DE3143948A1 - "PHOTOELECTRIC METHOD AND RECEIVER ARRANGEMENT FOR DETECTING THE POSITION OF EDGE-SHAPED MEASURING STRUCTURES" - Google Patents
"PHOTOELECTRIC METHOD AND RECEIVER ARRANGEMENT FOR DETECTING THE POSITION OF EDGE-SHAPED MEASURING STRUCTURES"Info
- Publication number
- DE3143948A1 DE3143948A1 DE19813143948 DE3143948A DE3143948A1 DE 3143948 A1 DE3143948 A1 DE 3143948A1 DE 19813143948 DE19813143948 DE 19813143948 DE 3143948 A DE3143948 A DE 3143948A DE 3143948 A1 DE3143948 A1 DE 3143948A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- receiver
- arrangement according
- signal
- peripheral
- central
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Fotoelektrisches Verfahren und Empfänperanordnung; zur Lapeerkennung; kantenförmiger MeßstrukturenPhotoelectric method and receiver arrangement; for lape detection; edge-shaped measuring structures
Die Erfindung betrifft ein fotoelektriachea Verfahren und eine Anordnung zur Lageerkennung kantenförmiger Meßstrukturen, die eine beliebige Orientierung zu einem feststehenden Bezugssystem (Koordinatensystem) aufweisen können. Anwendung findet die Erfindung z. B. in optischen Feinmeßgeräten (Koordinatenmeßmaschinen) zur Objektivierung des Positionierverfahrens in den Koordinatenrichtungen x, y und γ, wobei eine automatische Anmessung bewegter, d. h. nicht stationärer Strukturen möglich ist. Ein weiteres Einsatzgebiet der Erfindung betrifft die Lageerkennung einfacher geometrischer Strukturen auf Schablonen bzw. Halbleiterchips in der Fotolithografie. The invention relates to a photoelectriachea method and an arrangement for detecting the position of edge-shaped measuring structures, which can have any orientation to a fixed reference system (coordinate system). use the invention finds z. B. in optical precision measuring devices (coordinate measuring machines) to objectify the positioning method in the coordinate directions x, y and γ, with one automatic measurement of moving, d. H. non-stationary structures is possible. Another field of application of the invention relates to the position detection of simple geometric structures on stencils or semiconductor chips in photolithography.
Fotoelektrische Systeme werden in vielfältiger Form für den Aufbau fotoelektrischer Mikroskope und von Wegmeßsystemen, aber auch zur Objekterkennung und Bildanalyse genutzt. In der Literatur werden dazu vor allem auf dem Gebiet der Fotolithografie eine Vielzahl von statischen und dynamisch arbeitenden fotoelektrischen Verfahren und Anordnungen zur Lagebestimmung von Kanten, besonders aber von strichförmigen ebenen Objekten, beschrieben (z. B. in Optik 21 (1964) S. 605 ff. und Wiss. Ztschr. Friedrich-Schiller-Üniversität Jena, Math.-Hat. R., 25. Jg. (1976) H. 5 S. 683).Photoelectric systems come in many forms for the Construction of photoelectric microscopes and measuring systems, but also used for object recognition and image analysis. In In the literature, especially in the field of photolithography, a large number of static and dynamic working Photoelectric methods and arrangements for determining the position of edges, but especially of line-shaped flat objects, described (e.g. in Optik 21 (1964) pp. 605 ff. and Wiss. Ztschr. Friedrich-Schiller-University Jena, Math.-Hat. R., Vol. 25 (1976) H. 5 p. 683).
ο «etο «et
3Η39483Η3948
Diese Verfahren sind oft sehr aufwendig oder sie erfüllen die Anforderungen, die durch die Koordinatenmessung gestellt werden, nicht vollständig (z.B. Notwendigkeit von definierten Marken auf den anzumessenden Objekten^ Vororientierung zum Meßsystem).These procedures are often very complex or they meet the requirements made by the coordinate measurement, not complete (e.g. need for defined marks on the objects to be measured ^ pre-orientation for Measuring system).
Weiterhin sind Vorrichtungen zur fotoelektrischen Bestimmung der lage eines Objektes bekannt, bei denen eine Bildaufnahmeröhre als Wandler Verwendung findet (WP 128637 DD). Durch eine geeignete Ansteuerung der Ablenkeinheit wird eine ein- bzw. zweimalige Abtastung des Bildes in x- und y-Richtung in der Bildaufnahmeröhre vorgenommen. Eine geeignete Auswerteelektronik ermittelt die Fehllage gegenüber einer idealen Marke in x-, y- und γ -Richtung. Die Meßzeit ist <100 ms.Furthermore, devices for photoelectrically determining the position of an object are known in which an image pickup tube is used as a converter (WP 128637 DD). A suitable control of the deflection unit or twice scanning of the image in the x and y directions made in the image pickup tube. Suitable evaluation electronics determines the misalignment with respect to an ideal mark in the x, y and γ directions. The measuring time is <100 ms.
Außerdem ist ein Verfahren bekannt (OS 2405 102 DB), bei dem eine strich- oder kantenförmige Struktur mit Hilfe einer mechanisch abgelenkten und zirkulär rotierenden Punktlichtsonde abgetastet wird. Die dabei an einem Fotoempfänger entstehenden Meßsignale werden in Bezug auf ihre Phasenlage zur Rotationsbewegung für die Bestimmung der Winkellage der Struktur ausgewertet. Die Frequenzanalyse der Meßsignale liefert die Ablage zum RotationsZentrum.In addition, a method is known (OS 2405 102 DB) in which a line or edge-shaped structure with the help of a mechanical deflected and circular rotating point light probe is scanned. The measurement signals produced by a photo receiver are related to their phase position evaluated for the rotational movement for the determination of the angular position of the structure. The frequency analysis of the measurement signals delivers the tray to the rotation center.
Die beiden zuletzt genannten Lösungen sind durch ein dynamisches Meßprinzip gekennzeichnet. Der Einsatz mechanischer Ablenkmittel beschränkt dabei die Anwendung des Verfahrens auf quasistationäre Objekte. Aber auch der Einsatz nichtmechanischer Ablenkmittel (z. B. die Verwendung von Bildaufnahmeröhren) bringt wegen der begrenzten örtlichen Auflösung Probleme mit sich. Mcht zuletzt dürften die beiden Verfahren bei nichtidealen Strukturen zu erheblichen Meßfehlern führen, da der Strukturort nach keiner der allgemein anerkannten Ortsdefinitionen angemessen wird. In der OS 2102027 DB wird ein Verfahren beschrieben, das den Kantenort definitionsgemäß am Ort des maximalen Schwärzungsgradienten eines kantenförmigen Intensitätsprofils zu messen gestattet.The last two solutions mentioned are characterized by a dynamic measuring principle. The use of mechanical Deflection means limits the application of the method to quasi-stationary objects. But also the use of non-mechanical ones Deflection means (e.g. the use of image pick-up tubes) bring in because of the limited spatial resolution Problems with yourself. In the end, the two methods are likely to lead to considerable measurement errors in the case of non-ideal structures lead, since the structural location is not appropriate according to any of the generally recognized definitions of location. In OS 2102027 DB, a method is described that defines the edge location at the location of the maximum blackening gradient to measure an edge-shaped intensity profile.
Hierzu wird auf optischem Weg die zweifache Ableitung des Intensitätsprofils gebildet. Erfindungsgemäß ist dieses Verfahren jedoch nur fur eine bzw. zwei (siehe OS 2017400 DB) Vorzugsmeßrichtungen einsetzbar.For this purpose, the twofold derivative of the Intensity profile formed. This method is according to the invention however, can only be used for one or two (see OS 2017400 DB) preferred measuring directions.
Ziel der Erfindung ist eine schnelle, objektive und berührungsfreie Meßgrößenerfassung bei der Vermessung optisch wirksamer Strukturen, die nicht notwendig stationär im Hinblick auf ein feststehendes Bezugssystem sind und die zu diesem keine Vorzugsorientierung aufweisen müssen. Speziell bei optischen Feinmeßgeräten, insbesondere Koordinatenmeßgeräten mit digitalem Wegmeßsystem, soll die Erfindung eine höhere Positioniergenauigkeit und Meßgeschwindigkeit durch den Ersatz der noch vorherrschenden visuellen Positiomerverfahren ermöglichen«The aim of the invention is a fast, objective and non-contact Acquisition of measured variables when measuring optically effective structures that are not necessarily stationary in view are based on a fixed reference system and which do not have to have a preferred orientation to this. Special In the case of optical precision measuring devices, in particular coordinate measuring devices with a digital measuring system, the invention is intended to be a higher positioning accuracy and measuring speed through the replacement of the still predominant visual positiomer method enable"
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein fotoelektrisches Verfahren und eine Empfängeranordnung zu entwickeln, die zur sichtungsunabhängigen Lageerkennung von optisch wirksamen, strich- oder kantenförmigen Meßstrukturen geeignet sind und das Ziel der Erfindung erreichen. Bei Koinzidenz des nach der fotometrischen Mittendefinition anvisierten Strukturorts soll ein geeignetes Steuersignal für eine periphere Meßelektronik, ζ. B. die Positionsausgäbe eines Wegmeßsystems, ableitbar sein.The invention is based on the object of a photoelectric To develop a method and a receiver arrangement, which are suitable for the position detection of optically effective, line-shaped or edge-shaped measuring structures, regardless of the visibility and achieve the aim of the invention. In case of coincidence of the sighted according to the photometric definition of the center Structure location should be a suitable control signal for a peripheral measurement electronics, ζ. B. the position output of a Measuring system, be derivable.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch ein statisches fotoelektrisches Verfahren gelöst, welches durch eine zweidimensionale fotometrische Bewertung der von charakteristischen Strukturelementen abgegebenen Strahlungsflüsse die Lagebestimmung der Struktur unabhängig von deren Orientierung in einem feststehenden Bezugssystem (Koordinatensystem) bezüglich eines ausgezeichneten Zielpunktes (Koordinatenursprung) ermöglicht. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß das Minimum und das Maximum des Strahlungsflusses in der unmittelbaren Bähe des Kantenübergangs optisch integral zweidimensional erfaßt werden, die Summe dieser integralen Strahlungsflüsse entweder optisch mit einer peripheren Blendenfläche (z. B. Kreisring) gebildet und dazu ein proportionales elektrisches Signal abgeleitet wird oderAccording to the invention, the object is achieved by a static photoelectric Method solved, which by a two-dimensional photometric evaluation of the radiation flux emitted by characteristic structural elements Determination of the position of the structure regardless of its orientation in a fixed reference system (coordinate system) with respect to an excellent target point (coordinate origin). The procedure is characterized by that the minimum and the maximum of the radiation flux in the immediate vicinity of the edge transition are optical can be recorded integrally two-dimensionally, the sum of these integral radiation fluxes either optically with a peripheral one Orifice surface (z. B. circular ring) is formed and a proportional electrical signal is derived or
eine elektrische Summation einzelner Signalwerte erfolgt, wobei die einzelnen Signalwerte den durch mehrere periphere Blendenteilflächen hindurchtretenden Teilatrahlungaflüaaen proportional aind und daß weiterhin der integrale Strahlungsfluß des Kantenübergangs von einer zentralen Blendenfläche vollständig aufgenommen wird und dazu wiederum ein proportionales elektrisches Signal gewonnen wird. Anschließend erfolgt eine Differenzbildung der resultierenden elektrischen Signalwerte, wobei die Signale durch Vorverstärkung entsprechend dem Flächenverhältnis von peripherer Blendenfläche zu zentraler Blendenfläche bewertet werden. Für den Fall, daß die Flächen gleich groß sind, kann die Vorverstärkung selbstverständlich entfallen.an electrical summation of individual signal values takes place, whereby the individual signal values correspond to the partial radiation penetrating through several peripheral partial diaphragm surfaces proportional to aind and that furthermore the integral radiant flux of the edge transition from a central diaphragm surface is completely recorded and in turn a proportional electrical signal is obtained. Afterward a difference is made between the resulting electrical Signal values, the signals being preamplified according to the area ratio of the peripheral diaphragm area central panel surface are assessed. In the event that the areas are the same size, the pre-amplification can of course omitted.
Vorzugsweise wird der im Differenzsignal auftretende ITuIldurchgang zur Anzeige einer definierten Relativlage von Meßstruktur und Koordinatenuraprung verwendet. Die von der zentralen und der peripheren Blendenfläche abgegebenen Strahlungsflösse werden entweder durch geeignete styahlführende Elemente auf zwei fotoelektriache Empfänger geleitet, oder sie werden zusammengefaßt und über einen Strahlunterbrecher auf einen Empfänger abgebildet (Chopperverfahren). The ITuIl passage occurring in the difference signal is preferably used used to display a defined relative position of the measuring structure and coordinate projection. The radiation fluxes emitted by the central and the peripheral diaphragm surface are either controlled by suitable ones Steel elements on two photoelectric receivers or they are combined and mapped onto a receiver via a beam interrupter (chopper process).
Es ist auch im Sinne der Erfindung, die Blendenflächen durch entsprechend gestaltete und angeordnete Empfängerflächen fotoelektrischer Empfänger zu bilden, wobei diese integriert auf einem Chip oder als Hybridaufbau hergestellt werden können. Die fotoelektriache Empfängeranordnung enthält gemäß der Erfindung mindestens eine zentral angeordnete Empfängerfläche und mindestens eine die Zentralfläche umgebende periphere Empfängerfläche. Die Empfängerflächen aind voneinander elektrisch isoliert angeordnet und die Signale der einzelnen Flächen sind frei verschaltbar* Die zentrale Empfängerfläche wird vorzugsweise kreisförmig oder quadratisch ausgeführt, die periphere Empfängerfläche kann kreisringförmig sein oder aus vier separaten Teilflächen gleicher Gestalt bestehen, wobei 3ede Teilfläche den gleichen Flächeninhalt wie die Zentralfläche hat, oder die periphere Summenfläche gleich der Zentralfläche ist.It is also within the meaning of the invention, the aperture surfaces by appropriately designed and arranged receiver surfaces To form photoelectric receivers, which can be manufactured integrated on a chip or as a hybrid structure. According to the invention, the photoelectric receiver arrangement contains at least one centrally arranged receiver surface and at least one peripheral receiver surface surrounding the central surface. The receiving surfaces are apart electrically isolated and the signals of the individual surfaces can be freely interconnected * The central receiver surface is preferably made circular or square, the peripheral receiver surface can be circular or consist of four separate sub-areas of the same shape, each sub-area having the same area as the central area has, or the total peripheral area is equal to the central area.
Die erfindungsgemäße Empfängeranordnung gestattet neben der Verwirklichung des Verfahrens zum riehtungaunabhängigen Antasten von kantenförmigen Meßstrukturen durch die freie Verschaltbarkeit aller Einzelempfängerflächen auch die Realisierung des bekannten Zweizellendifferenzverfahrens zum Antasten von strichförmigen Objekten. Da das angewendete Verfahren prinzipiell ein statisches Meßverfahren darstellt, läßt sich die Anordnung besonders vorteilhaft zum Anmessen bewegter (nichtstationärer) Meßstrukturen benutzen.The receiver arrangement according to the invention allows in addition to Realization of the method for direction-independent probing of edge-shaped measuring structures through the free interconnection of all individual receiver surfaces also the realization the well-known two-cell difference method for probing line-shaped objects. Since that applied Method represents a static measuring method in principle, the arrangement can be particularly advantageous for measuring Use moving (non-stationary) measuring structures.
Im folgenden werden einige Ausfuhrungsformen der erfindungsgemäßen
Empfängeranordnung anhand einer Zeichnung näher beschrieben.
Dabei zeigen:Some embodiments of the receiver arrangement according to the invention are described in more detail below with reference to a drawing.
Show:
Fig. 1a) Empfängeranordnung bestehend aus fünf integrierten quadratischen Empfängerdioden gleicher AbmessungFig. 1a) Receiver arrangement consisting of five integrated square receiver diodes of the same dimensions
Fig. 1b) Empfängersignal bei Kanteneinfang durch Translation (f a O bzw. 45°)Fig. 1b) Receiver signal with edge capture by translation (f a 0 or 45 °)
Fig. 1c) Empfängersignal bei Kanteneinfang durch Drehung Fig. 1d) Empfängersignal bei Stricheinfang durch TranslationFig. 1c) Receiver signal with edge capture by rotation Fig. 1d) Receiver signal with line capture by translation
Fig. 2a) Empfängeranordnung bestehend aus fünf integrierten rechteckförmigen Empfängerdioden unterschiedlicher GeometrieFig. 2a) Receiver arrangement consisting of five integrated rectangular receiver diodes of different geometry
Fig. 2b) Empfängersignal bei Kanteneinfang durch TranslationFig. 2b) Receiver signal with edge capture by translation
Fig. 3a) Empfängeranordnung bestehend aus zwei kreisförmigen zentrisch zueinander angeordneten Empfängerflächen mit dem Flächenverhältnis 1:13a) Receiver arrangement consisting of two circular receiver surfaces arranged centrally with respect to one another with the area ratio 1: 1
Fig. 3b) Empfängersignal bei KanteneinfangFig. 3b) Receiver signal with edge capture
Fig. 3c) Empfängeranordnung nach 2a mit Signalauswerteeinrichtung zum Stricheinfang innerhalb eines Sollbereiches Fig. 3c) Receiver arrangement according to 2a with signal evaluation device for line capture within a target area
Fig. 3d) Empfängeranordnung bestehend aus drei zentrisch zueinander angeordneten EmpfängerflächenFig. 3d) receiver arrangement consisting of three centrally arranged receiver surfaces
Fig. 3e) Empfängersignal bei StricheinfangFig. 3e) Receiver signal with line capture
Pig. 4 ) Empfängeranordnung nach 2a, wobei beide Kreisflächen in jeweils 4 gleichgroße Sektoren geteilt sind.Pig. 4) Receiver arrangement according to 2a, with both circular areas are divided into 4 equally sized sectors.
Die in Fig. 1a dargestellte Empfängeranordnung besteht aus fünf separaten quadratischen Empfängerflächen, der zentralen fläche 1" und vier peripheren Flächen 11', 12', 13', 14* mit den Seitenlängen a. Dieser Aufbau ist integriert auf einem Chip oder als Hybridaufbau möglich. Die Separationsstreifen d zwischen den Empfängerflächen legen die Achsen (x, y) des Koordinatensystems fest. Beim Einsatz dieses Empfängers in einem optischen Koordinatenmeßgerät ist er in einer Zwischenbildebene oder z.B. auf dem Projektionsschirm so anzuordnen, daß sein Mittelpunkt in der Zielachse liegt. Als Zielachse wird in der Regel die optische Achse des Meßgerätes gewählt.The receiver arrangement shown in Fig. 1a consists of five separate square receiver areas, the central area 1 "and four peripheral areas 11 ', 12', 13 ', 14 * with the side lengths a. This structure can be integrated on a chip or as a hybrid structure. The separation strips d between the receiver surfaces define the axes (x, y) of the coordinate system. When using this receiver in an optical coordinate measuring machine it is in an intermediate image plane or, for example, on the projection screen to arrange that its center lies in the target axis. As a rule, the optical axis of the measuring device is used as the target axis chosen.
Der dargestellte Empfängertyp gestattet:The receiver type shown allows:
1. die Ableitung eines Koinzidenzsignals bei der lageunabhängigen Positionierung einer optisch wirksamen Kante zum Koordinatenursprung,1. The derivation of a coincidence signal for the position-independent positioning of an optically effective edge to the origin of coordinates,
2. die Ableitung eines Parallelitätssignals bzw. Überdeckungssignals bei erreichter Koinzidenz nach 1 bei Drehung einer Kante gegenüber den Koordinatenachsen,2. the derivation of a parallelism signal or overlap signal when the coincidence according to 1 is reached when rotating an edge with respect to the coordinate axes,
3. die Ableitung eines Koinzidenzsignals bei der lageunabhängigen Positionierung der fotometrischen Mitte optisch wirksamer Striche der Breite b. Dabei werden Striche mit einer Breite b a+2d b 3a+2d zum Koordinatenursprung und Striche mit d b 2a+d zu einem Zielpunkt auf den Koordinatenachsen in Abstand 1/2 (a+d) vom Koordinatenursprung positioniert (s. Pig. 1a),3. the derivation of a coincidence signal with the position-independent positioning of the photometric center of optically effective lines of width b. Here are strokes having a width b a + 2d b 3a + 2d to the coordinate origin and strokes with db 2a + d to a target point on the coordinate axes in a distance of 1/2 (a + d) positioned from the coordinate origin (s. Pig. 1a),
4. die Ableitung eines Koinzidenzsignals mit im Abstand von Y2 (a+d) parallel zu den Koordinatenachsen verlaufenden Linien bei der Drehung eines Striches.4. the derivation of a coincidence signal with a distance of Y2 (a + d) running parallel to the coordinate axes Lines when rotating a stroke.
Zu 1. Erfindungsgemäß erfolgt die Kantenpositionierung mit dem Empfänger nach Fig. 1a dadurch, daß gebildet wird: To 1. According to the invention, the edge positioning with the receiver according to Fig. 1a takes place in that:
*+ * , n . 04 i - Strahlungsfluß auf* + *, n. 04 i - radiation flux on
Z ψ - M- φ = φ die Flächen Z ψ - M- φ = φ the areas
^ ü (11 ·, 12', 13', H1)^ ü (11 ·, 12 ', 13', H 1 )
(0 = 0 für Koinzidenz) 0'\ - Strahlungsfluß auf(0 = 0 for coincidence) 0 '\ - radiation flux on
1 die Fläche 1tf 1 the area 1 tf
Die Vervierfachung des Strahlungafluases wird nach der Wandlung durch entsprechende Verstärkung des dem Strahlungsfluß proportionalen Signals s (r,f ) erreicht.The quadrupling of the radiation afluase becomes after the conversion achieved by corresponding amplification of the signal s (r, f) proportional to the radiation flux.
· Δ - Signale von 11', 4 1^'4 .12·, 13', H' Δ - signals of 11 ', 4 1 ^' 4 .12, 13 ', H'
s1^ Signal von 1 ' 's 1 ^ signal of 1 ''
- Koordinaten des K»ι Kantenortes- Coordinates of the K »ι edge location
Bei der Translation einer sich in beliebiger Winkellage zu den Koordinatenachsen befindlichen kantenförmigen Struktur über den Empfänger ergibt sich der für das Verfahren charakteristische Signalverlauf. In Fig. 1b sind die Differenzsignale s(rK, vf ) für φ-, = 0° bzw. f2 = 45° dargestellt. Fach dem gleichen Meßprinzip arbeitet die in Fig. 2a dargestellte Empfängeranordnung. Die Gleichheit der Signalsumme von den äußeren Empfängerflächen 21', 22', 23', 24' und des Signals von der inneren Empfängerfläche 2'' bei voller Ausleuchtung aller Empfängerflächen wird hier durch die Flächengleichheit der Flächensumme von 21', 22', 23', 24' und der Fläche 211 erreicht.When an edge-shaped structure located in any angular position to the coordinate axes is translated via the receiver, the signal profile that is characteristic of the method is obtained. In Fig. 1b, the difference signals s (r K , vf) are shown for φ-, = 0 ° and f 2 = 45 °. The receiver arrangement shown in FIG. 2a works according to the same measuring principle. The equality of the signal sum from the outer receiver surfaces 21 ', 22', 23 ', 24' and the signal from the inner receiver surface 2 '' with full illumination of all receiver surfaces is shown here by the equality of the surface sum from 21 ', 22', 23 ' , 24 'and the surface 2 11 reached.
Fig. 2b zeigt die charakteristischen Signalverläufe s(r^, »p ). Unabhängig von der Winkellage der Kante zu den Koordinatenachsen hat das Differenzsignal beider Ausfuhrungsformen bei Koinzidenz der Kante mit dem Koordinatenursprung einen HuIldurchgang. Fig. 2b shows the characteristic signal curves s (r ^, »p). Regardless of the angular position of the edge to the coordinate axes, the difference signal of the two embodiments has Coincidence of the edge with the coordinate origin of a pass through the envelope.
• ••on«• •• on «
Ü β moÜ β mo
• · O » 4 O• · O »4 O
3H39483H3948
In diesem Moment wird durch die Kante die Hälfte der Flächensumme der äußeren Empfängerflächen sowie die Hälfte der inneren Empfängerfläche abgedunkelt und es entstehen die DifferenzsignaleAt this moment, the edge becomes half of the total area of the outer recipient surfaces and half of the inner recipient surface are darkened and the Differential signals
nach Fig. 1b bzw.according to Fig. 1b or
f 5U CrKlt) -^S1" Cn11If") = 0 f 5 U Cr Kl t) - ^ S 1 "Cn 11 If") = 0
nach Fig. 2b.according to Fig. 2b.
Der Fangbereich in Koordinatenrichtung ergibt sich zuThe capture range in the coordinate direction is given by
Bxy = 2 (a'1+ d) + a" .B xy = 2 (a ' 1+ d) + a ".
(Der Fangbereich B gibt die Abmessung des Gebietes auf der Empfängeranordnung an, für das s (rk, ^) Φ Ο ist.)(The capture area B indicates the dimension of the area on the receiver arrangement for which s (r k , ^) Φ Ο.)
Die Empfindlichkeit ist, wenn gleiche äußere Abmessungen vorliegen (umschriebene Kreisfläche), bei dem gleichflächigem Aufbau nach Fig. 1a größer als bei dem nach Fig. 2a.The sensitivity is, if the external dimensions are the same (circumscribed circular area), with the same area Structure according to Fig. 1a larger than that of Fig. 2a.
Für beide Empfänger erhöht sich die Empfindlichkeit, wenn der Winkel der Kante zu den Koordinatenachsen (Separationsstreifen) von 0° auf 45° wächst. For both receivers, the sensitivity increases when the angle of the edge to the coordinate axes (separation strips) increases from 0 ° to 45 °.
Zu 2. Beide Empfängeranordnungen können weiterhin einfach zur Indikation der Koinzidenz bei Drehung (Kante parallel zur Koordinatenachse) genutzt werden. Dazu werden die, z. B. bei der Anordnung nach Fig. 1, 11' und 13' bzw. 12' und 14' in Differenz geschaltet. Die Differenzaignale Regarding 2. Both receiver arrangements can still be used simply to indicate the coincidence during rotation (edge parallel to the coordinate axis). For this purpose, the z. B. in the arrangement according to Fig. 1, 11 'and 13' or 12 'and 14' switched in difference. The difference aial
s(s,90°) = s'12(x,9O°) - s'14(x,90°) bzw. s(y,o) = s'^iy.o) - s '13(y,o)s (s, 90 °) = s '12 (x, 90 °) - s' 14 (x, 90 °) or s (y, o) = s '^ iy.o) - s' 13 (y, O)
werden Hull, wenn die oben genannten ausgezeichneten Winkel lagen erreicht werden.be hull when the above excellent angles locations can be achieved.
= a rc tan 2Γ1"Q
= a rc tan 2Γ 1 "
1+2d= arctan Λ xj
1 + 2d
Das Erreichen der Koinzidenzlage zu einer Koordinatenrichtung setzt eine Positionierung nach Pkt. 1 voraus. Der Verlauf des Differenzsignal ist in Pig. 1c dargestellt. Der Grenzwinkel des Fangbereiches ergibt sich allgemein nachAchieving the coincidence position to a coordinate direction requires positioning according to point 1. The history the difference signal is in Pig. 1c. The limit angle of the capture area is generally given by
maxMax
bzw. tmax = av0^an T+2cT für ^ = O (Koinzidenz)or t m ax = av0 ^ an T + 2cT for ^ = O (coincidence)
h - Abstand der Kante vom Koordinatenursprungh - distance of the edge from the origin of the coordinates
in Koordinatenrichtung 4* mov ~ Grenzwinkel des Fangbereiches Kante zurin coordinate direction 4 * mov ~ critical angle of the capture area edge to
KoordinatenrichtungCoordinate direction
Zu 3» Die Indikation der Sollage eines Striches läßt sich vorteilhaft mit dem Detektor nach Fig. 1a (gleichgroße Empfängerteilflächen) vornehmen. Dazu wird das statische Zweizellendifferenzverfahren genutzt. Wahlweise können die Empfänger fläch en 11', 12', 13', H1 mit der Fläche 1 · · in Differenz geschaltet werden, z. B. Nutzung des Nulldurchgangs des Differenzsignals Re 3: The indication of the nominal position of a line can advantageously be carried out with the detector according to FIG. 1a (receiver sub-areas of the same size). The static two-cell difference method is used for this. Optionally, the receiver surfaces 11 ', 12', 13 ', H 1 can be switched with the surface 1 · · in difference, z. B. Use of the zero crossing of the difference signal
s(x) = s'12(x) - S1' !(x)s (x) = s '12 (x) - S 1 ' ! (x)
s(y) = S^11(X) - S^'(χ)s (y) = S ^ 11 (X) - S ^ '(χ)
für kleine Strichbreiten (s c b <. 2a+d) bzw.for small line widths (s c b <. 2a + d) or
s(x) = s'12(x) - s'u(x)s (x) = s '12 (x) - s' u (x)
x(y) = s *ii(y) - a '„(y)x (y) = s * ii (y) - a '"(y)
fur Strichbreiten a+2d < b < 3a+2d.for line widths a + 2d <b <3a + 2d.
3 U 393 U 39
Der Kulldurchgang ist fur ein bestimmtes Empfängerflächenpaar im Bereich von 0° ^ f ^ 45° von der Drehlage unabhängig. Bei größeren Winkeln muß in der jeweils anderen Koordinatenrichtung gemessen werden.The Kull passage is for a specific pair of receiver surfaces in the range of 0 ° ^ f ^ 45 ° independent of the rotational position. For larger angles, measurements must be made in the other coordinate direction.
In Fig. 1d) ist der Verlauf der Signale als Punktion vom Ort der fotometrischen Strichmitte dargestellt.In Fig. 1d) is the course of the signals as a puncture from Location of the photometric line center shown.
Zu 4« Unter der Voraussetzung, daß die Positionierung des Striches nach Pkt. 3 durchgeführt wurde» ist die Ableitung eines Koinzidenzsignals bei Erreichen der Koordinatenrichtungen durch Differenzschaltung der Empfängerteilflächen nach Pkt. 2 möglich. Regarding 4, " Provided that the line has been positioned as per point 3", it is possible to derive a coincidence signal when the coordinate directions are reached by switching the partial areas of the receiver according to point 2.
In Pig. 3a ist eine weitere Empfängeranordnung zur richtungsunabhängigen Kantenantastung dargestellt. Sie zeichnet sich durch eine von der Orientierung der Kante unabhängige Empfindlichkeit aus. ,In Pig. 3a is a further receiver arrangement for direction-independent Edge probing shown. It is characterized by being independent of the orientation of the edge Sensitivity off. ,
Die Anordnung besteht aus einer kreisförmigen Empfängerfläche und einer zu deren Kreismittelpunkt konzentrisch angeordneten zweiten kreisringförmigen Empfängerfläche. Beide Empfängerflächen sind so zu beschälten, daß die von ihnen abgegebenen elektrischen Signale dem auftreffenden Lichtstrom proportional sind und anschließend subtrahiert werden. Einrichtungen hierfür sind bekannt (s. z. B. AS 1957 161 DB) und bedürfen keiner weiteren Erläuterung. Erfindungsgemäß ist die Radienlänge so zu wählen, daß die Kreisringfläche 31' gleich der Kreisfläche 3'' wird. Unter Vernachlässigung der Abmessungen der Separationsbreite d zwischen beiden Empfängerflächen ist dies bei r., = y2r der Pail.The arrangement consists of a circular receiver surface and a second circular ring-shaped receiver surface arranged concentrically to the center of the circle. Both receiver surfaces are to be coated in such a way that the electrical signals emitted by them are proportional to the incident light flux and are then subtracted. Facilities for this are known (see e.g. AS 1957 161 DB) and do not require any further explanation. According to the invention, the radius length is to be selected so that the circular ring surface 31 'becomes equal to the circular surface 3''. Neglecting the dimensions of the separation width d between the two receiver surfaces, this is the pail at r., = Y2r.
Bewegt sich nun wie in Pig. 3a angedeutet eine kantenförmige Struktur Über die Empfängerfläche, so ergibt sich der in Pig. 3b angegebene Differenzsignalverlauf. Es ist zu erkennen, daß bei Koinzidenz der Kante mit dem Mittelpunkt der Empfängeranordnung ein Uullsi£inal entsteht, das sich inMoves now like in Pig. 3a indicated an edge-shaped Structure The in Pig. 3b indicated difference signal curve. It can be seen that when the edge coincides with the center of the Receiver arrangement a Uullsi £ inal arises, which is in
YcYc
vorteilhafter Weise zur Auslösung eines Längemeßsystems ausnutzen läßt. In diesem Zustand wird von der kantenförmigen Struktur gerade jeweils die halbe Empfängeiflache abgedunkelt bzw. beleuchtet, so daß bei vorausgesetzt gleicher Empfängerempfindlichkeit die Differenz der Empfängersignale UuIl wird.advantageously exploit to trigger a length measurement system leaves. In this state, half of the reception area is darkened by the edge-shaped structure or illuminated, so that assuming the same receiver sensitivity, the difference between the receiver signals is UuIl.
Der analytische Zusammenhang zwischen Kantenort r^ und Differenzsignal s(x) ergibt sich bei einer Separations breite dtsO The analytical relationship between edge location r ^ and difference signal s (x) results from a separation width dtsO
-So [it (ore ccs^ -ürtcos^ + ΓΛ (l/*--So [it (ore ccs ^ -ürtcos ^ + Γ Λ (l / * -
Darin sind SD die Empfindlichkeit des Empfängermaterials und E die Beleuchtungsstärke im hellen Teil des Kanteniibergangs. (Für den dunklen Seil der Eante wurde EaO angenommen.) Für die Empfängerempfindlichkeit der Anordnung in der Fähe des Uulldurchganges (Koinzidenzpunkt) ergibt sich z. B. mit den Werten: E = 1500 Ix, S^ = 4,2 mA/lm und T^ =100 um ein Wert vonS D is the sensitivity of the receiving material and E is the illuminance in the bright part of the edge transition. (EaO was assumed for the dark rope of the Eante.) For the receiver sensitivity of the arrangement near the Uull passage (point of coincidence), z. B. with the values: E = 1500 Ix, S ^ = 4.2 mA / lm and T ^ = 100 around a value of
Da der Dunkelstrom des zugrunde gelegten Empfängermaterials bei Elementbetrieb ca. 0,07 nA beträgt, sind Abweichungen unter 1>um bei idealen Strukturen (maximaler Kontrast) sicher nachweisbar.Because the dark current of the underlying receiver material with element operation is approx. 0.07 nA, deviations of less than 1 µm are safe with ideal structures (maximum contrast) verifiable.
Die Rotationssymmetrie der Empfängeranordnung bewirkt eine völlig riehtungsunabhängige Empfindlichkeit der Anordnung. Die Zielachse wird durch den Kreismittelpunkt festgelegt. Die Anordnung läßt sich besonders vorteilhaft zum Anmessen bewegter (nichtstationärer) kantenförmiger Objekte benutzen. In Fortführung des Erfindungsgedankens wird eine Anordnung vorgeschlagen, die die Registrierung einer strichförmigen Struktur innerhalb eines vorgegebenen Sollbereiches ermöglicht. The rotational symmetry of the receiver arrangement causes a Completely direction-independent sensitivity of the arrangement. The target axis is defined by the center of the circle. The arrangement can be particularly advantageous for measuring Use moving (non-stationary) edge-shaped objects. As a continuation of the inventive concept, an arrangement proposed, which enables the registration of a line-shaped structure within a predetermined target range.
• · «β ο• · «β ο
• ♦ «· Λ • ♦ «· Λ
" * ·" 3H39A8"* ·" 3H39A8
Dazu ist bei Verwendung des in Fig. 3a vorgeschlagenen Empfängertyps vor der Registrierung des Differenzfotostroms daa vom Kreisring herrührende Empfängersignal elektronisch um einen Faktor 4r3x(z. B. 2,5x) zu verstärken (Pig. 3c). Die gleiche Wirkung wird erfindungsgemäß jedoch auch durch Hinzuschalten einer weiteren, peripher zur ersten Kreisring fläche angeordneten, zweiten Kreisringfläche erreicht (Pig. 3d). Die Empfänger sind so zu beschälten, daß das resultierende Gesamtsignal s mit den von den EmpfängerteilFor this purpose, when using the receiver type proposed in FIG. 3a before the registration of the differential photocurrent daa originating from the circular ring receiver signal electronically by a factor of 4r3x (e.g. 2.5x) (Pig. 3c). According to the invention, however, the same effect is also achieved Adding a further, peripheral to the first circular ring surface arranged, second circular ring surface is achieved (Pig. 3d). The receivers are to be shelled in such a way that the resulting Total signal s with that of the receiver part
gestotal
flächen herrührenden Signalen über folgende Beziehung verknüpft ist:signals originating from surfaces is linked via the following relationship:
sges(r,Y> = s"3(r,f) - /f"(s'31(r,if) + s '32(r,»f)_7s ges (r, Y> = s " 3 (r, f) - / f" (s '31 (r, if) + s' 32 (r, »f) _7
Mit dem Schalter s kann auf Kantenanlastung umgeschaltet werden (Schalterstellung a).The s switch can be used to switch to edge loading (switch position a).
s(r)«S(k)s (r) «S (k)
s(r)=S(ra)s (r) = S (r a )
s·s
Wird der Radius r„ (wiederum unter Vernachlässigung der Trennfuge) etwas kleiner als der doppelte Radius des Kreisempfängers r gewählt, so ergibt sich der in Fig. 3e angegebene Signalverlauf beim Vorübergang einer strichförmigen Struktur an dem so charakterisierten Empfänger. Pur die Strichbreite b gilt b1 ^b2 L \>y If the radius r "(again neglecting the parting line) is selected to be somewhat smaller than twice the radius of the circular receiver r, the signal curve given in FIG. 3e results when a line-shaped structure passes over the receiver characterized in this way. For the line width b, b 1 ^ b 2 L \> y applies
Es ist zu erkennen, daß symmetrisch zum Koinzidenzpunkt (d. h. die Strichmitte befindet sich in der Zielachse) ein zweimaliger Hulldurchgang der Signalspannung auftritt«. Der Abstand dieser Uulldurchgänge von der Zielachse ist in 1. Näherung von der Strichbreite unabhängig und lediglich durch den gewählten Radius rg (bzw. den Verstärkungsfaktor des Signalverstärkers) festgelegt. Je näher der Verstärkungsfaktor dem Wert 3 (bzw. das Radienverhältnis den V/ert rp/r β 2) kommt, um so näher rücken die liulldurchgänge an die Zielachse, um so kleiner werden jedoch auch dieIt can be seen that symmetrically to the point of coincidence (ie the middle of the line is in the target axis) there is a double Hull crossing of the signal voltage «. The distance of these Uull crossings from the target axis is independent of the line width in the first approximation and is only determined by the selected radius r g (or the amplification factor of the signal amplifier). The closer the gain factor to the value 3 (or the radius ratio the V / ert r p / r β 2), the closer the liull passages come to the target axis, but the smaller they become
tiven Signalanteile, so daß eine sichere Registrierung der Hulldurchgänge nicht mehr gewährleistet iat. Mit der vorgeschlagenen Anordnung ist somit der Einfang einer strichförmigen Struktur in einem vorgegebenen Sollbereich möglich. Beispielsweise ergibt sich für r ^75/Um und r2^140/um ein Sollbereich von + 30 ,um, bzw. für rQÄi71 /um und r„ »140 yum ein Sollbereich von + 10>um.tive signal components, so that reliable registration of the Hull crossings is no longer guaranteed. With the proposed arrangement, it is thus possible to capture a line-shaped structure in a predetermined target area. For example, for r ^ 75 / um and r 2 ^ 140 / um a target range of + 30 um, or for r Q 71 / um and r "» 140 yum a target range of + 10> um.
Auch bei dieser Anwendung ist durch die Realisierung eines statischen Meßverfahrens die Anmessung bewegter Objekte ohne Schwierigkeiten möglich.In this application, too, the measurement of moving objects is possible thanks to the implementation of a static measuring method possible without difficulty.
Eine weitere vorteilhafte Ausfuhrungsform stellt die Anordnung nach Fig. 4 dar.The arrangement represents a further advantageous embodiment according to Fig. 4.
Diese Empfängeranordnung ist besonders zur Positionierung der fotometrischen Mitte eines Striches zu einem Zielpunkt geeignet. Dazu werden die Sektoren paarweise so in Differenz geschaltet, daß das Empfängersignal entsprechend den BeziehungenThis receiver arrangement is particularly useful for positioning the photometric center of a line to a target point. To do this, the sectors are paired in Difference switched that the receiver signal according to the relationships
s(r,f) = s '41+s '42+s ' «45+s · '46 - (s '43+s '44+s · '47+s · '^)s (r, f) = s' 41+ s' 42+ s'"45 + s · '46 - (s' + s 43' 44+ · s' + s · 47 ^)
für 45° * It I 4 90° bzw.for 45 ° * It I 4 90 ° resp.
s(r,?) = s '41+d'44+s ' '45+s ' «48 - (s '42+s '43+s ' '^+s · ^47)s (r ,? ) = s' 41 + d '44 + s'' 45+ s' « 48 - (s' 42+ s' 43+ s''^ + s ^ 47 )
für 0° C I vf| ± 45°for 0 ° C I vf | ± 45 °
gebildet wird.is formed.
Die Separationsstreifen legen die Achsen des Koordinatensystems fest.The separation strips define the axes of the coordinate system.
Der Nulldurchgang von s(r,ip) zeigt die Koinzidenz der fotometrischen Strichmitte mit der Detektormitte an. Die gleiche Schaltung wird zur Indikation der Koinzidenz einer Kante mit den Koordinatenachsen bei Drehung genutzt· Die Koinzidenz eines Striches (fotometrische Mitte) mit den Koordinatenachsen bei Drehung wird durch die Erfüllung der Bedingung a'^(r,<f) - s'^r^) =0 und s'42(r,f) - s'43(r,^) = 0 angezeigt.The zero crossing of s (r, ip) shows the coincidence of the photometric line center with the detector center. The same circuit is used to indicate the coincidence of an edge with the coordinate axes during rotation.The coincidence of a line (photometric center) with the coordinate axes during rotation is determined by the fulfillment of the condition a '^ (r, <f) - s' ^ r ^) = 0 and s '42 (r, f) - s' 43 (r, ^) = 0 displayed.
19 14 19 14
Die beiden letztgenannten Anwendungen setzen und Positionierung auf den Koordinatenursprung voraus. Die Anordnung kann auch direkt zur Bestimmung der Winkellage eines Striches zur Koordinatenrichtung benutzt werden. Dazu werden bei Bewegung des Objektes in χ-Richtung z. B. die Empfängerflächen 41 ' und 44' sowie die Empfänger 42' und 43' in Differenz geschaltet, die Uulldurchgänge der beiden Differenzsignale registriert und aus den entsprechenden Wegkoordinaten der Winkel berechnet.The latter two applications require and positioning on the coordinate origin. The order can also be used to directly determine the angular position of a line can be used for the coordinate direction. For this purpose, when moving the object in the χ direction z. B. the receiving surfaces 41 'and 44' and the receivers 42 'and 43' as a difference switched, the Uull passages of the two difference signals registered and from the corresponding path coordinates the angle is calculated.
2(r +d) + r- - r - d2 (r + d) + r- - r - d
*f- = arctan 2 ! 2 * f- = arctan 2! 2
Δ χΔ χ
Die Positionierung einer Kante kann durch die Verwendung eines Bildungsgesetzes, das dem der Empfängeranordnung nach Fig. 3 entspricht, erfolgen.The positioning of an edge can be done by using of an education law, which according to the recipient order Fig. 3 corresponds to take place.
Dabei sind wegen der Trennfuge Winkellagen *f = 0° bzw. ^f= zu vermeiden (geringere Meßgenauigkeit).Because of the parting line, angular positions * f = 0 ° and ^ f = to be avoided (lower measuring accuracy).
LeerseiteBlank page
Claims (25)
Signal um einen Faktor 3 verstärkt wird.19. The arrangement according to claim 18, characterized in that generated by the annular receiving surface
Signal is amplified by a factor of 3.
kreisringförmige Empfängerfläche (32') ergänzt ist, deren Außenradius maximal das doppelte der zentralen kreisförmigen Empfängerfläche (3 ' ') betragen darf.20. The arrangement according to claim 17, characterized in that the arrangement is arranged peripherally by a second
circular receiver surface (32 ') is added, the outer radius of which may be a maximum of twice the central circular receiver surface (3'').
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD22686181A DD156290A1 (en) | 1981-01-07 | 1981-01-07 | PHOTOELECTRIC METHOD AND RECEPTOR ASSEMBLY FOR DETECTING EDGE-LENGTH MEASUREMENT STRUCTURES |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3143948A1 true DE3143948A1 (en) | 1982-08-12 |
Family
ID=5528539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813143948 Ceased DE3143948A1 (en) | 1981-01-07 | 1981-11-05 | "PHOTOELECTRIC METHOD AND RECEIVER ARRANGEMENT FOR DETECTING THE POSITION OF EDGE-SHAPED MEASURING STRUCTURES" |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
DD (1) | DD156290A1 (en) |
DE (1) | DE3143948A1 (en) |
FR (1) | FR2497568A1 (en) |
GB (1) | GB2090657A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3534193A1 (en) * | 1984-09-25 | 1986-04-03 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo | EDGE DETECTING DEVICE IN AN OPTICAL MEASURING INSTRUMENT |
DE3527075A1 (en) * | 1984-11-01 | 1986-05-07 | Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena | Method for the photoelectric sensing of edges and structures |
DE19713336C1 (en) * | 1997-03-29 | 1998-07-02 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Position sensitive photoelectric sensor, e.g. for use in surveying |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1984004586A1 (en) * | 1983-05-17 | 1984-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Position-detecting apparatus |
JPS61128105A (en) * | 1984-11-26 | 1986-06-16 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Edge detector of optical measuring instrument |
DD249525A1 (en) * | 1986-06-02 | 1987-09-09 | Zeiss Jena Veb Carl | ARRANGEMENT FOR THE PHOTOELECTRIC RECOGNITION OF THE COLLAPSE OF TWO OBJECT IMAGES |
DE4115534A1 (en) * | 1991-05-13 | 1992-11-19 | Horst Dr Ahlers | Opto-electronic appts. for measuring structure edges, e.g. for image evaluation - has opto-electronic receiving surfaces as electrodes with circle-annulus structure forming input and reference capacitances for amplifier |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1391064A (en) * | 1971-03-16 | 1975-04-16 | Sira Institute | Electrooptical lens position detection apparatus |
US4110627A (en) * | 1976-04-01 | 1978-08-29 | Crosfield Electronics Limited | Detecting lateral position of webs |
-
1981
- 1981-01-07 DD DD22686181A patent/DD156290A1/en not_active IP Right Cessation
- 1981-11-05 DE DE19813143948 patent/DE3143948A1/en not_active Ceased
-
1982
- 1982-01-06 FR FR8200081A patent/FR2497568A1/en not_active Withdrawn
- 1982-01-07 GB GB8200345A patent/GB2090657A/en not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1391064A (en) * | 1971-03-16 | 1975-04-16 | Sira Institute | Electrooptical lens position detection apparatus |
US4110627A (en) * | 1976-04-01 | 1978-08-29 | Crosfield Electronics Limited | Detecting lateral position of webs |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3534193A1 (en) * | 1984-09-25 | 1986-04-03 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo | EDGE DETECTING DEVICE IN AN OPTICAL MEASURING INSTRUMENT |
DE3527075A1 (en) * | 1984-11-01 | 1986-05-07 | Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena | Method for the photoelectric sensing of edges and structures |
DE19713336C1 (en) * | 1997-03-29 | 1998-07-02 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Position sensitive photoelectric sensor, e.g. for use in surveying |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2090657A (en) | 1982-07-14 |
DD156290A1 (en) | 1982-08-11 |
FR2497568A1 (en) | 1982-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19960653B4 (en) | Method and device for the detection or orientation of edges | |
DE3785891T2 (en) | REVERSE DARKFIELD ALIGNMENT SYSTEM FOR A LITHOGRAPHIC ALIGNMENT SCANNER. | |
EP0005462A2 (en) | Method for positioning two objects which are to be adjusted to one another | |
DE112014007223T5 (en) | Distance sensor, distance detection device and distance detection method | |
DE102009032210B4 (en) | processing plant | |
EP0716287B1 (en) | Device for measuring a position of webs or sheets | |
DE69705927T2 (en) | Particle measuring device and method for its calibration | |
DE4444079A1 (en) | Method and device for carrying out this method for measuring the position of a web or sheet | |
DE19506467A1 (en) | Device and method for measuring a position of an edge of webs or sheets | |
DE3143948A1 (en) | "PHOTOELECTRIC METHOD AND RECEIVER ARRANGEMENT FOR DETECTING THE POSITION OF EDGE-SHAPED MEASURING STRUCTURES" | |
DE2845850A1 (en) | OPTO-ELECTRONIC DISTANCE SWITCH | |
DE3302948C2 (en) | Measuring device for non-contact optical distance measurement | |
DE3312203C2 (en) | ||
EP2878930B1 (en) | Position measuring device | |
DE69732011T2 (en) | For line width insensitive detection of an alignment mark on a semiconductor wafer | |
WO2017037248A1 (en) | Method and device for spatial filter measurement | |
DE2454883C2 (en) | Device for automatic, photoelectric evaluation of stereoscopic images | |
DE2756954A1 (en) | OPTIC-ELECTRONIC FOCUSING DEVICE | |
DD253688A1 (en) | OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR LIGHT ELECTRIC REMOVAL ADJUSTMENT | |
DE2753782C2 (en) | ||
EP0218613B1 (en) | Device for the alignment, testing and/or measurement of two-dimensional objects | |
DE2937741C2 (en) | Method and device for opto-electronic measurement of microstructures, in particular on masks and wafers in semiconductor technology | |
WO2002079722A1 (en) | Method and device for determining a relative length change | |
DE2917971A1 (en) | METHOD FOR THE AUTOMATIC EVALUATION OF IMPRESSIONS IN THE HARDNESS TESTING OF MATERIALS AND DEVICE FOR IMPLEMENTING THE METHOD | |
EP0222787B1 (en) | Method and device for aligning, controlling and/or measuring bidimensional objects |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8131 | Rejection |