DE3401979A1 - Ultraschall-wandler - Google Patents
Ultraschall-wandlerInfo
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Weber, Hellfeld & Tönnies d-sooö München 71
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Königsberger Allee 85-87
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6800 Mannheim-Schönau
Ultraschall-Wandler
European Patent Attorney Rechtsanwalt
Dipl.-Phys. Dipl.-Phys., Dr.rer.nat. Dipl.-Ing., Dipl.-Oek.
Ο E WEBER. München AXEL v. HELLFELD, Kiel JAN G. TÖNNIES, Kiel
Die Erfindung betrifft einen Ultraschall-Wandler mit einem piezoelektrischen Wandlerelement, das piezoelektrisch zu
Ultraschall-Schwingungen anregbar ist, mit einem auf der einen Stirnfläche des Wandlerelements aufgebrachten Anpassungskörper,
der im Bereich des Wandlerelements eine Dickenabmessung ^/4 hat, wobei 7\ die Wellenlänge der
Schallwelle im Anpassungskörper ist, der weiterhin aus einem Material mit einer Größe des Schallwellen-Widerstandes
zwischen dem Wert des Schallwellen-Widerstandes des Materials des Wandlerelements und demjenigen des Mediums
besteht, in das der Ultraschall abzustrahlen ist, und der schließlich eine gegenüber der Flächenabmessung
des Wandlerelements wesentlich größere Flächenabmessung mit einem über den Rand des Wandlerelements überstehenden
Bereich hat.
Für Ultraschall-Echolot-Systeme und für Ultraschall-Schranken-Systeme,
die beispielsweise als Reflexionssysteme oder als Direktausblendsysteme arbeiten können, sind Ultraschall-Wandler
wünschenswert, die einen Schallstrahl mit einem besonders geringen öffnungswinkel zu erzeugen vermögen.
Mittels eines solchen geringen öffnungswinkels können
störende Reflexionen der Ultraschall-Wellen vermieden werden, so daß ein besonders hohes Auflösungsvermögen
erreicht werden kann, wobei unter Auflösungsvermögen zu
verstehen ist, daß zwei nahe beieinanderliegende Objekte gerade noch unterschieden werden können.
Bei herkömmlichen Ultraschall-Wandlern sind deren Abmessungen im wesentlichen durch die Betriebsfrequenz und das Material
des Ultraschall-Wandlers vorgegeben. Die Abmessungen des Ultraschall-Wandlers bestimmen auch die Größe der Schallabstrahlfläche,
welche wiederum im wesentlichen die Richtcharakteristik des erzeugten Schallstrahles festlegt.
Bekanntlich beträgt der öffnungswinkel 2^ eines Schallstrahls
für die Abnahme des Schalldrucks auf das 1/ VT-fache
des Wertes auf der Achse des Schallstrahls im Fernfeld
2 γ = 58,5° · * (1)
mit ~7\ = Wellenlänge der Ultraschall-Wellen in Luft und
D = Durchmesser einer kreisförmigen Schallabstrahlfläche (vgl. hierzu auch J. Krautkrämer und H.
Krautkrämer in "Werkstoffprüfung mit Ultraschall", 4. Auflage, Springer-Verlag, 1980, Seiten 58-71).
Bei diesem Winkely ist die Schallamplitude eines als Echo
reflektierten Ultraschall-Strahles am Ort des aussendenden Ultraschall-Wandlers auf die Hälfte gefallen, und die Intensität
dieses Echos beträgt unter dem Winkel 2Γ lediglich
noch ein Viertel der Intensität des ausgesandten Ultraschall-Strahles auf der Achse des Ultraschall-Wandlers.
Wenn für den Durchmesser D der kreisförmigen Schallabstrahlfläche der Wert 11 -Λ gewählt wird, dann gilt für den öffnungswinkel
2 JT = 5,3°.
Ein Blei-Zirkonat-Titanat als piezoelektrisches Material für
das Wandlerelement verwendender Ultraschall-Wandler hat bei einer Frequenz von etwa 200 kHz einen Durchmesser von etwa
18,5 mm und weist als *^/4-Schwinger eine Dicke von etwa 1o mm
auf. Infolge der mit diesen Abmessungen verknüpften großen Masse besitzt ein derartiger *\ /4-Schwinger eine sehr lange mechanische
Ausschwingzeit, so daß der minimal erfaßbare Abstand einer Meßfläche sehr groß wird.
Die Ausschwingzeit eines piezoelektrischen Ultraschall-Wandlers kann beispielsweise durch eine gute Auskopplung der Schwingungsenergie in Luft als Trägermedium reduziert werden. Optimale Ergebnisse
werden erzielt, wenn eine sogenannte Anpassungsschicht
zwischen dem piezoelektrischen Wandlerelement und der dieses umgebenden Luft vorgesehen wird, wobei der Schallwellen-Wider-
stand ΖΑ dieser Anpassungsschicht dem geometrischen Mittel
des Schallwellen-Widerstandes Z„ des piezoelektrischen Wandlerelements
und des Schallwellen-WiderstandsZT der umgebenden
Luft entspricht. Die Anpassungsschicht sollte also bei diesem Beispiel den folgenden Schallwellen-Widerstand besitzen
(vgl. hierzu auch IEEE Transactions on Sonics and Ultrasonics, Vol. SU-12, No.2, Juni 1965, Seiten 37-48):
A - V2S * V (2)
Wenn für das piezoelektrische Wandlerelement beispielsweise die Piezokeramik PXE5 der Firma Valvo, Hamburg, gewählt wird,
dann sollte der Schallwellen-Widerstand der Anpassungsschicht bei Abstrahlung von Schallwellen in Luft den Wert 1,2 χ 10 kg
-2-1
m s aufweisen.
m s aufweisen.
Ein Material mit derartigen Eigenschaften ist bisher nicht bekanntgeworden. Daher werden Materialien verwendet, die
den an sie gestellten Forderungen möglichst nahekommen.
So wurde beispielsweise bereits daran gedacht, bei einem Wandlerelement
aus Piezokeramik und Abstrahlung der Schallwellen in Luft als Anpassungsschicht eine λ/4-Schicht aus Hohlkugeln
aus Glas oder Siliziumdioxid vorzusehen, die mittels eines organischen Harzes, wie beispielsweise Epoxidharz/oder mittels
Polystyrol zu einem Schaumstoff gebunden sind, der bei einer als Luft als Ausbreitungsmedium angepaßten akustischen
Impedanz eine kleine Dichte und eine hohe Schwinggüte besitzt (vgl. DE-PS 25 37 788).
Auf dem Markt sind auch verschiedene syntaktische Schaumstoffe aus mit Mikro-Glashohlkuqeln gefülltem Epoxidharz und aus mit
Phenolhohlkugeln getuschten Epoxidharz erhältlich.
Eine maximale Energieübertragung von einem Wandlerelement in Luft wird erhalten, wenn die Dicke der Anpassungsschicht auf
"X/4 oder ein ungeradzahliges Vielfaches hiervon eingestellt
wird, wobei % die Wellenlänge der Ultraschall-Wellen im Material
der Anpassungsschicht bedeutet (vgl. die obige Literaturstelle in IEEE sowie DE-PS 25 37 788 und DE-PS 25 41 492).
Zwischen einem piezokeramischen Wandlerelement und einer Anpassungsschicht
mit einer Dicke "λ /4 können gegebenenfalls zur weiteren Verbesserung der Anpassung noch zusätzliche
Schichten vorgesehen werden, deren Dickenabmessung jeweils den Wert ~\ /2 oder ein ganzzahliges Vielfaches hiervon haben
kann (vgl. die obige Literaturstelle IEEE ...).
Man weiß, daß die Grundeigenschwingung eines mechanischen Schwingungssystems in idealer Weise gerade dann vorliegt,
wenn die Dicke dieses Schwingungssystems in Fortpflanzungsrichtung der Ultraschall-Wellen der Hälfte von deren Wellenlänge
im Material des Schwingungssystems entspricht. Das gleiche gilt auch für gekoppelte Schwingungssysteme, also
für sogenannte Verbundsysteme. Wenn hier die Dicke der Anpassungsschicht
den Wert "λ /4 hat, so sollte das Wandlerelement
über seiner Dicke auch als sogenannter λ /4-Wandler
wirken. Bei einer Dickenanregung des piezoelektrischen Wandlerelements bedeutet dies, daß die Dicke den Wert λ/4
haben sollte. Bei einer Radialanregung des Wandlerelements kann die Dicke auch ein anderes Maß besitzen, da hier der
Durchmesser des Wandlerelements die Eigenfrequenz festlegt.
Aus der DE-PS 25 41 492 ist ein Ultraschall-Wandler der eingangs genannten Art bekannt. Dieser Ultraschall-Wandler verwendet
für die Anpassungsschicht eine Schaumstoffplatte, die eine gegenüber der Flächenabmessung des Wandlerelernents
wesentlich größere Flächenabmessung mit einem über den Rand des Wandlerelements überstehenden Bereich aufweist. An diesem
überstehenden Bereich der Schaumstoffplatte ist auf der Seite des Wandlerelements ein sogenannter Beschwerungsring
angebracht, der im Vergleich zur Schaumstoffplatte ein der-
art großes Gewicht hat, daß die Grenzfläche zwischen dem Wandlerelement
und dem Beschwerungsring einerseits und der Schaumstoffplatte andererseits eine Knotenfläche der Schwingung des
gesamten Ultraschall-Wandlers festlegt. Dadurch soll ein Ultraschall-Wandler geschaffen werden, bei dem einerseits die oben
aufgezeigten bekannten Gesetzmäßigkeiten der Anpassungsbedingung möglichst gut erfüllt sind und mit dem andererseits eine Schallabstrahlung
mit besonders geringem Öffnungswinkel erzeugt werden kann.
Mit diesem bekannten Ultraschall-Wandler kann zwar eine Schallstrahlung
mit kleinem öffnungswinkel bei gleichphasiger Schwingung der Schaumstoffplatte erzeugt werden. Es hat sich aber
gezeigt, daß die Dimensionierung des Beschwerungsringes besonders kritisch ist, was in der Praxis dazu führen kann, daß nicht
die gesamte Stirnfläche des Ultraschall-Wandlers, von der der Schallstrahl abgegeben wird, mit gleichphasigen Schwingungen
angeregt wird.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Ultraschall-Wandler zu schaffen, der Schallstrahlung mit sehr geringem Öffnungswinkel
zu erzeugen vermag, dessen Stirnfläche zuverlässig stets mit gleichphasigen Schwingungen anregbar ist und der keinen
Beschwerungsring mit großer Masse benötigt.
Diese Aufgabe wird bei einem Ultraschall-Wandler der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der überstehende
Bereich des Anpassungskörpers alsλ/2-Schwinger
ausgebildet ist.
Beim erfindungsgemäßen Ultraschall-Wandler wirkt also dieser
überstehende Bereich als ^/2-Schwinger, was gewährleistet,
daß die gesamte Stirnfläche des Ultraschall-Wandlers ein Schwingverhalten mit gleichphasigen Schwingungen zeigt. Auch
wird kein Beschwerungsring großer Masse benötigt, da durch die
Gestaltung des überstehenden Bereichs des Anpassungskörpers bzw. der Anpassungsschicht als A /2-Schwinger erreicht wird, daß an
dieser Stelle ein Schwingungsknoten liegt.
In vorteilhafter Weise beträgt die Dickenabmessung des überstehenden
Bereiches X/2 der Schallwelle in diesem überstehenden
Bereich. Der überstehende Bereich kann so einen Schwingring bilden, der eine Dicke von Λ/4 besitzt und zusammen mit
dem hinter diesem Schwingring angeordneten Bereich des Anpassungskörpers ein/\./2-Schwingsystem bildet.
Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Ultraschall-Wandlers ist die Möglichkeit einer Einstellung der mechanischen Schwinggüte.
Durch den Λ/2-Schwinger tritt eine Resonanzüberhöhung auf,
die zu einer Erhöhung der mechanischen Schwinggüte des Ultraschall-Wandlers führt. Verwendet man für den λ/2-Schwinger bzw.
für den /t /4-Schwingring ein Material, das eine andere Dämpfung als die Anpassungsschicht hat, kann die mechanische Schwinggüte
des Ultraschall-Wandlers geändert werden. Wird der Ultraschall-Wandler als Sender verwendet, kann mit einer Güteerhöhung die abgestrahlte
Energie vergrößert werden. Bei einer Verwendung als Schallempfänger ist hierdurch eine Verbesserung des Signal-Rausch-Abs
tandes möglich.
Alternativ besteht bei dem erfindungsgemäßen Ultraschall-Wandler der Vorteil, seine Bandbreite einstellen zu können, wobei die
Resonanzfrequenz des äußeren /\/2-Schwingers in üblicher Weise gegenüber der Schwingfrequenz des Wandlerelementes verschoben
wird. Dies läßt sich in einfacher Weise durch Ändern der Dickenabmessung des äußeren Λ/2-Schwingers vornehmen, wobei hier /L
die Wellenlänge der verschobenen Schwingfrequenz des \ /2-Schwingers
bedeutet. Ein solcher Ultraschall-Wandler mit vergrößerter Bandbreite ist oftmals vorteilhaft bei einem Einsatz
als Empfänger.
Der Schwingring selbst umschließt das Wandlerelement, ohne dieses jedoch zu berühren, wobei der Abstand zwischen dem
Wandlerelement und dem Schwingring etwa die Hälfte der Schallwellenlänge in Luft bei der Frequenz des Wandlerelements
betragen kann.
Das Wandlerelement kann auf einfache Weise mittels eines leitfähigen Klebers mit dem Anpassungskörper verbunden werden.
Auf diese Weise wird gleichzeitig eine Elektrode erzeugt und die notwendige mechanisch feste Verbindung mit
dem Anpassungskörper hergestellt.
Der Anpassungskörper kann materialeinheitlich gestaltet sein oder auch aus mehreren Materialien hergestellt werden. So ist
es beispielsweise möglich, daß einerseits der dem Wandlerelement benachbarte Bereich des Anpassungskörpers sowie dessen
überstehender Bereich bis zu seinem äußeren Rand und andererseits der Schwingring jeweils aus einheitlichen Materialien
bestehen. Auch können einerseits der dem Wandlerelement benachbarte Bereich des Anpassungskörpers bis zum Innenrand
des Schwingrings und andererseits der Schwingring sowie der diesem benachbarte bzw. überstehende Bereich des Anpassungskörpers jeweils aus einheitlichen Materialien bestehen.
Ein so als Verbundkörper aus praktisch zwei Teilen bestehender Anpassungskörper kann besonders einfach gefertigt werden.
Die verschiedenen Teile des Anpassungskörpers können miteinander verklebt werden.
Die Befestigung des Ultraschall-Wandlers in einem Gehäuse erfolgt vorzugsweise an der hinteren freien Stirnfläche des
Schwingringes oder an dessen äußeren Rand mittels eines akustischen Dämpfungsmaterials ausreichender mechanischer
Stabilität, das beispielsweise aus Mischstoffen auf der Basis von ausgehärteten Kunstharzen oder Gummi, denen bzw. dem
pulverförmige Zusatzstoffe beigefügt sind, hergestellt sein kann. Geeignete Zusatzstoffe sind beispielsweise Metallpulver
und Bleimennige.
Es ist aber auch möglich, den Ultraschall-Wandler mit einem Gehäuse durch einen O-Ring zu verbinden, der auf dem Außenrand
des Schwingringes und dem äußeren Bereich des Anpassungskörpers umläuft. Dieser O-Ring kann in einfacher Weise aus
Gummi bestehen.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist es möglich/ den erfindungsgemäßen Ultraschall-Wandler an einer Befestigungsscheibe mit einem Gehäuse zu verbinden, wobei die Befestigungsscheibe zwischen dem λ^/4-Anpassungskörper einerseits und dem
Wandlere lement sowie dem A/4 -Schwingring des /λ. /2-Schwingers
andererseits mit einer festen Verbindung angebracht ist und über den äußeren Rand desΛ/2-Schwingers übersteht. Die Befestigungsscheibe
besteht vorzugsweise aus dünnem Metallblech von einigen Hundertstel bis wenigen Zehntel mm Dicke und befindet
sich in einem Schwingungsknoten, so daß eine störende Schwingungsdämpfung hinreichend vermieden werden kann. Die feste
Verbindung der Befestigungsscheibe mit dem Λ./4-Anpassungskörper,
dem /\ /4-Schwingring und dem Wandlerelement erfolgt mittels eines geeigneten Klebers. In vorteilhafter Weise kann
diese Befestigungsscheibe als elektrische Zuführung für die aufgeklebte Elektrode des Wandlerelementes dienen. Das Gehäuse selbst
umschließt die Außenseite des Ultraschall-Wandlers, ohne diesen jedoch zu berühren, wobei der Abstand zwischen dem Ultraschall-Wandler
und dem Gehäuse vorzugsweise die Hälfte der Schallwellenlänge in Luft bei der Frequenz des Ultraschall-Wandlers beträgt.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist die Befestigungsscheibe als Befestigungsring ausgebildet, wobei der freie Innendurchmesser
des Befestigungsringes gleich dem Innendurchmesser des Λ/4-Schwingringes
des äußeren A /2-Schwingers ist. Hierdurch wird eine bessere akustische Ankopplung des Wandlerelementes an den
Anpassungskörper erreicht. Verwendet man bei dieser Ausführung den Befestigungsring als elektrische Zuführung für die aufgeklebte
Elektrode des Wandlerelementes und benutzt man vorzugsweise für die Verklebung von Wandlerelement und Befestigungsring mit dem Anpassungskörper eine durchgehende Klebeschicht
aus leitfähigem Kleber, so kann eine leitende Verbindung zwischen der aufgeklebten Elektrode des Wandlerelementes und dem
Befestigungsring auf einfache Weise erhalten werden.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen;
Fig. 1 eine Draufsicht auf ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Ultraschall-Wandlers,
Fig. 2 einen Schnitt II-II des Ultraschall-Wandlers von
Fig. 1,
Fig. 3 ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Ultraschall-Wandlers in einem Schnitt entsprechend
der Fig. 2,
Fig. 4 ein drittes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Ultraschall-Wandlers mit einer Befestigungsscheibe, und
Fig. 5 ein viertes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Ultraschall-Wandlers mit einem Befestigungsring.
Der Ultraschall-Wandler besitzt ein übliches, kreisförmiges, piezokeramisches Wandlerelement 1 in der Form einer Scheibe,
wobei an den beiden Stirnflächen dieser Scheibe jeweils eine Metallelektrode 2,3 vorgesehen ist. Diese Metallelektroden 2,3
können beispielsweise durch Einbrennversilberung hergestellt werden.
-AS ·
An den Metallelektroden 2,3 sind (in den Figuren nicht gezeigte) elektrische Anschlußdrähte angebracht, über die an die Metallelektroden 2,3 eine Wechselspannung angelegt werden kann, deren
Frequenz vorzugsweise der Eigenfrequenz des Ultraschall-Wandlers entspricht.
Wird eine solche elektrische Wechselspannung an die Metallelektroden
2,3 angelegt, dann wird das piezokeramische Wandlerelement 1 zu mechanischen Schwingungen angeregt, bei denen
es sich vorzugsweise um Radialschwingungen handelt, wobei aber auch eine Anregung mit Dickenschwingungen möglich ist.
Das piezokeramische Wandlerelement 1 ist an seiner mit der Metallelektrode 2 belegten Stirnfläche auf einen Anpassungskörper 4 aufgeklebt, der eine wesentlich größere Abmessung
als das piezokeramische Wandlerelement 1 besitzt (vgl. Fig.1 und 2).
Die Dicke des Anpassungskörpers 4 ist im Bereich des piezokeramischen
Wandlerelements 1, also "oberhalb" der Metallelektrode 2, als /\/4-Schicht ausgebildet, was bedeutet, daß
hier der Anpassungskörper 4 eine Dicke mit dem Wert "λ /A besitzt,
wobei 'λ die Wellenlänge der Ultraschall-Wellen im
Material des Anpassungskörpers 4 bedeutet.
Ein überstehender Bereich 5 des Anpassungskörpers 4 ist erfindungsgemäß
in seiner Dicke als mechanischer ^ /2-Schwinger ausgebildet. Dies bedeutet, daß der Anpassungskörper 4
in diesem Bereich 5 eine Dicke von ^ /2 aufweist, wobei *\
auch hier die Wellenlänge der Ultraschall-Wellen im Anpassungskörper 4 bedeutet.
In idealer Weise ist die gesamte schallabstrahlende Stirnfläche 8 des Anpassungskörpers 4 eben. Dadurch umschließt
der überstehende Bereich 5 des Anpassungskörpers 4 das piezokeramische Wandlerelement 1 mit einem konzentrischen Schwingring
6, ohne jedoch seitlich das Wandlerelement 1 zu berühren, um eine Schwingungsanregung mit einer anderen als der Dickenschwingung
zu vermeiden.
Der Abstand zwischen dem Wandlerelement 1 und dem konzentrischen Schwingring 6 beträgt etwa die Hälfte der Schallwellenlänge
in Luft bei der Frequenz des Wandlerelements 1.
Der Anpassungskörper 4 besteht also aus dem unmittelbar an das Wandlerelement angrenzenden Bereich, dem überstehenden
Bereich 5 (durch Strichpunktlinien in den Fig. 2 und 3 angedeutet) und dem Schwingring 6 (durch Strichlinien in Fig.
2 und 3 angedeutet) .
Dieser Anpassungskörper 4 kann aus einem einheitlichen Material hergestellt sein, dessen akustischer Schallwellen-X-iiderstand
einen Wert hat, der zwischen der Größe des Schallwellen-Widerstandes des Wandlerelements 1 und der Größe des Schallwellen-Widerstandes
des Mediums liegt, in das sich der Schall ausbreiten soll, also beispielsweise Luft oder Wasser. Wie bereits eingangs
erläutert wurde, kann bei einem Ultraschall-Wandler für eine einzige zu erzeugende Frequenz und bei einer sehr großen
Schallabstrahlfläche 8 des Anpassungskörpers 4 gegenüber der Wellenlänge der Schallwellen-Widerstand des Anpassungskörpers
entsprechend dem geometrischen Mittelwert aus den Werten der Schallwellen-Widerstände des Wandlerelements 1 und
des Mediums gebildet werden, in das der Schall abgestrahlt werden soll.
Der Anpassungskörper 4 kann auch als Verbundkörper gestaltet sein, wie dies oben erläutert wurde. Beispielsweise können
der unmittelbar an das Wandlerelement 1 angrenzende Bereich des Anpassungskörpers 4 und der überstehende Bereich 5 bis
zum äußeren Rand aus einem ersten einheitlichen Material bestehen, während der Schwingring 6 aus einem anderen, zweiten
geeigneten Material hergestellt sein kann. Es bieten sich hierfür alle Materialien an, die zusammen mit dem an
das Wandlerelement 1 angrenzenden Bereich des Anpassungskörpers 4 ein ^./2-Schwingungssystem zu bilden vermögen.
■ Al,
Die Dicke des Schwingringes 6 beträgt in einem solchen^ /2-SchwingungssystemΛ/4,
wobeiXwiederum die Wellenlänge der Schallwellen im Material des Schwingringes 6 bedeutet.
Wenn der Anpassungskörper 4 als Verbundkörper gestaltet wird, dann können dessen einzelne Teile auf einfache Weise mittels
eines geeigneten Klebers miteinander verbunden werden.
Es ist auch möglich, für den Anpassungskörper 4 einerseits einen ersten Teil aus dem unmittelbar an das Wandlerelement
1 angrenzenden Bereich mit einer Dicke λ/4 und einen zweiten
Teil aus dem überstehenden Bereich 5 sowie dem Schwingring 6 vorzusehen. In diesem Fall sind der überstehende Bereich 5
und der Schwingring 6, die das Ti/2-Schwingungssystem bilden,
materialeinheitlich ausgeführt.
In jedem Fall erlaubt aber eine Unterteilung des Anpassungskörpers 4 in mehrere Teile eine einfachere Herstellung.
Das Wandlerelement 1 ist vorzugsweise an der hinteren freien Stirnseite des Anpassungskörpers 4 befestigt. Da der aus dem
überstehenden Bereich 5 und dem Schwingring 6 gebildete^/2-Ring ebenfalls zusammen mit dem unmittelbar an das Wandlerelement
1 angrenzenden Bereich des Anpassungskörpers 4 schwingt, wird für die Befestigung des Ultraschall-Wandlers
in einem Gehäuse zweckmäßigerweise auf der hinteren Stirnfläche des Schwingringes 6 ein akustisches Dämpfungsmaterial
9 mit ausreichender mechanischer Stabilität verwendet. Hierzu eignen sich besonders Mischstoffe auf der Basis von ausgehärteten
Kunstharzen oder Gummi, denen bzw. dem weitere Stoffe pulverförmig beigemischt werden, wozu vorzugsweise
Metallpulver, Bleimennige oder ähnliche Materialien geeignet sind. Ein derartiges Dämpfungsmaterial dämpft nämlich in der
Hauptsache die Dickenschwingungen des Λ/2-Ringes, wobei
noch hinzukommt, daß die Amplitude der Schwingungen der freien Oberfläche 8 des Anpassungskörpers 4 im Bereich des
7v/2-Ringes zum äußeren Rand hin abnimmt. Auf diese Weise
werden die Nebenmaxima der Strahlungskeule geringer ausgebildet.
Der Ultraschall-Wandler kann auch radial an der Außenseite bzw. am Umfang des^/2-Ringes mittels einem der obengenannten
Dämpfungsmaterialien befestigt werden. Hierdurch wird in vorteilhafter Weise eine allmähliche Abnahme der Schwingungsamplitude
der Stirnfläche 8 des Wandlerelements T zum äußeren Rand hin erreicht, wobei insbesondere auch eine
gute Richtcharakteristik erzielt wird.
Alternativ kann die Befestigung des Ultraschall-Wandlers auch in der Mitte des äußeren Randes des?^/2-Ringes mittels
eines umlaufenden O-Ringes 7 aus Gummi erfolgen (vgl. Fig, 3), da sich an dieser Stelle desÄ/2-Ringes ein Schwingungsknoten befindet. Die Schwingungsamplitude der Ultraschall-Schwingungen
im?V/2-Ring des Anpassungskörpers 4 verschwinden also an dieser Stelle, so daß keine Dämpfung des^/2-Schwingers
auftritt. Bei dieser Befestigungsart mittels des O-Ringes 7 wird die Schwingungsamplitude auf der Stirnseite
8 des Ultraschall-Wandlers praktisch nicht gedämpft. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die abgestrahlte
Schwingungsenergie möglichst groß sein soll.
Alternativ kann die Befestigung des Ultraschall-Wandlers auch in der Mitte des äußeren Randes des Λ-/2-Schwingers
mittels einer aus dünnem Metallblech einer Dicke von einigen Hundertstel bis wenigen Zehntel mm bestehenden
Befestigungsscheibe 10 (vgl. Fig. 4) oder mittels eines Befestigungsringes 11 (vgl. Fig. 5) erfolgen, wobei die
Befestigungsscheibe 10 bzw. der Befestigungsring 11 jeweils an ihrem äußeren Umfang in einer nicht näher bezeichneten
Halterung festgelegt sind.
In einem praktischen Ausführungsbeispiel kann für das Wandlerelement
eine Keramikscheibe aus Blei-Zirkonat-Titanat mit der Bezeichnung PXE 5 der Firma VaIvo, Hamburg, verwendet
werden- Diese Keramikscheibe hat eine Dicke von etwa 3 mm und einen Durchmesser von etwa 10 mm. Der Anpassungskörper
4 weist dann einen Außendurchmesser von etwa 20,2 mm und einen Innendurchmesser desA/2-Ringes aus dem überstehenden
Bereich 5 und dem Schwingring 6 von 11,4 mm auf. Als
Material für den Anpassungskörper 4 wird ein syntaktischer Schaum Scotchply XP-241-36 der Firma 3M Deutschland GmbH,
Neuss, verwendet. Die Dicke der λ /4-Schicht des Anpassungskörpers 4 beträgt dann 3,0 mm, während für die Dicke des
^v/2-Ringes aus dem überstehenden Bereich 5 und dem Schwingring 6 ein Wert von 6,0 mm gewählt wird.
Mit einem derart aufgebauten Ultraschall-Wandler kann ein Öffnungswinkel der Schallkeule von etwa 5° erhalten werden.
Der erfindungsgemäße Ultraschall-Wandler arbeitet in der
folgenden Weise:
Über die Metallelektroden 2,3 wird eine elektrische Wechselspannung
an das Wandlerelement 1 angelegt, wodurch dieses zu Ultraschall-Schwingungen angeregt wird. Der dadurch erzeugte
Schall wird bevorzugt auf der ebenen Stirnfläche 8 des Anpassungskörpers 4 abgestahlt, da auf dieser Seite des Wandlerelements
1 wegen der7\/4-Schicht des Anpassungskörpers 4
nahezu keine Schallreflexionen beim Durchgang der Ultraschall-Wellen
in diese Λ/4-Schicht entstehen. Da dieΛ/4-Schicht
des Anpassungskörpers 4 und der der Stirnfläche 8 zugewandte Teil des?v/2-Ringes aus dem überstehenden Bereich 5 und dem
Schwingring 6 die Stirnseite des Anpassungskörpers 4 bilden, wird dieser, der Stirnfläche 8 zugewandte Teil des/^/2-Ringes
gleichphasig zu Schallschwingungen angeregt. Auf diese Weise wird erreicht, daß die freie Stirnfläche 8 des Anpassungskörpers 4 in ihrer vollen Ausdehnung nahezu gleichphasig
schwingt und der abgestrahlte Schallstrahl einen sehr kleinen Öffnungswinkel aufweist, da angenähert eine räumlich durch
die Größe der freien Oberfläche 8 des Anpassungskörpers 4 begrenzte ebene Welle erzeugt wird.
Claims (19)
- PatentansprücheUltraschall-Wandler mit- einem piezoelektrischen Wandlerelement (1), das piezoelektrisch zu Ultraschall-Schwingungen anregbar ist,- einem auf der einen Stirnfläche des Wandlerelements (1) aufgebrachten Anpassungskörper (4), der(a) im Bereich des Wandlerelements (1) eine Dickenabmessung % /4 hat, wobei ^. die Wellenlänge der Schallwelle im Anpassungskörper (4) ist,(b) aus einem Material mit einer Größe des Schallwellen-Widerstandes zwischen dem Wert des Schallwellen-Widerstandes des Materials des Wandlerelements (1)und demjenigen des Mediums besteht, in das der Ultra-. schall abzustrahlen ist, und(c) eine gegenüber der Flächenabmessung des Wandlerelements (1) wesentlich größere Flächenabmessung mit- einem über den Rand des Wandlerelements (1) überstehenden Bereich (5) hat,dadurch gekennzeichnet,daß der überstehende Bereich (5) als %/2-Schwinger ausgebildet ist.
- 2. ,Ultraschall-Wandler nach Anspruch 1, dadurch g e k e η ηzeichnet , daß die Dickenabmessung des überstehenden Bereichs (5) % /2 der Schallwelle in diesem überstehenden Bereich (5) beträgt.
- 3. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e kennzeichnet, daß der überstehende Bereich(5) einen Schwingring (6) aufweist.
- 4. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß der Schwingring (6) das Wandlerelement (1) umschließt, ohne dieses zu berühren.
- 5. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß der Abstand zwischen dem Wandlerelement (1) und dem Schwingring (6) etwa die Hälfte der Schallwellenlänge in Luft bei der Frequenz des Wandlerelements (1) beträgt.
- 6. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß das Wandlerelement (1) mittels eines leitfähigen Klebers (2) mit dem Anpassungskörper (4) verbunden ist.
- 7. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet , daß der Anpassungskörper (4) materialeinheitlich gestaltet ist.
- 8. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet , daß der Anpassungskörper (4) aus mehreren Materialien hergestellt ist.
- 9. Ultraschall-Wandler nach den Ansprüchen 3 und 8, dadurch gekennzeichnet , daß einerseits der dem Wandlerelement (1) benachbarte Bereich des Anpassungskörpers (4) sowie dessen überstehender Bereich (5) bis zu seinem äußeren Rand und andererseits der Schwingring (6) jeweils aus einheitlichen Materialien bestehen.
- 10. Ultraschall-Wandler nach den Ansprüchen 3 und 8, dadurch gekennzeichnet , daß einerseits der dem Wandlerelement (1) benachbarte Bereich des Anpassungskörpers (4) bis zum Innenrand des Schwingrings (6) und andererseits der Schwingring (6) sowie der diesem benachbarte bzw. überstehende Bereich (5) des Anpassungskörpers (4) jeweils aus einheitlichen Materialien bestehen.
- 11. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet , daß die verschiedenen Teile des Anpassungskörpers (4) bildenden Materialien miteinander verklebt sind.
- 12. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet , daß zur Befestigung in einem Gehäuse ein akustisches Dämpfungsmaterial (9) ausreichender mechanischer Stabilität auf der hinteren freien Stirnfläche des überstehenden Bereiches (5,6) oder auf dessen äußeren Rand vorgesehen ist.
- 13. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß als Dämpfungsmaterial Mischstoffe auf der Basis von ausgehärteten Kunstharzen oder Gummi verwendet werden, denen bzw. dem pulverförmige Zusatzstoffe beigefügt sind.
- 14. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 13, dadurch g ekennzeichnet , daß als Zusatzstoffe Metallpulver oder Bleimennige vorgesehen sind.
- 15. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch einen den äußeren Bereich des Anpassungskörpers umgebenden O-Ring (7), der in der Mitte dieses Bereiches umläuft und zur Befestigung in einem Gehäuse dient.
- 16. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 15, dadurch g ekennzeichnet , daß der O-Ring aus Gummi hergestellt ist.
- 17. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch eine mit dem Anpassungskörper (4) und mindestens dem überstehenden Bereich (5) verbundene Befestigungsscheibe (10,11).
- 18. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet / daß die Befestigungsscheibe als Befestigungsring (11) gestaltet ist.
- 19. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet , daß die Befestigungsscheibe aus einem Metallblech einer Dicke von einigen Hundertstel bis wenigen Zehntel mm besteht.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0498015A1 (de) * | 1991-02-07 | 1992-08-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern |
EP2316343A1 (de) * | 2009-10-29 | 2011-05-04 | Medison Co., Ltd. | Sonde für Ultraschalldiagnosegerät und Verfahren zu deren Herstellung |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3911047A1 (de) * | 1989-04-05 | 1990-10-11 | Pepperl & Fuchs | Ultraschallwandler |
DE4114180C2 (de) * | 1991-05-01 | 2003-04-03 | Microsonic Ges Fuer Mikroelekt | Ultraschallwandler |
DE4235089C1 (de) * | 1992-10-17 | 1994-03-31 | Pil Sensoren Gmbh | Ultraschallwandler mit einem piezoelektrischen Wandlerelement |
DE10357837B4 (de) * | 2003-12-09 | 2013-08-08 | Sennheiser Electronic Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Oberflächenmontage von akustischen Wandlern |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2537788C3 (de) * | 1975-08-25 | 1980-04-10 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ultraschallwandler |
DE2541492C3 (de) * | 1975-09-17 | 1980-10-09 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ultraschallwandler |
-
1984
- 1984-01-20 DE DE19843401979 patent/DE3401979A1/de active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2537788C3 (de) * | 1975-08-25 | 1980-04-10 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ultraschallwandler |
DE2541492C3 (de) * | 1975-09-17 | 1980-10-09 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ultraschallwandler |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
KRAUTKRÄMER, J. u. H.: Werkstoffprüfung mit Ultraschall, 4.Aufl., Berlin u.a.: Springer 1980, S.58-71 * |
LINNWORTH, Lawrence C.: Ultrasonic Impedance Matching from Solids to Gases. In: IEEE Transactions on Sonics and Ultrasonics, Vol. SU-12(1965-06), Nr.2, S.37-48 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0498015A1 (de) * | 1991-02-07 | 1992-08-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern |
US5329682A (en) * | 1991-02-07 | 1994-07-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for the production of ultrasound transformers |
EP2316343A1 (de) * | 2009-10-29 | 2011-05-04 | Medison Co., Ltd. | Sonde für Ultraschalldiagnosegerät und Verfahren zu deren Herstellung |
US9414809B2 (en) | 2009-10-29 | 2016-08-16 | Samsung Medison Co., Ltd. | Probe for ultrasonic diagnostic apparatus and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3401979C2 (de) | 1988-10-06 |
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