DE3320939C2 - Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers - Google Patents

Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers

Info

Publication number
DE3320939C2
DE3320939C2 DE3320939A DE3320939A DE3320939C2 DE 3320939 C2 DE3320939 C2 DE 3320939C2 DE 3320939 A DE3320939 A DE 3320939A DE 3320939 A DE3320939 A DE 3320939A DE 3320939 C2 DE3320939 C2 DE 3320939C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
convex
image sensor
light source
reflected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE3320939A
Other languages
English (en)
Other versions
DE3320939A1 (de
Inventor
Hajime Tokio/Tokyo Yoshida
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hajime Industries Ltd
Original Assignee
Hajime Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hajime Industries Ltd filed Critical Hajime Industries Ltd
Publication of DE3320939A1 publication Critical patent/DE3320939A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3320939C2 publication Critical patent/DE3320939C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/952Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers, enthaltend eine Lichtquelle (3) zur Beleuchtung der zu prüfenden Oberfläche (2) des Körpers (1), einen Bildsensor (4) zur Aufnahme des von der Oberfläche (2) reflektierten Lichtes und zur Erzeugung eines entsprechenden elektrischen Signales, sowie eine Prüfeinrichtung (6) zur Aufnahme des vom Bildsensor (4) erzeugten elektrischen Signales und zur Feststellung, ob sich in der betrachteten Oberfläche (2) ein Fehler befindet. Erfindungsgemäß ist dabei im Lichtweg zwischen der Lichtquelle (3) und dem Bildsensor (4) ein Projektionsschirm (7) vorgesehen, auf dem ein Bild des beleuchteten Bereiches der Oberfläche (2) des Körpers erzeugt wird, wobei der Bildsensor (4) dieses auf dem Projektionsschirm (7) erzeugte Bild aufnimmt.

Description

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruches 1 vorausgesetzten Art so auszubilden, daß mit geringem technischen Aufwand eine zuverlässige Fehlerprüfung erreicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst
Indem erfindungsgemäD eine Lichtquelle Verwendung findet, die ein paralleles Lichtstrahlbündel auf die Oberfläche des zu prüfenden Körpers wirft, wird ein verhältnismäßig großer Oberflächenbereich gleichzeitig erfaßt und als echtes Bild auf den Projektionsschirm geworfen. Da ferner die Bildformungsfläche des Projektionsschirmes so geformt ist, daß Bildpunkte, die auf der zu prüfenden Oberfläche gleichen Abstand voneinander aufweisen, auch auf der Bildformungsfläche des Projektionsschirmes gleichen Abstand besitzen, ergibt sich ein auf besonders einfache Weise vom Bildsensor und von der Prüfeinrichtung auswertbares Bild des Prüfobjektes.
Als Lichtquelle zur Erzeugung des parallelen Lichtstrahlbündels kann bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung eiee einfache, im sichtbaren Bereich arbeitende Lichtquelle Verwendung finden, was auch die Gestaltung des Bildsensors und der Prüfeinrichtung wesentlich vereinfacht
Durch den gleichzeitig erfaßten, verhältnismäßig großen Bereich der Oberfläche des zu prüfenden Körpers ist in vielen Anwendungsfällen eine zusätzliche Relativbewegung zwischen dem Lichtstrahlbündel und dem zu prüfenden Körper nicht erforderlich.
Bei Abtastung der gesamten Oberfläche des konvex gekrümmten Körpers vereinfacht sich die Abtastung der Oberfläche durch den erfaßten großen Bereich.
Die Abtastung einer verhältnismäßig großen Teilfläche des Prüfobjektes durch ein paralleles Lichtstrahlbündel ist selbstverständlich nur dann möglich, wenn gleichzeitig dafür gesorgt wird, daß auf dem Projektionsschirm ein längengetreues Abbild der geprüften Oberfläche entsteht. Dies ist durch die erfindungsgemäß vorgesehen^1 Gestaltung der Bildformungsfläche des Projektionsschirmes gewährleistet
Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche und werden im Zusammenhang mit der Beschreibung eines in F i g. 4 dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert.
In Fig.4 sind für dieselben Elemente die gleichen Bezugszeichen wie in den F i g. 1 bis 3 verwe ndet.
Die Vorrichtung gemäß Fig.4 enthält: eine einzige Lichtquelle 3, die einen im wesentlichen; parallelen Lichtstrom als einfallendes Licht IL auf die konvex gekrümmte Oberfläche 2 des Körpers wirft. Die Lichtquelle 3 enthält in einem zylindrischen Körper 3/4 in dem einen Brennpunkt einer Sammellinse 35 einen Lichterzeuger 3C, beispielsweise eine Lampe. Der zylindrische Körper 3A ist an sinem Ende geschlossen und im Bereich seines offenen anderen Endes mit der Sammellinse 35 versehen. Auf diese Weise wird ein paralleles Lichtbündel als einfallendes Licht IL erzeugt. Die Stromversorgung für den Lichterzeuger 3Cist mit 3D bezeichnet.
Zwischen der Oberfläche 2 und dem Bildsensor, beispielsweise einer Fernsehkamera 4, ist ein Projektionsschirm 7 des Transmissionstyps vorgesehen, der beispielsweise aus transparentem Kunststoff besteht und im wesentlichen gleichförmige Stärke besitzt. Auf der der Oberfläche 2 zugewandten Seite des Projektionsschirmes 7 ist eine bildformungsfläche 7A vorgesehen, beispielsweise eine Ma'tfläche, auf der Bilder dadurch entstehen, daß das auf die Fläche TA auflallende Licht teilweise gestreut wird Auf dieser Fläche IA des' Projektionsschirmes 7 wird somit das Bild eines Bereiches der Oberfläche 2 erzeugt, der von dem parallelen Lichtbündel des einfallenden Lichtes IL getroffen wird. Dieses parallele Lichtbündel des einfallenden Lichtes IL wird von einem bestimmten Bereich der Oberfläche 2 reflektiert, wobei das reflektierte Licht auf die Bildformungsfläche TA des Projektionsschirmes 7 trifft
Es ist nun erwünscht, daß die Form des Projektions-Schirmes 7 bzw. der Bildformungsfläche TA derart ist, daß die Auftreffpunkte des reflektierten Lichtes RL auf der Bildformungsfläche TA untereinander gleiche Abstände aufweisen, ebenso wie die Reflexionspunkte dieser Lichtstrahlen auf der Oberfläche 2.
Durch geeignete Wahl der Gestalt der Bildformungsfläche TA erhält man auf dieser Fläche TA ein konformes Abbild des bestrahlten Bereiches der Oberfläche 2 und kann infolgedessen eine genaue Oberflächenprüfung im Hinblick auf etwa vorhandene Fehler durchführen.
Bei dem Ausfühmngsbeispiei gt:."iß Fig.4 ist der Bildsensor, beispielsweise die Kamera Ί, auf der dem Körper .abgewandten Seite des Projektionsschirmes 7 angeordnet, wobei das auf der Bildformungsfläche TA erzeugte Abbild des bestrahlten Bereiches der Oberfläche 2 (lurch den Projektionsschirm 7 hindurch aufgenommen wird. Das Ausgangssignal der Fernsehkamera 4 wird wie bei der bekannten Ausführung in der Prüfeinrichtung 6 verarbeitet, so daß eine Aussage darüber gewonnen wird, ob sich auf der gerade geprüften Oberfläche 2 ein Fehler befindet oder nicht Die Fernsehkamera 4 erfaßt somit nicht das Licht der Lichtquelle 3 direkt wie bei der bekannten Ausführung, und sie nimmt auch nicht das Bild des Linsenabschnittes 4i der Fernsehkamera 4 auf. Selbst wenn daher die konvexe Oberfläche des Körpers, beispielsweise einer Kugel oder eines Zylinders, stark reflektiert, läßt sich eine zuverlässige und einfache Oberflächenprüfung im Hinblick auf etwa vorhandene Fehler durchführen.
Da nur eine einzige Lichtquelle Verwendung findet, deren Licht nicht divergiert, sondern in Form eines gebündelten, parallelen Lichtstromes auf die zu prüfende Oberfläche geworfen wird, fällt weder direktes Licht auf den Projektionsschirm 7 noch auf die Kamera 4.
Wenn der von dem parallelen Lichtbi-ndel des einfallenden Lichtes IL getroffene Bereich der Oberfläche 2 des Körpers 1 nur ein Teil der gesamten zu prüfenden Oberfläche 2 ist, so muß selbstverständlich — wenngleich in der Zeichnung nicht dargestellt — der Körper
so 1 durch eine geeignete Antriebseinrichtung gedreht bzw. bewegt werdest, so daß nacheinander die gesamte zu prüfende Oberfläche von dem parallelen Lichtbünd^l getroffen wird. Damit werden auf der Bildformungsfläche 7 Λ aufeinanderfolgende Bilder der geprüften Ober-Hächenbereiche erzeugt.
Der Einfallswinkel des parallelen Lichtbündels aes einfallenden Lichtes IL auf die zu prüfende Oberfläche 2 kann je nach Größe und Krümmung der Oberfläche 2 variieren. In einem solchen Falle wird die Form des Projektionsschirmes 7 je nach dem gewählten Einfallswinkel entsprechend mitgeändert.
Es versteht sich, daß die Anordnung hierbei stets so zu treffen ist, daß der parallele Lichtstrom des einfallenden Lichtes von der Lichtquelle 3 nicht direkt auf die
bj Bildformungsfläche TA des Projektionsschirmes 7 oder auf die Fernsehkamera 4 trifft.
Es ist nicht unbedingt notwendig, die Lichtquelle 3 so auszubilden, daß sie einen streng parallelen Lichtstrom
erzeugt. Es können vielmehr — je nach der Form und den sonstigen Eigenschaften der zu prüfenden Oberfläche 2 — auch leicht divergierende oder konvergierende Lichtbündel emittiert werden.
[e nach der Form des zu prüfenden Körpers ist es schließlich auch möglich, die Fernsehkamera 4 auf derselben Seite des Projektionsschirmes 7 wie der Körper 1 anzuordnen. Hierbei nimmt die Fernsehkamera 4 das auf der Bildformungsflächc TA erzeugte Bild direkt auf. Die Eigenschaften der Lichtquelle 3 werden für diesen Fall entsprechend angepaßt. Statt eines Projektionsschirmes 7 des Transmissionstypes kann somit auch ein Projektionsschirm des Reflexionstyps Verwendung finden.
Hier/u 2 Blatt Zeichnungen
15
20
25
30
45
50
55
60
65

Claims (1)

1 2 gekrümmten Körpers wirft Die Projektionsfläche die- Patentansprüche: ser bekannten Prüfvorrichtung ist eben ausgestaltet Gemessen wird die Änderung der Stärke des reflektier-
1. Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche ten Strahles bzw. die Änderung der Menge des durch eines konvex gekrüminten Körpers, enthaltend 5 ein Filter geleiteten Strahles.
Ein wesentlicher Nachteil dieser bekannten Vorrich-
a) eine Lichtquelle (3) zur Beleuchtung der Ober- tung besteht in der Verwendung einer kostspieligen Lafläche (2) des zu prüfenden Körpers (1), serstrahlquelle. Da ferner der Laserstrahl nur einen win-
b) einen Bildsensor (4) zur Aufnahme des von der zigen Bereich der Oberfläche des konvex gekrümmten Oberfläche (2) des Körpers (1) reflektierten io Körpers erfaßt ist zur Abtastung der gesamten Oberfiä-Lichtes und zur Erzeugung eines entsprechen- ehe eine aufwendige, genau gesteuerte Relativbeweden elektrischen Signales, gung zwischen Laserstrahl und Prüfobjekt notwendig.
c) eine Prüfeinrichtung (6), die anhand des von Anhand der Fig. 1 bis 3 seien zwei weitere bekannte dem Bildsensor (4) gelieferten elektrischen Si- Prüfvorrichtungen erläutert (veröffentlicht in gnales ermittelt, ob die betrachtete Oberfläche 15 &. K.Genkosha »Commercial Photo Series .1«, S. 114, (2) Fehler aufweist, 204 (15. Juni 1974).
d) einen im Lichtweg zwischen der Lichtquelle (7) Fig. 1 veranschaulicht die Beziehung zwischen dem und dem Bildsensor (4) angeordneten Projek- einfallenden Licht IL und dem reflektierten Licht RL, tionsschirm (7), von dem das Licht zum Bildsen- wobei die zu prüfende Oberfläche eine konvex (sphäsor (4) gelangt, 20 risch) gekrümmte Oberfläche 2 eines konvexen Körpers
1, beispielsweise einer Kugel, ist Bekanntlich verlaufen
gekennzeichnet durch die Kombination fol- die Richtungen des einfallenden Lichtes IL und des regender Merkmale: flektierten Lichtes RL symmetrisch zu einer Normalen
Wim Punkte Pder konvexen Oberfläche 2. Der Einfalls-
e) es findet eine Lichtquelle (3) Verwendung, die 25 winkel β/ist somit gleich dem Reflexionswinkel 0r.
ein im wesentlichen paralleles Lichtstrahlbün- F i g. 2 ist eine Schemadarstellung einer aus der ge-
del auf die Oberfläche (2) dta zu prüfenden Kör- nannten Literaturstejls bekannten Prüfvorrichtung zur
pers (1) wirft; Prüfung der konvexen Oberfläche 2 des Körpers 1. Das
f) die der Oberfläche (2) des Körpers (1) züge- von einer Lichtquelle 3 einfallende Licht IL wird in den wandte Bildformungsfläche (7A) des Projek- 30 Punkten A 1, A 2, A 3... auf der konvexen Oberfläche 2 tionsschirmes (7) ist so geformt, daß die Bilder des Körpers 1 reflekiiert (reflektiertes Licht RL1, RL 2, von Punkten, die auf der Oberfläche (2) gleichen RL 3 ...). Durch die Anordnung der Lichtquelle 3 und Abstand voneinander auf?, eisen, auch auf der einer Fernsehkamera 4 wird nur das reflektierte Licht Bildformungsfläche 'JA) untereinander glei- RL 1 von der Fernsehkamera 4 aufgenommen, während chen Abstand besitzen. 35 das reflektierte Licht im übrigen außerhalb des Gesichtsfeldes dieser Kamera 4 verläuft Es können infol-
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- gedessen nur etwaige Oberflächenfehler im Punkte A 1 zeichnet daß der Projektionsschirm (7) aus transpa- festgestellt werden. Nun ist jedoch das reflektierte Licht rentem Material besteht RL 1 aufgrund der gut reflektierten Eigenschaften der
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- 40 Oberfläche 2 außerordentlich stark; dies macht es äuzeichnet, daß die Lichtquelle (3), der Körper (1), der ßerst schwierig, im Punkte A 1 vorhandene kleine Feh-Projektionsschirm (7) und der Bildsensor (4) derart ler festzustellen. Um die gesamte Oberfläche 2 zu überangeordnet sind, daß das von der Lichtquelle (3) aus- prüfen, muß der konvexe Körper 1 relativ zur Fernsehgesandte Lichtstrahlbündel den Projektionsschirm kamera 4 gedreht werden.
(7) und den Bildsensor (4) nicht direkt trifft. 45 F i g. 3 zeigt eine weitere aus der vorstehend genann-
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn- ten Literaturstelle bekannte Ausführung. Hierbei sind zeichnet, daß die Bildformungsfläche (JA) auf der zwei Lichtquellen 3|, 32 vorgesehen, die die konvex gedem Körper zugewandten Seite des Projektions- krümmte Oberfläche 2 des Körpers 1 über Streuscheischirmes (7) ausgebildet ist ben 5|, 52 beleuchten. Zwischen diesen Streuscheiben ist
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn- 50 die Fernsehkamera 4 angeordnet, die infolgedessen zeichnet, daß der Biidsensor (4) auf der dem Körper nicht direkt von Licht aus den Lichtquellen 3|, 32 getrof-(1) abgewandten Seite des Projektionsschirmes (7) fen wird. Das von den Lichtquellen 3i, 32 ausgesandte angeordnet ist. Licht wird durch die Streuscheiben 5|, 52 so gestreut,
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn- daß es bestimmte Bereiche der konvex gekrümmten zeichnet, daß der Bildsensor auf derselben Seite des 55 Oberfläche 2 trifft; das dort reflektierte Licht wird von Projektionsschirmes (7) wie der zu prüfende Körper der Fernsehkamera 4 aufgenommen und ermöglicht eiangeordnet ist. ne Prüfung des betroffenden Bereiches der Oberfläche
2.
Da bei dieser Ausführung die Normale im Punkte B
60 auf die konvex gekrümmte Oberfläche 2 und die optische Achse der Fernsehkamera 4 zusammenfallen, ist
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung entsprechend eine Oberflächenprüfung des Punktes B der Oberfläche dem Oberbegriff des Anspruches 1. 2 unmöglich.
Bei einer bekannten Vorrichtung der im Oberbegriff Das Bezugszeichen 6 in den F i g. 2 und 3 kennzeich-
des Anspruches 1 vorausgesetzten Art (DE-OS 65 net eine Prüfeinrichtung, die durch Verarbeitung des 42 600) findet als Lichtquelle eine Laserstrahlquelle von der Fernsehkamera 4 gelieferten Ausgangsbildsi-Verwendung, die einen feingebündelten Laserstrahl auf gnales feststellt, ob in der geprüften Oberfläche 2 ein einen sehr kleinen Bereich der Oberfläche des konvex Fehler, beispielsweise ein Kratzer oder dergleichen, ist.
DE3320939A 1982-06-15 1983-06-09 Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers Expired DE3320939C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57102699A JPS58219441A (ja) 1982-06-15 1982-06-15 凸面体の表面欠陥検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3320939A1 DE3320939A1 (de) 1983-12-15
DE3320939C2 true DE3320939C2 (de) 1985-04-18

Family

ID=14334502

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3320939A Expired DE3320939C2 (de) 1982-06-15 1983-06-09 Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4555635A (de)
JP (1) JPS58219441A (de)
CA (1) CA1206226A (de)
DE (1) DE3320939C2 (de)
FR (1) FR2528571B1 (de)
GB (1) GB2126712B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4130217A1 (de) * 1990-09-14 1992-03-19 Hajime Industries Verfahren und vorrichtung zur pruefung von oberflaechen

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59151008A (ja) * 1983-02-18 1984-08-29 Koyo Seiko Co Ltd 円形物の外観検査方法
US4585343A (en) * 1983-11-04 1986-04-29 Libbey-Owens-Ford Company Apparatus and method for inspecting glass
GB2159271B (en) * 1984-04-27 1988-05-18 Nissan Motor Surface flaw detecting method and apparatus
DE3446355C2 (de) * 1984-12-19 1986-11-06 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Optisches Fehlersuchgerät
US4710642A (en) * 1985-08-20 1987-12-01 Mcneil John R Optical scatterometer having improved sensitivity and bandwidth
US4754148A (en) * 1986-12-10 1988-06-28 Allegheny Ludlum Corporation Adjustably positioned apparatus maintaining a fixed perpendicular distance for evaluating a curved surface
JPS6463845A (en) * 1987-09-02 1989-03-09 Asahi Optical Co Ltd Method for inspecting surface to be inspected having linear defect
US5118194A (en) * 1989-04-11 1992-06-02 Southwest Research Institute Optical inspection of lacquer and carbon deposits
EP0498811B1 (de) * 1989-08-15 1997-04-09 Pressco Technology Inc. Beleuchtungsarray zur videoprüfung
US5012116A (en) * 1989-10-12 1991-04-30 Russell John P System for inspecting bearing balls for defects
DE4003983C1 (en) * 1990-02-09 1991-08-29 Abos Automation, Bildverarbeitung, Optische Systeme Gmbh, 8057 Eching, De Automated monitoring of space=shape data for mfg. semiconductors - compares image signals for defined illumination angle range with master signals, to determine defects
US5241369A (en) * 1990-10-01 1993-08-31 Mcneil John R Two-dimensional optical scatterometer apparatus and process
US5457326A (en) * 1993-05-18 1995-10-10 Daio Steel Ball Mfg. Co., Ltd. Surface inspection apparatus of spherical matter
US5761540A (en) * 1994-10-31 1998-06-02 Northeast Robotics, Inc. Illumination device with microlouver for illuminating an object with continuous diffuse light
US5842060A (en) * 1994-10-31 1998-11-24 Northeast Robotics Llc Illumination device with curved beam splitter for illumination an object with continuous diffuse light
US5764874A (en) * 1994-10-31 1998-06-09 Northeast Robotics, Inc. Imaging system utilizing both diffuse and specular reflection characteristics
US5604550A (en) * 1994-10-31 1997-02-18 Northeast Robotics, Inc. Illumination device for indirectly illuminating an object with continuous diffuse light
US5539485A (en) * 1994-10-31 1996-07-23 White; Timothy P. Illumination device for providing continuous diffuse light on and off an observing axis
US5713661A (en) * 1995-10-23 1998-02-03 Northeast Robotics, Inc. Hockey puck shaped continuous diffuse illumination apparatus and method
JPH10187939A (ja) * 1996-12-25 1998-07-21 Fujitsu Ltd 光学的検出装置及び光学的検出処理における照明方法
US5912741A (en) * 1997-10-10 1999-06-15 Northrop Grumman Corporation Imaging scatterometer
DE19809790B4 (de) * 1998-03-09 2005-12-22 Daimlerchrysler Ag Verfahren zur Ermittlung einer Drallstruktur in der Oberfläche eines feinbearbeiteten zylindrischen Werkstücks
US20040114035A1 (en) * 1998-03-24 2004-06-17 Timothy White Focusing panel illumination method and apparatus
US6184528B1 (en) 1998-08-27 2001-02-06 Vought Aircraft Industries, Inc. Method of spectral nondestructive evaluation
US6273338B1 (en) 1998-09-22 2001-08-14 Timothy White Low cost color-programmable focusing ring light
US6498643B1 (en) * 2000-11-13 2002-12-24 Ball Semiconductor, Inc. Spherical surface inspection system
BE1014299A3 (fr) * 2001-07-17 2003-08-05 Centre Rech Metallurgique Procede pour l'inspection de la surface d'un cylindre de laminoir et dispositif pour sa mise en oeuvre.
FR2846096B1 (fr) * 2002-10-16 2005-02-11 Dispositif pour la detection, l'analyse et la localisation de defauts presents sur une surface transparente et/ou reflechissante
US7170592B2 (en) * 2004-03-10 2007-01-30 Acushnet Company Method of inspecting a sphere without orienting the sphere
KR101256391B1 (ko) * 2004-10-08 2013-04-25 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 테스트 표면의 광학 검사
JP2006234771A (ja) * 2005-02-28 2006-09-07 Fuji Photo Film Co Ltd 金属ロールの表面欠陥検査方法およびその装置
FR2899966B1 (fr) * 2006-04-18 2010-02-26 Holo 3 Procede et dispositif de controle optique d'une surface optiquement reflechissante
FR3061300B1 (fr) * 2016-12-26 2020-06-12 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Procede d'observation d'un objet
FR3061301B1 (fr) * 2016-12-26 2020-09-04 Commissariat Energie Atomique Procede d'observation d'un objet
WO2023112809A1 (ja) * 2021-12-14 2023-06-22 日立建機株式会社 表面検査方法および表面検査装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3746784A (en) * 1971-08-16 1973-07-17 Ball Corp Electronic defect detecting apparatus
GB1439129A (en) * 1972-09-21 1976-06-09 Ferranti Ltd Detection of blemishes in surfaces
AR207635A1 (es) * 1973-06-27 1976-10-22 Connor B O Aparato para senalar la presencia de materia extrana y/o grietas en envases translucidos
JPS5061088U (de) * 1973-10-02 1975-06-05
JPS5210036A (en) * 1975-07-15 1977-01-26 Tokyo Genshi Kogyo Kk Connection device between electronic computer and magnetic disk unit
JPS5342093A (en) * 1976-09-28 1978-04-17 Mitsubishi Electric Corp Tester for glass bottle
JPS5424042A (en) * 1977-07-25 1979-02-23 Fuji Electric Co Ltd Optical identifying device
JPS6036013B2 (ja) * 1977-09-30 1985-08-17 動力炉・核燃料開発事業団 金属表面の欠陥検査方法
JPS5953483B2 (ja) * 1978-01-27 1984-12-25 超エル・エス・アイ技術研究組合 鏡面の変形分布測定装置
JPS54171390U (de) * 1978-05-23 1979-12-04
JPS56117154A (en) * 1980-02-21 1981-09-14 Hajime Sangyo Kk Inspecting apparatus of flaw
IT1143380B (it) * 1981-02-10 1986-10-22 Fiat Ricerche Procedimento e dispositivo per il rilevamento di difetti superficiali di pezzi meccanici in particolare di pezzi a superficie curva
JPS58115313A (ja) * 1981-12-29 1983-07-09 Matsushita Electric Works Ltd 欠陥検出装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4130217A1 (de) * 1990-09-14 1992-03-19 Hajime Industries Verfahren und vorrichtung zur pruefung von oberflaechen

Also Published As

Publication number Publication date
GB2126712A (en) 1984-03-28
GB2126712B (en) 1986-01-29
FR2528571A1 (fr) 1983-12-16
DE3320939A1 (de) 1983-12-15
JPH0515978B2 (de) 1993-03-03
CA1206226A (en) 1986-06-17
GB8315789D0 (en) 1983-07-13
JPS58219441A (ja) 1983-12-20
US4555635A (en) 1985-11-26
FR2528571B1 (fr) 1987-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3320939C2 (de) Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers
EP0249799B1 (de) Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse
DE19809505A1 (de) Einrichtung zum Prüfen optischer Elemente
DE3119688A1 (de) Vorrichtung zur ueberpruefung eines objektes auf unregelmaessigkeiten
DE2337557A1 (de) Infrarotgenerator
DE4036025A1 (de) Fingerabdruckerkennungsvorrichtung unter verwendung eines hologrammes
DE3118349A1 (de) Einrichtung zur lichtstreuung
DE102007006525A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von Defekten
DE3231306A1 (de) Anordnung zur erfassung von lichtboegen und anderen lichtquellen
DE112008001114T5 (de) Vorrichtung für die Oberflächenprüfung
DE3208753A1 (de) Epidunkles beleuchtungssystem
DE3717274A1 (de) Optische fehlerinspektionsvorrichtung
DE8303856U1 (de) Vorrichtung zur Ermittlung einer Oberflächenstruktur, insbesondere der Rauheit
DE2727927C3 (de) Vorrichtung zur getrennten Erfassung von Lichtstrahlen
DE2924241A1 (de) Goniophotometer zur messung des glanzes und/oder des glanzschleiers von oberflaechen
DE1122284B (de) Einrichtung zur fotoelektrischen Abtastung einer ablaufenden Bahn od. dgl. auf optisch erkennbare Abweichungen
DE102012110793B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Abbildung eines bahnförmigen Materials
DE2242644C3 (de) Optische Abtastvorrichtung
DE69029550T2 (de) Vorrichtung zum optischen Abtasten eines Dokuments
DE102004038321B4 (de) Lichtfalle
DE2039440A1 (de) Optische Vorrichtung zur getrennten und vollstaendigen Abbildung sich lueckenlos beruehrender Rasterfelder
DE102014000073B4 (de) Sensorvorrichtung, insbesondere zur Erfassung von Umgebungsbedingungen eines Kraftfahrzeuges
DE2031335A1 (de) Optische Raumabtast Vorrichtung
DE3446354C2 (de)
DE10062784C2 (de) Verfahren zur optischen Inspektion von transparenten Körpern

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee