DE3414937C2 - Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf - Google Patents
Flüssigkeitsstrahl-AufzeichnungskopfInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Aufzeichnungskopf
gemäß dem Oberbegriff des geltenden Patentanspruchs 1.
Ein solcher Aufzeichnungskopf ist aus der DE 32 31 431 A1
bekannt. Der dort gezeigte Kopf umfaßt mehrere dem Erzeugen
jeweils eines Flüssigkeitsstrahles dienende Einrichtungen
mit einem Flüssigkeitsströmungskanal, der mit einer
Öffnung für den Ausstoß einer Flüssigkeit in Verbindung
steht und in dem ein Wärmeerzeugungselement aus
einer wärmeerzeugenden Widerstandsschicht und einem Paar
damit elektrisch leitend verbundenen Elektroden angeordnet
ist, wobei ein Wärmeerzeugungsabschnitt im Bereich
zwischen den Elektroden gebildet wird und wobei eine
erste obere Schutzschicht aus anorganischem Isoliermaterial
im Bereich der Elektroden und auf dem Wärmeerzeugungsabschnitt
unter Bildung eines Stufenbereiches zwischen
den Elektroden und dem Wärmeerzeugungsabschnitt,
eine zweite obere Schutzschicht aus organischem Material
ebenfalls im Bereich der Elektroden und eine dritte obere
Schutzschicht aus anorganischem Material, das von dem anorganischem
Material der ersten oberen Schutzschicht verschieden
ist, im Bereich des Wärmeerzeugungsabschnittes
vorgesehen ist.
In der US 4 335 389 ist ein in ähnlicher Art und Weise
aufgebauter Aufzeichnungskopf gezeigt, wie er aus der zuvor
genannten Veröffentlichung bekannt ist. Alle Schutzschichten
bestehen dort aus unterschiedlichen anorganischen
Materialien.
Bei den aus diesen Druckschriften bekannten Aufzeichnungsköpfen
wird der Flüssigkeit Wärmeenergie zugeführt,
um eine Ausstoßung eines Flüssigkeitströpfchens zu
erzeugen. Diese Art der Tröpfchenerzeugung ist insbesondere
dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit, auf die die
Wärmeenergie einwirkt, eine Phasenänderung erfährt, die
einen raschen Volumenanstieg bewirkt, so daß Flüssigkeit
aus einer Öffnung an einem Ende eines Aufzeichnungskopfes
durch derartige Phasenänderung abgestrahlt, ein fliegendes
Flüssigkeitströpfchen gebildet und dieses auf einem
Aufzeichnungsmedium abgeschieden wird.
In den Fig. 1A
und 1B sind Ausführungsformen
dargestellt, wie sie aus der nachveröffentlichten Druckschrift
DE 33 44 881 A1 hervorgehen.
Fig. 1A ist eine Draufsicht auf den Wärmeerzeugungsabschnitt
des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes,
während Fig. 1B einen Teilschnitt entlang der
strichpunktierten Linie X-Y in Fig. 1A zeigt.
Eine Basis 101 des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes
umfaßt eine untere Schicht 106, eine wärmeerzeugende
Widerstandsschicht 107, Elektroden 103 und 104, eine
erste obere Schutzschicht 107, eine zweite obere Schutzschicht
109 und eine dritte obere Schutzschicht 110, die
in dieser Reihenfolge auf einer Basis 105 laminiert sind.
Die wärmeerzeugende Widerstandsschicht 107 und die
Elektroden 103 und 104 sind durch Ätzen in vorgegebenen
Mustern ausgebildet. Sie sind in den anderen Bereichen
als dem des elektrothermischen Wandlers 102 in gleichen
Mustern angeordnet. Im Bereich dieses Wandlers sind die
Elektroden nicht auf die wärmeerzeugende Widerstandsschicht
107 laminiert, und die wärmeerzeugende Widerstandsschicht
bildet hier einen wärmeerzeugenden Abschnitt
111. Die erste obere Schutzschicht 108 und die
dritte obere Schutzschicht 110 sind auf die gesamte
Oberfläche der Basis 111 laminiert; die zweite obere
Schutzschicht 109 ist jedoch nicht auf den elektrothermischen
Wandler 102 laminiert.
Die Materialien zur Ausbildung der oberen Schicht der
Basis sind in bezug auf solche Eigenschaften, wie Wärme,
Widerstandsfähigkeit, Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit,
thermische Leitfähigkeit und Isolationseigenschaften ausgewählt,
welche für die Bereiche erforderlich sind, auf
denen die oberen Schichten angeordnet sind. Eine Hauptaufgabe
der ersten oberen Schutzschicht 108 besteht
darin, eine Isolation zwischen der gemeinsamen Elektrode
103 und der Wahlelektrode 104 aufrechtzuerhalten. Die
Hauptaufgabe der zweiten oberen Schutzschicht 109 besteht
darin, das Eindringen von Flüssigkeit zu verhindern und
die entsprechende Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit zur
Verfügung zu stellen, während die Hauptaufgabe der dritten
oberen Schutzschicht 110 darin besteht, für eine
entsprechende Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit zu sorgen
und die mechanische Festigkeit zu verbessern.
Wenn bei einem derartigen Aufzeichnungskopf,
der eine in der vorstehend beschriebenen
Weise ausgebildete Basis aufweist, die Basis über eine
längere Zeitdauer während einer wiederholten Benutzung
oder über einen langen und kontinuierlichen Gebrauch mit
Flüssigkeit kontinuierlich in Kontakt steht, blättern die
auf der Basis ausgebildeten Schutzschichten ab, so daß
die Isolation verschlechtert wird, die Elektroden oder
die elektrothermischen Wandler zerbrechen und die Zuführung
der Flüssigkeit letztlich verhindert wird. Es kann
auch die Flüssigkeitsabgabe durch Verformung des Flüssigkeitskanals
oder der Öffnung blockiert werden.
Ein Grund für derartige Verschlechterungen der Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit
eines derartigen Flüssigkeitsaufzeichnungskopfes
bei langem
Gebrauch ist in der nachfolgenden Erklärung zu finden: da
eine Anzahl von feinen elektrothermischen Wandlern
gleichzeitig auf der Basis ausgebildet wird, besitzt die
Oberfläche, auf der die oberen Schutzschichten ausgebildet
werden sollen, feine konkav-konvexe Stufen. Die
Schutzschichten decken daher diese Stufen nicht genau ab,
oder die Schutzschichten weisen Fehler auf, beispielsweise
feine Löcher, durch die die Flüssigkeit dringt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Aufzeichnungskopf
der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen
Art derart weiterzubilden, daß dieser eine ausgezeichnete
Haltbarkeit bei häufigem wiederholten Einsatz
und kontinuierlichem Gebrauch über eine lange Zeit besitzt
und daß über eine längere Zeitdauer in beständiger
Weise erwünschte Flüssigkeitströpfchenbildungseigenschaften
aufrechterhalten werden können.
Diese Aufgabe wird durch einen Aufzeichnungskopf mit den
im Patentanspruch 1 angegebenen Maßnahmen auf besonders
vorteilhafte Art und Weise gelöst.
Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes gehen aus den
Unteransprüchen hervor.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen
in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen
erläutert. Es zeigt
Fig. 1A eine Draufsicht auf einen elektrothermischen
Wandler eines der Weiterbildung zugrundeliegenden
Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes,
Fig. 1B einen Schnitt entlang der strichpunktierten
Linie X-Y in Fig. 1A,
Fig. 2A eine Draufsicht auf einen elektrothermischen
Wandler auf einer Basis eines erfindungsgemäß
ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes,
Fig. 2B einen Teilschnitt entlang der strichpunktierten
Linie X′-Y′ in Fig. 2A,
Fig. 3, 4 weitere Schnitte durch den Wandler nach Fig. 2A,
Fig. 5 eine schematische Ansicht des Innenaufbaus
des erfindungsgemäß ausgebildeten
Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes,
und
Fig. 6 eine schematische Ansicht einer anderen
Ausführungsform eines erfindungsgemäß
ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes.
Die in den Fig. 2A und 2B dargestellte Basis 201 umfaßt
ein Substrat 205 aus Silizium, Glas oder Keramik,
eine Unterlage 206 aus SiO₂, die auf dem Substrat 205
ausgebildet ist, eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht
207, eine gemeinsame Elektrode 204 und eine Wahlelektrode
203, die auf der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht
207 mit Ausnahme eines wärmeerzeugenden Abschnittes
211 laminiert sind, eine erste obere Schutzschicht
208, die den wärmeerzeugenden Abschnitt 211,
die gemeinsame Elektrode 204 und die Wahlelektrode 203
bedeckt, eine zweite obere Schutzschicht 209 und eine
dritte obere Schutzschicht 210, die entsprechend der
Struktur der darunter befindlichen Schicht laminiert
sind.
Ein Heizabschnitt 202 umfaßt den wärmeerzeugenden Abschnitt
211 als Haupteinheit. In dem wärmeerzeugenden
Abschnitt 211 sind die Unterlage 206, die wärmeerzeugende
Widerstandsschicht 207, die erste obere Schutzschicht
208 und die dritte obere Schutzschicht 210 in dieser
Reihenfolge auf dem Substrat 205 laminiert, wobei die
dritte obere Schutzschicht 210 mindestens die Oberfläche des
Heizabschnittes 202 abdeckt. Somit ist auf dem Heizabschnitt
202 eine doppelte obere Schutzschicht ausgebildet,
die die erste obere Schutzschicht 208 und die
dritte obere Schutzschicht 210 umfaßt.
Außerhalb des Heizabschnittes 202 besteht die Basis 201
aus der Unterlage 206, der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht
207 und den Elektroden 203 und 204, die in dieser
Reihenfolge auf dem Substrat laminiert sind, wobei
die erste obere Schutzschicht 208 und die zweite obere
Schutzschicht 209 mindestens auf den Elektroden 203
und 204 laminiert sind.
In der Basis 201 des in den Fig. 2A und 2B gezeigten
Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes stehen die zweite
obere Schutzschicht 209 und die dritte obere Schutzschicht
210 nicht miteinander in Kontakt. Alternativ
dazu kann, wie in Fig. 3 gezeigt, die dritte obere
Schutzschicht 210 die zweite obere Schutzschicht 209
überlagern, um das obere Ende des Heizabschnittes 202
breiter abzudecken, oder die dritte obere Schutzschicht
210 kann, wie in Fig. 4 gezeigt, zwischen der
ersten oberen Schutzschicht 208 und der zweiten oberen
Schutzschicht 209 ausgebildet sein, um den Heizabschnitt
202 breiter abzudecken.
Die Hauptaufgabe der ersten oberen Schutzschicht 208,
die mindestens auf dem Heizabschnitt 202 und den Elektroden
203 und 204 ausgebildet ist, besteht darin, die gemeinsame
Elektrode 204 gegenüber der Wahlelektrode 203
zu isolieren. Die erste obere Schutzschicht 208 besteht
aus einem anorganischen Isolationsmaterial.
Die zweite obere Schutzschicht 209 ist auf mindestens
den Elektroden 203 und 204 als obere Schutzschicht für
die Basis 201 mit Ausnahme des Heizabschnittes 202 ausgebildet
und besitzt einen Bereich, der in direktem
Kontakt mit der Flüssigkeit steht. Die Hauptaufgabe dieser
Schicht besteht darin, ein Eindringen von Flüssigkeit
zu verhindern und die Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit
zu erhöhen. Vorzugsweise besitzt diese Schicht ein hohes
Filmbildungsvermögen, eine feine Struktur mit einer geringen
Anzahl von feinen Löchern, schwillt durch die verwendete
Tinte nicht an und ist in dieser auch nicht löslich,
besitzt als Film ein hohes Isolationsvermögen und
weist eine hohe Wärmefestigkeit auf. Für diese Schicht werden organische Materialien verwendet.
Bei der Herstellung eines Aufzeichnungskopfes mit einer
Vielzahl von Öffnungen hoher Dichte kann die zweite obere
Schutzschicht 209 vorzugsweise aus einem organischen
Material hergestellt werden, das sich auf feinfotolithographischem
Wege sofort behandeln läßt.
Die Hauptaufgabe der dritten oberen Schutzschicht 210,
die auf der ersten oberen Schutzschicht 208 auf dem Heizabschnitt
202 ausgebildet ist, besteht darin, das Flüssigkeitswiderstandsvermögen
und die mechanische Festigkeit
zu erhöhen. Diese dritte obere Schutzschicht 210 besteht
aus metallischem Material, das elastisch ist, eine
relativ hohe mechanische Festigkeit besitzt und Kontakt-
und Bindeeigenschaften in bezug auf die erste obere
Schutzschicht 208 aufweist, beispielsweise Ta, wenn die
erste obere Schutzschicht 208 aus SiO₂ besteht. Durch
Ausbildung der dritten oberen Schutzschicht 210 aus dem
anorganischen Material mit relativ hoher Elastizität
und mechanischer Festigkeit auf der ersten oberen Schutzschicht
208 auf dem Heizabschnitt 202 können Schocks infolge
von Kavitation, die auftreten, wenn die Flüssigkeit
von einer Kontaktebene (Wärmeeinwirkungsebene, nicht
gezeigt) zwischen dem wärmeerzeugenden Abschnitt 211 und
der Flüssigkeit abgegeben wird, vollständig absorbiert
werden, so daß die Wahrscheinlichkeit des Entstehens von
Fehlern, beispielsweise von feinen Löchern in der oberen
Schutzschicht 210 während des Herstellungsvorganges, und
einer Verschlechterung des Abdeckvermögens der oberen
Schutzschicht 210 reduziert und die Lebensdauer des Heizabschnittes
202 beträchtlich verlängert wird.
Die dritte Schicht 210 kann
durch Bedampfen, Sprühverfahren, CVD-Verfahren
oder andere Verfahren hergestellt werden, und die
Filmdicke beträgt üblicherweise 0,01-5 µm, vorzugsweise
0,1-5 µm, insbesondere 0,2-3 µm. Das Material
und die Filmdicke sind vorzugsweise so ausgebildet, daß
der spezifische Widerstand der Schicht 210 größer ist als der
spezifische Widerstand der Tinte, der wärmeerzeugenden
Widerstandsschicht 207 und der Elektrodenschicht. Beispielsweise
besitzt die Schicht 210 einen spezifischen Widerstand
von 1 Ω-cm oder weniger. Vorzugsweise wird ein Isolationsmaterial,
wie beispielsweise Si-C, mit guten Eigenschaften
gegen mechanische Schocks verwendet.
Bei der dritten oberen Schutzschicht 210 kann es sich
um eine einzige Schicht oder um eine zusammengesetzte
Schicht handeln. Darüber hinaus
kann die dritte obere Schutzschicht 210 aus einem kombinierten
Material hergestellt werden.
Der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf der vorliegenden
Erfindung wird vervollständigt, indem eine Vielzahl von
oberen Schichten, die in den Fig. 2A bis 4 dargestellt
sind, auf der Basis, auf der die elektrothermischen
Wandler ausgebildet worden sind, vorgesehen wird. Danach
werden der Strömungskanal 305 und die Öffnung 306 für
den wärmeerzeugenden Abschnitt 211, der von den elektrothermischen
Wandlern gebildet worden ist, ausgebildet.
Die dritte obere Schutzschicht wird vorzugsweise in einem
minimalen erforderlichen Bereich auf dem wärmeerzeugenden
Abschnitt ausgebildet.
In Fig. 6 ist in schematischer Weise der Innenaufbau
des fertigen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes dargestellt.
Bei der vorliegenden Ausführungsform befindet
sich die Öffnung 306 über dem wärmeerzeugenden Abschnitt.
Mit 307 ist eine Tintenkanalwand, mit 308 eine gemeinsame
Flüssigkeitskammer, mit 309 eine zweite gemeinsame
Flüssigkeitskammer, mit 310 eine Öffnung, die die gemeinsame
Flüssigkeitskammer 308 mit der zweiten gemeinsamen
Flüssigkeitskammer 309 verbindet, und mit 311
eine obere Platte bezeichnet. Die Verdrahtung des elektrothermischen
Wandlers ist in Fig. 5 weggelassen.
In Fig. 5 ist in schematischer Weise eine andere Ausführungsform
eines fertigen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes
dargestellt. Bei dieser Ausführungsform
befindet sich die Öffnung 306 an einem Ende des
Flüssigkeitsströmungskanals. Mit 312 ist eine Tintenzuführöffnung
bezeichnet. Bei diesem Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf
sind die auf der Basis befindlichen
oberen Schichten aus Materialien hergestellt, die in bezug
auf Wärmefestigkeit, Flüssigkeitswiderstandsvermögen,
thermische Leitfähigkeit und elektrisches Isolationsvermögen
ausgewählt worden sind, welche Eigenschaften für
die Bereiche erforderlich sind, auf denen die entsprechenden
oberen Schichten laminiert sind. Diese oberen Schichten
aus den unterschiedlichen Materialien, die auf der Basis
laminiert sind, weisen gute Kontakteigenschaften und
Bindeeigenschaften auf. Somit weist der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf
eine ausgezeichnete Haltbarkeit und ein
ausgezeichnetes Flüssigkeitswiderstandsvermögen bei
häufig wiederholtem Einsatz und bei kontinuierlichem Langzeiteinsatz
auf und hält gewünschte Flüssigkeitströpfchenbildungseigenschaften
über einen verlängerten Zeitraum
aufrecht.
Es wurde ein Si-Plättchen thermisch oxidiert, um einen
SiO₂-Film mit einer Dicke von 5 µm als Basis auszubilden.
Die Basis wurde zur Ausbildung einer HfB₂-Schicht
in einer Dicke von 3000 Å besprüht, um die wärmeerzeugende
Widerstandsschicht herzustellen, wonach eine Ti-Schicht
von 50 Å und eine Al-Schicht von 1000 Å nacheinander
durch Elektronenstrahlbedampfen aufgebracht wurden. Die
Elektroden und die wärmeerzeugende Widerstandsschicht
wurden über ein fotolithographisches Verfahren in die
in Fig. 2A dargestellte Form gebracht, und es wurde
eine vorgegebene Anzahl von elektrothermischen Wandlern
(wärmeerzeugender Abschnitt mit einer Breite von 50 µm
und einer Länge von 150 µm) in den speziellen Positionen
ausgebildet.
Eine SiO₂-Sprühschicht wurde durch ein Hochleistungssprühverfahren
auf der mit den elektrothermischen Wandlern
und den Elektroden versehenen Basis in einer Dicke von
2,8 µm abgeschieden. Danach wurde eine Ta-Sprühschicht
in einer Dicke von 0,5 µm abgeschieden.
Die Ta-Schicht wurde durch ein fotolithograhisches
Verfahren geätzt, so daß nur noch die elektrothermischen
Wandler in einem Muster von 90 µm Breite und 200 µm
Länge verblieben, während der übrige Bereich als dieses
Muster auf den elektrothermischen Wandlern mit Photoneece
abgedeckt wurde.
Ein Trockenfilm aus einem lichtempfindlichen Harz mit
einer Dicke von 50 µm wurde auf der Basis laminiert,
durch eine vorgegebene Maske belichtet und entwickelt,
um den Flüssigkeitsströmungskanal und die gemeinsamen
Flüssigkeitskammern auszubilden. Die Deckplatte aus
Glas wurde mit Epoxidkleber befestigt, so daß sich der
in Fig. 5 dargestellte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf
ergab.
Dieser Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf wurde zur
Durchführung eines Haltbarkeitstests 20 Tage lang
5×10⁷ mal betrieben. Bei diesem Test wurde eine Haltbarkeit
von 10⁹ Inbetriebnahmen in beständiger Weise
erreicht. Bei einem Flüssigkeitswiderstandstest des
Aufzeichnungskopfes, bei dem dieser einen Monat lang
bei 60°C in die Aufzeichnungsflüssigkeit eingetaucht und
danach für einen üblichen Aufzeichnungsvorgang verwendet
wurde, wurde in den oberen Schichten auf der
Basis des Aufzeichnungskopfes kein unnormaler Zustand
bemerkt. Die Drähte des Aufzeichnungskopfes
waren nicht zerbrochen, und es wurden die gleichen
Aufzeichnungseigenschaften erreicht wie vor der Durchführung
des Tauchtests. Somit ergab sich eine ausgezeichnete
Haltbarkeit.
Bei einem Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, der
in der gleichen Weise wie die vorstehend beschriebene
Ausführungsform hergestellt worden war, jedoch eine
Basis nach dem Stand der Technik besaß, wurde eine Haltbarkeit
von mehr als 10⁷ Inbetriebnahmen bei kontinuierlichem
Dauerbetrieb nicht erreicht. Im Flüssigkeitswiderstandstest
blätterten die oberen Schichten von
der Basis ab, der Flüssigkeitsströmungskanal oder die
Öffnung verformten sich, die Elektroden lösten sich
auf, und die Drähte brachen während des Einsatzes des
Kopfes bei Anlegen einer Spannung.
Claims (7)
1. Aufzeichnungskopf mit einer oder mehreren dem Erzeugen
jeweils eines Flüssigkeitsstrahles dienenden Einrichtungen
mit einem Flüssigkeitsströmungskanal
(305), der mit einer Öffnung (306) für den Ausstoß einer
Flüssigkeit in Verbindung steht und in dem ein Wärmeerzeugungselement
aus einer wärmeerzeugenden Widerstandsschicht
(207) und einem Paar damit elektrisch leitend
verbundenen Elektroden (203, 204) angeordnet ist, wobei
ein Wärmeerzeugungsabschnitt (202) im Bereich zwischen
den Elektroden (203, 204) gebildet wird, und wobei eine erste obere
Schutzschicht (208) aus anorganischem Isoliermaterial im
Bereich der Elektroden (203, 204) und auf dem Wärmeerzeugungsabschnitt
(202) unter Bildung eines Stufenbereiches zwischen den
Elektroden (203, 204) und dem Wärmeerzeugungsabschnitt (202), eine zweite
obere Schutzschicht (209) aus organischem Material ebenfalls
im Bereich der Elektroden (203, 204) und eine dritte obere Schutzschicht
(210) aus anorganischem Material, das von dem anorganischem
Material der ersten oberen Schutzschicht
(208) verschieden ist, im Bereich des Wärmeerzeugungsabschnitts
(202) angeordnet ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste obere Schutzschicht (208) unmittelbar auf der Widerstandsschicht (207) und den Elektroden (203, 204) aufsitzt,
daß die zweite obere Schutzschicht (209) unter Freilassung des Bereiches des Wärmeerzeugungsabschnittes (202) auf der ersten oberen Schutzschicht (208) aufsitzt, und
daß die dritte obere Schutzschicht (210) sich ausschließlich im Bereich des Wärmeerzeugungsabschnittes (202) erstreckt, auf der ersten oberen Schutzschicht (208) aufsitzt und im Stufenbereich zwischen der ersten oberen Schutzschicht (208) und der zweiten oberen Schutzschicht (209) eingefügt ist.
daß die erste obere Schutzschicht (208) unmittelbar auf der Widerstandsschicht (207) und den Elektroden (203, 204) aufsitzt,
daß die zweite obere Schutzschicht (209) unter Freilassung des Bereiches des Wärmeerzeugungsabschnittes (202) auf der ersten oberen Schutzschicht (208) aufsitzt, und
daß die dritte obere Schutzschicht (210) sich ausschließlich im Bereich des Wärmeerzeugungsabschnittes (202) erstreckt, auf der ersten oberen Schutzschicht (208) aufsitzt und im Stufenbereich zwischen der ersten oberen Schutzschicht (208) und der zweiten oberen Schutzschicht (209) eingefügt ist.
2. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die dritte obere Schutzschicht (210) im
Stufenbereich sandwichartig zwischen der zweiten oberen
Schutzschicht (209) und der ersten oberen Schutzschicht
(208) eingefügt ist.
3. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite obere Schutzschicht (209) im Bereich
des Wärmeerzeugungsabschnitts (202) keine Bodenfläche
des Flüssigkeitsströmungskanals (305) bildet.
4. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der spezifische Widerstand der dritten oberen
Schutzschicht (210) größer ist als der spezifische
Widerstand der Flüssigkeit, der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht
(207) und der Elektroden (203, 204).
5. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der spezifische Widerstand der dritten oberen
Schutzschicht (210) 1 Ωcm oder weniger als 1 Ω · cm
beträgt.
6. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite obere Schutzschicht (209) und
die dritte obere Schutzschicht (210) sich auf der inneren
Oberfläche des Flüssigkeitsströmungskanals (305) befinden,
die in direkter Berührung mit der zugeführten Flüssigkeit
steht.
7. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß eine gemeinsame Flüssigkeitskammer (308)
mit jedem der Flüssigkeitsströmungskanäle (305) in Verbindung
steht.
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