DE3428225A1 - Geraet zur herstellung von halbleiterschaltungen - Google Patents
Geraet zur herstellung von halbleiterschaltungenInfo
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Description
Gerät zur Herstellung von HaIbtei terscha Ltungen
Die Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zur Herstellung
von Ha Ib I eite rscha Ltungen , bei dem ein HaIbIeiterp lättchen
mit einer Fotomaske bzw. einer Strichplatte ausgerichtet wird, die nachstehend vereinfacht als "Maske"
bezeichnet werden.
Als eines der Systeme zum Ausrichten einer Maske und eines Halbleiterplättchens in einem Gerät zur Herstellung
von Halbleiterschaltungen durch Fortschalten und wiederholte
Belichtung ist eine TTL-Ausrichtsystem zur- aufeinanderfolgenden
Ausrichtung durch eine Objektivlinse hindurch bekannt, bei dem für jede der Belichtungen
die Maske durch eine Projektionslinse hindurch mit einem
jeweiligen Bereich bzw. einer jeweiligen Zone des Halbleiterplättchens
ausgerichtet wird. Dieses System ist insofern vorteilhaft, als der Ausrichtungsvorgang für
jede der Belichtungen ausgeführt wird, so daß eine hochgenaue Ausrichtung erzielbar ist.
A/23
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Herkomm Licherweise werden bei dem System dieser Art
mehrere, nämLich zwei oder mehr Meßeinrichtungen an
unterschiedLichen SteLLen angeordnet, um eine Lageabweichung
zwischen der Maske und dem HaLbLeiterpLattchen
in einer X-Richtung, einer Y-Richtung und einer Θ-Richtung (Drehrichtung) zu erfassen. Die Maske und das HaLbLeiterpLattchen
werden miteinander durch eine Relativbewegung zwischen ihnen ausgefluchtet, die den Ausgangssignal,
en der Meßeinrichtungen entspricht.
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Für die ErmittLung der RelativLage zwischen der Maske
und dem HaLbLeiterpLattchen werden diese mit Richtmarkierungen
versehen. Zum Sparen des PLatzbedarfs für diese Markierungen wird eine solche Richtmarkierung
häufig auf einer SchnittanreißLinie zwischen Bausteinen
oder zwischen Zonen ausgebildet, die jeweils mittels
einer einzigen Belichtung erfaßt werden (wobei es möglich
ist, daß mit einer einzelnen Belichtung mehrere Bausteine
erfaßt werden). Diese Anordnung der Rieht mark i e rungen
bringt das Problem mit sich, daß in Abhängigkeit
von der Anordnung der Zonen oder Belichtungsflächen an mehreren verschiedenen Stellen aufgrund der Markierungserfassungen
keine automatische Ausrichtung herbeigeführt werden kann. Das gleiche Problem kann auch dann
auftreten, wenn die Richtmarkierung in der Zone liegt,
die durch eine einzige Belichtung erfaßt wird. Daher entstand das Problem, daß die Anordnung, die eine automatische
Ausrichtung ermöglicht, eine Steigerung der Anzahl unbrauchbarer Zonen und daher eine Verminderung
der Anzahl aus einem einzelnen HaLb Leiterplatte hen erzielbarer
brauchbarer Bausteine ergibt.
Fig. 1 zeigt ein Beispiel für eine Zonen- oder Belichtungsflächen-Anordnung
auf einem Halbleiterplättchen. Eine Zone P ist diejenige Fläche, die mittels einer
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-6- DE 415
einzigen Belichtung erfaßt wird, nämlich in einem Einzelschritt
belichtet wird. Bei diesem Beispiel werden bei einem einzigen Belichtungsschritt, vier Schaltungsbausteine
T belichtet. In der Zone P sind orthogonale
Schnei de Iinien I und I' vorgesehen, in deren Mitte Richtina
rki erungen ausgebildet sind.
Es ist ersichtlich, daß in einer mit P1 bezeichneten
Zone eine durch ein Ί;ί nksge legenes Bildfeld eines optisehen
Meßsystems erfaßbare Plättchen-Richtmarkierung
fehlt, so daß die Lageabweichung nicht gemessen werden
kann. Daher kann zwischen der Maske und dieser Zone P1 des Halbleiterplättchens keine automatische Ausrichtung
vorgenommen werden. Infolgedessen ist diese Zone P' eine unbrauchbare bzw. AbfaLLzone.
Nachdem automatisch die Ausfluchtung zwischen der Maske und dem Ha Ib Leiterplättchen herbeigeführt worden ist,
wird das Ha Ib Lei t e rp I ätt chen mit dem Muster der Maske
belichtet, so daß das Muster auf das Halbleiterplättchen
gedruckt wird, welches dann einem Ätzvorgang und anderen
Bearbeitungsvorgängen zum Erzeugen der Ha Ibleiterscha I-tungen
unterzogen wird, wobei die Richtmarkierungen
beschädigt werden können oder zum Teil entfallen. Der teilweise Wegfall oder die Beschädigung behindert das
Erzeugen geeigneter Ausrichtungssignale, so daß eine Zone mit einer solchen Richtmarkierung nicht ausgerichtet
werden kann. Wenn dies eintritt, läßt das Gerät diese Belichtung entfallen und schaltet zu der nächsten
Belichtung weiter. Dies ist nachteilig, da für den Versuch der Erfassung der Richtmarkierungen Zeit aufgewandt
worden ist, und insbesondere die Schaltungsbausteine
in einer solchen Zone zu Ausschuß werden. Zusätzlich besteht das Problem eines Teilungsfehlers, der beispielsweise
durch eine Zusammenziehung oder Erweiterung des
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HaLbleiterpLättchens verursacht wird. Dies ergibt zwischen
dem HaLbLeiterplättchen und der Maske eine Lageabweichung,
die durch die Erfassung nur eines TeiLs der
mehreren Richtmarkierungen nicht ermittelt werden kann
(nämlich einer der Richtmarkierungen oder einer Hälfte
jeder der Richtmarkierungen).
Ferner besteht das Problem, daß zwischen dem Halbleiterplättchen
und der Maske eine besondere Lageabweichung
(wie z.B. eine Drehabweichung) auftreten kann, die durch
die Ermittlung nur eines Teils der mehreren Richtmarkierungen,
nämlich einer der Richtmarkierungen oder einer Hälfte einer jeden der Richtmarkierungen nicht ermittelt
werden kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, zur Herstellung
von Halbleiters c.haltungen ein Gerät zu schaffen, in
dem eine Maske und ein fotoempfindliches Material auch
an einer derartigen Zone ausgerichtet werden können, an der die Ausrichtung schwierig war.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Gerät zum
Herstellen von HaIb LeiterschaItungen gelöst, in welchem
die Maske und das Halbleiterplättchen automatisch gemäß
Ausgangssignalen mehrerer Lagemeßeinrichtungen für die
Erfassung der Relativlagen zwischen der Maske und dem Halbleiterplättchen ausgerichtet werden und bei der
entsprechend einer Information über die Zone des Halbleiterplättchens,
die gerade belichtet bzw. bearbeitet werden soll, die Lagemeßeinrichtungen selektiv alle
oder nur zu einem Teil in Betrieb gesetzt werden, so daß die Maske und das Halbleiterplättchen nur entsprechend
den Ausgangssignalen dieser in Betrieb gesetzten
Meßeinrichtung oder Meßeinrichtungen ausgerichtet werden.
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Ferner soLL mit der Erfindung ein Gerät geschaffen werden,
bei dem seLbst dann, wenn eine Richtmarkierung
ganz oder teilweise ausfällt, die Ausrichtung gemäß den anderen Richtmarkierungen oder gemäß einem brauchbaren
Teil der Richtmarkierung vorgenommen werden kann.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird mit der Erfindung
ein Gerät geschaffen, bei welchem Objekte jeweils mehrere Richtmarkierungen haben, von denen ihrerseits jede einen
einzigen Richtmarkierungsteil oder mehrere solcher Teile
hat und die erfaßt und dann automatisch aufgrund der Erfassungssignale ausgerichtet werden, wobei das Gerät
eine Einrichtung zum Ermitteln, ob das jeweilige Erfassungssignal
geeignet ist oder nicht, und eine Einrichtung für das Ausrichten gemäß den Erfassungssignalen aufweist,
die mittels derjenigen Richtmarkierungsteile gebildet
werden, welche den Signalen entsprechen, die mittels der Ermittlurigseinrichtung als geeignet erkannt worden
sind.
Ferner soll mit der Erfindung ein Ha Ib Ieiter schaItungs-Herstellungsgerät
geschaffen werden, bei dem die Genauigkeit der Ausrichtung in dem Fall gesteigert ist, daß
nur ein Teil von Richtmarkierungen benutzt wird bzw.
nut zba r ist.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert .
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Fig. 1 ist eine Draufsicht auf ein HaIb Leiterρ Iättchen
und zeigt die Anordnung von zu belichtenden Zonen des HaIbIeiterρIättchens .
Fig. 2A zeigt die allgemeine Gestaltung bei einem Aus-
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führungsbeispiel des erfindungsgemäßen Geräts
zur Herstellung von HaLbLeiterschaltungen.
zur Herstellung von HaLbLeiterschaltungen.
Fig. 2 B ist eine perspektivische Ansicht eines in dem
in Fig. 2A gezeigten Gerät benutzten Bestandteils.
in Fig. 2A gezeigten Gerät benutzten Bestandteils.
Fig. 3A ist eine Draufsicht auf eine Maske und zeigt
an derselben gebildete Richtmarkierungen.
an derselben gebildete Richtmarkierungen.
Fig. 3B ist eine Draufsicht auf die Richtmarkierungen.
Fig. 3C zeigt eine Beispiel von Ausgangssignalen, die
bei der Abtastung der in Fig. 3B gezeigten Riehtmarkierungen
erzeugt werden.
Fig. 4 ist eine Draufsicht auf ein Halbleiterplättchen,
das bei einem Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Geräts verwendet wird, und zeigt die Anordnung von Zonen.
das bei einem Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Geräts verwendet wird, und zeigt die Anordnung von Zonen.
Fig. 5 ist ein Ab laufdiag ramm, das die automatische
Ausrichtung bei dem Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Geräts veranschaulicht.
Fig- 6 ist ein Blockschaltbild einer Schaltung bei einem
zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Geräts zur Herstellung von HaIb Leiterscha Itungen .
Fig. 7 zeigt Kurvenformen von Signalen.
Fig. 8 ist ein Ab Laufdiagramm, das die Ausrichtung bei
dem zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Geräts veranschaulicht.
Fig. 9 zeigt die allgemeine Gestaltung eines dritten
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und vierten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Geräts zur Herstellung von Halbleitersc ha Ltungen. - .
Fig. 10 ist ein Ablaufdiagramm, das die Funktion des
erfindungsgemäßen Geräts gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel
veranschaulicht.
Fig. 11 ist ein Ablaufdiagramm, das die Funktion des
erfindungsgemäßen Geräts gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel
veranschaulicht.
Fig. 12 ist eine Draufsicht auf ein Halbleiterplättchen
und zeigt die Anordnung zu belichtender Zonen.
Die 2A zeigt die optische Anordnung bei einem Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Geräts zur Herstellung
von Halbleiterschaltungen. Eine Maske 1 ist mit einem Integrationsschaltungsmuster und Richtmarkierungen
versehen und an einem Maskentisch 22 gehalten, der verschiebbar und drehbar ist. Das Gerät weist eine Verkleinerungspro jektions Iinse 3 auf. Ein Halbleiterplättchen
(Wafer) 4 ist mit einer fotoempfindlichen Schicht und
Richtmarkierungen versehen und an einem Plattchentisch
5 gelagert. Der PI ättchentisch 5 ist wie der Maskentisch
in einer Ebene (in X-Richtung und Y-Richtung) verschiebbar und in der Ebene (in Θ-Richtung) drehbar. Beispielsweise
kann das Fortschalten durch Stellen des Plättchentisches 5 unter der Steuerung durch einen Zonenspeicherungs-
und Steuerteil M1 eines Mikroprozessors M herbeigeführt
werden, wogegen die richtige Einstellung der Maske 1 in dem Gerät durch das Stellen des Maskentisches
22 in der X-Richtung, der Y-Richtung und der 9rRichtung
vorgenommen wird. Die Ausrichtung zwischen der Maske
1 und dem Halbleiterplättchen 4 wird mittels eines Wähl-
Verarbeitungs- und Steuerte ils M2 gesteuert. Ein mögliches
Verfahren hierzu ist es, den Maskentisch 22 zu einer Korrektur einer Parallelverschiebungs-Versetzung
zwischen der Maske 1 und dem HaLb Lei terρ Lättchen 4 zu
verstellen, während der PLättchentisch 5 zu einer Korrektur
einer Drehversetzung versteLlt wird. Es ist jedoch möglich, die Versetzungen beider Arten durch das Verstellen
des P I ättchentisches 5 zu korrigieren.
Die Maske 1 ist mit Richtmarkierungen 20 und 20' versehen.
Das Halbleiterplättchen 4 ist mit Richtmarkierungen 21 und 21" versehen. Normalerweise wird ein Ausrichtungsfehler
bzw. eine Versetzung in X-Richtung, Y-Richtung und Θ-Richtung zwischen der Maske 1 und dem HaLb-Ieiterρ
Lättchen 4 aus Signalen ermittelt, die sowohl
mittels eines rechten als auch mittels eines Linken Meßsystems erfaßt werden. Entsprechend den Erfassungsergebnissen wird der P lätt chent i sch 5 und / oder der
Maskentisch 22 verstellt.
Wenn zwischen der Maske 1 und dem HaLb Leiterp I ättchen
4 ein optisches Projektionssystem angebracht wird, das
nicht die 1:1 abbildet, werden die Richtmarkierungen
20, 20", 21 und 21" an der Maske 1 bzw. dem HalbLeiterplättchen
4 so bemessen, daß sie bei der Projektion durch ein Projektionsobjektiv zu den jeweils anderem
hin bei jeder Richtung der Projektion die gleiche Größe wie die jeweils anderen Markierungen haben. Da bei diesem
Ausführungsbeispiel eine Verkleinernngsprojektionslinse
verwendet wird, wird ein durch das Teilen der Dimensionen der Masken-Richtmarkierungen durch diejenigen der Plättchen-Richtmarkierungen
erzielter Wert gleich der Vergrößerung (Verkleinerung) der VerkLeinerungsprojektions-Ii
nse gewäh It.
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Ein PolygonalspiegeL 2 8 ist um eine Drehachse 29 drehbar.
Von einer Läserstrah Lenque I Ie 22 erzeugte Laserstrahlen
werden mittels einer Linse 23 an einer Stelle 31 auf einer Spiegelfläche des Polygonalspiegels 28
gesammelt. Zur Weiterführung der Laserstrahlen sind'
Linsen 32, 33 und 34 vorgesehen. Ein Dreieckprisma 35
ist so angeordnet, daß sein Scheitel genau auf der optischen Achse liegt, so daß eine einzelne Abtastung mittels
des Polygonalspiegelsauf die rechte und die linke Seite
aufgeteilt: wird. Ein Prisma 39 zur Abtastrichtungsänderung
bewirkt, daß eine Abtastablenkung in der Richtung der Zeichnungsebene in eine Abtastablenkung in der zur
Zeichnungsebene senkrechten Richtung verändert wird.
Die Fig. 2B zeigt ein Beispiel für dieses Prisma 39 zur Abtastrichtungsänderung. Ein Halbspiegel 42 leitet
die Strahlen zu einem fotoelektrischen Meßsystem, das einen Spiegel 43, eine Linse 44, ein Raumfrequenzfilter
45, eine Kondensorlinse 46 und einen Fotodetektor 47
hat. Mit 48, 49, 50 und 51 sind Vollspiegel bezeichnet,
mit 52 ist ein Prisma bezeichnet und mit 53 ist ein f-θ-Objektiv bezeichnet.
Vorstehend wurde anhand der Fig. 2A nur der linke Teil des optischen Systems beschrieben, da der rechte Teil
hierzu symmetrisch ist. Zur Vereinfachung wird eine Erläuterung dadurch erübrigt, daß für die entsprechenden
Elemente die gleichen Bezugszeichen, jedoch unter Zusatz
eines Apostrophen verwendet werden.
Die Zwi sehen I i nsen 32, 33 und 34 bewirken, daß der Ablenkungsursprung
der mittels des umlaufenden Polygonalspiegels 28 abgelenkten Strahlen an einer Pupille 56
in der Lage einer Blende 55 für das Objektiv 53 abgebildet
wird. Daher tasten die Laserstrahlen die Maske 1 und das Halbleiterplättchen 4 in Übereinstimmung mit
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dem UmLauf des PoLygonalspiegeLs 28 ab.
Bei dem Objektivsystem sind das Objektiv 53, die BLende
55, der SpiegeL 51 und das Prisma 52 mittels einer nicht
gezeigten Bewegungsvorrichtung in der X-Richtung und der Y-Richtung bewegbar, so daß die MeßsteLle für die
Maske 1 und das Halbleiterplättchen 4 verändert werden
kann. Wenn sich beispielsweise für die Bewegung in der
X-Richtung der Spiegel 51 in der durch einen Pfeil A
dargestellten Richtung bewegt, bewegen sich das Objektiv
53 und die Blende 55 in der gleichen Richtung, während
sich das Prisma 52 auch in der gleichen Richtung, jedoch
um eine Strecke bewegt, die gleich der Hälfte derBewegungsstrecke des Spiegels 51 ist, damit die optische
Weglänge konstant gehalten wird.
Diese Bewegungen erlauben das Erfassen von MaskeneinsteLImarken,
die außerhalb der Richtmarkierungen angebracht
sind. Ferner sind diese Bewegungen zweckdienlich,
wenn die Versetzung oder Abweichung der Maske so groß
ist, daß die Richtmarkierungen gesucht werden müssen.
Für einen solchen Zweck wird die Bewegung in der Y-Richtung
derart ausgeführt, daß das ganze optische System für die Lagemessung in der Y-Richtung (senkrecht zur
Zeichnungsebene) bewegt wird.
Das optische Meßsystem ' ist derart dargestellt, daß zum Abtasten der Richtmarkierungen Punktstrahlen oder Strahlen
mit einem blattartigen Querschnitt verwendet werden
und das von den Markierungen reflektierte Licht von jeweiligen Fotozellen bzw. Fotodetekoren erfaßt wird.
Es können jedoch auch die Richtmarkierungen gleichförmig
beleuchtet werden und. die Bilder der Richtmarkterungen
mittels jeweiliger Schlitze bzw. Schlitzblenden abgetastet
werden. Weiterhin ist es möglich, die Linken
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und rechten Markierungsbilder auf einem einzigen fotoelektrischen
Wandler abzubilden und sie in zeitlicher Aufteilung bzw. Zeitmultiplex zu erfassen. Für den Belichtungsvorgang
wird der Spiegel 51 aus dem Lichtweg
herausgeschwenkt und mittels eines optischen Beleuchtungssystems
Be Iichtungs I icht aufgebracht.
Die Fig. 3A zeigt ein Beispiel für (durch ausgezogene
Linien dargestellte) Richtmarkierungen, die auf der
Maskenebene gebildet sind. Die dargestellte Form der Richtmarkierungen oder eine hierzu analoge Form ist
vorteilhaft, da die Lageabweichungen in der X-Richtung
und der Y-Richtung mittels einer einzigen Abtastung
in einer einzigen Richtung gemessen werden können.
Masken-Richtmarkierungen 75 und 76 sind an einer Stelle
ausgebildet, die der mit 20 in Fig. 2A bezeichneten Stelle entspricht. Masken-Richtmarkierungen 75' und
75' sind an einer Stelle ausgebildet, die der mit 20'
in Fig. 2A bezeichneten Stelle entspricht.
Die in Fig. 2A gezeigten Richtmarkierungen 21 und 21'
an dem HaIbIeiterpIättchen können in Gegenrichtung durch
die Projektionslinse auf die Maske 1 projiziert werden.
Diese in der Gegenrichtung projizierten Plättchen-Ricntrnarkierungen
sind mit 71, 72, 73 und 74 bzw. 71', 72',
73' und 74' bezeichnet.
Gemäß Fig. 3A führen die Laserstrahlen eine Abtastbewegung
gemäß der Darstellung durch Pfeile 60 und 60' aus. Im einzelnen bewegen sich die Laserstrahlen bei dem
linken Meßsystem in der Y-Richtung von unten nach oben, während sie sich bei dem rechten Meßsystem in der negativen
Y-Richtung, nämlich von oben nach unten bewegen, wobei sie die jeweiligen Markierungen überstreichen.
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Die Fig. 3B ist eine vergrößerte Ansicht derjenigen Markierungen, die mitteLs des Linken Meßsystems nach
Fig. 3A erfaßt werden.
Wenn die in Fig. 3B gezeigten Markierungen von den Laserstrahlen gemäß dem Pfeil 60 überstrichen werden, gibt
der Fotodetektor 47 Signale S71 bis S76 gemäß Fig. 3C
ab. Die Signale S71 , S72, S73 usw. entsprechen jeweils den Richtmarkierungen .71, 72, 73 usw.
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Durch das Messen von Abständen W1 , W2, W3 und W4, die jeweils die Abstände zwischen den Signalen S 71 und S75,
S75 und S72, S73 und S76 bzw. S76 und S74 sind, kann die Abweichung bzw. Versetzung zwischen der Maske 1
und dem Halbleiterplättchen 4 erfaßt werden. Im einzelnen
sind eine Versetzung ^XL in der X-Richtung und eine Versetzung AYL in der Y-Richtung, die mittels des linken
Meßsystems erfaßt werden, jeweils
/^XL = (Wi-W2-W3 + W4)/4 ...(D
und
= (-W1+W2+W3-W4)/4 ...(2)
Versetzungen AXR und AYR gemäß Signalen des rechten
Meßsystems sind
= (-W11+W2"+W3l-W4l)/4 ...(3)
und
AYR = (-W1I+W2I-W3'+W4I)/4 ...(4)
Daher ist eine Drehversetzung ΔΘ gleich
ΔΘ = (ÄYR-AYD/CXR-XL) ...(5)
wobei XL und XR die Abstände der linken bzw. der rechten Markierungen von der Mitte der Maske 1 sind und
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(XR-XL) der Abstand zwischen den Linken und den rechten
Markierungen ist.
Nach Fig. 2 A wird der Plättchentisch zur Fortschaltbewegung
für das wiederholte Belichten mittels einer Stellschaltung D1 entsprechend Befehlssignalen verstellt,
die von dem Fortschalt-Steuerteil M1 abgegeben werden.
Während dieser Fortschalt- und Wiederholungs-Bewegungen
ergibt sich an dem HaIbI eiterpIättchen 4 eine Zone,
bei der Richtmarkierungen außerhalb des Halbleiterplättchens liegen. Falls dies eintritt, wird bei dem erfindungsgemäßen
Gerät mittels des WähL-Verarbeitungs-Steuerteils
M2 die Versetzung bzw. Abweichung nur aus Meßsignalen
für diejenigen Richtmarkierungen ermittelt, die
brauchbare Erfassungssignale ergeben. Entsprechend den
Verarbeitungsergebnissen wird eine Stellschaltung D 2
betrieben. Dadurch wird zur gegenseitigen Ausrichtung der Maske 1 und des HaIb LeiterpIättchens 4 der Maskentisch
22 zur Feineinstellung in der X-Richtung und der
Y-Richtung bewegt. Das heißt, wenn die Ausrichtung nur nach den Markierungen an einer Seite vorgenommen wird,
wird die Relativlage zwischen der Maske 1 und. dem Halbleiterplättchen
4 nur durch eine Verschiebebewegung ohne eine Korrektur durch eine Drehbewegung verändert,
um damit die Abweichungen Δ X und 4 Y zu korrigieren, die durch die Erfassung an der einen Seite ermittelt
werden.
Die erwünschte Genauigkeit der Ausrichtung kann ohne
eine Korrektur der Drehversetzung erreicht werden, da
durch neueste Verbesserungen hinsichtlich der Materialien,
der Bearbeitung und des Zusammenbaus die Geradlinigkeit
der Plätlrchentischbewegung verbessert ist. Als noch
bedeutsamer ist jedoch anzumerken, daß bei dem Gerät mit Fortschaltung und wiederholter Belichtung bei einer
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einzelnen Belichtung nur eine kleine Fläche belichtet
wird, so daß der mögliche Einfluß einer Drehversetzung
äußerst gering ist.
Die Fig. 4 zeigt eine Anordnung von Zonen auf dem Halbleiterplättchen
4, wobei für die jeweiligen Zonen oder
Belichtungsflächen jeweils einen Zonen- oder Belichtungsflächen-Nummer
angegeben ist. Von diesen Zonen werden folgende Zonen unter Verwendung sowohl des linken als
auch des rechten Meßsystems ausgerichtet:
2, 3, 6 bis 9, 11 bis 22, 24 bis 27, 30 und 31
Die unter Verwendung nur des Linken Meßsystems (nach den rechten Markierungen) ausgerichteten Zonen sind
die Zonen 4, 5, 28 und 29.
Die unter Verwendung nur des rechten Meßsystems (nach
den linken Markierungen) ausgerichteten Zonen sind die
Zonen 1, 10, 23 und 32.
Die in Fig. 4 schraffiert dargestellten Schaltungsbausteine
sind unbrauchbare Bausteine, jedoch ist an diesen zu bemerken, daß in der betreffenden einen Zone zwei
Bausteine verwendbar sind. Verglichen mit der Anzahl 96 brauchbarer Bausteine bei der in Fig. 1 gezeigten
herkömmlichen Anordnung kann die Anzahl bei der Anordnung
nach Fig. 4 auf 112 gesteigert werden.
Die Fig. 5 veranschaulicht die Ablauffolge der automat i sehen
Ausrichtung bei dem Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Geräts. Die automatische Ausrichtung beginnt
bei einem Schritt 501. Bei einem Schritt 502 werden
aus der Zonennummer die Lagen der Richtmarkierungen
ermittelt. Gemäß der Erläuterung der in Fig. 4 gezeigten
Anordnung sind die Lagen der verwendbaren Richtmarkierun-
-18- DE 4155
gen durch die Zonen- bzw. BelichtungsfLächen-Nummer
vorbestimmt. Diese Übereinstimmungs-Zusammenhänge sind
in einem Speicher des Mikroprozessors aLs TabeLLe gespeichert.
Der Mikroprozessor ermittelt daher die Markiek
rungslage aus der TabeLLe gemäß der Zonennummer und schaltet das Programm zu einem Schritt 503, wenn die
auszurichtende BeLichtungsfLäche bzw. Zone nur mittels
der rechten Markierungen ausgerichtet werden s ο I L , zu
einem Schritt 513, wenn diese Zone nur mittels der linken
Markierungen ausgerichtet werden soll, oder zu einem
Schritt 523 weiter, wenn beide Markierungen verwendet
werden sollen.
Bei den Schritten 503, 513 und 523 werden die Erfassungsvorgänge mittels des linken Meßsystems, mittels des
rechten Meßsystems bzw. mittels beider Meßsysteme ausgeführt.
Nachdem die Meßvorgänge ausgeführt worden sind, wird bei Schritten 504, 514 bzw. 524 die Lageversetzung
zwischen der Maske 1 und dem Halbleiterplättchen 4 e r mittelt. Bei dem Schritt 504 werden aus den von dem
linken Meßsystem erhaltenen Daten die Versetzungen AXl und ZUiYl berechnet, bei dem Schritt 514 werden aus
den von dem rechten Meßsystem erhaltenen Daten die Versetzungen AXR und AYR berechnet und bei dem Schritt 524
werden aus den von beiden Meßsystemen erhaltenen Daten
die Versetzungen AXL, /\YL, AXR und AYR berechnet.
Wenn beide Meßsysteme eingesetzt werden, werden bei
einem Schritt 525 aus den Daten beider Systeme Mittelwerte
AX und ΔΥ für die Abweichungen in der X-Richtung
bzw. in der Y-Richtung berechnet. D.h., es werden die
Berechnungen AX = (AXL+AXR)/2 und ΔΥ = (AYL+AYR)/2 ausgeführt.
Wenn andererseits nur das linke oder da-s rechte Meßsystem eingesetzt wird, werden bei Schritten 505
und 515 aLs Mittelwert ^X und ΔΥ die an einer Seite
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gemessenen Abweichungen eingesetzt.
Bei einem Schritt 506 wird ermittelt, ob die Mittelwerte
/S* und Ay innerhalb zulässiger Toleranzgrenzen liegen,
die vorher festgelegt worden sind. Wenn dies der Fall
ist, schreitet das Programm zu einem Schritt 511 weiter, bei dem die automatische Ausrichtung endet.
Wenn es nicht der Fall ist, nämlich die Mittelwerte der Versetzungen nicht innerhalb der Toleranzgrenzen
liegen, werden die Relativlagen nur in der X-Richtung
und der Y-Richtung verändert, wenn nur ein Meßsystem
eingesetzt worden ist. Falls jedoch beide Meßsysteme eingesetzt worden sind, wird für die Ausrichtung die
Relativlage in der X-Richtung, der Y-Richtung und der Θ-Richtung verändert. Hierzu wird bei einem Schritt
507 ermittelt, ob beide Markierungen verwendet worden
sind oder nicht. Wenn dies der Fall ist, sch reitet das
Programm zu einem Schritt 508 weiter. Wenn dies nicht
der Fall ist, nämlich nur die Markierungen einer Seite
verwendet wurden, schreitet das Programm zu einem Schritt
510 weiter.
Bei dem Schritt 508 (für beide Markierungen) wird auf
die vorangehend beschriebene Weise die Drehversetzung
ΛΘ ermittelt, wonach bei einem Schritt 509 der Tisch
in der Θ-Richtung verstellt wird. Bei dem Schritt 510,
der für die Verwendung der Markierungen an beiden Seiten
und an einer Seite gemeinsam ist, wird die Relativlage
zwischen der Maske 1 und dem Halbleiterplättchen 4 so
verändert, daß die Abweichungen in der X-Richtung und der Y-Richtung korrigiert werden. Diese Änderungen in
der X-Richtung, der Y-Richtung und der Θ-Richtung können
an dem Maskentisch 22 oder an dem Plättchentisch 5 vorgenommen
werden.
Nach der Ti schwerst aLLung kehrt das Programm zu dem
Schritt 502 zurück, wonach die Messungen der Abstände zwischen den Markierungen wiederholt werden, so daß
die Sch.Leifenfolge zwischen den Schritten 502 und 510
wiederholt wird, bis die Abweichungen in den zulässigen Toleranzgrenzen liegen.
Nachdem die automatische Ausrichtung vorgenommen worden ist, werden die Vollspiegel 51 und 51" für das automatis
che% Κ&ψ'γ i chten aus dem optischen Weg für das optische
Projektionssystem zurückgezogen. Nach dem Be IichtungsVorgang,
nämlich dem Belichten der Zone des Ha Ibleiterplättchens
mit dem Muster der Maske wird der PI ätt chent i s ch
5 zur Vorbereitung einer nächsten Belichtung verstellt. Dann werden die Vollspiegel 51 und 51' wieder in den
optischen Projektionsweg eingefügt und die automatischen
Ausrichtungsvorgänge ausgeführt.
Wenn nur die Richtmarkierungen an einer Seite verwendet
werden, braucht nur der den Markierungen entsprechende
Vollspiegel in den optischen Weg eingesetzt werden, während der andere Spiegel herausgehalten wird. Bei
dem vorstehend beschriebenen AusführungsbeispieL wird
die Information über verwendbare Markierungen aus der in dem Mikroprozessor gespeicherten Belichtungsflächenbzw.
Zönenanordnung erhalten, jedoch ist es alternativ möglich, eine weitere fotoeLektrisehe Meßeinrichtung
zum Ermitteln der Zone des Ha Ib LeiterpIättchens 4 einzusetzen
und zu. ermitteln, welche Richtmarkierungen verwendbar
sind, um demgemäß das Meßsystem geeignet zu wählen.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung ist bei diesem Ausführungsbeispiel
des erfindungsgemäßen Geräts die Ausrichtung
auch dann möglich, wenn abhängig von der Lage
-21- DE 415 5
der Zonen des HaLbLe iterplättchens ein Teil der Richtmarkierungen
nicht verwendbar ist; dadurch können auch soLche Zonen aLs brauchbare Zonen oder Scha Ltungsbausteine
verwertet werden, bei denen bei dem herkömmLichen
ij Gerät die SchaLtungsbausteine nicht ausgerichtet und
belichtet werden können. Damit wird die Anzahl aus einem
HaLbLeiterpLättchen erziel barer brauchbarer SchaLtungsbausteine
gesteigert, so daß daher die Anzahl der Produkte
beispielsweise je Tag beträchtlich erhöht wird.
10
10
ALs nächstes wird ein zweites Ausfuhrungsbeispiel des
erfindungsgemäßen Geräts für die Herstellung von HaLb-Leiterschaltungen
beschrieben.
Zur Erläuterung werden die jeweils in Fig. 3A gezeigten
Richtmarkierungen durch eine Symmetrieachse aufgeteilt
und folgendermaßen benannt:
Linien 71, 72, 75... erster MarkierungsteiL/
Linien 73, 74, 76... zweiter Markierungsteil..
Linien 73, 74, 76... zweiter Markierungsteil..
Linien 72', 73', 76'...dritter Markierungsteil und
Linien 71', 72', 75'...vierter Markierungsteil.
Linien 71', 72', 75'...vierter Markierungsteil.
Gemäß der Beschreibung anhand der Fig. 1 enthält eine
durch einen einzelnen Belichtungsvorgang erfaßte Zone
P vier BausteinfLächen, so daß bei einem BeLichtungsvorgang
vier SchaLtungsbausteine (chips) belichtet werden. Die Richtmarkierurigen werden an den Schnitt- bzw.
Anreißlinien L und I1 angebracht, die zwischen den Bell
chtungszonen liegen, und zwar im einzelnen so, daß der erste und der zweite Mar k i erungs t e i L an der durch
das Bezugszeichen L dargestellten Stelle liegen und
der dritte und der vierte Markierungsteil an der durch
das Bezugszeichen I1 dargestellten Stelle Liegen.
SeLbst wenn bei diesem Ausfuhrungsbeispiel des erfin-
-22- DE 4155
dungsgemäßen Geräts einer der vier Richtmarkierungsteile
nicht richtig erfaßt wird oder zwei derselben nicht richtig erfaßt werden, wird in dem Fall, daß
mindestens zwei Richtmarkierungsteile richtig erfaßt
b werden, die automatische Ausrichtung gemäß diesen Markierungsteilen
vorgenommen.
Die nachstehende Tabelle 1 zeigt Kombinationen der Markierungsteile.
In dieser Tabelle sind erfaßbare Markierungsteile mit "JA" angegeben, während nicht erfaßbare
Markierungsteile mit "NEIN" angegeben sind.
1. Markie- | 2. Markie- | 3. Markie- | 4. Markie- | Kombination der Mai— |
rungstei I | rungsteiI | rungsteiI | rungsteiI | kierungstei Le |
JA | JA | JA | NEIN | 1. und 2. |
JA | JA | NEIN | JA | 1. und 2. |
JA | NEIN | JA | JA | 1. und 4. |
JA | JA | NEIN | NEIN | 1. und 2. |
JA | NEIN | NEIN | JA | 1. und 4. |
NEIN | JA | JA | JA | 2. und 3. |
NEIN | JA | JA | NEIN | 2. und 3. |
NEIN | NEIN | JA | JA | 3. und 4. |
Die Tabelle wurde nach folgenden Regeln aufgestellt:
1 . Wenn von den vier Markierungsteilen drei Markierungsteile
erfaßt werden, ist die Ausrichtung möglich.'
2. Wenn von den vier Markierungsteilen folgende beiden
-23- DE 4155
HarkierungsteiLe erfaßt werden, ist die Ausrichtung
möglich: erster' und zweiter, erster und vierter, zweiter
und dritter oder dritter und vierter Markierung-steil.
3. Wenn nur die folgenden beiden Markierungsteile erfaßbar
sind, ist die Ausrichtung nicht möglich, so daß daher das Halbleiterplättchen für die Belichtung der
nächsten Zone fortgeschaltet wird: erster und dritter
oder zweiter und vierter Markierung steil.
Wenn die Ausrichtung nur nach zwei Markierungsteilen
vorgenommen wird, wird die Relativlage zwischen der
Maske 1 und dem Halbleiterplättchen 4 in der X-Richtung
und der Y-Richtung verändert, um die Versetzungen Λ Χ
und ΔΥ aufzuheben, die aus den vorstehend angeführten
Gleichungen erhalten werden. Eine Korrektur der Drehrichtung
θ wird nicht vorgenommen. Die Korrektur hinsichtlich
der Drehrichtung kann entfallen, da festgestellt wurde,
daß die neueren Fortschaltemechanismen für den Tisch
so zuverlässig sind, daß durch die geradlinige Fortschal tbewegung in einem Schritt oder in zwei Schritten
kaum ein Drehfehler entsteht; daher fällt für die Zonen unmittelbar nach einer Zone, bei der die Korrekturen
für alle Richtungen, nämlich die X-Richtung, die Y-Richtung und die Θ-Richtung ausgeführt worden sind,
die Abweichung hinsichtlich der Dreh richtung θ in die
Toleranzgrenzen, falls die Abweichungen nur in der X-Richtung
und der Y-Richtung korrigiert werden.
Wenn die erfaßbaren Markierungsteile kombiniert werden,
werden die Abweichungen AX und ÄY folgendermaßen best
i mmt:
1. Erster und zweiter Markierungsteil: Gleichungen (1)
und (2).
-24- DE 4155
2. Zweiter und vierter Markierungsteil: Gleichungen
(2) und (3).
3. Erster und vierter MarkierungsteiL: Gleichungen
AX = (W1-W2 + W3'-W4')/4 ...(6)
und
ΔΥ = (-W1+W2-W3I+W41)/4 ...(7)
ΔΥ = (-W1+W2-W3I+W41)/4 ...(7)
4. Zweiter und dritter Markierungsteil: Gleichungen
4X = (-W1 '+W2'-W3-W4)/4 ...(8)
und
4y = (-W1 '+W2'+W3-W4)/4 ...(9)
4y = (-W1 '+W2'+W3-W4)/4 ...(9)
Die Fig. 6 ist ein Blockschaltbild einer Schaltung zum
Er· mitteln, ob die Erfassungssignale für die vier Markierungsteile
geeignet sind oder nicht, und zum Speichern der Ergebnisse. Die Fig. 7 zeigt Kurvenformen von Signalen
und dient zur Erläuterung der Betriebsvor gange
an verschiedenen Teilen der in Fig. 6 gezeigten Schaltung.
In der Fig. 6 sind die Fotodetektoren 47 und 47' für
die Erfassung der Richtmarkierungen die gleichen Bauteile
wie die in Fig. 2A mit den gleichen Bezugszeichen b e zeichneten.
Der Fotodetektor 47 gibt ein Signal ab, dessen Kurvenform in Fig. 7 bei A) gezeigt ist. Gleichermaßen
gibt der Fotodetektor 47' gemäß den Richtmarkierungsteilen
ein Signal ab, dessen Kurvenform in Fig. 7 bei CB) gezeigt ist. Die in den Fig. 7(A) und (B)
gezeigten Kurvenformen mit den Bezugszeichen G1, G2,
G3 und G4 entsprechend jeweils dem ersten, dem zweiten, dem dritten bzw. dem vierten Markierungstell.
Die Fig. 6 zeigt ferner Fotodetektoren 58 und 58' zur
Erfassung von Synchronisiersigna len . Diese Fotodetektoren
-25- DE 4155
geben AusgangssignaLe gemäß der Darstellung in Fig.
7 bei (F) und (6) ab. Das Synchronisiersignal (F) für
das linke Meßsystem und das Synchronisiersignal gemäß
(6) für das rechte Meßsystem werden in eine Steuer/Zeitgeberschaltung
101 eingegeben. Diese Schaltung 101 wird
durch einen (nicht gezeigten) Mikroprozessor gesteuert
und steuert ihrerseits alle Meßschaltungen, die nachstehend
beschrieben werden.
Die Steuer/ZeitgeberschaItung 101 steuert über eine
Steuer Leitung 102 einen AnaLogscha lter 103. Beispielsweise
Liegt an der Steuerleitung 102 das SynchronisiersignaL
gemäß (F) für das linke System an, wobei der AnaLogschalter 103 die Signale aus dem Linken und /
oder rechten Meßsystem derart anwählt, daß eine zusammengesetzte
Kurvenform gemäß der Darstellung bei (C) in Fig. 7 entsteht.
Das zusammengesetzte Signal (C) wird mittels eines Video-Verstärkers
104 verstärkt und mittels eines Binärcodierers 105 an einem geeigneten SchnittpegeL abgeschnitten
und zu einer digita Lisierten Kurvenform umgesetzt,
die in Fig. 7 (D) mit S 71 , S75, S72 usw. bezeichnet
ist. Die Abstände W1 , W2 usw. zwischen den Markierungs-Linien
werden als Zeitabstände zwischen den Signalen S71 und S75, S75 und S72 usw. dargestellt. Das Signal
mit der digitaLisierten Kurvenform gemäß (D) in Fig. 7 wird in einen FLankendetektor 106 eingegeben, der
die Flanken der SignaL kurvenformen erfaßt und Kurvenformen
gemäß (E) in Fig. 7 formt.
Die 'Vorderflanke des Signals S71 wird in die VorderfLanke
eines Signals S71R umgesetzt, während die Ryckflanke
des Signals S71 in die Rückflanke eines Signals S71 F umgesetzt wird. Daher ergibt sich der Linienabstand
-26- DE 4155
W1 zu (S75R + S75F)/2 - (S71R + S71F)/2 . Die FLankenimpuL se
gemäß (E) in Fig. 7 werden als TaktimpuLse in Zähler 107, 108, 109 und 110 eingegeben, die die Anzahl der
Impulse zählen, die aus jedem der Markierungsteile erhalten
werden. Entsprechend den Synchronisiersignalen gemäß
(F) und (G) erzeugt die Steuer/ZeitgeberschaItung 101
Markierungsteil-Wählsignale gemäß (H), (I), (J) und
(K) .
Die Markierungsteil-Wählsignale (H), (I), (J) und (K)
sind Signale zur Wahl des ersten, des zweiten, des dritten bzw. des vierten Markierungsteils und steuern jeweils
den Zähler 107, 108, 109 bzw. 110. Im einzelnen wird mit den Zählern 107, 108, 109 und 110 jeweils die Anzahl
der Impulse gezählt, die mittels des ersten, des zweiten, des dritten bzw. des vierten Markierungsteils erzeugt
werden.
Die Impulsabstände der Impulse S75R, S75F, S71R, S71F
usw. werden durch Zählen von Abfrage impulsen gemessen,
die eine Impulsperiode haben, die ausreichend kurzer
als die ImpuIyjbstände ist.
Die AbfrageimpuLse werden von der Steuer/Zeitgeberschaltung
101 erzeugt und über eine Signalleitung 111 Abstandszählern
112, 113, 114 und 115 als Takteingangssignal
zugeführt. Die Abstandszähler 112, 113, 114 und 115 zählen die Abfrageimpu I se jeweils nur während der
Markierungsteil-Wählsignale (H), (I), (J) bzw. (K) von
den Vorderflanken der Wählsignale an.
Andererseits werden die FLankenimpuLse gemäß (E) einem
Schreibzeitgeber 116 zugeführt, der Schreibsignale für
Abstandsspeicher 117, 118, 119 und 120 abgibt. 35
-27- DE 4155
Der Schreibzeitgeber 116 wird durch die Steuer/Zeitgeberschaltung
101 so gesteuert, daß er während des Meßvorgangs Schreibsignale abgibt, jedoch nach dem Abschluß
des Heßvorgangs Lesesignale erzeugt. Die Abstandsspeicher
117, 118, 119 und 120 sind Schreib/Lesespeicher mit
16 χ 6 Bits und voneinander gesonderten Eingängen und
Ausgängen. Das Lesen und Schreiben der Speicher wird durch den Schreibzeitgeber 116 gesteuert. Von der Steuer/
Zeitgeberschaltung 101 werden Speicherbaustein-Wählsignale
angelegt. Adressensignale werden während des Meßvorgangs durch die Ausgangsdaten der Zähler 107, 108,
109 und 110 und nach dem Abschluß des Meßvorgangs über eine Adressensammelleitung 135 des Mikrocomputers gesteuert
.
Infolgedessen speichern auf den Abschluß der Messung
hin die Abstandsspeicher 117, 118, 119 und 120 jeweils
die Impulsdaten gemäß Tabelle 2.
• | ADRESSEN | ABSTANDSSPEICHER | 117 | 118 | 119 | 120 |
1 | S71R | S73R | S71'R | S73'R | ||
2 | S71F | S73F | S71'F | S73'F | ||
3 | S75R | S76R | S75'R | S76'R | ||
4 | S75F | S76F | S75'F | S76'F | ||
5 | S72R | S74R | S72'R | S74'R | ||
6 | S72F | S74F | S72'F | S74'F ! |
||
Nach dem Abschluß des Meßvorgangs ruft der (nicht gezeigte) Mikroprozessor über die Adressensammelleitung 135.
-28- DE 4155
und Puffer 130, 131, 132 und 133 die Abstands speicher
117, 118, 119 und 120 ab und nimmt deren Daten über
Puffer 126, 127, 128 und 129 sowie eine Datensammelleitung
134 auf.
5
5
Die in den ZähLern 107, 108, 109 und 110 gespeicherten
Daten für die jeweiLige ImpuLsanzahL der Markierungstei Le
werden über Puffer 122, 123, 124 bzw. 125 gLeichfaLLs in den Mikroprozessor eingegeben. FaLLs die ImpuLsanzahL
"6" ist, wirddies aLs Erfassung des betreffenden Markierungstei Ls erkannt (was in der TabeLLe 1 durch "JA"
angegeben ist), wogegen bei einer von "6" verschiedenen
AnzahL erkannt wird, daß der betreffende MarkierungsteiL
nicht erfaßt wird (was in der TabeLLe 1 mit "NEIN" ausgedrückt wird).
Die Fig. 8 ist ein AbLaufdiagramm, das die Betriebsvorgänge
für die automatische Ausrichtung bei dem zweiten AusführungsbeispieL des erfindungsgemäßen Geräts veranschauLicht.
Die automatische Ausrichtung beginnt bei einem Schritt 601. Bei einem Schritt 602 werden die MarkierungsteiLe
durch die Abtastung mit den LäserstrahLen erfaßt.
Während dieser Erfassung bzw. Messung erfoLgt gemäß der ErLäuterung anhand der Fig. 6 und 7 für einen jeden
der MarkierungsteiLe eine Erfassung der ImpuLsanzahL
und eine Messung der ImpuLsabstände. Nach der Beendigung
des Meßvorgangs werden bei einem Schritt 603 die Zähler
107, 108, 109 und 110 (Fig. 6) abgerufen und es wird geprüft, ob jeder einzelne Zähler den Zählst and "6"
enthält. Wenn dies der FaIL ist, nämLich aLle Zähler
den Zählstand "6" haben, wird daraus erkannt, daß alle vier Markierungsteile richtig erfaßt werden. Bei einem
-29- DE 4155
Schritt 604 werden daraufhin die Abstandsspeicher 117,
118, 119 und 120 ausgelesen, wonach bei einem nächsten Schritt 605 gemäß den vorangehend angeführten Gleichungen
(1) bis (5) die Lageabweichungen berechnet werden. In
b diesem Fall werden die Abweichungen Δ Χ und ΔΥ in der
X-Richtung bzw. in der Y-Richtung jeweils als Mittelwerte
der Abweichungen gemäß den linken Markierungen und
der Abweichungen gemäß den rechten Markierungen folgendermaßen
ermittelt: ;
ΔΧ = (AXL+AXR)/2
ΔΧ = (AXL+AXR)/2
und
Δ Υ = (AYL+AYR)/2
Δ Υ = (AYL+AYR)/2
Wenn bei dem Schritt 603 die Zählstände der Zähler 107,
108, 109 und 110 nicht alle "6" sind, nämlich ermittelt wird, daß ein nicht erfaßbarer Markierungsteil vorliegt,
schreitet das Programm zu einem Schritt 610 weiter, bei dem eine der Tabelle 1 entsprechende Tabelle abgefragt
wird, um aus den erfaßten Markierungsteilen diejenigen
Markierungsteile zu wählen, die für die Berechnung
der Lageabweichung brauchbar sind. Bei einem Schritt 611 werden die diesen Markierungsteilen entsprechenden
Abstandsspeicher gewählt und deren Daten ausgelesen,
wonach dann bei einem Schritt 612 die Lageabweichungen
nach dem bekannten Verfahren unter Verwendung der vorangehend genannten Gleichungen (6), (7), (8) und (9)
berechnet werden.
berechnet werden.
Unabhängig von der Erfaßbarkeit aller Markierungsteile
werden bei einem Schritt 606 die über die Schritte 604 und 605 oder 610 bis 612 ermittelten Abweichungen ^X
und Δ Y mit den vorbestimmten zulässigen Grenzwerten
verglichen.
Wenn die Abweichungen innerhalb der Grenzwerte liegen,
-30- DE 4155
schaltet das Programm zu einem Schritt 613 weiter, bei
dem die Ausrichtung endet.
Wenn die Abweichungen nicht innerhalb der Toleranzgrenzen
b liegen, wird die Ausrichtung vorgenommen. Falls alle
vier Markierungsteile erfaßt worden sind, erfolgen Verstellungen
in der X-Richtung, der Y-Richtung und der Θ-Richturig. Falls jedoch nicht alle vier Markierungsteile
erfaßt worden sind, erfolgen Verstellungen nur in der
X-Richtung und der Y-Richtung. Hierzu wird bei einem
Schritt 607 ermittelt, ob eine Θ-Verstellung erforderlich
ist oder nicht. Wenn dies der Fall ist, wird bei einem
Schritt 608 die Θ-Verstellung vorgenommen. Wenn das
nicht der Fall ist, schaltet das Programm zu einem
Ib Schritt 609 weiter. In einem jeden der Fälle werden
bei dem Schritt 609 durch eine Relativbewegung zwischen
der Maske und dem Halbleiterplättchen 4 die Lagekorrekturen
in der X-Richtung und der Y-Richtung ausgeführt. Die Relativbewegungen in der X-Richtung, der Y-Richtung
und / oder der Θ-Richtung können durch Verstellen des
Maskentisches 2 2 oder des Plättchentisches 5 ausgeführt werden. Nach dem Abschluß der Verstellung kehrt das
Programm zu dem Schritt 602 zurück, wonach der Markierungsabstand-Meßvorgang
über die Schritte 602 bis 606 wiederholt wird, bis die Lageabweichung als innerhalb
der Toleranzgrenzen liegend ermittelt wird.
Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel
wird die Anzahl der erfaßten Markierungslinien gezählt,
während z.ugleich die Linienabstände gespeichert werden.
Für das Zählen der Markierungslinien und für die Aufnahme
der Linienabstands-Informationen nach brauchbaren Markierungsteilen
werden jedoch jeweils zwei Betriebsarten
angewandt. Die Richtmarkierungen werden mit Punktstrahlen
abgetastet und es werden zur Erfassung der Richtmarkie-
-31- DE 4155
rungen die von denselben streuend reflektierten Strahlen
herangezogen. Andererseits werden jedoch von den Richtmarkierungen
Bilder erzeugt, die mittels einer Schlitzblende
oder Bildaufnahmeelementen abgetastet werden.
Diese Ausführungsforrnen bei dem erfindungsgemäßen Gerät
können bei der Ausrichtung zwischen der Maske 1 und
dem HaIbIeiterρ I ättchen 4 angewandt werden und sind
auch bei einem Schaltungsprüfgerät oder dergleichen
anwendbar, bei dem das Halbleiterplät. tchen 4 in Bezug
auf das Prüfgerät ausgerichtet wird.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung wird bei diesem
Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Geräts selbst
dann, wenn die Richtmarkierungen teilweise beschädigt
oder weggefallen sind, so daß ihre brauchbare Erfassung
nicht möglich ist, die Abweichung zwischen der Maske
1 und dem HalbLeiterpLättchen 4 unter Verwendung der
Kombination aus ausgewählten der verbliebenen Richtmarkierungen oder Teilen hiervon korrigiert. Dadurch können
automatisch Zonen des HaLb Lei terρ Iättchens 4 ausgerichtet
werden, die bei herkömmlichen Geräten aufgegeben
bzw. ausgelassen worden sind. Ferner kann die Zeit eingespart werden, die erforderlich ist, zu versuchen, die
voLL st andigen Ma rkierungsinformationen zu erhalten,
bis schließlich die Entscheidung getroffen wird, die Zone aufzugeben bzw. auszulassen. Darüberhinaus wird
der Prozentsatz der Erfolge bei der Ausrichtung beträchtlich
gesteigert, so daß bei der Anwendung in einem Gerät mit Fortschaltung und wiederholter Belichtung die Anzahl
der aus einem HalbLeiterplättchen erzielbaren brauchbaren Schaltungsbausteine erhöht wird. Auf diese Weise wird
die Ausbeute außerordentlich verbessert.
Es wird nun ein drittes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Geräts zur Herstellung von HaLb Leiterscha L-
-32- DE 4155
tungen beschrieben. Die Fig. 9 zeigt die Hauptteile
eines Fortschaltungs- und Belichtungswiederholungs-Geräts
mit R i ch tma rki e rungs-Mefrsy stemen als drittes
Ausführungsbeispiel der Erfindung';. Da die in Fig. 9
gezeigte Anordnung mit Ausnahme der nachstehend beschriebenen Teile zu der in Fig. 2A gezeigten gleichartig
ist, erübrigt sich zur Vereinfachung die ausführliche
Beschreibung dieser gleichartigen Teile dadurch, daß die entsprechenden Elemente mit den gleichen Bezugszeichen
bezeichnet werden.
Das Gerät weist für den Plättchentisch 5 und den Maskentisch
22 eine Steuereinrichtung auf, deren Funktion
nachstehend ausführlich anhand der Fig. 10 beschrieben wird. Das Gerät enthält ferner eine Steuerschaltung
C für das Steuern verschiedener Betriebsvorgänge und
eine Speicherschaltung M', die eine vorbestimmte Anordnung
von Belichtungsflächen bzw. Zonen sowie die Aufeinanderfolge
von Fortschaltvorgängen speichert. Bei
einem späteren Programmschritt speichert die Speicherschaltung
M" eine Korrekturgröße für das Ausschalten
der Lageversetzung. Entsprechend der Zonenan Ordnung
und der Fort scha 11vorgang-Aufeinanderfο Ige, die in der
Speicherschaltung M1 gespeichert sind, wählt t-ine Signalwähl,
schaltung S mindestens eines der beiden Erfassungssignale aus den Fotodetektoren 47 und 47'. Eine Prozessorschaltung
0 bewirkt-, daß aus zwei Folgen von Erfassungssignalen
ein Teilungsfehler und für die Bewegungen
in der X-Richtung, der Y-Richtung und der Θ-Richtung
Größen ermittelt werden, die für den Ausrichtungsvorgang erforderlich sind. Aufgrund dieser Werte wird mittels
einer ersten Stellschaltung D1" der Maskentisch 22 in
die Ausrichtungslage versetzt, während zugleich der Teilungsfehler in die Speicherschaltung M1 eingespeichert
wird. Wenn eines der Erfassungssignale gewählt wird.
-.33- DE 4155
wird der in der Speicherschaltung M1 gespeicherte Teilungsfehler ausgelesen und zum Korrigieren der mittels
des einen Erfassungssignals erzielten Ermittlung herangezogen.
Eine zweite Stellschaltung D21 schaltet den Platt-
B chentische 5 entsprechend der Zonenanordnung und der
Aufeinanderfolge des schrittweisen Fortschaltens weiter,
die in der Speicherschaltung M1 gespeichert sind. Falls
aus dem Fotodetektor 47 oder 47* kein brauchbares Erfassunggsignal
erzieLbar ist, nämlich nur eine der Markierungen
oder nur ein Teil der Markierungen erfaßt wird,
wird dies von der Signalwählschaltung S erkannt, wobei
für die Berechnung die geeigneten Gleichungen gemäß der vorangehenden Beschreibung herangezogen werden.
Gemäß den vorangehend angeführten Gleichungen sollte
die Differenz AXR- Δχΐ_, die die Differenz zwischen der
Abweichung ^XR in der X-Richtung gemäß der Erfassung
durch das rechte Meßsystem und der Abweichung AXL in
der gleichen Richtung, jedoch gemäß der Erfassung durch
das linke Meßsystem ist, gleich "0" sein, da der Abstand
zwischen der linken und der rechten Markierung der Maske gleich dem Abstand zwischen der linken und der rechten
Markierung des Halbleiterplättchens 4 (in Projektion)
ist. Tatsächlich ist die Differenz jedoch manchmal nicht
"0". Die Hälfte der Differenz, nämlich C^XR-ÄXL)/2 wird
als "Teilungsfehler" bezeichnet.
Die Hauptgründe für das Auftreten des Teilungsfehlers
sind:
(1) Ein Zusammenziehen oder Ausdehnen des Halbleiterplättchens
4 oder der Maske 1,
(2) Eine Formänderung oder Krümmung des Halbleiterplättchens 4,
(3) Die Genauigkeit der Maske 1,
(4) Ein Unterschied hinsichtlich der Vergrößerung bzw.
-34- DE 41
£428225
eine Verzeichnung bei der Belichtung gegenüber dem vorangehenden
Belichtungsschritt,
(5) Eine Linsenwirkung der Fotplackschicht und dergleichen.
Das Ausmaß des Teilungsfehlers wird berechnet, wenn
die Abweichungen nach sowohl dem linken als auch dem
rechten Meßsystem ermittelt werden. Danach wird ermit-:
telt, ob die Abweichung innerhalb der Toleranzgrenzen
liegt oder nicht, so daß das Vorliegen des Teilungsfeh Lers kein Problem bei der Ausführung des Ausrichtungsvorgangs biIdet.
Die automatische Ausrichtung gemäß den teilweisen Markierungen
umfaßt den Fall, daß nur die Markierungen einer
Seite nutzbar sind, da die zu belichtende Zone an dem Randbereich des Halbleiterplättchens 4 liegt, und den
Fall, daß ein Teil der Richtmarkierungen beschädigt
oder weggefallen ist.
In einem jeden der Fälle erfolgt die automatische Ausrichtung
mittels der folgenden Kombinationen der Markierungstei
Ie:
(1) Erster und zweiter Markierungsteil,
(1) Erster und zweiter Markierungsteil,
(2) dritter und vierter Markierungsteil.,
(3) erster und vierter Markierungsteil oder
(4) zweiter und dritter· Markierungsteil.
Bei diesen vier jeweiligen Fällen (1) bis (4) werden die Lageabweichungen ΔΧ und ΔΥ aus folgenden Gleichungen
ermittelt:
Fall' (1): Gleichungen (1) und (2).
Fall (2): Gleichungen (3) und (4).
Fall (3): Gleichungen
Fall (2): Gleichungen (3) und (4).
Fall (3): Gleichungen
ΔΧ = (Wi-W2+W3'-W4')/4 ...(6)
und
ΔΥ = (-W1+W2-W3'+W4·)/4 ...(7)
ΔΥ = (-W1+W2-W3'+W4·)/4 ...(7)
de 415?428225
FaLL (4): GLeichungen
AX = (-W1'+W2'-W3+W4)/4 ...(8)
und
und
= (-W1•+W2V-W3+W4)/4 ...(9)
Bei jedem dieser FaLLe kann der TeiLungsfehler (AXR-AXD/2
nicht ermitteLt werden, der gLeich der Hälfte
der Differenz zwischen der mit dem Linken Meßsystem gemessenen Abweichung in der X-Richtung und der mit
dem rechten Meßsystem gemessenen Abweichung in der gleichen
Richtung ist. FaLLs daher die Messung bzw. Erfassung gemäß der TeiLmarkierung bezüglich eines HaLb Leiterp la11-chens
4 vorgenommen wird, das einen TeiLungsfehLer enthält,
ergibt sich durch den TeiLungsfehLer ein Ausrichtungsfeh
Le r.
Dieser Gesichtspunkt wird bei dem erfindungsgemäßen
Gerät besonders in Betracht gezogen. D.h. es ist beabsichtigt,
die Ausführung des Ausrichtungsvorgangs unter Berücksichtigung des TeiLungsfehLers auch dann zu ermöglichen,
wenn die Erfassung bzw. Messung allein auf den
teilweise vorliegenden Markierungen beruht. Das erfindungsgemäße
Vorgehen gründet auf den Umstand, daß in benachbarten Zonen das Ausmaß des TeiLungsfehlers nahezu
das gLeiche ist, so daß die Abweichung ΔΚ in der X-Richtung um das Ausmaß des TeilungsfehLers korrigiert
wird, das bei einer Zone ermittelt wird, die in der Nachbarschaft der infragestehenden Zone Liegt. Für das
Ausrichten wird die korrigierte Abweichung herangezogen.
Die Fig. 10 ist ein Ab Lauf di agramm zur ErLäuterung der
Betriebsvorgänge des automatischen Ausrichtungssystems,
das bei diesem dritten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Geräts zur Herstellung von HaIb Lei terse ha L-
-36- DE 4
15?428225
tungen verwendet wird. Die automatische Ausrichtung beginnt bei einem Schritt 301. Bei einem Schritt 302
wird ermittelt, ob die auszurichtende Zone mittels beider,
nämlich sowohl der linken als auch der rechten Markierungen ausgerichtet werden kann oder nicht.
Wenn dies der Fall ist, werden bei einem Schritt 303
die Abstände zwischen zwölf Richtmarkierungselementen
gemessen. Nach dem Abschluß der Messung werden nach den Gleichungen (1), (2), (3) und (4) die Abweichungen
an der linken und der rechten Seite berechnet. Ferner wird auch der Teilungsfehler EP = (AXR-AXL)/2 berechnet,
wonach der Teilungsfehler EP bei einem Schritt 305 in einen Speicher eingespeichert wird. Falls bei dem Schritt
302 das Ermittlungsergebnis "NEIN" ist, schreitet das
Programm von dem Schritt 302 zu einem Schritt 306 weiter. Bei dem Schritt 306 erfolgt die Abstandsmessung mit
den Markierungen einer Seite. Nach dem Abschluß des Meßvorgangs wird bei einem Schritt 307 die Abweichung
nach den Gleichungen (1) und (2), wenn die Markierungen mittels des linken Meßsystems erfaßt werden, oder nach
den Gleichungen (3) und (4) berechnet, wenn die Markierungen
mittels des rechten Meßsystems erfaßt werden.
Danach werden unabhängig davon, ob die Messung anhand
der Markierungen beider Seiten ausgeführt wurde oder
nicht, bei einem Schritt 308 die in dem Speicher gespeicherten Daten für den Teilungsfehler ausgelesen. Der
ausgelesene Teilungsfehler ist daher bei der Messung
an den Markierungen beider Seiten der Teilungsfehler der gerade behandelten Belichtungsfläche bzw. Zone oder
aber der bei der letzten Messung mit den Markierungen beider Seiten erzielte Teilungsfehler, wenn die gerade
ausgeführte Messung mit den Markierungen einer Seite
ausgeführt wird. Die gemessene Abweichung in der X-
0E 415
Richtung wird mittels einer dieser Teilungsfehler korrigiert,
so daß die Abweichung für das Linke Meß system
zu ^iXL + EP wird und die Abweichung für das rechte Meßsystem
zu /I XR +EP wird. Bei der Messung an den Markierungen
einer Seite erfolgt die gleiche Korrektur an der Abweichung, die an den Markierungen der linken oder
der rechten Seite gemessen wird.
Bei einem Schritt 309 wird ermittelt, ob die korrigierte
Abweichung innerhalb der zulässigen Toleranzgrenzen liegt oder nicht.
Falls die Toleranzgrenzen für die Abweichungen in der
X-Richtung und der Y-Richtung auf Koordinaten als gleichseitiges
Rechteck bzw. Quadrat ausgedrückt werden, sind
die Toleranzen folgendermaßen gegeben:
AXL + EP ^ T ...(10)
^XR + EP ^T ...(11)
AYL -^T ' ... (12)
f* T ... (13)
Diese Bedingungen für die Toleranzen bzw. die Zulässigkeit
sind auch bei der Messung anhand der Markierungen einer Seite anwendbar, nämlich als Ungleichungen (10)
und (12) für die Markierungen der linken Seite oder
als Ungleichungen (11)' und (13) für die Markierungen
der rechten Seite.
Falls die gemessenen Abweichungen nicht innerhalb der Toleranzgrenzen liegen, nämlich nicht den Ungleichungen
(10)', (11), (12) und (13) genügen, schreitet das Programm zu einem Schritt 310 weiter, bei dem ermittelt wird,
ob die Messung auf den Markierungen beider S.eiten beruht
oder nicht. Wenn dies der Fall ist, wird bei einem
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Schritt 311 das Ausmaß der TischversteL Lung berechnet.
Größen DX und DY für die VersteLLung in der X-Richtung
bzw. der Y-Richtung werden foLgender.maßen erzieLt:
DX = -(AXL+AXR)/2 ...(14)
DY = -(ÄYL+A/R)/2 ...(15)
FaLLs die Messung mitteLs der Markierung an einer Seite
vorgenommen wird, schreitet das Programm zu einem Schritt 312 weiter, bei dem bei diesem AusfuhrungsbeispieL der
Erfindung das Ausmaß der TischversteL Lung mit der Tei-Lungsfeh
Lerkorrektur berechnet wird. Wenn nur die rechten
Markierungen verwendet werden, ergeben sich foLgende VersteL Lungsgrößen:
DX = -(AXR-EP) (16)
DY = -AYR ...(17)
Wenn nur die Linken Markierungen verwendet werden, ergeben
sich foLgende VersteL Lungsgrößen:
DX = -(ÄXL+EP) (18)
DY = -ΔΥ L ...(19)
Daher erfoLgt die Korrektur des TeiLungsfehLers auch
dann, wenn die Messung aLLein auf Markierungen einer
Seite beruht; dadurch wird eine genaue Ausrichtung mög-L
i ch .
Nachdem die Berechnung der VersteLLungsgrößen abgeschLossen
ist, schreitet das Programm zu einem Schritt 313 weiter, bei dem der Tisch versteLLt wird. Danach kehrt
das Programm zu dem Schritt 302 zurück, wonach der Meßvorgang wiederhoLt wird. Diese ProgrammschLei,ie wird
wiederhoLt, bis die Abweichung innerhaLb der ToLeranzgrenzen Liegt.
Wenn ermittelt wird, daß die Abweichung innerhalb der
Toleranzgrenzen Liegt, schreitet das Programm von dem
Schritt 309 zu einem Schritt 314 weiter, so daß daher
die automatische Ausrichtung endet.'
Anhand der Fig. 10 wurde der Fall erläutert, daß aufgrund der Lage der Be LichtungsfLäche bzw. Zone nur die Markie-.
rungen an einer Seite verwendet wurden; wie bei dem Fall des vorangehend beschriebenen Ausführungsbeispiels
IQ kann aber die Te i Lungsfeh ler kor rektu r auf die gleiche
Weise auch dann vorgenommen werden, wenn ein Teil einer
Markierung nicht erfaßbar ist. Ferner erfolgt bei dem
anhand der Fig. 10 beschriebenen Ausführungsbeispiel die Korrektur des TeilungsfehLers gemäß dem Teilungsfehler,
der bei der Letzten Messung mit den Markierungen beider Seiten gemessen wurde; alternativ ist es aber
auch möglich, einen Mittelwert aus Daten für einige letzte Entwicklungsflächen bzw. Zonen heranzuziehen.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung werden bei diesem Ausführungsbeispiel der Erfindung für die Ausrichtung
Korrekturen sowohl mittels des Teilungsfehlers als auch
mittels der Drehabweichung vorgenommen, wenn die Ausrichtung nur nach Markierungen einer Seite ausgeführt wird;
daher ist eine hochgenaue Ausrichtung möglich.
Als nächstes wird ein viertes Ausführungsbeispiel des
erfindungsgemäßen Geräts zur Herstellung von Halbleiterschaltungen
beschrieben. Bei diesem Ausführungsbeispiel
wird auch der FaIL berücksichtigt, daß sowohl die Abweichung
ΔΥΚ. in der Y-Richtung mittels des echten Meßsystems
als auch die Abweichung ΔΥΙ- in der Y-Richtung mittels
des 'linken Meßsystems nicht erfaßt werden. In diesem Fall kann die Drehversetzung 4-Θ nicht nach der Gleichung
(5) ermittelt werden. Daher ist bei der ersten Belichtungsfläche bzw. Zone des Ha Ib Leiterplättchens 4, für
-40- DE 415
5428225
die die Ausrichtung unter Verwendung nur eines Teils
der Markierungen ausgeführt werden soLL, die Genauigkeit der Ausrichtung nicht hoch, da jdie Korrektur mittels
des TeiLungsfeh le rs und die Korrektur durch Drehversetzung
nicht vorgenommen werden können. Die Verringerung
der Genauigkeit kann dadurch vermieden werden, daß die Tei Imarkierungs-Ausrichtung gemäß einer vorangehenden
Doppe I seitenmarkierungs-Ausrichtung korrigiert wird.
In Anbetracht dessen- sollen erfindungsgemäß für die
erste Ausrichtung beide Richtmarkierungen bzw. die Richtmarkierungen
beider Seiten verwendet werden. Dadurch wird verhindert, daß bei der ersten Belichtung die Ausrichtungsgenauigkeit
verringert ist, weil die Ausrichtung
nach einem Teil der Richtmarkierungen vorgenommen worden
ist. Es werden die wichtigsten Betriebsablauf sehritte
bei dem Ausführungsbeispiel erläutert.
(1) Falls die Belichtungsflächen- bzw. Zonenanwandlung
durch die Bedienungsperson so bestimmt ist, daß die
erste Belichtungsfläche bzw. Zone an einer Stelle liegt,
an der nur die Markierungen einer Seite verwendbar sind, wird das HaIb LeiterpIättchen 4 derart fortgeschaltet,
daß die erste Belichtung an einer Zone erfolgt, bei der die Markierungen beider Seiten verwendbar sind. Dann
wird die automatische Ausrichtung für diese Belichtung ausgeführt. Die von der Bedienungsperson gewählte erste
Zone bzw. Belichtungsfläche wird danach oder nach allen
anderen Belichtungen belichtet.
(2) Falls bei der gemäß dem vorstehenden Absatz durch
das Fortschalten gewählten Aufnahmefläche oder Zone
die automatische Ausrichtung nach den Markierungen beider Seiten nicht möglich ist, weil beispielsweise die,Markierungen
einige Fehler bzw. Ausfälle haben, wird keine Einseitenmarkierungs-Messung ausgeführt, sondern das
3426225
-41- DE 4155
HaLbLeiterpLättchen weiter fortgeschaLtet, bis eine
Zone erreicht ist, bei der die Doppelseitenmarkierung-Messung
mögLich ist. Danach wird der Ausrichtungsvorgang
ausgeführt.
5
5
Die Figur 11 ist ein AbLaufdiagramm zur ausführLichen
ErLäuterung des Betriebsablaufs bei dem vierten AusführungsbeispieL
des erfindungsgemäßen Geräts zur Herstellung von HaLb Leiterscha Ltungen.
Zuerst wird das HaLbLeiterpLättchen 4 unter das Projektions
L i nsensy stern befördert. Bei einem Schritt 301* beginnt der FortschaLt- und Wiederholungsbelichtungs-Betrieb
bzw. Stufenfort se haLtbetrieb . Bei einem Schritt
3021 wird ermittelt, ob mindestens eine Belichtung ausgeführt
worden ist oder nicht. D,i bei dem ersten Belichtungsvorgang
zuvor keine Belichtung ausgeführt worden ist, schreitet das Programm zu einem Schritt i Q 3 ' weiter,
bei dem aus der Information über die Belichtungsflächen-
bzw. Zonenanordnung ermittelt wird, ob die erste Belichtung an einer Zone erfolgen soll, bei der beide Markierungen bzw. die Markierungen beider Seiten verwendbar
sind.
Hierzu wird die Belichtungsflächen- bzw. Zonenanordnung
anhand der Fig. 12 erläutert, die eine Draufsicht auf das Halbleiterplättchen 4 darstellt. Jede von Flächen
P an dem Ha Ib Lei terplät t chen 4 steLlt eine Zone dar,
die mittels eines einzigen Be Lichtungsvorgangs erfaßt
wird. Eine einzelne Zone enthält vier Schaltungsbausteine,
von denen jeder als Fläche T definiert ist.
Die im unteren Teil einer jeweiligen Zone angegebenen Zahlen steLlen die BeLichtungsnummer dar. Die Richtmarkierungen
für die automatische Ausrichtung bei der zweiten
Belichtung bzw. für die zweite Zone liegen beispiels-
-42- DE 4155
χ weise an einer Stelle A (rechte Markierungen) und an
einer Stelle B (linke Markierungen). Aus der Fig. 12
ist ersichtlich, daß eine R i cKtrna r ki erung-Ste I le A1
für die erste Belichtung bzw. die' erste Zone nicht auf
der Fläche des Halbleiterplättchens liegt, so daß die
Ausrichtung nur nach den linken Markierungen ausgeführt
werden kann.
Daher liegt bei der · Belichtungsflächen-Anordnung nach
Fig. 12 die Belichtungsfläche bzw. Zone Nr. 1 so, daß
eine Ausrichtung nach Markierungen einer Seite vorgenommen werden muß. Aus den vorstehend beschriebenen Gründen
wird für die Zone Nr. 1 das Ausrichten nicht ausgeführt, so daß das Programm von dem Schritt 3031 direkt zu einem
Schritt 315* fortschreitet (Fig. 11). Bei einem Schritt
315' wird ermittelt, ob alle Belichtungen ausgeführt
worden sind oder nicht. Da bisher noch keine Belichtung
ausgeführt wurde, schreitet das Programm zu einem Schritt 316' weiter, bei dem das Halbleiterplättchen zu der
nächsten Belichtungsfläche bzw. Zone fortgeschaltet
wird, wonach das Programm zu dem Sch-ritt 302' zurückkehrt.
D.h., falls die Belichtungszone Nr. 1 eine Zone
zur Ausrichtung nach Markierungen einer Seite ist, wird das Halbleiterplättchen sofort zu der Zone Nr. 2 fortgeschaltet.
Bei dem Beispiel nach Fig. 12 ist bei der Zone Nr. 2 eine Ausrichtung nach den Markierungen beider
Seiten möglich, so daß das Programm über den Schritt 303' zu einem Schritt 304' fortschreitet. Bei dem Schritt
304' wird die automatische Ausrichtung nach den Markierungen beider Seiten vorgenommen. Nach der richtigen
bzw. vollständigen automatischen Ausrichtung schaltet·
das Programm von einem Schritt 305 zu einem Schritt
306 weiter, bei dem durch einen vorbest i mmten ^.Be I i chtungsprozeR
das Muster der Maske 1 auf das Halbleiterplättchen
4 gedruckt wird.
-43- DE 4155
Nachdem die Belichtung beendet ist, schaLtet das Programm zu einem Schritt 3071 weiter, bei dem ermittelt wird,
ob vor dieser Belichtung eine Belichtung bzw. Zone ausgelassen
oder übersprungen wurde. v' Bei diesem Bei .piel
wurde die Be Iichtungstlache bzw. Zone Nr. 1 übersprungen,
so daß das Programm zu einem Schritt 3081 fortschreitet,
bei dem der PI ät t chent i sch so verstellt wird, daß die
Belichtungszone Nr. 1 unter das Objektiv- bzw. Projektionslinsensystem gelangt. Da zu diesem Zeitpunkt vor
der Belichtungszone Nr. 1 schon eine Zone belichtet
worden ist und jetzt nicht verwendbare Richtmarkierungen
an beiden Seiten vorliegen, schreitet das Programm über den Schritt 3021 und einen Schritt 309" zu einem Schritt
312' weiter. Bei dem Schritt 312' wird die aus den P!arkierungen
einer Seite für die Zone Nr. 1 erzielte Infoi—
mation über die Lageabweichung mit der bei dem Ausrichten
der Zone Nr. 2 erhaltenen Information, nämlich der Information über den Teilungsfehler und die Drehversetzung
dieser Zone korrigiert. Danach wird die Ausrichtung
für die Be I ichtungsfLache bzw. Zone Nr. 1 ausgeführt.
Falls für die Zone Nr. 1 die Ausrichtung nach den Markierungen beider Seiten möglich ist und diese automatische
Ausrichtung ausgeführt worden ist, liegt keine ausgelassene
Zone vor, so daß das Programm von dem Schritt 307' zu den Schritten 315' und 316' fortschreitet. Dadurch
wird der Tisch in die Stellung für die nächste Belichtung
fortgeschaltet. Falls bei dem Schritt 304' die automatische
Ausrichtung nach den Markierungen beider Seilen wegen eines Fehlens oder einer Beschädigung von Richtmarkierungen
nicht möglich ist, wird für diese Belichtung keine
automatische Ausrichtung nach einem Teil der Markierungen vorgenommen; das Programm schreitet daher von dem Schritt ^, 305' zu
automatische Ausrichtung nach einem Teil der Markierungen vorgenommen; das Programm schreitet daher von dem Schritt ^, 305' zu
-44- DE 4155 . V
den Schritten 315' und 316" fort, so daß zu der, nächsten,;
Zone fortgeschaltet wird. . .·
Die vorstehend beschriebenen Ablauf vorgänge können fol*-
gendermaßen zusammengefaßt werden: \. -v-
(1) Falls die Zone 1 eine Zone zur Ausrichtung nach Γ
Markierungen einer Seite ist und die Zone 2 eine. Zone1:.;
zur Ausrichtung nach- Markierungen beider Seiten, ist, '-'
ist die Reihenfolge: Zone 2 - Zone 1 *· Zone 3 r Zone ,
(2) Falls die Zone 1 eine Zone zur Ausrichtung nach -f.·
Markierungen einer Seite ist und bei der Zone 2 eine Ausrichtung nach Markierungen beider Seiten nicht möglich ;
ist, ist die Reihenfolge: Zone 3 - Zone 1 - Zone 2 -.
Zone 4...
(3) Falls die Zone 1 eine Zone zur Ausrichtung nach Markierungen beider Seiten ist, ist die Reihenfolge:'
Zone 1 - Zone 2 - Zone 3 - Zone 4...
In jedem dieser Fälle hat die zuerst belichtete Zone verwendbare Richtmarkierungen an beiden Seiten. :
■'.; Nachdem mindestens eine Belichtung ausgeführt worden
ist, schreitet das Programm von dem Schritt 302' zu '
dem Schritt 309* weiter. Dabei wird aus der vorbestimmten
Zonenanordnungs-Införmation ermittelt, ob die gerade
zu behandelnde Zone Richtmarkierungen an beiden Seiten ·
oder an nur einer Seite hat. Danach wird die Ausrichtung bei "einem Schritt 310' nach den Markierungen beider
Seiten oder bei dem Schritt 312' nach den Markierungen
nur einer Seite ausgeführt.
■ ■
-45- DE 4155
Falls bei dem Schritt 310' die Ausrichtung nach den Markierungen beider Seiten beispielsweise wegen irgendwelcher
Fehler an den Richtmarki,e.rungen nicht möglich
ist, schreitet das Programm von einem Schritt 311* zu
dem Schritt 312' weiter, bei dem die automatische Ausrichtung
nach dem verwendbaren Teil der Markierungen vorgenommen wird. Falls die automatische Ausrichtung
nach dem Teil der Markierungen bzw. nach Markierungen
einer Seite nicht möglich ist, schreitet das Programm
zu einem Schritt 3141 weiter, bei dem an einem Anzeigefeld
durch Zeichen, Schrift oder dergleichen angezeigt
wird, daß das Ausrichten nicht möglich ist. In diesem
Fall kann das HaIbIeiterpLättchen 4 zu der nächsten
Zone fortgeschaltet werden, ohne daß diejenige Zone d«s Halbleiterplättchens belichtet wird, an der die
Ausrichtung nicht möglich ist, oder es kann von der Bedienungsperson eine Ausrichtung von Hand vorgenommen
werden.
Wenn die automatische Ausrichtung nach allen Markierungen oder einem Teil der Markierungen möglich ist, schreitet
das Programm über die Schritt 310' und 311' oöer die
Schritte 312' und 3131 zu dem Schritt 306' weiter. Bei
diesem wird der Belichtungsvorgang ausgeführt. Auf diese
Weise werden alle Zonen des Halbleiterplättchens belichtet.
Danach schreitet das Programm zu einem Schrott 317' weiter, bei dem der Fortschalt- und Belichtungs-Vorgang
endet.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung wird bei diesem Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Geräts die
Anzahl brauchbarer Bausteine aus einem einzelnen HaIblelterplättchen
gesteigert. Da ferner die erste .Ausrichtung an einer solchen Zone des Halbleiterplättchens
vorgenommen wird, an der mehrere Richtmarkierungen (Mar-
-46- DE 4155 -..■ , '·.■
kierungen an beiden Seiten) verwendbar sind, können
nachfolgende Zonen, an denen nur ein Teil der Richtmar- ,
kierungen verwendbar ist, mit hohler Genauigkeit aus ge- ;
richtet werden. ■■'· .
Ein Gerät zur Herstellung von Ha Iblei ter ächa I tungen, j ·,
bei der ein Halblei terplättcben eine Vielzahl von Zonen,;;.
hat, die nacheinander mit dem Muster einer Maske belich-;':; >;■
tet werden, hat eine Meßeinrichtung zum Ermitteln, der >*''_■":ν
Relativlage zwischen der Maske und einer zu belichtenden \
Zone und zum Erzeugen von Ausgangssignalen, die die ■
Relativlage darstellen, eine Belichtungseinrichtung ": ·
zum Belichten der Zone mit dem Maskenmuster nach deren ·;
Ausrichtung, eine Einrichtung zur Abgabe einer Information für das Bestimmen der Zone, die belichtet werden ;
soll, einen Wähler, der entsprechend der Information die AusgangssignaIe der Meßeinrichtung alle oder zum
Teil wählt, und eine Einrichtung, die aus den gewählten
Ausgangssignalen der Meßeinrichtung eine Lageabweichung zwischen dem Maskenmuster und der hiermit zu belichtenden ■;
Zoneermittelt. ' ■:
Claims (6)
- TiEDTKE - Bühling - Kinne - Grupe .- : . I- >«****beimepa «■Π /■% O "Diplr-Ing. H.Tiedtke STΓΈ1_Ι-ΜΑΝΝ * laRAMS " OTRUIF Diol.-Chem. G. BühlinaDipl.-Chem. G. Bühling Dipl.'lng. R. Kinne
Dipl.-Ing. R Grupe
Dipl.-Ing. B. Pellmann 3428225 Dipl.-Ing. K. GramsDipl.-Chem. Dr. B. StruifBavariaring 4, Postfach 20 24< 6000 München 2TeL: 089-5396 53 Telex: 5-24845 tipat Telecopier: O 89 - 537377 cable: Germaniapatent Münch-31. JuLi 1984 DE 4155Patentansprüche1 .J Gerät zur Herstellung von HaLb Lei terschaItungen,v~6ei dem ein Ha Lb Lei terp Lätt chen eine Vielzahl von Zonen hat, die nacheinander mit dem Muster einer Maske zu belichten sind, gekennzeichnet durch eine Meßeinrichtung (43 bis 47) zum Messen der Relativlage zwischen der Maske (1) und der zu belichtenden Zone (P) und zum Erzeugen von Ausgangssigna len, die die Relativlage darstellen, eine Beiichtungseinrichtung zum Belichten der Zone mit dem Maskenmuster nach deren Ausrichtung, eine Informationsgebereinrichtung (M1) zur Abgabe von Informationen für das Feststellen einer gerade zu belichtenden Zone, eine Wähleinrichtung (M2), mit der entsprechend der Informationsgebereinrichtung die AusgangssignaLe der Meßeinrichtung alle oder zum Teil wählbar sind, und eine Ermittlungseinrichtung, mit der gemäß den gewählten Ausgangssignalen der Meßeinrichtung eine Lageabweichung zwischen dem Maskenmuster und der mit diesem zu belichtenden Zone ermittelbar ist. - 2. Gerät zur Herstellung von Halbleiterscha.Ltungen, bei dem zwei jeweils mit Richtmarkierungen versehene Objekte automatisch unter Verwendung von MeßsignaLen ausgerichtet werden, die entsprechend den Richtmarkierungen erzeugt werden, gekennzeichnet durch eine Ermittlungseinrichtung (Fig. 6) zum Ermitteln, ob die Meßsig-Dresdner Bank (München) KIo. 3939844 Deutsche Bank (München) Kto. 2861060 Postscheckamt (München) Kto. 670-43-804A/2.3-2- DE 4155nale geeignet sind oder nicht, und eine auf die Ermitt-Lungseinrichtung ansprechende Einrichtung zum gegenseitigen Ausrichten der Objekte (1 , 4) aufgrund derjenigen Meßsignale, die von der ErmittLungseinrichtung als geeignet ermittelt worden sind.
- 3. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Richtmarkierungen (20, 20', 21, 21') zwei Richtmarkierungsberei c.h e aufweist.
- 4. Ausrichtungsverfahren, dadurch gekennzeichnet, daß an einem Objekt angebrachte Richtmarkierungen erfaßt werden, daß Richtmarkierungen ermittelt werden, die in einem vorbestimmten Zustand erfaßt werden, und daßObjekte nur entsprechend den bei der Ermittlung festgestellten Richtmarkierungen versetzt werden.
- 5. Gerät zur Herstellung von HaIb LeiterschaItungen, bei dem eine Maske und ein Ha Ibleiterplättchen verwendet werden, die jeweils mehrere Richtmarkierungen haben, gekennzeichnet durch eine Wähleinrichtung (S) zum Wählen aller oder eines Teils der Richtmarkierungen (20, 21), eine Ermittlungseinrichtung zum ErmitteLn der Relativlage zwischen der Maske (1) und dem HaLb LeiterpLättchen (4) aufgrund der mittels der Wähleinrichtung gewählten Richtmarkierungen, eine auf die Ermittlungseinrichtung ansprechende Richteinrichtung (D1) zum gegenseitigen Ausrichten der Maske und des Ha Ib LeiterpLättchens, eine Belichtungseinrichtung zum Belichten des Halbleiterplättchens mit dem Muster der Maske, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Lageabweichung zwischen der Maske und dem Halbleiterplättchen allein aufgrund der Erfassung aller der mehreren Richtmarkier u-n gen und eine Korrektureinrichtung zum Korrigieren einer Information bezüglich der Relativlage, die mittels eines Teils-3- DE 4155der mehreren Richtmarkierungen ermittelt ist, entsprechend der Lageabweichung.
- 6. Gerät zur Herstellung von Halbleiterschaltungen, bei dem die Relativlagen eines Halblei terplättchens und einer Maske erfaßt werden, die jeweils mehrere Richtmarkierungen haben, und das HaLbIeiterpIättchen und die Maske entsprechend der erfaßten Relativlage ausgerichtet werden, wonach das Halbleiterplättchen mit dem Muster der Maske belichtet wird, gekennzeichnet durch eine Wähleinrichtung zum Wählen aller oder eines Teils der mehreren Richtmarkierungen (20, 21) und eine Einrichtung, die alle Richtmarkierungen wählt, wenn das Halbleiterplättchen (4) erstmalig mit dem Buster der Maske(1) beli chtet wird.
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