DE3125777A1 - Elektretvorrichtung - Google Patents

Elektretvorrichtung

Info

Publication number
DE3125777A1
DE3125777A1 DE19813125777 DE3125777A DE3125777A1 DE 3125777 A1 DE3125777 A1 DE 3125777A1 DE 19813125777 DE19813125777 DE 19813125777 DE 3125777 A DE3125777 A DE 3125777A DE 3125777 A1 DE3125777 A1 DE 3125777A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electret
electret device
conductor
charge
dielectric layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19813125777
Other languages
English (en)
Inventor
Masamichi Tanaka
Hiroto Kawasaki Kanagawa Wada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP8878180A external-priority patent/JPS5714287A/ja
Priority claimed from JP8882180A external-priority patent/JPS5714297A/ja
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Publication of DE3125777A1 publication Critical patent/DE3125777A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G7/00Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
    • H01G7/02Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Description

  • ELEKTRETVORRICHTUNG Die Erfindung betrifft eine Elektretvorrichtung.
  • Ein Elektret ist ein dielektrischer Körper, der mit einem Volumen aus oberflächenseitiger elektrischer Ladung versehen ist. Der dielektrische Körper des Elektrets hält die elektrische Ladung für sehr lange Zeit, die häufig in Jahrzehnten gemessen wird.
  • Die elektrische Ladung oder die dielektrische Polarisation wird bei einem Beispiel eines Verfahrens durch Erwärmen eines Körpers aus dielektrischem Werkstoff auf eine relativ hohe Temperatur, wobei der Werkstoff einem starken elektrischen Feld während einer wesentlichen Zeitdauer ausgesetzt istlund durch das Abkühlen des Werkstoffes, wobei er weiter dem dielektrischen Feld ausgesetzt bleibt, erhalten. Beim Abkühlen zeigt der Werkstoff Charakteristiken einer permanenten Ladungsverteilung.
  • Elektrete haben viele Am'endungen als Wandler wie für Mikrofone, Lautsprecher und Schallplatten-Tonaufnehmer. Darüberhinaus ist zu hoffen, Elektrete als Speicher, Hochpotentialquellen, Meßeinrichtungen und andere Vorrichtungen in naher Zukunft verwenden zu können.
  • Elektrete sind Dielektrikas, die statische elektrische Felder mit relativ langer Lebensdauer erzeugen. Deren lange Lebensdauer ist hauptsächlich der Entwicklung neuer Werkstoffe zuzuschreiben, die stabiler sind als die früher verwendeten Wachse. Zur Zeit werden Kunststoffe wie Polyäthylen, Polypropylen, Polyäthylen-Terephthalat in starkem Umfang zur Bildung von Elektreten verwendet.
  • Herkömmlich sind Elektrete in Form elektrischer Vorrichtungen ausgebildet, bei denen ein Elektret-Körper auf einer Leiterelektrode befestigt ist. Nachteilig bei diesen Elektretvorrichtungen ist, daß das Oberflächenladungspotential relativ niedrig ist.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, eine neuartige Elektretvorrichtung anzugeben, die relativ hohes Oberflächenladungspotential besitzt.
  • Weiter soll eine Elektretvorrichtung ermöglicht werden, die verlängerte Lebensdauer besitzt. Weiter soll eine Elektretvorrichtung ermöglicht werden, die bezüglich der Oberflächenladung auf eine Soll-Größe einstellbar ist. Schließlich soll eine Elektretvorrichtung ermöglicht werden, die relativ gleichmäßige Oberflächenladungsverteilung besitzt.
  • Gemäß einem Merkmal der Erfindung wird eine Elektretvorrichtung angegeben, die aufweist ein erstes Elektretelement mit einer negativ polarisierten dielektrischen Schicht und einer Leiterschicht und ein zweites Elektretelement mit einer positiv polarisierten dielektrischen Schicht und einer Leiterschicht, wobei das zweite Elektretelement mit dem ersten Elektretelement übereinandergeschichtet angeordnet ist, wobei die dielektrischen Schichten einander gegenüber liegen.
  • Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung ist eine Elektretvorrichtung vorgesehen, die aufweist ein erstes Elektretelement mit einer negativ polarisierten dielektrischen Schicht und einer Leiterschicht, ein zweites Elektretelement mit einer positiv polarisierten dielektrischen Schicht und einer Leiterschicht, wobei das zweite Elektretelement mit dem ersten Elektretelement übereinandergeschichtet angeordnet ist, wobei die Leiterschichten einander direkt gegenüberliegen, und Außenplattens die auf dem ersten bzw. dem zweiten Elektretelement geschichtet angeordnet sind, wobei mindestens eine der Außenplatten Leiterwerkstoff aufweist.
  • Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 im Schnitt ein Ausführungsbeispiel einer Elektretvorrichtung gemäß der Erfindung, Fig. 2 im Schnitt ein anderes Ausführungsbeispiel einer Elektretvorrichtung gemäß der Erfindung, Fig. 3 Darstellungen zur Erläuterung der Ladungspotentialverteilungen auf Elektretvorrichtungen, Fig. 4 Darstellungen zur Erläuterung der Ladungsretentionseigenschaften der Elektretvorrichtungen gemäß den Ausführungsbeispielen, Fig. 5 im Schnitt ein modifiziertes Ausführunqsbeispiel einer Elektretvorrichtung gemäß der Erfindung.
  • Fig. 1 zeigt im Schnitt eine Elektretvorrichtung 10 mit zwei Elektretelementen 12 und 14, die miteinander über eine Zwischenplatte 16 übereinandergeschichtet angeordnet sind. Jedes der Elektretelemente 12, 14 besitzt jeweils eine zugeordnete dielektrische Schicht 18 bzw. 20, die jeweils der Zwischenclatte- 16 gegenüberliegt , und eine jeweilige Leiterschicht 22 bzw. 24.
  • Jede dielektrische Schicht 18, 20 ist mit einem Volumen elektrischer Ladung oder Polarisation versehen. Das heißt, die dielektrischen Schichten 18 und 20 sind sog. Elektrete. Jedoch besitzt jede der dielektrischen Schichten 18, 20 Ladung mit zueinander unterschiedlicher Polarität. Beispielsweise besitzt die dielektrische Schicht 18 positive Ladungen und besitzt die andere dielektrische Schicht 20 negative Ladungen. Die Zwischenplatte 16 ist aus einem leitenden, nichtleitenden oder halbleitenden Werkstoff gebildet.
  • Bei der Elektretvorrichtung 10 gemäß Fig. 1 ergeben sich viele negative Ladungen auf einer Außenseite des Elektretelements 14 oder der Außenseite der Leiterschicht 24 aufgrund der dielektrischen Polarisat-ionen sowohl der dielektrischen Schicht 20 des Elektretelements selbst als auch der dielektrischen Schicht 18 des anderen Elektretelements 12. Deshalb besitzt die Elektretvorrichtung 10 ein hohes Oberflächenladungspotential, das nahezu das Zweifache desjenigen eines einzelnen der Elektretelemente 12, 14 ist.
  • Es sei angenommen, daß sich das Ladungspotential Es ergibt gemäß: Es K K.(E14 - E12) ---.... (1), wobei Es das Ladungspotential der Elektretvorrichtung 10 insgesamt, E10 und E12 die durchschnittlichen Ladungspotentiale der Elektretelemente 14 bzw. 12 und K eine Konstante wiedergeben, die als Polarisationskonstante des Werkstoffs der Zwischenplatte 16 bezeichnet werden kann.
  • Die Konstantes von Metall ist ein Zahlenwert zwischen etwa 0,6 und 0,99 und die Konstante K von Glas ist etwa 0,83 gemäß Messungen der Erfinder.
  • Unter der Annahme, daß die Ladungspotentiale E14 und E12 nahezu in ihren Absolutwerten gleich sind und durch E wiedergegeben wer den können, ergibt sich aus der Gleichung (1): Es = 2#K#E ......... (2).
  • Die einzelnen Elektretelemente 12 und 14 sind jeweils Shnlich einer herkömmlichen Elektretvorrichtung.
  • Üblicherweise wird die Polarisation jeder der dielektrischen Schichten 18, 20 beispielsweise durch Anlegen eines elektrischen Feldes oder Zuführen geladener Teilchen wie Ionen erreicht, bevor oder nachdem die jeweiligen Leiterschichten 22, 24 mit den zugehörigen dielektrischen Schichten kombiniert werden. Die Polarität der dielektrischen Schichten 18 oder 20 kann durch die Polarität des elektrischen Feldes oder der geladenen Teilchen bestimmt werden.
  • Nahezu alle dielektrischen Werkstoffe, die für ein Elektret geeignet sind, können für die dielektrischen Schichten 18 und 20 verwendet werden. Verbindungen bzw. Zusammensetzungen hohen Molekulargewichtes wie Polypropylen, fluorhaltige Polyolefine wie Polytetrafluoräthylen, oder Polyäthylen sind jedoch insbesondere geeignet, weil die elektrische Ladung in diesen Werkstoffen im Potential relativ hoch wird und für lange Zeit gehalten wird.
  • Wie sich aus Gleichung (1) oder (2) ergibt, ist das Ladungspotential Es der Elektretvorrichtung 10 sehr wesentlich höher als diejenige der einzelnen Elektretelemente 12 und 14. Deshalb ist die erläuterte Elektretvorrichtung sehr zweckmäßig auf vielen Gebieten. Beispielsweise wird ein elektrostatischer Wandler wie ein Mikrofon oder ein Kopfhörer, der die Elektretvorrichtung 10 verwendet, hochempfindlich und besitzt andere wirksame Eigenschaften.
  • Insbesondere wird ein leistungsstarker elektrostatischer Lautsprecher auf einfache Weise durch Verwendung der Elektretvorrichtung 10 ermöglicht, der bisher schwierig zu verwirklichen war.
  • Fig. 2 zeigt im Schnitt eine Elektretvorrichtung 10 gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die Elektretvorrichtung 10 gemäß Fig. 2 weist ebenfalls zwei Elektretelemente 12 und 10 auf, die aufeinandergestapelt bzw. übereinandergeschichtet angeordnet sind. Jedes der Elektretelemente 12, 14 besitzt ebenfalls Jeweils eine dielektrische Schicht 18, 20, die voneinander geftrennt sindsund Leiterschicht 22 bzw. 24, die einander direkt gegenüberliegen Auf den dielektrischen Schichten 18 und 20 sind zwei Außenplatten 26 bzw. 28 gestapelt. Zumindest eine Außenplatte bzw. die Außenplatte 26 besteht aus Leiterwerkstoff zur Verwen-Ladung als leitende Elektrode der Elektretvorrichtung 10. Andererseits kann die andere Außenplatte aus einem leitenden, einem nichtleitenden oder einem halbleitenden Werkstoff bestehen.
  • Fig. 3 zeigt Darstellu1gn io auf einer Elektretvorrichtung 10 und einer herkömmlichen Elektretvorrichtung wiedergeben, wobei die Ladungsverteilung in-Volt gegen den Ort auf der Oberseite aufgetragen ist, beginnend an einem Ende und endend am entgegengesetzten Ende. Die Kurve A zeigt die Poten-s tialverteilungsnharakteristik einer Elektretvorrichtung 10 gemäß Fig. 1 oder Fig. 2 und die Kurve B zeigt eine Potentialverteilungscharakteristik einer herkömmlichen Elektretvorrichtung, die in der Größe ähnlich der der Elektretvorrichtung 10 ist.
  • Wie sich aus der Kurve A ergibt, beträgt das Ladungspotential -einer Elektretvorrichtung 10 nahezu das Zweifache derjenigen einer herkömmlichen Elektretvorrichtung gemäß der Kurve B. Das Ladungspotential gemäß der Kurve A besitzt geringe Streuung. Wie sich aus der sehr flachen Charakteristik der Kurve A ergibt, besitzt eine Elektretvorrichtung 10 eine außerordentlich gleichförmige Oberflächenladung.an jedem Teil der Oberseite der Elektretvorrichtung 10. Andererseits besitzt eine wie oben erläuterte herkömmliche Elektretvorrichtung keine gleichförmige Oberflächen ladung wie sich das aus der Kurve B ergibt.
  • Eine Elektretvorrichtung 10 (gemäß der Erfindung) ist daher sehr zweckmäßig anwendbar. Beispielsweise können Wandler, die eine Elektretvorrichtung 10 verwenden, eine Wandlercharakteristik hohen Wirkungsgrades besitzen aufgrund des hohen- Oberflächenladungspotentials der Elektretvorrichtung 10.
  • Weiter können Wandler, die eine Elektretvorrichtung 10 verwenden, eine Wandlercharakteristik hoher Wiedergabetreue erreichen, weil die elektrischen Kräfte, die zwischen einer Elektretvorrichtung 10 als einer Elektrode eines -Wandlerkondensators und einer gegenüberliegenden Elektrode auftreten, gleichförmig an jedem Teil des Wandlerkondensators sind.
  • Eine Elektretvorrichtung 10 wird angegeben mit langlebiger Ladung oder Polarisationsretentioneigenschaften, weil die dielektrischen Schichten 18 und 20 davor geschützt sind, daß sie der Luft ausgesetzt sind, weshalb es schwierig ist, die Ladung von den dielektrischen Schichten 18 und 20 abzuziehen. Daher sind die dielektrischen Schichten 18 und 20 der Elektretelemente 12 und 14 dagegen geschützt, daß sie der Luft ausgesetzt sind, mittels der Leiterschichten 22 und 24 (Fig. 1), bzw. der Außenplatten 26 und 28 (Fig. 2), wodurch die Ladung sehr schwierig von den dielektrischen Schichten 18 und 20 abzuziehen ist.
  • Die Ladungsretentionseingenschaften sind in Fig. 4 dargestellt, in der das Ladungspotential in Volt (V) gegenüber der Zeit in Stunden (H) aufgetragen ist. Die Kurve C zeigt die Eigenschaft der Elektretvorrichtung 10 gemäß Fig. 2, deren Außenplatten 26 und 28 aus Leiterwerkstoff oder Metall bestehen. Andererseits zeigt die Kurve B die Eigenschaft einer Elektretvorrichtung 10 gemäß Fig. 2, deren Außenplatte 28 aus nichtleitendem Werkstoff besteht, beispielsweise aus einem ABS-Kopolymer (ABS: Acrylnitril-Butadien-tyrol). Das Ladungspotential gemäß der Kurve C wird auf nahezu dem gleichen Wert gehalten, wie zum Zeitpunkt der Herstellung, während langer Zeit. Obwohl das Ladungspotential gemäß Kurve D allmählich nach dem Zeitpunkt deren Herstellung absinkt, erreicht das Ladungspotential einen Dauerzustand nach etwa 24 Stunden. Danach bleiben beide Ladungspotentiale auf den Dauerzuständen während sehr langer Zeit.
  • Weiter kann bei einer Elektretvorrichtung 10 gemäß Fig. 1 oder Fig. 2,deren Außenschichten-22 und 24 oder Platten 26 und 28 aus Leiterwerkstoff bestehen, deren verringerte Oberflächenladung sehr leicht erhöht werden durch das Anlegen einer Spannung hohen Potentials zwischen die Leiterschichten 22 und 24 (Fig 1) bzw.
  • den Außenplatten 26 und 28 (Fig. 2), weil die dielektrischen Schichten 18 und 20 durch die Spannungahohen Potentials-re-polarisiert werden.
  • Fig. 5 zeigt im Schnitt ein modifiziertes Ausführungsbeispiel einer Elektretvorrichtung 10 mit mehreren Elektretelementen, beispielsweise vier Elektretelementen, 12a, 14a, 12b und 14b,die aufeinandergestapelt sind. Die Elektretelemente 12a und 12b sind negativ polarisiert und die Elektretelemente 14a und 14b sind positiv polarisiert. Die dielektrischen Schichten 18a und 20a von erstem und zweitem Elektretelement 12a und 14a liegen einander gegenüber. Die Leiterschichten 24a und 22b von zweitem und drittem Elektretelement 14a und 12b liegen einander gegenüber und die dielektrischen Schichten 18L und 20b von drittem und viertem Elektretelement 12b und 14b liegen einander gegenüber. Die Leiterschichten 22a uEd 24b von erstem und viertem Elektretelement 12a und 14b sind an entgegengesetzten Enden der Elektretvorrichtung 10 angeordnet.
  • Die Elektretvorrichtung 10 gemäß Fig. 5 besitzt ein sehr hohes Oberflächenladungspotential, das nahezu dem Vierfachen desjenigen eines einzelnen Elektretelements ist.
  • Selbstverständlich sind noch andere Ausführungsformen möglich.
  • Leerseite

Claims (6)

  1. ANSPRÜCHE 1. Elektretvorrichtung, gekennzeichnet durch ein erstes Elektretelement (14) mit einer negativ polarisierten dielektrischen Schicht (20) und einer Leiterschicht (24) und ein zweites Elektretelement (12) mit einer positiv polarisierten dielektrischen Schicht (18) und einer Leiterschicht (22), wobei das zweite Elektretelement (12) mit dem ersten Elektretelement (14) so gestapelt angeordnet ist, daß die dielektrischen Schichten (18, 20) einander gegenüber,liegen.
  2. 2. Elektretvorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Zwischenplatte (16) zwischen erstem und zweitem Elektretelement (12, 14).
  3. 3 Elektretvorrichtung nash Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwiqchenplatte (16) Leiterwerkstoff aufweist.
  4. 4. Elektretvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenplatte (16) nichtleitenden Werkstoff aufweist.
  5. 5. Elektretvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenplatte (16) Halbleiterwerkstoff aufweist.
  6. 6. Elektretvorrichtung, gekennzeichnet durch ein erstes Elektretelement (14) mit einer negativ polarisierten dielektrischen Schicht (20) und einer Leiterschicht (24), ein zweites Elektretelement (12) mit einer positiv polarisierten dielektrischen Schicht (18) und einer Leiterschicht (22), wobei das zweite Elektretelement (12) mit dem ersten Elektretelement (14) so gestapelt angeordnet ist, daß die Leiterschichten (22, 24) einander. direkt gegenüber,liegen und Außenplatten (28, 26), die auf dem ersten bzw. zweiten Elektretelemen (14, 12) gestapelt sind, wobei mindestens eine der Außenplatten (28, 26) Leiterwerkstoff aufweist
DE19813125777 1980-06-30 1981-06-30 Elektretvorrichtung Ceased DE3125777A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8878180A JPS5714287A (en) 1980-06-30 1980-06-30 Electret device
JP8882180A JPS5714297A (en) 1980-06-30 1980-06-30 Electret device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3125777A1 true DE3125777A1 (de) 1982-05-27

Family

ID=26430121

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19813125777 Ceased DE3125777A1 (de) 1980-06-30 1981-06-30 Elektretvorrichtung

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE3125777A1 (de)
GB (1) GB2079054B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4458161A (en) * 1981-05-14 1984-07-03 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Electret device

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4443711A (en) * 1980-06-30 1984-04-17 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Electret device
FI115339B (fi) * 2001-06-29 2005-04-15 Filtronic Lk Oy Järjestely radiopuhelimen antennipään integroimiseksi

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT282017B (de) * 1965-10-23 1970-06-10 Philip Morris Inc Dielektrischer Körper
DE2062609A1 (de) * 1969-12-19 1971-09-09 Kureha Chemical Ind Co Ltd Stabiles Elektret, das ein hohes Ober flachenpotential beibehalt, sowie Verfahren zur Herstellung desselben
DE2042352A1 (de) * 1969-08-28 1971-11-18 Pioneer Electronic Corp Elektrostatischer elektroakustischer Wandler
FR2158571A1 (de) * 1971-11-04 1973-06-15 Kureha Chemical Ind Co Ltd
DE2433888A1 (de) * 1973-07-17 1975-02-06 Kureha Chemical Ind Co Ltd Verfahren zum polarisieren von folien hohen molekulargewichts
DE2629903A1 (de) * 1975-07-08 1977-01-27 Uniroyal Ltd Elektromechanischer wandler
DE2605809A1 (de) * 1976-02-12 1977-08-18 Minnesota Mining & Mfg Elektrisch kompensierter sensor
DE2814533A1 (de) * 1977-04-05 1978-10-12 Anvar Elektret-relais

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT282017B (de) * 1965-10-23 1970-06-10 Philip Morris Inc Dielektrischer Körper
DE2042352A1 (de) * 1969-08-28 1971-11-18 Pioneer Electronic Corp Elektrostatischer elektroakustischer Wandler
GB1292707A (en) * 1969-08-28 1972-10-11 Pioneer Electronic Corp Electrostatic electroacoustic transducer
DE2062609A1 (de) * 1969-12-19 1971-09-09 Kureha Chemical Ind Co Ltd Stabiles Elektret, das ein hohes Ober flachenpotential beibehalt, sowie Verfahren zur Herstellung desselben
FR2158571A1 (de) * 1971-11-04 1973-06-15 Kureha Chemical Ind Co Ltd
DE2433888A1 (de) * 1973-07-17 1975-02-06 Kureha Chemical Ind Co Ltd Verfahren zum polarisieren von folien hohen molekulargewichts
DE2629903A1 (de) * 1975-07-08 1977-01-27 Uniroyal Ltd Elektromechanischer wandler
DE2605809A1 (de) * 1976-02-12 1977-08-18 Minnesota Mining & Mfg Elektrisch kompensierter sensor
DE2814533A1 (de) * 1977-04-05 1978-10-12 Anvar Elektret-relais

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4458161A (en) * 1981-05-14 1984-07-03 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Electret device

Also Published As

Publication number Publication date
GB2079054B (en) 1984-02-22
GB2079054A (en) 1982-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2342856C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur elektrostatischen Übertragung eines auf einem Aufzeichnungsmaterial befindlichen Tonerbildes auf ein Bildempfangsmaterial im Durchlauf
DE102013217312A1 (de) Kapazitives MEMS-Bauelement mit einer druckempfindlichen Membran
DE2153784B2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Folienelektrets
DE2257358B2 (de) Verfahren zur herstellung eines elektret-mikrophons
DE2044877B2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Elektreten
DE2939397C2 (de)
DE2149119C3 (de) Koronaaufladevorrichtung für die Elektrofotografie
DE19605182A1 (de) Verfahren zur Polarisation von mindestens einer Folie aus einem ferroelektrischen Material mit großer Oberfläche
DE60123052T2 (de) Elektro-adhäsions-vorrichtung
DE3125777A1 (de) Elektretvorrichtung
DE3932572C2 (de)
DE2055713B2 (de) Verfahren zur Herstellung einer einseitig metallisierten Elektretfolie
US4390800A (en) Electret device
DE3242554A1 (de) Elektretwandler mit veraenderlicher elektretfoliendicke
DE2153288A1 (de) Korona-Entladungsvorrichtung
DE3323582A1 (de) Druckempfindlicher und leitfaehiger kautschuk
DE3125776A1 (de) Elektretovorrichtung
DE3125775C2 (de) Elektrostatischer elektromechanischer Wandler
DE2345352A1 (de) Piezoelektrisch wirksame folie und verfahren zu deren herstellung
DE885446C (de) Leiteranordnung mit veraenderlichem elektrischem Widerstand
DE3125784A1 (de) Elektretvorrichtung
DE3218081A1 (de) Elektretvorrichtung
DE2310284C3 (de) Verfahren zum elektrischem Aufbringen von Glasteilchen auf einen Körper aus Halbleitermaterial
DE60019926T2 (de) Leitfähige rolle
DE2330800B2 (de) Elektroakustischer Wandler nach dem elektrostatischen Prinzip und Verfahren zu dessen Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
OR8 Request for search as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8105 Search report available
8110 Request for examination paragraph 44
8131 Rejection
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP