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Verfahren zum Laminieren eines Films und Vorrichtung
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zur Durchführung des Verfahrens Die Erfindung betrifft ein Verfahren
zum Laminieren eines Films unter Druck und Wärme auf die sich gegenüberliegenden
Seiten eines Schichtträgers, dessen beiden Seiten erwärmt sind und eine Vorrichtung
zur Durchführung dieses Verfahrens.
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Aus den offengelegten europäischen Patentanmeldungen 0 040 842, 0
040 843 und 0 041 642 sind Laminierverfahren bekannt, bei denen ein Substrat bzw.
ein Schichtträger beidseitig unter Druckanwendung mit einem Trockenresist laminiert
wird. Der Trockenresist wird für die jeweilige zu laminierende Seite des Schichtträgers,
beispielsweise eine Leiterplatte, von einer Vorratsrolle abgezogen und einem Paar
von Laminierwalzen zugeführt, durch deren Spalt die beiden Trockenresistfilme und
der dazwischen befindliche Schichtträger hindurchlaufen. Vor dem Laminieren wird
auf die Oberfläche des Schichtträgers bzw. der Leiterplatte eine dünne Flüssigkeitsschicht
aufgebracht, die eine Zwischenschicht zwischen der Oberfläche der Leiterplatte und
dem jeweiligen Trockenresistfilm während des Laminiervorgangs bildet. Diese dünne
Flüssigkeitsschicht wird von der Oberfläche der Leiterplatte durch Absorption in
den Trockenresistfilm während des Laminierens entfernt.
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Die US-PS 4,214,936 betrifft ein Laminierverfahren,
bei
dem horizontal transportierte Platten, die kontinuierlich vorwärtsbewegt und kontaktbeheizt
werden, beidseitig laminiert werden, wobei die Umfangsgeschwindigkeit der Laminierwalzen
größer als die Vorschubgeschwindigkeit der Platten ist. Sobald ein Sensor die Hinterkante
der vorgeheizten Platte kurz vor ihrem Eintritt in den Spalt zwischen den Laminierwalzen
feststellt, werden diese erst nach einer gewissen Verzögerungszeit gestoppt, die
es ermöglicht, daß die Hinterkante der Platte den Laminierspalt passiert. Sobald
die Vorderkante der nachfolgenden Platte festgestellt wird, beginnen die Laminierwalzen
von neuem zu rotieren und die in den Spalt eintretende Platte wird laminiert. Dieser
Vorgang wird für jede neue Platte wiederholt, und somit wird ein gleichbleibender
Abstand zwischen den einzelnen laminierten Platten nach dem Spalt erhalten. Es entsteht
somit ein zusammenhängendes Band aus zwei Trockenresistschichten, zwischen denen
jeweils im gleichen Abstand die Platten eingeschlossen sind. Die Verbindungslänge
der Resistschichten zwischen zwei Platten beträgt beispielsweise 18 mm.
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Bei den bekannten Laminierverfahren werden die Trockenresistfilme,
die auf die Platte auflaminiert werden, stets von zwei Vorratsrollen der Laminierstation
zugeführt, so daß für die Vorratshaltung der Trockenresistfilme ein doppelter Aufwand
erforderlich ist. Von Nachteil ist des weiteren bei dem Laminierverfahren nach der
US-Patentschrift, daß ein verhältnismäßig
großer Abfall an Trockenresist
entsteht, da die einzelnen Platten über Verbindungsstücke aus Trockenresist zusammenhängen
und diese Verbindungsstücke durch-und abgeschnitten werden müssen, um die einzelne
laminierte Platte weiterverarbeiten zu können.
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Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum
Laminieren eines Films, wie beispielsweise eines Trockenfotoresists, auf einen Schichtträger
zu schaffen, die mit einer einzigen Vorratsrolle für den aufzulaminierenden Trockenfotoresist
auskommen und bei denen der Verschnitt an Trockenresistmaterial kleingehalten wird.
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Diese Aufgabe löst erfindungsgemäß ein Verfahren, das durch folgende
Schritte gekennzeichnet ist: (a) der Schichtträger wird in senkrechter Lage beidseitig
flächendeckend beheizt, (b) eine vorbestimmte Länge des Films wird von einer einzelnen
Vorratsrolle abgezogen, horizontal über die Oberseite von und im Abstand zu einer
Laminierstation geführt und mit Hilfe von Vakuum horizontal aufgespannt, (c) der
Film wird zu beiden Seiten und in Abständen von der Laminierstation durchgeschnitten,
(d)
der aufgeheizte, senkrecht aufgerichtete Schichtträger wird auf den horizontal aufgespannten
Film geführt und auf diesen aufgesetzt, (e) der Schichtträger zieht beim Absenken
auf die Laminierstation den Film in den Spalt zwischen zwei Laminierwalzen, die
rotieren und den Verbund aus Schichtträger und dem sich gleichzeitig auf die sich
gegenüberliegenden Seiten des Schichtträgers anlegenden Film vertikal nach unten
transportieren, wobei der Film unter Druckkontakt auf die beiden Seiten des Schichtträgers
laminiert wird.
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Die weitere vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahrens ergibt sich
aus den Merkmalen der Patentansprüche 2 bis 6.
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Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, mit einer Vorratsrolle
aus Trockenfotoresist als Film, einem Behälter für die Aufnahme der zu laminierenden
Schichtträger, einer Heizstation für die Schichtträger, einer Laminierstation aus
zwei Laminierwalzen und Vakuumeinrichtungen zum Aufspannen des Trockenfotoresists
sowie Schneideinrichtungen zum Zuschneiden des Trockenfotoresists ist dadurch gekennzeichnet,
daß die Heizstation aus zwei aufrecht stehenden Heizplatten besteht, die horizontal
und vertikal beweglich sind und deren Unterkanten über einen Spalt zwischen den
Laminierwalzen der Laminierstation positioniert sind, daß zu beiden Seiten der Laminierstation
je ein
Vakuumtisch mit horizontaler Saugplatte angeordnet ist und
daß eine Greifereinrichtung einen streifenförmigen Abschnitt des Trockenfotoresists
festhält und in parallelen Führungen zu den Vakuumtischen horizontal aus einer Stellung
zwischen der Vorratsrolle und einer ersten Schneideinrichtung über die Laminierstation
hinweg bis in eine Stellung nach einer zweiten Schneideinrichtung verfahrbar ist.
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Die weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung ergibt sich
aus den Merkmalen der Patentansprüche 8 bis 21.
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Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert.
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Es zeigen: Fig. 1 eine schematische Explosionsdarstellung der einzelnen
Stationen der Vorrichtung nach der Erfindung, Fig. 2 eine schematische Schnittansicht
der -Vorrichtung nach Fig. 1, Fig. 3 eine Seitenansicht im Schnitt der Laminierstation
der Vorrichtung, Fig. 4 schematisch eine Greifervorrichtung für das Festhalten und
Abziehen des Trockenfotoresists von einer Vorratsrolle,
Fig. 5
in perspektivischer Ansicht eine Greifervorrichtung für den Trockenfotoresist, bestehend
aus zwei -Mäanderleisten, und Fig. 6a und 6b im Schnitt die beiden Laminierwalzen
der Laminierstation und zugeordnete Vakuumelemente.
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Eine in Fig. 1 schematisch dargestellte Laminiervorrichtung 1 enthält
in einem Vorratsmagazin 2 Schichtträger 3, wie beispielsweise Leiterplatten, Multilayerschichten,
Metallplatten oder dgl., auf die ein Film aus beispielsweise Trockenfotoresist 14
beidseitig auflaminiert wird. Aus dem Vorratsmagazin 2 wird mittels eines nicht
dargestellten mechanischen Fingers der Schichtträger 3 erfaßt und in Richtung der
Pfeile A in einer nicht gezeigten Führung zu einer Heizstation 4 transportiert,
die aus horizontal und vertikal verfahrbaren Heizplatten 5 und 6 besteht. Die horizontale
Verfahrbarkeit der Heizplatten 5 und 6 ist durch die Pfeile B und B' angedeutet.
Die vertikale Verschiebung der Heizplatten erfolgt entlang schematisch dargestellter
Führungen 7 und 8. Der Aufbau und die Funktionsweise der Heizstation 4 wird im einzelnen
anhand von Fig. 2 nachfolgend beschrieben werden. In der Heizstation 4 erfolgt eine
flächendeckende Beheizung der bei den Seiten des Schichtträgers 3, und nach Beendigung
dieses Vorgangs wird der Schichtträger 3 nach unten aus der Heizstation 4 in Richtung
einer Laminierstation 9 ausgetragen. Die Laminierstation 9 umfaßt zwei Laminierwalzen
10
und 11, die einen Spalt d (vgl. Fig. 2) einschließen. Die Laminierwalzen 10 werden
von einem Motor 12 angetrieben.
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Eine einzige Vorratsrolle 13 für den Trockenfotoresist 14 ist seitlich
von einem Vakuumtisch 17 so angeordnet, daß der Trockenfotoresist 14 von der Vorratsrolle
13 ohne Umlenkung horizontal auf den Vakuumtisch 17 geführt ist. Oberhalb und nahe
dem rechten Abschluß des Vakuumtisches 17 befindet sich eine erste Schneideinrichtung
15, beispielsweise ein Rotationsmesser, das höhenverstellbar ist und in Richtung
des Doppelpfeils G quer zur Längsrichtung des Trockenfotoresists 14 verfahren werden
kann. Die erste Schneideinrichtung 15 ist entweder ortsfest oder in Längsrichtung
des Vakuumtisches 17 verschiebbar. Links von der Laminierstation 9 ist ein weiterer
Vakuumtisch 18 vorhanden, der in ähnlicher Weise wie der Vakuumtisch 17 aufgebaut
ist. Beide Vakuumtische sind ortsfest angeordnet und ihre oberen Deckflächen sind
als Saugplatten mit kleinen Löchern ausgebildet. Oberhalb des Vakuumtisches 18 befindet
sich eine zweite Schneideinrichtung 19, gleichfalls ein Rotationsmesser, das ebenso
wie die erste Schneideinrichtung 15 quer zur Längsrichtung des Vakuumtisches 18
verfahrbar ist. Des weiteren kann auch die zweite Schneideinrichtung 19 höhenverstellt
werden und entweder ortsfest angeordnet sein oder in Längsrichtung des Vakuumtisches
18 verschoben werden. Zu beiden Seiten der Vakuumtische 17 und 18 befinden sich
durchgehende Führungen 21,22, entlang denen in Richtung des
Doppelpfeils
C eine noch näher zu beschreibende Greifereinrichtung für den Trockenfotoresist
14 verfahrbar ist. Ein streifenförmiger Abschnitt nahe der Anfangskante des Trockenfotoresists
14 wird von der Greifereinrichtung erfaßt, die anschließend über die Laminierstation
9 hinaus an die Hinterkante des Vakuumtisches 18 verfahren wird. Während dieses
Vorgangs stehen die beiden Vakuumtische 17 und 18 unter Saugdruck, ohne daß der
Transport des Trockenfotoresists 14 beeinträchtigt wird. Der Saugdruck stellt sicher,
daß der Trockenfotoresist 14 faltenfrei auf den Saugplatten aufgespannt ist, wenn
die Greifereinrichtung ihre Endposition erreicht hat. Der Trockenfotoresist 14 überspannt
dabei auch den Spalt d (vgl. Fig. 2) zwischen den Laminierwalzen 10 und 11. Sobald
der aufgeheizte Schichtträger 3 von der Heizstation 4 nach unten geführt wird und
mit seiner Unterkante den horizontal aufgespannten Trockenfotoresist 14 berührt,
zieht er beim weiteren Absenken auf die Laminierwalzen 10 und 11 den Trockenfotoresist
14 in den Spalt zwischen den beiden rotierenden Laminierwalzen 10 und 11 mithinein.
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Den Verbund aus Schichtträger 3 und dem sich gleichzeitig auf die
sich gegenüberliegenden Seiten des Schichtträgers 3 anlegenden Trockenfotoresist
14 transportieren die Laminierwalzen 10 und 11 in Richtung des Pfeils D nach unten.
Beim Durchgang des Schichtträgers 3 durch die Laminierstation 9 wird der Trockenfotoresist
14
unter Druckkontakt auf die beiden Seiten des Schichtträgers 3 laminiert und es tritt
der laminierte Schichtträger 3' in Richtung des Pfeils D aus der Laminierstation
9 nach unten aus. Danach wird der laminierte Schichtträger 3' entweder um 900 geschwenkt
und in Richtung des Pfeils E horizontal weitertransportiert oder ohne Schwenkung
in Richtung des Pfeils F in einen Ablagebehälter 23 bewegt, aus dem dann die laminierten
Schichtträger 3' zur Weiterverarbeitung entnommen werden können.
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Aus der schematischen Schnittansicht der Vorrichtung in Fig. 2 ist
ersichtlich, daß die beiden Heizplatten 5 und 6 der Heizstation 4 Heizleiter 35
bzw. 36 aufweisen, die elektrisch beheizt werden. Die eine Heizplatte 5 ist mit
einem Pneumatikzylinder 34 mit Magnetventil verbunden, der die Heizstation 4 entlang
der Führung 8 vertikal auf- und abbewegt. Ein Pneumatikzylinder 33 mit Magnetventil
bewegt die Heizplatte 6 horizontal hin und her. Sobald sich ein Schichtträger 3
zwischen den Heizplatten 5 und 6 befindet, verfährt der Pneumatikzylinder 33 die
Heizplatte 6 in Richtung der Heizplatte 5, wodurch der Schichtträger 3 zwischen
den Heizplatten festgehalten wird. Danach wird der Pneumatikzylinder 34 in Bewegung
gesetzt, um die Heizstation 4 mit dem festgehaltenen Schichtträger 3 abzusenken.
Aus Gründen der besseren übersichtlichkeit sind in Fig. 2 die entsprechenden Pneumatikzylinder
zum Vertikalverfahren der Heizplatte 6 und zum Horizontalverfahren der Heizplatte
5 nicht eingezeichnet.
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Unterhalb der Heizstation 4 ist ein winkelförmiger Anschlag 31 vorgesehen,
der in die Wegstrecke des Schichtträgers 3 von der Heizstation 4 zur Laminierstation
9 hineinragt. Der Anschlag 31 ist mit einem Pneumatikzylinder 32 mit Magnetventil
verbunden, der den Anschlag 31 aus der Wegstrecke herauszieht, wenn das Magnetventil
mit einem entsprechenden Steuerimpuls beaufschlagt wird. Sobald der Schichtträger
3, beispielsweise eine Leiterplatte, in die Heizstation 4 eintritt, werden die Heizplatten
5 und 6 leicht abgesenkt und horizontal aufeinander verfahren, bis sie den Schichtträger
3 vollflächig umschließen. Es erfolgt die Aufheizung des Schichtträgers 3 auf eine
Temperatur im Bereich von 70 bis 120 c, danach werden die Heizplatten 5 und 6 leicht
geöffnet, so daß der Schichtträger 3 nach unten absinkt und gegen den Anschlag 31,
der in die Bahn des Schichtträgers 3 eingefahren ist, anliegt. Dabei steht der Schichtträger
3 nach unten etwa um 3 bis 4 cm von den Unterkanten der Heizplatten 5 und 6 vor.
Als nächstes schließen die Heizplatten 5 und 6 und halten den Schichtträger 3 fest.
Der Anschlag 31 wird aus der Bahn des Schichtträgers 3 gezogen. Danach erfolgt ein
Absenken der Heizstation 4, bis die Unterkante des Schichtträgers 3 von den angetriebenen
und umlaufenden Laminierwalzen 10 und 11 erfaßt wird. Die Umfangsgeschwindigkeit
der Laminierwalzen 10 und 11 ist größer als die Absenkgeschwindigkeit der Heizstation
4. Sobald die Laminierwalzen 10 und 11 die Unterkante des Schichtträgers 3 erfassen,
wird die Heizstation 4 nunmehr mit der höhe-
ren Umfangsgeschwindigkeit
der Laminierwalzen 10 und 11 weiter nach unten abgesenkt. Vor dem Anlegen der Unterkante
der Heizstation 4 an die Laminierwalzen 10 und 11 wird die Heizstation 4 geöffnet,
d.h. die Heizplatten 5 und 6 sind in horizontaler Richtung auseinandergefahren,
so daß der freigegebene Schichtträger 3, der noch zwischen den Heizplatten 5 und
6 geführt ist, von den Laminierwalzen 10 und 11 durch den Spalt d hindurchtransportiert
werden kann. Das Vorstehen des Schichtträgers 3 nach unten aus der Heizstation 4
um etwa 3 bis 4 cm hat den Zweck, den Schichtträger 3 bei Annäherung der Heizstation
4 an die Laminierstation 9 möglichst weit in den Spalt d zwischen den Laminierwalzen
hineinzuführen, wodurch sichergestellt wird, daß beim Öffnen der Heizstation 4 der
Schichtträger 3 von den umlaufenden Laminierwalzen sofort erfaßt und weitertransportiert
wird. Auf diese Weise erfolgt eine exakte Übergabe des Schichtträgers 3 von der
Heizstation 4 an die Laminierstation 9, wobei der Schichtträger 3 zu jedem Zeitpunkt
dieses Übergabevorgangs präzise geführt ist.
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Die Laminierwalze 10 ist ortsfest gelagert, während die Laminierwalze
11 beweglich gelagert ist, wodurch eine Veränderung des Spaltes d in vorgegebenen
Grenzen möglich ist. Jede der Laminierwalzen 10 und 11 ist von einem Vakuumelement
29 bzw. 30 teilweise umgeben, das nahtlos an den Vaklluntisch 17 bzw. 18 anschließt.
Eine innere Verbindung zwischen den Vakuumelementen und den Vakuumtischen besteht
nicht. Die Vakuumelenente sind
über Vakuumleitungen 27,28 an eine
Vakuumpumpe 24 angeschlossen, die unterhalb der beiden Vakuumtische 17 und 18 angeordnet
ist. An diese Vakuumpumpe 24 sind auch die Vakuumtische 17 und 18 über Vakuumleitungen
25 und 26 angeschlossen. Die Deckflächen der Vakuumtische 17 und 18 bilden Sauqpiatten
49 und 50, die kleine Löcher 64 aufweisen.
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Eine Greifereinrichtung 37 ist schematisch in Fig. 2 angedeutet und
besteht aus zwei übereinander angeordneten Leisten 62,63, die den von der Vorratsrolle
13 abgezogenen Trockenfotoresist 14 zwischen sich einklemmen. Die Greifereinrichtung
37 wird entlang den Führungen 21 und 22, wie im Zusammenhang mit Fig. 1 erläutert
wurde, von der Vorratsrolle 13 bis über den Vakuumtisch 18 hinaus verfahren. Die
Greifereinrichtung 37 ist über ein Verbindungselement 40 mit einem Druckzylinder
39 verbunden, der die Greifereinrichtung 37 in den Führungen 21 und 22 verfährt.
Sobald die Greifereinrichtung 37 eine vorbestimmte Länge des Trockenfotoresists
14 von der Vorratsrolle 13 abgezogen, horizontal über die Oberseite von und im Abstand
zu der Laminierstation 9 geführt und mit Hilfe von Vakuum horizontal aufgespannt
hat, wird der Trockenfotoresist 14 durch die beiden Schneideinrichtungen 15 und
19 in Abständen von der Laminierstation 9 durchschnitten. Der nach erfolgtem Zuschnitt
des Trockenfotoresists 14 von der Greifereinrichtung 37 festgehaltene Trockenfotoresistabschnitt
wird in einer äußeren Endposition der Greifereinrichtung, die in Fig. 2
gestrichelt
angedeutet ist, nach dem Öffnen der Greifereinrichtung in einen Abfallbehälter 41
abgelegt.
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Anstelle der Greifereinrichtung 37 mit den mechanisch betätigten Leisten
62 und 63 kann auch eine Greifereinrichtung 38 aus zwei in derselben Ebene befindlichen
Mäanderleisten, die später noch beschrieben werden wird, vorgesehen werden. Diese
mit Vakuum beaufschlagbare Greifereinrichtung 38 wird ebenfalls entlang den Führungen
21 und 22 verfahren.
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Fig. 3 zeigt eine Seitenansicht im Schnitt der Laminierstation 9.
Die Laminierwalzen 10 und 11 sind in einer Wippe 42 angeordnet, wobei die eine Laminierwalze
10 fest verankert und die andere Laminierwalze 11 beweglich in der Wippe 42 gelagert
ist. Die Laminierwalze 10 wird von einer Heizung 43 und die Laminierwalze 11 von
einer Heizung 44 beheizt. Unterhalb der Laminierwalzen befinden sich Abstandsrohre
45 und 46, die in nichtgezeigten Seitenwänden der Laminiervorrichtung gelagert sind.
Eine Einstellschraube 47 ermöglicht die Einstellung des Spalts d zwischen den beiden
Laminierwalzen 10 und 11. Die Einstellschraube 47 ist in den feststehenden Teil
der Wippe 42 eingeschraubt, während der bewegliche Teil der Wippe 42 gegen den Schraubkopf
der Einstellschraube 47 anliegt.
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An der Außenseite des beweglichen Teils der Wippe 42 ist eine Stellschraube
48 vorgesehen, die in ein abgeflachtes Gehäuse hineinragt, das eine von einer Feder
umgebene Voreinstellschraube 69 umschließt. Die Stellschraube 48 liegt an den Schraubenkopf
dieser Vorein-
stellschraube an. Mit Hilfe der Stellschraube 48
wird der von der beweglichen Laminierwalze 11 ausgeübte Laminierdruck voreingestellt.
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Anhand von Fig. 4, die schematisch die Greifereinrichtung 37 in ihren
zwei Endpositionen zeigt, wird die Wirkungsweise dieser mechanischen Greifereinrichtung
37 beschrieben. In der rechten Endposition halten die beiden zahnartig profilierten
Leisten 62 und 63, von denen beispielsweise die obere Leiste 62 federbelastet ist,
den Trockenfotoresist 14 fest. Das Öffnen und Schließen der Greifereinrichtung 37
erfolgt mittels eines Exzenters 68, der einen Nocken trägt, und der in der Schließstellung
im wesentlichen horizontal und parallel zu der oberen und unteren Leiste 62 bzw.
63 ausgerichtet ist. Der Exzenter 68 ist an einem Hebel 65 befestigt, der in der
Schließstellung gegen einen Anschlag 66 zum Anliegen kommt, wodurch der Exzenter
parallel gestellt wird und die federbelastete obere Leiste 62 nach unten in die
Schließstellung gedrückt wird.
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In der linken Endposition, das ist die öffnungsstellung der Greifereinrichtung
37, gelangt der Hebel 65 gleichfalls zum Anliegen an einen Anschlag 67, wodurch
der Exzenter hochkant gestellt wird und die beiden Leisten 62 und 63 gegen den Federdruck
auf die obere Leiste 62 auseinanderdrückt und den Trockenfotoresist 14 freigibt.
Die Greifereinrichtung 37 kann über die Länge der Vakuumtische 17,18 entweder pneumatisch
verfahren
werden, oder über eine Zahnstange oder einen Kettenantrieb.
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Die in Fig. 5 gezeigte Greifereinrichtung 38 besteht aus zwei Mäanderleisten
16 und 20, die in der gleichen Ebene angeordnet sind. Die beiden Mäanderleisten
sind als Vakuumplatten mit rechteckförmigen Kammvorsprüngen 59 ausgebildet, die
in ihren Deckflächen Löcher 60 aufweisen. Durch jeden Kammvorsprung 59 verläuft
eine Quernut 61 zur Längsrichtung der Vakuumtische 17 und 18. Die näher der Vorratsrolle
13 befindliche Mäanderleiste 16 kann beispielsweise lagefest einstellbar sein, während
die andere Mäanderleiste 20 verfahrbar ist. Jedoch sind bevorzugt beide Mäanderleisten
16 und 20 vetfahrbar. Im geschlossenen Zustand der Greifervorrichtung 38, in dem
die beiden Mäanderleisten zusammengefahren sind, greifen die Kammvorsprünge kammartig
ineinander. Dabei liegt der Trockenfotoresist 14 auf der Oberseite bzw. auf den
Deckflächen der Kammvorsprünge 59 der Mäanderleisten auf. Wird die weiter von der
Vorratsrolle 13 entfernt liegende Mäanderleiste 20 mit Saugluft beaufschlagt, so
wird der Trockenfotoresist 14 von dieser Mäanderleiste festgehalten und von der
Vorratsrolle 13 abgezogen, sobald die Mäanderleiste 20 von der Vorratsrolle 13 wegbewegt
wird. Wenn die Mäanderleiste 20 ihre Endposition erreicht hat, wird die andere Mäanderleiste
16 gleichfalls mit Saugluft beaufschlagt, so daß der Trockenfotoresist 14 faltenfrei
auf den Kammvorsprüngen 59 der beiden Mäanderleisten 16 und 20 aufliegt. Als
nächstes
erfolgt dann der Zuschnitt des Trockenfotoresists 14 in der Weise, daß die beiden
Rotationsmesser, welche die Schneideinrichtungen 15 und 19 bilden, quer zum Trockenfotoresist
14 durch die Quernuten 61 verfahren werden. Bei diesem Schneidvorgang sind die in
Fig. 5 nicht gezeigten Vakuumtische 17 und 18 gleichfalls mit Saugluft beaufschlagt,
um den Trockenfotoresist 14 auf seine Unterlage, d.h. auf die Deckflächen der Vakuumtische
faltenlos auf zuspannen. Nach erfolgtem Zuschnitt des Trockenfotoresists 14 wird
die Saugluft der Mäanderleisten aufgehoben, so daß der Trockenfotoresist 14 auf
die beiden sich gegenüberliegenden Seiten des Schichtträgers 3, wenn dieser die
Laminierstation 9 durchläuft, auflaminiert werden kann.
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In Fig. 6a sind Einzelheiten der Laminierstation 9 vergrößert dargestellt.
Jede der beiden Laminierwalzen 10 und 11 ist von einem Vakuumelement 29 bzw. 30
teilweise umgeben, dessen Deckfläche mit der Saugplatte 49 des Vakuumtisches 17
bzw. der Saugplatte 50 des Vakuumtisches 18 fluchtet. Die der Laminierwalze 10 bzw.
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11 gegenüberliegende untere Umrißfläche 51 bzw. 52 des Vakuumelements
29 bzw. 30 besitzt die gleiche Krümmung wie die Laminierwalze, so daß zwischen den
unteren Umrißflächen und den Umfangsflächen der Laminierwalzen ein konstanter Abstand
vorhanden ist. Die Vakuumelemente 29,30 werden, wie schon im Zusammenhang mit Fig.
2 erläutert wurde, von der Vakuumpumpe 24 mit
Saugluft beaufschlagt,
an die auch die Vakuumtische 17 und 18 angeschlossen sind. Jedoch bilden die Vakuumelemente
29 und 30 gegenüber den Vakuumtischen 17 und 18 eigene Bauteile. Die Vakuumelemente
29 und 30 decken die Laminierwalzen 10 und 11 im oberen Bereich ab und weisen in
Richtung des Spalts d der Laminierwalzen 10 und 11 eine nach unten gekrümmte obere
Umriß fläche 55 und 56 auf, die mit der unteren, gleichfalls gekrümmten Umrißfläche
51 bzw. 52 eine Spitze 53 bzw. 54 bildet. Der Abstand der nach innen weisenden Spitzen
53,54 entspricht in etwa gleich dem Spalt d zwischen den Laminierwalzen 10 und 11.
Der Schichtträger 3 ist in einer Position dargestellt, in der er in den Spalt d
hineinragt, jedoch von den Heizplatten 5 und 6 der Heizstation 4 noch nicht freigegeben
ist.
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Wie aus Fig. 6a ersichtlich ist, sind die Unterkanten der Heizplatten
5 und 6 abgeschrägt bzw. leicht konkav gekrümmt, um ein möglichst weites Absenken
der Heizstation 4 in Richtung Laminierwalzen zuzulassen. Sobald die rotierenden
Laminierwalzen 10 und 11 die Unterkante des Schichtträgers 3 erfaßt haben, werden
die beiden Heizplatten 5 und 6 geringfügig auseinandergefahren, so daß der Schichtträger
3 zusammen mit dem Trockenfotoresist 14, der sich an die beiden gegenüberliegenden
Seiten der Schichtträger 3 anlegt, durch die Laminierstation 9 hindurchtransportiert
werden kann.
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Fig. 6b zeigt eine gegenüber Fig. 6a geringfügig abgewandelte Ausführungsform
der Laminierstation. Die mit
der Ausführungsform nach Fig. 6a übereinstimmenden
Bauteile sind in Fig. 6b mit den gleichen Bezugzahlen belegt. Der Unterschied gegenüber
der Ausführungsform nach Fig. 6a liegt darin, daß die Vakuumelemente 29 und 30 in
Richtung des Spalts d der Laminierwalzen 10 und 11 eine schräg nach unten verlaufende,
plane obere Umrißfläche 57 bzw. 58 anstelle einer gekrümmten oberen Umrißfläche
besitzen. Die plane obere Umrißfläche 57 bzw. 58 bildet mit der gekrümmten unteren
Umrißfläche 51 bzw. 52 des Vakuumelements 29 bzw. 30 eine Spitze 53 bzw. 54. Selbstverständlich
ist auch eine nicht dargestellte Ausführungsform möglich, bei der die untere Umrißfläche
des Vakuumelements 29 bzw. 30 nicht gekrümmt ist, sondern aus beispielsweise drei
geraden Stücken besteht, die mit stumpfen Winkeln aneinander anschließen, ähnlich
einem offenen Polygonzug in der Ansicht, und bei der das untere Abschlußstück mit
der planen oberen Umrißfläche 57 bzw. 58 eine Spitze bildet.
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Die übrigen Bauteile sind identisch und werden daher nicht mehr beschrieben.
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