι dicke In0#81 4Ga0/18gAsQ ^05P0 ^^-Schicht 6 als
Kontaktschicht aufgebracht. Eine n-Elektrode 9 aus Au-Sn
und eine p-Elektrode 10 aus Cr-Au werden auf der Seite des
η-dotierten InP-Substrats 1 bzw. auf der Seite der p-dotierten
InGaAsP-Schicht 6 ausgebildet. Anschließend werden die Vorrichtungen, falls notwendig, getrennt. Die "Hohlraum"-Länge
beträgt 300 μπι.
In Fig. 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gezeigt. Die Schichten bis zur optischen Führungsschicht
4 werden auf dieselbe Weise wie in dem in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispiel aufgebracht. Die Dicke der optischen
Führungsschicht 4 wird jedoch nur im Bereich I durch selektives Ätzen verringert. Anschließend wird auf beiden Bereichen
I und II eine gewellte Fläche mit derselben Periode ausgebildet. Da die Dicke der optischen Führungsschicht in den
Bereichen I und II unterschiedlich ist, unterscheiden sich auch die effektiven Brechungsindizes und damit die Bragg-Wellenlängen
in diesen Bereichen. Damit führt die Veränderung der Dicke zu einer Veränderung der Bragg-Wellenlänge und zu einer
entsprechenden Änderung des effektiven Brechungsindex (η £~) .
Die Periode der Wellenflächen 7 und 8 beträgt beispielsweise 230 nm, die Dicke der optischen Führungsschicht im Bereich I
0,1 μπι und die Dicke der optischen Führungsschicht im Bereich II 0,15 μπι. Mit einer derart aufgebauten Vorrichtung läßt sich,
wie in Fig. 4 gezeigt, eine Schwingung einer einzigen Mode mit einer Wellenlänge von 1,55 μΐη erzielen.
In Fig. 3 sind für entsprechende Bereiche dieselben Bezugszeichen wie in Fig. 2 verwendet.
In den Fig. 5 bis 11 sind Schnittansichten von Halbleiter-Laservorrichtungen
nach anderen Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung gezeigt. Alle Schnitte verlaufen, wie in
Fig. 2, entlang der Ausbreitungsrichtung des Laser-Lichts. Auch in diesen Figuren sind für übereinstimmende Bereiche αχεί ο selben Bezugszeichen wie in Fig. 2 verwendet.
In Fig. 5 ist ein Ausführungsbeispiel gezeigt, in dem die periodisch
gewellten Flächen 7 und 8 bezüglich der aktiven Schicht auf Seite des Substrats 1 angeordnet sind. Eine Halbleiterschicht
11, beispielsweise eine η-dotierte Ing .^7Gan 203
As„ β·!-3^o oo-y-Schicht, dient als die optische Führungsschicht.
Die Zusammensetzungen der anderen Schichten können denen im Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 entsprechen. Die n-dotierte
InGaAsP-Schicht 11 ist vorzugsweise 0,1 μΐη dick.
In Fig.6 ist ein Ausführungsbeispiel gezeigt, in dem die periodisch
gewellten Flächen 7 und 8 ebenfalls auf der Seite des Substrats angeordnet sind, wobei die Dicke der optischen Führungsschicht
11 in den Bereichen I und II jedoch unterschiedlich ist. In diesem Ausführungsbeispiel stimmt die Periode der
periodisch gewellten Flächen 7 und 8 überein, sie beträgt z.B. 230 nm. Als die optische Führungsschicht 11 dient beispielsweise
die oben genannte η-dotierte Inn 717Gan 000Asn c-oPn -,o~j~
U , / I / U , /O J Urb|j U , ioI
Schicht, deren Dicke im Bereich I 0,2 μΐη und im Bereich II
0 ,1 um beträgt.
Im in Fig. 7 gezeigten Ausführungsbeispiel sind dre.i verschiedene
periodische Wellenflächen vorgesehen. Nach diesem Ausführungsbeispiel stimmt die Dicke der optischen Führungs-
schicht 4 im linken und im rechten Bereich, d.h. im Bereich
I und III,überein und ist dort größer als im Bereich II. Die
Periode der periodischen Wellenfläche ist in den drei Bereichen I, II und III gleich.
Fig. 8 zeigt ein Ausführungsbeispiel, in dem eine große Anzahl von Bereichen 15 mit dicken optischen Führungsschichten
und eine große Anzahl von Bereichen 14 mit dünnen optischen Führungsschichten wechselweise angeordnet sind. Der übrige
Aufbau kann mit dem der Ausführungsbeispiele nach Fig. 2 oder Fig. 7 übereinstimmen.
In den vorhergehend beschriebenen Ausführungsbeispielen wird zur Veränderung des effektiven Brechungsindex (n ff) in den
getrennten Bereichen die Periode der Gitter-Wellenflächen oder die Dicke der optischen Führungsschichten verändert. Es ist jedoch
auch möglich, diese beiden Verfahren zu kombinieren.
In Fig. 9 ist ein Ausführungsbeispiel gezeigt, in dem die Periode der Gitter-Wellenfläche 7 sowie die Dicke der optischen Führungsschicht
11 konstant ist, während sich die Dicke einer der Überzugsschichten 12 periodisch ändert, um unterschiedliche
Bragg-Wellenlängen (λ, ) in den genannten Bereichen innerhalb
des optischen Resonators zu erzeugen.
In Fig. 10 ist ein Ausführungsbeispiel gezeigt, in dem die
Dicke der aktiven Schichten 31 und 32 unterschiedlich ist. Beispielsweise können diese Schichten 0,1 μΐη und 0,15 μΐη dick
sein, um die Bereiche I und II aufzubauen. Der gleiche Effekt läßt sich durch Veränderung der Zusammensetzungen der Schichten
erzielen, während die Dicke der aktiven Schicht konstant bleibt.
In Fig. 11 ist ein Ausführungsbeispiel dargestellt, in dem die
Zusammensetzungen der optischen Führungsschichten 14 und 15
verändert sind. Die Zusammensetzungen können beispielsweise
so gewählt werden, daß die optische Führungsschicht 14 eine Bandabstands-Wellenlänge von 1,3 μΐη und die optische Führungsschicht
15 eine Bandabstands-Wellenlänge von 1,25 μπι
aufweist.
In den obigen Ausführungsbeispielen wurden Halbleiter-Laser
mit einem InP-InGaAsP-Aufbau beschrieben. Die vorliegende
Erfindung läßt sich jedoch allgemein auf Verbindungshalbleiter-Laser, z.B. auf GaAs-GaAÄAs-Laser anwenden.
In Fig. 12 ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung mit einem GaAs-GaAÄAs-Aufbau gezeigt. Der grundlegende Aufbau
entspricht dem des Ausführungsbeispiels nach Fig. 7.
Auf einem η-dotierten GaAs-Substrat 21 sind eine n-dotierte,
2,0 um dicke Gan ,-AiIn -As-Überzugsschicht 22, eine undotierte,
0,1 μπι dicke Gan Q[-Aßn nt-As-Schicht 23 als aktive
Schicht, eine p-dotierte, 0,05 μπι dicke Gan cA£n .As-Blockier
schicht 24, eine p-dotierte Gan QAÄn oAs-Schicht 25 als opti-
u , ο υ , />
sehe Führungsschicht, eine p-dotierte, 1,0 um dicke Gan cA£n
U , D U ,
As-Uberzugsschicht 26 sowie eine p-dotierte, 0,5 \xm dicke
GaAs-Abdeckschicht 27 angeordnet. Nach diesem Ausführungsbeispiel ist der optische Resonator in die Bereiche I, II
und III aufgeteilt, die 0,1 μπι, 0,2 μπι und 0,1 μπι dick sind.
Der Periodenabstand der Wellenfläche beträgt 237 nm, ihre Höhe 50 nm.
Eine Elektrode 29 ist aus Cr-Au, eine Elektrode 28 aus
einem AuGeNi-Au-Schichtaufbau hergestellt.
Ah/bi
Leerseite -
Claims (6)
1. Halbleiter-Laservorrichtung mit verteilter Rückkopplung
mit einem Gitter, das mittels periodisch gewellter Flächen (7, 8) in einem optischen Resonator die optische Rückkopplung
bewirkt,
dadurch gekennzeichnet, daß der optische Resonator zumindest zwei Bereiche (I, II, III) mit verschiedenen Bragg-Wellenlängen aufweist, die longitudinal in Richtung der optischen Achse angeordnet sind.
dadurch gekennzeichnet, daß der optische Resonator zumindest zwei Bereiche (I, II, III) mit verschiedenen Bragg-Wellenlängen aufweist, die longitudinal in Richtung der optischen Achse angeordnet sind.
2. Halbleiter-Laservorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Perioden der gewellten Flächen (7, 8) in mehreren der Resonatorbereiche (I, II, III) unterschiedlich sind.
3. Halbleiter-Laservorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
ό ·. -.· ο / L ο
daß die Abstände zwischen einer aktiven Schicht (3; 23) und den Oberflächen der periodisch gewellten Flächen (7, 8) in
mehreren der Resonatorbereiche (I, II, III) unterschiedlich sind.
4. Halbleiter-Laservorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß auf der den periodisch gewellten Flächen (7) gegenüberliegenden Seite einer aktiven Schicht (3) Halbleiterschichten (12)
vorgesehen sind, die einen kleineren Brechungsindex als die ak-ο tive Schicht (3) und in mehreren der Resonatorbereiche (I, II,
III) eine unterschiedliche Dicke haben.
5. Halbleiter-Laservorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dicken von aktiven Schichten (31, 32) in mehreren der Resonatorbereiche unterschiedlich sind.
6. Halbleiter-Laservorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 ,
dadurch gekennzeichnet, daß optische Führungsschichten (4; 11; 14, 15; 25) in mehreren
der Resonatorbereiche (I, II, III) unterschiedliche Zusammensetzungen haben.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58234238A JPH0666509B2 (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 分布帰還型半導体レ−ザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3445725A1 true DE3445725A1 (de) | 1985-07-04 |
DE3445725C2 DE3445725C2 (de) | 1991-07-18 |
Family
ID=16967845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19843445725 Granted DE3445725A1 (de) | 1983-12-14 | 1984-12-14 | Halbleiter-laservorrichtung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4665528A (de) |
JP (1) | JPH0666509B2 (de) |
DE (1) | DE3445725A1 (de) |
GB (1) | GB2151402B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3643361A1 (de) * | 1985-12-18 | 1987-06-19 | Sony Corp | Halbleiterlaser |
DE3817326A1 (de) * | 1988-05-20 | 1989-11-30 | Siemens Ag | Verfahren zur herstellung von gitterstrukturen mit um eine halbe gitterperiode gegeneinander versetzten abschnitten |
DE3934865A1 (de) * | 1989-10-19 | 1991-04-25 | Siemens Ag | Hochfrequent modulierbarer halbleiterlaser |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6147685A (ja) * | 1984-08-15 | 1986-03-08 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 分布帰還形半導体レ−ザ |
JPS61222189A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-10-02 | Sharp Corp | 半導体レ−ザ |
DE3686785T2 (de) * | 1985-06-10 | 1993-04-29 | Nippon Electric Co | Halbleiterlaservorrichtung mit verteilter rueckkopplung. |
JPH0712102B2 (ja) * | 1985-06-14 | 1995-02-08 | 株式会社日立製作所 | 半導体レ−ザ装置 |
JPS62259489A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-11 | Hitachi Ltd | 半導体レ−ザ装置及び光増幅装置 |
US4740987A (en) * | 1986-06-30 | 1988-04-26 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Distributed-feedback laser having enhanced mode selectivity |
EP0254568B1 (de) * | 1986-07-25 | 1993-10-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Halbleiterlaservorrichtung |
GB2197531B (en) * | 1986-11-08 | 1991-02-06 | Stc Plc | Distributed feedback laser |
JPS63122188A (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-26 | Hitachi Ltd | 光半導体装置 |
JP2700312B2 (ja) * | 1987-01-07 | 1998-01-21 | シャープ株式会社 | 分布帰還型半導体レーザ装置 |
US4745617A (en) * | 1987-03-27 | 1988-05-17 | Hughes Aircraft Company | Ideal distributed Bragg reflectors and resonators |
JPS63244694A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Sony Corp | 分布帰還形半導体レ−ザ |
JP2768940B2 (ja) * | 1987-07-08 | 1998-06-25 | 三菱電機株式会社 | 単一波長発振半導体レーザ装置 |
GB2209408B (en) * | 1987-09-04 | 1991-08-21 | Plessey Co Plc | Optical waveguide device having surface relief diffraction grating |
US4904045A (en) * | 1988-03-25 | 1990-02-27 | American Telephone And Telegraph Company | Grating coupler with monolithically integrated quantum well index modulator |
US5147825A (en) * | 1988-08-26 | 1992-09-15 | Bell Telephone Laboratories, Inc. | Photonic-integrated-circuit fabrication process |
FR2639773B1 (fr) * | 1988-11-25 | 1994-05-13 | Alcatel Nv | Laser a semi-conducteur accordable |
US4905253A (en) * | 1989-01-27 | 1990-02-27 | American Telephone And Telegraph Company | Distributed Bragg reflector laser for frequency modulated communication systems |
US4908833A (en) * | 1989-01-27 | 1990-03-13 | American Telephone And Telegraph Company | Distributed feedback laser for frequency modulated communication systems |
DE69018336T2 (de) * | 1989-08-18 | 1995-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | Verfahren zur Herstellung eines Beugungsgitters. |
NL9000164A (nl) * | 1990-01-23 | 1991-08-16 | Imec Inter Uni Micro Electr | Laseropbouw met gedistribueerde terugkoppeling en werkwijze ter vervaardiging daarvan. |
US5091916A (en) * | 1990-09-28 | 1992-02-25 | At&T Bell Laboratories | Distributed reflector laser having improved side mode suppression |
JPH0567848A (ja) * | 1991-09-05 | 1993-03-19 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置の製造方法 |
JP2986604B2 (ja) * | 1992-01-13 | 1999-12-06 | キヤノン株式会社 | 半導体光フィルタ、その選択波長の制御方法及びそれを用いた光通信システム |
JP3194503B2 (ja) * | 1992-06-04 | 2001-07-30 | キヤノン株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
DE4334525A1 (de) * | 1993-10-09 | 1995-04-13 | Deutsche Bundespost Telekom | Optoelektronisches Bauelement mit verteilter Rückkopplung und variierbarem Kopplungskoeffizienten |
JP2000137126A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Toshiba Corp | 光機能素子 |
US6501777B1 (en) * | 1999-01-29 | 2002-12-31 | Nec Corporation | Distributed feedback semiconductor laser emitting device having asymmetrical diffraction gratings |
DE10132231C2 (de) * | 2001-06-29 | 2003-08-14 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur in-situ Herstellung von DFB-Lasern |
GB2379084B (en) * | 2001-08-24 | 2006-03-29 | Marconi Caswell Ltd | Surface emitting laser |
EP1703603B1 (de) * | 2005-03-17 | 2015-03-18 | Fujitsu Limited | Abstimmbarer Laser |
JP5870693B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2016-03-01 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ装置及び半導体レーザ装置の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3970959A (en) * | 1973-04-30 | 1976-07-20 | The Regents Of The University Of California | Two dimensional distributed feedback devices and lasers |
US4096446A (en) * | 1976-02-02 | 1978-06-20 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Distributed feedback devices with perturbations deviating from uniformity for removing mode degeneracy |
US4178604A (en) * | 1973-10-05 | 1979-12-11 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor laser device |
DE2925648A1 (de) * | 1978-11-08 | 1980-05-22 | Philips Nv | Anordnung zum erzeugen oder verstaerken kohaerenter elektromagnetischer strahlung und verfahren zur herstellung der anordnung |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58197788A (ja) * | 1982-05-13 | 1983-11-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分布帰還形半導体レ−ザ装置の製造方法 |
-
1983
- 1983-12-14 JP JP58234238A patent/JPH0666509B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-12-11 GB GB08431202A patent/GB2151402B/en not_active Expired
- 1984-12-14 DE DE19843445725 patent/DE3445725A1/de active Granted
- 1984-12-14 US US06/681,820 patent/US4665528A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3970959A (en) * | 1973-04-30 | 1976-07-20 | The Regents Of The University Of California | Two dimensional distributed feedback devices and lasers |
US4178604A (en) * | 1973-10-05 | 1979-12-11 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor laser device |
US4096446A (en) * | 1976-02-02 | 1978-06-20 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Distributed feedback devices with perturbations deviating from uniformity for removing mode degeneracy |
GB1566053A (en) * | 1976-02-02 | 1980-04-30 | Western Electric Co | Optical frequency device |
DE2925648A1 (de) * | 1978-11-08 | 1980-05-22 | Philips Nv | Anordnung zum erzeugen oder verstaerken kohaerenter elektromagnetischer strahlung und verfahren zur herstellung der anordnung |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
Electronics Letters, 1982, Vol. 18, S. 27,28 * |
J. App. Phys., 1972, Vol. 43, S. 2327-2335 * |
Japan J. Appl. Phys., 1982, Vol. 21, S. 1736-1740 * |
Neues aus der Technik, 1979, Nr. 4, S. 2 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3643361A1 (de) * | 1985-12-18 | 1987-06-19 | Sony Corp | Halbleiterlaser |
DE3643361C2 (de) * | 1985-12-18 | 1996-02-29 | Sony Corp | Mehrschichtiger DFB-Halbleiterlaser |
DE3817326A1 (de) * | 1988-05-20 | 1989-11-30 | Siemens Ag | Verfahren zur herstellung von gitterstrukturen mit um eine halbe gitterperiode gegeneinander versetzten abschnitten |
DE3934865A1 (de) * | 1989-10-19 | 1991-04-25 | Siemens Ag | Hochfrequent modulierbarer halbleiterlaser |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4665528A (en) | 1987-05-12 |
GB2151402A (en) | 1985-07-17 |
JPS60126882A (ja) | 1985-07-06 |
JPH0666509B2 (ja) | 1994-08-24 |
DE3445725C2 (de) | 1991-07-18 |
GB8431202D0 (en) | 1985-01-23 |
GB2151402B (en) | 1987-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3445725A1 (de) | Halbleiter-laservorrichtung | |
DE69505064T4 (de) | Wellenlängenabstimmbarer Halbleiterlaser | |
DE68909747T2 (de) | Abstimmbarer Halbleiterlaser. | |
DE69104429T2 (de) | Optisches Halbleiterbauelement. | |
DE68910369T2 (de) | Phasengekoppeltes Halbleiterlaser-Array unter Verwendung nahe beieinanderliegender Wellenleiter mit negativem Brechungsindex. | |
DE3586934T2 (de) | Halbleiterlaser. | |
DE3125847A1 (de) | Halbleiter-laser | |
DE2710813A1 (de) | Heterostruktur-halbleiterlaser | |
DE3220214A1 (de) | Lichtemittierende vorrichtung | |
DE69411696T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines integrierten, optischen Halbleiterschaltkreises | |
DE3931588A1 (de) | Interferometrischer halbleiterlaser | |
DE69411493T2 (de) | Herstellungsverfahren eines planaren einmodigen Quantum-well-halbleiterlaser mit Austrittsfenster und Strombegrenzung | |
DE69203418T2 (de) | Halbleiter-Vorrichtung und Methode zu deren Herstellung. | |
DE69029207T2 (de) | Optische Halbleitervorrichtung | |
DE69521556T2 (de) | Herstellungsverfahren für eine optische Halbleitervorrichtung | |
DE68910492T2 (de) | Halbleiterlaservorrichtung. | |
DE69304455T2 (de) | Halbleiterlaser und Verfahren zur Herstellung | |
DE4034187C2 (de) | Halbleiterlaser | |
DE3782462T2 (de) | Laserdiode mit verteilter rueckkopplung. | |
DE69203784T2 (de) | Gewinngekoppelter Halbleiterlaser mit verteilter Rückkoppelung. | |
DE2937930A1 (de) | Halbleiterlaseranordnung | |
DE60010837T2 (de) | Optische Halbleitervorrichtung und zugehöriges Herstellungsverfahren | |
DE10136727A1 (de) | Photonische Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE3875768T2 (de) | Halbleiterlaser mit verteilter rueckkopplung. | |
DE3689742T2 (de) | Halbleiterlaser. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: H01S 3/098 |
|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: STREHL, P., DIPL.-ING. DIPL.-WIRTSCH.-ING. SCHUEBE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |