DE3321308A1 - Verfahren zur herstellung eines tintenstrahlaufzeichnungskopfes - Google Patents
Verfahren zur herstellung eines tintenstrahlaufzeichnungskopfesInfo
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Description
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8!EDTKE DUHLf-NG,- ; fSJ_NNE.- - Vertreter boim EPA I[Z
Gr\ .'..' ~ />
- - - : - - - ' Dip!.-Ing. H.Ticdlke *
RUPE -TELLMANN - VJRAMS " "" Dipl.-Chem. G. Buhi.ng
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13. Juni 1983 DE 3073
Verfahren'zur Herstellung eines
Tintenstrahlaufzeichnungskopfes
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf,
genauer gesagt ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes, der kleine Tintentropfen
erzeugt, die bei einem Tintenstrahlaufzeichnungssystem Verwendung finden sollen.
Derartige für TintenstrahlaufZeichnungssysteme eingesetzte
Aufzeichnungsköpfe sind üblicherweise mit kleinen Tintenabgabeöffnungen,
Tintenkanälen und einem Abschnitt zur Erzeügung eines Tintenausstoßdruckes versehen, der sich an
einem Teil des Tintenkanales befindet.
In bezug auf die Herstellung von derartigen Tintenstrahlauf
zeichnungskopf en ist beispielsweise ein Verfahren bekannt,
bei dem kleine Vertiefungen durch Bohren oder Ätzen auf einer Glas- oder Metallplatte hergestellt werden, wonach
die mit den Vertiefungen versehene Platte mit'einer geeigneten Platte verbunden wird, um Tintenkanäle auszubilden.
Bei nach einem derartigen Verfahren des Standes der Technik hergestellten Köpfen können jedoch die Innenwände der Tin-
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tenkanäle infolge der Bearbeitung oder infolge von Verwerfungen, die auf einen unterschiedlichen Ätzungsgrad zurückgehen,
sehr grob ausgebildet sein, so daß Tintenkanäle mit hoher Genauigkeit kaum hergestellt werden können. Derartige
Tintenstrahlaufzeichnungsköpfe besitzen daher sehr
häufig einen streuenden Tintenausstoß. Auch läßt sich bei der Bearbeitung ein Abplatzen der Platte bzw. die Ausbildung
von Rissen nicht vermeiden, so daß eine schlechte Ausbeute erzielbar ist. Zur Durchführung des Ätzens ist eine große
Anzahl von Verfahrensschritten erforderlich, die mit einem Anstieg der Kosten verbunden sind. Darüber hinaus haben die
Verfahren des Standes der Technik den gemeinsamen Nachteil, daß es bei der Laminierung einer eingravierten Platte, die
mit ausgebildeten Tintenkanälen versehen ist, und einer Deckplatte, die Antriebselemente, beispielsweise piezoelektrische
Elemente bzw. wärmeerzeugende Elemente zur Erzeugung von auf die Tinte einwirkender Energie aufweist,
schwierig ist, eine Ausrichtung der Platten mit hoher Genauigkeit durchzuführen, so daß die Verfahren nicht für eine
Massenproduktion geeignet sind.
Zur Überwindung dieser Nachteile wurde ein neuartiges Verfahren zur Herstellung von TintenstrahlaufZeichnungsköpfen
vorgeschlagen. Hierbei werden auf einem Substrat, das mit Elementen zur Erzeugung des TintenausStoßdruckes versehen
ist, Tintenkanalwände ausgebildet, die aus einem ausgehärteten Film eines lichtempfindlichen Harzes bestehen. Danach
wird eine Abdeckung auf die Tintenkanäle aufgebracht. Dieses Verfahren ist in der offengelegten japanischen Patentanmeldung
Nr. 43876/1982 beschrieben.
Mit einem derartigen Tintenstrahlaufzeichnungsköpf, der mit
Hilfe eines ausgehärteten Filmes eines lichtempfindlichen Harzes hergestellt wird, können die Nachteile der Tinten-35
Strahlaufzeichnungsköpfe des Standes der Technik, nämlich
eine geringe Genauigkeit der fertigen Tintenkanäle, komplizierte Verfahrensschritte und eine niedrige Ausbeute, überwunden
werden. Infolge der nicht·so hohen Haftfestigkeit zwischen dem Substrat, auf dem die Elemente zur Erzeugung
des Tintenausstoßdruckes angeordnet sind, und den Tintenkanalwänden,
die aus einem ausgehärteten Film eines lichtempfindlichen Harzes bestehen, schrumpft jedoch beim Aufbringen
eines lichtempfindlichen Harzfilmes als Abdeckung über die Tintenkanalwände diese Abdeckung beim Aushärten,
so daß die Tintenkanalwände in die Schrumpfrichtung der Abdeckung mitgezogen werden, bis sie sich vom Substrat abtrennen.
Selbst wenn eine ausreichende Haftfestigkeit zwischen den Tintenkanalwänden und dem Substrat vorhanden
ist, besteht der Nachteil, daß die Tintenkanalwände in Schrumpfrichtung der Abdeckung mitgezogen werden, so daß
die Tintenkanäle nicht die gewünschte Form erhalten.
Wenn darüber hinaus zur Anordnung der Tintenkanalwände ein Kleber eines Typs verwendet wird, der bei normalen Temperaturen
aushärtet, beispielsweise ein hitzehärtender Kleber oder ein durch Lichteinwirkung aushärtender Kleber, tritt
nicht nur ein Schrumpfen des Klebers entsprechend der vorstehend
beschriebenen Weise auf, sondern der Kleber kann auch in die Tintenkanäle fließen und diese verstopfen, wodurch
die Ausbeute weiter absinkt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
neuartiges Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes
zu schaffen, das genau ist und eine hohe Zuverlässigkeit besitzt. Erfindungsgemäß soll ferner ein
Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes
zur Verfügung gestellt werden, mit dem sich sehr kleine Tintenkanäle mit guter Genauigkeit zuverlässig in die
gewünschte Form bringen lassen. Schließlich bezweckt die Erfindung
die Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes, mit dem Köpfe hergestellt werden können,
die eine ausgezeichnete Haltbarkeit und Dimensionsbeständigkeit aufweisen und bei'denen keine Ablöseeffekte zwischen
dem Substrat und den Kanalwänden auftreten.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes gelöst, bei
dem aus einem lichtempfindlichen Harz ausgebildete Tintenkanäle auf der Oberfläche eines Substrates vorgesehen und
eine Abdeckung über die Kanäle laminiert wird, das dadurch gekennzeichnet ist, daß das lichtempfindliche Harz belichtet
und der nicht belichtete Teil entfernt wird, daß die Abdeckung über das lichtempfindliche Harz gebracht und daß das
lichtempfindliche Harz danach einem Härtungsvorgang unterzogen wird.
Vorteilhafte Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes
gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Die Erfindung wird nunmehr anhand eines Ausführungsbeispiels in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert.
Dabei können sämtliche gezeigten und beschriebenen Teile von erfindungswesentlicher Bedeutung sein. Es zeigen:
Die Figuren
1 bis 7 in schematischer Weise die einzelnen Verfahrensschritte
eines Verfahrens zur Herstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes.
Bei dem in Figur 1 dargestellten Verfahrensschritt werden
Elemente 2 zur Erzeugung eines Tintenausstoßdruckes, beispielsweise
wärmeerzeugende Elemente oder piezoelektrische 35
Elemente, in einer gewünschten Anzahl auf einem Substrat 1 aus Glas, Keramik, Kunststoff, Metall o.a. angeordnet. Falls
gewünscht, kann eine Dünnfilmbeschichtung 3, beispielsweise aus SiO2, Ta-O,-, Glas etc. aufgebracht werden, um eine
elektrische Isolierung vorzusehen bzw. das Widerstandsvermögen zu erhöhen. An die Elemente 2 werden Elektroden zur
Eingabe von Signalen angeschlossen, obwohl dies in der Zeichnung nicht dargestellt ist.
In dem darauffolgenden, in Figur 2 gezeigten Schritt wird
die Oberfläche des Dünnfilmes 3 auf dem Substrat 1, der durch den in Figur 1 dargestellten Schritt erhalten worden
ist, gereinigt und getrocknet, wonach ein Trockenfilm/Fotoresist 4 (Filmdicke: etwa 25 μΐη bis 100 μπι) , der auf etwa
80 bis 105° C erhitzt wird, mit einer Geschwindigkeit von 0,15-1,22 m/min unter einem Druck von 0,98 bis 2,94 bar
auf die Dünnfilmschicht 3 auflaminiert wird. Hierdurch wird
der Trockenfilm/Fotoresist 4 mit der Dünnfilmschicht 3 verschmolzen.
Nachdem eine Fotomaske 5, die ein gewünschtes Muster aufweist, auf den auf der Substratoberfläche angeordneten
Trockenfilm/Fotoresist 4 aufgebracht wurde, wird als nächster Schritt, wie in Figur 2 gezeigt, von oberhalb
der Fotomaske 5 eine Belichtung durchgeführt. Hierbei ist es erforderlich, daß die Position, in der das Element 2 zur Erzeugung
des Tintenausstoßdruckes angeordnet werden soll, in Übereinstimmung mit der Lage des vorstehend erwähnten
Musters gehalten wird, was auf übliche Weise geschehen kann.
In Figur 3 ist der Verfahrensschritt gezeigt, bei dem der nicht belichtete Abschnitt des Trockenfilm/Fotoresistes 4
durch Auflösung mit Hilfe eines Entwicklers, der ein bestimmtes organisches Lösungsmittel umfaßt, wie beispielsweise
Trichloräthan etc., entfernt wird. Der nach diesem Schritt auf dem Substrat verbleibende Trockenfilm/Fotoresist
35
besitzt ein Resthaftungsvermögen, da keine ausreichende
Polymerisation durchgeführt worden ist.
In Figur 4 ist gezeigt, wie der Trockenfilm/Fotoresist 4 P
durch Wärmeeinwirkung ausgehärtet wird (d.h. durch Erhitzen auf 130° C bis 250° C über 30 Minuten bis 6 Stunden),
während ein Druck auf eine flache Platte 6 aufgebracht wird, die ein gegenüber UV-Strahlung durchlässiges Material umfaßt
(d.h. Glas) und als Abdeckung der Tintenkanäle auf dem Substrat 1 dient, die durch die im Trockenfilm/Fotoresist 4 P,
der ein Resthaftungsvermögen besitzt, ausgebildeten Vertiefungen 7 gebildet werden. Hiernach wird das Material
einer weiteren UV-Strahlung (d.h. mit einer integrierten Dosierung von 1-20 w/cm2) ausgesetzt, um den Polymerisations-Vorgang,
d.h. das Aushärten des Trockenfilm/Fotoresistes (das Hauptaushärten) zu vervollständigen und dadurch die als
Abdeckung dienende flache Platte 6 über den Tintenkanälen zu fixieren.
Als Material für die flache Platte 6, die als Abdeckung über den Tintenkanälen dient, werden transparentes Glas mit hoher
UV-Durchlässigkeit, Phenolharz, Acrylharz etc. vorgezogen, da diese Materialien mittels Fotopolymerisation einer Nachaushärtungsbehandlung
unterzogen werden können. Wenn jedoch die Tinte selbst eine Zusammensetzung besitzt, die das
lichtempfindliche Harz nur wenig beeinflußt (d.h. eine Tinte,
die in erster Linie aus Wasser besteht), oder wenn das lichtemfindliche Harz durch thermische Polymerisation nachausgehärtet
wird, kann die Nachaushärtungsbehandlung durch Wärmebehandlung auch mit Hilfe von Metallen, Keramikmaterialien
etc. als Abdeckung durchgeführt werden. Das Material der Abdeckung ist daher keinen Begrenzungen unterworfen,
sondern es können verschiedenartige Materialien Verwendung finden, wobei eine bequeme Herstellung, Wirtschaftlichkeit
oder Dimensionsbeständigkeit Berücksichtigung finden können.
Dadurch,, daß eine als Abdeckung über den Tintenkanälen
dienende flache Platte 6 in Druckkontakt gegen den halbausgehärteten Trockenfilm/Fotoresist gehalten wird, kann die
Oberfläche der flachen Platte 6 in wirksamer Weise vorher aufgerauht werden, um die Haftfestigkeit zwischen der flachen
Platte und dem Trockenfilm/Fotoresist zu erhöhen. Wenn ein anorganisches Material (d.h. Glas, Quarz etc.) für die
als Abdeckung dienende flache Platte verwendet wird, kann ■die Oberfläche der flachen Platte 6 in wirksamer Weise mit
einem Silan-Kopplungsmittel behandelt werden.
Figur 5 ist eine schematische perspektivische Ansicht des
Kopfes, nachdem der in Figur 4 beschriebene Schritt beendet worden ist. In Figur 5 sind mit 7-1 eine Tintenzufuhrkammer,
mit 7-2 enge Tintenkanäle und mit 8 Durchgangslöcher zum Anschluß der in der Zeichnung nicht gezeigten Tintenzuführrohre
an die Tintenzuführkammer 7-1 bezeichnet.
Nach Beendigung des Haftvorganges zwischen dem mit den Vertiefungen
versehenen Substrat und der flachen Platte wird das miteinander verbundene Segment entlang Linie C-C zerschnitten,
wie in Figur 5 gezeigt. Dies wird durchgeführt, um eine Optimierung des Intervalls zwischen dem Element 2
zur Erzeugung des Tintenausstoßdruckes und der Tintenausstoßöffnung 7-3 in den engen Tintenkanälen 7-2 zu erreichen.
Der abzuschneidende Abschnitt kann in geeigneter Weise bestimmt werden. Zur Durchführung'dieses Vorganges kann man
das in der Halbleiterindustrie bekannte Verfahren zum Zerschneiden
in Chips verwenden.
Figur 6 zeigt einen Schnitt entlang Linie Z-Z' in Figur 5. Die Schnittfläche wird poliert, um sie zu glätten, und die
35
Tintenzuführrohre werden an den Durchgangslöchern 8 befestigt,
um den Tintenstrahlaufzeichnungskopf zu vervollständigen
(Figur 7).
Bei der in der Zeichnung dargestellten Ausfuhrungsform wurde
als lichtempfindliches Material (Fotoresist) zur Herstellung der Vertiefungen ein Trockenfilm, d.h. ein Feststoff, verwendet.
Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf dieses Material begrenzt. Es kann auch ein flüssiges lichtempfindliches
Material Verwendung finden.
An Stelle des vorstehend beschriebenen Verfahrens zur Herstellung des Filmes aus dem lichtempfindlichen Material kann
im Falle-des Einsatzes einer Flüssigkeit ein Verfahren Ver-Wendung
finden, bei dem eine Gummiwalze zur Herstellung eines Reliefbildes benutzt wird, d.h. ein Verfahren, bei dem
eine Wand, die eine einer gewünschten Filmdicke des lichtempfindlichen
Materials entsprechende Höhe aufweist, um das Substrat herum angeordnet und das überflüssige Material mit
Hilfe einer Gummiwalze entfernt wird. In diesem Fall kann das lichtempfindliche Material eine geeignete Viscosität von
100 cps bis 300 cps aufweisen. Bei der Festlegung der Höhe der um das Substrat herum angeordneten Wand muß die Menge
berücksichtigt werden, die durch Verdampfung des Lösungsmittels des lichtempfindlichen Materials verschwindet.
Im Falle der Verwendung eines Feststoffes wird die Lage aus dem lichtempfindlichen Material durch Druckkontakt unter Erhitzen
auf das Substrat laminiert. Sowohl in bezug auf die Handhabung als auch eine leichte und genaue Dickensteuerung
wird bei der vorliegenden Erfindung die Verwendung eines Filmes aus einem Feststoff bevorzugt. Als solche lichtempfindlichen
Harze sind beispielsweise die folgenden Produkte im Handel erhältlich: Permanent Photopolymer Coating RISTON,
Solder Mask 730S, 740S, 730FR, 740FR und SM1 von Du Pont Co
und Photec SR-1000, SR-2000 und SR-3000 von Hitachi Kasei Co.
Ferner kann als lichtempfindliches Material bei der vorliegenden
Erfindung eine Reihe von lichtempfindlichen Materialien Verwendung finden, die allgemein zu fotolithografischen
Zwecken eingesetzt werden, beispielsweise lichtempfindliche Harze, Fotoresists etc. Diese Materialien können
beispielsweise die folgenden Stoffe umfassen: Diazoharze;
p-Diazochinone und weitere fotopolymerisierbare Fotopolymerisate, beispielsweise Vinylmonomere und Polymerisationsinitiatoren;
Fotopolymerisate vom Dimerisationstyp, bei denen
Polyvinylcinnamat etc. Verwendung findet, und Sensibilisatoren; Gemische von o-Naphthochinonazid und Phenolharzen
vom Novolaktyp; Gemische von Polyvinylalkohol und Diazoharzen;
Fotopolymerisate vom Polyäthertyp mit copolymerisiertem 4-Glycidyläthylenoxid und Benzophenon oder Glycidylcalcon;
Copolymerisate von N,N-Dimethy!methacrylamid mit
beispielsweise Benzophenon; lichtempfindliche Harze vom ungesättigten Polyestertyp (beispielsweise APR (Asahi
Kasei), Tevista (Teijin), Sonne (Kansai Paint) etc.); lichtempfindliche Harze vom ungesättigten Urethan-Oligomertyp;
lichtempfindliche Materialien, die Gemische von bifunktionellen Acrylmonomeren mit Fotopolymerisationsinitiatoren
und Polymerisaten umfassen; Fotoresiste auf Bichromsäurebasis; wasserlösliche Fotoresiste, die kein Chrom enthalten;
Fotoresiste auf Polycynnaminsäure-Basis; Fotoresiste auf der Basis von zyklisiertem Kautschuk-Azid etc.
Wie vorstehend beschrieben, werden durch die Erfindung die folgenden Vorteile erreicht:
1. Der Hauptschritt zur Herstellung des Kopfes basiert
auf der fotolithografischen Technik, so daß in äußerst
einfacher Weise der kleine Kopfabschnitt mit einem ge-35
wünschten Muster hergestellt werden kann. Ferner kann zur gleichen Zeit eine Vielzahl von Köpfen mit dem
gleichen Aufbau und der gleichen Betriebsweise hergestellt werden.
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2. Da kein Kleber zwischen dem Substrat und den Tintenkanalwänden
und zwischen den Tintenkanalwänden und deren Abdeckung verwendet wird, wird in keiner Weise
die Funktionsweise des Kopfes dadurch beeinträchtigt, daß die Tintenkanäle durch Einfließen von Kleber oder
Haftung von Tinte an dem den Tintenausstoßdruck erzeugenden Element verstopfen.
3. Da beim Aushärten der Abdeckung über den Tintenkanälen
kein SchrumpfVorgang stattfindet, verbleiben keine
inneren Spannungen im Kopf, so daß keine Abtrennung, Verformung oder Verschiebung der den Kopf bildenden
Elemente auftritt und der Kopf eine sehr gute Haltbarkeit besitzt.
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4. Wenn die als Abdeckung über den Tintenkanälen dienende flache Platte lichtdurchlässig ist, kann der Bewegungszustand
der Tintentröpfchen innerhalb des Kopfes beobachtet werden, so daß der Kopf in einfacher Weise gewartet
werden kann.
Erfindungsgemäß wird somit ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes vorgeschlagen, bei dem aus einem
lichtempfindlichen Harz gebildete Tintenkanäle auf der Oberfläche eines Substrates vorgesehen werden, eine Abdeckung
über die .Tintenkanäle laminiert wird, das lichtempfindliche
Harz belichtet und der nichtbelichtete Teil des Harzes entfernt wird. Die Abdeckung wird auf das lichtempfindliche
Harz gebracht, wonach dieses einem Aushärtungsvorgang unterzogen wird.
Claims (13)
- T',ρ- — τ-„ — _ Ε},--.,,, .»1A _-:I^Vc·«.—"e.-/^—.-.U.--." - Patentanwälte und
- SEDTKE - DUHLING ^rlV^NNi: f^RU^E .
- Vertreter beim EPA #/»
- Pellmann - Grams- Strüif '" '* E'"1™'H Tiedtke
- Dipl.-Ing. R.
- Kinne Dipl.-Ing.
- R Grupe
- «λλ.λλλ Dipl.-Ing. B. Pelimann
- OO Z [Ou O Dipl.-Ing. K. Grams
- Dipl.-Chem. Dr. B. Struif
- Bavariaring 4, Postfach 20240: 8000 München 2
- Tel.: 089-539653 Telex: 5-24845 tipat Telecopier: 0 89-537377 cable: Germaniapatent Müncher
- 13. Juni 1983DE 3073 Patentansprüche1, Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes, bei dem aus einem lichtempfindlichen Harz gebildete Tintenkanäle auf der Oberfläche eines Substrates vorgesehen werden und eine Abdeckung über die Kanäle laminiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß das lichtempfindliche Harz belichtet, der nicht belichtete Teil des Harzes entfernt, die Abdeckung über das lichtempfindliche Harz gebracht und das lichtempfindliche Harz danach einem Aushärtungsvorgang unterzogen wird.2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als lichtempfindliches Harz ein Trockenfilm/Fotoresist verwendet wird.3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das lichtempfindliche Harz nach dem Entfernendes nichtbelichteten Teiles dadurch ausgehärtet wird, daß es durch eine Platte eines gegenüber UV-Strahlung durchlässigen Materials als Abdeckung einer Fotopolymerisation unterzogen wird.
204. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, 'daß das lichtempfindliche Harz nach dem Entfernen des nichtbelichteten Teiles einem Hauptaushärtevorgang unterzogen wird, indem es mit Hilfe einer Platte aus Metallen,Dresdner Bank (München) Kto. 3939 844 Bayer Vereinsbank· (München) Kto. 508 94t Postscheck (München) Kto. 670-43-804_ ο —keramischen Materialien u.a. mittels Wärmeeinwirkung ausgehärtet wird.5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Film aus dem lichtempfindlichen Harz auf dem Substrat mit Hilfe eines flüssigen Harzes und einer Walze bzw. Rakel hergestellt wird.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57103725A JPS58220756A (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3321308A1 true DE3321308A1 (de) | 1983-12-22 |
| DE3321308C2 DE3321308C2 (de) | 1989-08-10 |
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|---|---|---|---|
| DE19833321308 Granted DE3321308A1 (de) | 1982-06-18 | 1983-06-13 | Verfahren zur herstellung eines tintenstrahlaufzeichnungskopfes |
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|---|---|
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| JP (1) | JPS58220756A (de) |
| DE (1) | DE3321308A1 (de) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3537198A1 (de) * | 1984-10-19 | 1986-04-24 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Tintenstrahlaufzeichnungskopf und verfahren zu dessen herstellung |
| DE3539542A1 (de) * | 1984-11-08 | 1986-05-07 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Aufzeichnungsfluessigkeit |
| DE3539095A1 (de) * | 1984-11-05 | 1986-05-07 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf |
| DE3713991A1 (de) * | 1986-04-28 | 1987-10-29 | Canon Kk | Verfahren zur herstellung eines fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopfes |
| DE3546842C2 (de) * | 1984-11-05 | 1998-06-04 | Canon Kk | Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf |
Families Citing this family (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0729433B2 (ja) * | 1986-03-05 | 1995-04-05 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘツドの作成方法 |
| JPH0284343A (ja) * | 1988-03-16 | 1990-03-26 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッド |
| EP0419180B1 (de) * | 1989-09-18 | 1994-08-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Tintenstrahlgerät, welches diesen aufweist |
| DE4033294A1 (de) * | 1990-10-19 | 1992-04-23 | Siemens Ag | Verfahren zur fotolithographischen herstellung von strukturen auf einem traeger |
| JPH0592570A (ja) | 1991-10-03 | 1993-04-16 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘツドを備えた記録装置 |
| US5290667A (en) * | 1991-12-03 | 1994-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for producing ink jet recording head |
| JP2932877B2 (ja) * | 1992-02-06 | 1999-08-09 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2960608B2 (ja) * | 1992-06-04 | 1999-10-12 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
| ATE173197T1 (de) * | 1992-08-31 | 1998-11-15 | Canon Kk | Tintenstrahlkopfherstellungsverfahren mittels bearbeitung durch ionen und tintenstrahlkopf |
| JPH06126964A (ja) * | 1992-10-16 | 1994-05-10 | Canon Inc | インクジェットヘッドおよび該インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置 |
| US5896150A (en) * | 1992-11-25 | 1999-04-20 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet type recording head |
| JP3513199B2 (ja) * | 1993-01-01 | 2004-03-31 | キヤノン株式会社 | 液体噴射ヘッド、これを用いた液体噴射ヘッドカートリッジおよび記録装置、ならびに液体噴射ヘッドの製造方法 |
| US6877225B1 (en) | 1993-07-29 | 2005-04-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing an ink jet head |
| JP3177100B2 (ja) * | 1993-07-29 | 2001-06-18 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドおよびインクジェット装置ならびに前記ヘッドの製造方法および前記ヘッドの製造装置 |
| ATE191884T1 (de) | 1993-07-29 | 2000-05-15 | Canon Kk | Tintenstrahldruckkopf, tintenstrahlkopf-kartusche und druckgerät |
| US6155677A (en) * | 1993-11-26 | 2000-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head |
| JP3126276B2 (ja) * | 1994-08-05 | 2001-01-22 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
| JP3229146B2 (ja) * | 1994-12-28 | 2001-11-12 | キヤノン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
| AU4092396A (en) | 1995-01-13 | 1996-08-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method |
| TW332799B (en) | 1995-01-13 | 1998-06-01 | Canon Kk | The liquid ejecting head, device and method of liquid ejecting |
| AU4092296A (en) | 1995-01-13 | 1996-08-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method |
| EP0767060B1 (de) | 1995-09-14 | 2003-03-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Flüssigkeitsausstosskopf, Kassette für einen Flüssigkeitsausstosskopf und Flüssigkeitsausstossapparat |
| US6190492B1 (en) * | 1995-10-06 | 2001-02-20 | Lexmark International, Inc. | Direct nozzle plate to chip attachment |
| EP0811498B1 (de) | 1996-06-07 | 2004-03-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Flüssigkeitsausstosskopf, Vorrichtung zum Austossen von Flüssigkeit und Drucksystem |
| US6213592B1 (en) | 1996-06-07 | 2001-04-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for discharging ink from a liquid jet recording head having a fluid resistance element with a movable member, and head, head cartridge and recording apparatus using that method |
| US5901425A (en) | 1996-08-27 | 1999-05-11 | Topaz Technologies Inc. | Inkjet print head apparatus |
| US5907333A (en) * | 1997-03-28 | 1999-05-25 | Lexmark International, Inc. | Ink jet print head containing a radiation curable resin layer |
| GB9715101D0 (en) * | 1997-07-18 | 1997-09-24 | Environmental Sensors Ltd | The production of microstructures for analysis of fluids |
| EP0920998B1 (de) * | 1997-12-05 | 2003-04-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Flüssigkeitsausstosskopf, Flüssigkeitsausstossverfahren, Kopfkassette und Flüssigkeitsausstossvorrichtung |
| US6203871B1 (en) | 1998-10-14 | 2001-03-20 | Lexmark International, Inc. | Encapsulant for leads in an aqueous environment |
| US6447984B1 (en) | 1999-02-10 | 2002-09-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head, method of manufacture therefor and liquid discharge recording apparatus |
| ES2209723T3 (es) | 1999-06-04 | 2004-07-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Metodo de fabricacion de un cabezal para descarga de liquido, cabezal para descarga de liquido fabricado por dicho metodo y metodo de fabricacion de un aparato mecanico miniatura. |
| JP4510234B2 (ja) * | 1999-06-04 | 2010-07-21 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法、該製造方法により製造された液体吐出ヘッド、および微小機械装置の製造方法 |
| US6310641B1 (en) | 1999-06-11 | 2001-10-30 | Lexmark International, Inc. | Integrated nozzle plate for an inkjet print head formed using a photolithographic method |
| US6533400B1 (en) | 1999-09-03 | 2003-03-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharging method |
| EP1083049B1 (de) * | 1999-09-03 | 2006-07-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Flüssigkeitsausstoßkopf, Flüsigkeitsausstoßverfahren und Vorrichtung zum Ausstoßen von Flüssigkeit |
| JP3584193B2 (ja) | 2000-02-15 | 2004-11-04 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び前記液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP4731763B2 (ja) | 2001-09-12 | 2011-07-27 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
| US6696356B2 (en) * | 2001-12-31 | 2004-02-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method of making a bump on a substrate without ribbon residue |
| KR100445004B1 (ko) * | 2002-08-26 | 2004-08-21 | 삼성전자주식회사 | 모노리틱 잉크 젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법 |
| US7571979B2 (en) * | 2005-09-30 | 2009-08-11 | Lexmark International, Inc. | Thick film layers and methods relating thereto |
| BRPI0702911B1 (pt) * | 2006-04-24 | 2018-09-18 | Canon Kk | cabeça de gravação a jato de tinta, estrutura de transporte de uma cabeça de jato de tinta, cartucho de gravação a jato de tinta, e, método de fabricação para uma cabeça de gravação a jato de tinta |
| JP5596954B2 (ja) * | 2009-10-08 | 2014-09-24 | キヤノン株式会社 | 液体供給部材、液体供給部材の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3108206A1 (de) * | 1980-03-06 | 1981-12-24 | Canon K.K., Tokyo | Tintenstrahlkopf und verfahren zur herstellung desselben |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4167669A (en) * | 1971-09-09 | 1979-09-11 | Xenon Corporation | Apparatus for rapid curing of resinous materials and method |
| US3919768A (en) * | 1973-01-02 | 1975-11-18 | Northrop Corp | Method of tunnel containing structures |
| JPS56150561A (en) * | 1980-04-25 | 1981-11-21 | Oki Electric Ind Co Ltd | Manufacture of fluid injection nozzle |
| US4394670A (en) * | 1981-01-09 | 1983-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method for fabrication thereof |
| US4437100A (en) * | 1981-06-18 | 1984-03-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method for production thereof |
| JPS58220754A (ja) * | 1982-06-18 | 1983-12-22 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツド |
| US4609427A (en) * | 1982-06-25 | 1986-09-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for producing ink jet recording head |
| US4443533A (en) * | 1982-07-23 | 1984-04-17 | Panico C Richard | Photoresist curing method |
| JPS5919168A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-01-31 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツド |
| JPH062410B2 (ja) * | 1983-04-19 | 1994-01-12 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
-
1982
- 1982-06-18 JP JP57103725A patent/JPS58220756A/ja active Granted
-
1983
- 1983-06-13 DE DE19833321308 patent/DE3321308A1/de active Granted
-
1985
- 1985-08-02 US US06/762,034 patent/US4666823A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3108206A1 (de) * | 1980-03-06 | 1981-12-24 | Canon K.K., Tokyo | Tintenstrahlkopf und verfahren zur herstellung desselben |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| A.Matting "Metallkleben", Springer-Verlag 1969, S. 83, 93, 94, 100, 180-185 * |
| Patents Abstracts of Japan, M-139, 30.06.82, Vol.6, Nr. 117 mit zugehöriger JP-OS 57- 43 876 * |
| W. Endlich: "Kleb- und Dichtstoffe in der modernen Technik" Verlag W. Giradet, 1980, S. 31-35, 37, 38, Bild 40 u. 41 * |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3537198A1 (de) * | 1984-10-19 | 1986-04-24 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Tintenstrahlaufzeichnungskopf und verfahren zu dessen herstellung |
| DE3539095A1 (de) * | 1984-11-05 | 1986-05-07 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf |
| DE3546842C2 (de) * | 1984-11-05 | 1998-06-04 | Canon Kk | Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf |
| DE3539542A1 (de) * | 1984-11-08 | 1986-05-07 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Aufzeichnungsfluessigkeit |
| DE3713991A1 (de) * | 1986-04-28 | 1987-10-29 | Canon Kk | Verfahren zur herstellung eines fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopfes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3321308C2 (de) | 1989-08-10 |
| US4666823A (en) | 1987-05-19 |
| JPS58220756A (ja) | 1983-12-22 |
| JPH0415095B2 (de) | 1992-03-16 |
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|---|---|---|
| DE3321308A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines tintenstrahlaufzeichnungskopfes | |
| DE3222874C2 (de) | ||
| DE3326781C2 (de) | ||
| DE3150109C2 (de) | ||
| DE3546063C2 (de) | ||
| DE3108206C2 (de) | ||
| DE3321866A1 (de) | Tintenstrahl-aufzeichnungskopf | |
| DE3200388C2 (de) | ||
| DE3222680C2 (de) | Tintenstrahlkopf und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE3713991C2 (de) | ||
| DE69410648T2 (de) | Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf | |
| DE3225578A1 (de) | Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf | |
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| DE3507338C2 (de) | ||
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| DE69603639T2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes | |
| DE3224081C2 (de) | ||
| DE3511381A1 (de) | Fluessigkeitsstrahl-schreibkopf | |
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| DE69824695T2 (de) | Tintenstrahldruckkopf und verfahren zur herstellung | |
| DE69509862T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes | |
| DE3623716A1 (de) | Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf | |
| DE69225102T2 (de) | Farbstrahlaufzeichnungskopf | |
| DE3507112A1 (de) | Tintenstrahlaufzeichnungskopf | |
| DE3508764C2 (de) | Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf |
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