DE3442278A1 - Magnetfeldmessgeraet - Google Patents

Magnetfeldmessgeraet

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DE3442278A1 DE19843442278 DE3442278A DE3442278A1 DE 3442278 A1 DE3442278 A1 DE 3442278A1 DE 19843442278 DE19843442278 DE 19843442278 DE 3442278 A DE3442278 A DE 3442278A DE 3442278 A1 DE3442278 A1 DE 3442278A1
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    • G01R33/09Magnetoresistive devices

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Description

  • Magnetfeldmeßgerät
  • Die Erfindung beie.ht sich auf ein Magnetfeldmeßgerät mit einem Magnetfeldsensor, der aus vier Sensorelementen besteht, die als Wheatstonesche Brücke geschaltet sind, von einer Gleichstromquelle gespeist werden und eine Schicht aus magnetoresistivem Material aufweisen, durch das der Gleichstrom auf Strombahnen fließt, die auf jeweils zwei in Reihe geschalteten Sensorelementen senkrecht zueinander und auf diagonal einander gegenüberliegenden Sensorelementen parallel zueinander ausgerichtet sind, wobei die Sensorelemente eine magnetische Vorzugsrichtung in derselben Richtung aufweisen.
  • Aus der Firmenschrift: VALVO Technische Informationen 840323 mit dem Titel "Magnetoresistive Sensoren ist ein Magnetfeldsensor eingangs beschriebener Art zur Verwendung in einem Magnetfeldmeßgerät bekannt, der vier als Brücke geschaltete Sensorelemente enthält. Die Sensorelemente weisen je eine dünne Schicht Permalloy mit magnetischer Vorzugsrichtung auf, auf der mindestens zwei parallel liegende Leitungsbahnen hoher Leitfähigkeit aufgebracht sind. Werden die beiden äußeren Leitungsbahnen an eine Gleichspannungsquelle angeschlossen, fließt Strom auf senkrecht zu den Leitungsbahnen liegenden Strombahnen durch die Permalloyschicht. Wirkt ein Magnetfeld auf die Sensorelemente ein, verändert sich der Winkel, den die agntisierungsrichtung mit der Richtung der Strombahnen einschließt, sodaß dadurch der ohm'sche Widerstand der Sensorelemente verändert wird. Am Nullzweig der Brücke ist dann eine Spannung abgreifbar, deren Wert der Größe des Magnetfeldes entspricht. Toleranzen ei der Fertigung der Sensorelemente bewirken jedoch, daß die Sensorelemente ohne Einwirkung des Magnetfeldes unterschiedliche Widerstandswerte aufweisen, sodaß am Nullzweig der Brücke auch dann eine von Null abweichende Fehlerspannung anliegt, wenn kein Magnetfeld auf die Sensorelemente einwirkt. Da die ohm'schen Widerstandswerte der Sensorelemente außerdem temperaturabhängig sind, verändert sich die Fehlerspannung mit der Temperatur. Somit ist zur ' t?nsation der Fehlerspannung eine Schaltungsanordnung erforderlich, die auch den Temperaturgang der Sensorelemente berücksichtig und somit sehr kornpliziert aufgebaut ist.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein einfach aufgebautes Magnetfeldmeßgerät zu schaffen, das fehlerfreie, d.h. von Herstellungstoleranzen und Temperaturdrift der Sensorelemente unabhängige Magnetfeldmeßwerte liefert.
  • Diese Aufgabe wird bei einem Magnetfeldmeßgerät eingangs genannter Art dadurch gelöst, daß in Nähe der Sensorelemente eine Magnetisierungsspule angeordnet ist, die von einem Stromimpulsgenerator mit kurzen, abwechselnd positiven und negativen Stromimpulsen gespeist wird, die in der Magnetisierungsspule ein magnetisches Wechselfeld erzeugen, welches das magnetoresistive Material im Takt der Stromimpulse ummagnetisiert, wodurch am Nullzweig der Sensorbrücke eine Wechsel spannung entsteht, deren Amplitude und/oder Phasenlage durch eine dort angeschlossene Auswerteschaltung meßbar ist.
  • Am Null zweig der Brücke liegt hierbei eine Wechselspannung an, deren Amplitude sich mit dem zu erfassenden Magnetfeld ändert und die von einer fehlerhaften Gleichspannung überlagert wird, deren Wert von dem zu erfassenden Magnetfeld unabhängig ist. Die Amplitude der Wechselspannung ist auf einfache Weise meßbar und gibt fehlerfrei Auskunft über die Größe des zu erfassenden Magnetfeldes.
  • Eine einfache Möglichkeit, die Amplitude der Wechselspannung zu messen, ist gegeben, wenn die Auswerteschaltung als Wechselspannungsvoltmeter ausgebildet ist.
  • Da die Phasenlage der am Null zweig anliegenden Spannung von der Richtung des zu erfassenden Magnetfeldes abhängt, ist es zur Erfassung der Richtung des Magnetfeldes vorteilhaft, daß die Auswerteschaltung aus einem mit dem Nullzweig der Sensorbrücke verbundenen phasenempfindlichen Gleichrichter und einer Vorrichtung zur Anzeige der Amplitude und der Polarität der vom Gleichrichter gelieferten Spannung besteht.
  • Eine einfache Möglichkeit, kurze Stromimpulse zu erzeugen, ergibt sich, wenn der Stromimpulsgenerator einen Rechteckinpulsgenerator enthält, dessen Ausgang einerseits mit dem nicht-invertierenden Eingang und andererseits über ein RC-Glied mit dem invertierenden Eingang eines Differenzverstärkers verbunden ist, dessen Ausgang an die Magnetisierungsspule angeschlossen ist.
  • Differenzverstärker, die aus zwei parallel geschalteten Gegentaktstufen bestehen, wobei die eine Gegentaktstufe mit dem invertierenden und die andere Gegentaktstufe mit dem nicht-invertierenden Eingang des Differenzverstärkers verbunden ist, sind durch einen hohen Stroerstärkungsfaktor und damit durch einen hohen Ausgangsstrom gekennzeichnet. Der hohe Ausgangsstrom erzeugt in der mit dem Differenzverstärker verbundenen Spule ein starkes Magnetfeld.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen beschrieben. Es zeigen: Fig. 1 eine schematische Darstellung des MagnetfeldIneßgerätes Fig. 2 eine Ausgestaltung des Stromimpulsgenerators Fig. 3 ein Diagramm der im Stromimpulsgenerator auftretenden Impulse.
  • Das in Fig. 1 dargestellte Magnetfeldmeßgerät weist einen Magnetfeldsensor mit vier Sensorelementen 1 bis 4 auf. Die Sensorelemente bestehen jeweils aus einem isolierenden Trägersubstrat, auf dem eine Schicht aus magnetoresistivein Mateci.1l, beispielsweise aus Permalloy, aufgetragen ist. Wird das Permalloy unter Einwirkung eines magnetischen Gleichfeldes erhitzt und wieder abgefühlt, bildet sich im Permalloy eine magnetische Vorzugsrichtung 5 aus. Auf die Permalloyschicht werden mindestens zwei parallelliegende Leitungsbahnen 33, 34 hoher Leitfähigkeit aufgebracht, die mit der magnetischen Vorzugsrichtung 5 der Permalloyschicht einen Winkel von 45° bilden. Werden die äußeren Leitungsbahnen an je einen Pol einer Gleichspannungsquelle 7 angeschlossen, fließt Strom auf senkrecht zu den Leitungsbahnen 33, 34 liegenden Strombahnen durch die Permalloyschicht, sodaß auch die Strombahnen mit der magnetischen Vorzugsrichtung 5 einen Winkel von 45° bilden. Die Strombahnen sind in Fig. 1 als Pfeile zwischen den beiden parallel liegenden Leitungsbahnen 33, 34 der Sensorelemente 1 bis 4 eingezeichnet.
  • Die SensorelenenFe 1 bis 4 sind als Wheatstonesche Brücke geschaltet und derart- atlsgerichtet, daß die magnetischen Vorzugsrichtungen 5 der Sensorelemente 1 bis 4 parallel liegen und daß die Strombahnen zweier in Reihe liegendes Sensorelemente 1 und 2, 2 und 3, 3 und 4, 4 und 1 senkrecht zueinander und zweier diagonal einander gegenüberliegender Sensorelemente 1 und 3, 2 und 4 parallel zueinander ausgerichtet sind. Die Brückenschaltung wird von einer Gleichstromquelle 7 gespeist. Am Nullzweig der Brücke ist eine Auswerteschaltung 8 angeschlossen.
  • In Nähe der Sensorelemente 1 bis 4 ist eine ringförmige Magnetisierungsspule 9 angeordnet, die in Fig. 1 im Schnitt dargestellt ist. Die Sensorelemente 1 bis 4 sind innerhalb der ringförmigen Magnetisierungsspule 9 derart angeordnet, daß ein von der Magnetisierungsspule 9 erzeugtes Magnetfeld auf alle Sensorelemente 1 bis 4 in gleichem Maße einwirkt. Die Magnetisierungsspule 9 ist mit einem Stromimpulsgenerator 10 verbunden, der über die Anschlüsse 11 und 12 mit Gleichspannung versorgt wird. Die an den Null zweig der Sensorbrücke angeschlossene Auswerteschaltung 8 kann ein Wechselspannungsvoltmeter sein, das die Größe der am Nullzweig anliegenden Wechselspannung mißt und anzeigt. Die Auswerteschaltung 8 kann auch aus einem phasenempfindlichen Gleichrichter bestehen, welcher die Amplitude und die Phasen lage der am Nullzweig anliegenden Wechselspannung erfaßt und über eine Anzeigevorrichtung zur Anzeige bringt.
  • Wirkt ein zu erfassendes Magnetfeld 6 auf die Sensorelemente 1 bis 4 ein, wird die Magnetisierungsrichtung gegenüber der Vorzugsrichtung 5 der Sensorelemente 1 bis 4 im Uhrzeigersinn verdreht. Der ohm'sche Widerstand der Sensorelemente 1 und 3 nimmt dadurch ab und derjenige der Sensorelemente 2 und 4 nimmt zu, da der ohm'sche Widerstand der Sensorelemente 1 bis 4 am kleinsten ist, wenn die Strombahnen mit der magnetischen Vorzugsrichtung 5 einen Winkel von 90" bilden und dann am größten ist, wenn die Strombahnen und die magnetische Vorzugsrichtung 5 parallel liegen. Die am Nullzweig der Brücke anliegende Spannung ist somit ein Maß für das auf die Sensorelemente 1 bis 4 einwirkende Magnetfeld 6.
  • Wird die Magnetisierungsspule 9 vom St romimPulsgenerator 10 mit kurzen Stromimpulsen c gespeist, die abwechselnd positive und negative Polarität aufweisen, erzeugt die Magnetisierungsspule 9 Magnetfeldimpulse, deren Polarität im Takt der Stromimpulse wechselt und die das magnetoresistive Material der Sensorelemente 1 bis 4 ebenfalls im Takt der Stromimpulse ummagnetisieren. Nach einem ersten Magnetfeld impuls weist das Material beispielsweise die mittels der Pfeile 5 in Fig. 1 ange-le,ltete Magnetisierutzgsric'atung auf. Von einem darauffolgenden zweiten Magnetfeld impuls mit zum ersten Magnetfeldimpuls entgegengesetzter Polarität wird das Material unmagnetisiert, sodaß es nach dem zweiten Magnetfeld impuls entgegen der Richtung der Pfeile 5 magnetisiert ist. Dadurch wird bei Einwirkung eines Magnetfeldes 6 auf die Sensorelemente 1 bis 4 nach dem zweiten Magnetfeldimpuls die Magnetisierungsrichtung entgegen des Uhrzeigersinnes verdreht, sodaß der ohm'sche Widerstand der Sensorelemente 1 und 3 abnimmt und derjenige der Sensorelemente 2 und 4 zunimmt. Nach dem zweiten Magnetfeld impuls liegt somit am Nullzweig der Brücke eine Spannung mit einer anderen Polarität als nach dem ersten Magnetfeldimpuls an, wobei die Größe der Spannung unabhängig von der Polarität ist und lediglich der Starke des zu messenden Magnetfeldes 6 entspricht.
  • Somit liegt am Nullzweig der Brücke eine Wechselspannung an, deren Frequenz von der Frequenz des von der Magnetisierungsspule 9 erzeIlgien magnetischen Wechselfeldes bestimmt wird und deren Amplitude ein Maß für die Stärke des zu messenden Magntfeldes 6 ist.
  • Die Wechselspannung wird von einer Gleichspannung überlagert, die schon bei geringen fertigungsbedingten Unterschieden der ohm'schen Widerstände der Sensorelemente 1 bis 4 einen relativ großen Wert aufweist. Ist die Auswerteschaltung 8 als WecIlselspannangsusltneter ausgebildet, wird lediglich die Wechselspannung, nicht aber die Gleichspannung gemessen, so daß der vom Wechselspannungsvoltkneter angezeigte Wert unabhängig von Toleranzen bei der Fertigung der Sensorelemente sehr genau e1non de:a zu messenden Magnetr-.eld 6 entsprechenden Wert anzeigt.
  • Der in Fig. 2 dargestellte Stromimpulsgenerator 10 enthält einen Rechteckimpulsgenerator 15, der einerseits mit dem nicht-invertierenden Eingang 13 eines Differenzverstärkers 18 und andererseits über ein RC-Glied 16 und ein Digitalisierungsglied 17 mit dem invertierenden Eingang 14 des Differenzverstärkers 18 verbunden ist. Das Digitalisierungsglied 17, das die Ausgangsspannung des RC-Gliedes 16 digitalisiert, ist beispielsweisI? als Und-Glied ausgebildet, dessen Eingangsklemmen miteinander verbunden sind und somit gleichzeitig angesteuert werden. Das in Fig. 2 schematisch skizzierte Digitalisierungsglied 17 weist deshalb nur eine Eingangsklemme auf.
  • Der Differenzverstärker 18 besteht aus zwei parallelgeschalteten Gegentaktstufen 19 und 20, die jeweils aus einen PNP-Transistor 21, 22 und einem damit in Reihe geschalteten NPN-Transistor 23, 24 bestehen und über die Anschlüsse 11 und 12 an eine Gleichspannungsquelle angeschlossen sind.
  • Die Basen der Transistoren 22 und 24 sind über Widerstände 25 und 26 mit dem Rechteckimpulsgenerator 15 und die Basen der Transistoren 21 und 23 sind über Widerstände 27 und 28 mit dem Ausgang des Digitalisierungsgliedes 17 verbunden.
  • Die Funktion des Stromimpulsgenerators 10 wird anhand des in Fig. 3 dar'jeLelien Impulsdiagrammes erläutert. Der Rechteckimpulsgncar 15 erzeugt ein rechteckförmiges Signal a, das einerseits über die Widerstände 25 und 26 den Transistoren 22 und 24 und andererseits dem RC-Glied 16 zugeführt wird. Das Signal a wird im RC-Glied 16 um eine von der Größe des Kondensators 29 und des Widerstandes 30 abhängige Zeit T verzögert und anschließend im Digitalisierungsglied 17 digitalisiert, sodaß sich das Signal b ergibt, das gegenüber den Signal a um die Zeit T verzögert ist. Das Signal b wird über die Widerstände 27 und 28 den Transistoren 21 und 23 zugeführt.
  • Nach den ansteigenden Flanken der Signal impulse a liegt während der Verzögerungszeit T an den Basen der Transistoren 22 und 24 ein höheres Potential als an den Basen der Transistoren 21 und 23, sodaß die Transistoren 21 und 24 in dem leitenden Zustand und die Transistoren 22 und 23 in den Sperrzustand geschaltet werden. Es ergibt sich somit ein geschlossener Stromkreis von der Anschlußklemme 11 über den Transistor 21. die Anschlußklemme 31, die Magnetisierungsspule 9, die Anschlußklemme 32, den Transistor 24 zum ,Qasseanschluß 12. Über die Anschlußklemmen 31 und 32 fließt solange ein kurzer Stromimpuls c, bis nach Ablauf der Verzögerungszeit T die Signale a und b wieder gleiche Pegel annehmen.
  • Da die abfallenden Flanken der Signale b um die Verzögerungszeit T später auftreten als diejenigen der Signale a, liegt während der Verzögerungszeit T zwischen den Rückflanken der Signale a und b an den Basen der Transistoren 21 und 23 zin ilvjheres Potential als an den Basen der Transistoren 22 und 24, sodaß nun die Transistoren 22 und 23 in den leitenden Zustand und die Transistoren 21 und 24 in den Sperrzustand geschaltet werden und sich ein geschlossener Stromkreis von der Anschlußklemme 11 über den Transistor 22, die Klemme 32, die Magnetisierungsspule 9, die Klemme 31, den Transistor 23 zum Masseanschluß 12 ergibt. Wie in Fig. 3 skizziert ist, hat nun der zweite Stromimpuls c eine zum ersten Stromimpuls entgegengesetzte Polarität.
  • - Leerseite -

Claims (5)

  1. PATENTANSPRÜCHE 1. Magnetfeldmeßgerät mit einem Magnetfeldsensor, der aus vier Sensorelementen (1-4) besteht, die als Wheatstonesche Brücke geschaltet sind, von einer Gleichstromquelle (7) gespeist werden und eine Schicht aus magnetoresistivem Material aufweisen, durch das der Gleichstrom auf Strombahnen fließt, die auf jeweils zwei in Reihe geschalteten Sensorelementen senkrecht zueinander und auf diagonal einander gegenüberliegenden Sensorelementen parallel zueinander ausgerichtet sind, wobei die Sensorelemente (1-4) eine magnetische Vorzugsrichtung in derselben Richtung (5) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß in Nähe der Sensorelemente (1-4) eine Magnetisierungsspule (9) angeordnet ist, die von einem Stromimpulsgenerator (10) mit kurzen, abwechselnd positiven und negativen Stromimpulsen (c) gespeist wird, die in der Magnetisierungsspule (9) ein magnetisches Wechselfeld erzeugen, welches das magnetoresistive Material im Takt der Stromimpulse ummagnetisiert, wodurch am Nullzweig der Sensorbrücke eine Wechselspannung entsteht, deren Amplitude und/oder Phasenlage durch eine dort angeschlossene Auswerteschaltung (8) meßbar ist.
  2. 2. MagnetFeldmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (8) als 'Wechselspannungsvoltmeter ausgebildet ist.
  3. 3. Magnetfeldmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß-tiew Atxwerteschaltung (o) aus einem mit dem Nullzweig der Sensorbrücke verbundenen phasenempfindlichen Gleichrichter und einer Vorrichtung zur Anzeige dec Amplitude und der Polarität der vom Gleichrichter gelieferten Spannung besteht.
  4. 4. Mgnetfeldmeßgerät nach Anspruch 1 bis 3, dadurch kennzeichnet, daß der Stromimpulsgenerator (10) einen Rechteckimpulsgenerator (15) enthält, dessen Ausgang einerseits mit dein nicht-invertierenden Eingang (13) und andererseits über ein RC-Glied (16) und ein Digitalisierungsglied (17) mit dem invertierenden Eingang (14) eines Differenzverstarers (18) verbunden ist, dessen Ausgang (31,32) an die Magnetisierungsspule (9) angeschlossen ist.
  5. 5. Magnetfeldmeßgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Differenzverstärker (18) aus zwei parallel geschalteten Gegentaktstufen (19,20) besteht, wobei die eine GegentaktstuEe (21,23) mit dem invertierenden (14) und die andere Gegentaktstufe (22,24) mit dem nicht-invertierenden Eingang (13) des Differenzverstärkers (18) verbunden ist.
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