DE3414937C2 - Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf - Google Patents

Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Aufzeichnungskopf gemäß dem Oberbegriff des geltenden Patentanspruchs 1.
Ein solcher Aufzeichnungskopf ist aus der DE 32 31 431 A1 bekannt. Der dort gezeigte Kopf umfaßt mehrere dem Erzeugen jeweils eines Flüssigkeitsstrahles dienende Einrichtungen mit einem Flüssigkeitsströmungskanal, der mit einer Öffnung für den Ausstoß einer Flüssigkeit in Verbindung steht und in dem ein Wärmeerzeugungselement aus einer wärmeerzeugenden Widerstandsschicht und einem Paar damit elektrisch leitend verbundenen Elektroden angeordnet ist, wobei ein Wärmeerzeugungsabschnitt im Bereich zwischen den Elektroden gebildet wird und wobei eine erste obere Schutzschicht aus anorganischem Isoliermaterial im Bereich der Elektroden und auf dem Wärmeerzeugungsabschnitt unter Bildung eines Stufenbereiches zwischen den Elektroden und dem Wärmeerzeugungsabschnitt, eine zweite obere Schutzschicht aus organischem Material ebenfalls im Bereich der Elektroden und eine dritte obere Schutzschicht aus anorganischem Material, das von dem anorganischem Material der ersten oberen Schutzschicht verschieden ist, im Bereich des Wärmeerzeugungsabschnittes vorgesehen ist.
In der US 4 335 389 ist ein in ähnlicher Art und Weise aufgebauter Aufzeichnungskopf gezeigt, wie er aus der zuvor genannten Veröffentlichung bekannt ist. Alle Schutzschichten bestehen dort aus unterschiedlichen anorganischen Materialien.
Bei den aus diesen Druckschriften bekannten Aufzeichnungsköpfen wird der Flüssigkeit Wärmeenergie zugeführt, um eine Ausstoßung eines Flüssigkeitströpfchens zu erzeugen. Diese Art der Tröpfchenerzeugung ist insbesondere dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit, auf die die Wärmeenergie einwirkt, eine Phasenänderung erfährt, die einen raschen Volumenanstieg bewirkt, so daß Flüssigkeit aus einer Öffnung an einem Ende eines Aufzeichnungskopfes durch derartige Phasenänderung abgestrahlt, ein fliegendes Flüssigkeitströpfchen gebildet und dieses auf einem Aufzeichnungsmedium abgeschieden wird.
In den Fig. 1A und 1B sind Ausführungsformen dargestellt, wie sie aus der nachveröffentlichten Druckschrift DE 33 44 881 A1 hervorgehen.
Fig. 1A ist eine Draufsicht auf den Wärmeerzeugungsabschnitt des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes, während Fig. 1B einen Teilschnitt entlang der strichpunktierten Linie X-Y in Fig. 1A zeigt.
Eine Basis 101 des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes umfaßt eine untere Schicht 106, eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht 107, Elektroden 103 und 104, eine erste obere Schutzschicht 107, eine zweite obere Schutzschicht 109 und eine dritte obere Schutzschicht 110, die in dieser Reihenfolge auf einer Basis 105 laminiert sind.
Die wärmeerzeugende Widerstandsschicht 107 und die Elektroden 103 und 104 sind durch Ätzen in vorgegebenen Mustern ausgebildet. Sie sind in den anderen Bereichen als dem des elektrothermischen Wandlers 102 in gleichen Mustern angeordnet. Im Bereich dieses Wandlers sind die Elektroden nicht auf die wärmeerzeugende Widerstandsschicht 107 laminiert, und die wärmeerzeugende Widerstandsschicht bildet hier einen wärmeerzeugenden Abschnitt 111. Die erste obere Schutzschicht 108 und die dritte obere Schutzschicht 110 sind auf die gesamte Oberfläche der Basis 111 laminiert; die zweite obere Schutzschicht 109 ist jedoch nicht auf den elektrothermischen Wandler 102 laminiert.
Die Materialien zur Ausbildung der oberen Schicht der Basis sind in bezug auf solche Eigenschaften, wie Wärme, Widerstandsfähigkeit, Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit, thermische Leitfähigkeit und Isolationseigenschaften ausgewählt, welche für die Bereiche erforderlich sind, auf denen die oberen Schichten angeordnet sind. Eine Hauptaufgabe der ersten oberen Schutzschicht 108 besteht darin, eine Isolation zwischen der gemeinsamen Elektrode 103 und der Wahlelektrode 104 aufrechtzuerhalten. Die Hauptaufgabe der zweiten oberen Schutzschicht 109 besteht darin, das Eindringen von Flüssigkeit zu verhindern und die entsprechende Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit zur Verfügung zu stellen, während die Hauptaufgabe der dritten oberen Schutzschicht 110 darin besteht, für eine entsprechende Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit zu sorgen und die mechanische Festigkeit zu verbessern.
Wenn bei einem derartigen Aufzeichnungskopf, der eine in der vorstehend beschriebenen Weise ausgebildete Basis aufweist, die Basis über eine längere Zeitdauer während einer wiederholten Benutzung oder über einen langen und kontinuierlichen Gebrauch mit Flüssigkeit kontinuierlich in Kontakt steht, blättern die auf der Basis ausgebildeten Schutzschichten ab, so daß die Isolation verschlechtert wird, die Elektroden oder die elektrothermischen Wandler zerbrechen und die Zuführung der Flüssigkeit letztlich verhindert wird. Es kann auch die Flüssigkeitsabgabe durch Verformung des Flüssigkeitskanals oder der Öffnung blockiert werden.
Ein Grund für derartige Verschlechterungen der Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit eines derartigen Flüssigkeitsaufzeichnungskopfes bei langem Gebrauch ist in der nachfolgenden Erklärung zu finden: da eine Anzahl von feinen elektrothermischen Wandlern gleichzeitig auf der Basis ausgebildet wird, besitzt die Oberfläche, auf der die oberen Schutzschichten ausgebildet werden sollen, feine konkav-konvexe Stufen. Die Schutzschichten decken daher diese Stufen nicht genau ab, oder die Schutzschichten weisen Fehler auf, beispielsweise feine Löcher, durch die die Flüssigkeit dringt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Aufzeichnungskopf der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art derart weiterzubilden, daß dieser eine ausgezeichnete Haltbarkeit bei häufigem wiederholten Einsatz und kontinuierlichem Gebrauch über eine lange Zeit besitzt und daß über eine längere Zeitdauer in beständiger Weise erwünschte Flüssigkeitströpfchenbildungseigenschaften aufrechterhalten werden können.
Diese Aufgabe wird durch einen Aufzeichnungskopf mit den im Patentanspruch 1 angegebenen Maßnahmen auf besonders vorteilhafte Art und Weise gelöst.
Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigt
Fig. 1A eine Draufsicht auf einen elektrothermischen Wandler eines der Weiterbildung zugrundeliegenden Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes,
Fig. 1B einen Schnitt entlang der strichpunktierten Linie X-Y in Fig. 1A,
Fig. 2A eine Draufsicht auf einen elektrothermischen Wandler auf einer Basis eines erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes,
Fig. 2B einen Teilschnitt entlang der strichpunktierten Linie X′-Y′ in Fig. 2A,
Fig. 3, 4 weitere Schnitte durch den Wandler nach Fig. 2A,
Fig. 5 eine schematische Ansicht des Innenaufbaus des erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes, und
Fig. 6 eine schematische Ansicht einer anderen Ausführungsform eines erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes.
Die in den Fig. 2A und 2B dargestellte Basis 201 umfaßt ein Substrat 205 aus Silizium, Glas oder Keramik, eine Unterlage 206 aus SiO₂, die auf dem Substrat 205 ausgebildet ist, eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht 207, eine gemeinsame Elektrode 204 und eine Wahlelektrode 203, die auf der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht 207 mit Ausnahme eines wärmeerzeugenden Abschnittes 211 laminiert sind, eine erste obere Schutzschicht 208, die den wärmeerzeugenden Abschnitt 211, die gemeinsame Elektrode 204 und die Wahlelektrode 203 bedeckt, eine zweite obere Schutzschicht 209 und eine dritte obere Schutzschicht 210, die entsprechend der Struktur der darunter befindlichen Schicht laminiert sind.
Ein Heizabschnitt 202 umfaßt den wärmeerzeugenden Abschnitt 211 als Haupteinheit. In dem wärmeerzeugenden Abschnitt 211 sind die Unterlage 206, die wärmeerzeugende Widerstandsschicht 207, die erste obere Schutzschicht 208 und die dritte obere Schutzschicht 210 in dieser Reihenfolge auf dem Substrat 205 laminiert, wobei die dritte obere Schutzschicht 210 mindestens die Oberfläche des Heizabschnittes 202 abdeckt. Somit ist auf dem Heizabschnitt 202 eine doppelte obere Schutzschicht ausgebildet, die die erste obere Schutzschicht 208 und die dritte obere Schutzschicht 210 umfaßt.
Außerhalb des Heizabschnittes 202 besteht die Basis 201 aus der Unterlage 206, der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht 207 und den Elektroden 203 und 204, die in dieser Reihenfolge auf dem Substrat laminiert sind, wobei die erste obere Schutzschicht 208 und die zweite obere Schutzschicht 209 mindestens auf den Elektroden 203 und 204 laminiert sind.
In der Basis 201 des in den Fig. 2A und 2B gezeigten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes stehen die zweite obere Schutzschicht 209 und die dritte obere Schutzschicht 210 nicht miteinander in Kontakt. Alternativ dazu kann, wie in Fig. 3 gezeigt, die dritte obere Schutzschicht 210 die zweite obere Schutzschicht 209 überlagern, um das obere Ende des Heizabschnittes 202 breiter abzudecken, oder die dritte obere Schutzschicht 210 kann, wie in Fig. 4 gezeigt, zwischen der ersten oberen Schutzschicht 208 und der zweiten oberen Schutzschicht 209 ausgebildet sein, um den Heizabschnitt 202 breiter abzudecken.
Die Hauptaufgabe der ersten oberen Schutzschicht 208, die mindestens auf dem Heizabschnitt 202 und den Elektroden 203 und 204 ausgebildet ist, besteht darin, die gemeinsame Elektrode 204 gegenüber der Wahlelektrode 203 zu isolieren. Die erste obere Schutzschicht 208 besteht aus einem anorganischen Isolationsmaterial.
Die zweite obere Schutzschicht 209 ist auf mindestens den Elektroden 203 und 204 als obere Schutzschicht für die Basis 201 mit Ausnahme des Heizabschnittes 202 ausgebildet und besitzt einen Bereich, der in direktem Kontakt mit der Flüssigkeit steht. Die Hauptaufgabe dieser Schicht besteht darin, ein Eindringen von Flüssigkeit zu verhindern und die Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit zu erhöhen. Vorzugsweise besitzt diese Schicht ein hohes Filmbildungsvermögen, eine feine Struktur mit einer geringen Anzahl von feinen Löchern, schwillt durch die verwendete Tinte nicht an und ist in dieser auch nicht löslich, besitzt als Film ein hohes Isolationsvermögen und weist eine hohe Wärmefestigkeit auf. Für diese Schicht werden organische Materialien verwendet.
Bei der Herstellung eines Aufzeichnungskopfes mit einer Vielzahl von Öffnungen hoher Dichte kann die zweite obere Schutzschicht 209 vorzugsweise aus einem organischen Material hergestellt werden, das sich auf feinfotolithographischem Wege sofort behandeln läßt.
Die Hauptaufgabe der dritten oberen Schutzschicht 210, die auf der ersten oberen Schutzschicht 208 auf dem Heizabschnitt 202 ausgebildet ist, besteht darin, das Flüssigkeitswiderstandsvermögen und die mechanische Festigkeit zu erhöhen. Diese dritte obere Schutzschicht 210 besteht aus metallischem Material, das elastisch ist, eine relativ hohe mechanische Festigkeit besitzt und Kontakt- und Bindeeigenschaften in bezug auf die erste obere Schutzschicht 208 aufweist, beispielsweise Ta, wenn die erste obere Schutzschicht 208 aus SiO₂ besteht. Durch Ausbildung der dritten oberen Schutzschicht 210 aus dem anorganischen Material mit relativ hoher Elastizität und mechanischer Festigkeit auf der ersten oberen Schutzschicht 208 auf dem Heizabschnitt 202 können Schocks infolge von Kavitation, die auftreten, wenn die Flüssigkeit von einer Kontaktebene (Wärmeeinwirkungsebene, nicht gezeigt) zwischen dem wärmeerzeugenden Abschnitt 211 und der Flüssigkeit abgegeben wird, vollständig absorbiert werden, so daß die Wahrscheinlichkeit des Entstehens von Fehlern, beispielsweise von feinen Löchern in der oberen Schutzschicht 210 während des Herstellungsvorganges, und einer Verschlechterung des Abdeckvermögens der oberen Schutzschicht 210 reduziert und die Lebensdauer des Heizabschnittes 202 beträchtlich verlängert wird.
Die dritte Schicht 210 kann durch Bedampfen, Sprühverfahren, CVD-Verfahren oder andere Verfahren hergestellt werden, und die Filmdicke beträgt üblicherweise 0,01-5 µm, vorzugsweise 0,1-5 µm, insbesondere 0,2-3 µm. Das Material und die Filmdicke sind vorzugsweise so ausgebildet, daß der spezifische Widerstand der Schicht 210 größer ist als der spezifische Widerstand der Tinte, der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht 207 und der Elektrodenschicht. Beispielsweise besitzt die Schicht 210 einen spezifischen Widerstand von 1 Ω-cm oder weniger. Vorzugsweise wird ein Isolationsmaterial, wie beispielsweise Si-C, mit guten Eigenschaften gegen mechanische Schocks verwendet.
Bei der dritten oberen Schutzschicht 210 kann es sich um eine einzige Schicht oder um eine zusammengesetzte Schicht handeln. Darüber hinaus kann die dritte obere Schutzschicht 210 aus einem kombinierten Material hergestellt werden.
Der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf der vorliegenden Erfindung wird vervollständigt, indem eine Vielzahl von oberen Schichten, die in den Fig. 2A bis 4 dargestellt sind, auf der Basis, auf der die elektrothermischen Wandler ausgebildet worden sind, vorgesehen wird. Danach werden der Strömungskanal 305 und die Öffnung 306 für den wärmeerzeugenden Abschnitt 211, der von den elektrothermischen Wandlern gebildet worden ist, ausgebildet. Die dritte obere Schutzschicht wird vorzugsweise in einem minimalen erforderlichen Bereich auf dem wärmeerzeugenden Abschnitt ausgebildet.
In Fig. 6 ist in schematischer Weise der Innenaufbau des fertigen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes dargestellt. Bei der vorliegenden Ausführungsform befindet sich die Öffnung 306 über dem wärmeerzeugenden Abschnitt. Mit 307 ist eine Tintenkanalwand, mit 308 eine gemeinsame Flüssigkeitskammer, mit 309 eine zweite gemeinsame Flüssigkeitskammer, mit 310 eine Öffnung, die die gemeinsame Flüssigkeitskammer 308 mit der zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer 309 verbindet, und mit 311 eine obere Platte bezeichnet. Die Verdrahtung des elektrothermischen Wandlers ist in Fig. 5 weggelassen.
In Fig. 5 ist in schematischer Weise eine andere Ausführungsform eines fertigen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes dargestellt. Bei dieser Ausführungsform befindet sich die Öffnung 306 an einem Ende des Flüssigkeitsströmungskanals. Mit 312 ist eine Tintenzuführöffnung bezeichnet. Bei diesem Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf sind die auf der Basis befindlichen oberen Schichten aus Materialien hergestellt, die in bezug auf Wärmefestigkeit, Flüssigkeitswiderstandsvermögen, thermische Leitfähigkeit und elektrisches Isolationsvermögen ausgewählt worden sind, welche Eigenschaften für die Bereiche erforderlich sind, auf denen die entsprechenden oberen Schichten laminiert sind. Diese oberen Schichten aus den unterschiedlichen Materialien, die auf der Basis laminiert sind, weisen gute Kontakteigenschaften und Bindeeigenschaften auf. Somit weist der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf eine ausgezeichnete Haltbarkeit und ein ausgezeichnetes Flüssigkeitswiderstandsvermögen bei häufig wiederholtem Einsatz und bei kontinuierlichem Langzeiteinsatz auf und hält gewünschte Flüssigkeitströpfchenbildungseigenschaften über einen verlängerten Zeitraum aufrecht.
Ausführungsbeispiel
Es wurde ein Si-Plättchen thermisch oxidiert, um einen SiO₂-Film mit einer Dicke von 5 µm als Basis auszubilden. Die Basis wurde zur Ausbildung einer HfB₂-Schicht in einer Dicke von 3000 Å besprüht, um die wärmeerzeugende Widerstandsschicht herzustellen, wonach eine Ti-Schicht von 50 Å und eine Al-Schicht von 1000 Å nacheinander durch Elektronenstrahlbedampfen aufgebracht wurden. Die Elektroden und die wärmeerzeugende Widerstandsschicht wurden über ein fotolithographisches Verfahren in die in Fig. 2A dargestellte Form gebracht, und es wurde eine vorgegebene Anzahl von elektrothermischen Wandlern (wärmeerzeugender Abschnitt mit einer Breite von 50 µm und einer Länge von 150 µm) in den speziellen Positionen ausgebildet.
Eine SiO₂-Sprühschicht wurde durch ein Hochleistungssprühverfahren auf der mit den elektrothermischen Wandlern und den Elektroden versehenen Basis in einer Dicke von 2,8 µm abgeschieden. Danach wurde eine Ta-Sprühschicht in einer Dicke von 0,5 µm abgeschieden.
Die Ta-Schicht wurde durch ein fotolithograhisches Verfahren geätzt, so daß nur noch die elektrothermischen Wandler in einem Muster von 90 µm Breite und 200 µm Länge verblieben, während der übrige Bereich als dieses Muster auf den elektrothermischen Wandlern mit Photoneece abgedeckt wurde.
Ein Trockenfilm aus einem lichtempfindlichen Harz mit einer Dicke von 50 µm wurde auf der Basis laminiert, durch eine vorgegebene Maske belichtet und entwickelt, um den Flüssigkeitsströmungskanal und die gemeinsamen Flüssigkeitskammern auszubilden. Die Deckplatte aus Glas wurde mit Epoxidkleber befestigt, so daß sich der in Fig. 5 dargestellte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf ergab.
Dieser Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf wurde zur Durchführung eines Haltbarkeitstests 20 Tage lang 5×10⁷ mal betrieben. Bei diesem Test wurde eine Haltbarkeit von 10⁹ Inbetriebnahmen in beständiger Weise erreicht. Bei einem Flüssigkeitswiderstandstest des Aufzeichnungskopfes, bei dem dieser einen Monat lang bei 60°C in die Aufzeichnungsflüssigkeit eingetaucht und danach für einen üblichen Aufzeichnungsvorgang verwendet wurde, wurde in den oberen Schichten auf der Basis des Aufzeichnungskopfes kein unnormaler Zustand bemerkt. Die Drähte des Aufzeichnungskopfes waren nicht zerbrochen, und es wurden die gleichen Aufzeichnungseigenschaften erreicht wie vor der Durchführung des Tauchtests. Somit ergab sich eine ausgezeichnete Haltbarkeit.
Bei einem Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, der in der gleichen Weise wie die vorstehend beschriebene Ausführungsform hergestellt worden war, jedoch eine Basis nach dem Stand der Technik besaß, wurde eine Haltbarkeit von mehr als 10⁷ Inbetriebnahmen bei kontinuierlichem Dauerbetrieb nicht erreicht. Im Flüssigkeitswiderstandstest blätterten die oberen Schichten von der Basis ab, der Flüssigkeitsströmungskanal oder die Öffnung verformten sich, die Elektroden lösten sich auf, und die Drähte brachen während des Einsatzes des Kopfes bei Anlegen einer Spannung.

Claims (7)

1. Aufzeichnungskopf mit einer oder mehreren dem Erzeugen jeweils eines Flüssigkeitsstrahles dienenden Einrichtungen mit einem Flüssigkeitsströmungskanal (305), der mit einer Öffnung (306) für den Ausstoß einer Flüssigkeit in Verbindung steht und in dem ein Wärmeerzeugungselement aus einer wärmeerzeugenden Widerstandsschicht (207) und einem Paar damit elektrisch leitend verbundenen Elektroden (203, 204) angeordnet ist, wobei ein Wärmeerzeugungsabschnitt (202) im Bereich zwischen den Elektroden (203, 204) gebildet wird, und wobei eine erste obere Schutzschicht (208) aus anorganischem Isoliermaterial im Bereich der Elektroden (203, 204) und auf dem Wärmeerzeugungsabschnitt (202) unter Bildung eines Stufenbereiches zwischen den Elektroden (203, 204) und dem Wärmeerzeugungsabschnitt (202), eine zweite obere Schutzschicht (209) aus organischem Material ebenfalls im Bereich der Elektroden (203, 204) und eine dritte obere Schutzschicht (210) aus anorganischem Material, das von dem anorganischem Material der ersten oberen Schutzschicht (208) verschieden ist, im Bereich des Wärmeerzeugungsabschnitts (202) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die erste obere Schutzschicht (208) unmittelbar auf der Widerstandsschicht (207) und den Elektroden (203, 204) aufsitzt,
daß die zweite obere Schutzschicht (209) unter Freilassung des Bereiches des Wärmeerzeugungsabschnittes (202) auf der ersten oberen Schutzschicht (208) aufsitzt, und
daß die dritte obere Schutzschicht (210) sich ausschließlich im Bereich des Wärmeerzeugungsabschnittes (202) erstreckt, auf der ersten oberen Schutzschicht (208) aufsitzt und im Stufenbereich zwischen der ersten oberen Schutzschicht (208) und der zweiten oberen Schutzschicht (209) eingefügt ist.
2. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte obere Schutzschicht (210) im Stufenbereich sandwichartig zwischen der zweiten oberen Schutzschicht (209) und der ersten oberen Schutzschicht (208) eingefügt ist.
3. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite obere Schutzschicht (209) im Bereich des Wärmeerzeugungsabschnitts (202) keine Bodenfläche des Flüssigkeitsströmungskanals (305) bildet.
4. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der spezifische Widerstand der dritten oberen Schutzschicht (210) größer ist als der spezifische Widerstand der Flüssigkeit, der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht (207) und der Elektroden (203, 204).
5. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der spezifische Widerstand der dritten oberen Schutzschicht (210) 1 Ωcm oder weniger als 1 Ω · cm beträgt.
6. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite obere Schutzschicht (209) und die dritte obere Schutzschicht (210) sich auf der inneren Oberfläche des Flüssigkeitsströmungskanals (305) befinden, die in direkter Berührung mit der zugeführten Flüssigkeit steht.
7. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine gemeinsame Flüssigkeitskammer (308) mit jedem der Flüssigkeitsströmungskanäle (305) in Verbindung steht.
DE3414937A 1983-04-20 1984-04-19 Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf Expired - Lifetime DE3414937C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

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JP58069585A JPH0624855B2 (ja) 1983-04-20 1983-04-20 液体噴射記録ヘッド

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Publication Number Publication Date
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