DE3438807A1 - Schieber - Google Patents
SchieberInfo
- Publication number
- DE3438807A1 DE3438807A1 DE19843438807 DE3438807A DE3438807A1 DE 3438807 A1 DE3438807 A1 DE 3438807A1 DE 19843438807 DE19843438807 DE 19843438807 DE 3438807 A DE3438807 A DE 3438807A DE 3438807 A1 DE3438807 A1 DE 3438807A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- surface wave
- guide element
- generating
- elastic
- elastic surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0607—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being retained in a gap, e.g. squeeze film bearings
- F16C32/0611—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being retained in a gap, e.g. squeeze film bearings by means of vibrations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/04—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S84/00—Music
- Y10S84/24—Piezoelectrical transducers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Schieber, der zur Lagerung eines beweglichen Teils gebraucht wird, insbesondere
auf einen Schieber, bei dem eine Oberfläche mit elastischer Wellenstruktur benutzt wird.
Damit ein Schieber seine Aufgabe erfüllen kann, ist es erforderlich, daß nur eine geringe Reibung auftritt. In
dieser Hinsicht können die herkömmlichen Schieber in folgende Bauarten klassifiziert werden, wobei die Art und
Weise der Lagerung des beweglichen Teils auf einem Führungselement berücksichtigt wird:
(A) Die Kontaktbauart, bei der Gleitlager oder Wälzlager beispielsweise Kugellager, angewendet werden;
(B) Die kontaktlose Bauart, bei der Druckluft benutzt wird; und
(C) die kontaktlose Bauart, bei der magnetische Abstoßungsoder Anziehungskräfte benutzt werden.
/2.S
-5- DE 4346
Die Schieber der Bauart (A) werden in verschiedene Anwendungsbereichen
benutzt, da sie Vorteile wie niedrige Kosten, Kompaktheit, geringes Gewicht und einen niedrigen Lärmpegel
aufweisen. Andererseits weisen sie Nachteile auf, wie die Notwendigkeit der Schmierung, des staubabweisenden Aufbaus,
was zu einer aufwendigen Instandhaltung führt.
Außerdem muß zum Zwecke der Fixierung des beweglichen Teils IQ in einer definierten Stellung der Schieber der Bauart (A)
einer Servobetätigung zur Fixierung unterzogen werden, oder er muß bestimmte Haltemechanismen aufweisen.
Andererseits haben die Schieber der Bauarten (B) und (C) je wegen ihrer berührungslosen Wirkungsweise eine weit bessere
Haltbarkeit und Wartbarke it. Außerdem kann die Fixierung des beweglichen Teils in einer definierten Stellung dadurch
erreicht werden, daß einfach die Erzeugung von Druckluft oder die Erzeugung eines magnetischen Felds beendet wird,
denn beim NichtVorhandensein von Druckluft oder eines magnetischen Felds kommt das bewegliche Teil mit dem Führungselement
in Berührung und wird durch dessen Reibkraft in einer definierten Stellung gehalten. Der Schieber der Bauart
(B) erfordert jedoch eine Vorrichtung zur Druckluftversorgung und hat dadurch Nachteile wie beispielsweise Unhandlichkeit
und hohen elektrischen Energieverbrauch. Weiterhin weist der Schieber der Bauart (B) den Nachteil eines
komplizierten Aufbaus auf, da Pumpen und Ventile zur Steuerung
des Druckluftdrucks vorgesehen sein müssen.
Auch der Schieber der Bauart (C) erfordert eine Zusatzvorrichtung,
und zwar zur Erzeugung des magnetischen Felds; daher leidet er unter Unhandlichkeit und hohem elektrischen
Energieverbrauch. Weiterhin weist er den Nachteil auf, daß
o_ sich das magnetische Feld auch auf andere Vorrichtung auswirkt.
Die Anwendung eines Permanentmagneten anstelle eines
-6- DE 4346
Elektromagneten kann das Problem hinsichtlich des Energieverbrauchs
lösen; es entsteht jedoch das neue Problem, daß dieser nämlich nicht in der Lage ist, auf einen Lastwechsel
zu reagieren.
Die herkömmlichen Schieber der Bauarten (A), (B) und (C) haben jeweils Vorteile und Nachteile; sie sind jedoch nicht
in der Lage, dem gegenwärtigen Trend zu höherer Präzision jQ und kompakterer Bauweise genügend zu entsprechen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen kompakten Schieber mit einfachem Aufbau und niedrigem elektrischen
Energieverbrauch zu schaffen, der dennoch in der ,c Lage ist, Reibungs- und Haltekräfte zu steuern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Schieber
gelöst, der ein Führungselement aus einem elastischen Stoff aufweist, sowie ein bewegliches Element, das mit dem Fühon
rungselement zumindest auf einer Seite des Führungselements
in Berührung steht und längs dieses Führungselements beweglich ist, und einer Vorrichtung zur Erzeugung einer konstanten
elastischen Oberflächenwellenstruktur auf einer Fläche des Führungselements, und zwar auf der, die mit dem bewegte
liehen Element in Berührung steht. Wegen des oben beschriebenen Aufbaus wird das bewegliche Element des erfindungsgemäßen
Schiebers auf den Gipfeln der elastischen Oberflächenwellenstruktur gelagert^ wodurch der Schieber in der
Lage ist, die Reibung zwischen dem beweglichen Element und
dem Führungselement geeignet zu steuern und schnell auf 30
einen Lastwechsel zu reagieren. Außerdem kann der erfindungsgemäße
Schieber kompakt gebaut werden und eine einfache Instandhaltung gewährleisten, da er einen extrem einfachen
Aufbau aufweist.
-7- DE 4346
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die Zeichnung. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Teilansicht, aus der das Prinzip des erfindungsgemäßen Schiebers ersichtlich ist;
Fig. 2 eine perspektivische Teilansicht eines ersten Aus-,Q
führungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Schiebers;
Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der Vorrichtung zur Erzeugung des elastischen
Oberflächenwellenstruktur;
Fig. 4 eine schematische Darstellung eines anderen Ausführungsbeispiels
der Vorrichtung zur Erzeugung der Oberflächenwellenstruktur;
Fig. 5 eine perspektivische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels
des erfindungsgemäßen Schiebers; und
Fig. 6 eine perspektivische Darstellung eines dritten Aus-
nt- führungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Schiebers.
2b
In Fig. 1 ist das Funktionsprinzip des erfindungsgemäßen
Schiebers erklärt. Auf der Oberfläche des elastischen Elements 1 ist eine elastische Ultraschall-Oberflächenwelle
30
einer Wellenlänge Lambda ausgebildet. Darauf sitzt ein bewegliches
Element 2, wobei eine Fläche (bei der Darstellung die untere Fläche) in Berührung mit der die elastische
Welle tragenden Fläche des elastischen Elements 1 ist; das
bewegliche Element ist nur in Richtung der x-Achse ver-35
schiebbar.
-8- DE 4346
Wenn die elastische Oberflächenwelle des elastischen Elements
1 den Zustand einer konstanten Welle erreicht, wird das bewegliche Element 2 nur von den Maxima der elastischen
5 Oberflächenwelle in Linienberührung gelagert. Entsprechend
kann das bewegliche Element 2 in Richtung der x-Achse durch eine kleine äußere Schiebekraft versetzt werden.
Einem Lastwechsel beim beweglichen Element 2 kann durch jQ Steuerung der Reibung zwischen dem elastischen Element 1
und dem beweglichen Element 2 begegnet werden, und zwar durch einen Wechsel der Frequenz der elastischen Oberflä«
chenwelle, d.h. der Wellenlänge Lambda der elastischen Oberflächenwelle.
Die Anzahl η der Maxima der elastischen Welle, die das bewegliche Element 2 trägt, ist etwa gleich L/Lambda,
wobei L die Länge des beweglichen Elements 2 und Lambda die Wellenlänge der elastischen Oberflächenwelle ist; das gilt,
falls L ausreichend größer ist als Lambda. Wenn die Wellenlänge Lambda kleiner wird, erhöht sich die Anzahl η der
ΟΛ Maxima bzw. der Berührungsstellen, wodurch die Reibungskraft
erhöht wird. Andererseits, wenn die Wellenlänge Lambda grosser wird (jedoch Lambda kleiner L/2), erniedrigt sich die
Anzahl η der Maxima, wodurch die Reibungskraft verringert wird. In dieser Art und Weise erlaubt eine Änderung der
Wellenlänge Lambda der elastischen Welle eine Reaktion auf einen Lastwechsel, wodurch eine etwa konstante Reibung des
Schiebers aufrechterhalten wird.
Auch im Falle des Feststellens in einer definierten Stellung
ist eine Servowirkung nach Einstellung unnötig, denn durch Abschluß der elastischen Oberflächenwelle kommt das
elastische Element 1 anstelle der Linienberührung mit seiner gesamten Fläche mit dem beweglichen Element 2 in Berührung,
wodurch zwischen den beiden Elementen eine Haltekraft
infolge der Reibung entsteht.
35
35
-9- DE 4346
Diese Wirkung kann auch angewendet werden, wenn das bewegliche Element 2 in der Bewegung gebremst werden soll. Zusätzliche
Vorteile, beispielsweise die Unnötigkeit der Schmierung und die einfache Instandhaltung werden erzielt;
elektromagnetische Störungen infolge unerwünschter Wirkungen des magnetischen Felds, wie sie bei oben erwähnten
Schiebern der Bauart (C) auftreten, brauchen nicht beachtet zu werden.
In den folgenden Ausführungsbeispielen wird das erfindungsgemäße Prinzip erklärt.
Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Schiebers, bei dem ein elastisches Führungselement 3 mit
einem beweglichen Element 4 versehen ist, das in X-Richtung beweglich und mit zwei seiner äußeren Begrenzungsflächen
mit dem Führungselement 3 in Berührung ist. Das Führungselement 3 ist an seinen beiden Enden mit Vorrichtungen 5,
on 5' zur Erzeugung einer elastischen Welle versehen, die dazu
dienen, elastische Wellen auf den mit dem beweglichen Element 4 in Berührung stehenden Flächen zu erzeugen. Die
Erzeugungsvorrichtungen 5, 5' können herkömmliche piezoelektrische Elemente sein, die beispielsweise mit Bleiziroc
konat Titanat (PZT) oder Bariumtitanat arbeiten.
Die Erzeugungsvorrichtungen 5, 51 erzeugen elastische Wellen
auf den Oberflächen des Führungselements 3, wodurch das bewegliche Element 4 in X-Richtung durch eine kleine
ΟΛ Kraft bewegt werden kann, die durch eine nicht dargestell-30
te Vorrichtung bewirkt wird. Das Führungselement 3 kann beispielsweise aus Messing, Aluminium, Dural, Chrommolybdenstahl
etc. bestehen. Die Flächen des beweglichen Elements 4, die mit dem Führungselement 3 in Berührung stehen, kön-
o_ nen mit einer Plastikschicht über einem Metall, beispiels-35
weise Aluminium, versehen sein.
-10- DE 4346
Im folgenden wird anhand der Fig. 3 und 4 der Aufbau der Erzeugungsvorrichtungen 5, 5' erklärt.
In Fig. 3 ist an einem Ende des elastischen Führungselements 3 ein Keil 6 befestigt; auf einer Begrenzungsfläche
des Keils 6 sitzt ein piezoelektrisches Element 7, das in der Lage ist, wirksam eine Schwingung auf das Führungselement
3 zu übertragen. Das piezoelektrische Element 7 wird
2Q aus einer Wechselstromquelle 8 mit einer Wechselspannung
versorgt, und als Reaktion darauf erzeugt das piezoelektrische Element 7 eine Schwingung in Richtung seiner Dicke;
diese Schwingung wird durch den Keil 6 auf das elastische Element 3 übertragen, wodurch auf dessen Flächen eine elastische
Oberflächenwelle erzeugt wird. Die Wellenlänge Lambda dieser elastischen Oberflächenwelle ist etwa durch
die spezielle Frequenz des piezoelektrischen Elements 7 bestimmt. Zur wirksamen Erzeugung der elastischen Oberflächenwelle
muß entsprechend die Frequenz der Wechselstromquelle 8 etwa gleich der spezifischen Frequenz des Elements
7 sein.
Fig. 4 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel der Erzeugungsvorrichtungen 5, 5'. An einem Ende des Führungselements 3
oc ist ein darauf befestigtes piezoelektrisches Element 7' angeordnet,
dessen kammartige Elektroden 9 von der Wechselstromquelle 8 mit einer Wechselspannung beaufschlagt werden.
Als Reaktion auf die mit der Wechselspannung beaufschlagten kammartigen Elektroden 9 erzeugt das piezoelektrische EIe-Λ
ment 7' eine Schwingung in Richtung seiner Dicke, wodurch auf der Oberfläche des elastischen Elements 3 eine elastische
Welle erzeugt wird. In diesem Fall ist die Wellenlänge Lambda der elastischen Welle etwa durch den Abstand der
kammartigen Elektroden 9 bestimmt. Um die elastische Oberflächenwelle wirksam zu erzeugen, muß entsprechend die Fre-
quenz der Wechselstromquelle 8 etwa gleich der Wellenaus-
-11- DE 4346
breitungsgeschwindigkeit auf dem Führungselement 3 geteilt
durch den Abstand der kammartigen Elektroden 9 sein.
Die in Fig. 3 oder 4 dargestellten Erzeugungsvorrichtungen 5, 5' sind an beiden Enden des Führungselements 3, das in
Fig. 2 dargestellt ist, befestigt. Das Vorhandensein der zwei identischen Erzeugungsvorrichtungen für die elastische
Welle an beiden Enden des Führungselements 3 dienen dazu,
^q zwei sich ausbreitende Wellen der selben Wellenlänge zu erzeugen,
wodurch eine konstante Welle auf den Flächen des Führungselements 3 ausgebildet wird. Um eine solche konstante
Welle auszubilden, muß die Länge des Führungselements 3 zwischen den Erzeugungsvorrichtungen 5, 5' gleich einem
Vielfachen der halben Wellenlänge der elastischen Welle sein. Die konstante Welle kann auch dadurch ausgebildet werden,
wenn an einem Ende des Führungselements eine Erzeugungsvorrichtung vorgesehen ist, und die davon ausgehende Welle
durch eine vom anderen Ende des Führungselements 3 reflektierte Welle überlagert wird. Dann kann das andere Ende des
Führungselements entweder als offenes Ende oder als festes Ende ausgebildet sein, jedoch muß die Länge des Führungselements von der Erzeugungsvorrichtung zum anderen Ende
wiederum gleich einem Vielfachen der halben Wellenlänge der
nt- elastischen Welle sein. Außerdem kann das andere Ende des
Führungselements zur Reflexion der elastischen Welle mit einem Reflektor versehen sein, der aus einem Reflexionsgitter mit Frequenzeinstellmöglichkeit besteht. Um eine
starke Reflexion zu erzielen, sollte in einem solchen Fall die Frequenz des Reflexionsgitters gleich einem Vielfachen
der halben Wellenlänge der elastischen Welle sein.
Die Wellenlänge Lambda der elastischen Oberflächenwelle,
die durch das oben erwähnte piezoelektrische Element erzeugt wird, ist etwa durch die spezifische Frequenz des
piezoelektrischen Elements bestimmt, wie schon oben erklärt,
-12- DE 4346
jedoch ist eine Änderung der Frequenz bis zu 101 möglich,
wenn sich die Frequenz der Wechselspannung, mit der das piezoelektrische Element 7 oder 7' beaufschlagt wird, durch
Anwendung einer Wechselstromspannungsquelle 8 variabler Frequenz geändert wird. Zum Zwecke einer größeren Änderung
der Wellenlänge können mehrere Erzeugungsvorrichtungen für eine elastische Welle verschiedener spezifischer Frequenzen
zueinander parallel auf den Führungselementen 3 angeordnet jQ sein, und zwar in der Weise, wie sie in Fig. 3 oder 4 dargestellt
ist. Wie bereits erklärt, kann die Reibung des Schiebers durch eine Änderung der Wellenlänge der konstanten
Welle gesteuert werden.
jg Fig. 5 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Schiebers, bei dem die der Darstellung in Fig. 2 entsprechenden Elemente durch die selben Referenzzeichen
bezeichnet sind. Wie in Fig. 5 dargestellt, kann eine Beweglichkeit in X-Y-Richtung erzielt werden, indem mehrere
„~ in Fig. 2 dargestellte Schieber miteinander kombiniert
werden.
Obwohl die vorstehende Beschreibung auf Schieber mit linearen Bewegungsmöglichkeiten begrenzt war, ist die vorliegende
„_ Erfindung genauso auf Schieber anwendbar, die in Rotationsrichtung beweglich sind, wobei die gleichen Vorteile auftreten.
Fig. 6 stellt ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar, bei dem eine elastische Oberflächenwelle
auf der Oberfläche eines ringförmigen elastischen Führungselements 10 in Form einer konstanten Welle
ausgebildet ist, wobei das Führungselement 10 in Berührung mit einem Rotationselement 11 steht; durch eine solche Ausbildung
kann das Rotationselement 11 in einer Richtung θ durch eine kleine äußere Kraft gedreht werden. In einem
solchen Fall muß die Erzeugungsvorrichtung 12, falls sie 35
aus einem piezoelektrischen Element 7', wie in Fig. 4 dar-
-13- DE 4346
gestellt, besteht, nicht den gesamten Umfang des Führungselements 10 überdecken, sondern sie kann an mehreren Stellen
des Führungselements angeordnet sein. Entsprechend kann die Reibung geeignet gesteuert werden, wenn mehrere Erzeugungsvorrichtungen
12 (piezoelektrische Elemente 71) unter schädlicher spezifischer Frequenzen vorgesehen sind. Zur
Erzeugung einer konstanten elastischen Welle muß jedoch die mittlere Umfangsausdehnung des elastischen Führungselements
jQ 10 etwa gleich einem Vielfachen des Abstands der kammartigen
Elektroden 9 auf dem piezoelektrischen Element 7' sein, wobei dieser Abstand etwa der halben Wellenlänge der zu
erzeugenden elastischen Welle entspricht.
Bei dem erfindungsgemäßen Schieber ist die Amplitude der
elastischen Oberflächenwelle im allgemeinen kleiner als
ein Mikrometer, obwohl sie auch davon abhängt, aus welchem Material das elastische Element hergestellt ist. Der erfindungsgemäße
Schieber kann daher eine weit höhere Präzision verglichen mit herkömmlichen Schiebern erreichen; daher
ist er auch bei Hochpräzisionsinstrumenten anwendbar, die bei Herstellung oder Überwachung integrierter Schaltkreise
benötigt werden.
Außerdem kann der erfindungsgemäße Schieber im Vakuum oder
bei Schwerelosigkeit angewendet werden, da er weder Schmierung noch hydraulischen oder pneumatischen Druck benötigt,
das führt dazu, daß er in verschiedenen Vorrichtungen angewendet werden kann, die im Vakuum oder im Weltraum benutzt
werden.
Ein Schieber zur Führung eines beweglichen Teils längs einer Führung hat ein elastisches Führungselement und ein
bewegliches Element, das längs der Führung beweglich ist und mit zumindest einer Fläche in Berührung mit der Führung
steht; eine konstante elastische Oberflächenwelle
-14- DE 4346
wird auf der Fläche der Führung erzeugt, die mit dem beweglichen
Element in Berührung steht; dadurch wird das bewegliche Element auf dem Maxima der konstanten elastischen
5 Welle gelagert.
Claims (12)
1. Schieber, gekennzeichnet durch ein Führungselement
(3) aus elastischem Material, ein bewegliches Element (4), das zumindest mit einer seiner Flächen mit dem Führungselement
(3) in Berührung ist und längs dem Führungselement (3) beweglich ist, und eine Vorrichtung (5) zur Erzeugung
einer konstanten elastischen Oberflächenwelle auf der Fläche des Führungselements (3) die mit dem beweglichen Element
(4) in Berührung steht.
2. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (5) zur Erzeugung einer elastischen
Oberflächenwelle eine erste Vorrichtung zur Erzeugung einer sich ausbreitenden elastischen Oberflächenwelle auf
dem Führungselement (3) umfaßt, sowie eine zweite Vorrichtung, die von der ersten Vorrichtung durch einen Abstand
getrennt ist, der.einem Vielfachen der halben Wellenlänge der elastischen Oberflächenwelle entspricht, und die derart
ausgebildet ist, daß sie eine sich ausbreitende elastische Oberflächenwelle erzeugt, die eine Wellenlänge hat,
die der Wellenlänge der sich ausbreitenden, durch die erste Vorrichtung erzeugten Welle entspricht, wobei sich diese
Welle jedoch in einer anderen Richtung ausbreitet.
/25
Dresdner Bank (München) KIo 3939 844 Beyer Vereinsbank (München) KIo 508 941 Postscheck (München) Kto. 670-43-804
-2- DE 4346
3. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorrichtung (5) zur Erzeugung einer elastischen Oberflächenwelle eine Vorrichtung zur Erzeugung einer sich
ausbreitenden elastischen Oberflächenwelle auf dem Führungselement (3) aufweist, sowie eine Vorrichtung zur Reflexion
der sich ausbreitenden elastischen Welle, wobei diese Vorrichtung von der Erzeugungsvorrichtung durch einen
Abstand getrennt ist, der einem Vielfachen der halben WeI-lenlänge
der elastischen Oberflächenwelle entspricht.
4. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungselement (10) ringförmig ist und das bewegliche
Element (11) derart ausgebildet ist, daß es eine Ro-
.g tationsbewegung längs des Führungselements (10) ausführen
kann.
5. Schieber nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (12) zur Erzeugung der elastischen
nr. Oberflächenwelle eine Vorrichtung zur Erzeugung einer sich
ausbreitenden elastischen Oberflächenwelle aufweist, die auf einem Abschnitt des Führungselements (10) angeordnet
ist, und daß die mittlere Umfangslänge des Führungselements (10) gleich einem Vielfachen der halben Wellenlänge der
„_ elastischen Oberflächenwelle entspricht.
6. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (5)zur Erzeugung einer elastischen Oberflächenwelle
ein piezoelektrisches Element (7) umfaßt, das
auf dem Führungselement (3) sitzt, kammartige Elektroden 30
(9), die auf dem piezoelektrischen Element (7) angeordnet sind, und eine Vorrichtung (8) zur Beaufschlagung der kammartigen
Elektroden (9) mit einer Wechselspannung.
7. Schieber nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, 35
daß die Frequenz der Wechselspannung etwa gleich der Aus-
-3- DE 4346
breitungsgeschwindigkeit der elastischen Oberflächenwelle
im Führungselement (3) geteilt durch den Abstand der kammartigen Elektroden (9) ist.
8. Schieber nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Wechselspannungsquelle (8) eine Vorrichtung zur Änderung der Frequenz der Wechselspannung aufweist.
jQ
9. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorrichtung (5) zur Erzeugung der elastischen Oberflächenwelle ein piezoelektrisches Element (7) aufweist,
eine Vorrichtung zur Beaufschlagung des piezoelektrischen Elements (7) mit einer Wechselspannung und ein keilförmiges
Element (6) zur Übertragung der Schwingung des piezoelektrischen Elements (7) auf das Führungselement (3).
10. Schieber nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der Wechselspannung etwa gleich der spezifischen
Frequenz des piezoelektrischen Elements (7) ist.
11. Schieber nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechselspannungsquelle (8) eine Vorrichtung zur
Änderung der Frequenz der Wechselspannung aufweist.
12. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorrichtung (5) zur Erzeugung der elastischen Oberflächenwelle
mehrere piezoelektrische Elemente (7) unterschiedlicher spezifischer Frequenzen aufweist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58197666A JPH0637892B2 (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | スライダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3438807A1 true DE3438807A1 (de) | 1985-05-02 |
DE3438807C2 DE3438807C2 (de) | 1989-12-07 |
Family
ID=16378306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19843438807 Granted DE3438807A1 (de) | 1983-10-24 | 1984-10-23 | Schieber |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4971455A (de) |
JP (1) | JPH0637892B2 (de) |
DE (1) | DE3438807A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3505048A1 (de) * | 1985-02-14 | 1986-08-14 | MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München | Hydro- oder gasdynamisches gleitlager fuer hohe drehzahlen |
NL2002159C (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-04 | Vision Dynamics Holding B V | Apparatus and method for accurate positioning. |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2669646B2 (ja) * | 1988-05-31 | 1997-10-29 | 株式会社ミツトヨ | 振動式案内機構 |
US5197806A (en) * | 1989-09-25 | 1993-03-30 | Sony Corporation | Bearing system |
JP2737303B2 (ja) * | 1989-09-25 | 1998-04-08 | ソニー株式会社 | 軸受装置 |
US5466979A (en) * | 1993-03-03 | 1995-11-14 | Board Of Regents, The University Of | Methods and apparatus to reduce wear on sliding surfaces |
US6588932B2 (en) * | 2000-10-20 | 2003-07-08 | International Business Machines Corporation | Air bearing between a first and second object |
DE10061640A1 (de) * | 2000-12-11 | 2003-07-24 | Volkswagen Ag | Verfahren zur Verhinderung des sporadischen Haftens zwischen zwei oder mehreren unter Überwindung von Reibkräften sich relativ zueinander bewegenden Bauteilen einer technischen Einrichtung |
US20040126045A1 (en) * | 2002-12-26 | 2004-07-01 | American Ball Bearing | Textured rolling element bearing |
US20160282115A1 (en) * | 2014-10-29 | 2016-09-29 | Floyd L Wilson | Ultrasonic low friction compass |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3351393A (en) * | 1963-07-10 | 1967-11-07 | United Aircraft Corp | Piezoelectric oscillating bearing |
JPS5850315A (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-24 | Mitsubishi Electric Corp | 高速高精度浮動装置 |
JPS59501990A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-11-29 | インタ−ナシヨナル・ビジネス・マシ−ンズ・コ−ポレ−シヨン | 気体軸受 |
US4545625A (en) * | 1983-02-28 | 1985-10-08 | International Business Machines Corporation | Prestressed cylindrical squeeze bearing member |
US4533186A (en) * | 1983-02-28 | 1985-08-06 | International Business Machines Corporation | Cylindrical type squeeze bearing systems with bearing and driving elements attached in areas of maximum deflection |
-
1983
- 1983-10-24 JP JP58197666A patent/JPH0637892B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-10-23 DE DE19843438807 patent/DE3438807A1/de active Granted
-
1990
- 1990-02-27 US US07/485,823 patent/US4971455A/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DE-Z.: Technisches Messen atm 1976, H.11 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3505048A1 (de) * | 1985-02-14 | 1986-08-14 | MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München | Hydro- oder gasdynamisches gleitlager fuer hohe drehzahlen |
NL2002159C (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-04 | Vision Dynamics Holding B V | Apparatus and method for accurate positioning. |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4971455A (en) | 1990-11-20 |
JPS6091019A (ja) | 1985-05-22 |
DE3438807C2 (de) | 1989-12-07 |
JPH0637892B2 (ja) | 1994-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69318662T2 (de) | Elektromechanische Verschiebevorrichtung und geeigneter Aktuator zur Verwendung in einer derartigen Verschiebevorrichtung | |
DE3626389A1 (de) | Wanderwellenmotor | |
EP0134749B1 (de) | Flexible gedämpfte Wellenlageranordnung, insbesondere für elektrische Maschinen | |
DE3122053A1 (de) | Gedaempfte lagervorrichtung | |
DE3636550A1 (de) | Anordnung eines beweglichen tisches | |
DE19910872A1 (de) | Lageranordnung für Drehvorrichtung | |
DE102016104803A1 (de) | Piezoelektrischer Schreitantrieb | |
DE2208034A1 (de) | Selbsteinmittende Lagerung unter Verwendung von Permanentmagneten | |
DE3438807A1 (de) | Schieber | |
DE112009005199T5 (de) | Geführter elektromechanischer Motor | |
DE102017124187A1 (de) | Verfahren zum Herstellen von einer oder mehreren konkaven Ausnehmungen auf einem insbesondere im Wesentlichen zylindrischen Grundkörper insbesondere auf einem Magnetanker, Stößel oder einer Rückschlussplatte, Magnetanker, Stößel oder Rückschlussplatten, welcher eine oder mehrere nach diesem Verfahren hergestellte Ausnehmungen aufweist, sowie elektro-magnetischer Aktuator mit einem derartigen Magnetanker und/ oder einer derartigen Rückschlussplatte | |
DE69505746T2 (de) | Magnetlager | |
EP3397423B1 (de) | Dämpfung von schwingungen einer maschine | |
DE69401742T2 (de) | Epizykloidische Schwingungsvorrichtung | |
DE3343340C1 (de) | Linearverstellvorrichtung | |
DE102016116776A1 (de) | Elektromagnetische Stellvorrichtung insbesondere zum Verstellen von Nockenwellen eines Verbrennungsmotors | |
DE112004002084T5 (de) | Peristaltischer elektromechanischer Aktuator | |
DE10164291A1 (de) | Einstückig abgeschrägter Dauermagnet zur Verwendung in einer elektrischen Maschine | |
DE69617234T2 (de) | Stellantrieb für lineare bewegung | |
DE69328233T2 (de) | Durch Vibrationen angetreibener Motor oder Antrieb | |
DE102006052453B3 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung einer definierten Kraft | |
EP1909375A2 (de) | Linearantriebsvorrichtung | |
DE102020103476B4 (de) | Ventilantrieb und Ventil | |
DE4440679A1 (de) | Ultraschallmotor | |
DE2249648A1 (de) | Schrittmotor mit schwingungsdaempfung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |