DE3428593C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein optisches Oberflächenmeßge
rät (Profilometer) der im Gattungsbegriff des Patentan
spruch 1 beschriebenen Art.
Mechanische Oberflächen sind außer durch ihre makrosko
pische Gestalt durch den Endbearbeitungszustand charak
terisiert, der durch Rauheitswerte (Feinbearbeitung)
angegeben wird. Viele der funktionellen Eigenschaften
des Fertigteils hängen mit dieser Feinbearbeitung zu
sammen. Sie wird durch eine Reihe von Parametern ausge
drückt, beispielsweise durch R a , rms, die Autokorrela
tionsfunktion, das Fourierspektrum und andere. Diese
Werte lassen sich durch integrierte Messungen auf Ober
flächenbereichen ermitteln oder aus der Kenntnis der
dreidimensionalen Topographie der Oberfläche herleiten.
Die zur Rekonstruktion der dreidimensionalen Topogra
phie verwendeten Geräte erfassen die Oberfläche in
Wirklichkeit längs linearer Abschnitte und liefern so
ein Höhenprofil, aus welchem die gewünschten Parameter
auf derBasis statistischer Kriterien extrapoliert wer
den können. Das wahre dreidimensionale Profil erhält
man durch Abtastungen längs paralleler Abschnitte. Die
zu diesem Zweck verwendeten verschiedenen Geräte sind
prinzipiell durch die Empfindlichkeit, die laterale
Auflösung und das Meßintervall gekennzeichnet.
Das bei mechanischen Anwendungen interessierende Meßin
strument reicht üblicherweise von Bruchteilen eines Mi
kron bis zu einigen Dutzend Mikron.
Neben Geräten, die von der Moir´-Technik oder der Pro
jektion von Fransen oder Linien Gebrauch machen und die
Oberflächenmessungen bis zu einer Grenze ausführen, die
unter einigen Mikron liegt, existieren für den Bereich,
der mechanisch von Interesse ist, zwei Gerätefamilien,
nämlich die mit Abtastnadeln arbeitenden Geräte und die
optischen Profilometer.
Die mit Abtastnadeln arbeitenden Geräte sind sehr ver
breitet. Ihre vertikale Auflösung liegt in der Größen
ordnung von etwa 10 Å, während die laterale Auflösung
bei einigen Mikron liegt.
Optische Oberflächenmeßgeräte (Profilometer) sind Vor
richtungen zur berührungslosen Messung. Die erzielbare
Auflösung beträgt vertikal Bruchteile eines Mikron und
in lateraler Richtung etwa ein Mikron. Es sind auch
hochgezüchtete optische (Überlagerungs- und interfero
metrische) Profilometer mit höherer Auflösung be
kannt, vgl. hierzu:
G.E. Sommargren, Applied Optics, Vol. 20, No. 4 (1981), pp, 610-618;
J.E. Wyant, Laser Focus, May 1982, pp. 65-71;
J.M. Bennet, Applied Optics, Vol. 15, No. 11 (1976), pp. 2705-2721.
G.E. Sommargren, Applied Optics, Vol. 20, No. 4 (1981), pp, 610-618;
J.E. Wyant, Laser Focus, May 1982, pp. 65-71;
J.M. Bennet, Applied Optics, Vol. 15, No. 11 (1976), pp. 2705-2721.
Ein optisches Oberflächenmeßgerät der gattungsgemäßen Art
ist aus FR-PS 15 34 762 bekannt. Bei diesem Gerät ist es
jedoch erforderlich, während der Messung die Objektivoptik
derart zu verschieben, daß der Brennpunkt den Höhenunter
schieden der Meßoberfläche nachgeführt wird. Es ergibt sich
dadurch ein zeitraubender und auch fehleranfälliger Meß
vorgang.
Aus der DE-OS 14 73 780 ist ein optisches Oberflächenmeß
gerät bekannt, bei dem ein auf die Meßoberfläche fo
kussiertes Strahlenbündel nur aus zwei mittels Filtern
ausgefilterten Farbanteilen, z. B. rot und grün besteht,
die zwei in Strahlrichtung hintereinanderliegende dis
krete Brennpunkte bilden. Das reflektierte Licht wird
zwei für die Farbanteile selektiv empfindlichen Empfän
gern zugeführt, und aus dem Intensitätsverhältnis der
beiden Empfängersignale wird die Lage der Meßoberfläche
relativ zu den Brennpunkten ermittelt. Hierbei ist zwar
keine Bewegung des Meßgerätes oder der Meßoberfläche
während der Messung erforderlich, jedoch ist das Gerät
wegen der Verwendung von Farbfiltern relativ lichtschwach,
und da die Meßoberfläche normalerweise zwischen den bei
den Brennpunkten liegt, ist insbesondere die seitliche
Auflösung sehr begrenzt.
Aus IBM Technical Disclosure Bulletin Vol. 16, No. 2,
Juli 1973, S. 433-434 ist ein optisches Oberflächenmeß
gerät bekannt, bei dem zwei koaxiale Meßstrahlen, die mit
unterschiedlicher Pulskennung geprüft sind, in zwei in
Strahlrichtung hintereinanderliegenden Brennpunkten fo
kussiert werden. Aus dem von der Meßoberfläche reflektier
ten Licht werden mittels einer an den Empfänger ange
schlossenen Logikschaltung die Intensitäten der durch
unterschiedliche Impulskennung gekennzeichneten Anteile
ermittelt und dadurch die Lage der Meßoberfläche relativ
zu den Brennpunkten bestimmt. Auch hier ist die laterale
Auflösung nicht optimal, und es wird ein bewegliches Teil,
nämlich die Zerhackerscheibe, benötigt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein ohne beweg
liche Teile arbeitendes optisches Oberflächenmeßgerät der
angegebenen Art zu schaffen, welches bei einfachem Aufbau,
hoher Lichtstärke und guter lateraler Auflösung die kon
tinuierliche und quantitative Erfassung von Höhenunter
schieden der Meßoberfläche ermöglicht.
Die erfindungsgemäße Lösung der Aufgabe ist im An
spruch 1 angegeben. Die Unteransprüche beziehen sich
auf weitere vorteilhafte Ausgestaltungen.
Durch den erfindungsgemäßen Gedanken, mittels Längsdis
persion des Meßstrahls eine kontinuierliche Folge von
Brennpunkten längs der Strahlachse zu erzeugen, und
durch Querdispersion des reflektierten Lichtbündels
jedem dieser Brennpunkte einen Brennpunktort am Empfänger
eindeutig zuzuordnen, wird der Vorteil erzielt, daß durch
einfaches Abfragen des das Reflexionsmaximum erhalten
den Empfängerortes die Lage der Meßoberfläche relativ
zu den Brennpunktorten des Meßstrahls quantitativ be
stimmt werden kann. Das Gerät benötigt keine beweglichen
Teile, außer eventuell Mittel zum Weiterbewegen der Meß
oberfläche, wenn mehrere Bereiche gemessen werden sollen.
Da zur Messung immer hauptsächlich derjenige Spektral
anteil des Meßstrahls beiträgt, in dessen Brennpunkt
die Meßoberfläche liegt, wird auch eine sehr gute la
terale Auflösung erhalten.
Eine Ausführungsform der Erfindung wird anhand der
Zeichnung näher erläutert.
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung eines
Profilometers nach dem Stand der Technik.
Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung eines Profi
lometers gemäß der Erfindung.
Das Funktionsprinzip eines herkömmlichen Profilometers
ist in Fig. 1 veranschaulicht: Mit 1 ist eine monochro
matische Lichtquelle bezeichnet, deren Strahlen gebün
delt sich und somit parallel verlaufen. Die Strahlen
treffen auf einen Strahlteiler 3 und gelangen durch diesen
zu einem ersten Objektiv 5. Dieses konzentriert das
Licht auf die Oberfläche des Prüfmusters 7. Das Objek
tiv 5 ist in Richtung des Pfeiles verschiebbar. Das re
flektierte Licht dringt wieder durch das Objektiv 5,
wird von dem Strahlteiler 3 zu einem zweiten Objektiv 9
umgelenkt und durch dieses auf eine vor einem Empfänger
13 angeordnete Blende 11 konzentriert.
Das Signal des Empfängers 13 besitzt ein Maximum, wenn
die Oberfläche des Musters sich in der Fokussierungs
ebene des Objektivs 5 befindet. Das dargestellte Kon
zeit basiert - wie erwähnt - auf einer herkömmlichen Lö
sung, bei der das Objektiv 5 in axialer Richtung hin- und herbewegt
und das Signal phasenrichtig aufgenommen wird.
Bei dem Gerät gemäß der Erfindung findet ein ähnliches
Schema Anwendung, wobei jedoch eine Folge von durch die
Wellenlänge unterschiedenen Fokussierungspunkten in Achsen
richtung verwendet wird. Dies ist in Fig. 2 schematisch
dargestellt. Die Folge verschiedener Fokussierungspunk
te in longitudinaler Richtung ergibt sich durch die
Verwendung von polychromatischem statt monochromati
schem Licht. Alle Komponenten mit Ausnahme des zu prü
fenden Musters sind stationär. In axialer Richtung bil
den sich mehrere Fokussierungspunkte, die in umkehrbar
eindeutiger Relation zu einer Wellenlänge stehen. Die
entsprechenden Signale werden sodann unter Ausnutzung
der Eigenschaften der verschiedenen Wellenlängen in la
teraler Zerlegung auf einen von einer Fotodiodenreihe
gebildeten Empfänger gegeben. Die sequentielle Abta
stung der Fotodioden liefert ein Maximum, das der Posi
tion der Oberfläche des Prüfmusters relativ zu dem Ob
jektiv entspricht.
In Fig. 2 ist ein Funktionsschema des Geräts gemäß der
Erfindung dargestellt. Mit 21 ist eine polychromatische
Lichtquelle bezeichnet, die mittels eines achromati
schen Kollimators 23 in ein Bündel paralleler Strahlen
verwandelt wird. Das kollimierte polychromatische
Strahlenbündel läuft durch den Strahlteiler 25 und eine
Longitudinal-Dispersions- und Fokussierungseinrichtung
27. Infolgedessen bildet sich im Bereich des zu analy
sierenden Musters 29 eine Reihe von Fokussierungs
punkten F 1 bis FN aus, die jeweils zu einer bestimmten
Wellenlänge, d. h. zu einem jeweils anderen monochroma
tischen Licht gehören. Das reflektierte Licht durchdringt von neuem
die Dispersions- und Fokussierungseinrichtung 27 und
wird von dem Strahlteiler 25 zu einer Winkel-Dispersions-
und Fokussierungseinrichtung 31 umgelenkt. Die nach
Winkeln zerlegten Strahlanteile werden längs der Fotodioden
reihe 33 fokussiert, die mit einer elektronischen Aus
werteeinrichtung 35 verbunden ist. Die Lichtquelle 21
wird vorteilhafterweise durch eine Blende 37 begrenzt,
die von einem Schlitz gebildet ist, der rechtwinklig zu
der Richtung angeordnet ist, in der die Dispersion
stattfindet, und damit rechtwinklig zur Fotodiodenreihe
33.
Der Meßbereich wird durch die longitudinale Dispersion
und durch die Fokussierungseigenschaften bestimmt. Die
Winkel-Dispersion und die Eigenschaften der zweiten Fo
kussierungseinrichtung sind mit dem verwendeten Empfän
ger in Einklang zu bringen. Die Empfindlichkeit und die
laterale Auflösung hängen von denselben Parametern ab.
Die Longitudinal-Dispersions- und Fokussierungseinrich
tung 27 kann zwei separate Komponenten zur Erzielung
der longitudinalen Dispersionswirkung und der Fokussie
rung beinhalten: Eine einfache Linse 27 A, die als Dis
persionseinrichtung dient, und ein Mikroskop-Objektiv
27 B. Alternativ kann das Dispersionselement auch in dem
Kollimatorobjektiv oder in dem Fokussierungs-Objektiv in Form
einer geeigneten optischen Einheit integriert sein.
Auch die Winkel-Dispersions- und Fokussierungseinrich
tung 31 kann zwei Elemente enthalten: Das erste dieser
Elemente kann ein Prisma oder auch ein Gitter sein,
während das zweite von einem korrigierten Objektiv ge
bildet sein kann.
Die Lichtquelle 21 kann eine Weißlicht-Lampe mit Kon
densator und Schlitz sein. Der Schlitz vereinfacht die
Ausrichtung und dehnt die Anwendungsmöglichkeit der
Vorrichtung aus auf die streifenweise Abtastung (nach Art einer Tomografie) von ganzen
Abschnitten der Meßoberfläche, bei Verwendung einer Fotodiodenmatrix als Empfänger.
Bei der Anwendung des Geräts ist ein geeignetes Infor
mationsverarbeitungsprogramm einzusetzen.
Die Signale der verschiedenen Fotodioden lassen sich
für die Differentialmessung kleinster Verschiebungen um
eine vorbestimmte Position einsetzen, die einer
bestimmten Position einer eindeutigen Verteilungsfunktion
(Signalspitze, Kurvenschwerpunkt u. a.) zugeordnet sein kann.
Claims (4)
1. Optisches Oberflächenmeßgerät mit einer fokussieren
den Objektivoptik, die ein von einer Lichtquelle erzeug
tes Strahlenbündel auf die Meßoberfläche fokussiert, und
mit einem Strahlteiler, der das von der Meßoberfläche re
flektierte und von der Objektivoptik gebündelte Licht auf
eine Empfängeroptik umlenkt, die das Strahlenbündel auf
einen Empfänger fokussiert,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Strahlen bündel polychromatisch ist,
daß die Objektivoptik (27) ein in Längsrichtung farbdis pergierendes Element (27 A) enthält und eine kontinuier liche Folge von entlang der optischen Achse liegenden Brennpunkten (F 1, F N ) der einzelnen Wellenlängen erzeugt,
daß die Empfängeroptik (31) ein in Querrichtung farbdis pergierendes Element enthält und auf dem Empfänger (33) eine kontinuierliche Folge von nebeneinanderliegenden Brennpunkten der einzelnen Wellenlängen erzeugt, und
daß der Empfänger (33) eine Vielzahl nebeneinander angeordneter Photodioden und eine elektronische Auswerte einrichtung (35) zur Feststellung der die maximale Strah lungsintensität empfangenden Photodiode aufweist.
daß das Strahlen bündel polychromatisch ist,
daß die Objektivoptik (27) ein in Längsrichtung farbdis pergierendes Element (27 A) enthält und eine kontinuier liche Folge von entlang der optischen Achse liegenden Brennpunkten (F 1, F N ) der einzelnen Wellenlängen erzeugt,
daß die Empfängeroptik (31) ein in Querrichtung farbdis pergierendes Element enthält und auf dem Empfänger (33) eine kontinuierliche Folge von nebeneinanderliegenden Brennpunkten der einzelnen Wellenlängen erzeugt, und
daß der Empfänger (33) eine Vielzahl nebeneinander angeordneter Photodioden und eine elektronische Auswerte einrichtung (35) zur Feststellung der die maximale Strah lungsintensität empfangenden Photodiode aufweist.
2. Oberflächenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Lichtquelle eine senkrecht zu
der Umlenkebene des reflektierten Strahlenbündels stehen
de Schlitzblende (21) aufweist.
3. Oberflächenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die elektronische Auswerte
einrichtung (35) die Photodioden sequentiell abtastet.
4. Oberflächenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Empfänger (33) eine
zweidimensionale Photodiodenmatrix aufweist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT09491/83A IT1198660B (it) | 1983-08-02 | 1983-08-02 | Profilometro ottico multifocale per dispersione |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3428593A1 DE3428593A1 (de) | 1985-02-14 |
DE3428593C2 true DE3428593C2 (de) | 1988-11-17 |
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
DE19843428593 Granted DE3428593A1 (de) | 1983-08-02 | 1984-08-02 | Optisches oberflaechenmessgeraet |
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FR (1) | FR2550332B1 (de) |
GB (1) | GB2144537B (de) |
IT (1) | IT1198660B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006007170B4 (de) * | 2006-02-08 | 2009-06-10 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren und Anordnung zur schnellen und robusten chromatisch konfokalen 3D-Messtechnik |
DE102009001086A1 (de) | 2009-02-23 | 2010-09-02 | Sirona Dental Systems Gmbh | Handgehaltene dentale Kamera und Verfahren zur optischen 3D-Vermessung |
DE102016003334A1 (de) | 2016-03-14 | 2017-09-14 | Universität Stuttgart (Körperschaft Des Öffentlichen Rechts) | Anordnung und Verfahren zur Raman-Spektroskopie, insbesondere auch zur Tumorgewebe- und Aorta-Diagnostik |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8501100A (nl) * | 1985-04-15 | 1986-11-03 | Optische Ind De Oude Delft Nv | Werkwijze en stelsel voor het meten van het ruwheidsprofiel van een oppervlak. |
US4748335A (en) * | 1985-04-19 | 1988-05-31 | Siscan Systems, Inc. | Method and aparatus for determining surface profiles |
US4707610A (en) * | 1985-07-03 | 1987-11-17 | Siscan Systems, Inc. | Method and apparatus for measuring surface profiles |
US4740688A (en) * | 1986-03-20 | 1988-04-26 | Smiths Industries Public Limited Company | Optical transducers with wavelength coding |
JPH07107481B2 (ja) * | 1987-05-21 | 1995-11-15 | アンリツ株式会社 | 変位測定装置 |
CH671828A5 (de) * | 1987-06-26 | 1989-09-29 | Battelle Memorial Institute | |
US5206699A (en) | 1988-05-06 | 1993-04-27 | Gersan Establishment | Sensing a narrow frequency band of radiation and gemstones |
GB2219078B (en) * | 1988-05-06 | 1992-08-26 | Gersan Ets | Identifying the position of objects or zones |
AU622666B2 (en) * | 1988-05-06 | 1992-04-16 | Gersan Establishment | Identifying the position of objects or zones |
JP3323537B2 (ja) * | 1991-07-09 | 2002-09-09 | キヤノン株式会社 | 微細構造評価装置及び微細構造評価法 |
JP2511391B2 (ja) * | 1991-12-04 | 1996-06-26 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 光学式間隔センサ |
JP3206843B2 (ja) * | 1992-12-18 | 2001-09-10 | 株式会社小松製作所 | 3次元画像計測装置 |
DE19510535A1 (de) * | 1995-03-23 | 1996-09-26 | Siemens Ag | Verfahren und Einrichtung zum Erkennen eines Defekts an einem Körper |
US5785651A (en) * | 1995-06-07 | 1998-07-28 | Keravision, Inc. | Distance measuring confocal microscope |
US6175754B1 (en) | 1995-06-07 | 2001-01-16 | Keravision, Inc. | Method and apparatus for measuring corneal incisions |
FR2748322A1 (fr) * | 1996-05-02 | 1997-11-07 | Cohen Sabban Joseph | Dispositif optoelectronique de triangulation spatiochromatique |
FR2758076A1 (fr) * | 1997-01-09 | 1998-07-10 | Sabban Joseph Cohen | Procede et dispositif optoelectroniques de retrodigitalisation en odontologie |
DE19714202A1 (de) * | 1997-04-07 | 1998-10-15 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen |
IL125659A (en) | 1998-08-05 | 2002-09-12 | Cadent Ltd | Method and device for three-dimensional simulation of a structure |
FR2805342B1 (fr) * | 2000-02-21 | 2002-07-12 | Sabban Joseph Cohen | Capteur de numerisation 3d optique haute resolution a faible angle de triangulation |
WO2004034894A1 (en) * | 2002-10-16 | 2004-04-29 | Campbell Science Group, Inc. | Cornea characteristics measuring device |
FR2846094B1 (fr) * | 2002-10-17 | 2005-09-30 | Dufournier Technologies | Dispositif et procede de selection de pneumatiques en fonction du couple pneumatique/sol |
FR2848664B1 (fr) * | 2002-12-11 | 2005-03-11 | Micro Module | Detecteur de position, forme et reflectivite d'une surface |
GB2407378B (en) | 2003-10-24 | 2006-09-06 | Lein Applied Diagnostics Ltd | Ocular property measuring apparatus and method therefor |
GB2409033B (en) | 2003-12-12 | 2006-05-24 | Lein Applied Diagnostics Ltd | Extended focal region measuring apparatus and method |
DE102004022454B4 (de) * | 2004-05-06 | 2014-06-05 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messeinrichtung mit optischer Tastspitze |
JP4331097B2 (ja) * | 2004-12-10 | 2009-09-16 | 株式会社東芝 | 表面粗さの計測方法および装置およびタービンの劣化診断方法 |
US20100014099A1 (en) * | 2004-12-16 | 2010-01-21 | Werth Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring device and method for measuring with a coordinate measuring device |
US7522292B2 (en) * | 2005-03-11 | 2009-04-21 | Carl Zeiss Smt Ag | System and method for determining a shape of a surface of an object and method of manufacturing an object having a surface of a predetermined shape |
DE102006026775B4 (de) * | 2006-06-07 | 2008-04-30 | Stiftung Für Lasertechnologien In Der Medizin Und Messtechnik An Der Universität Ulm | Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung bewegter Oberflächen |
JP4888807B2 (ja) * | 2006-07-26 | 2012-02-29 | オプトウエア株式会社 | 走査型形状計測機 |
ITRM20060651A1 (it) * | 2006-12-06 | 2008-06-07 | Enea Ente Nuove Tec | Metodo e dispositivo radar ottico tridimensionale utilizzante tre fasci rgb modulati da diodi laser, in particolare per applicazioni metrologiche e delle belle arti. |
GB2451443B (en) | 2007-07-30 | 2012-12-26 | Lein Applied Diagnostics Ltd | Optical measurement apparatus and method therefor |
GB2457302B (en) | 2008-02-11 | 2013-04-10 | Lein Applied Diagnostics Ltd | Measurement apparatus and method therefor |
GB2487742B (en) | 2011-02-02 | 2013-08-21 | Rolls Royce Plc | An erosion testing assembly |
JP6570035B2 (ja) * | 2016-03-30 | 2019-09-04 | 国立大学法人東北大学 | 変位測定装置および変位測定方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1473780A1 (de) * | 1965-12-30 | 1969-03-13 | Bbc Brown Boveri & Cie | Einrichtung zur beruehrungslosen Messung von Konturen |
FR1534762A (fr) * | 1967-05-18 | 1968-08-02 | Cilas | Procédé et dispositif de palpage optique |
-
1983
- 1983-08-02 IT IT09491/83A patent/IT1198660B/it active
-
1984
- 1984-08-01 GB GB08419614A patent/GB2144537B/en not_active Expired
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Cited By (6)
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DE102006007170B4 (de) * | 2006-02-08 | 2009-06-10 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren und Anordnung zur schnellen und robusten chromatisch konfokalen 3D-Messtechnik |
DE102009001086A1 (de) | 2009-02-23 | 2010-09-02 | Sirona Dental Systems Gmbh | Handgehaltene dentale Kamera und Verfahren zur optischen 3D-Vermessung |
US8577212B2 (en) | 2009-02-23 | 2013-11-05 | Sirona Dental Systems Gmbh | Handheld dental camera and method for carrying out optical 3D measurement |
DE102009001086B4 (de) * | 2009-02-23 | 2014-03-27 | Sirona Dental Systems Gmbh | Handgehaltene dentale Kamera und Verfahren zur optischen 3D-Vermessung |
DE102016003334A1 (de) | 2016-03-14 | 2017-09-14 | Universität Stuttgart (Körperschaft Des Öffentlichen Rechts) | Anordnung und Verfahren zur Raman-Spektroskopie, insbesondere auch zur Tumorgewebe- und Aorta-Diagnostik |
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GB8419614D0 (en) | 1984-09-05 |
GB2144537B (en) | 1986-07-30 |
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