DE3418332A1 - Vorrichtung zur halterung zylinderfoermiger koerper - Google Patents
Vorrichtung zur halterung zylinderfoermiger koerperInfo
- Publication number
- DE3418332A1 DE3418332A1 DE19843418332 DE3418332A DE3418332A1 DE 3418332 A1 DE3418332 A1 DE 3418332A1 DE 19843418332 DE19843418332 DE 19843418332 DE 3418332 A DE3418332 A DE 3418332A DE 3418332 A1 DE3418332 A1 DE 3418332A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- recess
- base plate
- spring element
- shaped
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
- Beschreibung
- Vorrichtung zur Halterung zylinderförmiger Körper Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Halterung zylinderförmiger Körper nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
- Die Erfindung betrifft insbesondere eine Vorrichtung zur Halterung kurzer Lichtwellenleiter, die z.B. als räumliches Filter in mikroopt,ischen Baugruppen für die optische Nachrichtenübertragung verwendet werde. in derartigen Baugruppen ist es beispielsweise erforderlich, bei einem ungefähr 3 mm langen Glasfaser-Lichtwellenleiter mit einem Außendurchmesser von ungefähr 120 pm auf einer Stirnfläche eine Antireflexschicht und/oder ein optisches (Interferenz-)Filter anzubringen. Dieses erfolgt zweckmäßigerweise durch einen oder mehrere Bedampfungs- und/oder Beschichtungsvorgänge in einer entsprechenden Vakuumapparatur.
- Dabei ist es vielfach erforderlich, die zu beschichteideii Lichtwellenleiter während des Beschichtunganges zu beheizen.
- Der Erfindung liegt: daher die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Vorrichtung anzugeben, die es in kostengünstiger Weise ermöglicht, insbesondere in einer industriellen Massenfertigung bei mehreren kurzen Lichtwellenleitern gleichzeitig auf deren Stirnflächen mindestens eine optisch wirksame Schicht aufzubringerl.
- Diese Aufgabe wird gelöst durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale. Vorteilhafte Aus gestaltungen und Weiterbildungen sind den Unteransprüchen entnehmbar.
- Ein erster Vorteil der Erfindung besteht darin, daß in zerstörungsfreier Weise eine geordnete Beschickung und/oder Entnahme der zu beschichtenden Körper möglich ist und daß derartige Vorgänge in kostengünstiger Weise für eine industrielle Massenfertigung automatisierbar sind.
- Ein zweiter Vorteil besteht darin, daß insbesondere bei einer im Vakuum durchgeführten Beschichtung eine genaue Ausrichtung der zu beschichtenden Stirnflächen in Bezug auf die Bedampfungsquelle möglich ist, so daß an allen Stirnflächen eine gleichmäßige Beschichtung ermöglicht wird.
- Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert unter Bezugnahme auf eine schemaische Zeichnung.
- Die Figur zeigt eine Vorrichtung, die zur Aufnahme mehrerer Körper 3, z . B. Glasfaser-Lichtwellenleiter mit einer Länge voii ungefähr 3 mm, geeignet ist, deren Stirnflächen 9 in einer Vakuumbedampfungsanlage mit mindestens einer optisch wirksamen Schicht, z.B. einer Antireflexschicht und/oder einer optischen Filterschicht, béschichtet werden sollen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung besteht aus einer Grundplatte l, z z,B. aus einem Edelstahl, der bis5000C beheizbar ist und der für Vakuumapparaturcn geeignet ist.
- Auf der gattungsgemäßen Grundplatte 1 ist eine nutförmige Ausnehmung 5 vorhanden, welche die Oberfläche der Grundplatte 1 in eine erste Teilfläche 10 und eine zweite Teilfläche 11 unterteilt. In der ersten Teilfläche 10 sind grabenförmige Vertiefungen 2,2' angebracht, z.B. v-förmige Nuten, in welche die Körper 3 selbstjustierend einlegbar sind. Dabei ist die Richtung der Vertiefungen 2,2' in einem weiten Bereich frei wählbar. Beispielsweise sind die mit 2 bezeichneten Vertiefungen im wesentlichen senkrecht zur Richtung der Ausnehmung 5 angeordnet, während die mit 2' bezeichneten Vertiefungen eine davon abweichende Richtung aufweisen. Durch die Wahl dieser Richtungen ist in vorteilhafter Weise eine optimale Ausrichtung der zu beschichtenden Stirnflächen 9 bezüglich der Bedampfungsque-lle möglich. Beispielsweise ist es auch möglich, eine zur Längsachse des Körpers 3 schräg angeschliffene Stirnfläche gleichmäßig zu beschichten. Die Körper 3 werden mechanisch gehalten, d.h. in die Vertiefungen 2,2' gedrückt, durch kammförmig angeordnete Federelemente 4, z.B.
- Blattfedern. Diese Federelemente 4 sind an der zweiten Teilfläche 11 befestigt, z.B. durch eine darüber angebrachte Lasche (Figur). Es ist besonders vorteilhaft, jedem Körper 3 ein Federelement 4 zuzuordnen. Diese Anord- nung ermöglicht, jeden Körper 3 einzein in die Grundplatte 1 einzulegen, zu justieren sowie nach dem Beschichtungsvorgang die Körper 3 einzein und unter Beibehattung einer Bezugsrichtung der Vorrichtung zu entnehmen. Dieses wird erreicht durch mindestens einen streifenförmigen Schieber 6, welcher iii der Ausnchmung 5 in Längsrichtung 8 bewegt wird. Der Schieber 6 besitzt auf seiner Oberfläche eine hügelförmige Erhebung 7, z.B. einen Kugelabschnitt. Schieber 6 und Erhobung 7 siiid detart: ausgobildet, daß lediglich jeweils ein einziges Federelement 4 in Richtung des Doppelpfeiles 12 bewegbar ist.
- Eine derartige Vorrichtung ermöglicht in vorteilhafter Weise ein weitgehend automatisches Be- und Entladen mit Körpern 3 sowie deren kostengünstige Weiterverarbeitung, z.B. deren Anbringung in einem faseroptischen Duplexer.
- Die Erfindung ist nicht auf das beschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt, sondern sinngemäß auf weitere anwendbar. Beispielsweise ist eine Vorrichtung mit säbelförmig gebogener Grundplatte l sowie säbelförmig gebogenem Schieber 6 möglich. Eine derartige Vorrichtung ermöglicht eine genaue Anpassung der Ausrichtung der Stirnflächen 9 bezüglich des Strahlungsdiagramms der Bedampfungsquelle.
Claims (6)
- Patentansprüche 1. Vorrichtung zur Halterung zylinderförmiger Körper, insbesoniero zur Halterung von mindestens einem Lichtwellenleiter, an dessen Ende eine optisch wirksame Beschichtung erforderlich ist, dadurch gekennzeichnet, - daß in einer Grundplatte (1) mindestens eine grabenförmige Vertiefung (2,2') vorhanden ist, in welche jeweils ein zylinderförmiger Körper (3) im wesentlichen selbstausrichtend einlegbar ist, - daß auf der Grundplatte (t) mindestens ein auf Biegung beanspruchtes Federelement (4) befestigt ist, das den Körper (3) durch Federkraft in der Vertiefung (2) hält, - daß in der Grundplatte (1) mindestens eine nutförmige Ausnehmung (5) vorhanden ist, die unmittelbar unterhalb des Federelements (4) verläuft und - daß mindestons ein Schieber (6) vorhanden ist, der in Längsrichtung (8) innerhalb der Ausnehmung (5) bewegba ist und der eine hügelförmige Erhebung (7) besitzt derart, daß beim Verschieben des Schiebers (6) innerhalb der Ausnehlllualg (5) eine gowtill,schte Anzahl voll Federelementen (4) entlastet wird, so daß der Körper (3) auswechselbar ist.
- 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Federelement; (4) als Blattfeder ausgebildet ist.
- 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Federelemente (4) kammförmig angeordnet sind und daß jedem Federelement eine Vertiefung (2) zugeordnet ist.
- 4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vertiefung (2) einen im wesentlichen v-förmigen Querschnitt besitzt.
- 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Längsrichtung (8) und der Längsachse der Vertiefung (2) ein Winkel gewählt ist, der an die Richtung der Flächennormalen der zu beschichtenden Fläche des Körpers (3) angepaßt ist.
- 6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Grundplatte (i) aus einem wärmeleitfähigen Material besteht, das zur Verwendung in einer Vakuumbeschichtungsanlage geeignet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19843418332 DE3418332A1 (de) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | Vorrichtung zur halterung zylinderfoermiger koerper |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19843418332 DE3418332A1 (de) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | Vorrichtung zur halterung zylinderfoermiger koerper |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3418332A1 true DE3418332A1 (de) | 1985-11-21 |
DE3418332C2 DE3418332C2 (de) | 1992-02-06 |
Family
ID=6236119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19843418332 Granted DE3418332A1 (de) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | Vorrichtung zur halterung zylinderfoermiger koerper |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3418332A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29609903U1 (de) * | 1996-05-24 | 1996-10-17 | EKO Stahl GmbH, 15890 Eisenhüttenstadt | Rollsicherung |
EP0806494A1 (de) * | 1996-05-09 | 1997-11-12 | Lucent Technologies Inc. | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten der Spiegelflächen eines Laser-Stäbchens |
WO2017206969A1 (de) | 2016-06-01 | 2017-12-07 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Vorrichtung zur beschichtung von kugeln |
CN112593200A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-02 | 芯思杰技术(深圳)股份有限公司 | 镀膜治具、镀膜装置及镀膜方法 |
-
1984
- 1984-05-17 DE DE19843418332 patent/DE3418332A1/de active Granted
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
NICHTS ERMITTELT * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0806494A1 (de) * | 1996-05-09 | 1997-11-12 | Lucent Technologies Inc. | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten der Spiegelflächen eines Laser-Stäbchens |
US5911830A (en) * | 1996-05-09 | 1999-06-15 | Lucent Technologies Inc. | Method and fixture for laser bar facet coating |
US6037006A (en) * | 1996-05-09 | 2000-03-14 | Lucent Technologies Inc. | Method and fixture for laser bar facet coating |
DE29609903U1 (de) * | 1996-05-24 | 1996-10-17 | EKO Stahl GmbH, 15890 Eisenhüttenstadt | Rollsicherung |
WO2017206969A1 (de) | 2016-06-01 | 2017-12-07 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Vorrichtung zur beschichtung von kugeln |
CN112593200A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-02 | 芯思杰技术(深圳)股份有限公司 | 镀膜治具、镀膜装置及镀膜方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3418332C2 (de) | 1992-02-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2936463C2 (de) | ||
DE69504542T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Montage der in einer Schicht angeordneten Enden von optischen Fasern | |
DE3689212T3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Verbinden von Kabeln mit mehreren beschichteten optischen Fasern. | |
DE69227825T2 (de) | Vierpolige Elektrode und Herstellungsverfahren derselben. | |
DE2646637C3 (de) | Vorrichtung für das Einfüllen eines Flüssigkristalles in mindestens eine Flüssigkristallanzeigezelle | |
DE2522740B2 (de) | Vorrichtung zum Verbinden eines ankommenden Lichtleitfaserkabels mit einem weiterführenden und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung | |
DE3041263C2 (de) | Vorrichtung zum paarweise Verbinden von Lichtleitfasern | |
EP0416371B1 (de) | Endoskopoptik | |
EP1840242A1 (de) | Vakuumtransportvorrichtung mit beweglicher Führungsschiene | |
DE3411208A1 (de) | Haltevorrichtung fuer substrate, insbesondere in vakuum-beschichtungsanlagen | |
EP0671367A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen oder quasikontinuierlichen Beschichten von Brillengläsern | |
DE2851001A1 (de) | Vorrichtung zur fassung von lichtleitfaserbuendelenden | |
DE102010051816A1 (de) | Patronenaufnahme und Verfahren zur Herstellung der Patronenaufnahme | |
DE3418332C2 (de) | ||
EP0123134B1 (de) | Steckerteil für lösbare Steckverbindungen von Lichtwellenleitern, Verfahren zu dessen Herstellung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens | |
EP0012901A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Lichtwellenleiterkopplern | |
DE2926418A1 (de) | Vorrichtung zur selektion der resonanzfrequenz von hoechstfrequenz- hohlraeumen | |
DE2636997C2 (de) | Koppelelement für Lichtleitfasern | |
DE69220554T2 (de) | Einstückig gegossene Ausrichthülse für faseroptischen Stecker und ihr Herstellungsverfahren | |
DE3728688C1 (de) | Aus wenigstens zwei Teilsystemen bestehendes optisches System | |
DE3418331C2 (de) | ||
WO1988001434A1 (en) | Movable specimen holder for a particle radiation microscope | |
EP0841307A1 (de) | Vorrichtung zum Aufbringen eines Beschichtungsmaterials auf eine optische Faser | |
EP0110816B1 (de) | Vorrichtung zur lagegenauen Positionierung der LWL-Faserenden von LWL-Bauteilen | |
DE102014113733B3 (de) | Optische Linse mit Halteelementen und Fassungsbaugruppe mit optischer Linse |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8120 | Willingness to grant licences paragraph 23 | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH, 6000 FRANKFURT, |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: C23C 14/50 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |